JP2001330569A - 非破壊検査装置 - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】超音波とＸ線で被検体をそれぞれ非破壊検査す
る際、２つの画像の重ね合わせを簡単に行うようにす
る。 【解決手段】あらかじめ超音波で被検体６を検査して得
られた超音波静止画像をメモリ９に記憶しておく。その
被検体６をＸ線検査装置のステージにセットする。Ｘ線
で被検体６を検査してＸ線動画像を生成して画像メモリ
１２に格納する。メモリ９から読み出した超音波静止画
像とＸ線動画像をＶＲＡＭ１９上で重ね合わせ、ＣＲＴ
１５に表示する。ＣＲＴ１５に表示された超音波静止画
像とＸ線動画像が一致していない場合、表示画面をみな
がら、ジョイスティックでステージをＸＹＺθ方向に移
動させる。Ｘ線動画像はリアルタイムでその位置大きさ
が変更される。これにより、簡単に両画像を一致させる
ことができる。
る際、２つの画像の重ね合わせを簡単に行うようにす
る。 【解決手段】あらかじめ超音波で被検体６を検査して得
られた超音波静止画像をメモリ９に記憶しておく。その
被検体６をＸ線検査装置のステージにセットする。Ｘ線
で被検体６を検査してＸ線動画像を生成して画像メモリ
１２に格納する。メモリ９から読み出した超音波静止画
像とＸ線動画像をＶＲＡＭ１９上で重ね合わせ、ＣＲＴ
１５に表示する。ＣＲＴ１５に表示された超音波静止画
像とＸ線動画像が一致していない場合、表示画面をみな
がら、ジョイスティックでステージをＸＹＺθ方向に移
動させる。Ｘ線動画像はリアルタイムでその位置大きさ
が変更される。これにより、簡単に両画像を一致させる
ことができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、異なる２種類の検
査媒体で被検体を被破壊検査する検査装置に関する。と
くに本発明は、Ｘ線画像と超音波画像を重ね合わせて被
検体の内部構造を検査する非破壊検査装置に使用して好
適なものである。
査媒体で被検体を被破壊検査する検査装置に関する。と
くに本発明は、Ｘ線画像と超音波画像を重ね合わせて被
検体の内部構造を検査する非破壊検査装置に使用して好
適なものである。
【０００２】
【従来の技術】合成樹脂のような封止材でＩＣ回路基板
を内部に封止する半導体パッケージでは、合成樹脂材と
ＩＣ回路基板との剥離を超音波により検査し、ＩＣ回路
とリードフレームとを結線するボンディングワイヤの断
線の有無はＸ線検査装置で検査する。従来は次のように
して検査が行われている。まず超音波検査装置で被検体
である半導体パッケージの超音波静止画像を生成してＸ
線検査装置のメモリに格納しておく。その後、半導体パ
ッケージをＸ線検査装置のテーブルにセットしてＸ線静
止画像を生成する。このＸ線静止画像とメモリ内の超音
波静止画像をＶＲＡＭ上で重ね合わせ、モニタに超音波
静止画像とＸ線静止画像の重ね合わせ像を表示する。超
音波静止画像とＸ線静止画像とが正しく重ね合わされて
いないときは、Ｘ線検査装置のステージをＸＹＺあるい
はθ方向に移動してＸ線画像を再入力し、Ｘ線静止画像
と超音波画像との重なり具合をモニタ上でチェックす
る。ステージ移動後もまだ両画像が一致しないときは、
再びステージをＸＹＺあるいはθ方向に移動してＸ線画
像を再入力して超音波画像との重なり具合をモニタ上で
チェックする。こうして、超音波静止画像とＸ線静止画
像を正しく重ね合わせる。
を内部に封止する半導体パッケージでは、合成樹脂材と
ＩＣ回路基板との剥離を超音波により検査し、ＩＣ回路
とリードフレームとを結線するボンディングワイヤの断
線の有無はＸ線検査装置で検査する。従来は次のように
して検査が行われている。まず超音波検査装置で被検体
である半導体パッケージの超音波静止画像を生成してＸ
線検査装置のメモリに格納しておく。その後、半導体パ
ッケージをＸ線検査装置のテーブルにセットしてＸ線静
止画像を生成する。このＸ線静止画像とメモリ内の超音
波静止画像をＶＲＡＭ上で重ね合わせ、モニタに超音波
静止画像とＸ線静止画像の重ね合わせ像を表示する。超
音波静止画像とＸ線静止画像とが正しく重ね合わされて
いないときは、Ｘ線検査装置のステージをＸＹＺあるい
はθ方向に移動してＸ線画像を再入力し、Ｘ線静止画像
と超音波画像との重なり具合をモニタ上でチェックす
る。ステージ移動後もまだ両画像が一致しないときは、
再びステージをＸＹＺあるいはθ方向に移動してＸ線画
像を再入力して超音波画像との重なり具合をモニタ上で
チェックする。こうして、超音波静止画像とＸ線静止画
像を正しく重ね合わせる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、超音
波静止画像とＸ線静止画像を正しい位置関係で重ね合わ
せて表示するには、トライアンドエラーによりステージ
を操作してＸ線による被検体の静止画像を調節する必要
があり、操作が非常に煩雑であった。
波静止画像とＸ線静止画像を正しい位置関係で重ね合わ
せて表示するには、トライアンドエラーによりステージ
を操作してＸ線による被検体の静止画像を調節する必要
があり、操作が非常に煩雑であった。
【０００４】本発明の目的は、異なる２種類の検査媒体
で被検体を非破壊検査する際、異なる検査媒体による２
つの画像を簡単に重ね合わせられるようにする非破壊検
査装置を提供することにある。
で被検体を非破壊検査する際、異なる検査媒体による２
つの画像を簡単に重ね合わせられるようにする非破壊検
査装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】一実施の形態を示す図１
を参照して本発明を説明する。 （１）請求項１の発明による非破壊検査装置は、第１の
検査媒体で被検体６を検査してあらかじめ得られた静止
画像を記憶する記憶手段９と、第１の検査媒体とは異な
る第２の検査媒体で被検体６を検査して動画像を生成す
る動画生成手段３、８，１２と、記憶手段９から読み出
した静止画像と動画像の重ね合わせ画像を生成する重ね
合わせ画像生成手段８，１９と、生成された重ね合わせ
画像を表示する表示手段１５と、表示手段１５上で静止
画像と動画像が一致して重さなり合うよう被検体６を移
動させる走査手段４とを備えることにより、上述した目
的を達成する。 （２）請求項２の発明は、請求項１に記載された非破壊
検査装置において、第１の検査媒体は超音波であり、第
２の検査媒体はＸ線であることを特徴とする。 （３）請求項３の発明は、請求項１に記載された非破壊
検査装置において、第１の検査媒体はＸ線であり、第２
の検査媒体は超音波であることを特徴とする。 （４）請求項４の発明は、請求項１〜３のいずれかに記
載された非破壊検査装置において、記憶手段９に記憶さ
れた複数枚の静止画像のいずれかを選択する選択手段１
８をさらに備えることを特徴とする。 （５）請求項５の発明による非破壊検査装置は、第１の
検査媒体で被検体６を検査してあらかじめ得られた静止
画像を記憶する記憶手段９と、第１の検査媒体とは異な
る第２の検査媒体で被検体６を検査して動画像を生成す
る動画生成手段３，８，１２と、静止画像と動画像の重
ね合わせ画像を生成する重ね合わせ画像生成手段と８，
１９と、生成された重ね合わせ画像を表示する表示手段
１５と、表示手段１５上で静止画像と動画像が一致して
重さなり合うよう表示画面の表示画像を処理する画像処
理手段１００とを備えることにより、上述した目的が達
成される。一実施の形態を示す図１０を参照して本発明
を説明する。 （６）請求項６の発明による非破壊検査装置は、第１の
検査媒体で被検体６を検査して第１の画像を生成する第
１の画像生成手段６３と、第１の検査媒体とは異なる第
２の検査媒体で被検体６を検査して第２の画像を生成す
る第２の画像生成手段６２と、被検体６が載置され、第
１および第２の検査媒体に対して被検体６の位置を変更
する被検体載置台６１と、第１および第２の画像を択一
