JP2001313452A - Manufacturing method and apparatus of thick-film conductive circuit board - Google Patents

Manufacturing method and apparatus of thick-film conductive circuit board

Info

Publication number
JP2001313452A
JP2001313452A JP2001045345A JP2001045345A JP2001313452A JP 2001313452 A JP2001313452 A JP 2001313452A JP 2001045345 A JP2001045345 A JP 2001045345A JP 2001045345 A JP2001045345 A JP 2001045345A JP 2001313452 A JP2001313452 A JP 2001313452A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
thick
electron beam
resin film
conductor circuit
film substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001045345A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masanori Akita
雅典 秋田
Koji Ito
伊藤▲鉱▼司
Toshihiro Mori
俊裕 森
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toray Engineering Co Ltd
Original Assignee
Toray Engineering Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toray Engineering Co Ltd filed Critical Toray Engineering Co Ltd
Priority to JP2001045345A priority Critical patent/JP2001313452A/en
Publication of JP2001313452A publication Critical patent/JP2001313452A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To realize a mass production manufacturing step of a thick-film con ductive circuit board which is suitable for a non contact ID card and the like. SOLUTION: While a resin film base 2 is carried continuously from an unwinding apparatus 3 to a winding apparatus 8, an electron beam curing conductive paste 5 is printed on the resin film 2 by a rotary screen printer 4, to from a thick-film conducting circuit pattern. The thick-film conductive circuit pattern is irradiated with an electron beam and cured by an electron beam irradiation apparatus 6.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、非接触IDカード
や非接触タグ等に用いられる厚膜導体回路基板の製造方
法及びその装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for manufacturing a thick-film conductor circuit board used for a non-contact ID card, a non-contact tag, and the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、周知のように、非接触IDカード
や非接触タグ等(以下、これらを総称して非接触IDカ
ード類という。)のアンテナとなる厚膜導体回路は、ポ
リカーボネート、ポリエステル、ポリエステルアロイ系
又は塩化ビニル等の樹脂フィルム基板に銀ペーストを、
例えば、10μm〜30μmの厚さに印刷し、次いで、
それを熱風循環炉又は熱風と赤外線とを併用の併用炉な
どを用いて乾燥又は硬化して形成されている。
2. Description of the Related Art As is well known, a thick-film conductor circuit serving as an antenna of a non-contact ID card, a non-contact tag, etc. (hereinafter collectively referred to as non-contact ID cards) is made of polycarbonate or polyester. , Silver paste on a resin film substrate such as polyester alloy or vinyl chloride,
For example, printing to a thickness of 10 μm to 30 μm,
It is formed by drying or hardening it using a hot air circulation furnace or a combined furnace using both hot air and infrared rays.

【0003】なお、かかる銀ペーストの代表例として、
加熱硬化型であって、かつ無溶剤型のエポキシ樹脂系銀
ペーストや溶剤乾燥型のビニル樹脂系銀ペーストが挙げ
られるが、これらのペーストを用いる場合においては、
120℃〜150℃で10分〜30分間加熱する必要が
ある。
As a typical example of such a silver paste,
Heat-curable, and non-solvent type epoxy resin-based silver paste and solvent-dried type vinyl resin-based silver paste, but when using these pastes,
It is necessary to heat at 120 ° C. to 150 ° C. for 10 minutes to 30 minutes.

【0004】その為、例えば、樹脂フィルム基板を1m
/分の速度で搬送し、120℃で30分間熱風加熱して
硬化させようとすると、全長が30m以上の長い熱風循
環炉を設置しなければならない。
[0004] Therefore, for example, a resin film substrate is 1 m
In order to convey at a speed of 120 ° C./min and to cure by heating with hot air at 120 ° C. for 30 minutes, a long hot air circulating furnace having a total length of 30 m or more must be installed.

【0005】また、生産性を上げる為に、耐熱性が15
0℃以上の樹脂フィルム基板を5m/分の速度で搬送
し、150℃で10分間熱風加熱して硬化させようとす
ると、全長が50m以上のより長い熱風循環炉を設置し
なければならなく、従って、その為の長い設置スペース
が必要とされると共にそのような長い高温雰囲気中を一
定の低張力で樹脂フィルム基板を搬送することの困難が
あった。
In order to increase the productivity, the heat resistance must be 15
If a resin film substrate at 0 ° C. or higher is conveyed at a speed of 5 m / min and heated with hot air at 150 ° C. for 10 minutes to be cured, a longer hot air circulation furnace having a total length of 50 m or more must be installed. Therefore, a long installation space is required, and it is difficult to transfer the resin film substrate with a constant low tension in such a long high-temperature atmosphere.

