JP2001351395A - 半導体メモリ集積回路 - Google Patents

半導体メモリ集積回路

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JP2001351395A JP2000174340A JP2000174340A JP2001351395A JP 2001351395 A JP2001351395 A JP 2001351395A JP 2000174340 A JP2000174340 A JP 2000174340A JP 2000174340 A JP2000174340 A JP 2000174340A JP 2001351395 A JP2001351395 A JP 2001351395A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ヒューズデータの確実な検証を可能とした半
導体集積回路を提供する。 【解決手段】 DRAMセルアレイ11のデータ線DQ
はデータ線センスアンプ12を介してI/O端子に接続
される。回路情報を記憶するヒューズ回路13のヒュー
ズデータは、電源投入時に第1のラッチ回路14に保持
され、その後クロックにより第2のラッチ回路15に転
送される。第2のラッチ回路15のヒューズデータを読
み出すための読み出し回路16が設けられ、テスト端子
にヒューズデータを読み出してチェックすることを可能
としている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体メモリ集
積回路に係り、特に不良救済等のために用いられるヒュ
ーズ回路を内蔵する半導体メモリ集積回路に関する。
【0002】
【従来の技術】DRAM等の半導体メモリにおいて、不
良救済(リダンダンシー)のための不良アドレス情報
や、回路設定のための調整用情報、チップ情報等を不揮
発に記憶するためにヒューズ回路が用いられる。これら
のヒューズ回路の情報(ヒューズデータ)は、実使用時
に外部に読み出す必要はない。しかしテスト時には、ヒ
ューズカットが正しく行われているか否かを検証するた
めに、外部からアクセスできることが望ましい。
【0003】図11は、ヒューズデータの読み出しを可
能とする従来方式を示している。この例では、DRAM
セルアレイ1の上にセルアレイ1を横切るようにデータ
線DQが配設されている。データ線DQの一端側にデー
タ線センスアンプ2が配置され、他端側にヒューズデー
タを保持するラッチ回路4が配置されている。ラッチ回
路4とデータ線DQの間には選択ゲート5が設けられて
いる。
【0004】通常の動作においては、選択ゲート5はオ
フに保たれる。例えばデータ読み出し時には、読み出し
信号READによりカラムデコーダ3が活性化され、セ
ルアレイ1内の選択カラムのビット線がデータ線DQに
接続されて、データ線センスアンプ2により読み出しが
行われる。テスト時に、ラッチ回路4が保持するヒュー
ズデータを読み出すためには、ヒューズデータ読み出し
信号FDREADを入力して、選択ゲート5をオンに
し、同時に、転送ゲート6を非活性としてアドレスAd
dのカラムデコーダ3への転送を禁止し、また読み出し
信号READを入力してデータ線センスアンプ2を活性
化する。これにより、セルアレイ1のデータはデータ線
DQに転送されず、ラッチ回路4のヒューズデータがデ
ータ線DQに取り出され、データ線センスアンプ2によ
り読み出される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、リダンダンシ
ー方式においては、しばしばヒューズデータの保持のた
めに、2段階のラッチ回路を備えることが行われる。即
ち、ヒューズ回路は通常チップの周辺に形成される。こ
のヒューズ回路のデータを電源投入時に読み出して保持
するための第1のラッチ回路は、ヒューズ回路に隣接し
て設けられる。実際にフューズデータが必要とされる回
路位置には、第1のラッチ回路のヒューズデータを例え
ばシリアルに転送して保持する第2のラッチ回路が設け
られる。
【0006】この様なシステムにおいては、チップ周辺
に配置された第1のラッチ回路のヒューズデータを図1
1の回路方式で読み出し可能にしたとしても、ヒューズ
データの検証は不十分である。第1のラッチ回路と第2
のラッチ回路の間の転送経路に不具合があった場合に
