JP2001330787A - 導波路型光スイッチ - Google Patents
導波路型光スイッチInfo
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- JP2001330787A JP2001330787A JP2000152783A JP2000152783A JP2001330787A JP 2001330787 A JP2001330787 A JP 2001330787A JP 2000152783 A JP2000152783 A JP 2000152783A JP 2000152783 A JP2000152783 A JP 2000152783A JP 2001330787 A JP2001330787 A JP 2001330787A
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- waveguide
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 光軸ずれによる損失と損失のばらつきとが少
ない導波路型光スイッチを提供する。 【解決手段】 光信号の光路を機械的に切り替える導波
路型光スイッチの光路を切り替える部分の入力光導波路
５、６と出力光導波路１２〜１５とが対向する部分のコ
ア径をテーパ状に変化させることにより、光信号のスポ
ットサイズを拡大させることができるので、光の結合効
率を向上させることができ、損失の低減及びずれ量に対
する損失の増加を抑えることができる。
ない導波路型光スイッチを提供する。 【解決手段】 光信号の光路を機械的に切り替える導波
路型光スイッチの光路を切り替える部分の入力光導波路
５、６と出力光導波路１２〜１５とが対向する部分のコ
ア径をテーパ状に変化させることにより、光信号のスポ
ットサイズを拡大させることができるので、光の結合効
率を向上させることができ、損失の低減及びずれ量に対
する損失の増加を抑えることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光通信において光
信号の光路を機械的に切り替える導波路型光スイッチに
関する。
信号の光路を機械的に切り替える導波路型光スイッチに
関する。
【０００２】
【従来の技術】図３（ａ）は従来の導波路型光スイッチ
の概念図であり、図３（ｂ）は図３（ａ）のＡ−Ａ線断
面図である（Ｍａｓａｙａ ＨＯＲＩＮＯ，Ｋａｚｕｔ
ａｋａ ＳＡＴＯ，Ｔｅｒｕｈｉｓａ ＡＫＡＳＨＩ，
Ｎｏｒｉｆｕｍｉ ＫＯＭＡＴＳＵ ａｎｄ Ｄａｉ
ＫＯＢＡＹＡＳＨＩ，“Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ ｏｆ
Ｐｒｏｔｏｔｙｐｅ Ｍｉｃｒｏｍｅｃｈａｎｉｃａ
ｌ ＯｐｔｉｃａｌＳｗｉｔｃｈ”，ＪＳＭＥ Ｉｎｔ
ｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｊｏｕｒｎａｌ，Ｓｅｒｉｅｓ
Ｃ，Ｖｏｌ．４１，Ｎｏ．４，１９９８）。
の概念図であり、図３（ｂ）は図３（ａ）のＡ−Ａ線断
面図である（Ｍａｓａｙａ ＨＯＲＩＮＯ，Ｋａｚｕｔ
ａｋａ ＳＡＴＯ，Ｔｅｒｕｈｉｓａ ＡＫＡＳＨＩ，
Ｎｏｒｉｆｕｍｉ ＫＯＭＡＴＳＵ ａｎｄ Ｄａｉ
ＫＯＢＡＹＡＳＨＩ，“Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ ｏｆ
Ｐｒｏｔｏｔｙｐｅ Ｍｉｃｒｏｍｅｃｈａｎｉｃａ
ｌ ＯｐｔｉｃａｌＳｗｉｔｃｈ”，ＪＳＭＥ Ｉｎｔ
ｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｊｏｕｒｎａｌ，Ｓｅｒｉｅｓ
Ｃ，Ｖｏｌ．４１，Ｎｏ．４，１９９８）。
【０００３】導波路型光スイッチ１のスイッチ可動部
は、石英基板２上にＳｉ犠牲層３及び石英からなるクラ
ッド４を堆積させた積層体にエッチングを施し、先端
（図３（ａ）では右端）が連結され後端が積層体の一端
（図では左端）に固定され、石英基板２との間の犠牲層
３が除去された２本の片持ち梁状の入力光導波路５、６
と、入力光導波路５、６の先端部を連結する連結部７上
に固定された軟磁性体８とで形成されている。