的または重ね合わせて表示する表示装置６６とを備える
ことより、上述した目的を達成する。 （７）請求項７の発明による非破壊検査装置は、請求項
６に記載された非破壊検査装置において、第１の検査媒
体は超音波であり、第２の検査媒体はＸ線であることを
特徴とする。 （８）請求項８の発明による非破壊検査装置は、第１の
検査媒体で被検体６を検査して第１の画像を生成する第
１の画像生成手段６３と、第１の検査媒体とは異なる第
２の検査媒体で被検体６を検査して動画像を生成する第
２の動画生成手段６２と、第１および第２の動画生成手
段６３，６２でそれぞれ生成される動画像の重ね合わせ
画像を生成する重ね合わせ画像生成手段６５と、生成さ
れた重ね合わせ画像を表示する表示手段６６と、表示手
段６６上で両動画像が一致して重さなり合うよう被検体
６を移動させる走査手段６１とを備えることにより、上
述した目的を達成する。 （９）請求項９の発明による非破壊検査装置は、第１の
検査媒体で被検体６を検査して動画像を生成する第１の
動画生成手段６３と、第１の検査媒体とは異なる第２の
検査媒体で被検体６を検査して動画像を生成する第２の
動画生成手段６２と、第１および第２の動画生成手段６
３，６２でそれぞれ生成される動画像の重ね合わせ画像
を生成する重ね合わせ画像生成手段６５と、生成された
重ね合わせ画像を表示する表示手段６６と、表示手段６
６上で両動画像が一致して重さなり合うよう表示画面の
表示画像を処理する画像処理手段６５とを備えることに
より、上述した目的が達成される。
を参照して本発明を説明する。 （１）請求項１の発明による非破壊検査装置は、第１の
検査媒体で被検体６を検査してあらかじめ得られた静止
画像を記憶する記憶手段９と、第１の検査媒体とは異な
る第２の検査媒体で被検体６を検査して動画像を生成す
る動画生成手段３、８，１２と、記憶手段９から読み出
した静止画像と動画像の重ね合わせ画像を生成する重ね
合わせ画像生成手段８，１９と、生成された重ね合わせ
画像を表示する表示手段１５と、表示手段１５上で静止
画像と動画像が一致して重さなり合うよう被検体６を移
動させる走査手段４とを備えることにより、上述した目
的を達成する。 （２）請求項２の発明は、請求項１に記載された非破壊
検査装置において、第１の検査媒体は超音波であり、第
２の検査媒体はＸ線であることを特徴とする。 （３）請求項３の発明は、請求項１に記載された非破壊
検査装置において、第１の検査媒体はＸ線であり、第２
の検査媒体は超音波であることを特徴とする。 （４）請求項４の発明は、請求項１〜３のいずれかに記
載された非破壊検査装置において、記憶手段９に記憶さ
れた複数枚の静止画像のいずれかを選択する選択手段１
８をさらに備えることを特徴とする。 （５）請求項５の発明による非破壊検査装置は、第１の
検査媒体で被検体６を検査してあらかじめ得られた静止
画像を記憶する記憶手段９と、第１の検査媒体とは異な
る第２の検査媒体で被検体６を検査して動画像を生成す
る動画生成手段３，８，１２と、静止画像と動画像の重
ね合わせ画像を生成する重ね合わせ画像生成手段と８，
１９と、生成された重ね合わせ画像を表示する表示手段
１５と、表示手段１５上で静止画像と動画像が一致して
重さなり合うよう表示画面の表示画像を処理する画像処
理手段１００とを備えることにより、上述した目的が達
成される。一実施の形態を示す図１０を参照して本発明
を説明する。 （６）請求項６の発明による非破壊検査装置は、第１の
検査媒体で被検体６を検査して第１の画像を生成する第
１の画像生成手段６３と、第１の検査媒体とは異なる第
２の検査媒体で被検体６を検査して第２の画像を生成す
る第２の画像生成手段６２と、被検体６が載置され、第
１および第２の検査媒体に対して被検体６の位置を変更
する被検体載置台６１と、第１および第２の画像を択一
的または重ね合わせて表示する表示装置６６とを備える
ことより、上述した目的を達成する。 （７）請求項７の発明による非破壊検査装置は、請求項
６に記載された非破壊検査装置において、第１の検査媒
体は超音波であり、第２の検査媒体はＸ線であることを
特徴とする。 （８）請求項８の発明による非破壊検査装置は、第１の
検査媒体で被検体６を検査して第１の画像を生成する第
１の画像生成手段６３と、第１の検査媒体とは異なる第
２の検査媒体で被検体６を検査して動画像を生成する第
２の動画生成手段６２と、第１および第２の動画生成手
段６３，６２でそれぞれ生成される動画像の重ね合わせ
画像を生成する重ね合わせ画像生成手段６５と、生成さ
れた重ね合わせ画像を表示する表示手段６６と、表示手
段６６上で両動画像が一致して重さなり合うよう被検体
６を移動させる走査手段６１とを備えることにより、上
述した目的を達成する。 （９）請求項９の発明による非破壊検査装置は、第１の
検査媒体で被検体６を検査して動画像を生成する第１の
動画生成手段６３と、第１の検査媒体とは異なる第２の
検査媒体で被検体６を検査して動画像を生成する第２の
動画生成手段６２と、第１および第２の動画生成手段６
３，６２でそれぞれ生成される動画像の重ね合わせ画像
を生成する重ね合わせ画像生成手段６５と、生成された
重ね合わせ画像を表示する表示手段６６と、表示手段６
６上で両動画像が一致して重さなり合うよう表示画面の
表示画像を処理する画像処理手段６５とを備えることに
より、上述した目的が達成される。
【０００６】なお、本発明の構成を説明する上記課題を
解決するための手段の項では、本発明をわかりやすくす
るために実施の形態の図を用いたが、これにより本発明
が実施の形態に限定されるものではない。
解決するための手段の項では、本発明をわかりやすくす
るために実施の形態の図を用いたが、これにより本発明
が実施の形態に限定されるものではない。
【０００７】
【発明の実施の形態】−第１の実施の形態− 以下、図面を参照して本発明の第１の実施の形態を説明
する。この実施の形態では、あらかじめ超音波検査装置
で被検体６の静止画像を取得しておき、その被検体の動
画像をＸ線検査装置で取得する。そして、超音波静止画
像とＸ線動画像をモニタ上で重ね合わせて被検体の内部
の状態を検査する。超音波静止画像とＸ線動画像が正し
く重なり合わない場合には、Ｘ線検査装置で被検体の画
像を水平面内で２次元方向に移動させたり、水平面内で
画像を回転させて両画像を正しく一致させる。あるい
は、画像を拡大縮小する。場合によっては、画像のアス
ペクト比を変更する。
する。この実施の形態では、あらかじめ超音波検査装置
で被検体６の静止画像を取得しておき、その被検体の動
画像をＸ線検査装置で取得する。そして、超音波静止画
像とＸ線動画像をモニタ上で重ね合わせて被検体の内部
の状態を検査する。超音波静止画像とＸ線動画像が正し
く重なり合わない場合には、Ｘ線検査装置で被検体の画
像を水平面内で２次元方向に移動させたり、水平面内で
画像を回転させて両画像を正しく一致させる。あるい
は、画像を拡大縮小する。場合によっては、画像のアス
ペクト比を変更する。
【０００８】図１に示すように、この実施の形態による
Ｘ線検査装置は、発生させるＸ線のスポット径が１μｍ
〜１０μｍの点波源であるマイクロフォーカスＸ線管１
と、Ｘ線管１と所定の距離を隔てて配置された撮像装置
３と、Ｘ線管１と撮像装置３との間に配置され、被検体
６がセットされる走査装置４とを備え、これらは外部に
Ｘ線を漏洩しないように防護ボックス７内に設置され
る。
Ｘ線検査装置は、発生させるＸ線のスポット径が１μｍ
〜１０μｍの点波源であるマイクロフォーカスＸ線管１
と、Ｘ線管１と所定の距離を隔てて配置された撮像装置
３と、Ｘ線管１と撮像装置３との間に配置され、被検体
６がセットされる走査装置４とを備え、これらは外部に
Ｘ線を漏洩しないように防護ボックス７内に設置され
る。
【０００９】撮像装置３は、図示しないＸ線イメージイ
ンテンシファイヤとＣＣＤのような固体撮像素子とを含
む。走査装置４は、被検体を載置するステージと、ステ
