JP2001347409A - 回転振動装置 - Google Patents

回転振動装置

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JP2001347409A
JP2001347409A JP2000170080A JP2000170080A JP2001347409A JP 2001347409 A JP2001347409 A JP 2001347409A JP 2000170080 A JP2000170080 A JP 2000170080A JP 2000170080 A JP2000170080 A JP 2000170080A JP 2001347409 A JP2001347409 A JP 2001347409A
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Takamasa Hiromi
隆昌 廣海
Yasushi Fukuda
靖 福田
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 出力軸の軸方向の微小振動に伴う摩耗および
焼付きを防止することができるようにした回転振動装置
を提供することである。 【解決手段】 機械主軸の回転が伝達される出力軸12
にカムプレート26を取付け、そのカムプレート26の
カム面29側に対向配置したカムフォロア台30で複数
のカムフォロア34を回転自在に支持し、弾性部材37
の弾力によりカムプレート26をカムフォロア34に押
し付け、出力軸12の回転時に、カムフォロア34に対
するカム面29の接触によって出力軸12を軸方向に微
小振動させる。出力軸12をスライド軸受7により軸方
向に移動自在に支持し、出力軸12の軸方向の微小振動
に伴う摩耗および焼付きを防止する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、切削工具等のツ
ールを回転させつつ軸方向に微小振動させるようにした
回転振動装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】研削加工、ホーニング加工、リーマ加工
等の加工において、機械主軸の回転をツールに伝えると
共に、そのツールを軸方向に微小振動させるようにした
回転振動装置として、実開平7−27734号公報、特
開平10−505号公報、および特開2000−598
3号公報に記載されたものが従来から知られている。
【0003】上記各公報に記載された回転振動装置は、
ツールの回転中に、そのツールをカム機構によって微小
振動させるため、ワークをきわめて能率よく加工するこ
とができると共に切り粉が分断されるため、切り粉の排
出が容易であるという特徴を有する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記公報に
記載された回転振動装置においては、ツールを支持する
出力軸を入力軸等の部材によってメタルタッチの接触に
より軸方向に摺動自在に支持する構成であるため、出力
軸の摺動部の抵抗が大きい。このため、出力軸が軸方向
に微小振動することにより、出力軸の摺動部で摩耗が生
じ、あるいは焼付きが生じるという不都合がある。ま
た、出力軸の摺動部に、その出力軸の微小振動を可能と
する隙間を設ける必要があるため、出力軸の回転精度が
悪く、前記摺動部の摩耗によってその回転精度がさらに
悪化するという不都合もある。
【0005】この発明の課題は、ツールを支持する出力
軸の軸方向の微小振動に伴う摩耗や焼付きを少なくし、
出力軸を軸方向にきわめて円滑に微小振動させることが
できるようにした回転振動装置を提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、この発明においては、支持筒内に設けられた機械
主軸によって回転駆動され、先端部にツールが取付けら
れる出力軸をスライド軸受によって軸方向に移動自在に
支持し、その出力軸にカム面を一側に有するリング状の
カムプレートを固定し、そのカムプレートのカム面に対
向配置したリング状のカムフォロア台を前記支持筒に回
り止めされたハウジング内に組み込んで軸方向に非可動
に支持し、そのカムフォロア台に支持されたピンをカム
フォロア台の周方向に等間隔に設け、各ピンによってカ
ムフォロアを回転自在に支持し、そのカムフォロア台に
カムプレートのカム面を押し付ける弾性部材を設けた構
成を採用したのである。
【0007】上記のように、ツールが取り付けられる出