は、石英基板２上にＳｉ犠牲層３及び石英からなるクラ
ッド４を堆積させた積層体にエッチングを施し、先端
（図３（ａ）では右端）が連結され後端が積層体の一端
（図では左端）に固定され、石英基板２との間の犠牲層
３が除去された２本の片持ち梁状の入力光導波路５、６
と、入力光導波路５、６の先端部を連結する連結部７上
に固定された軟磁性体８とで形成されている。
【０００４】入力光導波路５はコア５ａ及びコア５ａを
覆うクラッド５ｂからなり、入力光導波路６はコア６ａ
及びコア６ａを覆うクラッド６ｂからなっている。
覆うクラッド５ｂからなり、入力光導波路６はコア６ａ
及びコア６ａを覆うクラッド６ｂからなっている。
【０００５】クラッド４上の軟磁性体８の両側（図３
（ａ）では上下）を挟む位置には第１電磁アクチュエー
タ９及び第２電磁アクチュエータ１０がそれぞれ配置さ
れている。第１電磁アクチュエータ９は、対向して配置
される一対のコの字形状のヨーク９ａ、９ｂ、ヨーク９
ａ、９ｂにそれぞれ設けられたコイル９ｃ、９ｄ及び両
ヨーク９ａ、９ｂ間に設けられた永久磁石９ｅとで構成
されており、第２電磁アクチュエータも同様に一対のコ
の字形状のヨーク１０ａ、１０ｂ、ヨーク１０ａ、１０
ｂにそれぞれ設けられたコイル１０ｃ、１０ｄ及び両ヨ
ーク１０ａ、１０ｂ間に設けられた永久磁石１０ｅとで
構成されている。これら軟磁性体８、第１電磁アクチュ
エータ９及び第２電磁アクチュエータ１０で駆動手段１
７が構成されている。
（ａ）では上下）を挟む位置には第１電磁アクチュエー
タ９及び第２電磁アクチュエータ１０がそれぞれ配置さ
れている。第１電磁アクチュエータ９は、対向して配置
される一対のコの字形状のヨーク９ａ、９ｂ、ヨーク９
ａ、９ｂにそれぞれ設けられたコイル９ｃ、９ｄ及び両
ヨーク９ａ、９ｂ間に設けられた永久磁石９ｅとで構成
されており、第２電磁アクチュエータも同様に一対のコ
の字形状のヨーク１０ａ、１０ｂ、ヨーク１０ａ、１０
ｂにそれぞれ設けられたコイル１０ｃ、１０ｄ及び両ヨ
ーク１０ａ、１０ｂ間に設けられた永久磁石１０ｅとで
構成されている。これら軟磁性体８、第１電磁アクチュ
エータ９及び第２電磁アクチュエータ１０で駆動手段１
７が構成されている。
【０００６】基板１上の他端には、入力光導波路５と選
択的に光結合する２本の出力光導波路１２、１３と、入
力光導波路６と選択的に光結合する２本の出力光導波路
１４、１５とが形成されている。
択的に光結合する２本の出力光導波路１２、１３と、入
力光導波路６と選択的に光結合する２本の出力光導波路
１４、１５とが形成されている。
【０００７】入力光導波路５、６のクラッド５ｂ、６ｂ
と、出力光導波路１２〜１５のクラッドと、クラッド４
とは一体化されている。
と、出力光導波路１２〜１５のクラッドと、クラッド４
とは一体化されている。
【０００８】入力光導波路５、６と、出力光導波路１２
〜１５との間隙には、入出力光導波路５、６、１２〜１
５と等しい屈折率を有する屈折率整合液（マッチングオ
イル）１６が充填されている。
〜１５との間隙には、入出力光導波路５、６、１２〜１
５と等しい屈折率を有する屈折率整合液（マッチングオ
イル）１６が充填されている。
【０００９】入力光導波路５、６の連結部７に固定され
た軟磁性体８が、第１電磁アクチュエータ９に矢印１８
方向に吸引されると、入力光導波路５が出力光導波路１
２に光学的に結合し、入力光導波路６が出力光導波路１
４に光学的に結合する。これとは逆に、軟磁性体８が第
２電磁アクチュエータ１０に矢印１９方向に吸引される
と、入力光導波路５が出力光導波路１３に光学的に結合
し、入力光導波路６が出力光導波路１５に光学的に結合
する。
た軟磁性体８が、第１電磁アクチュエータ９に矢印１８
方向に吸引されると、入力光導波路５が出力光導波路１
２に光学的に結合し、入力光導波路６が出力光導波路１
４に光学的に結合する。これとは逆に、軟磁性体８が第
２電磁アクチュエータ１０に矢印１９方向に吸引される
と、入力光導波路５が出力光導波路１３に光学的に結合
し、入力光導波路６が出力光導波路１５に光学的に結合
する。
【００１０】この結果、両電磁アクチュエータ９、１０
に吸引される方向の出力光導波路１２〜１５に、２本の
入力光導波路５、６の光路を同時に切り替えることがで
きる。
