JP2001338557A - 真空バルブ - Google Patents
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- JP2001338557A JP2001338557A JP2000158457A JP2000158457A JP2001338557A JP 2001338557 A JP2001338557 A JP 2001338557A JP 2000158457 A JP2000158457 A JP 2000158457A JP 2000158457 A JP2000158457 A JP 2000158457A JP 2001338557 A JP2001338557 A JP 2001338557A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】複数種類の材料の接する界面や溶接部において
き裂が発生することの少ない真空バルブを提供する。 【解決手段】円筒状のセラミックス碍管１と、このセラ
ミックス碍管１の端部に接合された円板状のシールリン
グ２，３と、このシールリング２，３の中心を貫通する
電極と、前記セラミックス碍管とシールリングとの接合
部６を囲繞して設けられた金属キャップ７，８と、この
金属キャップ７，８を包含して前記電極から前記セラミ
ックス碍管１まで被覆する絶縁被覆９とを備えた構成と
する。
き裂が発生することの少ない真空バルブを提供する。 【解決手段】円筒状のセラミックス碍管１と、このセラ
ミックス碍管１の端部に接合された円板状のシールリン
グ２，３と、このシールリング２，３の中心を貫通する
電極と、前記セラミックス碍管とシールリングとの接合
部６を囲繞して設けられた金属キャップ７，８と、この
金属キャップ７，８を包含して前記電極から前記セラミ
ックス碍管１まで被覆する絶縁被覆９とを備えた構成と
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空遮断器、真空
断路器等に組込まれ電路の開閉に使用される真空バルブ
に関する。
断路器等に組込まれ電路の開閉に使用される真空バルブ
に関する。
【０００２】
【従来の技術】ビル等の電力を受電・配電する場合、電
力系統からの引き込み部には、鉄箱型のＣ−GIS（キュ
ービクル型ガス閉鎖配電盤 Cubicle‐type Gas Insu
latedSwitchgear）が設置され、落雷等の万が一の電力
トラブルに対処すると共に、電力の安定供給に寄与して
いる。また、Ｃ−GISは、都市のビル地階に設置される
ことが多く、都市部の高い地価や建設費の抑制の観点か
ら、設置面積を最小限にとどめるために小型化の要求が
高い。
力系統からの引き込み部には、鉄箱型のＣ−GIS（キュ
ービクル型ガス閉鎖配電盤 Cubicle‐type Gas Insu
latedSwitchgear）が設置され、落雷等の万が一の電力
トラブルに対処すると共に、電力の安定供給に寄与して
いる。また、Ｃ−GISは、都市のビル地階に設置される
ことが多く、都市部の高い地価や建設費の抑制の観点か
ら、設置面積を最小限にとどめるために小型化の要求が
高い。
【０００３】従来、Ｃ−GISはその名前の示す通り、圧
力容器内にＳＦ6（六ふっ化硫黄）ガスを充満した中
に、電流を通電・遮断する高電圧部を入れ、対地と絶縁
していた。しかしながら、ＳＦ6は、1997年12月に開催
された地球温暖化防止京都会議で地球温暖化ガスとさ
れ、大気への漏洩を厳しく制限された。また、絶縁特性
が優れているＳＦ6ガスであっても、小型化する上で、
ＳＦ6ガスの中に設けられる部品や機器の小型化や相間
距離の短縮により電界が厳しくなり、ガスの絶縁破壊が
起こる確率が高くなる。そこで、今までのＣ−GISでは
なく、真空バルブや真空断路器を使用することにより、
両者および金属導体を注型したものが検討されている。
力容器内にＳＦ6（六ふっ化硫黄）ガスを充満した中
に、電流を通電・遮断する高電圧部を入れ、対地と絶縁
していた。しかしながら、ＳＦ6は、1997年12月に開催
された地球温暖化防止京都会議で地球温暖化ガスとさ
れ、大気への漏洩を厳しく制限された。また、絶縁特性
が優れているＳＦ6ガスであっても、小型化する上で、
