JP2001339112A - レーザ発振器 - Google Patents
レーザ発振器Info
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- JP2001339112A JP2001339112A JP2000160836A JP2000160836A JP2001339112A JP 2001339112 A JP2001339112 A JP 2001339112A JP 2000160836 A JP2000160836 A JP 2000160836A JP 2000160836 A JP2000160836 A JP 2000160836A JP 2001339112 A JP2001339112 A JP 2001339112A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 光学素子の焼損を検出する。
【解決手段】 レーザ共振器１３から出力されるレーザ
光１３ａを反射ミラー１４を介して出力するレーザ発振
器において、反射ミラー１４の裏側に金属体１８を配置
して、金属体１８の温度を温度検出手段２０で検出し、
検出された温度が所定の値を超えたときにレーザ共振器
１３の出力を停止させるようにしたものである。
光１３ａを反射ミラー１４を介して出力するレーザ発振
器において、反射ミラー１４の裏側に金属体１８を配置
して、金属体１８の温度を温度検出手段２０で検出し、
検出された温度が所定の値を超えたときにレーザ共振器
１３の出力を停止させるようにしたものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、被加工物の加工
に利用されるレーザ光を出力するレーザ発振器に関する
ものである。
に利用されるレーザ光を出力するレーザ発振器に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】図４は、例えば特開平５−１３８５７号
公報に記載された従来のレーザ発振器の構成図である。
図４において、レーザ共振器１からレーザ光１ａが出力
される。このレーザ光１ａはレーザ媒質２に励起ランプ
３から励起光が投入されることにより発生し、全半反射
鏡４と半透過鏡５との間で反射が繰り返されて増幅が行
われたものである。そしてレーザ光１ａはビームスプリ
ッタ６で一部が分岐されて集光レンズ７により集光され
る。さらに、集光されたレーザ光１ａは、光ファイバー
８で伝送される。
公報に記載された従来のレーザ発振器の構成図である。
図４において、レーザ共振器１からレーザ光１ａが出力
される。このレーザ光１ａはレーザ媒質２に励起ランプ
３から励起光が投入されることにより発生し、全半反射
鏡４と半透過鏡５との間で反射が繰り返されて増幅が行
われたものである。そしてレーザ光１ａはビームスプリ
ッタ６で一部が分岐されて集光レンズ７により集光され
る。さらに、集光されたレーザ光１ａは、光ファイバー
８で伝送される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来のレーザ発振器は
以上のように構成されているので、全反射鏡５，半透過
鏡６等の光学素子の焼損を監視していないため、光学素
子の焼損が発生しても検出が困難であるという問題点が
あった。この発明は、以上のような問題点を解消するた
めになされたもので、光学素子の焼損を検出することが
できるレーザ発振器を提供することを目的としたもので
ある。
以上のように構成されているので、全反射鏡５，半透過
鏡６等の光学素子の焼損を監視していないため、光学素
子の焼損が発生しても検出が困難であるという問題点が
あった。この発明は、以上のような問題点を解消するた
めになされたもので、光学素子の焼損を検出することが
できるレーザ発振器を提供することを目的としたもので
ある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この発明に係わるレーザ
発振器は、レーザ共振器から出力されるレーザ光を反射
ミラーを介して出力するレーザ発振器において、反射ミ
ラーの裏側に金属体を配置して、金属体の温度を温度検
出手段で検出し、検出された温度が所定の値を超えたと
きにレーザ共振器の出力を停止させるようにしたもので
ある。さらに、レーザ共振器から出力されるレーザ光を
光学素子を介して出力するレーザ発振器において、光学
素子に相対するように光量検出素子を配置して、光学素
子の破損時に光学素子から散乱するレーザ光の反射光量
を光量検出素子で検出し、検出された反射光量が所定の
値を超えたときにレーザ共振器の出力を停止させるよう
にしたものである。
発振器は、レーザ共振器から出力されるレーザ光を反射
ミラーを介して出力するレーザ発振器において、反射ミ
ラーの裏側に金属体を配置して、金属体の温度を温度検
出手段で検出し、検出された温度が所定の値を超えたと
きにレーザ共振器の出力を停止させるようにしたもので
ある。さらに、レーザ共振器から出力されるレーザ光を
光学素子を介して出力するレーザ発振器において、光学
素子に相対するように光量検出素子を配置して、光学素
子の破損時に光学素子から散乱するレーザ光の反射光量
を光量検出素子で検出し、検出された反射光量が所定の
値を超えたときにレーザ共振器の出力を停止させるよう
