JP2001319958A

JP2001319958A - 処理装置

Info

Publication number: JP2001319958A
Application number: JP2000133712A
Authority: JP
Inventors: Motoi Akimoto; 基秋元; Hiroyuki Iwai; 裕之岩井; Kiju Takigawa; 喜重瀧川
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 2000-05-02
Filing date: 2000-05-02
Publication date: 2001-11-16

Abstract

(57)【要約】【課題】運搬容器から飛び出している被処理体を運搬
容器内に積極的に押し戻して被処理体の飛び出しを解消
する。【解決手段】複数枚の被処理体ｗが水平状態で整列収
容された複数個の運搬容器７を保管棚１６，１７に搬送
して保管し、この保管棚１６，１７から運搬容器７を移
載台１８に搬送し、この移載台１８上の運搬容器７から
被処理体ｗを取り出して所定の処理を施すようにした処
理装置において、前記保管棚１７の奥部に運搬容器７か
ら飛び出している被処理体ｗの前端を押し当てて運搬容
器７内に押し戻すための押し当て部２９を設けている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、処理装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体装置の製造においては、
被処理体例えば半導体ウエハに酸化、拡散、ＣＶＤなど
の各種の処理を施す工程があり、この処理工程における
スループットの向上、無塵化および省スペース化等を図
る観点から、種々の処理装置が提案されている。

【０００３】この種の処理装置としては、例えば、複数
枚例えば２５枚程度のウエハが整列収容された運搬容器
であるキャリア（カセットともいう。）を搬出入口の載
置台上でウエハが垂直状態から水平状態になるように姿
勢変換し、姿勢変換された複数個のキャリアを保管棚に
搬送して保管し、この保管棚からキャリアを移載台に搬
送し、この移載台上のキャリアからウエハを取り出して
所定の処理を施すようにしたものが知られている。

【０００４】例えば、バッチ式の処理装置の場合、ウエ
ハを高さ方向に多数枚例えば１５０枚程度搭載可能な保
持具であるボートに移載台上のキャリアからウエハを移
載し、そのボートを熱処理炉内に搬入して所定の処理を
施すようになっている。所定の処理が終了して、熱処理
炉からボートが搬出されると、ボートから処理済みのウ
エハが上記とは逆の手順でキャリアに戻され、処理済み
のウエハを収容したキャリアが搬出入口から搬出され
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た処理装置においては、ウエハが略水平状態に収容され
た姿勢の運搬容器を取扱うことから、振動等でウエハが
運搬容器から飛び出す恐れがある。特に、バッチ式の処
理装置では、ボートの上端と下端にダミーウエハを所定
枚数例えば１０枚ずつ搭載し、そのダミーウエハは処理
装置内で何回も往復使用される場合があるが、その場
合、キャリアからのウエハの飛び出し量ないしズレ量が
積み重ねにより増大し、ウエハの正確な移載が困難にな
ったり、場合によってはウエハが脱落する恐れがある。

【０００６】そのため、前記移載台にウエハの飛び出し
を監視するセンサを取付ける等の対策がとれているが、
ウエハの飛び出しを防止する基本的な問題解決には至っ
ていない。なお、ウエハの飛び出しを防止するために、
キャリアをウエハの出し入れ口が斜め上方に向くように
傾斜可能に支持する構造も提案されているが、ウエハを
キャリア内に積極的に押し戻す構造ではない。

【０００７】本発明は、前記事情を考慮してなされたも
ので、運搬容器から飛び出している被処理体を運搬容器
内に積極的に押し戻して被処理体の飛び出しを解消する
ことができる処理装置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明のうち、請求項１
の発明は、複数枚の被処理体が水平状態で整列収容され
た複数個の運搬容器を保管棚に搬送して保管し、この保
管棚から運搬容器を移載台に搬送し、この移載台上の運
搬容器から被処理体を取り出して所定の処理を施すよう
にした処理装置において、前記保管棚の奥部に運搬容器
から飛び出している被処理体の前端を押し当てて運搬容
器内に押し戻すための押し当て部を設けたことを特徴と
する。