ージを水平面内において２次元ＸＹ方向に移動するＸ駆
動モータ，Ｙ駆動モータと、ステージを垂直Ｚ方向に移
動するＺ駆動モータと、ステージをＺ軸を回転中心とし
てθ方向に回転するθ駆動モータとを有する。ステージ
は、入力装置１８を構成するジョイスティックによりＸ
ＹＺθ方向にそれぞれ手動で駆動することができる。
ンテンシファイヤとＣＣＤのような固体撮像素子とを含
む。走査装置４は、被検体を載置するステージと、ステ
ージを水平面内において２次元ＸＹ方向に移動するＸ駆
動モータ，Ｙ駆動モータと、ステージを垂直Ｚ方向に移
動するＺ駆動モータと、ステージをＺ軸を回転中心とし
てθ方向に回転するθ駆動モータとを有する。ステージ
は、入力装置１８を構成するジョイスティックによりＸ
ＹＺθ方向にそれぞれ手動で駆動することができる。
【００１０】ＭＰＵ８は、外部の入力装置１８からイン
ターフェイス１７を介して入力された情報をもとに、イ
ンターフェイス１６を介してＸ線管１を制御するＸ線管
コントローラ２と、走査装置４を駆動する駆動制御装置
５とを制御する。また、ＭＰＵ８はタイミング回路１３
に指令を出し、デコード回路１０と、Ａ／Ｄコンバータ
１１とをタイミング制御して撮像装置３から出力される
ビデオ信号を画像メモリ１２へ記憶させる。ＭＰＵ８
は、画像メモリ１２に記憶されたデータをいったんＶＲ
ＡＭ１９上に展開して表示部コントローラ１４を介して
表示用ＣＲＴ１５にＸ線動画像を表示する。あるいは、
ＭＰＵ８は、画像メモリ１２に記憶されたデータをいっ
たんメモリ９に格納してフィルタリングなどの画像処理
を行い、この画像をＣＲＴ１５に表示することもでき
る。この場合、画像メモリ１２からの動画像はいったん
フリーズされるが、画像処理終了後に直ちにＶＲＡＭ１
９上に展開させるようにすれば、時間遅れはあるものの
動画として表示することができる。
ターフェイス１７を介して入力された情報をもとに、イ
ンターフェイス１６を介してＸ線管１を制御するＸ線管
コントローラ２と、走査装置４を駆動する駆動制御装置
５とを制御する。また、ＭＰＵ８はタイミング回路１３
に指令を出し、デコード回路１０と、Ａ／Ｄコンバータ
１１とをタイミング制御して撮像装置３から出力される
ビデオ信号を画像メモリ１２へ記憶させる。ＭＰＵ８
は、画像メモリ１２に記憶されたデータをいったんＶＲ
ＡＭ１９上に展開して表示部コントローラ１４を介して
表示用ＣＲＴ１５にＸ線動画像を表示する。あるいは、
ＭＰＵ８は、画像メモリ１２に記憶されたデータをいっ
たんメモリ９に格納してフィルタリングなどの画像処理
を行い、この画像をＣＲＴ１５に表示することもでき
る。この場合、画像メモリ１２からの動画像はいったん
フリーズされるが、画像処理終了後に直ちにＶＲＡＭ１
９上に展開させるようにすれば、時間遅れはあるものの
動画として表示することができる。
【００１１】Ｘ線管コントローラ２では、キーボードや
マウス等の入力装置１８からインターフェイス１７を介
して入力されたＸ線の照射条件や、メモリ９内に記録さ
れているＸ線の照射条件が、ＭＰＵ８よりインターフェ
イス１６を介して設定される。Ｘ線管コントローラ２
は、設定された条件に基づきＸ線管１を制御してＸ線を
発生させる。また、駆動制御装置５では、ジョイスティ
ックで入力されたステージの移動指令がＭＰＵ８よりイ
ンターフェイス１６を介して入力される。駆動制御装置
５はこの入力指令に基づいて走査装置４を駆動する。Ｘ
Ｙ方向にステージを移動すると撮像装置３の撮像領域内
での被検体の２次元位置が変更される。Ｚ方向にステー
ジを移動すると画像の拡大率が変更される。さらに、θ
方向ステージを回転すると、Ｚ軸を中心とする被検体の
回転角度（向き）が変更される。
マウス等の入力装置１８からインターフェイス１７を介
して入力されたＸ線の照射条件や、メモリ９内に記録さ
れているＸ線の照射条件が、ＭＰＵ８よりインターフェ
イス１６を介して設定される。Ｘ線管コントローラ２
は、設定された条件に基づきＸ線管１を制御してＸ線を
発生させる。また、駆動制御装置５では、ジョイスティ
ックで入力されたステージの移動指令がＭＰＵ８よりイ
ンターフェイス１６を介して入力される。駆動制御装置
５はこの入力指令に基づいて走査装置４を駆動する。Ｘ
Ｙ方向にステージを移動すると撮像装置３の撮像領域内
での被検体の２次元位置が変更される。Ｚ方向にステー
ジを移動すると画像の拡大率が変更される。さらに、θ
方向ステージを回転すると、Ｚ軸を中心とする被検体の
回転角度（向き）が変更される。
【００１２】Ｘ線画像の拡大率について図２により説明
する。図２に示す撮像装置３の撮像領域２３上におい
て、Ｘ線画像の拡大率ｍはＸ線管１から被検体６までの
距離ａとＸ線管１と撮像装置３との距離ｂとを用いて次
式（１）で表す。
する。図２に示す撮像装置３の撮像領域２３上におい
て、Ｘ線画像の拡大率ｍはＸ線管１から被検体６までの
距離ａとＸ線管１と撮像装置３との距離ｂとを用いて次
式（１）で表す。
【数１】ｍ＝ｂ／ａ （１） 実際のＸ線検査装置の拡大率をＭとすると、装置に含ま
れるレンズ系および表示用ＣＲＴ１５の大きさによる拡
大率Ｍｏが入るため次式（２）で表される。なお、実際
の拡大率Ｍとは、表示用ＣＲＴ１５の表示長さに対する
被測定面（図２の符号４２）の長さの比である。図２に
おいて、符号４３は、被検体６のＸ線照射領域２２内の
被検体表示領域４２を撮像装置３の撮像領域２３に投影
したときの像を示す。
れるレンズ系および表示用ＣＲＴ１５の大きさによる拡
大率Ｍｏが入るため次式（２）で表される。なお、実際
の拡大率Ｍとは、表示用ＣＲＴ１５の表示長さに対する
被測定面（図２の符号４２）の長さの比である。図２に
おいて、符号４３は、被検体６のＸ線照射領域２２内の
被検体表示領域４２を撮像装置３の撮像領域２３に投影
したときの像を示す。
【数２】Ｍ＝Ｍｏ・ｍ＝Ｍｏ・ｂ／ａ （２）
【００１３】Ｘ線管１で発生したＸ線は、図１の走査装
置４に載置された被検体６を透過して撮像装置３上で結
像する。撮像装置３に入射したＸ線による被検体６の透
視像は、ビデオ信号としてデコード回路１０へ入力され
る。デコード回路１０は入力されたビデオ信号を画像信
号と同期信号（水平同期信号と垂直同期信号）に分離
し、画像信号をＡ／Ｄコンバータ１１へ送り、同期信号
をタイミング回路１３へ送る。タイミング回路１３はＭ
ＰＵ８からの指令とデコード回路１０からの同期信号と
に基づいて、Ａ／Ｄコンバータ１１の変換タイミング信
号と、Ａ／Ｄコンバータ１１によりデジタル化された画
像データを画像メモリ１２に格納するタイミング信号と
を出力する。タイミング回路１３から出力されるタイミ
ング信号、すなわち水平同期信号と垂直同期信号とに基
づき、ビデオ信号の１画面分の画像データが画像メモリ
１２に記録される。なお、上述したようなデコード回路
１０と、Ａ／Ｄコンバータ１１と、画像メモリ１２と、
タイミング回路１３とで構成したビデオ信号を画像メモ
リ１２に記録するものは、例えばビデオキャプチャボー
ドとして広く使用されている。
置４に載置された被検体６を透過して撮像装置３上で結
像する。撮像装置３に入射したＸ線による被検体６の透
視像は、ビデオ信号としてデコード回路１０へ入力され
る。デコード回路１０は入力されたビデオ信号を画像信
号と同期信号（水平同期信号と垂直同期信号）に分離
し、画像信号をＡ／Ｄコンバータ１１へ送り、同期信号
をタイミング回路１３へ送る。タイミング回路１３はＭ
ＰＵ８からの指令とデコード回路１０からの同期信号と
に基づいて、Ａ／Ｄコンバータ１１の変換タイミング信
号と、Ａ／Ｄコンバータ１１によりデジタル化された画
像データを画像メモリ１２に格納するタイミング信号と
を出力する。タイミング回路１３から出力されるタイミ
ング信号、すなわち水平同期信号と垂直同期信号とに基
づき、ビデオ信号の１画面分の画像データが画像メモリ
１２に記録される。なお、上述したようなデコード回路
１０と、Ａ／Ｄコンバータ１１と、画像メモリ１２と、
