JP2001331777A - 球体検出装置 - Google Patents
球体検出装置Info
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
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- G01N21/85—Investigating moving fluids or granular solids
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 透明液体（搬送媒体）に混入した気泡の影響
を受けることなく、チューブ内を搬送される球体を確実
に検出することのできる簡易な構成の球体検出装置を提
供する。 【解決手段】 透明液体を搬送媒体として球体１０を搬
送するチューブ１１に、その側面から所定の光束断面積
を有し、且つ所定の拡がり角を有する散乱光を照射する
面光源１２を設ける。そしてチューブを介して面光源に
対向配置させた受光器１３においては、散乱光の一部の
受光領域に直接向かう成分、および／または透明液体に
混入した気泡により屈折されて受光領域に向かうように
なった成分を受光するように、また球体によりその受光
領域が遮られるように設ける。そして受光器による受光
信号を判定して球体の存在を検出する（判定手段）。
を受けることなく、チューブ内を搬送される球体を確実
に検出することのできる簡易な構成の球体検出装置を提
供する。 【解決手段】 透明液体を搬送媒体として球体１０を搬
送するチューブ１１に、その側面から所定の光束断面積
を有し、且つ所定の拡がり角を有する散乱光を照射する
面光源１２を設ける。そしてチューブを介して面光源に
対向配置させた受光器１３においては、散乱光の一部の
受光領域に直接向かう成分、および／または透明液体に
混入した気泡により屈折されて受光領域に向かうように
なった成分を受光するように、また球体によりその受光
領域が遮られるように設ける。そして受光器による受光
信号を判定して球体の存在を検出する（判定手段）。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば機能素子が
集積回路化されるボール状の半導体デバイスからなる球
体を、その製造プロセス等において透明液体を搬送媒体
として透明なチューブ内を１個ずつ搬送する際、その球
体を確実に検出することのできる球体検出装置に関す
る。
集積回路化されるボール状の半導体デバイスからなる球
体を、その製造プロセス等において透明液体を搬送媒体
として透明なチューブ内を１個ずつ搬送する際、その球
体を確実に検出することのできる球体検出装置に関す
る。
【０００２】
【関連する背景技術】近時、直径１ｍｍ程度のボール状
の半導体にトランジスタ等の機能素子をモノリシックに
集積して球状半導体装置を実現することが提唱されてい
る。また基本素子機能を持たせた幾つかの球状半導体装
置を互いに連結して所定の回路機能を持つ半導体装置を
構築することも提唱されている。
の半導体にトランジスタ等の機能素子をモノリシックに
集積して球状半導体装置を実現することが提唱されてい
る。また基本素子機能を持たせた幾つかの球状半導体装
置を互いに連結して所定の回路機能を持つ半導体装置を
構築することも提唱されている。
【０００３】この種の球状半導体の製造プロセスにおい
ては、例えば透明なチューブを用いて上記球状半導体か
らなる球体の搬送路を形成し、水等の透明な液体を搬送
媒体として上記球体を１個ずつ搬送することが行われ
る。この際、その製造プロセスを管理するべく、予め前
記チューブを挟んで対向配置されてチューブ内を横切る
光路を設定した発光器と受光器とからなる光センサを用
い、該チューブ内を搬送される球体が上記光路を遮るか
否かを検出することで球体を検出して、例えばチューブ
内を搬送された球体の個数を計数することが行われる。
ては、例えば透明なチューブを用いて上記球状半導体か
らなる球体の搬送路を形成し、水等の透明な液体を搬送
媒体として上記球体を１個ずつ搬送することが行われ
る。この際、その製造プロセスを管理するべく、予め前
記チューブを挟んで対向配置されてチューブ内を横切る
光路を設定した発光器と受光器とからなる光センサを用
い、該チューブ内を搬送される球体が上記光路を遮るか