ＳＦ6ガスの中に設けられる部品や機器の小型化や相間
距離の短縮により電界が厳しくなり、ガスの絶縁破壊が
起こる確率が高くなる。そこで、今までのＣ−GISでは
なく、真空バルブや真空断路器を使用することにより、
両者および金属導体を注型したものが検討されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、セラミックス
製の碍管を有する真空バルブや真空断路器は線膨張率の
異なる複数種類の材料から構成されるために、熱可塑性
樹脂や熱硬化性樹脂で被覆あるいは注型（モールド）し
た場合、材料の接する界面や溶接部に高い残留応力が発
生し、き裂（クラック）を発生させる原因となり、最悪
の場合は地絡事故に到る。そこで本発明は、複数種類の
材料の接する界面や溶接部においてき裂が発生すること
の少ない真空バルブを提供することを目的とする。
製の碍管を有する真空バルブや真空断路器は線膨張率の
異なる複数種類の材料から構成されるために、熱可塑性
樹脂や熱硬化性樹脂で被覆あるいは注型（モールド）し
た場合、材料の接する界面や溶接部に高い残留応力が発
生し、き裂（クラック）を発生させる原因となり、最悪
の場合は地絡事故に到る。そこで本発明は、複数種類の
材料の接する界面や溶接部においてき裂が発生すること
の少ない真空バルブを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１の発明は、円筒状のセラミックス碍管と、こ
のセラミックス碍管の端部に接合された円板状のシール
リングと、このシールリングの中心を貫通する電極と、
前記セラミックス碍管と前記シールリングとの接合部を
囲繞して設けられた金属キャップと、この金属キャップ
を包含して前記電極から前記セラミックス碍管まで被覆
する絶縁被覆とを備えた構成とする。
に請求項１の発明は、円筒状のセラミックス碍管と、こ
のセラミックス碍管の端部に接合された円板状のシール
リングと、このシールリングの中心を貫通する電極と、
前記セラミックス碍管と前記シールリングとの接合部を
囲繞して設けられた金属キャップと、この金属キャップ
を包含して前記電極から前記セラミックス碍管まで被覆
する絶縁被覆とを備えた構成とする。
【０００６】この発明によれば、真空バルブの異種材料
の接する部分を覆う金属キャップを設けることにより、
高残留応力部を外部から隔絶することになる。このこと
により、万が一発生したき裂も金属キャップの外側に出
ることがない。
の接する部分を覆う金属キャップを設けることにより、
高残留応力部を外部から隔絶することになる。このこと
により、万が一発生したき裂も金属キャップの外側に出
ることがない。
【０００７】請求項２の発明は、金属キャップの端部は
セラミックス碍管端部と０〜４mm重なり合い、金属キャ
ップの端部内径はセラミックス碍管の端部外径よりも０
〜２mm大きい構成とする。
セラミックス碍管端部と０〜４mm重なり合い、金属キャ
ップの端部内径はセラミックス碍管の端部外径よりも０
〜２mm大きい構成とする。
【０００８】請求項３の発明は、セラミックス碍管は外
径の変化する段部を有し、金属キャップの端部は前記段
部と０〜４mm重なり合い、金属キャップの端部内径は前
記段部の外径よりも０〜２mm大きい構成とする。
径の変化する段部を有し、金属キャップの端部は前記段
部と０〜４mm重なり合い、金属キャップの端部内径は前
記段部の外径よりも０〜２mm大きい構成とする。
【０００９】請求項２あるいは３の発明によれば、金属
キャップ外側の部分の残留応力がき裂を発生させる応力
値よりも低くなるため、高残留応力部を導電性金属キャ
ップ内に隔絶することができ、き裂が外部に広がること
がない。
キャップ外側の部分の残留応力がき裂を発生させる応力
値よりも低くなるため、高残留応力部を導電性金属キャ
ップ内に隔絶することができ、き裂が外部に広がること
がない。
【００１０】請求項４の発明は、金属キャップは、電極
またはシールリングに取り付けられているか、あるいは
シールリングの外周に形成されている構成とする。この
発明によれば、金属キャップを所定の位置に保持するこ
とができる。
またはシールリングに取り付けられているか、あるいは
シールリングの外周に形成されている構成とする。この