【０００９】請求項２の発明は、複数枚の被処理体が整
列収容された運搬容器を搬出入口の載置台上で被処理体
が垂直状態から水平状態になるように姿勢変換し、姿勢
変換された複数個の運搬容器を保管棚に搬送して保管
し、この保管棚から運搬容器を移載台に搬送し、この移
載台上の運搬容器から被処理体を取り出して所定の処理
を施すようにした処理装置において、前記保管棚の奥部
に運搬容器から飛び出している被処理体の前端を押し当
てて運搬容器内に押し戻すための押し当て部を設けたこ
とを特徴とする。

【００１０】請求項３の発明は、請求項１または２記載
の処理装置において、前記押し当て部が、押し当て時の
衝撃を吸収する緩衝部を有していることを特徴とする。

【００１１】請求項４の発明は、複数枚の被処理体が水
平状態で整列収容された複数個の運搬容器を保管棚に搬
送して保管し、この保管棚から運搬容器を移載台に搬送
し、この移載台上の運搬容器から被処理体を取り出して
所定の処理を施すようにした処理装置において、前記移
載台に運搬容器から飛び出している被処理体を運搬容器
内に押し戻すための押し戻し機構を設けたことを特徴と
する。

【００１２】請求項５の発明は、複数枚の被処理体が整
列収容された運搬容器を搬出入口の載置台上で被処理体
が垂直状態から水平状態になるように姿勢変換し、姿勢
変換された複数個の運搬容器を保管棚に搬送して保管
し、この保管棚から運搬容器を移載台に搬送し、この移
載台上の運搬容器から被処理体を取り出して所定の処理
を施すようにした処理装置において、前記移載台に運搬
容器から飛び出している被処理体を運搬容器内に押し戻
すための押し戻し機構を設けたことを特徴とする。

【００１３】請求項６の発明は、請求項４または５記載
の処理装置において、前記押し戻し機構が、移載台の一
側から移載台の前側に旋回可能な旋回アームと、この旋
回アームの先端に設けられ運搬容器から前方へ飛び出し
ている被処理体の前端に当接してこれを旋回アームの旋
回動作により運搬容器内に押し戻す当接部とを有してい
ることを特徴とする。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を添
付図面に基いて詳述する。

【００１５】図１において、１は処理装置として例示し
た縦型熱処理装置の筐体で、この筐体１内の奥部上方に
は下部に炉口を有する円筒状の処理容器、その周囲を覆
うように配置されたヒータおよび断熱材等からなる縦型
の熱処理炉２が設置されている。

【００１６】この熱処理炉２の下方の空間部であるロー
ディングエリア３には、図２にも示すように、熱処理炉
２の炉口を開閉する蓋体４が昇降機構により昇降可能に
設けられ、この蓋体４上には被処理体例えば半導体ウエ
ハｗを水平状態で高さ方向に所定の間隔で多数枚例えば
１５０枚程度搭載可能な保持具である例えば石英製のボ
ート５が炉口断熱手段である保温筒６を介して載置され
ている。ウエハｗを搭載したボート５は、蓋体４の昇降
により保温筒６とともに前記熱処理炉２内に搬入（ロー
ド）、搬出（アンロード）されるようにように構成され
ている。

【００１７】前記筐体１の前部には、ウエハｗを垂直状
態で複数枚例えば２５枚程度整列収容するプラスチック
製の運搬容器であるキャリア７を搬入搬出するために図
示しないスライドドアを備えた搬出入口８が設けられて
いる。キャリア７は、図３にも示すように、上部がウエ
ハｗの出し入れ口９として開放され、内部には円形のウ
エハｗを１枚ずつ垂直状態で回転可能に整列収容する図
示しない溝が形成され、底部にはウエハｗの検知や回転
駆動が可能な開口部１０が形成されている。