否かを検出することで球体を検出して、例えばチューブ
内を搬送された球体の個数を計数することが行われる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来にお
いては、搬送媒体をなす透明な液体に混入した気泡に起
因して球体の誤検出が生じることがあった。即ち、従来
の球体検出装置は、図５(ａ)にその概略構成を示すよう
に球体の搬送路をなす透明なチューブ１の側面に、光源
２から発せられた光を導いてチューブ１内に照射する投
光用の光ファイバ３を設けると共に、チューブ１を介し
て上記光ファイバ３に対向させて受光用の光ファイバ４
を配置し、前記チューブ１を横切った光を上記光ファイ
バ４を介して受光器５にて受光する如く構成される。そ
して図５(ｂ)に示すように搬送媒体をなす透明液体６に
て上記チューブ１内を搬送される球体７が上記チューブ
１内を横切る光を遮ったとき、前記受光器５による受光
が途絶えることを利用して球体１を検出するものとなっ
ている。
いては、搬送媒体をなす透明な液体に混入した気泡に起
因して球体の誤検出が生じることがあった。即ち、従来
の球体検出装置は、図５(ａ)にその概略構成を示すよう
に球体の搬送路をなす透明なチューブ１の側面に、光源
２から発せられた光を導いてチューブ１内に照射する投
光用の光ファイバ３を設けると共に、チューブ１を介し
て上記光ファイバ３に対向させて受光用の光ファイバ４
を配置し、前記チューブ１を横切った光を上記光ファイ
バ４を介して受光器５にて受光する如く構成される。そ
して図５(ｂ)に示すように搬送媒体をなす透明液体６に
て上記チューブ１内を搬送される球体７が上記チューブ
１内を横切る光を遮ったとき、前記受光器５による受光
が途絶えることを利用して球体１を検出するものとなっ
ている。
【０００５】しかしながら、希に上記透明液体６に気泡
８が混入することがある。するとこの気泡８が凹レンズ
として作用し、チューブ１内に照射された光が図５(ｃ)
に示すように偏向されて受光用の光ファイバ４に到達し
なくなることがある。この結果、受光器５が前記光源２
から発せられた光を受光しなくなるので、気泡８を球体
７として誤検出すると言う不具合が生じる。この場合、
そのプロセス管理ができなくなる虞があるので、従来よ
り気泡８の混入を防ぐべく種々の工夫が試みられてい
る。
８が混入することがある。するとこの気泡８が凹レンズ
として作用し、チューブ１内に照射された光が図５(ｃ)
に示すように偏向されて受光用の光ファイバ４に到達し
なくなることがある。この結果、受光器５が前記光源２
から発せられた光を受光しなくなるので、気泡８を球体
７として誤検出すると言う不具合が生じる。この場合、
そのプロセス管理ができなくなる虞があるので、従来よ
り気泡８の混入を防ぐべく種々の工夫が試みられてい
る。
【０００６】本発明はこのような事情を考慮してなされ
たもので、その目的は、搬送媒体として用いられる透明
液体に混入した気泡の影響を受けることなしに、チュー
ブ内を搬送される球体を確実に検出することのできる簡
易な構成の実用性の高い球体検出装置を提供することに
ある。
たもので、その目的は、搬送媒体として用いられる透明
液体に混入した気泡の影響を受けることなしに、チュー
ブ内を搬送される球体を確実に検出することのできる簡
易な構成の実用性の高い球体検出装置を提供することに
ある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
べく本発明に係る球体検出装置は、搬送路をなす透明な
チューブ内を搬送媒体として透明液体を用いて１個ずつ
搬送される非透明体からなる球体を光センサを用いて検
出するものであって、その光源として、所定の光束断面
積を有し、且つ所定の拡がり角を有する散乱光を前記チ
ューブの側面から該チューブ内に照射する面光源を用
い、一方、前記チューブを介して前記面光源にその受光
領域を対向配置される受光器を、前記散乱光の一部であ
って前記透明液体を透過して上記受光領域に向かう成
分、および／または前記散乱光の一部であって前記透明
液体に混入した気泡により屈折されて前記受光領域に向
けて前記透明液体が出射される成分を受光し、且つ前記
チューブ内を搬送される前記球体により前記受光領域が
