JP2001321795A - 液体浄化装置 - Google Patents

液体浄化装置

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JP2001321795A
JP2001321795A JP2000180567A JP2000180567A JP2001321795A JP 2001321795 A JP2001321795 A JP 2001321795A JP 2000180567 A JP2000180567 A JP 2000180567A JP 2000180567 A JP2000180567 A JP 2000180567A JP 2001321795 A JP2001321795 A JP 2001321795A
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liquid
osmosis membrane
reverse osmosis
filter apparatus
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Kimihiko Okanoe
公彦 岡上
Hironori Muraki
弘則 村木
Hiroyuki Aida
寛幸 会田
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Sumitomo Densetsu Co Ltd
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Sumitomo Densetsu Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】吸着剤として水酸化マグネシュウムを用いた凝
集濾過装置を備えた液体浄化装置であって、逆浸透膜を
用いることにより凝集作用に欠かせない水酸化マグネシ
ュウムの系外への流出を防ぐと共に、逆浸透膜で分離除
去された水酸化マグネシュウムを系内に戻し、その消耗
を防ぐようにした装置を提供する。 【解決手段】 【請求項1】 排水を濾過する前段濾過装置1と、少
なくとも塩基性硫酸マグネシュウムと水酸化マグネシュ
ウムとの結晶状繊維を、集合して構成された吸着剤6の
相互間隙に、前段濾過装置1で濾過された液体を通過さ
せ、この液体中に混入している微粒子を凝集させて大き
な塊にする凝集濾過装置4と、凝集濾過装置4で凝集さ
れ大きな塊となった微粒子を絡め取る後段濾過装置7
と、後段濾過装置7を通過した液体を精密濾過する逆浸
透膜8と、及び、逆浸透膜8で精密濾過された液体を通
過させるイオン交換装置9とを備え、逆浸透膜8からの
排水を前段濾過装置1、もしくは、凝集濾過装置4に戻
すようにして構成した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、例えば、シリコン、
セレン等の加工液、もしくは、それらの加工部品を洗浄
する洗浄液等を浄化する液体浄化装置に関するものであ
る。
【0002】従来、シリコン、セレン等の加工液、洗浄
液の浄化は、それらの加工時に発生するスラッジの粒径
が0.1μより細かく、有効に浄化する手段が無かっ
た。このため従来では、凝集沈殿槽において、加工排
水、洗浄排水に高分子凝集剤を添加してスラッジを凝集
沈殿させ、沈殿物をプレス濾過して除去し、さらに、上
澄み液を精密濾過して後、下水に排水していた。
【0003】
【発明が解決しょうとする課題】従来の装置は上記の如
く構成され、高分子凝集剤を使用しているため、凝集沈
殿させるための時間、即ち、凝集沈殿槽として大容量の
設置面積を要し、かつ、高分子凝集剤の注入量の10倍
から20倍の凝集沈殿物が発生し、その処理をするプレ
ス濾過装置での作業が膨大となると共に、その廃棄物処
理費、並びに、高分子凝集剤の購入費が膨大となり、さ
らに、凝集沈殿槽の上澄み液を精密濾過する濾過装置を
必要とする課題が有った。
【0004】この発明は上記の如き従来のものの課題を