【0006】加えて、印刷性、接着性、ラミネート性、
エンボス加工性及び価格等の観点からして熱変形温度が
一般に120℃以下の低耐熱性の樹脂フィルム基板が多
く用いられているが、そのような樹脂フィルム基板を、
長い加熱雰囲気中を通過させて乾燥又は硬化させようと
すると、乾燥又は硬化後に樹脂フィルム基板が縦横方向
に0.1%〜0.5%寸法変形し、しかも、その寸法変
化は、熱履歴を受けている為に、それに基づく変形量が
面内均一ではないから、極端な場合には樹脂フィルム基
板にうねりや反りや皺が発生し、特にウェブ状の樹脂フ
ィルム基板をロールツロール式に移送する場合にそれが
顕著であり、その為、樹脂フィルム基板の外観的品質劣
化のみならず、導体回路そのものの断線やアンテナとな
る厚膜導体回路のインピーダンスの変化等、その機能の
面においても悪い影響を与えていた。
In addition, printability, adhesiveness, laminability,
From the viewpoints of embossability and price, heat deformation temperature is generally low heat-resistant resin film substrate of 120 ° C. or less, and such a resin film substrate is often used.
If the resin film substrate is dried or cured by passing through a long heating atmosphere, the resin film substrate is dimensionally deformed by 0.1% to 0.5% in the vertical and horizontal directions after the drying or curing. Since the deformation is not uniform in the plane due to the deformation, in an extreme case, the resin film substrate may undulate, warp or wrinkle, and in particular, transfer the web-shaped resin film substrate in a roll-to-roll manner. This is remarkable in the case where it is performed, so that not only the appearance quality of the resin film substrate is degraded, but also the function is poor, such as the disconnection of the conductor circuit itself and the change in impedance of the thick film conductor circuit serving as an antenna. Had an effect.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述の欠点
に鑑みて発明されたものであって、その第1の目的は、
連続送りされる樹脂フィルム基板に電気的及び機械的特
性に優れた厚膜導体回路パターンを高速に形成及び硬化
させることができて量産化を図ることができる厚膜導体
回路基板の製造方法及びその装置を提供することであ
る。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned drawbacks.
A method of manufacturing a thick-film conductor circuit board capable of forming and curing a thick-film conductor circuit pattern having excellent electrical and mechanical properties at high speed on a continuously fed resin film substrate and realizing mass production, and a method thereof. It is to provide a device.

【0008】また、その第2の目的は、連続送りされる
樹脂フィルム基板にうねりや寸法変化等を発生させずに
電気的及び機械的特性に優れた厚膜導体回路パターンを
高速に形成及び硬化させることができて量産化を図るこ
とができる厚膜導体回路基板の製造方法及びその装置を
提供することである。
A second object of the present invention is to form and cure a thick-film conductor circuit pattern having excellent electrical and mechanical characteristics at high speed without causing undulation or dimensional change in a continuously fed resin film substrate. It is an object of the present invention to provide a method and an apparatus for manufacturing a thick-film conductor circuit board that can be mass-produced.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記第1の目的を達成す
る為に、本発明においては、連続送りされる樹脂フィル
ム基板に、ロータリー印刷機を用いて活性エネルギー線
硬化型導電性ペーストを印刷して厚膜導体回路パターン
を形成すると共に前記印刷された厚膜導体回路パターン
に活性エネルギー線を照射して硬化させるようにしてい
る。
In order to achieve the first object, according to the present invention, an active energy ray-curable conductive paste is printed on a continuously fed resin film substrate using a rotary printing machine. Then, a thick-film conductor circuit pattern is formed, and the printed thick-film conductor circuit pattern is irradiated with active energy rays to be cured.

【0010】また、上記第2の目的を達成する為に、前
記活性エネルギー線硬化型導電性ペーストの一つである
電子線硬化型導電性ペーストを用い、このペーストで形
成された厚膜導体回路パターンに電子線を照射して硬化
させるようにしている。
In order to achieve the second object, an electron beam-curable conductive paste, which is one of the active energy ray-curable conductive pastes, is used. The pattern is irradiated with an electron beam to be cured.

【0011】このように、前者においては、ロータリー
印刷機と活性エネルギー線硬化型導電性ペーストとを用
いているので、連続送りされる樹脂フィルム基板に、電
気的及び機械的特性に優れた厚膜導体回路パターンを高
速に形成及び硬化させることができる。
As described above, in the former, since the rotary printing press and the active energy ray-curable conductive paste are used, a thick film having excellent electrical and mechanical properties is formed on the continuously fed resin film substrate. The conductor circuit pattern can be formed and cured at high speed.

【0012】また、後者においては、ロータリー印刷機
と電子線硬化型導電性ペーストとを用いているので、連
続送りされる樹脂フィルム基板に、うねりや寸法変化等
を発生させずに電気的及び機械的特性に優れた厚膜導体
回路パターンを高速に形成及び硬化させることができ
る。
In the latter, since a rotary printing machine and an electron beam-curable conductive paste are used, the resin film substrate which is continuously fed can be electrically and mechanically operated without causing undulation or dimensional change. Thick-film conductor circuit pattern with excellent mechanical characteristics can be formed and cured at high speed.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】本発明においては、厚膜導体回路
パターンを形成する為の樹脂フィルム基板を基板巻出し
側から基板巻取り側へ連続送りし、そして、連続送りさ
れる樹脂フィルム基板に、ロータリー印刷機を用いて活
性エネルギー線硬化型導電性ペーストを印刷して厚膜導
体回路パターンを形成した後、上記印刷された厚膜導体
回路パターンに活性エネルギー線を照射して硬化させる
が、かかる活性エネルギー線硬化型導電性ペーストは、
導電性物質及び活性エネルギー線重合性化合物を含有の
ペーストである。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In the present invention, a resin film substrate for forming a thick-film conductor circuit pattern is continuously fed from a substrate unwinding side to a substrate winding side, and then the resin film substrate which is continuously fed is formed. After printing the active energy ray-curable conductive paste using a rotary printing machine to form a thick-film conductor circuit pattern, the printed thick-film conductor circuit pattern is irradiated with active energy rays and cured. Such an active energy ray-curable conductive paste,
It is a paste containing a conductive substance and an active energy ray polymerizable compound.