遮られるように設け、この受光器による受光信号のレベ
ルを判定して前記チューブ内を搬送される球体の存在を
検出する（判定手段）ようにしたことを特徴としてい
る。
べく本発明に係る球体検出装置は、搬送路をなす透明な
チューブ内を搬送媒体として透明液体を用いて１個ずつ
搬送される非透明体からなる球体を光センサを用いて検
出するものであって、その光源として、所定の光束断面
積を有し、且つ所定の拡がり角を有する散乱光を前記チ
ューブの側面から該チューブ内に照射する面光源を用
い、一方、前記チューブを介して前記面光源にその受光
領域を対向配置される受光器を、前記散乱光の一部であ
って前記透明液体を透過して上記受光領域に向かう成
分、および／または前記散乱光の一部であって前記透明
液体に混入した気泡により屈折されて前記受光領域に向
けて前記透明液体が出射される成分を受光し、且つ前記
チューブ内を搬送される前記球体により前記受光領域が
遮られるように設け、この受光器による受光信号のレベ
ルを判定して前記チューブ内を搬送される球体の存在を
検出する（判定手段）ようにしたことを特徴としてい
る。
【０００８】即ち、本発明に係る球体検出装置は、球体
検出用の光として所定の光束断面積を有し、且つ所定の
拡がり角を有する散乱光を用い、受光器としてはその受
光領域が前記チューブ内を搬送される球体により遮られ
る大きさのものを用いる。そして前記散乱光の一部であ
って、前記透明液体を直接的に透過して上記受光領域に
向かう成分、或いは前記透明液体に混入した気泡により
屈折されることで間接的に前記受光領域に向かうように
なった成分を前記受光器により検出するようにしたこと
を特徴としている。
検出用の光として所定の光束断面積を有し、且つ所定の
拡がり角を有する散乱光を用い、受光器としてはその受
光領域が前記チューブ内を搬送される球体により遮られ
る大きさのものを用いる。そして前記散乱光の一部であ
って、前記透明液体を直接的に透過して上記受光領域に
向かう成分、或いは前記透明液体に混入した気泡により
屈折されることで間接的に前記受光領域に向かうように
なった成分を前記受光器により検出するようにしたこと
を特徴としている。
【０００９】好ましくは請求項２に記載するように前記
受光器は、前記球体により受光視野領域の全てが遮られ
る受光領域を備えたものであって、上記受光視野領域か
ら前記球体が外れたときに前記透明液体を透過した散乱
光の一部、および／または前記透明液体に混入した気泡
により屈折されて前記透明液体を透過した散乱光の一部
を受光し得るように、前記受光領域を前記チューブを介
して前記面光源に対向配置して設けられる。
受光器は、前記球体により受光視野領域の全てが遮られ
る受光領域を備えたものであって、上記受光視野領域か
ら前記球体が外れたときに前記透明液体を透過した散乱
光の一部、および／または前記透明液体に混入した気泡
により屈折されて前記透明液体を透過した散乱光の一部
を受光し得るように、前記受光領域を前記チューブを介
して前記面光源に対向配置して設けられる。
【００１０】また請求項３に記載するように前記面光源
および前記受光器は、それぞれ光ファイバを介して前記
チューブの側面に対向配置される。更に請求項４に記載
するように前記面光源は、光の拡散板を備えて拡散光を
生成する如く構成される。また前記球体は請求項５に記
載するように、例えば機能素子が集積回路化されるボー
ル状の半導体デバイスからなる。
および前記受光器は、それぞれ光ファイバを介して前記
チューブの側面に対向配置される。更に請求項４に記載
するように前記面光源は、光の拡散板を備えて拡散光を
生成する如く構成される。また前記球体は請求項５に記
載するように、例えば機能素子が集積回路化されるボー
ル状の半導体デバイスからなる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の一
実施形態に係る球体検出装置について、ボール状の半導
体からなり、光学的に非透明な球体１０を光学的に検出
する装置を例に説明する。図１(ａ)はこの実施形態に係
る球体検出装置の概略構成図で、１１は球体の搬送路を
なす透明なチューブである。チューブ１１としては、そ
の検出対象である球体１０の直径が１ｍｍ程度である場
合、内径が１.２ｍｍ程度の可撓性チューブが用いられ
る。そしてチューブ１１は、その内部に水等の透明液体
