JP2001339112A - レーザ発振器 - Google Patents
レーザ発振器Info
- Publication number
- JP2001339112A JP2001339112A JP2000160836A JP2000160836A JP2001339112A JP 2001339112 A JP2001339112 A JP 2001339112A JP 2000160836 A JP2000160836 A JP 2000160836A JP 2000160836 A JP2000160836 A JP 2000160836A JP 2001339112 A JP2001339112 A JP 2001339112A
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- optical element
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 光学素子の焼損を検出する。
【解決手段】 レーザ共振器13から出力されるレーザ
光13aを反射ミラー14を介して出力するレーザ発振
器において、反射ミラー14の裏側に金属体18を配置
して、金属体18の温度を温度検出手段20で検出し、
検出された温度が所定の値を超えたときにレーザ共振器
13の出力を停止させるようにしたものである。
光13aを反射ミラー14を介して出力するレーザ発振
器において、反射ミラー14の裏側に金属体18を配置
して、金属体18の温度を温度検出手段20で検出し、
検出された温度が所定の値を超えたときにレーザ共振器
13の出力を停止させるようにしたものである。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、被加工物の加工
に利用されるレーザ光を出力するレーザ発振器に関する
ものである。
に利用されるレーザ光を出力するレーザ発振器に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】図4は、例えば特開平5−13857号
公報に記載された従来のレーザ発振器の構成図である。
図4において、レーザ共振器1からレーザ光1aが出力
される。このレーザ光1aはレーザ媒質2に励起ランプ
3から励起光が投入されることにより発生し、全半反射
鏡4と半透過鏡5との間で反射が繰り返されて増幅が行
われたものである。そしてレーザ光1aはビームスプリ
ッタ6で一部が分岐されて集光レンズ7により集光され
る。さらに、集光されたレーザ光1aは、光ファイバー
8で伝送される。
公報に記載された従来のレーザ発振器の構成図である。
図4において、レーザ共振器1からレーザ光1aが出力
される。このレーザ光1aはレーザ媒質2に励起ランプ
3から励起光が投入されることにより発生し、全半反射
鏡4と半透過鏡5との間で反射が繰り返されて増幅が行
われたものである。そしてレーザ光1aはビームスプリ
ッタ6で一部が分岐されて集光レンズ7により集光され
る。さらに、集光されたレーザ光1aは、光ファイバー
8で伝送される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従来のレーザ発振器は
以上のように構成されているので、全反射鏡5,半透過
鏡6等の光学素子の焼損を監視していないため、光学素
子の焼損が発生しても検出が困難であるという問題点が
あった。この発明は、以上のような問題点を解消するた
めになされたもので、光学素子の焼損を検出することが
できるレーザ発振器を提供することを目的としたもので
ある。
以上のように構成されているので、全反射鏡5,半透過
鏡6等の光学素子の焼損を監視していないため、光学素
子の焼損が発生しても検出が困難であるという問題点が
あった。この発明は、以上のような問題点を解消するた
めになされたもので、光学素子の焼損を検出することが
できるレーザ発振器を提供することを目的としたもので
ある。
【0004】
【課題を解決するための手段】この発明に係わるレーザ
発振器は、レーザ共振器から出力されるレーザ光を反射
ミラーを介して出力するレーザ発振器において、反射ミ
ラーの裏側に金属体を配置して、金属体の温度を温度検
出手段で検出し、検出された温度が所定の値を超えたと
きにレーザ共振器の出力を停止させるようにしたもので
ある。さらに、レーザ共振器から出力されるレーザ光を
光学素子を介して出力するレーザ発振器において、光学
素子に相対するように光量検出素子を配置して、光学素
子の破損時に光学素子から散乱するレーザ光の反射光量
を光量検出素子で検出し、検出された反射光量が所定の
値を超えたときにレーザ共振器の出力を停止させるよう
にしたものである。
発振器は、レーザ共振器から出力されるレーザ光を反射
ミラーを介して出力するレーザ発振器において、反射ミ
ラーの裏側に金属体を配置して、金属体の温度を温度検
出手段で検出し、検出された温度が所定の値を超えたと
きにレーザ共振器の出力を停止させるようにしたもので
ある。さらに、レーザ共振器から出力されるレーザ光を
光学素子を介して出力するレーザ発振器において、光学
素子に相対するように光量検出素子を配置して、光学素
子の破損時に光学素子から散乱するレーザ光の反射光量
を光量検出素子で検出し、検出された反射光量が所定の
値を超えたときにレーザ共振器の出力を停止させるよう