にしたものである。
【０００５】
【発明の実施の形態】実施の形態１．図１は実施の形態
１の構成図、図２は図１の要部を示す断面図である。図
１及び図２において、９はレーザ媒質、１０はレーザ媒
質９の近傍に配置された励起ランプで、レーザ媒質９に
励起光を投入する。１１はレーザ媒質９の一端側に配置
された全反射鏡、１２はレーザ媒質９の他端側に配置さ
れた半透過鏡である。１３は９〜１２で構成されたレー
ザ共振器で、増幅されたレーザ光１３ａを出力する。１
４はレーザ光１３ａの方向を変える反射ミラーで、レー
ザ光１３ａを後述の集光レンズ１５へ伝送する。１５は
集光レンズで、反射ミラー１４により伝送されたレーザ
光１３ａ集光する。１６は光ファイバーで、コネクタ１
７を介して受光したレーザ光１３ａを伝送する。１８は
金属体で、反射ミラー１４の裏側に保持部材１９を介し
て配置されている。２０は金属体１８の温度を検出する
熱電対の温度検出手段で、金属体１８に埋設されてい
る。２１はコントローラで、温度検出手段２０により検
出された金属体１８の温度が所定の値を超えたとき、レ
ーザ共振器１３の出力を停止させる。
１の構成図、図２は図１の要部を示す断面図である。図
１及び図２において、９はレーザ媒質、１０はレーザ媒
質９の近傍に配置された励起ランプで、レーザ媒質９に
励起光を投入する。１１はレーザ媒質９の一端側に配置
された全反射鏡、１２はレーザ媒質９の他端側に配置さ
れた半透過鏡である。１３は９〜１２で構成されたレー
ザ共振器で、増幅されたレーザ光１３ａを出力する。１
４はレーザ光１３ａの方向を変える反射ミラーで、レー
ザ光１３ａを後述の集光レンズ１５へ伝送する。１５は
集光レンズで、反射ミラー１４により伝送されたレーザ
光１３ａ集光する。１６は光ファイバーで、コネクタ１
７を介して受光したレーザ光１３ａを伝送する。１８は
金属体で、反射ミラー１４の裏側に保持部材１９を介し
て配置されている。２０は金属体１８の温度を検出する
熱電対の温度検出手段で、金属体１８に埋設されてい
る。２１はコントローラで、温度検出手段２０により検
出された金属体１８の温度が所定の値を超えたとき、レ
ーザ共振器１３の出力を停止させる。
【０００６】次に動作について説明する。図１及び図２
において、レーザ光１３ａはレーザ媒質９に励起ランプ
１０から励起光が投入されることにより発生し、全反射
鏡１１と半透過鏡１２との間で反射が繰り返されて増幅
が行われたものである。このようにしてレーザ共振器１
３から出力されたレーザ光１３ａは、反射ミラー１４で
所定の出力口（図示せず）の方向へ向きが変えられる。
さらに、集光レンズ１５で集光されたレーザ光１３ａは
コネクタ１７を介して光ファイバー１６へ導かれて伝送
される。この場合、反射ミラー１４が正常な状態であれ
ばレーザ光１３ａは反射ミラー１４で全反射されるの
で、金属体１８の温度上昇は殆どない。しかし、反射ミ
ラー１４が破損している場合、レーザー光１３ａが反射
ミラー１４の表面で散乱反射すると共に、反射ミラー１
４を透過したレーザ光１３ａが金属体１８に到達するの
で、金属体１８が急激に温度上昇する。この金属体１８
の温度上昇を温度検出手段２０が検出し、検出された温
度が予め設定された所定の値を超えたとき、コントロー
ラ２１がレーザ共振器１３にレーザ光１３ａの出力を停
止させる。以上のように、反射ミラー１４の裏側に金属
体１８を配置して、金属体１８の温度を温度検出手段２
０で検出し、検出された温度が所定の値を超えたときに
レーザ発振器１３の出力を停止させることにより、事故
の拡大を未然に防止すると共に反射ミラー１４の破損を
容易に検出することができる。
において、レーザ光１３ａはレーザ媒質９に励起ランプ
１０から励起光が投入されることにより発生し、全反射
鏡１１と半透過鏡１２との間で反射が繰り返されて増幅
が行われたものである。このようにしてレーザ共振器１
３から出力されたレーザ光１３ａは、反射ミラー１４で
所定の出力口（図示せず）の方向へ向きが変えられる。
さらに、集光レンズ１５で集光されたレーザ光１３ａは
コネクタ１７を介して光ファイバー１６へ導かれて伝送
される。この場合、反射ミラー１４が正常な状態であれ
ばレーザ光１３ａは反射ミラー１４で全反射されるの
で、金属体１８の温度上昇は殆どない。しかし、反射ミ
ラー１４が破損している場合、レーザー光１３ａが反射
ミラー１４の表面で散乱反射すると共に、反射ミラー１
４を透過したレーザ光１３ａが金属体１８に到達するの
で、金属体１８が急激に温度上昇する。この金属体１８
の温度上昇を温度検出手段２０が検出し、検出された温
度が予め設定された所定の値を超えたとき、コントロー
ラ２１がレーザ共振器１３にレーザ光１３ａの出力を停
止させる。以上のように、反射ミラー１４の裏側に金属
体１８を配置して、金属体１８の温度を温度検出手段２
０で検出し、検出された温度が所定の値を超えたときに
レーザ発振器１３の出力を停止させることにより、事故
の拡大を未然に防止すると共に反射ミラー１４の破損を
容易に検出することができる。
【０００７】実施の形態２．図３は実施の形態２の構成
図である。図３において、９〜１７は実施の形態１のも
のと同様のものである。２２，２３は反射ミラー１４，
集光レンズ１５等の光学素子に相対して配置された光量
検出素子で、フォトダイオードや赤外線検出素子等によ