【００１８】前記筐体１内の搬出入口８の近傍には、キ
ャリア７を載置するための載置台１１が設置され、この
載置台１１上には、キャリア７をキャリア７内のウエハ
ｗが垂直状態から水平状態になるように姿勢変換する姿
勢変換機構１２が設けられている。この姿勢変換機構１
２は、キャリア７を載置する載置部１３と、この載置部
１３をキャリア７の側面領域内に設定された回動中心ｘ
を支点として回動可能に支持する支持部としてのスイン
グアーム１４と、載置部１３を水平状態から搬出入口８
側に垂直状態に立上がるように前記回動中心ｘを支点と
して回動させる駆動部としてのエアシリンダ１５とを備
えている。前記載置部１３には、キャリア７を保持する
保持機構、キャリア７内のウエハｗの有無ないし枚数を
検知するウエハセンサ、ウエハｗの周縁部に形成された
オリエンテーションフラットもしくはノッチを一定方向
に揃える整列機構等が設けられている（図示省略）。

【００１９】前記筐体１内において、載置台１１の上方
領域の前部と後部には、姿勢変換されたキャリア７を複
数個保管可能な保管棚１６，１７が設けられ、熱処理炉
２側には、キャリア７をウエハｗの移載のために載置す
る移載台１８が設けられている。そして、前記載置台１
１と移載台１８との間には、キャリア７の搬送を行う搬
送機構１９が設けられ、前記ローディングエリア３に
は、ウエハｗの移載を行う移載機構２０が設けられてい
る。

【００２０】前部の保管棚１６は、棚板１６ａを２段有
し、各段に２個ずつ計４個のキャリア７を保管可能にな
っている。後部の保管棚１７は、棚板１７ａを４段有
し、各段に３個ずつ計１２個のキャリア７を保管可能に
なっている。前記移載台１８は、上段と下段に計２個の
キャリアを載置可能になっている。

【００２１】前記搬送機構１９は、筐体１内の左右方向
に走行可能な走行部２１と、この走行部２１に立設され
た支柱２２に沿って昇降可能に設けられた昇降フレーム
２３と、この昇降フレーム２３に水平方向に屈伸可能に
設けられてキャリア７の下部を支持する搬送アーム２４
とを備えている。この搬送機構１９は、載置台１１と保
管棚１６，１７との間、保管棚１６，１７と移載台１８
との間、および移載台１８と載置台１１との間でキャリ
ア７の受け取り受け渡しができるように構成されてい
る。

【００２２】前記移載機構２０は、昇降および水平旋回
可能に設けられたアーム２５と、このアーム２５上に水
平回動可能に設けられた箱状の回動フレーム２６と、こ
の回動フレーム２６上にその長手方向に沿って往復移動
可能に設けられた移動体２７と、この移動体２７の移動
方向一端に設けられ、複数枚例えば５枚程度のウエハｗ
を上下方向に所定間隔で支持する平板状の移載アーム２
８とを備えている。この移載機構２０は、処理前のウエ
ハを移載台１８上のキャリア７内から順次取り出してボ
ート５に移載し、また、処理後のウエハをボート５から
順次取り出してキャリア７内に移載し得るように構成さ
れている。

【００２３】そして、本発明の第１の実施の形態とし
て、前記後部の保管棚１７の少なくとも１箇所例えばダ
ミーウエハを収容したキャリア７を保管する箇所の奥部
には、図３ないし図４に示すように、キャリア７から飛
び出しているウエハｗの前端を押し当ててキャリア７内
に押し戻すための押し当て部が２９設けられている。こ
の保管棚１７の棚板１７ａ上には、搬送機構１９の搬送
アーム２４によりキャリア７がその出し入れ口９を保管
棚１７の奥部に向けた状態で載置されるようになってお
り、棚板１７ａには、搬送アーム２４との干渉を避ける
ための切欠部３０が形成されている。また、棚板１７ａ
上には、キャリア７を出し入れ口９が斜め上方に向くよ
うに傾斜状態に位置決め載置するための前部枕部３１お
よび後部枕部３２が設けられている。

【００２４】前記押し当て部２９は、キャリア７内に上
下方向に所定間隔で収容された全ウエハｗに対応し得る
長さに形成され、何れのウエハが前方に突出していても
押し戻せるようになっている。押し当て部２９は、ウエ
ハよりも軟質でウエハに対して非汚染性の材料例えばフ
ッ素樹脂により形成されていることが好ましい。