解消するためになされたもので、
【請求項1】の発明は、凝集濾過装置内に設置された、
少なくとも塩基性硫酸マグネシュウムと水酸化マグネシ
ュウムとの結晶状繊維を集合して構成された吸着剤の相
互間隙に、前段濾過装置で濾過された液体を通過させ、
この液体中に混入している微粒子を凝集させて大きな塊
にし、後段濾過装置においてこの大きな塊となった微粒
子を絡め取った後、逆浸透膜とイオン交換装置とにより
精密濾過し、かつ、逆浸透膜からの排水を、前段濾過装
置、もしくは、凝集濾過装置に戻すことにより、排水を
リサイクル使用するか、または、排水量を極力少なくし
得るようにした液体浄化装置を提供することを目的とす
る。
【請求項2】の発明は、前段濾過装置、もしくは、後段
濾過装置の少なくとも何れか一を、ペーパーフイルタを
間欠的に、または、連続的に供給しながら、そのフイル
タで液体を浄化する重力濾過型濾過装置を用いた液体浄
化装置を提供することを目的とする。
【請求項3】の発明は、前段濾過装置と後段濾過装置と
を、ペーパーフイルタを間欠的に、または、連続的に供
給しながら、そのフイルタで液体を浄化する同一の重力
濾過型濾過装置で構成し、凝集型濾過装置を通過した排
水と逆浸透膜からの排水とを、重力濾過型濾過装置に戻
すようにした液体浄化装置を提供することを目的とす
る。
【0005】
【課題を解決するための手段】
【請求項1】の発明は、排水を濾過する前段濾過装置
と、少なくとも塩基性硫酸マグネシュウムと水酸化マグ
ネシュウムとの結晶状繊維を集合して構成された吸着剤
の相互間隙に、前記前段濾過装置で濾過された液体を通
過させ、この液体中に混入している微粒子を凝集させて
大きな塊にする凝集濾過装置と、前記凝集濾過装置で凝
集され大きな塊となった微粒子を絡め取る後段濾過装置
と、前記後段濾過装置を通過した液体を精密濾過する逆
浸透膜と、及び、前記逆浸透膜で精密濾過された液体を
通過させるイオン交換装置とで構成され、前記逆浸透膜
からの排水を前記前段濾過装置、もしくは、前記凝集濾
過装置に戻すようにして実現した。
【請求項2】の発明は、前記前段濾過装置、もしくは、
前記後段濾過装置の少なくとも何れか一は、ペーパーフ
イルタを間欠的に、または、連続的に供給しながら、そ
のフイルタで液体を浄化する重力濾過型濾過装置で構成
した請求項1の液体浄化装置。
【請求項3】の発明は、前記前段濾過装置と前記後段濾
過装置とを、ペーパーフイルタを間欠的に、または、連
続的に供給しながら、そのフイルタで液体を浄化する同
一の重力濾過型濾過装置で構成し、前記凝集型濾過装置
を通過した排水と前記逆浸透膜からの排水とを、前記重
力濾過型濾過装置に戻すようにした請求項1の液体浄化
装置。
【0006】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図1は、この発明の一実施例を示すブロック線図
である。図において、前段濾過装置1は、例えば10μ
のカートリッジフイルタからなり、排水流入口2からの
排水がポンプ3によって送り込まれ前段濾過をする。第
1,第2の凝集濾過装置4,5は、それぞれ、少なくと
も塩基性硫酸マグネシュウムと水酸化マグネシュウムと
の結晶状繊維を、集合して構成された吸着剤6を内部に
収納し、この吸着剤6の相互間隙に、前段濾過装置1で
濾過された液体を通過させ、この液体中に混入している
微粒子をシュルツ・ハーディの法則に従って凝集させて
大きな塊にする。後段濾過装置7は、例えば、10μの
カートリッジフイルタからなり、第1,第2の凝集濾過
装置4,5で凝集され大きな塊となった微粒子を絡め取
る。逆浸透膜8は、後段濾過装置7で捕捉できない微粒
子、もしくは、吸着剤6から流出した水酸化マグネシュ
ウム等を除去するもので、例えば、流入量の70%の濾
過液を、後段のイオン交換装置9に送り込み、ほぼ純水
にして送出口10から送出すると共に、流入量の30%
の排水を、ポンプ11を介して前段濾過装置1に戻し排
水を0にする。
【0007】第1,第2の凝集濾過装置4,5の凝集能