タイミング回路１３とで構成したビデオ信号を画像メモ
リ１２に記録するものは、例えばビデオキャプチャボー
ドとして広く使用されている。
【００１４】画像メモリ１２へ記録された画像データ
は、表示部コントローラ１４を介して表示用ＣＲＴ１５
でリアルタイムに表示される。すなわち、画像メモリ１
２の画像は１／３０秒ごとにリフレッシュされ、表示用
ＣＲＴ１５には被検体が動画像として表示される。ある
いは、ＭＰＵ８のワークエリアとして確保されているメ
モリ９へいったん転送した後、フィルタ処理等の画像処
理を施した上で表示部コントローラ１４を介して表示用
ＣＲＴ１５に動画像として表示することもできる。
は、表示部コントローラ１４を介して表示用ＣＲＴ１５
でリアルタイムに表示される。すなわち、画像メモリ１
２の画像は１／３０秒ごとにリフレッシュされ、表示用
ＣＲＴ１５には被検体が動画像として表示される。ある
いは、ＭＰＵ８のワークエリアとして確保されているメ
モリ９へいったん転送した後、フィルタ処理等の画像処
理を施した上で表示部コントローラ１４を介して表示用
ＣＲＴ１５に動画像として表示することもできる。
【００１５】図１において、本発明によるＸ線検査装置
には、ＶＲＡＭ１９と、通信用Ｉ／Ｏ２０がバスライン
を介してＭＰＵ８に接続されている。Ｘ線検査装置は、
通信用Ｉ／Ｏ２０を経由して、超音波検査装置ＡＴであ
らかじめ検査した被検体の超音波静止画像を入手してい
ったんメモリ９に格納する。
には、ＶＲＡＭ１９と、通信用Ｉ／Ｏ２０がバスライン
を介してＭＰＵ８に接続されている。Ｘ線検査装置は、
通信用Ｉ／Ｏ２０を経由して、超音波検査装置ＡＴであ
らかじめ検査した被検体の超音波静止画像を入手してい
ったんメモリ９に格納する。
【００１６】通信用Ｉ／Ｏ２０と超音波検査装置ＡＴと
はＲＳ２３２ＣケーブルやＩＥＥＥ１３９４ケーブルで
接続したり、ＩＲＤＡやＢＬＵＥＴＯＯＴＨなどの無線
で通信してもよい。あるいは、Ｘ線検査装置にＦＤやＣ
Ｆカードなどのリムーバブル記憶媒体の読取装置を設
け、リムーバブル記憶媒体で超音波静止画像を入手して
もよい。
はＲＳ２３２ＣケーブルやＩＥＥＥ１３９４ケーブルで
接続したり、ＩＲＤＡやＢＬＵＥＴＯＯＴＨなどの無線
で通信してもよい。あるいは、Ｘ線検査装置にＦＤやＣ
Ｆカードなどのリムーバブル記憶媒体の読取装置を設
け、リムーバブル記憶媒体で超音波静止画像を入手して
もよい。
【００１７】超音波検査装置ＡＴはたとえば図３に示す
ように構成される。この超音波検査装置ＡＴは、被検体
１０１を収納する水槽１０２と、被検体１０１に向けて
超音波パルスを送出するとともに、被検体１０１からの
反射波を受信する集束型超音波探触子１０３と、超音波
探触子１０３をＸ、Ｙ、Ｚ方向に駆動する３軸スキャナ
１０４とを備える。水槽１０２に浸けられた被検体１０
１の検査面を探触子１０３が走査すると、探触子１０３
は受信信号を出力し、受信信号は超音波探傷器１０５、
コントローラ１０６およびデータ処理装置１０７を経て
ＣＲＴ１０８に送られ、ＣＲＴ１０８には探傷画像が表
示される。波形表示器１０９はＡスコープ探傷画像を表
示するために用いられる。また、３軸スキャナ１０４は
コントローラ１０６により制御される。このように被検
体１０１を水槽１０２の水中に浸した状態で探触子１０
３をＸＹ平面上で走査することにより、Ｂスコープ表示
およびＣスコープ表示などの２次元の探傷像が得られ
る。ここでは、被検体１０１のＣスコープ静止画像を生
成してコントローラ１０６のメモりに格納する。
ように構成される。この超音波検査装置ＡＴは、被検体
１０１を収納する水槽１０２と、被検体１０１に向けて
超音波パルスを送出するとともに、被検体１０１からの
反射波を受信する集束型超音波探触子１０３と、超音波
探触子１０３をＸ、Ｙ、Ｚ方向に駆動する３軸スキャナ
１０４とを備える。水槽１０２に浸けられた被検体１０
１の検査面を探触子１０３が走査すると、探触子１０３
は受信信号を出力し、受信信号は超音波探傷器１０５、
コントローラ１０６およびデータ処理装置１０７を経て
ＣＲＴ１０８に送られ、ＣＲＴ１０８には探傷画像が表
示される。波形表示器１０９はＡスコープ探傷画像を表
示するために用いられる。また、３軸スキャナ１０４は
コントローラ１０６により制御される。このように被検
体１０１を水槽１０２の水中に浸した状態で探触子１０
３をＸＹ平面上で走査することにより、Ｂスコープ表示
およびＣスコープ表示などの２次元の探傷像が得られ
る。ここでは、被検体１０１のＣスコープ静止画像を生
成してコントローラ１０６のメモりに格納する。
【００１８】このように構成されたＸ線検査装置により
被検体を検査する手順について、図４〜７を参照して説
明する。以下では、半導体パッケージを検査する場合に
ついて説明する。半導体パッケージは、合成樹脂からな
る封止材でＩＣ回路基板を内部に封止したものである。
この半導体パッケージの検査では、合成樹脂材とＩＣ回
路基板やリードフレームとの剥離を超音波により検査
し、ボンディングワイヤの断線の有無をＸ線検査装置で
検査する。
被検体を検査する手順について、図４〜７を参照して説
明する。以下では、半導体パッケージを検査する場合に
ついて説明する。半導体パッケージは、合成樹脂からな
る封止材でＩＣ回路基板を内部に封止したものである。
この半導体パッケージの検査では、合成樹脂材とＩＣ回
路基板やリードフレームとの剥離を超音波により検査
し、ボンディングワイヤの断線の有無をＸ線検査装置で
検査する。
【００１９】図４は、超音波検査装置で半導体パッケー
ジを検査した超音波静止画像ＡＴＩを示す。図４におい
て、３１はＩＣ回路基板を、３２はリードフレームを示
す。図５は、Ｘ線検査装置で半導体パッケージを検査し
たＸ線動画像ＸＩを示す。図５において、４１はＩＣ回
路基板の輪郭を、４２はボンディングワイヤを、４３は
リードフレームの輪郭をそれぞれ示す。これらの超音波
静止画像とＸ線動画像を図６のように重ね合わせる。図
６（ａ）は２つの画像が正しく重なっている場合を示
し、図６（ｂ）は水平面内のＸＹ方向で２つの画像が正
しく重なっていない場合を示している。
ジを検査した超音波静止画像ＡＴＩを示す。図４におい
て、３１はＩＣ回路基板を、３２はリードフレームを示
す。図５は、Ｘ線検査装置で半導体パッケージを検査し
たＸ線動画像ＸＩを示す。図５において、４１はＩＣ回
路基板の輪郭を、４２はボンディングワイヤを、４３は
リードフレームの輪郭をそれぞれ示す。これらの超音波
静止画像とＸ線動画像を図６のように重ね合わせる。図
６（ａ）は２つの画像が正しく重なっている場合を示
し、図６（ｂ）は水平面内のＸＹ方向で２つの画像が正
しく重なっていない場合を示している。
【００２０】Ｘ線検査装置のＣＲＴ１５には、撮像装置
３から出力されるビデオ信号によってリアルタイムで半
導体パッケージの動画像が表示されている。したがっ
て、ジョイスティックによりステージを適宜ＸＹ方向に
移動すると、斜線で示した超音波静止画像ＡＴＩに対し
てＸ線動画像がＸＹ方向に移動する。その結果、ＣＲＴ
１５の画面を見ながらジョイスティックを走査すれば、
超音波静止画像ＡＴＩとＸ線動画像ＸＩを図６（ａ）の
ように正しく重ね合わすことができる。
３から出力されるビデオ信号によってリアルタイムで半
導体パッケージの動画像が表示されている。したがっ
て、ジョイスティックによりステージを適宜ＸＹ方向に
移動すると、斜線で示した超音波静止画像ＡＴＩに対し
てＸ線動画像がＸＹ方向に移動する。その結果、ＣＲＴ
１５の画面を見ながらジョイスティックを走査すれば、
超音波静止画像ＡＴＩとＸ線動画像ＸＩを図６（ａ）の
ように正しく重ね合わすことができる。
【００２１】以上のような画像重ね合わせのさらに具体
的な手順を図７のフローチャートを参照して説明する。
まず、半導体パッケージの超音波静止画像ＡＴＩを超音
波検査装置ＡＴで取得しておく。超音波検査装置ＡＴに
よる半導体パッケージの検査手順は周知技術であり説明