に吸引される方向の出力光導波路１２〜１５に、２本の
入力光導波路５、６の光路を同時に切り替えることがで
きる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】ところで、光路切り替
え後の入力光導波路５、６と出力光導波路１２〜１５と
の位置合わせは、入力光導波路５、６の側面が、クラッ
ド４の壁面に接触することによって行われる。この入出
力光導波路５、６、１２〜１５の位置合わせの精度は片
持ち梁状の入力光導波路５、６を形成するときのドライ
エッチングの精度で決定される。通常、ドライエッチン
グプロセスには、必ずエッチング量にばらつきが生じ、
同一ウェハ内、かつ異なるウェハ同士でばらつきの分布
が発生する。エッチング誤差により溝の幅寸法が設計値
と異なるため、光路切り替え時に入力光導波路５、６と
出力光導波路１２〜１５との光軸がずれ、効率良く出力
光導波路１２〜１５に入射することができずに損失が増
加する問題があった。また、ばらつき分布で入力光導波
路５、６と出力光導波路１２〜１５との間の溝の幅寸法
にばらつきが生じるので、異なる光スイッチ同士で損失
が大きく異なる問題があった。
え後の入力光導波路５、６と出力光導波路１２〜１５と
の位置合わせは、入力光導波路５、６の側面が、クラッ
ド４の壁面に接触することによって行われる。この入出
力光導波路５、６、１２〜１５の位置合わせの精度は片
持ち梁状の入力光導波路５、６を形成するときのドライ
エッチングの精度で決定される。通常、ドライエッチン
グプロセスには、必ずエッチング量にばらつきが生じ、
同一ウェハ内、かつ異なるウェハ同士でばらつきの分布
が発生する。エッチング誤差により溝の幅寸法が設計値
と異なるため、光路切り替え時に入力光導波路５、６と
出力光導波路１２〜１５との光軸がずれ、効率良く出力
光導波路１２〜１５に入射することができずに損失が増
加する問題があった。また、ばらつき分布で入力光導波
路５、６と出力光導波路１２〜１５との間の溝の幅寸法
にばらつきが生じるので、異なる光スイッチ同士で損失
が大きく異なる問題があった。
【００１２】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、光軸ずれによる損失と損失のばらつきとが少ない導
波路型光スイッチを提供することにある。
し、光軸ずれによる損失と損失のばらつきとが少ない導
波路型光スイッチを提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の導波路型光スイッチは、基板と、基板上に対
向する端部の一端から他端に向かって所定の長さだけ張
り出すと共に、その張り出した部分と基板との間に隙間
が形成されて可撓性を有し、コア及びコアを覆うクラッ
ドからなる片持ち梁状の入力光導波路と、基板上に入力
光導波路と一定の間隔を隔てて形成され入力光導波路の
側面方向の撓み量を規制するクラッドと、基板の他端に
入力光導波路の先端と対向するように形成され入力光導
波路がいずれか一方のクラッド側に撓んだときに入力導
波路の先端部とそれぞれ選択的に光結合する複数の出力
光導波路と、入力光導波と出力光導波路との間に形成さ
れる溝に充填された屈折率整合液と、入力光導波路の先
端部及びクラッド上に設けられ入力光導波路を側面方向
に撓ませる駆動手段とを備えた導波路型光スイッチにお
いて、入力光導波路及び出力光導波路の光結合する部分
のコア径を変化させたものである。
に本発明の導波路型光スイッチは、基板と、基板上に対
向する端部の一端から他端に向かって所定の長さだけ張
り出すと共に、その張り出した部分と基板との間に隙間
が形成されて可撓性を有し、コア及びコアを覆うクラッ
ドからなる片持ち梁状の入力光導波路と、基板上に入力
光導波路と一定の間隔を隔てて形成され入力光導波路の
側面方向の撓み量を規制するクラッドと、基板の他端に
入力光導波路の先端と対向するように形成され入力光導
波路がいずれか一方のクラッド側に撓んだときに入力導
波路の先端部とそれぞれ選択的に光結合する複数の出力
光導波路と、入力光導波と出力光導波路との間に形成さ
れる溝に充填された屈折率整合液と、入力光導波路の先
端部及びクラッド上に設けられ入力光導波路を側面方向