にしたものである。
【0005】
【発明の実施の形態】実施の形態1.図1は実施の形態
1の構成図、図2は図1の要部を示す断面図である。図
1及び図2において、9はレーザ媒質、10はレーザ媒
質9の近傍に配置された励起ランプで、レーザ媒質9に
励起光を投入する。11はレーザ媒質9の一端側に配置
された全反射鏡、12はレーザ媒質9の他端側に配置さ
れた半透過鏡である。13は9〜12で構成されたレー
ザ共振器で、増幅されたレーザ光13aを出力する。1
4はレーザ光13aの方向を変える反射ミラーで、レー
ザ光13aを後述の集光レンズ15へ伝送する。15は
集光レンズで、反射ミラー14により伝送されたレーザ
光13a集光する。16は光ファイバーで、コネクタ1
7を介して受光したレーザ光13aを伝送する。18は
金属体で、反射ミラー14の裏側に保持部材19を介し
て配置されている。20は金属体18の温度を検出する
熱電対の温度検出手段で、金属体18に埋設されてい
る。21はコントローラで、温度検出手段20により検
出された金属体18の温度が所定の値を超えたとき、レ
ーザ共振器13の出力を停止させる。
1の構成図、図2は図1の要部を示す断面図である。図
1及び図2において、9はレーザ媒質、10はレーザ媒
質9の近傍に配置された励起ランプで、レーザ媒質9に
励起光を投入する。11はレーザ媒質9の一端側に配置
された全反射鏡、12はレーザ媒質9の他端側に配置さ
れた半透過鏡である。13は9〜12で構成されたレー
ザ共振器で、増幅されたレーザ光13aを出力する。1
4はレーザ光13aの方向を変える反射ミラーで、レー
ザ光13aを後述の集光レンズ15へ伝送する。15は
集光レンズで、反射ミラー14により伝送されたレーザ
光13a集光する。16は光ファイバーで、コネクタ1
7を介して受光したレーザ光13aを伝送する。18は
金属体で、反射ミラー14の裏側に保持部材19を介し
て配置されている。20は金属体18の温度を検出する
熱電対の温度検出手段で、金属体18に埋設されてい
る。21はコントローラで、温度検出手段20により検
出された金属体18の温度が所定の値を超えたとき、レ
ーザ共振器13の出力を停止させる。
【0006】次に動作について説明する。図1及び図2
において、レーザ光13aはレーザ媒質9に励起ランプ
10から励起光が投入されることにより発生し、全反射
鏡11と半透過鏡12との間で反射が繰り返されて増幅
が行われたものである。このようにしてレーザ共振器1
3から出力されたレーザ光13aは、反射ミラー14で
所定の出力口(図示せず)の方向へ向きが変えられる。
さらに、集光レンズ15で集光されたレーザ光13aは
コネクタ17を介して光ファイバー16へ導かれて伝送
される。この場合、反射ミラー14が正常な状態であれ
ばレーザ光13aは反射ミラー14で全反射されるの
で、金属体18の温度上昇は殆どない。しかし、反射ミ
ラー14が破損している場合、レーザー光13aが反射
ミラー14の表面で散乱反射すると共に、反射ミラー1
4を透過したレーザ光13aが金属体18に到達するの
で、金属体18が急激に温度上昇する。この金属体18
の温度上昇を温度検出手段20が検出し、検出された温
度が予め設定された所定の値を超えたとき、コントロー
ラ21がレーザ共振器13にレーザ光13aの出力を停
止させる。以上のように、反射ミラー14の裏側に金属
体18を配置して、金属体18の温度を温度検出手段2
0で検出し、検出された温度が所定の値を超えたときに
レーザ発振器13の出力を停止させることにより、事故
の拡大を未然に防止すると共に反射ミラー14の破損を
容易に検出することができる。
において、レーザ光13aはレーザ媒質9に励起ランプ
10から励起光が投入されることにより発生し、全反射
鏡11と半透過鏡12との間で反射が繰り返されて増幅
が行われたものである。このようにしてレーザ共振器1
3から出力されたレーザ光13aは、反射ミラー14で
所定の出力口(図示せず)の方向へ向きが変えられる。
さらに、集光レンズ15で集光されたレーザ光13aは
コネクタ17を介して光ファイバー16へ導かれて伝送
される。この場合、反射ミラー14が正常な状態であれ
ばレーザ光13aは反射ミラー14で全反射されるの
で、金属体18の温度上昇は殆どない。しかし、反射ミ
ラー14が破損している場合、レーザー光13aが反射
ミラー14の表面で散乱反射すると共に、反射ミラー1
4を透過したレーザ光13aが金属体18に到達するの
で、金属体18が急激に温度上昇する。この金属体18
の温度上昇を温度検出手段20が検出し、検出された温
度が予め設定された所定の値を超えたとき、コントロー
ラ21がレーザ共振器13にレーザ光13aの出力を停
止させる。以上のように、反射ミラー14の裏側に金属
体18を配置して、金属体18の温度を温度検出手段2
0で検出し、検出された温度が所定の値を超えたときに
レーザ発振器13の出力を停止させることにより、事故
の拡大を未然に防止すると共に反射ミラー14の破損を
容易に検出することができる。
【0007】実施の形態2.図3は実施の形態2の構成
図である。図3において、9〜17は実施の形態1のも
のと同様のものである。22,23は反射ミラー14,
集光レンズ15等の光学素子に相対して配置された光量
検出素子で、フォトダイオードや赤外線検出素子等によ