り各光学素子から散乱反射したレーザ光１３ａの反射光
量を検出する。２４は各光量検出素子２２，２３からの
検出信号を演算するコントローラで、検出信号が所定の
値を超えたとき、レーザ共振器１３の出力を停止させ
る。次に動作について説明する。図３において、レーザ
共振器１３からレーザ光１３ａが出力されて、レーザ光
１３ａが光ファイバー１６へ導かれるまでは実施の形態
１と同様である。
図である。図３において、９〜１７は実施の形態１のも
のと同様のものである。２２，２３は反射ミラー１４，
集光レンズ１５等の光学素子に相対して配置された光量
検出素子で、フォトダイオードや赤外線検出素子等によ
り各光学素子から散乱反射したレーザ光１３ａの反射光
量を検出する。２４は各光量検出素子２２，２３からの
検出信号を演算するコントローラで、検出信号が所定の
値を超えたとき、レーザ共振器１３の出力を停止させ
る。次に動作について説明する。図３において、レーザ
共振器１３からレーザ光１３ａが出力されて、レーザ光
１３ａが光ファイバー１６へ導かれるまでは実施の形態
１と同様である。
【０００８】ここで、反射ミラー１４，集光レンズ１５
等の光学素子に焼損等の異常が発生すると表面で高い光
量の散乱反射が発生する。この散乱反射による光量を各
光量検出素子２２，２３が検出する。そして、光量検出
素子２２，２３で検出された反射光量が所定の値を超え
たとき、コントローラ２４がレーザ共振器１３のレーザ
光１３ａの出力を停止させる。以上のように、反射ミラ
ー１４や集光レンズ１５等の光学素子に相対するように
光量検出素子２２，２３を配置して、光学素子の破損時
に光学素子から散乱するレーザ光１３ａの反射光量を光
量検出素子２２，２３で検出し、検出された反射光量が
所定の値を超えたときにレーザ発振器１３の出力を停止
させることにより、事故の拡大を未然に防止すると共に
光学素子の破損を容易に検出することができる。上記実
施の形態１及び実施の形態２は、ＹＡＧレーザ、ＣＯ2
レーザ等に適用して同様の効果を期待することができ
る。
等の光学素子に焼損等の異常が発生すると表面で高い光
量の散乱反射が発生する。この散乱反射による光量を各
光量検出素子２２，２３が検出する。そして、光量検出
素子２２，２３で検出された反射光量が所定の値を超え
たとき、コントローラ２４がレーザ共振器１３のレーザ
光１３ａの出力を停止させる。以上のように、反射ミラ
ー１４や集光レンズ１５等の光学素子に相対するように
光量検出素子２２，２３を配置して、光学素子の破損時
に光学素子から散乱するレーザ光１３ａの反射光量を光
量検出素子２２，２３で検出し、検出された反射光量が
所定の値を超えたときにレーザ発振器１３の出力を停止
させることにより、事故の拡大を未然に防止すると共に
光学素子の破損を容易に検出することができる。上記実
施の形態１及び実施の形態２は、ＹＡＧレーザ、ＣＯ2
レーザ等に適用して同様の効果を期待することができ
る。
【０００９】
【発明の効果】この発明によれば、反射ミラーの裏側に
金属体を配置して、金属体の温度を温度検出手段で検出
し、検出された温度が所定の値を超えたときにレーザ発
振器の出力を停止させることにより、事故の拡大を未然
に防止すると共に反射ミラーの破損を容易に検出するこ
とができる。さらに、光学素子に相対するように光量検
出素子を配置して、光学素子の破損時に光学素子から散
乱するレーザ光の反射光量を光量検出素子で検出し、検
出された反射光量が所定の値を超えたときにレーザ発振
器の出力を停止させることにより、事故の拡大を未然に
防止すると共に、反射ミラーや集光レンズ等の光学素子
の破損を容易に検出することができる。
金属体を配置して、金属体の温度を温度検出手段で検出
し、検出された温度が所定の値を超えたときにレーザ発
振器の出力を停止させることにより、事故の拡大を未然
に防止すると共に反射ミラーの破損を容易に検出するこ
とができる。さらに、光学素子に相対するように光量検
出素子を配置して、光学素子の破損時に光学素子から散
乱するレーザ光の反射光量を光量検出素子で検出し、検
出された反射光量が所定の値を超えたときにレーザ発振
器の出力を停止させることにより、事故の拡大を未然に
防止すると共に、反射ミラーや集光レンズ等の光学素子
の破損を容易に検出することができる。
【図１】 この発明の実施の形態１の構成図である。
【図２】 図１の要部を示す断面図である。
【図３】 この発明の実施の形態２の構成図である。
【図４】 従来のレーザ発振器の構成図である。
１３ レーザ共振器、１４ 反射ミラー、１８ 金属
体、２０ 温度検出手段、２２，２３ 光量検出素子。
体、２０ 温度検出手段、２２，２３ 光量検出素子。
フロントページの続き (72)発明者 高田 清志 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 Ｆターム(参考） 5F072 AB01 HH02 JJ11 KK15 MM04 PP01 YY06
Claims (2)
- 【請求項１】 レーザ共振器から出力されるレーザ光を
反射ミラーを介して出力するレーザ発振器において、上
記反射ミラーの裏側に金属体を配置して、上記金属体の
温度を温度検出手段で検出し、検出された温度が所定の
値を超えたときに上記レーザ共振器の出力を停止させる