力は、吸着剤6からの水酸化マグネシュウムの流出によ
り決定され、その流出量は、15.2g/tである。従
って、一方通行での排水処理では水酸化マグネシュウム
の流出が続き、最終的には流出が終了して凝集能力が無
くなる。このため、逆浸透膜8を設けて、不純物である
水酸化マグネシュウムのイオン交換装置9への流入を防
ぐと共に、分離除去された水酸化マグネシュウムを前段
濾過装置1に戻して水酸化マグネシュウムの消耗を防
ぐ。なお、上記実施例では、逆浸透膜8で分離除去され
た水酸化マグネシュウムを、前段濾過装置1に戻す場合
を示したが、第1,第2の凝集濾過装置4,5の何れか
に戻しても良い。また、上記実施例では、第1,第2の
凝集濾過装置4,5を二連、縦続接続した場合を示した
が、単独の凝集濾過装置であってもよく、三連以上の縦
続接続であっても良い。
【0008】図2は、この発明の他の実施例を示し、図
において、重力濾過型濾過装置12は、例えば10μの
ペーパーフイルタ13を円筒ドラムの下半分に沿って、
間欠的に、または、連続的に供給し、円筒ドラムの内部
に溜まった排水の重量により排水を浄化するもので、ペ
ーパーフイルタ13で濾過された排水は自然落下により
下部タンク14に注ぎ込まれる。ポンプ15は、下部タ
ンク14内の排水を第1の凝集濾過装置4に送り込むも
のである。即ち、図1の実施例の前段濾過装置1の代わ
りに、重力濾過型濾過装置12を使用したものであり、
ペーパーフイルタ13は、その目詰まりにより、円筒ド
ラムの内部に溜まった排水の液面の上昇を検知して、自
動的に巻き取られるため、メンテナンス性がより向上す
る。なお、上記実施例では、前段濾過装置1のみを重力
濾過型濾過装置12としたが、後段濾過装置7を重力濾
過型濾過装置12としてもよく、また、両者とも重力濾
過型濾過装置12としてもよい。
【0009】図3は、この発明のさらに他の実施例を示
し、図において、前段濾過装置1と後段濾過装置7と
を、ペーパーフイルタ13を間欠的に、または、連続的
に供給しながら、そのフイルタ13で液体を浄化する同
一の重力濾過型濾過装置12で構成して、第1,第2の
凝集型濾過装置4,5を通過した排水と、逆浸透膜8か
らの排水とを、重力濾過型濾過装置12に戻すようにし
たものである。このように構成することにより、単一の
重力濾過型濾過装置12で前段濾過装置1と後段濾過装
置7とを兼ねることができ、装置を簡略化することが出
来る。
【0010】なお、吸着剤6は、例えば、
【化学式1】 MgSO・5Mg(OH)・3H
O で示される塩基性硫酸マグネシュウムを94%以上と、
【化学式2】 Mg(OH) で示されるの水酸化マグネシュウムを6%以下と、
【化学式3】 MgSO で示される硫酸マグネシュウム0.5%以下とからなっ
ており、その形状は結晶状繊維を集合して構成した粉末
状、または、顆粒状、もしくは、粒状となっている。ま
た、その成分含有比率は、上記実施例のみに限らず
【化学式4】 2%≦MgSO・5Mg(OH)
3HO≦98%
【化学式5】 2%≦Mg(OH)≦98% の範囲であれば良い。即ち、吸着剤6によって、第1,
第2の凝集型濾過装置4,5の容器内はマグネシュウム
イオンが若干高くなるように構成されており、シュルツ
・ハーディの法則に従って凝集される機能を有してい
る。
【発明の効果】以上のように、
【請求項1】の発明によれば、凝集濾過装置内に設置さ
れた、少なくとも塩基性硫酸マグネシュウムと水酸化マ
グネシュウムとの結晶状繊維を集合して構成された吸着
剤の相互間隙に、前段濾過装置で濾過された液体を通過
させ、この液体中に混入している微粒子を凝集させて大
きな塊にし、後段濾過装置においてこの大きな塊となっ
た微粒子を絡め取った後、逆浸透膜とイオン交換装置と
により精密濾過し、かつ、逆浸透膜からの排水を、前段
濾過装置、もしくは、凝集濾過装置に戻すことにより、
排水をリサイクル使用するか、または、排水量を極力少
なくし得るようにしているため、吸着剤の水酸化マグネ
シュウムの流出口からの流出を防ぐと共に、凝集能力を