を通流し、この透明液体を球体１０の搬送媒体として球
体を搬送するものとなっている。
実施形態に係る球体検出装置について、ボール状の半導
体からなり、光学的に非透明な球体１０を光学的に検出
する装置を例に説明する。図１(ａ)はこの実施形態に係
る球体検出装置の概略構成図で、１１は球体の搬送路を
なす透明なチューブである。チューブ１１としては、そ
の検出対象である球体１０の直径が１ｍｍ程度である場
合、内径が１.２ｍｍ程度の可撓性チューブが用いられ
る。そしてチューブ１１は、その内部に水等の透明液体
を通流し、この透明液体を球体１０の搬送媒体として球
体を搬送するものとなっている。
【００１２】このようにしてチューブ１１内を搬送され
る球体１０を検出する光センサは、所定の光束断面積を
有し、且つ所定の拡がり角を有する散乱光を前記チュー
ブ１１内に照射する面光源１２と、チューブ１１を介し
て上記面光源１２に対向配置されて該チューブ１１を横
切って到達する散乱光を受光する受光器１３とからな
る。尚、この実施形態においては前記面光源１２から発
せられた散乱光は、照明用の光ファイバ１４を介してチ
ューブ１１の側面に導かれて該チューブ１１内に照射さ
れる。また受光器１３は、チューブ１１を挟んで前記照
明用の光ファイバ１４に対して同軸に対向配置された受
光用の光ファイバ１５を介して前記面光源１２から発せ
られた散乱光を受光するように構成されている。
る球体１０を検出する光センサは、所定の光束断面積を
有し、且つ所定の拡がり角を有する散乱光を前記チュー
ブ１１内に照射する面光源１２と、チューブ１１を介し
て上記面光源１２に対向配置されて該チューブ１１を横
切って到達する散乱光を受光する受光器１３とからな
る。尚、この実施形態においては前記面光源１２から発
せられた散乱光は、照明用の光ファイバ１４を介してチ
ューブ１１の側面に導かれて該チューブ１１内に照射さ
れる。また受光器１３は、チューブ１１を挟んで前記照
明用の光ファイバ１４に対して同軸に対向配置された受
光用の光ファイバ１５を介して前記面光源１２から発せ
られた散乱光を受光するように構成されている。
【００１３】特にこの実施形態においては、前記照明用
の光ファイバ１４としては、面光源１２から発せられた
所定の光束断面積を有する散乱光を、その光束断面積を
保ってチューブ１１内を照射するべく大径のものが用い
られる。また受光用の光ファイバ１５としては、その開
口端面の径とその受光視野角度とにより規定される受光
領域の全てが、図１(ｂ)に示すように前記球体１０によ
って遮られるもの、一般的には前記照明用の光ファイバ
１４に比較して小径のものが用いられる。
の光ファイバ１４としては、面光源１２から発せられた
所定の光束断面積を有する散乱光を、その光束断面積を
保ってチューブ１１内を照射するべく大径のものが用い
られる。また受光用の光ファイバ１５としては、その開
口端面の径とその受光視野角度とにより規定される受光
領域の全てが、図１(ｂ)に示すように前記球体１０によ
って遮られるもの、一般的には前記照明用の光ファイバ
１４に比較して小径のものが用いられる。
【００１４】このような照明用および受光用の光ファイ
バ１４,１５を介して、更に前記チューブ１１を挟んで
前記面光源１２にその受光面を対向させた受光器１３
は、上記光ファイバ１５により規定される受光領域に到
達した光を受光し、その受光量に応じたレベルの電気信
号を出力する。そして受光器１３は、図１(ａ)に示すよ
うに常時は面光源１２からチューブ１１内に照射された
散乱光の一部であって、透明液体を通して直進した成分
を受光する。また受光器１３は、図１(ｂ)に示すように
チューブ１１内を搬送される球体１０が、その受光領域
に対向する位置に至ったとき、該球体１０によってその
受光領域の全てが遮られる。この結果、受光器１３は前
記面光源１２からチューブ１１内に照射された散乱光の
全てを受光することができなくなる。
バ１４,１５を介して、更に前記チューブ１１を挟んで
前記面光源１２にその受光面を対向させた受光器１３
は、上記光ファイバ１５により規定される受光領域に到
達した光を受光し、その受光量に応じたレベルの電気信
号を出力する。そして受光器１３は、図１(ａ)に示すよ
うに常時は面光源１２からチューブ１１内に照射された