【００２５】この押し当て部２９には、キャリア７の出
し入れ口９から露出したウエハｗの前端周縁部と対応し
た曲率の凹面状の押し当て面３３が形成されている。前
記保管棚１７の奥部に押し当て部２９を取付けるため
に、例えば棚板１７ａの奥部には、取付板３４が立設さ
れ、この取付板３４に押し当て部２９が取付けられてい
る。この場合、ウエハｗの押し当て時の衝撃を吸収する
ために、押し当て部２９は緩衝部であるスプリング３５
を介して取付板３４に取付けられていることが好まし
い。

【００２６】次に、以上の構成からなる処理装置の作用
を述べる。先ず、キャリア７を例えば搬送ロボット等に
より処理装置の搬出入口８から載置台１１における姿勢
変換機構１２の載置部１３上に２個ずつ載置すると、整
列機構によるウエハの整列、ウエハセンサによるウエハ
の有無および枚数の検知が行われ、次いで、姿勢変換機
構１２によりウエハｗが垂直状態から水平状態になるよ
うにキャリア７の姿勢変換が行われる。姿勢変換された
キャリア７は、搬送機構１９により保管棚１６，１７に
搬送され、以上の動作を繰り返して所望個数のキャリア
７が保管棚１６，１７に保管される。

【００２７】次に、保管部１６，１７から搬送機構１９
によりキャリア７が移載台１８に順次搬送され、移載機
構２０によりキャリア７内のウエハｗがローディングエ
リア３に降下搬出されているボート５に移載される。こ
の時、ボート５の上部と下部にダミーウエハが所定枚数
例えば１０枚ずつ移載される。空になったキャリア７
は、搬送機構１９により順次保管部１６，１７に戻され
る。

【００２８】前記ボート５への所定枚数例えば１５０枚
程度のウエハｗの移載が終了すると、昇降機構によりボ
ート５および保温筒６が熱処理炉２内に搬入されるとと
もに、炉口が蓋体４で閉じられ、所定時間、所定温度、
所定雰囲気下で所定の熱処理が実施される。熱処理が終
了すると、ボート５が熱処理炉２からローディングエリ
ア３に搬出され、処理後のウエハは、冷却後、前記とは
逆の手順でボート５からキャリア７内に移載され、その
キャリア７は、搬送機構１９により移載台１８から載置
台１１へ搬送され、姿勢変換機構１２により姿勢が水平
状態から垂直状態に変換された後、搬出入口８から処理
装置外に搬出される。

【００２９】一方、ダミーウエハは、所定のキャリア７
に移載され、そのキャリア７は、搬送機構１９により移
載台１８から後部の保管棚１７における押し当て部２９
のある箇所に搬送される。この場合、前記キャリア７を
保管棚１７の前方（手前側から）から奥部側へ入れた時
に、キャリア７の出し入れ口９から飛び出しているウエ
ハｗの前端が押し当て部に当接してその反力ないし反作
用でキャリア７内に押し戻される。

【００３０】通常、ウエハｗは、一回の処理で処理装置
外に搬出されるため、キャリア７からのズレ量ないし飛
び出し量が小さいため、問題にならないが、ダミーウエ
ハは、処理装置内で何回も往復使用されるため、ズレ量
ないし飛び出し量が積み重なって増大する。しかしなが
ら、本実施の形態によれば、ダミーウエハを収納したキ
ャリア７が保管棚１７の所定箇所に搬送される度に、キ
ャリア７の出し入れ口９から飛び出しているウエハｗを
押し当て部２９によりキャリア７内に積極的に押し戻す
ことができるため、キャリア７の出し入れ口９からウエ
ハｗが大きく飛び出すことによるウエハｗの脱落やウエ
ハｗの移載が困難になる不具合を防止することができ
る。また、前記押し当て部２９は、押し当て時の衝撃を
吸収する緩衝部例えばスプリング３５を有しているた
め、ウエハｗの損傷を防止することができる。