発明によれば、金属キャップを所定の位置に保持するこ
とができる。
【００１１】請求項５の発明は、金属キャップ内側のセ
ラミックス碍管とシールリングとの接合部の近傍には繊
維質強化の充填体が形成されている構成とする。この発
明によれば、セラミックス碍管とシールリングの接合部
からのき裂発生の可能性を更に低減することができる。
ラミックス碍管とシールリングとの接合部の近傍には繊
維質強化の充填体が形成されている構成とする。この発
明によれば、セラミックス碍管とシールリングの接合部
からのき裂発生の可能性を更に低減することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】（実施例１）図１に示すように、
図に表われていない電極接点を包囲する円筒状のセラミ
ックス碍管１の両端に円板状のシールリング２，３が接
合され、シールリング２，３の中心を貫通して、上記電
極接点に連なる固定電極４および可動電極５が設けられ
ている。６はセラミックス碍管１とシールリング２，３
との溶接部であり、内部は真空に保持されている。
図に表われていない電極接点を包囲する円筒状のセラミ
ックス碍管１の両端に円板状のシールリング２，３が接
合され、シールリング２，３の中心を貫通して、上記電
極接点に連なる固定電極４および可動電極５が設けられ
ている。６はセラミックス碍管１とシールリング２，３
との溶接部であり、内部は真空に保持されている。
【００１３】固定電極４および可動電極５側のシールリ
ング３に、中心に孔のあいた皿の形をした導電性金属キ
ャップ７，８（無酸素銅製厚さ１mm）を取付け、導電性
金属キャップ７，８の内側と外側およびセラミックス碍
管１の外周をエポキシ樹脂により真空中で注型して絶縁
被覆９を形成した。導電性金属キャップ７，８の内径
は、セラミックス碍管１の外径よりも２mm（半径で１m
m）大きくし、導電性金属キャップ７，８とセラミック
ス碍管１の重なる長さを１mmとした。一方、比較のため
に、導電性金属キャップ７，８を取り付けないで固定電
極４からシールリング３にわたる外周をエポキシ樹脂に
より真空で注型し真空バルブも製作した。
ング３に、中心に孔のあいた皿の形をした導電性金属キ
ャップ７，８（無酸素銅製厚さ１mm）を取付け、導電性
金属キャップ７，８の内側と外側およびセラミックス碍
管１の外周をエポキシ樹脂により真空中で注型して絶縁
被覆９を形成した。導電性金属キャップ７，８の内径
は、セラミックス碍管１の外径よりも２mm（半径で１m
m）大きくし、導電性金属キャップ７，８とセラミック
ス碍管１の重なる長さを１mmとした。一方、比較のため
に、導電性金属キャップ７，８を取り付けないで固定電
極４からシールリング３にわたる外周をエポキシ樹脂に
より真空で注型し真空バルブも製作した。
【００１４】両者の残留応力に対する特性を調べるため
に、100℃の熱水と０℃の冷水に交互に１時間ずつ浸漬
する冷熱試験を行った。導電性金属キャップ７，８を取
り付けずに注型した真空バルブは５サイクル内でき裂を
発生したが、導電性金属キャップ７，８を取り付けて注
型した真空バルブは10サイクルでもき裂を発生しなかっ
た。
に、100℃の熱水と０℃の冷水に交互に１時間ずつ浸漬
する冷熱試験を行った。導電性金属キャップ７，８を取
り付けずに注型した真空バルブは５サイクル内でき裂を
発生したが、導電性金属キャップ７，８を取り付けて注
型した真空バルブは10サイクルでもき裂を発生しなかっ
た。
【００１５】（実施例２）図２に示すように、固定電極
４と可動電極５（図示していない）のシールリング２，
３の形状を従来よりもセラミックス碍管１の外側に延ば
し、シールリング２，３の外縁に導電性金属キャップ10
を形成した形状とした。この導電性金属キャップ10とセ
ラミックス碍管１との間隔を２mm、重なり長さを２mmと
し、外周をエポキシ樹脂により真空で注型した。一方、
比較のために、シールリング２，３に導電性金属キャッ
プ10を形成していない従来の形の真空バルブの外周をエ
ポキシ樹脂により真空で注型した。
４と可動電極５（図示していない）のシールリング２，
３の形状を従来よりもセラミックス碍管１の外側に延ば
し、シールリング２，３の外縁に導電性金属キャップ10
を形成した形状とした。この導電性金属キャップ10とセ