を省略する。次に、超音波静止画像ＡＴＩを超音波検査
装置ＡＴから通信Ｉ／Ｏ２０を介してＸ線検査装置のメ
モリ９に格納しておく。ここまでがＸ線検査装置で半導
体パッケージを検査する前準備である。
的な手順を図７のフローチャートを参照して説明する。
まず、半導体パッケージの超音波静止画像ＡＴＩを超音
波検査装置ＡＴで取得しておく。超音波検査装置ＡＴに
よる半導体パッケージの検査手順は周知技術であり説明
を省略する。次に、超音波静止画像ＡＴＩを超音波検査
装置ＡＴから通信Ｉ／Ｏ２０を介してＸ線検査装置のメ
モリ９に格納しておく。ここまでがＸ線検査装置で半導
体パッケージを検査する前準備である。
【００２２】前準備が終了すると、半導体パッケージを
Ｘ線検査装置のテーブルにセットして検査開始を指示す
る。この検査開始指示により、図７のフローチャートで
示されるプログラムが起動される。なお、このプログラ
ムはＭＰＵ８に内蔵されたＲＯＭに格納されている。図
７のステップＳ１において、メモリ９に格納されている
超音波静止画像ＡＴＩを読み込んでメモリ９のワーキン
グ領域に展開する。次いでステップＳ２において、画像
メモリ１２に一時記憶されているＸ線画像をメモリ９の
ワーキング領域に展開する。ステップＳ３において、２
つの画像を重ね合わせて表示するモードが指定されてい
れば、ステップＳ４に進む。ステップＳ４において、メ
モリ９のワーキング領域にそれぞれ展開された超音波静
止画像ＡＴＩとＸ線画像ＸＩを画素単位に重ね合わせる
画像間演算処理を実行して、ＶＲＡＭ１９に重ね合わせ
画像を格納する。この重ね合わせ画像をステップＳ５に
おいてＣＲＴ１５に表示する。ステップＳ３で重ね合わ
せモードが指示されていないときは、ステップＳ５にお
いて、画像メモリ１２のＸ線画像をＶＲＡＭ１９に転送
してＣＲＴ１５に表示する。
Ｘ線検査装置のテーブルにセットして検査開始を指示す
る。この検査開始指示により、図７のフローチャートで
示されるプログラムが起動される。なお、このプログラ
ムはＭＰＵ８に内蔵されたＲＯＭに格納されている。図
７のステップＳ１において、メモリ９に格納されている
超音波静止画像ＡＴＩを読み込んでメモリ９のワーキン
グ領域に展開する。次いでステップＳ２において、画像
メモリ１２に一時記憶されているＸ線画像をメモリ９の
ワーキング領域に展開する。ステップＳ３において、２
つの画像を重ね合わせて表示するモードが指定されてい
れば、ステップＳ４に進む。ステップＳ４において、メ
モリ９のワーキング領域にそれぞれ展開された超音波静
止画像ＡＴＩとＸ線画像ＸＩを画素単位に重ね合わせる
画像間演算処理を実行して、ＶＲＡＭ１９に重ね合わせ
画像を格納する。この重ね合わせ画像をステップＳ５に
おいてＣＲＴ１５に表示する。ステップＳ３で重ね合わ
せモードが指示されていないときは、ステップＳ５にお
いて、画像メモリ１２のＸ線画像をＶＲＡＭ１９に転送
してＣＲＴ１５に表示する。
【００２３】図６（ｂ）に示すように超音波静止画像と
Ｘ線静止画像とが正しく重ね合わされていないときは、
ジョイスティックによりＸ線検査装置のステージをＸＹ
方向に移動する。Ｘ線検査画像はＣＲＴ１５にリアルタ
イムに表示される動画像であり、ＣＲＴ１５の表示画面
を見ながらジョイスティックでステージを適宜操作して
ＸＹＺθ方向に移動するだけで両画像を正しく一致させ
ることができる。
Ｘ線静止画像とが正しく重ね合わされていないときは、
ジョイスティックによりＸ線検査装置のステージをＸＹ
方向に移動する。Ｘ線検査画像はＣＲＴ１５にリアルタ
イムに表示される動画像であり、ＣＲＴ１５の表示画面
を見ながらジョイスティックでステージを適宜操作して
ＸＹＺθ方向に移動するだけで両画像を正しく一致させ
ることができる。
【００２４】図８は、図７のステップＳ４における画像
間演算処理の一例を示すもので、画素間で加算する画像
間演算処理の手順例である。ステップＳ１１でＹ座標を
ゼロクリアし、ステップＳ１２でＸ座標をゼロクリアす
る。ステップＳ１３では、次式により、超音波画像とＸ
線画像の同一座標値を有する画素同士を加算する。
間演算処理の一例を示すもので、画素間で加算する画像
間演算処理の手順例である。ステップＳ１１でＹ座標を
ゼロクリアし、ステップＳ１２でＸ座標をゼロクリアす
る。ステップＳ１３では、次式により、超音波画像とＸ
線画像の同一座標値を有する画素同士を加算する。
【数３】 （Ｘ，Ｙ）＝ＡＴＩ（Ｘ，Ｙ）＋ＸＩ（Ｘ，Ｙ）
【００２５】ステップＳ１４では、Ｘ座標をカウントア
ップしてステップＳ１５に進む。ステップＳ１５におい
てＸ座標が最大値と判定されるまで、ステップＳ１３，
Ｓ１４を繰り返す。Ｘ座標が最大値を越えたと判定され
ると、ステップＳ１６においてＹ座標をカウントアップ
してステップＳ１７に進む。ステップＳ１７においてＹ
座標が最大値と判定されるまで、ステップＳ１２〜Ｓ１
７を繰り返す。Ｙ座標が最大値を越えたと判定されると
処理を終了する。
ップしてステップＳ１５に進む。ステップＳ１５におい
てＸ座標が最大値と判定されるまで、ステップＳ１３，
Ｓ１４を繰り返す。Ｘ座標が最大値を越えたと判定され
ると、ステップＳ１６においてＹ座標をカウントアップ
してステップＳ１７に進む。ステップＳ１７においてＹ
座標が最大値と判定されるまで、ステップＳ１２〜Ｓ１
７を繰り返す。Ｙ座標が最大値を越えたと判定されると
処理を終了する。
【００２６】画像間演算処理として、上記加算方式以外
に、画素間で引き算をする減算方式、画素間の平均を求
める平均方式、画素間で乗算する乗算方式、画素間で除
算する除算方式、画素間で論理積演算を行うＡＮＤ方
式、画素間で論理和演算を行うＯＲ方式、画素間で排他
的論理和演算を行うＸＯＲ方式などがある。これらの方
式は、被検体の種類に応じて入力装置１８から事前に指
定することができる。この場合、Ｘ線検査装置の操作パ
ネルから被検体の種類を選択できるものであれば、被検
体に対応づけて最適な演算方式をあらかじめ設定してお
くことができる。こうすれば、初心者でも熟練者なみの
検査条件を簡単に設定することができる。なお、超音波
静止画像とＸ線動画像の縦横の画素数はあらかじめ一致
するようにしている。
に、画素間で引き算をする減算方式、画素間の平均を求
める平均方式、画素間で乗算する乗算方式、画素間で除
算する除算方式、画素間で論理積演算を行うＡＮＤ方
式、画素間で論理和演算を行うＯＲ方式、画素間で排他
的論理和演算を行うＸＯＲ方式などがある。これらの方
式は、被検体の種類に応じて入力装置１８から事前に指
定することができる。この場合、Ｘ線検査装置の操作パ
ネルから被検体の種類を選択できるものであれば、被検
体に対応づけて最適な演算方式をあらかじめ設定してお
くことができる。こうすれば、初心者でも熟練者なみの
検査条件を簡単に設定することができる。なお、超音波
静止画像とＸ線動画像の縦横の画素数はあらかじめ一致
するようにしている。
【００２７】以上のようにこの実施の形態によれば、あ
らかじめ取得した超音波静止画像の被検体をＸ線検査装
置のメモリ９に格納しておき、その被検体に対して得ら
れるＸ線動画像を超音波静止画像と重ね合わせてＣＲＴ
１５上に表示する。Ｘ線検査装置のステージを移動して
Ｘ線照射位置に対する被検体の位置を変更することによ
り、リアルタイムでＣＲＴ１５上に表示されているＸ線
動画像の位置が変更される。したがって、作業者はＣＲ
Ｔ１５を目視しながら被検体ステージを移動するだけ
で、Ｘ線動画像を超音波静止画像に合致させることがで
き、操作が格段に向上する。
らかじめ取得した超音波静止画像の被検体をＸ線検査装
置のメモリ９に格納しておき、その被検体に対して得ら
れるＸ線動画像を超音波静止画像と重ね合わせてＣＲＴ
１５上に表示する。Ｘ線検査装置のステージを移動して
Ｘ線照射位置に対する被検体の位置を変更することによ
り、リアルタイムでＣＲＴ１５上に表示されているＸ線
動画像の位置が変更される。したがって、作業者はＣＲ