【0014】上記導電性物質として、例えば、金、銀、
銅、銀メッキ銅粉、銀−銅複合粉、銀−銅合金、ニッケ
ル、クロム、パラジウム、アルミニウム、タングステ
ン、モリブデン、白金などの金属粉、これらの金属で被
覆した無機物粉末、酸化銀、酸化インジウムなどの金属
酸化物の粉末、これらの金属酸化物で被覆した粉末、ま
たはカーボンブラック、グラファイトなどが挙げられ
る。
As the conductive material, for example, gold, silver,
Copper, silver-plated copper powder, silver-copper composite powder, silver-copper alloy, nickel, chromium, palladium, aluminum, tungsten, molybdenum, platinum and other metal powders, inorganic powder coated with these metals, silver oxide, indium oxide And the like, powders coated with these metal oxides, carbon black, graphite and the like.

【0015】これらの導電性物質は、2種類以上を組み
合わせて用いてもよく、かつ、それらの内、高導電性で
酸化による抵抗値の上昇が少ないことからして銀粉が好
ましい。また、導電性物質の形状は、粒状、球状、フレ
ーク状、鱗片状、板状、樹枝状、立方体状等、いずれの
形状であってもよいが、導電性物質同士の接触及び導電
ペーストの流動性の点から樹枝状、鱗片状又は球状のも
のが好ましい。更に、その平均粒径は、一般には0.1
μm〜100μmであるが、導電性及び導電性ぺースト
の流動性の点からして1μm〜50μmのものが好適で
ある。
These conductive substances may be used in combination of two or more kinds, and among them, silver powder is preferable because of its high conductivity and little increase in resistance due to oxidation. In addition, the shape of the conductive material may be any shape such as a granular shape, a spherical shape, a flake shape, a flake shape, a plate shape, a dendritic shape, a cubic shape, and the like. From the viewpoint of properties, dendritic, scaly or spherical ones are preferred. Further, the average particle size is generally 0.1
The thickness is from 1 μm to 100 μm, but from 1 μm to 50 μm is preferable from the viewpoint of the conductivity and the fluidity of the conductive paste.

【0016】一方、活性エネルギー線重合性化合物は、
活性エネルギー線を照射することにより重合する化合物
であって、(メタ)アクリル酸、(メタ)アクリレート
系化合物、ビニエーテル系化合物、ポリアリル化合物等
のエチレン性不飽和基を有する化合物が一般に用いられ
る。
On the other hand, the active energy ray polymerizable compound is
A compound having an ethylenically unsaturated group such as a (meth) acrylic acid, a (meth) acrylate-based compound, a vinyl ether-based compound, and a polyallyl compound, which is polymerized by irradiation with an active energy ray, is generally used.

【0017】上述の導電性物質と活性エネルギー線重合
性化合物との配合比は、導電性物質と活性エネルギー線
重合性化合物の合計量を基準として、一般に、導電性物
質が95%重量〜55%重量で、活性エネルギー線重合
性化合物が5%重量〜45%重量である。導電性物質の
配合比が95%重量を越えると、導電性ぺーストを用い
て形成される塗膜が脆弱になると共に導電率が低下し、
55%重量未満では十分な導電性が得られない。好まし
くは、導電性物質が90%重量〜60%重量で、活性エ
ネルギー線重合性化合物が10%重量〜40%重量であ
る。
The compounding ratio of the above-mentioned conductive substance and the active energy ray-polymerizable compound is generally from 95% to 55% by weight of the conductive substance based on the total amount of the conductive substance and the active energy ray-polymerizable compound. By weight, the active energy ray polymerizable compound is from 5% to 45% by weight. If the compounding ratio of the conductive substance exceeds 95% by weight, the coating film formed using the conductive paste becomes brittle and the conductivity decreases,
If it is less than 55% by weight, sufficient conductivity cannot be obtained. Preferably, the conductive substance is 90% to 60% by weight, and the active energy ray polymerizable compound is 10% to 40% by weight.

【0018】なお、活性エネルギー線硬化型導電性ぺー
ストには、必要に応じて、粘度を調整する為の適当な溶
剤(例えば、ケント類、芳香族類、アルコール類等)或
るいは造膜性等の調整の為のバインダーポリマー等が添
加されると共に紫外線硬化型の導電性ぺーストにあって
は、光重合開始剤や光重合開始助剤が添加される。
The active energy ray-curable conductive paste may be added to a suitable solvent (for example, Kents, aromatics, alcohols, etc.) for adjusting the viscosity or film forming, if necessary. A binder polymer for adjusting the properties and the like are added, and in the case of an ultraviolet-curable conductive paste, a photopolymerization initiator and a photopolymerization initiation auxiliary agent are added.