散乱光の一部であって、透明液体を通して直進した成分
を受光する。また受光器１３は、図１(ｂ)に示すように
チューブ１１内を搬送される球体１０が、その受光領域
に対向する位置に至ったとき、該球体１０によってその
受光領域の全てが遮られる。この結果、受光器１３は前
記面光源１２からチューブ１１内に照射された散乱光の
全てを受光することができなくなる。
【００１５】このような球体１０による散乱光の遮断に
加えてこの実施形態においては、前記受光器１３は、図
１(ｃ)に示すように透明液体中に気泡１６が混入したと
き、前述した散乱光の一部であって凹レンズとして気泡
１６により屈折された成分を受光するものとなってい
る。即ち、面光源１２から発せられた散乱光は、前述し
たように所定の光束断面積を有し、且つ所定の拡がり角
を有している。この為、気泡１６によって散乱光が屈折
してその進行方向が変わるといえども、その一部の成分
が受光器１３（光ファイバ１５）の受光領域に向かうの
で、受光器１３は上記散乱光を確実に受光する。
加えてこの実施形態においては、前記受光器１３は、図
１(ｃ)に示すように透明液体中に気泡１６が混入したと
き、前述した散乱光の一部であって凹レンズとして気泡
１６により屈折された成分を受光するものとなってい
る。即ち、面光源１２から発せられた散乱光は、前述し
たように所定の光束断面積を有し、且つ所定の拡がり角
を有している。この為、気泡１６によって散乱光が屈折
してその進行方向が変わるといえども、その一部の成分
が受光器１３（光ファイバ１５）の受光領域に向かうの
で、受光器１３は上記散乱光を確実に受光する。
【００１６】換言すれば散乱光の一部であって、チュー
ブ１１内を直進して受光器１３（光ファイバ１５）の受
光領域に向かっていた成分が気泡１６により屈折して上
記受光領域から外れる向きに進行しても、上記散乱光の
別の一部であって、本来、受光器１３（光ファイバ１
５）の受光領域から外れる向きに進行していた成分が、
逆に気泡１６により屈曲して上記受光領域に向かうこと
になる。これ故、受光器１３は、散乱光の内、受光領域
の直進していた成分（直接成分）が気泡１６によって屈
曲し、その全てが受光領域に向かわなくなった場合にお
いても、上記散乱光の別の一部であって、気泡１６によ
り屈曲したことによって受光領域に向かうようになった
散乱光の成分（間接成分）を受光することになる。特に
前述したように散乱光が所定の光束断面積を有し、且つ
所定の拡がり角を有しているので、気泡１６によって散
乱光の或る成分が受光器１３の受光領域から外れた向き
に向かうとき、上記散乱光の別の成分が受光器１３の受
光領域に向かうようになるので、受光器１３は気泡１６
による屈折の影響を受けることなく、図１(ｃ)に示すよ
うに面光源１２からチューブ１１内に照射された散乱光
の一部を確実に受光することが可能となる。
ブ１１内を直進して受光器１３（光ファイバ１５）の受
光領域に向かっていた成分が気泡１６により屈折して上
記受光領域から外れる向きに進行しても、上記散乱光の
別の一部であって、本来、受光器１３（光ファイバ１
５）の受光領域から外れる向きに進行していた成分が、
逆に気泡１６により屈曲して上記受光領域に向かうこと
になる。これ故、受光器１３は、散乱光の内、受光領域
の直進していた成分（直接成分）が気泡１６によって屈
曲し、その全てが受光領域に向かわなくなった場合にお
いても、上記散乱光の別の一部であって、気泡１６によ
り屈曲したことによって受光領域に向かうようになった
散乱光の成分（間接成分）を受光することになる。特に
前述したように散乱光が所定の光束断面積を有し、且つ
所定の拡がり角を有しているので、気泡１６によって散
乱光の或る成分が受光器１３の受光領域から外れた向き
に向かうとき、上記散乱光の別の成分が受光器１３の受
光領域に向かうようになるので、受光器１３は気泡１６
による屈折の影響を受けることなく、図１(ｃ)に示すよ
うに面光源１２からチューブ１１内に照射された散乱光
の一部を確実に受光することが可能となる。
【００１７】従って図２に模式的に示すように、散乱光
の拡がり角度および受光器１３の受光視野角度とに応じ
て、球体１０に対して面光源１２の大きさと受光器１３
の受光領域の大きさとを適正に設定することにより、受
光器１３の受光領域を球体１０によって完全に遮断し、