に撓ませる駆動手段とを備えた導波路型光スイッチにお
いて、入力光導波路及び出力光導波路の光結合する部分
のコア径を変化させたものである。
【００１４】上記構成に加え本発明の導波路型光スイッ
チは、入力光導波路及び出力光導波路が複数組平行に形
成され、かつ入力光導波路の先端部が連結されていても
よい。
チは、入力光導波路及び出力光導波路が複数組平行に形
成され、かつ入力光導波路の先端部が連結されていても
よい。
【００１５】上記構成に加え本発明の導波路型光スイッ
チの入力光導波路及び出力光導波路は、コアとクラッド
との比屈折率差が０．３％のとき、コア幅を８μｍから
１１μｍに広げたテーパ部を有するのが好ましい。
チの入力光導波路及び出力光導波路は、コアとクラッド
との比屈折率差が０．３％のとき、コア幅を８μｍから
１１μｍに広げたテーパ部を有するのが好ましい。
【００１６】上記構成に加え本発明の導波路型光スイッ
チの入力光導波路及び出力光導波路のテーパ部は、テー
パ角度が０．３°以下であるのが好ましい。
チの入力光導波路及び出力光導波路のテーパ部は、テー
パ角度が０．３°以下であるのが好ましい。
【００１７】本発明によれば、光信号の光路を機械的に
切り替える導波路型光スイッチの光路を切り替える部分
の入力光導波路と出力光導波路とが対向する部分のコア
径を変化させることにより、光信号のスポットサイズを
拡大させることができるので、光の結合効率を向上させ
ることができ、損失の低減及びずれ量に対する損失の増
加を抑えることができる。
切り替える導波路型光スイッチの光路を切り替える部分
の入力光導波路と出力光導波路とが対向する部分のコア
径を変化させることにより、光信号のスポットサイズを
拡大させることができるので、光の結合効率を向上させ
ることができ、損失の低減及びずれ量に対する損失の増
加を抑えることができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて詳述する。
図面に基づいて詳述する。
【００１９】図１（ａ）は本発明の導波路型光スイッチ
の一実施の形態を示す概念図であり、図１（ｂ）は図１
（ａ）の駆動手段を取り除いたときの入力光導波路の先
端部付近の部分拡大図である。尚、図３（ａ）、（ｂ）
に示した従来例と同様の部材には共通の符号を用いた。
また、図１（ｂ）は入力光導波路に取付けられた軟磁性
体が第１電磁アクチュエータに吸引された状態を示して
いる。
の一実施の形態を示す概念図であり、図１（ｂ）は図１
（ａ）の駆動手段を取り除いたときの入力光導波路の先
端部付近の部分拡大図である。尚、図３（ａ）、（ｂ）
に示した従来例と同様の部材には共通の符号を用いた。
また、図１（ｂ）は入力光導波路に取付けられた軟磁性
体が第１電磁アクチュエータに吸引された状態を示して
いる。
【００２０】本導波路型光スイッチ２０の図３に示した
従来例との相違点は、入力光導波路５、６及び出力光導
波路１２〜１５の光結合する部分のコア径を変化させた
ものである。
従来例との相違点は、入力光導波路５、６及び出力光導
波路１２〜１５の光結合する部分のコア径を変化させた
ものである。
【００２１】すなわち、本導波路型光スイッチ２０は、
基板２と、基板２上に対向する端部の一端（図１（ａ）
では左端）から他端（図１（ｂ）では右端）に向かって
所定の長さだけ張り出すと共に、その張り出した部分と
基板２との間に隙間が形成されて可撓性を有し、コア５
ａ及びコア５ａを覆うクラッド５ｂからなる片持ち梁状
の入力光導波路５と、入力光導波路５と平行で先端部同
士が連結されたコア６ａ及びコア６ａを覆うクラッド６
ｂからなる片持ち梁状の入力光導波路６と、基板２上に
入力光導波路５、６と一定の間隔を隔てて形成され、入
力光導波路５、６の側面方向の撓み量を規制するクラッ
ド４と、基板２の他端に入力光導波路５、６の先端と対
向するように形成され入力光導波路５、６がいずれか一
方のクラッド４側に撓んだときに入力光導波路５、６の
先端部とそれぞれ光学的に結合する４本の出力光導波路
１２〜１５と、入力光導波５、６と出力光導波路１２〜
１５との間に形成される溝に充填された屈折率整合液１
６と、入力光導波路５、６の先端部の連結部７及びクラ
ッド４上に設けられ入力光導波路５、６を側面方向に撓
ませる駆動手段１７とを備えた導波路型光スイッチであ