り各光学素子から散乱反射したレーザ光13aの反射光
量を検出する。24は各光量検出素子22,23からの
検出信号を演算するコントローラで、検出信号が所定の
値を超えたとき、レーザ共振器13の出力を停止させ
る。次に動作について説明する。図3において、レーザ
共振器13からレーザ光13aが出力されて、レーザ光
13aが光ファイバー16へ導かれるまでは実施の形態
1と同様である。
図である。図3において、9〜17は実施の形態1のも
のと同様のものである。22,23は反射ミラー14,
集光レンズ15等の光学素子に相対して配置された光量
検出素子で、フォトダイオードや赤外線検出素子等によ
り各光学素子から散乱反射したレーザ光13aの反射光
量を検出する。24は各光量検出素子22,23からの
検出信号を演算するコントローラで、検出信号が所定の
値を超えたとき、レーザ共振器13の出力を停止させ
る。次に動作について説明する。図3において、レーザ
共振器13からレーザ光13aが出力されて、レーザ光
13aが光ファイバー16へ導かれるまでは実施の形態
1と同様である。
【0008】ここで、反射ミラー14,集光レンズ15
等の光学素子に焼損等の異常が発生すると表面で高い光
量の散乱反射が発生する。この散乱反射による光量を各
光量検出素子22,23が検出する。そして、光量検出
素子22,23で検出された反射光量が所定の値を超え
たとき、コントローラ24がレーザ共振器13のレーザ
光13aの出力を停止させる。以上のように、反射ミラ
ー14や集光レンズ15等の光学素子に相対するように
光量検出素子22,23を配置して、光学素子の破損時
に光学素子から散乱するレーザ光13aの反射光量を光
量検出素子22,23で検出し、検出された反射光量が
所定の値を超えたときにレーザ発振器13の出力を停止
させることにより、事故の拡大を未然に防止すると共に
光学素子の破損を容易に検出することができる。上記実
施の形態1及び実施の形態2は、YAGレーザ、CO2
レーザ等に適用して同様の効果を期待することができ
る。
等の光学素子に焼損等の異常が発生すると表面で高い光
量の散乱反射が発生する。この散乱反射による光量を各
光量検出素子22,23が検出する。そして、光量検出
素子22,23で検出された反射光量が所定の値を超え
たとき、コントローラ24がレーザ共振器13のレーザ
光13aの出力を停止させる。以上のように、反射ミラ
ー14や集光レンズ15等の光学素子に相対するように
光量検出素子22,23を配置して、光学素子の破損時
に光学素子から散乱するレーザ光13aの反射光量を光
量検出素子22,23で検出し、検出された反射光量が
所定の値を超えたときにレーザ発振器13の出力を停止
させることにより、事故の拡大を未然に防止すると共に
光学素子の破損を容易に検出することができる。上記実
施の形態1及び実施の形態2は、YAGレーザ、CO2
レーザ等に適用して同様の効果を期待することができ
る。
【0009】
【発明の効果】この発明によれば、反射ミラーの裏側に
金属体を配置して、金属体の温度を温度検出手段で検出
し、検出された温度が所定の値を超えたときにレーザ発
振器の出力を停止させることにより、事故の拡大を未然
に防止すると共に反射ミラーの破損を容易に検出するこ
とができる。さらに、光学素子に相対するように光量検
出素子を配置して、光学素子の破損時に光学素子から散
乱するレーザ光の反射光量を光量検出素子で検出し、検
出された反射光量が所定の値を超えたときにレーザ発振
器の出力を停止させることにより、事故の拡大を未然に
防止すると共に、反射ミラーや集光レンズ等の光学素子
の破損を容易に検出することができる。
金属体を配置して、金属体の温度を温度検出手段で検出
し、検出された温度が所定の値を超えたときにレーザ発
振器の出力を停止させることにより、事故の拡大を未然
に防止すると共に反射ミラーの破損を容易に検出するこ
とができる。さらに、光学素子に相対するように光量検
出素子を配置して、光学素子の破損時に光学素子から散
乱するレーザ光の反射光量を光量検出素子で検出し、検
出された反射光量が所定の値を超えたときにレーザ発振
器の出力を停止させることにより、事故の拡大を未然に
防止すると共に、反射ミラーや集光レンズ等の光学素子
の破損を容易に検出することができる。
【図1】 この発明の実施の形態1の構成図である。
【図2】 図1の要部を示す断面図である。
【図3】 この発明の実施の形態2の構成図である。
【図4】 従来のレーザ発振器の構成図である。
13 レーザ共振器、14 反射ミラー、18 金属
体、20 温度検出手段、22,23 光量検出素子。
体、20 温度検出手段、22,23 光量検出素子。
フロントページの続き (72)発明者 高田 清志 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号 三 菱電機株式会社内 Fターム(参考) 5F072 AB01 HH02 JJ11 KK15 MM04 PP01 YY06
Claims (2)
- 【請求項1】 レーザ共振器から出力されるレーザ光を
反射ミラーを介して出力するレーザ発振器において、上
記反射ミラーの裏側に金属体を配置して、上記金属体の
温度を温度検出手段で検出し、検出された温度が所定の
値を超えたときに上記レーザ共振器の出力を停止させる