【0019】また、活性エネルギー線は、導電性ぺース
トの硬化トリガーとして使用されるエネルギー線であっ
て、例えば、紫外線、電子線、γ線、赤外線、可視光線
が挙げられるが、導体回路内部までの硬化性、導体回路
が形成される基材への影響の少なさの点からして電子線
が好適である。
The active energy ray is an energy ray used as a trigger for curing the conductive paste. Examples of the active energy ray include ultraviolet rays, electron rays, γ rays, infrared rays, and visible rays. An electron beam is preferred in terms of its curability and its influence on the substrate on which the conductive circuit is formed.

【0020】かかる活性エネルギー線の照射は、一般
に、導電性ぺーストから導電性物質を除いた組成物の硬
化物のガラス転移点が0℃〜200℃となるような条件
で照射するのが好ましく、上記硬化物のガラス転移点が
200℃を越えると、初期導電性、基材接着性が悪くな
って実用に適さず、0℃未満の場合には、ペーストの硬
度、機械的強度が不十分になり易い。
In general, it is preferable to irradiate the active energy ray under such conditions that the cured product of the composition obtained by removing the conductive substance from the conductive paste has a glass transition point of 0 ° C. to 200 ° C. If the glass transition point of the cured product exceeds 200 ° C., the initial conductivity and the adhesiveness of the base material are deteriorated, which is not suitable for practical use. If it is less than 0 ° C., the hardness and mechanical strength of the paste are insufficient. Easy to be.

【0021】電子線は、好ましくは100KV〜100
0KV、更に好ましくは、150KV〜250KVの範
囲に加速電圧を持つ電子照射装置により得られる。加速
電圧が100KV未満の電子線では導体回路内部までの
硬化が得られ難く、1000KVを越える電子線では基
材に対するダメージが大きくなる。
The electron beam is preferably 100 KV to 100 KV.
It is obtained by an electron irradiation device having an acceleration voltage in the range of 0 KV, more preferably 150 KV to 250 KV. With an electron beam having an acceleration voltage of less than 100 KV, it is difficult to harden the inside of the conductor circuit, and with an electron beam exceeding 1000 KV, damage to the substrate is increased.

【0022】樹脂フィルム基板についても、適宜、所定
のものが選択することができるが、電子線照射の場合に
おいては、低温の軟化点又はガラス転移点の樹脂フィル
ム、例えば、ポリエステルアロイ系フィルム、ポリエス
テルフィルム、ポリ塩化ビニル系フィルム等が好適であ
る。
As the resin film substrate, a predetermined one can be appropriately selected. In the case of electron beam irradiation, a resin film having a softening point or a glass transition point at a low temperature, for example, a polyester alloy film, polyester Films and polyvinyl chloride films are preferred.

【0023】本発明においては、上述のように、樹脂フ
ィルム基板を連続送りしながらロータリー印刷機で活性
エネルギー線硬化型導電性ペーストを印刷して厚膜導体
回路パターンを形成する。その為、連続送りされる樹脂
フィルム基板に、電気的及び機械的特性に優れた厚膜導
体回路パターンを高速に形成及び硬化させることができ
る。
In the present invention, as described above, the active energy ray-curable conductive paste is printed by a rotary printer while continuously feeding the resin film substrate to form a thick-film conductor circuit pattern. Therefore, a thick-film conductor circuit pattern having excellent electrical and mechanical characteristics can be formed and cured at a high speed on a continuously fed resin film substrate.

【0024】かかる厚膜導体回路パターンの乾燥膜厚
は、回路抵抗値、硬化性の観点から一般に20μm〜2
00μmが好ましく、膜厚が20μm未満では、膜厚方
向の導電性物質同士の接触確率が少なく、体積抵抗値が
ばらつく傾向が見られ、結果として回路抵抗が安定しな
い。また、膜厚が200μmより厚いと、活性エネルギ
ー線が導体回路内部まで到達することができず未硬化に
なり易い。
The dry film thickness of such a thick conductor circuit pattern is generally 20 μm to 2 μm from the viewpoint of circuit resistance and curability.
When the film thickness is less than 20 μm, the probability of contact between the conductive substances in the film thickness direction is low, and the volume resistance tends to vary, resulting in unstable circuit resistance. On the other hand, if the film thickness is larger than 200 μm, the active energy ray cannot reach the inside of the conductor circuit, and is likely to be uncured.

【0025】なお、上述のようにロータリー印刷機を用
いるが、これによって、活性エネルギー線硬化型導電性
ペーストの連続印刷を可能とし、しかも、それを高速か
つ均一な厚さ等に良好に印刷することができる。ロータ
リー印刷機は、平板印刷型、凹版印刷型、スクリーン印
刷型のいずれであってもよい。しかし、それらの内、上
記導電性ペーストの版離れ性に優れていると共に膜厚を
大きくすることができ、更に、低抵抗の導体回路を形成
することができる等により、ロータリースクリーン印刷
機が最も好ましい。
A rotary printing machine is used as described above, which enables continuous printing of the active energy ray-curable conductive paste, and prints it at a high speed and with a uniform thickness. be able to. The rotary printing machine may be any of a lithographic printing type, an intaglio printing type, and a screen printing type. However, among them, the rotary screen printing machine is the most suitable because the conductive paste has excellent plate separation properties, can have a large film thickness, and can form a low-resistance conductor circuit. preferable.