は、実際に使用される第2のラッチ回路のヒューズデー
タが正しくないことになるからである。第1のラッチ回
路のヒューズデータを単純に転送するだけでなく、デコ
ードして第2のラッチ回路に転送する方式を用いる場合
には、そのデコード部の不具合も問題になる。
【0007】この発明は、上記事情を考慮してなされた
もので、ヒューズデータの確実な検証を可能とした半導
体メモリ集積回路を提供することを目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】この発明に係る半導体メ
モリ集積回路は、メモリ回路と、回路情報を記憶するた
めのヒューズ回路と、このヒューズ回路に書き込まれた
ヒューズデータが電源投入時に読み出されて保持される
第1のラッチ回路と、この第1のラッチ回路に保持され
たヒューズデータが転送されて保持される第2のラッチ
回路と、この第2のラッチ回路に保持されたヒューズデ
ータを読み出すヒューズデータ読み出し回路とを有する
ことを特徴とする。
【0009】この発明によると、ヒューズデータを保持
する第1のラッチ回路とそのデータが転送されて保持さ
れる第2のラッチ回路を有する場合に、第2のラッチ回
路のヒューズデータを読み出し可能とすることによっ
て、ヒューズデータの確実な検証が可能になる。
【0010】この発明において、第2のラッチ回路のヒ
ューズデータを出力するためのテスト用端子を備えるこ
とができる。また、第2のラッチ回路のヒューズデータ
の一部を選択してテスト用端子に出力するための選択ゲ
ート回路を備えることもでき、これによりテスト用端子
を少なくすることができる。
【0011】更にこの発明において、メモリ回路の読み
出しデータと第2のラッチ回路のヒューズデータとを選
択してテスト用端子に出力する選択回路を備えることが
できる。また、メモリ回路の読み出しデータを出力する
データ端子に、メモリ回路の読み出しデータと第2のラ
ッチ回路のヒューズデータを選択して出力する選択回路
を備えることもでき、これにより専用のテスト端子を用
いることなく、ヒューズデータのテストが可能になる。
【0012】この発明において好ましくは、ヒューズ回
路は、メモリ回路の不良救済を行うためのリダンダンシ
ー用データが書き込まれる。例えばデータ線シフトを利
用したシフトリダンダンシーの場合、メモリ回路は、不
良カラムを置換するための冗長カラムとこれに対応する
予備データ線を備え、不良カラムがアクセスされたとき
にメモリ回路の複数のデータ線のうち不良カラムのデー
タ線を起点としてそれより一方側のデータ線を一つずつ
シフトしてデータ入出力端子に接続させるための、第2
のラッチ回路により制御されるデータ線シフト回路を備
える。この場合、第2のラッチ回路のデータとメモリ回
路の読み出しデータを切り換えてデータ入出力端子に出
力するための選択回路を備えることにより、専用のテス
ト端子を用いることなく、ヒューズデータをチェックす
ることが可能になる。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の実施の形態を説明する。図1は、この発明の実施の形
態によるDRAMの要部構成を示している。DRAMセ
ルアレイ11は、よく知られているようにダイナミック
型メモリセルをマトリクス配列して構成される。セルア
レイ11上にセルアレイ11のビット線と選択的に接続
されて、データ読み出し/書き込みに用いられる複数本
のデータ線DQが配設されている。データ線DQの一端
部にデータ線センスアンプ12が配置され、他端側には
リダンダンシーのためのヒューズ回路13と、その各ヒ
ューズFのデータを電源投入時に取り込んで保持する第
1のラッチ回路14が設けられている。
【0014】第1のラッチ回路14とは別の回路領域
に、第1のラッチ回路15のヒューズデータを転送して
保持するための第2のラッチ回路15が設けられてい
る。これら第1のラッチ回路14及び第2のラッチ回路
15は共に、複数のラッチが直列接続されてクロックに
よりシリアル転送できるシフトレジスタを構成してい
る。そして第1のラッチ回路14のヒューズデータは、
電源投入後、クロックCLKによりシリアルに転送され
て第2のラッチ回路15に保持される。
【0015】第2のラッチ回路15のヒューズデータ
は、不良データ線、不良カラム選択線等のアドレスデー
タであり、詳細説明は省略するが、このヒューズデータ