また球体１０が存在しない場合には面光源１２から発せ
られた散乱光の一部を確実に受光し得る光学系を構築す
ることが可能となる。この結果、搬送媒体である透明液
体中に混入した気泡１６の影響を受けることなしに、チ
ューブ１１内における球体１０の存在の有無を確実に検
出することが可能なる。
の拡がり角度および受光器１３の受光視野角度とに応じ
て、球体１０に対して面光源１２の大きさと受光器１３
の受光領域の大きさとを適正に設定することにより、受
光器１３の受光領域を球体１０によって完全に遮断し、
また球体１０が存在しない場合には面光源１２から発せ
られた散乱光の一部を確実に受光し得る光学系を構築す
ることが可能となる。この結果、搬送媒体である透明液
体中に混入した気泡１６の影響を受けることなしに、チ
ューブ１１内における球体１０の存在の有無を確実に検
出することが可能なる。
【００１８】尚、受光器１３の出力（受光量）から球体
１０の存在の有無を判定する判定回路としては、例えば
図３に例示するように受光器１３の出力を前置増幅器２
１を介して所定のレベルに増幅した後、比較器２２を用
いて上記前置増幅器２１の出力レベルを所定の比較基準
値Ｖrefと比較し、その受光レベルが比較基準値Ｖrefよ
りも低下したとき、これを球体１０を検知した状態であ
ると判定するようにすれば良い。そして球体１０の個数
をカウントする必要がある場合には、カウンタ回路２３
を用いて上記比較器２２の出力を累積計数するようにす
れば良い。
１０の存在の有無を判定する判定回路としては、例えば
図３に例示するように受光器１３の出力を前置増幅器２
１を介して所定のレベルに増幅した後、比較器２２を用
いて上記前置増幅器２１の出力レベルを所定の比較基準
値Ｖrefと比較し、その受光レベルが比較基準値Ｖrefよ
りも低下したとき、これを球体１０を検知した状態であ
ると判定するようにすれば良い。そして球体１０の個数
をカウントする必要がある場合には、カウンタ回路２３
を用いて上記比較器２２の出力を累積計数するようにす
れば良い。
【００１９】尚、本発明は上述した実施形態に限定され
るものではない。実施形態においては、面光源１２を用
いて所定の光束断面積を有し、且つ所定の拡がり角を有
する散乱光をチューブ１１内に照射するようにしたが、
例えば図４に例示するように照明用の光ファイバ１４の
光射出端に光拡散板１７を設けて上述した拡散光を得る
ようにしても良い。この場合には、その光源として所定
のビーム経を有するレーザ光を発する半導体レーザ素子
等を用いることも可能である。また実施形態において光
ファイバ１３,１４を用いて光を導くようにしたが、面
光源１２から発せられる散乱光をチューブ１１内に直接
導入し、またチューブ１１を横切った散乱光を受光器１
３にて直接受光するようにその光学系を構築することも
勿論可能である。
るものではない。実施形態においては、面光源１２を用
いて所定の光束断面積を有し、且つ所定の拡がり角を有
する散乱光をチューブ１１内に照射するようにしたが、
例えば図４に例示するように照明用の光ファイバ１４の
光射出端に光拡散板１７を設けて上述した拡散光を得る
ようにしても良い。この場合には、その光源として所定
のビーム経を有するレーザ光を発する半導体レーザ素子
等を用いることも可能である。また実施形態において光
ファイバ１３,１４を用いて光を導くようにしたが、面
光源１２から発せられる散乱光をチューブ１１内に直接
導入し、またチューブ１１を横切った散乱光を受光器１
３にて直接受光するようにその光学系を構築することも
勿論可能である。
【００２０】また散乱光の光束断面積とその拡がり角
度、更には受光器１３における受光視野角度とその受光
領域の大きさについては、検出対象とする球体１０の大
きさやその検出距離等に応じて設定すれば良いものであ
る。その他、本発明はその用紙を逸脱しない範囲で種々
変形して実施することができる。
度、更には受光器１３における受光視野角度とその受光
領域の大きさについては、検出対象とする球体１０の大
きさやその検出距離等に応じて設定すれば良いものであ
る。その他、本発明はその用紙を逸脱しない範囲で種々
変形して実施することができる。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、透
明液体を搬送媒体としてチューブ内を搬送される球体を