って、入力光導波路５、６及び出力光導波路１２〜１５
の光結合する部分のコア径が先端に向かって大きくなる
テーパ部５ｔ、６ｔ、１２ｔ、１３ｔ、１４ｔ、１５ｔ
を有しているものである。
基板２と、基板２上に対向する端部の一端（図１（ａ）
では左端）から他端（図１（ｂ）では右端）に向かって
所定の長さだけ張り出すと共に、その張り出した部分と
基板２との間に隙間が形成されて可撓性を有し、コア５
ａ及びコア５ａを覆うクラッド５ｂからなる片持ち梁状
の入力光導波路５と、入力光導波路５と平行で先端部同
士が連結されたコア６ａ及びコア６ａを覆うクラッド６
ｂからなる片持ち梁状の入力光導波路６と、基板２上に
入力光導波路５、６と一定の間隔を隔てて形成され、入
力光導波路５、６の側面方向の撓み量を規制するクラッ
ド４と、基板２の他端に入力光導波路５、６の先端と対
向するように形成され入力光導波路５、６がいずれか一
方のクラッド４側に撓んだときに入力光導波路５、６の
先端部とそれぞれ光学的に結合する４本の出力光導波路
１２〜１５と、入力光導波５、６と出力光導波路１２〜
１５との間に形成される溝に充填された屈折率整合液１
６と、入力光導波路５、６の先端部の連結部７及びクラ
ッド４上に設けられ入力光導波路５、６を側面方向に撓
ませる駆動手段１７とを備えた導波路型光スイッチであ
って、入力光導波路５、６及び出力光導波路１２〜１５
の光結合する部分のコア径が先端に向かって大きくなる
テーパ部５ｔ、６ｔ、１２ｔ、１３ｔ、１４ｔ、１５ｔ
を有しているものである。
【００２２】入力光導波路５、６及び出力光導波路１２
〜１５は、コア５ａ、６ａ、１２ａ〜１５ａとクラッド
５ｂ、６ｂ、１２ｂ〜１５ｂとの比屈折率差が０．３％
のとき、コア幅を８μｍから１１μｍに広げたテーパ部
を有するのが好ましい。また、テーパ角度は０．３°以
下であるのが好ましい。
〜１５は、コア５ａ、６ａ、１２ａ〜１５ａとクラッド
５ｂ、６ｂ、１２ｂ〜１５ｂとの比屈折率差が０．３％
のとき、コア幅を８μｍから１１μｍに広げたテーパ部
を有するのが好ましい。また、テーパ角度は０．３°以
下であるのが好ましい。
【００２３】本導波路型光スイッチは、光路を切り替え
る部分の入力光導波路５、６と出力光導波路１２〜１５
とが対向する部分のコア径を変化させることにより、光
信号のスポットサイズを拡大させることができるので、
光の結合効率を向上させることができ、損失の低減及び
ずれ量に対する損失の増加を抑えることができる。
る部分の入力光導波路５、６と出力光導波路１２〜１５
とが対向する部分のコア径を変化させることにより、光
信号のスポットサイズを拡大させることができるので、
光の結合効率を向上させることができ、損失の低減及び
ずれ量に対する損失の増加を抑えることができる。
【００２４】尚、本実施の形態では駆動手段１７が、軟
磁性体８と、第１電磁アクチュエータ９と、第２電磁ア
クチュエータ１０とで構成された場合で説明したが、こ
れに限定されず、軟磁性体８、第１電磁アクチュエータ
９及び第２電磁アクチュエータ１０の代りにそれぞれ電
極を用いて電圧を印加し静電力を用いて駆動させるよう
にしてもよい。
磁性体８と、第１電磁アクチュエータ９と、第２電磁ア
クチュエータ１０とで構成された場合で説明したが、こ
れに限定されず、軟磁性体８、第１電磁アクチュエータ
９及び第２電磁アクチュエータ１０の代りにそれぞれ電
極を用いて電圧を印加し静電力を用いて駆動させるよう
にしてもよい。
【００２５】また、本実施の形態では入力光導波路５、
６の数が２本の場合で説明したが、入力光導波路に対応
する本数の出力光導波路があれば入力光導波路の本数が
１本であっても３本以上であってもよい。
６の数が２本の場合で説明したが、入力光導波路に対応
する本数の出力光導波路があれば入力光導波路の本数が
１本であっても３本以上であってもよい。
【００２６】
【実施例】次に具体的な数値を挙げて説明するが限定さ
れるものではない。
れるものではない。
【００２７】入力光導波路５、６の先端部と出力光導波
路１２〜１５の先端部とが対向する部分の溝（スイッチ
切り替え溝）２１の幅Ｗを２０μｍとし、そのスイッチ
切り替え溝２１にはコアの屈折率と同等の屈折率を有す
る屈折率整合液１６が充填されている。このような条件