【0026】引き続いて、樹脂フィルム基板は連続送り
され、従って、ロータリー印刷機によって印刷されて形
成された厚膜導体回路パターンが活性エネルギー線照射
ゾーンへ移送されるが、そこには活性エネルギー線照射
装置が設置されている。この活性エネルギー線照射装置
は、厚膜導体回路パターンに対して活性エネルギー線を
照射する。なお、その間においても、樹脂フィルム基板
は連続送りされており、活性エネルギー線の照射によっ
て厚膜導体回路パターンが硬化されて固定される。
Subsequently, the resin film substrate is continuously fed, so that the thick film conductor circuit pattern printed and formed by the rotary printing machine is transferred to the active energy ray irradiation zone, where the active energy ray irradiation is performed. Equipment is installed. This active energy ray irradiation device irradiates an active energy ray to a thick film conductor circuit pattern. During this time, the resin film substrate is continuously fed, and the thick-film conductor circuit pattern is cured and fixed by the irradiation of the active energy rays.

【0027】上述の活性エネルギー線照射装置は、所定
のもの、例えば、紫外線照射型のものや電子線照射型の
ものや赤外線照射型のもの等を選択することができる
が、それらの内、電子線照射型のものが最も好ましく、
かつ電子線照射型のものを用いる場合においては、電子
線硬化型導電性ペーストが選択される。
The above-mentioned active energy ray irradiation apparatus can be selected from predetermined ones, for example, an ultraviolet irradiation type, an electron beam irradiation type, an infrared irradiation type and the like. The line irradiation type is most preferable,
When an electron beam irradiation type is used, an electron beam curing type conductive paste is selected.

【0028】図1において、エリアビーム型の電子線照
射装置6を備えた厚膜導体回路基板製造装置1が示され
ている。この製造装置1は、ウエブ状の樹脂フィルム基
板2を巻出機3から送出し、それを巻取機8で巻き取
る。その際、樹脂フィルム基板2は、巻出機3と巻取機
8間において連続移送され、かつこれに、ロータリース
クリーン印刷機4によって電子線硬化型導電性ペースト
5が印刷されて厚膜導体回路パターンが形成され、次い
で、電子線照射装置6によって厚膜導体回路パターンに
電子線が照射されて硬化固定される。
FIG. 1 shows a thick film conductor circuit board manufacturing apparatus 1 provided with an area beam type electron beam irradiation apparatus 6. The manufacturing apparatus 1 sends out a web-shaped resin film substrate 2 from an unwinder 3 and winds it up by a winder 8. At this time, the resin film substrate 2 is continuously transferred between the unwinding machine 3 and the winding machine 8, and the electron beam-curable conductive paste 5 is printed thereon by the rotary screen printing machine 4, thereby forming a thick film conductor circuit. The pattern is formed, and then the thick film conductor circuit pattern is irradiated with an electron beam by the electron beam irradiation device 6 to be cured and fixed.

【0029】上述の電子線照射装置6は、真空雰囲気中
のフィラメント606を加熱して熱電子を発生させ、電
位差で加速させてTi金属製の照射窓602を透過して
チャンバー604内に電子線を照射する。また、かかる
電子線照射部には、オゾン発生を抑える為に、窒素ガス
シール605が施され、かつX線がチャンバー604外
へもれるのを防ぐ為にX線遮蔽仕切り603が設けられ
ている。
The above-mentioned electron beam irradiation device 6 heats the filament 606 in a vacuum atmosphere to generate thermoelectrons, accelerates it by a potential difference, transmits through the irradiation window 602 made of Ti metal, and enters the electron beam into the chamber 604. Is irradiated. Further, the electron beam irradiator is provided with a nitrogen gas seal 605 for suppressing generation of ozone, and an X-ray shielding partition 603 for preventing X-rays from leaking out of the chamber 604. .

【0030】なお、活性エネルギー線照射としての紫外
線照射は、その光エネルギーが小さく、また、光重合開
始剤や光重合開始助剤の添加が別途必要とされ、しか
も、光であることからして照射され無い影の部分に硬化
むらが生じ易い等の欠点を有している。
It should be noted that ultraviolet irradiation as active energy ray irradiation has a low light energy, requires the addition of a photopolymerization initiator or a photopolymerization initiation aid, and is light. It has drawbacks such as the tendency of uneven curing to easily occur in the shaded portions that are not irradiated.

【0031】それに対し、電子線照射は、短時間で(瞬
時的に)、かつ樹脂フィルム基板に熱を加えることなく
硬化させることができるから、これの方が一段と好まし
いと共に、各種の電子線照射装置の内、エリアビーム型
が広幅で均一照射に優れている為、最も好ましい。
On the other hand, the electron beam irradiation can be cured in a short time (instantly) and without applying heat to the resin film substrate. Therefore, this is more preferable, and various types of electron beam irradiation can be used. Among the apparatuses, the area beam type is most preferable because it is wide and excellent in uniform irradiation.