ようにしたことを特徴とするレーザ発振器。 - 【請求項２】 レーザ共振器から出力されるレーザ光を
光学素子を介して出力するレーザ発振器において、上記
光学素子に相対するように光量検出素子を配置して、上
記光学素子の破損時に上記光学素子から散乱する上記レ
ーザ光の反射光量を上記光量検出素子で検出し、検出さ
れた反射光量が所定の値を超えたときに上記レーザ共振
器の出力を停止させるようにしたことを特徴とするレー
ザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000160836A JP2001339112A (ja) | 2000-05-30 | 2000-05-30 | レーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000160836A JP2001339112A (ja) | 2000-05-30 | 2000-05-30 | レーザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001339112A true JP2001339112A (ja) | 2001-12-07 |
Family
ID=18664965
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000160836A Pending JP2001339112A (ja) | 2000-05-30 | 2000-05-30 | レーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001339112A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007093825A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Advanced Mask Inspection Technology Kk | レーザ光源運用方法 |
| JP2007103563A (ja) * | 2005-10-03 | 2007-04-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ装置 |
| JP2009169444A (ja) * | 2009-05-07 | 2009-07-30 | Advanced Mask Inspection Technology Kk | レーザ光源運用方法 |
| WO2018105344A1 (ja) * | 2016-12-06 | 2018-06-14 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | レーザ装置 |
-
2000
- 2000-05-30 JP JP2000160836A patent/JP2001339112A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007093825A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Advanced Mask Inspection Technology Kk | レーザ光源運用方法 |
| JP4532378B2 (ja) * | 2005-09-28 | 2010-08-25 | アドバンスド・マスク・インスペクション・テクノロジー株式会社 | レーザ光源運用方法 |
| JP2007103563A (ja) * | 2005-10-03 | 2007-04-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ装置 |
| JP2009169444A (ja) * | 2009-05-07 | 2009-07-30 | Advanced Mask Inspection Technology Kk | レーザ光源運用方法 |
| JP4608663B2 (ja) * | 2009-05-07 | 2011-01-12 | 株式会社東芝 | レーザ光源運用方法 |
| WO2018105344A1 (ja) * | 2016-12-06 | 2018-06-14 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | レーザ装置 |
| CN110168820A (zh) * | 2016-12-06 | 2019-08-23 | 松下知识产权经营株式会社 | 激光装置 |
| JPWO2018105344A1 (ja) * | 2016-12-06 | 2019-10-24 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | レーザ装置 |
| CN110168820B (zh) * | 2016-12-06 | 2021-04-27 | 松下知识产权经营株式会社 | 激光装置 |
| US11060905B2 (en) | 2016-12-06 | 2021-07-13 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Laser device |
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