ようにしたことを特徴とするレーザ発振器。 - 【請求項2】 レーザ共振器から出力されるレーザ光を
光学素子を介して出力するレーザ発振器において、上記
光学素子に相対するように光量検出素子を配置して、上
記光学素子の破損時に上記光学素子から散乱する上記レ
ーザ光の反射光量を上記光量検出素子で検出し、検出さ
れた反射光量が所定の値を超えたときに上記レーザ共振
器の出力を停止させるようにしたことを特徴とするレー
ザ発振器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000160836A JP2001339112A (ja) | 2000-05-30 | 2000-05-30 | レーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000160836A JP2001339112A (ja) | 2000-05-30 | 2000-05-30 | レーザ発振器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001339112A true JP2001339112A (ja) | 2001-12-07 |
Family
ID=18664965
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000160836A Pending JP2001339112A (ja) | 2000-05-30 | 2000-05-30 | レーザ発振器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001339112A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007093825A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Advanced Mask Inspection Technology Kk | レーザ光源運用方法 |
JP2007103563A (ja) * | 2005-10-03 | 2007-04-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ装置 |
JP2009169444A (ja) * | 2009-05-07 | 2009-07-30 | Advanced Mask Inspection Technology Kk | レーザ光源運用方法 |
WO2018105344A1 (ja) * | 2016-12-06 | 2018-06-14 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | レーザ装置 |
-
2000
- 2000-05-30 JP JP2000160836A patent/JP2001339112A/ja active Pending
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007093825A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Advanced Mask Inspection Technology Kk | レーザ光源運用方法 |
JP4532378B2 (ja) * | 2005-09-28 | 2010-08-25 | アドバンスド・マスク・インスペクション・テクノロジー株式会社 | レーザ光源運用方法 |
JP2007103563A (ja) * | 2005-10-03 | 2007-04-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ装置 |
JP2009169444A (ja) * | 2009-05-07 | 2009-07-30 | Advanced Mask Inspection Technology Kk | レーザ光源運用方法 |
JP4608663B2 (ja) * | 2009-05-07 | 2011-01-12 | 株式会社東芝 | レーザ光源運用方法 |
WO2018105344A1 (ja) * | 2016-12-06 | 2018-06-14 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | レーザ装置 |
CN110168820A (zh) * | 2016-12-06 | 2019-08-23 | 松下知识产权经营株式会社 | 激光装置 |
JPWO2018105344A1 (ja) * | 2016-12-06 | 2019-10-24 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | レーザ装置 |
CN110168820B (zh) * | 2016-12-06 | 2021-04-27 | 松下知识产权经营株式会社 | 激光装置 |
US11060905B2 (en) | 2016-12-06 | 2021-07-13 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Laser device |
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