【0032】このように、本発明においては、長尺の熱
風循環炉を用いて長時間の加熱によって硬化させていた
従来技術とは異なり、活性エネルギー線照射式を採用し
ている。その為、本発明によると、かかる従来技術によ
っては得ることができない効果、すなわち、連続送りさ
れる樹脂フィルム基板に、電気的及び機械的特性に優れ
た厚膜導体回路パターンを高速に形成及び硬化させるこ
とができて量産化を図ることができるといった効果を得
ることができる。また、電子線照射式を採用することに
より、うねり、反り、皺及び寸法変化等を発生させずに
電気的及び機械的特性に優れた厚膜導体回路パターンを
高速に形成及び硬化させることができて量産化を図るこ
とができるといった効果を得ることができる。
As described above, in the present invention, the active energy ray irradiation method is employed, unlike the conventional technique in which curing is performed by heating for a long time using a long hot air circulation furnace. Therefore, according to the present invention, an effect that cannot be obtained by such a conventional technique, that is, a thick film conductor circuit pattern having excellent electrical and mechanical properties is formed and cured at high speed on a continuously fed resin film substrate. Therefore, an effect that mass production can be achieved can be obtained. In addition, the adoption of the electron beam irradiation method enables high-speed formation and curing of a thick-film conductor circuit pattern having excellent electrical and mechanical properties without generating undulation, warpage, wrinkles, and dimensional changes. Thus, the effect that mass production can be achieved can be obtained.

【0033】図1の製造装置において、電子線照射が行
われた樹脂フィルム基板2は、駆動ローラ601によっ
て移送されてフィルム巻取機8で巻き取られる。巻出機
3、ロータリースクリーン印刷機4、エリアビーム型電
子線照射装置6及び巻取機8の各工程間で安定した運転
ができるように、各装置同士の基板移送速度差を吸収し
て基板張力を小さくし、かつ適正値に保つ為のバキュー
ム式のバッファー装置301を設けている。
In the manufacturing apparatus shown in FIG. 1, the resin film substrate 2 irradiated with the electron beam is transferred by a driving roller 601 and taken up by a film take-up machine 8. The unwinding machine 3, the rotary screen printing machine 4, the area beam type electron beam irradiating device 6, and the winding machine 8 absorb the difference in the substrate transfer speed between the devices so that a stable operation can be performed among the respective processes. A vacuum-type buffer device 301 for reducing the tension and maintaining the tension at an appropriate value is provided.

【0034】なお、ロータリースクリーン印刷機4は、
回転自在のスクリーン402及びプレスローラ401を
備え、また、ロータリースクリーン印刷機4とエリアビ
ーム型電子線照射装置6は相互に同期運転される。これ
は制御装置9,11を介して行われ、これによって、樹
脂フィルム基板2の移送速度の立ち上がり及び立ち下が
り時や印刷条件変更時における電子線照射量を一定に保
って樹脂フィルム基板2の長手方向(全長方向)の硬化
レベルを均一にして品質を安定化させる。
The rotary screen printing machine 4 is
The rotary screen printer 4 and the area beam type electron beam irradiation device 6 are provided with a rotatable screen 402 and a press roller 401, and are operated synchronously with each other. This is performed through the control devices 9 and 11, whereby the irradiation amount of the electron beam at the time of rising and falling of the transfer speed of the resin film substrate 2 or at the time of changing the printing condition is kept constant, and the length of the resin film substrate 2 is kept constant. Uniform curing level in the direction (full length direction) to stabilize quality.

【0035】よって、平面図である図2に示されている
ように、ウエブ状の(幅の広い)樹脂フィルム基板2
に、例えば、アンテナとなる厚膜導体回路10(又は2
0)を4×4個、形成することができる。なお、その四
隅には、十字状のアライメントマーク30が設けられて
いる。また、4ターンに係る厚膜導体回路10の拡大姿
が図3に示されていると共に6ターンに係る厚膜導体回
路20の拡大姿が図4に示されている。
Therefore, as shown in FIG. 2 which is a plan view, the web-shaped (wide) resin film substrate 2
In addition, for example, the thick film conductor circuit 10 (or 2
0) can be formed 4 × 4. In addition, cross-shaped alignment marks 30 are provided at the four corners. FIG. 3 shows an enlarged view of the thick-film conductor circuit 10 for four turns, and FIG. 4 shows an enlarged view of the thick-film conductor circuit 20 for six turns.

【0036】上述のように、本発明においては、短時間
の活性エネルギー照射によって導電性ペーストを硬化さ
せ得る方法を採用していることにより、樹脂フィルム基
板を加熱することがないので、従来の加熱硬化型導電性
ペーストでは応用が難しい、耐熱温度が150℃以下の
樹脂フィルム基板を応用できる点においても有利であ
る。
As described above, in the present invention, since the method for curing the conductive paste by irradiation with active energy for a short time is employed, the resin film substrate is not heated. It is also advantageous in that a resin film substrate having a heat resistant temperature of 150 ° C. or less can be applied, which is difficult to apply with a curable conductive paste.