に基づいて不良アドレスが入力された場合の不良データ
線や不良カラム選択線等の予備データ線や予備カラム選
択線への置換制御が行われることになる。
【0016】この実施の形態では、第2のラッチ回路1
5に対して、そのヒューズデータを読み出すための読み
出し回路16が設けられている。通常動作時、データ読
み出し/書き込みはデータ線センスアンプ12を介し
て、データ入出力端子I/Oとデータ線DQの間で行わ
れる。これに対してテスト時には、読み出し回路16を
活性化することにより、ヒューズデータが、通常のデー
タ入出力端子I/Oとは別に用意された複数のテスト用
端子に読み出される。図の例では、第2のラッチ回路1
5に保持された複数のヒューズデータが読み出し回路1
6により並列にテスト用端子に読み出されるようにして
いる。
【0017】この実施の形態によると、ヒューズデータ
を保持する第1のラッチ回路14と第2のラッチ回路1
5を持つシステムにおいて、第2のラッチ回路15の保
持データを読み出し可能としている。従って、従来のよ
うに第1のラッチ回路のデータを読み出すだけではチェ
ックできない、ヒューズデータ転送経路の不具合もチェ
ックすることができる。即ち実際に使用される第2のラ
ッチ回路15のヒューズデータが正しいか否かを検証す
ることが可能になる。なお、図1に示すように、ヒュー
ズデータを読み出すためのテスト専用端子を設けた場合
には、読み出し回路16の活性,非活性を制御すること
は必ずしも必要がない。
【0018】図2は、図1の実施の形態を変形した実施
の形態である。図1では、第2のラッチ回路15の保持
データを並列にテスト端子に読み出す例を示している
が、ラッチ回路15の保持データ数が多い場合に、保持
データ数分のテスト端子を用意することは、実際のチッ
プでは難しい。この場合には、図2に示すように、第2
のラッチ回路15と読み出し回路16の間に選択ゲート
15を設けて、複数の保持データから選択されたデータ
をテスト端子に読み出すようにする。選択ゲート17に
入力する選択信号を順次切り換えれば、第2のラッチ回
路15のヒューズデータを一つずつテスト端子に読み出
すことができる。或いは任意の選択信号を入力して、第
2のラッチ回路15の任意のヒューズデータを読み出す
こともできる。この実施の形態によると、テスト端子を
少なくして、先の実施の形態と同様の効果を得ることが
できる。
【0019】図3は、やはり図1の実施の形態を変形し
たものである。少ないテスト端子にデータ線DQのデー
タとラッチ回路15のヒューズデータを選択して読み出
すことを可能とするために、マルチプレクサ18が設け
られている。マルチプレクサ18は例えば、図4に示す
ように、切り換え信号により制御されて、ラッチ回路1
5の出力とデータ線DQの出力を選択してテスト端子に
転送するトランスファゲートにより構成される。
【0020】この様な構成として、テスト時にI/O数
を少なくしてテストを行うDRAMにおいては、通常の
I/Oデータとラッチ回路15のヒューズデータをマル
チプレクスして、テスト用端子に読み出すことができ
る。
【0021】図5の実施の形態は、マルチプレクサ18
によって、ラッチ回路15のヒューズデータを通常のI
/O端子に読み出し可能としたものである。この場合マ
ルチプレクサ18は、図6に示すように、切り換え信号
により制御されてラッチ回路15のヒューズデータをリ
ード線に転送する転送ゲートにより構成される。これに
よりテスト時、切り換え信号を入力してラッチ回路15
のヒューズデータをデータ線センスアンプ12を介して
通常のI/O端子に読み出すことができる。Fuse
Data Read線は、ヒューズデータを読むときに
“L”となり、データ線センスアンプ12からの出力を
ディセーブルにする。この実施の形態によると、専用の
テスト端子を設けることなく、先の実施の形態と同様の
効果を得ることができる。
【0022】ここまでの実施の形態では、第1のラッチ
回路13のヒューズデータは、その全体がクロックによ
りシリアル転送されて第2のラッチ回路15に保持され
るようにしている。実際のシステムでは、第1のラッチ
回路13のヒューズデータがデコードされて、第2のラ
ッチ回路15に転送される場合がある。この場合にもこ
の発明は有効である。具体的に、ラッチ回路13のヒュ
ーズデータをデコードしてラッチ回路15に転送する部