Ｔ１５を目視しながら被検体ステージを移動するだけ
で、Ｘ線動画像を超音波静止画像に合致させることがで
き、操作が格段に向上する。
【００２８】以上の説明では、作業者がジョイスティッ
クを操作してＸ線動画像を超音波静止画像に合致させる
ようにしたが、画像合致操作を自動化することもでき
る。超音波静止画像が図９（ａ）、Ｘ線動画像が図９
（ｂ）の場合を例として説明する。
クを操作してＸ線動画像を超音波静止画像に合致させる
ようにしたが、画像合致操作を自動化することもでき
る。超音波静止画像が図９（ａ）、Ｘ線動画像が図９
（ｂ）の場合を例として説明する。
【００２９】−第２の実施の形態− 図９（ａ）と図９（ｂ）において、矩形形状である被検
体の一辺５１ＡＴ，５１Ｘを基準として画像の重ね合わ
せの自動化を行う。また、超音波静止画像とＸ線動画像
のアスペクト比は一致しているものとする。超音波静止
画像の一辺５１ＡＴの始点Ｓの座標を（Ｘ１，Ｙ１）と
し、終点Ｅの座標を（Ｘ２，Ｙ２）とする。また、Ｘ線
画像の一辺５１Ｘの始点Ｓの座標を（Ｘ１１，Ｙ１１）
とし、終点Ｅの座標を（Ｘ２１，Ｙ２１）とする。
体の一辺５１ＡＴ，５１Ｘを基準として画像の重ね合わ
せの自動化を行う。また、超音波静止画像とＸ線動画像
のアスペクト比は一致しているものとする。超音波静止
画像の一辺５１ＡＴの始点Ｓの座標を（Ｘ１，Ｙ１）と
し、終点Ｅの座標を（Ｘ２，Ｙ２）とする。また、Ｘ線
画像の一辺５１Ｘの始点Ｓの座標を（Ｘ１１，Ｙ１１）
とし、終点Ｅの座標を（Ｘ２１，Ｙ２１）とする。
【００３０】ＣＲＴ１５の画面上で超音波静止画像の一
辺５１ＡＴの始点Ｓと終点Ｅを指示するとともに、同様
に、Ｘ線動画像の一辺５１Ｘの始点Ｓと終点Ｅを指示す
る。これにより、両画像の位置合わせ基準線の始点と終
点の座標がＸ線検査装置に入力される。入力装置１８か
ら座標値を直接入力してもよい。
辺５１ＡＴの始点Ｓと終点Ｅを指示するとともに、同様
に、Ｘ線動画像の一辺５１Ｘの始点Ｓと終点Ｅを指示す
る。これにより、両画像の位置合わせ基準線の始点と終
点の座標がＸ線検査装置に入力される。入力装置１８か
ら座標値を直接入力してもよい。
【００３１】まず、超音波静止画像の一辺５１ＡＴの始
点終点間の長さＬａｔを次式（３）で、Ｘ線動画像の一
辺５１Ｘの始点終点間の長さＬｘを次式（４）でそれぞ
れ算出する。
点終点間の長さＬａｔを次式（３）で、Ｘ線動画像の一
辺５１Ｘの始点終点間の長さＬｘを次式（４）でそれぞ
れ算出する。
【数４】 Ｌａｔ＝√｛（Ｘ１−Ｘ２）2＋（Ｙ１−Ｙ２）2｝ （３） Ｌｘ＝√｛（Ｘ１１−Ｘ２１）2＋（Ｙ１１−Ｙ２１）2｝ （４） そして、両画像の大きさの比Ｍｘを次式（５）により算
出する。
出する。
【数５】Ｍｘ＝Ｌｘ／Ｌａｔ （５）
【００３２】この比Ｍｘに基づいてＸ線検査装置の拡大
率を調節する。たとえば、比Ｍｘが１よりも小さい値で
あればＸ線検査装置のステージ、すなわち被検体６をＺ
軸に沿ってＸ線管１に近づけてその拡大率を大きくし、
比Ｍｘが１よりも大きければ被検体６を撮像装置３に近
づけてその拡大率を小さくする。上述したように、Ｘ線
検査装置の実際の拡大率Ｍは、
率を調節する。たとえば、比Ｍｘが１よりも小さい値で
あればＸ線検査装置のステージ、すなわち被検体６をＺ
軸に沿ってＸ線管１に近づけてその拡大率を大きくし、
比Ｍｘが１よりも大きければ被検体６を撮像装置３に近
づけてその拡大率を小さくする。上述したように、Ｘ線
検査装置の実際の拡大率Ｍは、
【数６】Ｍ＝Ｍｏ・ｍ＝Ｍｏ・ｂ／ａ （２） である。したがって、比Ｍｘを是正するためのステージ
のＺ方向移動距離ΔＺは、
のＺ方向移動距離ΔＺは、
【数７】ΔＺ＝ａ（１−ＭＸ） （６） と表される。したがって、ステージをΔＺ移動すること
により、超音波静止画像とＸ線動画像の大きさは一致す
る。
により、超音波静止画像とＸ線動画像の大きさは一致す
る。
【００３３】次に、ＸＹ２次元方向の調整とθ方向の調
整について説明する。θ方向の調整は次式（７）により
回転量Δθを算出して、ステージをΔθ回転すればよ
い。
整について説明する。θ方向の調整は次式（７）により
回転量Δθを算出して、ステージをΔθ回転すればよ
い。
【数８】Δθ＝θａｔ−θｘ （７） ただし、θａｔは、超音波静止画像の１辺５１ａｔのＸ
軸に対する角度であり次式（８）で示される。θｘは、
Ｘ線動画像の１辺５１ｘのＸ軸に対する角度であり次式
（９）で示される。
軸に対する角度であり次式（８）で示される。θｘは、
Ｘ線動画像の１辺５１ｘのＸ軸に対する角度であり次式
（９）で示される。
【数９】 θａｔ＝tan-1｛（Ｙ１−Ｙ２）／（Ｘ１−Ｘ２）｝ （８） θｘ＝tan-1｛（Ｙ１１−Ｙ２１）／（Ｘ１１−Ｘ２１）｝ （９） したがって、Ｘ線検査装置のステージを式（７）で示さ
れるΔθだけ回転すれば、Ｚ軸を中心とした両画像の回
転方向は一致することになる。
れるΔθだけ回転すれば、Ｚ軸を中心とした両画像の回
転方向は一致することになる。
【００３４】さらに、ＸＹ２次元位置合わせは、たとえ
ばＸ線動画像の１辺５１ｘの始点Ｓの座標（Ｘ１１，Ｙ
１１）を超音波静止画像の１辺５１ａｔの始点Ｓの座標
（Ｘ１，Ｙ１）に合致させるように、Ｘ線検査装置のス
テージをＸＹ方向にそれぞれ次式（１０）、（１１）で
示されるΔＸ、ΔＹだけ駆動すればよい。
ばＸ線動画像の１辺５１ｘの始点Ｓの座標（Ｘ１１，Ｙ
１１）を超音波静止画像の１辺５１ａｔの始点Ｓの座標
（Ｘ１，Ｙ１）に合致させるように、Ｘ線検査装置のス
テージをＸＹ方向にそれぞれ次式（１０）、（１１）で
示されるΔＸ、ΔＹだけ駆動すればよい。
【数１０】ΔＸ＝Ｘ１１−Ｘ１ （１０） ΔＹ＝Ｙ１１−Ｙ１ （１１）
【００３５】以上のように、超音波静止画像の１辺５１
ａｔとＸ線動画像１辺５１ｘを基準として、Ｘ線動画像
を超音波静止画像に一致させるためのＸ線検査装置のス
テージの駆動量、すなわちＸＹＺθの４方向の移動量を
演算し、その方向にステージを移動させて両画像を一致
させるようにした。したがって、作業者は基準となる辺
の始点と終点を入力するだけでよく、作業性が格段に向
上する。
ａｔとＸ線動画像１辺５１ｘを基準として、Ｘ線動画像
を超音波静止画像に一致させるためのＸ線検査装置のス
テージの駆動量、すなわちＸＹＺθの４方向の移動量を
演算し、その方向にステージを移動させて両画像を一致
させるようにした。したがって、作業者は基準となる辺
の始点と終点を入力するだけでよく、作業性が格段に向
上する。
【００３６】なお、ステージをＸＹＺθ方向に移動して
両画像を一致させる代わりに、画像処理により動画像も
しくは静止画像を一致させることもできる。この場合、
図１に示すような画像処理回路１００を設ける必要があ
る。
両画像を一致させる代わりに、画像処理により動画像も
しくは静止画像を一致させることもできる。この場合、
図１に示すような画像処理回路１００を設ける必要があ
る。
【００３７】以上では、メモリ９に１枚の超音波静止画
像を格納した場合について説明した。超音波検査装置で
被検体の異なる深さの欠陥を検査する場合には、メモリ
に複数枚の超音波静止画像を格納することができる。ま
ず、第１番目の深さ位置の超音波静止画像をメモリ９か
ら読み出し、その超音波静止画像とＸ線動画像をＣＲＴ
上で合致させて目視で検査を行う。次いで、第２番目の
深さ位置の超音波静止画像をメモリ９から読み出し、そ
の超音波静止画像とＸ線動画像をＣＲＴ上で合致させて
目視で検査を行う。メモリ９のどの静止画像を読み出す
かは、入力装置１８から指示すればよい。
像を格納した場合について説明した。超音波検査装置で
被検体の異なる深さの欠陥を検査する場合には、メモリ
に複数枚の超音波静止画像を格納することができる。ま
ず、第１番目の深さ位置の超音波静止画像をメモリ９か
ら読み出し、その超音波静止画像とＸ線動画像をＣＲＴ
上で合致させて目視で検査を行う。次いで、第２番目の
深さ位置の超音波静止画像をメモリ９から読み出し、そ