力軸をスライド軸受によって支持することにより、出力
軸の微小振動に伴う摩耗や焼付きを少なくし、前記出力
軸を軸方向にきわめて円滑に微小振動させることができ
る。
【0008】ここで、スライド軸受として、出力軸を回
転自在に、かつ軸方向に非可動に支持する軸受内筒と、
前記ハウジングに回り止めされた軸受外筒と、その両筒
間に組み込まれ、軸方向に並ぶ複数のポケットを周方向
に間隔をおいて形成した保持器と、その保持器の各ポケ
ット内に組み込まれた転動体とから成るものを採用する
ことにより、出力軸の軸方向の移動時に転動体が転がり
移動するため、出力軸をより円滑に微小振動させること
ができる。
【0009】この発明に係る回転振動装置において、カ
ムプレートのカム面をカムプレートの後面側に設ける
と、そのカム面に対向配置されたカムフォロア台のカム
フォロアによって切削等の加工時に出力軸に付与される
軸方向の負荷を受けることができるため、きわめて大き
な負荷を受けることができる。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基づいて説明する。図1は、回転振動装置としてス
ピンドルユニットを示す。このスピンドルユニットは、
ハウジング1を有する。ハウジング1は円筒状をなし、
外周にはフランジ2が設けられている。上記フランジ2
は機械主軸Aを支持する支持筒Bの先端面に衝合され、
複数のボルト3の締付けによって支持筒Bに固定されて
いる。
【0011】前記ハウジング1の先端にはフロントカバ
ー4が取付けられ、後端にはボトムカバー5が取付けら
れている。また、ハウジング1の内周には内向きフラン
ジ6が設けられている。
【0012】前記ハウジング1の内部には、前記フロン
トカバー4と内向きフランジ6間にスライド軸受7が組
み込まれている。スライド軸受7は軸受外筒7aと、軸
受内筒7bと、その両筒7a、7b間に組み込まれた円
筒状の保持器7cとを有し、前記保持器7cに軸方向に
間隔をおいて並ぶ複数のポケット7dを周方向に間隔を
おいて形成し、各ポケット7d内にボールから成る転動
体7eを組み込んでいる。また、軸受外筒7aの両端部
内周に一対の止め輪7fを取り付けて保持器7cの軸方
向の移動量を制限している。
【0013】ここで、転動体7eの外径は軸受外筒7a
と軸受内筒7b間に形成された間隔より大きく、各転動
体7eに予圧が付与されている。
【0014】上記スライド軸受7は、軸受外筒7aをハ
ウジング1の内周に圧入して、軸受内筒7bを軸方向に
移動自在とし、その軸受内筒7bの後端部に設けられた
回り止めピン8を内向きフランジ6に形成されたピン孔
9に係合して軸受内筒7bを回り止めしている。
【0015】スライド軸受7における軸受内筒7bの内
側には、一対の軸受10と、その軸受10間の間隔を一
定に保持する間座11とが組み込まれ、前記一対の軸受
10によって出力軸12が支持されている。
【0016】出力軸12は上記一対の軸受10によって
軸受内筒7bに対して回転自在とされ、軸方向には軸受
内筒7bと共に移動するようになっている。
【0017】出力軸12と軸受内筒7bを一体に移動さ
せるため、ここでは、軸受内筒7bの後端部内周にフラ
ンジ13を設け、かつ、先端部内周に雌ねじ14を形成
し、その雌ねじ14にねじ係合した押圧リング15の締
付けによって前記フランジ13に後端側の軸受10を押
し付けている。また、出力軸12の先端部外周に肩部1
6を設け、かつ後端部外周に雄ねじ17を形成し、その
雄ねじ17にねじ係合したナット18の締付けにより、
先端側の軸受10を肩部16に押し付けている。
【0018】前記出力軸12の先端部は前記フロントカ
バー4を貫通し、外部に臨む先端部にツールTを着脱自
在に保持するコレットチャック19が取り付けられてい
る。コレットチャック19は、図では詳細に示されてい
ないが、出力軸12の先端部外周に形成された雄ねじ2
0に締付ナット21をねじ係合し、その締付ナット21
の締付けによって出力軸12のテーパ孔22に挿入され
たコレット23を軸方向に押圧して、コレット23を縮
径させ、その縮径されるコレット23でツールTのシャ
ンクSを挟持するようにしている。
【0019】また、出力軸12の後端部は、ボトムカバ
ー5をスライド自在に貫通し、外部に臨む後端部に角軸
部24が設けられている。角軸部24は機械主軸Aの先
端面に設けられた角孔a内にスライド自在に挿入され、
前記角軸部24と角孔aの係合によって機械主軸Aの回
転が出力軸12に伝えられるようになっている。
【0020】図2に示すように、出力軸12には、ハウ