分の構成例を示すと、図7のようになる。
【0023】第1のラッチ回路13は例えば、データ線
リダンダンシーのためのI/Oヒューズデータを保持す
るラッチLA1と、カラムリダンダンシーのためのCS
Lヒューズデータを保持するラッチLA2と、タイミン
グ設定用のTrimヒューズデータを保持するラッチL
A3とから構成される。ラッチLA1は、例えば7ビッ
トで表される128個のI/Oフューズデータの“1”
データの位置を10進データとして記憶している。従っ
てデコードして転送する必要があり、ラッチLA2,L
A3とはシリアル転送はできないようになっている。ラ
ッチLA1のデータをデコードする回路として、コンパ
レータ21が設けられている。
【0024】コンパレータ21は、カウンタ23のカウ
ント値がラッチLA1のデータと一致すると“1”を出
力し、これがマルチプレクサ22を介して第2のラッチ
回路15に転送される。ラッチLA1のデータが全て読
み出されると、カウンタ23によりマルチプレクサ22
が切り換えられて、カラムリダンダンシーのためのCS
Lヒューズデータを保持するラッチLA2と、タイミン
グ設定用のTrimヒューズデータを保持するラッチL
A3のデータがシリアルに第2のラッチ回路15に転送
されることになる。最終的に、ラッチLA1のヒューズ
データはデコードされてラッチLA4に保持され、ラッ
チLA2,LA3のデータはそれぞれラッチLA5,L
A4に保持される。なお図では、ラッチLA1〜LA3
に共通にクロックCLKが入るように示しているが、実
際にはクロックCLKについても、ラッチLA1に入る
ものと、ラッチLA2,LA3に入るものとは時間的に
切り換えられる。
【0025】図8は、図1に示す第2のラッチ回路15
がデータ線シフトにより不良救済を行うシフトリダンダ
ンシー用のヒューズデータである場合について、具体的
な構成を示している。DRAMセルアレイ11は、ノー
マルカラムセルアレイの他に冗長カラムセルアレイ11
aを有し、この冗長カラムセルアレイ11aに対応して
予備データ線SDQを有する。データ線シフト回路31
は、×印で示す不良カラムがアクセスされたときに、そ
のデータ線DQを避けるようにデータ線シフトを行う。
即ち不良カラムのデータ線DQを起点として、それより
一方側に配置されたデータ線を予備データ線SDQを含
めてI/O端子に接続するように、シフト制御を行う。
ラッチ回路15は、このデータ線シフト回路31を制御
するデータを保持する。正常なデータ線範囲では、ラッ
チ回路15のデータが“0”であり、不良データ線以降
のラッチ回路15のデータを“1”とすることにより、
不良データ線以降のデータ線シフトが行われるようにな
っている。
【0026】データ線シフト回路31は例えば、図9の
ように、各ラッチデータにより共通にゲートが制御され
るPMOSトランジスタQPとNMOSトランジスタQ
Nをペアとして用いて構成される。即ち、ラッチデータ
が“0”の場合、PMOSトランジスタQPがオンで、
データ線DQは、対応するI/O端子側のデータ線DL
に接続される。ラッチデータが“1”の箇所では、PM
OSトランジスタQPがオフ、NMOSトランジスタQ
Nがオンになり、I/O端子側データ線DLが一つずれ
たデータ線DQに接続される。ラッチ回路15は、図1
0に示すように、クロックCK,/CKによりデータシ
フトできるシフトレジスタを構成している。
【0027】またこの実施の形態の場合、データ線DL
のデータとラッチ回路15のラッチデータとを選択し
て、I/O端子に読み出すことを可能とするために、選
択ゲート回路32が設けられている。選択ゲート回路3
2は例えば図示のように、OR・ANDゲートにより構
成される。選択信号LPDpが“L”のときは、選択ゲ
ート回路32は、データ線DLのデータをI/O端子に
出力する。テスト時は選択信号LPDpを“H”にす
る。これにより、選択ゲート回路32はラッチ回路15
のラッチデータを出力する。この実施の形態によると、
専用のテスト端子を設けることなく、I/O端子をテス
ト端子として、ラッチ回路15に保持されたヒューズデ
ータをチェックすることができる。
【0028】なおこの発明において、検証しようとする
ヒューズデータは、リダンダンシー用のデータに限ら
ず、回路のタイミング等の調整用データ、チップ情報
等、各種の回路情報を含む。またDRAMは汎用DRA