ラミックス碍管１との間隔を２mm、重なり長さを２mmと
し、外周をエポキシ樹脂により真空で注型した。一方、
比較のために、シールリング２，３に導電性金属キャッ
プ10を形成していない従来の形の真空バルブの外周をエ
ポキシ樹脂により真空で注型した。
【００１６】両者の残留応力に対する特性を調べるため
に、100℃の熱水と０℃の冷水に交互に１時間ずつ浸漬
する冷熱試験を行った。導電性金属キャップ10を有しな
い真空バルブは５サイクル内でき裂を発生したが、真空
バルブは10サイクルでもき裂を発生しなかった。
に、100℃の熱水と０℃の冷水に交互に１時間ずつ浸漬
する冷熱試験を行った。導電性金属キャップ10を有しな
い真空バルブは５サイクル内でき裂を発生したが、真空
バルブは10サイクルでもき裂を発生しなかった。
【００１７】（実施例３）図３に示すように、固定電極
４と可動電極５付近の電極を支持するシールリング２あ
るいは３の間にガラスウールを充填し、導電性金属キャ
ップ７，８（厚さ１mm）を固定し、外周をエポキシ樹脂
により真空中で注型した。真空で注型しているため、ガ
ラスウールの繊維間には樹脂が含浸されて繊維強化の充
填体11が形成されている。導電性金属キャップ７，８の
内径は、セラミックス碍管１の外径よりも２mm（半径で
１mm）大きくし、導電性金属キャップ７，８とセラミッ
クス碍管１との重なる長さを１mmとした。
４と可動電極５付近の電極を支持するシールリング２あ
るいは３の間にガラスウールを充填し、導電性金属キャ
ップ７，８（厚さ１mm）を固定し、外周をエポキシ樹脂
により真空中で注型した。真空で注型しているため、ガ
ラスウールの繊維間には樹脂が含浸されて繊維強化の充
填体11が形成されている。導電性金属キャップ７，８の
内径は、セラミックス碍管１の外径よりも２mm（半径で
１mm）大きくし、導電性金属キャップ７，８とセラミッ
クス碍管１との重なる長さを１mmとした。
【００１８】残留応力に対する特性を調べるために、10
0℃の熱水と０℃の冷水に交互に１時間ずつ浸漬する冷
熱試験を行った。導電性金属キャップ７，８内にガラス
ウールを充填し注型した真空バルブは15サイクルでもき
裂を発生しなかった。
0℃の熱水と０℃の冷水に交互に１時間ずつ浸漬する冷
熱試験を行った。導電性金属キャップ７，８内にガラス
ウールを充填し注型した真空バルブは15サイクルでもき
裂を発生しなかった。
【００１９】（実施例４）同じく図３に示すように、固
定電極４と可動電極５付近の電極を支持するシールリン
グ２あるいは３の間に銅ウールを充填し、導電性金属キ
ャップ７，８（厚さ１mm）を固定し、外周をエポキシ樹
脂により真空中で注型した。真空で注型しているため、
銅ウールの繊維間には樹脂が含浸されて繊維強化の充填
体11が形成されている。導電性金属キャップ７，８の内
径は、セラミックス碍管１の外径よりも２mm（半径で１
mm）大きくし、導電性金属キャップ７，８とセラミック
ス碍管１との重なる長さを１mmとした。
定電極４と可動電極５付近の電極を支持するシールリン
グ２あるいは３の間に銅ウールを充填し、導電性金属キ
ャップ７，８（厚さ１mm）を固定し、外周をエポキシ樹
脂により真空中で注型した。真空で注型しているため、
銅ウールの繊維間には樹脂が含浸されて繊維強化の充填
体11が形成されている。導電性金属キャップ７，８の内
径は、セラミックス碍管１の外径よりも２mm（半径で１
mm）大きくし、導電性金属キャップ７，８とセラミック
ス碍管１との重なる長さを１mmとした。
【００２０】残留応力に対する特性を調べるために、10
0℃の熱水と０℃の冷水に交互に１時間ずつ浸漬する冷
熱試験を行った。導電性金属キャップ７，８内に銅ウー
ルを充填し注型した真空バルブは15サイクルでもき裂を
発生しなかった。
0℃の熱水と０℃の冷水に交互に１時間ずつ浸漬する冷
熱試験を行った。導電性金属キャップ７，８内に銅ウー
ルを充填し注型した真空バルブは15サイクルでもき裂を
発生しなかった。
【００２１】（寸法範囲の検討）図４に示すように、導
電性金属キャップ７とセラミックス碍管１との間隔をＸ
とし、導電性金属キャップ７とセラミックス碍管１との
重なる長さＹをパラメータとして耐クラック性を調査し
た。その結果を図５に示す。図５の斜線部分Ｇ10は10サ