【0037】例えば、樹脂フィルム基板として、「ポリ
エステルアロイ系フィルム(軟化温度80℃〜120
℃)」、「ポリエステルフィルム(ガラス転移点70℃
〜85℃)、「ポリ塩化ビニル系フィルム(軟化点70
℃〜80℃)」、「ポリフェニレンサルファイドフィル
ム(ガラス転移点90℃)」、「ポリカーボネートフィ
ルム(ガラス転移点150℃)」、「ポリスルフォンフ
ィルム(ガラス転移点190℃)」、「ポリエーテルス
ルフォンフィルム(ガラス転移点225℃)」等が挙げ
られるが、これらの内、特に低温の軟化点又はガラス転
移転を示す、ポリエステルアロイ系フィルム、ポリエス
テルフィルム、ポリ塩化ビニル系フィルム、ポリフェニ
レンサルファイドフィルムポリカーボネートフィルムに
対して有効である。
For example, as a resin film substrate, a “polyester alloy film (softening temperature: 80 ° C. to 120 ° C.)
℃) ”,“ Polyester film (glass transition point 70 ° C)
-85 ° C), “Polyvinyl chloride-based film (softening point 70
C.-80.degree. C.), "polyphenylene sulfide film (glass transition point 90.degree. C.)", "polycarbonate film (glass transition point 150.degree. C.)", "polysulfone film (glass transition point 190.degree. C.)", "polyether sulfone film" (Glass transition point of 225 ° C.) ", among others. Among these, polyester alloy-based films, polyester films, polyvinyl chloride-based films, polyphenylene sulfide films, and polycarbonate films exhibiting a low-temperature softening point or glass transition. It is effective for.

【0038】より具体的には、好ましい一実施形態とし
て、上述のような熱変形温度が150℃以下の樹脂フィ
ルム基板を用い、75KV〜300KVの電子線を0.
02秒〜1秒間照射することが挙げられる。この場合、
電子線の照射時間が数秒を越えると、電子線による樹脂
フィルム基板の劣化が進む恐れがある。従って、樹脂フ
ィルム基板の劣化防止を完全にする為に照射時間は、1
秒以下が好ましい。
More specifically, as a preferred embodiment, a resin film substrate having a heat deformation temperature of 150 ° C. or less as described above is used, and an electron beam of 75 KV to 300 KV is used.
Irradiation for 02 seconds to 1 second is mentioned. in this case,
If the irradiation time of the electron beam exceeds several seconds, the electron beam may deteriorate the resin film substrate. Therefore, in order to completely prevent the deterioration of the resin film substrate, the irradiation time should be 1
Seconds or less are preferred.

【0039】また、ロータリースクリーン印刷機4に関
し、図5,6に示されているように装着してもよい。こ
れにおいては、スクリーン402及びプレスローラ40
1をXYステージ上に装着している。このXYステージ
は、下側のXステージ404と上側のYステージ403
とで構成され、そして、Yステージ403上に、スクリ
ーン402及びプレスローラ401が軸支されているブ
ラケット405が固着されている。
The rotary screen printing machine 4 may be mounted as shown in FIGS. In this case, the screen 402 and the press roller 40
1 is mounted on an XY stage. The XY stage includes a lower X stage 404 and an upper Y stage 403.
And a bracket 405 on which the screen 402 and the press roller 401 are supported is fixed on the Y stage 403.

【0040】その為、樹脂フィルム基板2に設けられて
いるアライメントマーク(図示されていない)と、印刷
された厚膜導体回路パターンとの位置ずれをカメラで読
み取り、スクリーン402及びプレスローラ401をX
軸、Y軸方向へ移動させて、上記位置ずれを可能な限り
小さくするように補正する。これによって、樹脂フィル
ム基板2に印刷された先行の厚膜導体回路パターンに対
し、続いて印刷しようとする厚膜導体回路パターンを正
確に位置決めすることができ、従って、次々と正確な相
対位置関係を保って印刷することができる。
For this reason, the positional deviation between the alignment mark (not shown) provided on the resin film substrate 2 and the printed thick-film conductor circuit pattern is read by a camera, and the screen 402 and the press roller 401 are moved to the X direction.
The position is corrected in the direction of the axis and the Y-axis so as to minimize the displacement. As a result, the thick-film conductor circuit pattern to be subsequently printed can be accurately positioned with respect to the preceding thick-film conductor circuit pattern printed on the resin film substrate 2, and therefore, a precise relative positional relationship can be obtained one after another. Can be printed while keeping

【0041】なお、上述とは異なり、連続送りされる樹
脂フィルム基板2の端面位置制御装置を設け、X軸方向
の印刷位置を調整し得るように設けてもよいと共に、Y
軸方向については、実際の樹脂フィルム基板送り量を、
該基板2に設けられている複数のアライメントマーク
(図示されていない)の認識によって得られた移動量と
一致させるようにスクリーン402の回転タイミングを
所定に制御して印刷位置を調整してもよい。
It should be noted that, unlike the above, a device for controlling the end face position of the resin film substrate 2 which is continuously fed may be provided so as to be able to adjust the printing position in the X-axis direction.
For the axial direction, the actual resin film substrate feed amount is
The printing position may be adjusted by controlling the rotation timing of the screen 402 in a predetermined manner so as to match the movement amount obtained by recognizing a plurality of alignment marks (not shown) provided on the substrate 2. .