Mに限らず、ロジック混載DRAMの場合にもこの発明
を適用できるし、更にSRAM,EEPROM等の他の
メモり回路についても同様にこの発明を適用することが
できる。
【0029】
【発明の効果】以上述べたようにこの発明によれば、ヒ
ューズデータを電源投入と共に保持する第1のラッチ回
路とそのデータが転送されて保持される第2のラッチ回
路を持つ場合に、第2のラッチ回路のヒューズデータを
読み出し可能とすることにより、実際の使用に供される
ヒューズデータを検証することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施の形態によるDRAMの要部構
成を示す図である。
【図2】他の実施の形態によるDRAMの要部構成を示
す図である。
【図3】他の実施の形態によるDRAMの要部構成を示
す図である。
【図4】同実施の形態におけるマルチプレクサの構成を
示す図である。
【図5】他の実施の形態によるDRAMの要部構成を示
す図である。
【図6】同実施の形態におけるマルチプレクサの構成を
示す図である。
【図7】第1のラッチ回路のデータをデコードして第2
のラッチ回路に転送する場合の構成を示す図である。
【図8】第2のラッチ回路がシフトリダンダンシー用の
場合の具体構成を示す図である。
【図9】シフトスイッチ回路の構成を示す図である。
【図10】ラッチ回路の具体構成を示す図である。
【図11】従来のヒューズデータ読み出し法を示す図で
ある。
【符号の説明】
11…DRAMセルアレイ、12…データ線センスアン
プ、13…ヒューズ回路、14…第1のラッチ回路、1
5…第2のラッチ回路、16…読み出し回路、17…選
択ゲート回路、18…マルチプレクサ。

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 メモリ回路と、 回路情報を記憶するためのヒューズ回路と、 このヒューズ回路に書き込まれたヒューズデータが電源
    投入時に読み出されて保持される第1のラッチ回路と、 この第1のラッチ回路に保持されたヒューズデータが転
    送されて保持される第2のラッチ回路と、 この第2のラッチ回路に保持されたヒューズデータを読
    み出すヒューズデータ読み出し回路とを有することを特
    徴とする半導体メモリ集積回路。
  2. 【請求項2】 前記第2のラッチ回路のヒューズデータ
    を出力するためのテスト用端子を有することを特徴とす
    る請求項1記載の半導体メモリ集積回路。
  3. 【請求項3】 前記第2のラッチ回路のヒューズデータ
    の一部を選択してテスト用端子に出力するための選択ゲ
    ート回路を有することを特徴とする請求項1記載の半導
    体メモリ集積回路。
  4. 【請求項4】 前記メモリ回路の読み出しデータと前記
    第2のラッチ回路のヒューズデータとを選択してテスト
    用端子に出力する選択回路を有することを特徴とする請
    求項1記載の半導体メモリ集積回路。
  5. 【請求項5】 前記メモリ回路の読み出しデータを出力
    するデータ端子に、前記メモリ回路の読み出しデータと
    前記第2のラッチ回路のヒューズデータを選択して出力
    する選択回路を有することを特徴とする請求項1記載の
    半導体メモリ集積回路。
  6. 【請求項6】 前記ヒューズ回路は、前記メモリ回路の
    不良救済を行うためのリダンダンシー用データが書き込
    まれることを特徴とする請求項1記載の半導体メモリ集
    積回路。
  7. 【請求項7】 前記メモリ回路は、不良カラムを置換す
    るための冗長カラムとこれに対応する予備データ線を有
    し、 不良カラムがアクセスされたときに前記メモリ回路の複
    数のデータ線のうち不良カラムのデータ線を起点として
    それより一方側のデータ線を一つずつシフトしてデータ
    入出力端子に接続させるための、前記第2のラッチ回路
    により制御されるデータ線シフト回路を有し、且つ前記
    第2のラッチ回路のデータと前記メモリ回路の読み出し
    データを切り換えてデータ入出力端子に出力するための
    選択回路を有することを特徴とする請求項6記載の半導
    体メモリ集積回路。
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