の超音波静止画像とＸ線動画像をＣＲＴ上で合致させて
目視で検査を行う。メモリ９のどの静止画像を読み出す
かは、入力装置１８から指示すればよい。
【００３８】以上の説明では、超音波静止画像とＸ線動
画像のアスペクト比が一致しているものとして説明し
た。アスペクト比が不一致の場合でも本発明は適用でき
る。すなわち、両者のアスペクト比をそれぞれ算出し、
一方のアスペクト比を他方のアスペクト比に合致するよ
うに画像処理を行えばよい。たとえば、超音波静止画像
のＸ方向の長さがＸ線動画像のＸ方向の長さに比べて大
きい場合、このＸ方向のアスペクト比の比率Ｒｘ（超音
波静止画像の縦横比を４：５、Ｘ線動画像の縦横比を
３：５とすれば、Ｒｘ＝４／３）とすれば、超音波静止
画像のＸ方向の長さが１／Ｒｘになるように画像処理、
たとえば、間引き処理すればよい。
画像のアスペクト比が一致しているものとして説明し
た。アスペクト比が不一致の場合でも本発明は適用でき
る。すなわち、両者のアスペクト比をそれぞれ算出し、
一方のアスペクト比を他方のアスペクト比に合致するよ
うに画像処理を行えばよい。たとえば、超音波静止画像
のＸ方向の長さがＸ線動画像のＸ方向の長さに比べて大
きい場合、このＸ方向のアスペクト比の比率Ｒｘ（超音
波静止画像の縦横比を４：５、Ｘ線動画像の縦横比を
３：５とすれば、Ｒｘ＝４／３）とすれば、超音波静止
画像のＸ方向の長さが１／Ｒｘになるように画像処理、
たとえば、間引き処理すればよい。
【００３９】以上の説明では、超音波静止画像とＸ線動
画像を重ね合わせる場合について説明したが、Ｘ線静止
画像と超音波動画像を重ね合わせる場合でも、本発明を
適用できる。この場合、図３に示した超音波検査装置Ａ
Ｔのコントローラ１０６にはＸ線静止画像を格納するメ
モリを設ける必要がある。また、図３に示した装置のよ
うに、超音波プローブ１０３を被検体１０１に対して機
械的に走査して超音波画像を取得する方式では、１画面
取得するに要する時間がＴＶのフレーム周期（１／３０
秒）の数倍要する。したがって、真の意味での動画像を
取得できないが、超音波プローブで１画面走査が完了す
るたびにＣＲＴの表示を更新することにより、動画像と
等価の画像を得ることができ、実質的には同様な効果を
得ることができる。また、電子スキャン式の超音波プロ
ーブを使用すれば、１画面をＴＶのフレーム周期程度で
取得することができる。
画像を重ね合わせる場合について説明したが、Ｘ線静止
画像と超音波動画像を重ね合わせる場合でも、本発明を
適用できる。この場合、図３に示した超音波検査装置Ａ
Ｔのコントローラ１０６にはＸ線静止画像を格納するメ
モリを設ける必要がある。また、図３に示した装置のよ
うに、超音波プローブ１０３を被検体１０１に対して機
械的に走査して超音波画像を取得する方式では、１画面
取得するに要する時間がＴＶのフレーム周期（１／３０
秒）の数倍要する。したがって、真の意味での動画像を
取得できないが、超音波プローブで１画面走査が完了す
るたびにＣＲＴの表示を更新することにより、動画像と
等価の画像を得ることができ、実質的には同様な効果を
得ることができる。また、電子スキャン式の超音波プロ
ーブを使用すれば、１画面をＴＶのフレーム周期程度で
取得することができる。
【００４０】さらにまた以上では、超音波検査装置とＸ
線検査装置とを別々の装置とした。したがって、検査シ
ステムの設置スペースが大きくなるとともにコストも高
くなる。とくに、ステージやＣＲＴなど本来なら１つで
よいものでもそれぞれの検査装置に重複して設けられて
いる。そこで図１０に示す検査システムでは、ステージ
６１を共通化し、ステージ６１の上方にＸ線管６２とレ
ーザ超音波プローブ６３を設置し、ステージ６１の下方
にＸ線撮像装置６４を設置する。また、Ｘ線撮像装置６
４とレーザ超音波プローブ６３はそれぞれ制御回路６５
に接続される。制御回路６５で画像処理を行い、表示装
置６６に、たとえば超音波静止画像とＸ線動画像を重ね
合わせて表示する。このような構成を採用すると、検査
システムが小型化できて、コスト低減も可能となる。な
お、図１０において、６７はステージ６１をＸＹＺθ方
向に移動するステージ駆動装置である。
線検査装置とを別々の装置とした。したがって、検査シ
ステムの設置スペースが大きくなるとともにコストも高
くなる。とくに、ステージやＣＲＴなど本来なら１つで
よいものでもそれぞれの検査装置に重複して設けられて
いる。そこで図１０に示す検査システムでは、ステージ
６１を共通化し、ステージ６１の上方にＸ線管６２とレ
ーザ超音波プローブ６３を設置し、ステージ６１の下方
にＸ線撮像装置６４を設置する。また、Ｘ線撮像装置６
４とレーザ超音波プローブ６３はそれぞれ制御回路６５
に接続される。制御回路６５で画像処理を行い、表示装
置６６に、たとえば超音波静止画像とＸ線動画像を重ね
合わせて表示する。このような構成を採用すると、検査
システムが小型化できて、コスト低減も可能となる。な
お、図１０において、６７はステージ６１をＸＹＺθ方
向に移動するステージ駆動装置である。
【００４１】図１０の装置のようにＸ線検査装置と超音
波検査装置を一体化する場合には、Ｘ線動画像と超音波
動画像をＣＲＴ画面上で一致させるように重ね合わせる
ことができる。また、ステージ６１を操作せず、Ｘ線動
画像と超音波動画像をＣＲＴ画面上で一致させるように
制御回路６５で重ね合わせ画像処理を行ってもよい。
波検査装置を一体化する場合には、Ｘ線動画像と超音波
動画像をＣＲＴ画面上で一致させるように重ね合わせる
ことができる。また、ステージ６１を操作せず、Ｘ線動
画像と超音波動画像をＣＲＴ画面上で一致させるように
制御回路６５で重ね合わせ画像処理を行ってもよい。
【００４２】特許請求の範囲の各構成要素と発明の実施
の形態の各構成要素との対応について説明すると、メモ
リ９が記憶手段に、撮像装置３，ＭＰＵ８，画像メモリ
１２が動画生成手段に、ＭＰＵ８，ＶＲＡＭ１９が重ね
合わせ手段に、走査装置４が走査手段に、ＣＲＴ１５が
表示手段にそれぞれ対応する。
の形態の各構成要素との対応について説明すると、メモ
リ９が記憶手段に、撮像装置３，ＭＰＵ８，画像メモリ
１２が動画生成手段に、ＭＰＵ８，ＶＲＡＭ１９が重ね
合わせ手段に、走査装置４が走査手段に、ＣＲＴ１５が
表示手段にそれぞれ対応する。
【００４３】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明では次
のような作用効果が得られる。 （１）本発明によれば、表示手段にリアルタイムで表示
される動画像により被検体の撮像位置を調節するように
したので、表示されている動画を見ながら被検体の位置
や大きさを簡単に変更でき、操作性が向上する。
のような作用効果が得られる。 （１）本発明によれば、表示手段にリアルタイムで表示
される動画像により被検体の撮像位置を調節するように
したので、表示されている動画を見ながら被検体の位置
や大きさを簡単に変更でき、操作性が向上する。
【図１】一実施の形態によるＸ線検査装置のブロック図
【図２】Ｘ線検査装置の拡大率を説明する図
【図３】超音波検査装置の一例を示す図
【図４】超音波静止画像の表示例を示す図
【図５】Ｘ線動画像の表示例を示す図
【図６】超音波静止画像とＸ線動画像を重ね合わせた表
示例を示す図
示例を示す図
【図７】超音波静止画像とＸ線動画像を重ね合わせる手
順を示すフローチャート
順を示すフローチャート
【図８】画像間演算処理の手順例を示すフローチャート
【図９】超音波静止画像とＸ線動画像の重ね合わせの自
動化を説明する図
動化を説明する図
【図１０】超音波検査装置とＸ線検査装置を一体化した
検査システムの概略を示す図
検査システムの概略を示す図
１…Ｘ線管 ２…Ｘ線管コントロ
ーラ ３…撮像装置 ４…走査装置 ６…被検体 ８…ＭＰＵ ９…メモリ １２…画像メモリ １５…ＣＲＴ １８…入力装置 １９…ＶＲＡＭ ２０…通信Ｉ／Ｏ ６１…ステージ ６２…Ｘ線管 ６３…レーザ超音波プローブ ６４…Ｘ線撮像装置 ６５…制御回路 ６６…表示装置