イクルの冷熱試験に合格した範囲を示し、斜線部分Ｇ５
は５サイクルの冷熱試験に合格した範囲を示す。このこ
とから、導電性金属キャップ７，８，10とセラミックス
碍管１の間隔は０〜2.5mm、好ましくは０〜２mmがよ
く、導電性金属キャップ７，８，10とセラミックス碍管
１の重なる長さは、−１〜５mm、好ましくは０〜４mmが
よいことがわかる。
電性金属キャップ７とセラミックス碍管１との間隔をＸ
とし、導電性金属キャップ７とセラミックス碍管１との
重なる長さＹをパラメータとして耐クラック性を調査し
た。その結果を図５に示す。図５の斜線部分Ｇ10は10サ
イクルの冷熱試験に合格した範囲を示し、斜線部分Ｇ５
は５サイクルの冷熱試験に合格した範囲を示す。このこ
とから、導電性金属キャップ７，８，10とセラミックス
碍管１の間隔は０〜2.5mm、好ましくは０〜２mmがよ
く、導電性金属キャップ７，８，10とセラミックス碍管
１の重なる長さは、−１〜５mm、好ましくは０〜４mmが
よいことがわかる。
【００２２】上記のように、真空バルブや真空断路器を
熱可塑性樹脂または熱硬化性樹脂で注型することによ
り、電気絶縁性を向上させることが可能となり小型化で
きる。しかしながら、真空バルブや真空断路器は、線膨
張率の異なる複数種類の材料から構成されているため、
必ず異種材料界面で内部応力（残留応力）が発生する。
この界面で発生する内部応力は、各材料の物性によるか
ら、線膨張率の近い材料で構成すれば低減できるが、実
際には不可能である。
熱可塑性樹脂または熱硬化性樹脂で注型することによ
り、電気絶縁性を向上させることが可能となり小型化で
きる。しかしながら、真空バルブや真空断路器は、線膨
張率の異なる複数種類の材料から構成されているため、
必ず異種材料界面で内部応力（残留応力）が発生する。
この界面で発生する内部応力は、各材料の物性によるか
ら、線膨張率の近い材料で構成すれば低減できるが、実
際には不可能である。
【００２３】上記各実施例によれば、導電性金属キャッ
プ７，８あるいは10を設置することにより、注型するこ
とにより発生する内部応力を導電性金属キャップ７，
８，10の外側の絶縁被覆９と内側の絶縁被覆９で隔絶
し、万が一き裂が発生してもき裂を導電性金属キャップ
７，８，10内に収め、導電性金属キャップ７，８，10の
外側に伝播させないようにすることができる。
プ７，８あるいは10を設置することにより、注型するこ
とにより発生する内部応力を導電性金属キャップ７，
８，10の外側の絶縁被覆９と内側の絶縁被覆９で隔絶
し、万が一き裂が発生してもき裂を導電性金属キャップ
７，８，10内に収め、導電性金属キャップ７，８，10の
外側に伝播させないようにすることができる。
【００２４】この導電性金属キャップ７，８，10の寸法
については、その端部内径とセラミックス碍管１の端部
外径の隙間を０〜２mmとすることにより、き裂を発生さ
せない構成となる。また、しばしばセラミックス碍管１
には施釉しやすいように段が付いたものがある。段付き
のセラミックス碍管についても、同様に導電性金属キャ
ップ７，８，10の端部内径とセラミックス碍管外径との
隙間を０〜２mmとすることにより、き裂を発生させない
構成となる。
については、その端部内径とセラミックス碍管１の端部
外径の隙間を０〜２mmとすることにより、き裂を発生さ
せない構成となる。また、しばしばセラミックス碍管１
には施釉しやすいように段が付いたものがある。段付き
のセラミックス碍管についても、同様に導電性金属キャ
ップ７，８，10の端部内径とセラミックス碍管外径との
隙間を０〜２mmとすることにより、き裂を発生させない
構成となる。
【００２５】導電性金属キャップ７，８，10の端部とセ
ラミックス碍管１の重なり寸法は０〜４mm、段の付いた
セラミックス碍管については、段の付いた部分から０〜
４mmとすることにより、き裂を発生させない構成とな
る。
ラミックス碍管１の重なり寸法は０〜４mm、段の付いた
セラミックス碍管については、段の付いた部分から０〜
４mmとすることにより、き裂を発生させない構成とな
る。
【００２６】さらに固定電極４と可動電極５につば（1
0）の付いた形状にすることにより、導電性金属キャッ
プ７，８と同様の効果となり、部品点数の削減、生産コ