【００３１】なお、前記実施の形態では、後部の保管棚
１７の１箇所のみに押し当て部２９を設けた一例が示さ
れているが、後部の保管棚１７の複数箇所もしくは全て
のキャリア保管箇所に押し当て部２９が設けられていて
もよい。但し、前部の保管棚１６には、キャリア７が出
し入れ口９を奥部側とは反対側に向けた状態で保管され
るため、押し当て部２９が設けられない。

【００３２】図５および図６は、本発明の第２の実施の
形態を示している。本実施の形態では、前記移載台１８
に、キャリア７から飛び出しているウエハｗをキャリア
７内に押し戻すための押し戻し機構３６が設けられてい
る。前記移載台１８には、ウエハｗの移載ができるよう
にキャリア７がその出し入れ口９をローディングエリア
３側に向けた状態で水平に載置されるようになってい
る。移載台１８には、キャリア７の出し入れ口９の両側
縁部前端を位置決めする位置決めブロック３７と、この
位置決めブロック３７との間で両側縁部を前後から挟持
して固定する可動ブロック３８とが設けられている。ま
た、移載台１８におけるキャリア７の出し入れ口９を挟
んで対向する上下位置には、キャリア７からのウエハｗ
の飛び出しの有無を検知する光学式のセンサ例えば投光
素子３９ａと受光素子３９ｂが設けられ、これら投光素
子３９ａと受光素子３９ｂ間の光線４０をウエハｗが遮
ることでウエハｗが飛び出していることを検知するよう
になっている。

【００３３】前記押し戻し機構３６は、移載台１８の一
側から移載台１８の前側に旋回可能な旋回アーム４１
と、この旋回アーム４１の先端に設けられキャリア７か
ら前方（ローディングエリア方向）へ飛び出しているウ
エハｗの前端に当接してこれを旋回アーム４１の旋回動
作によりキャリア７内に押し戻す当接部４２とを有して
いる。移載台１８の一側部には、旋回アーム４１の基端
部を支持して水平に旋回駆動する駆動手段であるアクチ
ュエータ４３が設けられている。

【００３４】前記当接部４２は、前記押し当て部２９と
同様に、キャリア７内に上下方向に所定間隔で収容され
た全ウエハｗに対応し得る長さに形成され、何れのウエ
ハｗが前方に突出していても押し戻せるようになってい
る。当接部４２は、ウエハｗよりも軟質でウエハｗに対
して非汚染性の材料例えばフッ素樹脂により形成されて
いることが好ましい。また、当接部４２には、キャリア
７の出し入れ口９から露出したウエハｗの前端周縁部と
対応した曲率の凹面状の当接面４４が形成されているこ
とが好ましい。前記押し戻し機構３６は、移載台１８の
上段および下段の少なくとも一方に設けられていればよ
いが、両方に設けられていてもよい。

【００３５】本実施の形態によれば、搬送機構１９によ
りキャリア７が移載台１８に搬送載置されると、先ず、
キャリア７の両側縁部が位置決めブロック３７と可動ブ
ロック３８との間で前後から挟持されて固定され、光学
式のセンサ例えば投光素子３９ａと受光素子３９ｂによ
りキャリア７からウエハｗが飛び出しているか否かが検
知される。ウエハｗが飛び出していることが検知される
と、図示しないコントローラによって押し戻し機構３６
のアクチュエータ４３が駆動制御され、載置台１８の一
側方の待機位置からキャリア７の出し入れ口９中央の作
動位置まで旋回アーム４１が水平に旋回する。

【００３６】この旋回動作により、旋回アーム４１の先
端に設けられている当接部４２がキャリア７から飛び出
しているウエハｗの前端に当接してそのウエハｗをキャ
リア７内に押し戻す。旋回アーム４１は、ウエハｗの押
し戻し後、再び待機位置に旋回復帰される。