ジング1の内向きフランジ6とボトムカバー5間に位置
する部分にカラー25とリング状のカムプレート26と
が嵌合されている。カムプレート26はキー27により
出力軸12に回り止めされて出力軸12と共に回転する
ようになっている。また、カムプレート26は出力軸1
2の雄ねじ17にねじ係合したナット28の締付けによ
りカラー25に押し付けられて軸方向に非可動とされて
いる。
【0021】カムプレート26の前面にはカム面29が
形成されている。カム面29は図5に示すように、山2
9aと谷29bとが周方向に交互に並ぶ波状をなしてい
る。
【0022】ここで、山29aの頂きと谷29bの底間
の高さhは、切削あるいは研削に応じて適宜に決定す
る。
【0023】図2に示すように、カムプレート26のカ
ム面29側にはリング状のカムフォロア台30が設けら
れている。このカムフォロア台30は図1に示すボルト
31の締付けによってハウジング1の内向きフランジ6
に固定されている。
【0024】図2および図3に示すように、カムフォロ
ア台30には前記カムプレート26と対向する面に3つ
の収容凹部32が周方向に120°の間隔をおいて形成
され、各収容凹部32の外壁部と内壁部によってピン3
3の両端部が支持され、各ピン33を中心にして転がり
軸受から成るカムフォロア34が回転自在に支持されて
いる。
【0025】また、カムプレート26の背面側には、そ
のカムプレート26を回転自在に支持するスラスト軸受
35と、一対のワッシャ36とが組み込まれている。ま
た、一対のワッシャ36間に皿ばねから成る弾性部材3
7が組み込まれ、その弾性部材37によってカムプレー
ト26が複数のカムフォロア34に押し付けられてい
る。
【0026】いま、機械主軸Aを回転すると、その回転
は出力軸12に伝達される。その出力軸12の回転時、
カムプレート26も同時に回転し、カム面29はカムフ
ォロア34の外周に接触する状態で回転するため、出力
軸12は回転しつつ軸方向に微小振動する。
【0027】このため、出力軸12の先端部のコレット
チャック19によってツールTのシャンクSを挟持をし
ておくことにより、ツールTは回転しつつ軸方向に微小
振動し、前記ツールTが切削用ツールの場合に、そのツ
ールTによってワークをきわめて能率よく切削すること
ができると共に、研削用ツールの場合に、そのツールT
によってワークを能率よく研削することができる。
【0028】ここで、出力軸12はスライド軸受7によ
って支持されているため、出力軸12が軸方向に微小振
動すると、その出力軸12と共に軸受内筒7bも軸方向
に微小振動する。このとき、転動体7eは転がり移動す
るため、出力軸12の移動抵抗はきわめて小さい。この
ため、出力軸12はきわめて円滑に軸方向に微小振動す
ると共に、その微小振動に伴う摩耗や焼付きを防止する
ことができる。また、微小振動が円滑なため、長期にわ
たって安定した高精度な回転を得ることができる。
【0029】図6乃至図8は、この発明に係る回転振動
装置の他の例を示す。この例では、回転振動装置として
ツールホルダが示されている。ツールホルダは入力軸4
0を有する。入力軸40は、機械主軸Aに設けられたテ
ーパ状のシャンク挿入孔bに挿入されるテーパシャンク
部41の大径端部にフランジ42を設け、そのフランジ
42の端面に支持軸43を設けている。
【0030】前記フランジ42にはキー溝44が形成さ
れ、そのキー溝44と機械主軸Aの先端面に設けられた
ドライブキーCの係合によって機械主軸Aの回転が入力
軸40に伝達される。
【0031】入力軸40における支持軸43の外周には
複数の軸受45が取付けられ、その軸受45によって円
筒状のハウジング46が入力軸40に対して相対的に回
転自在に支持されている。
【0032】ハウジング46の外周にはブラケット47
が設けられている。ブラケット47の先端部には位置決
めピン48が軸方向に移動自在に支持され、図示省略し
たスプリングによって外方向への突出性が付与されてい
る。
【0033】上記位置決めピン48は機械の支持筒B端
面に固定されて位置決めブロックEの回り止め溝fに係
合可能とされ、上記回り止め溝fと位置決めピン48の
係合によってハウジング46は回り止めされる。
【0034】前記入力軸40には支持軸43の先端面で
開口する軸方向の挿入孔49が設けられ、その挿入孔4
9に出力軸50の後端部が挿入される。
【0035】出力軸50は、その後端部外周と挿入孔4
9の内周間に組み込まれたスライド軸受51によって軸
方向に移動自在に支持されている。スライド軸受51