下で入力光導波路５、６と出力光導波路１２〜１５との
光軸ずれ量（オフセット）が生じた場合の結合損失を図
２に示す。
路１２〜１５の先端部とが対向する部分の溝（スイッチ
切り替え溝）２１の幅Ｗを２０μｍとし、そのスイッチ
切り替え溝２１にはコアの屈折率と同等の屈折率を有す
る屈折率整合液１６が充填されている。このような条件
下で入力光導波路５、６と出力光導波路１２〜１５との
光軸ずれ量（オフセット）が生じた場合の結合損失を図
２に示す。
【００２８】図２は図１に示した導波路型光スイッチの
結合損失特性を示す図であり、横軸が光軸オフセット量
軸であり、縦軸が結合損失軸である。
結合損失特性を示す図であり、横軸が光軸オフセット量
軸であり、縦軸が結合損失軸である。
【００２９】同図において、コア高さを８μｍとし、コ
ア幅を８μｍとした断面正方形のコアの場合と、コア高
さを８μｍとし、コア幅を１１μｍとしたテーパ状コア
の場合とが比較されており、同じ光軸ずれ量に対して損
失が約０．２ｄＢ低くなる。また、光軸ずれ量のばらつ
きが３μｍ以下で分布するとした場合、テーパコアの損
失増加量は１．３４ｄＢとなるが、断面正方形コアの最
大損失増加量は１．４６ｄＢとなり、損失分布が抑えら
れることが分る。
ア幅を８μｍとした断面正方形のコアの場合と、コア高
さを８μｍとし、コア幅を１１μｍとしたテーパ状コア
の場合とが比較されており、同じ光軸ずれ量に対して損
失が約０．２ｄＢ低くなる。また、光軸ずれ量のばらつ
きが３μｍ以下で分布するとした場合、テーパコアの損
失増加量は１．３４ｄＢとなるが、断面正方形コアの最
大損失増加量は１．４６ｄＢとなり、損失分布が抑えら
れることが分る。
【００３０】以上において、光軸ずれによる損失を低減
でき、損失のばらつきを少なくすることができる。ま
た、エッチングの許容誤差が小さいので歩留まり向上が
期待される。
でき、損失のばらつきを少なくすることができる。ま
た、エッチングの許容誤差が小さいので歩留まり向上が
期待される。
【００３１】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な優れた効果を発揮する。
な優れた効果を発揮する。
【００３２】光軸ずれによる損失と損失のばらつきとが
少ない導波路型光スイッチの提供を実現できる。
少ない導波路型光スイッチの提供を実現できる。
【図１】（ａ）は本発明の導波路型光スイッチの一実施
の形態を示す概念図であり、（ｂ）は（ａ）の駆動手段
を取り除いたときの入力光導波路の先端部付近の部分拡
大図である。
の形態を示す概念図であり、（ｂ）は（ａ）の駆動手段
を取り除いたときの入力光導波路の先端部付近の部分拡
大図である。
【図２】図１に示した導波路型光スイッチの結合損失特
性を示す図である。
性を示す図である。
【図３】（ａ）は従来の導波路型光スイッチの概念図で
あり、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。
あり、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。
５、６ 入力光導波路 ５ｔ、６ｔ、１２ｔ〜１５ｔ テーパ部 ７ 連結部 ８ 軟磁性体 ９ 第１電磁アクチュエータ １０ 第２電磁アクチュエータ １２〜１５ 出力光導波路 １７ 駆動手段
Claims (4)
- 【請求項１】 基板と、該基板上に対向する端部の一端
から他端に向かって所定の長さだけ張り出すと共に、そ
の張り出した部分と上記基板との間に隙間が形成されて
可撓性を有し、コア及び該コアを覆うクラッドからなる
片持ち梁状の入力光導波路と、上記基板上に上記入力光
導波路と一定の間隔を隔てて形成され上記入力光導波路
の側面方向の撓み量を規制するクラッドと、上記基板上
の他端に上記入力光導波路の先端と対向するように形成
され上記入力光導波路がいずれか一方のクラッド側に撓
んだときに上記入力導波路の先端部とそれぞれ選択的に
光結合する複数の出力光導波路と、上記入力光導波と上
記出力光導波路との間に形成される溝に充填された屈折
率整合液と、上記入力光導波路の先端部及び上記クラッ
ド上に設けられ上記入力光導波路を側面方向に撓ませる
駆動手段とを備えた導波路型光スイッチにおいて、上記