【００３７】このように、前記移載台１８にキャリア７
から飛び出しているウエハｗをキャリア７内に押し戻す
ための押し戻し機構３６を設けているため、振動等でキ
ャリア７から飛び出しているウエハ（ダミーウエハを含
む）ｗをキャリア７内に積極的に押し戻すことができ、
キャリア７からのウエハｗの飛び出しを確実且つ容易に
解消することができる。また、前記押し戻し機構３６
が、移載台１８の一側から移載台１８の前側に旋回可能
な旋回アーム４１と、この旋回アーム４１の先端に設け
られキャリア７の出し入れ口９から前方へ飛び出してい
るウエハｗの前端に当接してこれを旋回アーム４１の旋
回動作によりキャリア７内に押し戻す当接部４２とを有
しているため、簡単な構成でキャリア７からのウエハｗ
の飛び出しを確実且つ容易に解消することができる。こ
の場合、旋回アーム４１は、不使用時には載置台１８の
一側方に待機しているので、移載機構２０によるウエハ
ｗの移載作業の邪魔になることはない。

【００３８】以上、本発明の実施の形態を図面により詳
述してきたが、本発明は前記実施の形態に限定されるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での種々の
設計変更等が可能である。例えば、本発明は、縦型熱処
理装置だけでなく、例えば横形熱処理装置、枚葉式熱処
理装置やその他の処理装置にも適用可能である。また、
被処理体としては、半導体ウエハ以外に、例えばガラス
基板やＬＣＤ基板等であってもよい。更に、本発明は、
姿勢変換機構を有しない処理装置にも適用可能である。

【００３９】

【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な効果を奏することができる。

【００４０】（１）請求項１の発明によれば、複数枚の
被処理体が水平状態で整列収容された複数個の運搬容器
を保管棚に搬送して保管し、この保管棚から運搬容器を
移載台に搬送し、この移載台上の運搬容器から被処理体
を取り出して所定の処理を施すようにした処理装置にお
いて、前記保管棚の奥部に運搬容器から飛び出している
被処理体の前端を押し当てて運搬容器内に押し戻すため
の押し当て部を設けているため、運搬容器から飛び出し
ている被処理体を運搬容器内に積極的に押し戻して被処
理体の飛び出しを解消することができる。

【００４１】（２）請求項２の発明によれば、複数枚の
被処理体が整列収容された運搬容器を搬出入口の載置台
上で被処理体が垂直状態から水平状態になるように姿勢
変換し、姿勢変換された複数個の運搬容器を保管棚に搬
送して保管し、この保管棚から運搬容器を移載台に搬送
し、この移載台上の運搬容器から被処理体を取り出して
所定の処理を施すようにした処理装置において、前記保
管棚の奥部に運搬容器から飛び出している被処理体の前
端を押し当てて運搬容器内に押し戻すための押し当て部
を設けているため、運搬容器から飛び出している被処理
体を運搬容器内に積極的に押し戻して被処理体の飛び出
しを解消することができる。

【００４２】（３）請求項３の発明によれば、前記押し
当て部が、押し当て時の衝撃を吸収する緩衝部を有して
いるため、被処理体の損傷を防止することができる。

【００４３】（４）請求項４の発明によれば、複数枚の
被処理体が水平状態で整列収容された複数個の運搬容器
を保管棚に搬送して保管し、この保管棚から運搬容器を
移載台に搬送し、この移載台上の運搬容器から被処理体
を取り出して所定の処理を施すようにした処理装置にお
いて、前記移載台に運搬容器から飛び出している被処理
体を運搬容器内に押し戻すための押し戻し機構を設けて
いるため、運搬容器から飛び出している被処理体を運搬
容器内に積極的に押し戻して被処理体の飛び出しを解消
することができる。

【００４４】（５）請求項５の発明によれば、複数枚の
被処理体が整列収容された運搬容器を搬出入口の載置台
上で被処理体が垂直状態から水平状態になるように姿勢
変換し、姿勢変換された複数個の運搬容器を保管棚に搬
送して保管し、この保管棚から運搬容器を移載台に搬送
し、この移載台上の運搬容器から被処理体を取り出して
所定の処理を施すようにした処理装置において、前記移
載台に運搬容器から飛び出している被処理体を運搬容器
内に押し戻すための押し戻し機構を設けているため、運
搬容器から飛び出している被処理体を運搬容器内に積極
的に押し戻して被処理体の飛び出しを解消することがで
きる。