は、図7に示すように、円筒状の保持器51aに軸方向
に間隔をおいて並ぶ複数のポケット51bを周方向に間
隔をおいて形成し、各ポケット51b内にボールから成
る転動体51cを組み込んでいる。転動体51cの外径
は出力軸50の後端部外周と挿入孔49の内周間に形成
された間隔より小さく、前記挿入孔49への組込みにお
いて転動体51cに予圧が付与されている。
【0036】図6に示すように、出力軸50は筒状をな
し、その内部に挿入された抜け止めシャフト52は両端
に大径部53a、53bを有し、後端の大径部53aは
前記挿入孔49の後端部内周に設けられた突出部54に
対して当接可能とされている。また、先端の大径部53
bは、出力軸50の内部に組み込まれたスプリングから
成る弾性部材55の一端を支持している。弾性部材55
の他端は出力軸50の後端部内周に設けられたフランジ
56によって支持され、上記弾性部材55の弾力によっ
て出力軸50が機械主軸A側に向けて押圧されている。
【0037】出力軸50の先端部にはツールTのシャン
クSを挟持するコレットチャック19が設けられてい
る。ここで、コレットチャック19は図1に示す回転挟
持装置のコレットチャック19と同じであるため、同一
部品に同一の符号を付して説明を省略する。
【0038】前記出力軸50にはコレットチャック19
より後端側の位置にフランジ57が設けられ、そのフラ
ンジ57の背面側にリング状のカムプレート58が設け
られている。
【0039】図7に示すように、カムプレート58はボ
ルト59の締付けによってフランジ57に固定されてい
る。このカムプレート58の内周の内周対向位置には一
対の突出部60が設けられ、各突出部60は入力軸40
の先端面に形成された係合溝61にスライド自在に挿入
されて上記係合溝61と周方向に係合し、その係合部に
おいて、入力軸40の回転が出力軸50に伝達される。
【0040】なお、カムプレート58の内周に係合溝を
形成し、入力軸40の先端面に上記係合溝に挿入される
突出部を設けるようにしてもよい。
【0041】前記カムプレート58の背面には図5に示
すカム面29と同様のカム面62が設けられている。こ
のカム面62に対向配置されたリング状のカムフォロア
台63が前記ハウジング46内に収容されている。
【0042】カムフォロア台63は外周に雄ねじ64を
有し、この雄ねじ64とハウジング46の内周に設けら
れた雌ねじ65のねじ係合によってカムフォロア台63
は軸方向に非可動とされている。
【0043】ここで、ハウジング46の雌ねじ65に対
するカムフォロア台63のねじ込みを可能とするため、
ハウジング46を前部ハウジング46aと後部ハウジン
グ46bとに分割し、その前部ハウジング46aの内周
と後部ハウジング46bの内周にそれぞれ雌ねじ65を
設けている。
【0044】カムフォロア台63には、カム面62と対
向する前面に3つの収容凹部66が周方向に120°の
間隔をおいて形成され、各収容凹部66の外壁部と内壁
部でピン67の両端部が支持され、そのピン67を中心
として転がり軸受から成るカムフォロア68が回転自在
に支持されている。
【0045】カムプレート58のカム面62は、前記出
力軸50を押圧する弾性部材55の弾力によりカムフォ
ロア68の外周に押し付けられている。
【0046】いま、出力軸50の先端部に設けられたコ
レットチャック19によってツールTのシャンクSを挟
持し、そのツールTのセット状態で機械主軸Aを回転す
ると、その回転はドライブキーCとキー溝44の係合部
から入力軸40に伝達される。
【0047】また、入力軸40の回転は、その先端面に
設けられた係合溝61と突出部60の係合部からカムプ
レート58を介して出力軸50に伝達され、出力軸50
の先端にセットされたツールTが回転する。
【0048】出力軸50の回転時、カムプレート58の
カム面62はカムフォロア68と接触する状態で回転す
るため、出力軸50は回転しつつ軸方向に微小振動し、
ツールTも出力軸50と同様に、回転しつつ軸方向に微
小振動する。
【0049】このため、前記ツールTによってワークを
きわめて能率よく加工することができる。
【0050】ここで、出力軸50はスライド軸受51に
よって支持されているため、出力軸50が軸方向に微小
振動すると、スライド軸受51の転動体51cが転がり
移動する。このため、出力軸50は軸方向にきわめて円
滑に微小振動し、その微小振動に伴う摩耗や焼付きを防
止することができる。また、微小振動が円滑なため、長
期にわたって安定した高精度な回転を得ることができ
る。