ストの低下を期待できる。また、導電性金属キャップ
７，８，10の内側と固定電極や可動電極また接合部の間
にガラスウール等の繊維状材料を充填することにより繊
維強化材料とし、き裂発生を防止することができる。
0）の付いた形状にすることにより、導電性金属キャッ
プ７，８と同様の効果となり、部品点数の削減、生産コ
ストの低下を期待できる。また、導電性金属キャップ
７，８，10の内側と固定電極や可動電極また接合部の間
にガラスウール等の繊維状材料を充填することにより繊
維強化材料とし、き裂発生を防止することができる。
【００２７】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、外周に形
成された絶縁被覆にき裂発生の恐れの少ない信頼性の高
い真空バルブを提供することができる。
成された絶縁被覆にき裂発生の恐れの少ない信頼性の高
い真空バルブを提供することができる。
【図１】本発明の第１の実施例の真空バルブの右半を示
す断面図。
す断面図。
【図２】本発明の第２の実施例の真空バルブの右半を示
す断面図。
す断面図。
【図３】本発明の第３および第４の実施例の真空バルブ
の右半を示す断面図。
の右半を示す断面図。
【図４】本発明の真空バルブの寸法の検討におけるＸＹ
座標を定義する図。
座標を定義する図。
【図５】上記寸法検討の結果を示す図。
１…セラミックス碍管、２，３…シールリング、４…固
定電極、５…可動電極、６…セラミックス碍管とシール
リングとの溶接部、７，８，10…導電性金属キャップ、
９…絶縁被覆、11…繊維強化充填体、Ｇ10…10サイクル
冷熱試験に合格した範囲、Ｇ５…５サイクル冷熱試験に
合格した範囲。
定電極、５…可動電極、６…セラミックス碍管とシール
リングとの溶接部、７，８，10…導電性金属キャップ、
９…絶縁被覆、11…繊維強化充填体、Ｇ10…10サイクル
冷熱試験に合格した範囲、Ｇ５…５サイクル冷熱試験に
合格した範囲。
フロントページの続き (72)発明者 槙島 聡 東京都府中市東芝町１番地 株式会社東芝 府中事業所内 (72)発明者 清水 敏夫 東京都府中市東芝町１番地 株式会社東芝 府中事業所内 (72)発明者 関谷 洋紀 東京都府中市東芝町１番地 株式会社東芝 府中事業所内 Ｆターム(参考） 5G026 RA03 RB05
Claims (5)
- 【請求項１】 円筒状のセラミックス碍管と、このセラ
ミックス碍管の端部に接合された円板状のシールリング
と、このシールリングの中心を貫通する電極と、前記セ
ラミックス碍管と前記シールリングとの接合部を囲繞し
て設けられた金属キャップと、この金属キャップを包含
して前記電極から前記セラミックス碍管まで被覆する絶
縁被覆とを備えたことを特徴とする真空バルブ。 - 【請求項２】 金属キャップの端部はセラミックス碍管
端部と０〜４mm重なり合い、金属キャップの端部内径は
セラミックス碍管の端部外径よりも０〜２mm大きいこと
を特徴とする請求項１記載の真空バルブ。 - 【請求項３】 セラミックス碍管は外径の変化する段部
を有し、金属キャップの端部は前記段部と０〜４mm重な
り合い、金属キャップの端部内径は前記段部の外径より
も０〜２mm大きいことを特徴とする請求項１記載の真空
バルブ。 - 【請求項４】 金属キャップは、電極またはシールリン
グに取り付けられているか、あるいはシールリングの外
周に形成されていることを特徴とする請求項１記載の真
空バルブ。 - 【請求項５】 金属キャップ内側のセラミックス碍管と
シールリングとの接合部の近傍には繊維質強化の充填体
が形成されていることを特徴とする請求項１記載の真空
バルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000158457A JP3830730B2 (ja) | 2000-05-29 | 2000-05-29 | 真空バルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000158457A JP3830730B2 (ja) | 2000-05-29 | 2000-05-29 | 真空バルブ |
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