【００４５】（６）請求項６の発明によれば、前記押し
戻し機構が、移載台の一側から移載台の前側に旋回可能
な旋回アームと、この旋回アームの先端に設けられ運搬
容器から前方へ飛び出している被処理体の前端に当接し
てこれを旋回アームの旋回動作により運搬容器内に押し
戻す当接部とを有しているため、簡単な構成で運搬容器
からの被処理体の飛び出しを解消することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を縦型熱処理装置に適用した実施の形態
を示す概略的断面図である。

【図２】同縦型熱処理装置の概略的斜視図である。

【図３】本発明の第１の実施の形態を示す保管棚の平面
図である。

【図４】同保管棚の側面図である。

【図５】本発明の第２の実施の形態を示す移載台の平面
図である。

【図６】同移載台の正面図である。

【符号の説明】

ｗ半導体ウエハ（被処理体）７キャリア（運搬容器）１６，１７保管棚１８移載台２９押し当て部３５スプリング（緩衝部）３６押し戻し機構４１旋回アーム４２当接部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者瀧川喜重神奈川県津久井郡城山町町屋１丁目２番41 号東京エレクトロンイー・イー株式会社内Ｆターム(参考） 3F022 AA08 CC02 EE05 FF01 JJ09 KK18 MM66 QQ12 5F031 CA02 DA01 DA17 FA01 FA03 FA09 FA11 FA12 FA15 FA22 GA35 GA47 GA49 MA28

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数枚の被処理体が水平状態で整列収容
された複数個の運搬容器を保管棚に搬送して保管し、こ
の保管棚から運搬容器を移載台に搬送し、この移載台上
の運搬容器から被処理体を取り出して所定の処理を施す
ようにした処理装置において、前記保管棚の奥部に運搬
容器から飛び出している被処理体の前端を押し当てて運
搬容器内に押し戻すための押し当て部を設けたことを特
徴とする処理装置。
【請求項２】複数枚の被処理体が整列収容された運搬
容器を搬出入口の載置台上で被処理体が垂直状態から水
平状態になるように姿勢変換し、姿勢変換された複数個
の運搬容器を保管棚に搬送して保管し、この保管棚から
運搬容器を移載台に搬送し、この移載台上の運搬容器か
ら被処理体を取り出して所定の処理を施すようにした処
理装置において、前記保管棚の奥部に運搬容器から飛び
出している被処理体の前端を押し当てて運搬容器内に押
し戻すための押し当て部を設けたことを特徴とする処理
装置。
【請求項３】前記押し当て部が、押し当て時の衝撃を
吸収する緩衝部を有していることを特徴とする請求項１
または２記載の処理装置。
【請求項４】複数枚の被処理体が水平状態で整列収容
された複数個の運搬容器を保管棚に搬送して保管し、こ
の保管棚から運搬容器を移載台に搬送し、この移載台上
の運搬容器から被処理体を取り出して所定の処理を施す
ようにした処理装置において、前記移載台に運搬容器か
ら飛び出している被処理体を運搬容器内に押し戻すため
の押し戻し機構を設けたことを特徴とする処理装置。
【請求項５】複数枚の被処理体が整列収容された運搬
容器を搬出入口の載置台上で被処理体が垂直状態から水
平状態になるように姿勢変換し、姿勢変換された複数個
の運搬容器を保管棚に搬送して保管し、この保管棚から
運搬容器を移載台に搬送し、この移載台上の運搬容器か
ら被処理体を取り出して所定の処理を施すようにした処
理装置において、前記移載台に運搬容器から飛び出して
いる被処理体を運搬容器内に押し戻すための押し戻し機
構を設けたことを特徴とする処理装置。
【請求項６】前記押し戻し機構が、移載台の一側から
移載台の前側に旋回可能な旋回アームと、この旋回アー
ムの先端に設けられ運搬容器から前方へ飛び出している
被処理体の前端に当接してこれを旋回アームの旋回動作
により運搬容器内に押し戻す当接部とを有していること
を特徴とする請求項４または５記載の処理装置。