【0051】また、カムプレート58の背面側にカムフ
ォロア台63を設け、そのカムフォロア台63に支持さ
れた複数のカムフォロア68で支持すると、ワーク加工
時に、出力軸50に付与される軸方向の負荷を複数のカ
ムフォロア68で支持することができる。
【0052】このとき、カムフォロア68は両端部が支
持されたピン67によって回転自在に支持されているた
め、片持ち支持されたピンでカムフォロア68を支持す
る場合に比較してカムフォロア68の支持剛性は高い。
その支持剛性の高い複数のカムフォロア68によって出
力軸50に付与される負荷を支持するため、比較的大き
な負荷を受けることができる。
【0053】実施の形態で示すように、カムフォロア6
8として転がり軸受を採用することにより、カムプレー
ト58の回転抵抗の軽減化を図り、出力軸50を円滑に
回転させることができると共に、ピン67とカムフォロ
ア68の接触部の摩耗を防止し、高速回転および長寿命
化を可能とすることができる。
【0054】
【発明の効果】以上のように、この発明においては、ス
ライド軸受によって出力軸を軸方向に移動自在に支持し
たことにより、出力軸の軸方向への微小振動に伴う摩耗
および焼付きを防止し、出力軸をきわめて円滑に軸方向
に移動させることができると共に、長期にわたって高精
度な回転を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明に係る回転振動装置の実施の形態を示
す縦断正面図
【図2】図1のカムプレートの取付け部を拡大して示す
断面図
【図3】図1のIII −III 線に沿った断面図
【図4】図1のIV−IV線に沿った断面図
【図5】図1に示すカムプレートの展開図
【図6】この発明に係る回転振動装置の他の実施の形態
を示す縦断正面図
【図7】図6に示す回転振動装置のカムプレートの取付
け部を拡大して示す断面図
【図8】図6のVIII−VIII線に沿った断面図
【符号の説明】
1 ハウジング 7 スライド軸受 7a 軸受外筒 7b 軸受内筒 7c 保持器 7d ポケット 7e 転動体 12 出力軸 26 カムプレート 29 カム面 30 カムフォロア台 33 ピン 34 カムフォロア 46 ハウジング 50 出力軸 51 スライド軸受 58 カムプレート 62 カム面 63 カムフォロア台 67 ピン 68 カムフォロア

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 支持筒内に設けられた機械主軸によって
    回転駆動され、先端部にツールが取付けられる出力軸を
    スライド軸受によって軸方向に移動自在に支持し、その
    出力軸にカム面を一側に有するリング状のカムプレート
    を固定し、そのカムプレートのカム面に対向配置したリ
    ング状のカムフォロア台を前記支持筒に回り止めされた
    ハウジング内に組み込んで軸方向に非可動に支持し、そ
    のカムフォロア台に支持されたピンをカムフォロア台の
    周方向に等間隔に設け、各ピンによってカムフォロアを
    回転自在に支持し、そのカムフォロアに前記カムプレー
    トのカム面を押し付ける弾性部材を設けた回転振動装
    置。
  2. 【請求項2】 前記スライド軸受が、出力軸を回転自在
    に、かつ軸方向に非可動に支持する軸受内筒と、前記ハ
    ウジングに回り止めされた軸受外筒と、その両筒間に組
    み込まれ、軸方向に並ぶ複数のポケットを周方向に間隔
    をおいて形成した保持器と、その保持器の各ポケット内
    に組み込まれた転動体とから成る請求項1に記載の回転
    振動装置。
  3. 【請求項3】 前記カムプレートのカム面をカムプレー
    トの後面側に設けた請求項1に記載の回転振動装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017140688A (ja) * 2016-02-12 2017-08-17 エヌティーツール株式会社 スマートツールホルダ
CN110480068A (zh) * 2019-07-30 2019-11-22 西安理工大学 低频轴向振动钻削刀柄

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017140688A (ja) * 2016-02-12 2017-08-17 エヌティーツール株式会社 スマートツールホルダ
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