左右する水酸化マグネシュウムの消耗を防ぐことが出来
る。
【請求項2】の発明によれば、前段濾過装置、もしく
は、後段濾過装置の少なくとも何れか一を、ペーパーフ
イルタを間欠的に、または、連続的に供給しながら、そ
のフイルタで液体を浄化する重力濾過型濾過装置とする
ことにより、メンテナンス性を向上することが出来る。
【請求項3】の発明によれば、前段濾過装置と後段濾過
装置とを、ペーパーフイルタを間欠的に、または、連続
的に供給しながら、そのフイルタで液体を浄化する同一
の重力濾過型濾過装置で構成し、凝集型濾過装置を通過
した排水と逆浸透膜からの排水とを、重力濾過型濾過装
置に戻すようにしているため、装置を簡略化することが
出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明に係る液体浄化装置の一実施例を示す
ブロック線図である。
【図2】この発明に係る液体浄化装置の他の実施例を示
すブロック線図である。
【図3】この発明に係る液体浄化装置めさらに他の実施
例を示すブロック線図である。
【符号の説明】
1:前段濾過装置 4,5:第1,第2の凝集濾過装置 6:吸着剤 7:後段濾過装置 8:逆浸透膜 9:イオン交換装置 12:重力濾過型濾過装置
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C02F 9/00 502 C02F 9/00 502J 502P 503 503C 503G B01D 36/00 B01D 36/00 C02F 1/28 C02F 1/28 F 1/44 ZAB 1/44 ZABK (72)発明者 村木 弘則 大阪府大阪市西区阿波座2丁目1番4号 住友電設株式会社内 (72)発明者 会田 寛幸 大阪府大阪市西区阿波座2丁目1番4号 住友電設株式会社内 Fターム(参考) 4D006 GA03 GA07 JA57A KA02 KA03 KA16 KA63 KA71 KB11 KB12 KB13 KB14 KD09 KD30 PA01 PB08 4D024 AA04 AB14 BA12 BB02 BC01 CA01 DB03 DB04 DB05 DB19 DB21 4D066 AA01 AB02 AB03 AB04 AB07 BB02 BB24 EA01 EA11

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 排水を濾過する前段濾過装置と、 少なくとも塩基性硫酸マグネシュウムと水酸化マグネシ
    ュウムとの結晶状繊維を、集合して構成された吸着剤の
    相互間隙に、前記前段濾過装置で濾過された液体を通過
    させ、この液体中に混入している微粒子を凝集させて大
    きな塊にする凝集濾過装置と、 前記凝集濾過装置で凝集され大きな塊となった微粒子を
    絡め取る後段濾過装置と、 前記後段濾過装置を通過した液体を精密濾過する逆浸透
    膜と、 及び、前記逆浸透膜で精密濾過された液体を通過させる
    イオン交換装置とを備え、 前記逆浸透膜からの排水を前記前段濾過装置、もしく
    は、前記凝集濾過装置に戻すようにしたことを特徴とす
    る液体浄化装置。
  2. 【請求項2】 前記前段濾過装置、もしくは、前記後段
    濾過装置の少なくとも何れか一は、ペーパーフイルタを
    間欠的に、または、連続的に供給しながら、そのフイル
    タで液体を浄化する重力濾過型濾過装置である請求項1
    の液体浄化装置。
  3. 【請求項3】 前記前段濾過装置と前記後段濾過装置と
    を、ペーパーフイルタを間欠的に、または、連続的に供
    給しながら、そのフイルタで液体を浄化する同一の重力
    濾過型濾過装置で構成し、前記凝集型濾過装置を通過し
    た排水と前記逆浸透膜からの排水とを、前記重力濾過型
    濾過装置に戻すようにした請求項1の液体浄化装置。
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