入力光導波路及び上記出力光導波路の光結合する部分の
コア径を変化させたことを特徴とする導波路型光スイッ
チ。 - 【請求項２】 上記入力光導波路及び上記出力光導波路
が複数組平行に形成され、かつ上記入力光導波路の先端
部が連結されている請求項１に記載の導波路型光スイッ
チ。 - 【請求項３】 上記入力光導波路及び上記出力光導波路
は、上記コアと上記クラッドとの比屈折率差が０．３％
のとき、コア幅を８μｍから１１μｍに広げたテーパ部
を有する請求項１または２に記載の導波路型光スイッ
チ。 - 【請求項４】 上記入力光導波路及び上記出力光導波路
のテーパ部は、テーパ角度が０．３°以下である請求項
３のいずれかに記載の導波路型光スイッチ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000152783A JP2001330787A (ja) | 2000-05-19 | 2000-05-19 | 導波路型光スイッチ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000152783A JP2001330787A (ja) | 2000-05-19 | 2000-05-19 | 導波路型光スイッチ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001330787A true JP2001330787A (ja) | 2001-11-30 |
Family
ID=18658153
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000152783A Pending JP2001330787A (ja) | 2000-05-19 | 2000-05-19 | 導波路型光スイッチ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001330787A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100626650B1 (ko) | 2003-12-27 | 2006-09-25 | 한국전자통신연구원 | 마이크로파 대역용 슬라이드식 전도체 금속 도파관 스위치 |
| JP2008268891A (ja) * | 2007-03-23 | 2008-11-06 | Tohoku Univ | 光導波路デバイス及びその製造方法 |
| US11121442B2 (en) | 2019-03-25 | 2021-09-14 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Waveguide for changing frequency range by using sectional variable of waveguide and frequency range changing method |
-
2000
- 2000-05-19 JP JP2000152783A patent/JP2001330787A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100626650B1 (ko) | 2003-12-27 | 2006-09-25 | 한국전자통신연구원 | 마이크로파 대역용 슬라이드식 전도체 금속 도파관 스위치 |
| JP2008268891A (ja) * | 2007-03-23 | 2008-11-06 | Tohoku Univ | 光導波路デバイス及びその製造方法 |
| US11121442B2 (en) | 2019-03-25 | 2021-09-14 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Waveguide for changing frequency range by using sectional variable of waveguide and frequency range changing method |
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