光学的に検出するに際して、上記透明液体に混入した気
泡の影響を簡易にして確実に排除し、チューブ内を搬送
される球体を確実に検出することができる。この結果、
球体の個数を正確に計数することが可能となるので、そ
のプロセス管理を信頼性良く確実に実行することが可能
となり、またその構成も簡単なので動作信頼性の高い球
体検出装置を安価に実現しうる等の実用上多大なる効果
が奏せられる。
明液体を搬送媒体としてチューブ内を搬送される球体を
光学的に検出するに際して、上記透明液体に混入した気
泡の影響を簡易にして確実に排除し、チューブ内を搬送
される球体を確実に検出することができる。この結果、
球体の個数を正確に計数することが可能となるので、そ
のプロセス管理を信頼性良く確実に実行することが可能
となり、またその構成も簡単なので動作信頼性の高い球
体検出装置を安価に実現しうる等の実用上多大なる効果
が奏せられる。
【図１】本発明の一実施形態に係る球体検出装置の概略
構成を示す図。
構成を示す図。
【図２】図１に示す球体検出装置における球体に対する
面光源と受光器の光学的な関係を示す図。
面光源と受光器の光学的な関係を示す図。
【図３】図１に示す球体検出装置における球体判定回路
の構成例を示す図。
の構成例を示す図。
【図４】本発明の別の実施形態に係る球体検出装置の概
略構成を示す図。
略構成を示す図。
【図５】従来の球体検出装置の構成例を示す図。
１０ 球体 １１ チューブ １２ 面光源 １３ 受光器 １４ 照明用光ファイバ １５ 受光用光ファイバ １６ 気泡 １７ 拡散板
Claims (5)
- 【請求項１】 透明液体を搬送媒体として透明なチュー
ブ内を１個ずつ搬送される非透明体からなる球体を検出
する球体検出装置であって、 前記チューブの側面から該チューブ内に所定の光束断面
積を有し、且つ所定の拡がり角を有する散乱光を照射す
る面光源と、 前記チューブを介して上記面光源に受光領域を対向配置
してなり、前記散乱光の一部であって上記受光領域に向
けて前記透明液体を透過した成分、および／または前記
散乱光の一部であって前記透明液体に混入した気泡によ
り屈折されて前記受光領域に向けて前記透明液体から出
射する成分を受光すると共に、前記チューブ内を搬送さ
れる前記球体により前記受光領域が遮られる受光器と、 この受光器による受光信号を判定して前記チューブ内を
搬送される球体の存在を検出する判定手段とを具備した
ことを特徴とする球体検出装置。 - 【請求項２】 前記受光器は、前記球体により受光視野
領域の全てが遮られる受光領域を備え、上記受光視野領
域から前記球体が外れたときに前記透明液体を透過した
散乱光の一部、および／または前記散乱光の一部であっ
て前記透明液体に混入した気泡により屈折されて前記透
明液体を透過した成分を受光可能に、前記受光領域を前
記チューブを介して前記面光源に対向配置したものであ
る請求項１に記載の球体検出装置。 - 【請求項３】 前記面光源および前記受光器は、それぞ
れ光ファイバを介して前記チューブの側面に対向配置さ
れることを特徴とする請求項１に記載の球体検出装置。 - 【請求項４】 前記面光源は、光の拡散板を備えて拡散
光を生成するものである請求項１に記載の球体検出装
置。 - 【請求項５】 前記球体は、機能素子が集積回路化され
るボール状の半導体デバイスからなる請求項１〜４のい
ずれかに記載の球体検出装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000153138A JP3716384B2 (ja) | 2000-05-24 | 2000-05-24 | 球体検出装置 |
| US09/617,210 US6534778B1 (en) | 2000-05-24 | 2000-07-17 | Apparatus for detecting balls carried in tube |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000153138A JP3716384B2 (ja) | 2000-05-24 | 2000-05-24 | 球体検出装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001331777A true JP2001331777A (ja) | 2001-11-30 |