ーラ ３…撮像装置 ４…走査装置 ６…被検体 ８…ＭＰＵ ９…メモリ １２…画像メモリ １５…ＣＲＴ １８…入力装置 １９…ＶＲＡＭ ２０…通信Ｉ／Ｏ ６１…ステージ ６２…Ｘ線管 ６３…レーザ超音波プローブ ６４…Ｘ線撮像装置 ６５…制御回路 ６６…表示装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 邉春 俊幸 茨城県土浦市神立町650番地 日立建機フ ァインテック株式会社内 Ｆターム(参考） 2G001 AA01 BA11 CA01 FA06 GA06 HA07 HA13 HA20 JA11 JA13 JA16 KA03 LA11 MA05 2G047 AB03 AB07 AC10 BC00 DB14 GA18 GB24 GF06 GF18 GG21 GH04 GH06
Claims (9)
- 【請求項１】第１の検査媒体で被検体を検査してあらか
じめ得られた静止画像を記憶する記憶手段と、 第１の検査媒体とは異なる第２の検査媒体で被検体を検
査して動画像を生成する動画生成手段と、 前記静止画像と前記動画像の重ね合わせ画像を生成する
重ね合わせ画像生成手段と、 前記生成された重ね合わせ画像を表示する表示手段と、 前記表示手段上で前記静止画像と前記動画像が一致して
重さなり合うよう前記被検体を移動させる走査手段とを
備えることを特徴とする非破壊検査装置。 - 【請求項２】請求項１に記載された非破壊検査装置にお
いて、 前記第１の検査媒体は超音波であり、前記第２の検査媒
体はＸ線であることを特徴とする非破壊検査装置。 - 【請求項３】請求項１に記載された非破壊検査装置にお
いて、 前記第１の検査媒体はＸ線であり、前記第２の検査媒体
は超音波であることを特徴とする非破壊検査装置。 - 【請求項４】請求項１〜３のいずれかに記載された非破
壊検査装置において、 前記記憶手段に記憶された複数枚の静止画像のいずれか
を選択する選択手段をさらに備えることを特徴とする非
破壊検査装置。 - 【請求項５】第１の検査媒体で被検体を検査してあらか
じめ得られた静止画像を記憶する記憶手段と、 第１の検査媒体とは異なる第２の検査媒体で被検体を検
査して動画像を生成する動画生成手段と、 前記静止画像と前記動画像の重ね合わせ画像を生成する
重ね合わせ画像生成手段と、 前記生成された重ね合わせ画像を表示する表示手段と、 前記表示手段上で前記静止画像と前記動画像が一致して
重さなり合うよう前記表示画面の表示画像を処理する画
像処理手段とを備えることを特徴とする非破壊検査装
置。 - 【請求項６】第１の検査媒体で被検体を検査して第１の
画像を生成する第１の画像生成手段と、 第１の検査媒体とは異なる第２の検査媒体で被検体を検
査して第２の画像を生成する第２の画像生成手段と、 被検体が載置され、前記第１および第２の検査媒体に対
して前記被検体の位置を変更する被検体載置台と、 前記第１および第２の画像を択一的または重ね合わせて
表示する表示装置とを備えることを特徴とする非破壊検
査装置。 - 【請求項７】請求項６に記載された非破壊検査装置にお
いて、 前記第１の検査媒体は超音波であり、前記第２の検査媒
体はＸ線であることを特徴とする非破壊検査装置。 - 【請求項８】第１の検査媒体で被検体を検査して動画像
を生成する第１の動画生成手段と、 第１の検査媒体とは異なる第２の検査媒体で被検体を検
査して動画像を生成する第２の動画生成手段と、 前記第１および第２の動画生成手段でそれぞれ生成され
る動画像の重ね合わせ画像を生成する重ね合わせ画像生
成手段と、 前記生成された重ね合わせ画像を表示する表示手段と、 前記表示手段上で前記両動画像が一致して重さなり合う
よう前記被検体を移動させる走査手段とを備えることを
特徴とする非破壊検査装置。 - 【請求項９】第１の検査媒体で被検体を検査して動画像
を生成する第１の動画生成手段と、 第１の検査媒体とは異なる第２の検査媒体で被検体を検
査して動画像を生成する第２の動画生成手段と、 前記第１および第２の動画生成手段でそれぞれ生成され
る動画像の重ね合わせ画像を生成する重ね合わせ画像生
成手段と、 前記生成された重ね合わせ画像を表示する表示手段と、 前記表示手段上で前記両動画像が一致して重さなり合う
よう前記表示画面の表示画像を処理する画像処理手段と
を備えることを特徴とする非破壊検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000151272A JP2001330569A (ja) | 2000-05-23 | 2000-05-23 | 非破壊検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000151272A JP2001330569A (ja) | 2000-05-23 | 2000-05-23 | 非破壊検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001330569A true JP2001330569A (ja) | 2001-11-30 |
Family
ID=18656858
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000151272A Pending JP2001330569A (ja) | 2000-05-23 | 2000-05-23 | 非破壊検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001330569A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005158589A (ja) * | 2003-11-27 | 2005-06-16 | Hitachi Medical Corp | Ｘ線発生装置及びそれを用いたｘ線検査装置 |
| JP2006189349A (ja) * | 2005-01-06 | 2006-07-20 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 非破壊欠陥検査システム |
| JP2008528138A (ja) * | 2005-01-31 | 2008-07-31 | チョンチン・ハイフ（エイチアイエフユー）・テクノロジー・カンパニー・リミテッド | 集束された超音波治療システム |
| JP2009288129A (ja) * | 2008-05-30 | 2009-12-10 | Hitachi Ltd | 超音波探傷装置及び方法 |
| JP2011039077A (ja) * | 2010-11-24 | 2011-02-24 | Hitachi Ltd | 超音波探傷装置及び超音波探傷装置の画像処理方法 |
| CN109856167A (zh) * | 2018-12-05 | 2019-06-07 | 惠州市骏亚数字技术有限公司 | 一种无损检测装置及其检测方法 |
Citations (10)
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| JPS62198965A (ja) * | 1986-02-27 | 1987-09-02 | Shigeo Ishii | ３次元画像処理方式 |
| JPH01127952A (ja) * | 1987-11-13 | 1989-05-19 | Canon Inc | 超音波映像装置 |
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-
2000
- 2000-05-23 JP JP2000151272A patent/JP2001330569A/ja active Pending
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