| JP3716384B2 JP3716384B2 (ja) | 2005-11-16 |
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ID=18658457
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|---|---|---|---|
| JP2000153138A Expired - Fee Related JP3716384B2 (ja) | 2000-05-24 | 2000-05-24 | 球体検出装置 |
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| JP (1) | JP3716384B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5607185B2 (ja) * | 2011-02-14 | 2014-10-15 | 株式会社環境総合テクノス | 自然および人工構造物変状検知装置 |
| WO2020189396A1 (ja) * | 2019-03-15 | 2020-09-24 | シャープ株式会社 | 液体洗剤検知装置およびそれを用いた洗濯機 |
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| JPS5933856B2 (ja) * | 1979-10-09 | 1984-08-18 | オリンパス光学工業株式会社 | 凝集反応測定方法およびそれに用いる反応容器 |
| US5955776A (en) * | 1996-12-04 | 1999-09-21 | Ball Semiconductor, Inc. | Spherical shaped semiconductor integrated circuit |
| US6043871A (en) * | 1997-03-03 | 2000-03-28 | Brigham Young University | System and method for measuring blood platelet function |
| US6106614A (en) * | 1998-10-15 | 2000-08-22 | Starmet Corp | Method and apparatus for fabricating near spherical semiconductor single crystal particulate and the spherical product produced |
-
2000
- 2000-05-24 JP JP2000153138A patent/JP3716384B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2000-07-17 US US09/617,210 patent/US6534778B1/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5607185B2 (ja) * | 2011-02-14 | 2014-10-15 | 株式会社環境総合テクノス | 自然および人工構造物変状検知装置 |
| WO2020189396A1 (ja) * | 2019-03-15 | 2020-09-24 | シャープ株式会社 | 液体洗剤検知装置およびそれを用いた洗濯機 |
| CN113544473A (zh) * | 2019-03-15 | 2021-10-22 | 夏普株式会社 | 液体洗涤剂检测装置及使用其的洗衣机 |
| JP7401524B2 (ja) | 2019-03-15 | 2023-12-19 | シャープ株式会社 | 液体洗剤検知装置およびそれを用いた洗濯機 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6534778B1 (en) | 2003-03-18 |
| JP3716384B2 (ja) | 2005-11-16 |
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