【0042】いずれの場合においても、X軸、Y軸方向
の位置補正装置と、その前後のバキューム式のバッファ
ー装置301とを組み合わして設けることによって容易
に正確に印刷することができる。なお、上述の位置補正
装置の設置は、ロータリースクリーン印刷機4にのみに
設置することに限定されるものではなく、平版印刷型や
凹版印刷型のロータリー印刷機においても設置すること
ができる。
In any case, printing can be easily and accurately performed by providing a position correcting device in the X-axis and Y-axis directions and a vacuum type buffer device 301 before and after it in combination. The installation of the above-described position correction device is not limited to being installed only in the rotary screen printing machine 4, but can also be installed in a planographic printing type or intaglio printing type rotary printing machine.

【0043】その他、例えば、必要に応じて、ロータリ
ースクリーン印刷機4と電子線照射装置6との間に、熱
風或るいは赤外線式の予備加熱炉を設け、樹脂フィルム
基板2のガラス転移点又は軟化温度以下の温度に加熱す
るようにしてもよく、かかる予備加熱炉を設けることに
より、厚膜導体回路の抵抗値を低減させることができ
る。
In addition, for example, if necessary, a hot air or infrared type preheating furnace is provided between the rotary screen printing machine 4 and the electron beam irradiating device 6, and the glass transition point of the resin film substrate 2 or The heating may be performed at a temperature equal to or lower than the softening temperature. By providing such a preheating furnace, the resistance value of the thick film conductor circuit can be reduced.

【0044】また、樹脂フィルム基板上へのICチップ
の実装は、適当なボンディング装置を用いて行う。図
3,4において破線で示されているように、ICチップ
15は、厚膜導体回路10,20の電極10a,20a
に導通状態に接合されるが、その際、樹脂フィルム基板
に印刷されたアライメントマークによって位置合わせを
して所定位置にICチップをボンディングするようにす
ればよい。
The mounting of the IC chip on the resin film substrate is performed using an appropriate bonding device. As shown by broken lines in FIGS. 3 and 4, the IC chip 15 includes the electrodes 10 a and 20 a of the thick film conductor circuits 10 and 20.
In this case, the IC chip may be bonded to a predetermined position by performing alignment using an alignment mark printed on the resin film substrate.

【0045】例えば、樹脂フィルム基板の幅が300m
m程度であれば、印刷されたアライメントマークの2個
を画像処理して位置合わせを行うことができるが、樹脂
フィルム基板の幅が500mm以上の場合は、四隅のア
ライメントマークの全てについて画像処理して位置合わ
せを行うのが好ましい。また、樹脂フィルム基板の幅が
300mm以下の場合は、ロータリースクリーン印刷機
で厚膜導体回路を印刷するに当り、樹脂フィルム基板の
両側に基準穴を設け、位置きめガイドピンを用いて位置
合わせしてもよい。
For example, if the width of the resin film substrate is 300 m
When the width of the resin film substrate is 500 mm or more, image processing is performed on all four alignment marks when the width of the resin film substrate is 500 mm or more. It is preferable to perform the alignment. When the width of the resin film substrate is 300 mm or less, a reference hole is provided on both sides of the resin film substrate when printing a thick film conductor circuit with a rotary screen printer, and alignment is performed using positioning guide pins. You may.

【0046】なお、全ての厚膜導体回路にICチップを
実装した樹脂フィルム基板は、所定の大きさ、すなわ
ち、厚膜導体回路基板単位に打ち抜きされ、これによっ
て非接触IDカード類のインレットを得ることができ
る。本発明に係る厚膜導体回路基板は、樹脂フィルム基
板に単一の厚膜導体回路を形成したものに限定されず、
複数の厚膜導体回路を形成したものであってもよい。以
下、本発明に係る実施例及び比較例について述べる。
The resin film substrate in which the IC chip is mounted on all the thick-film conductor circuits is punched in a predetermined size, that is, in units of the thick-film conductor circuit board, thereby obtaining an inlet for non-contact ID cards. be able to. The thick film conductor circuit board according to the present invention is not limited to a single thick film conductor circuit formed on a resin film substrate,
A plurality of thick film conductor circuits may be formed. Hereinafter, examples and comparative examples according to the present invention will be described.

【0047】[0047]

【実施例】[実施例1]ウェブ状のポリエステルアロイ
系フィルムで構成された樹脂フィルム基板を巻出機から
送出すると共にそれを巻取機で連続して巻き取った。そ
して、連続移送される樹脂フィルム基板に、アクリレー
ト系重合化合物と平均径が2.5μmの銀粉を主成分と
し、かつアクリル系樹脂を含むバインダーを用いた電子
線硬化型銀ペースト(銀粉が約80%重量配合)を、ロ
ータリースクリーン印刷機を用いて印刷し、図3に示す
4ターンに係る平均厚みが30μmの厚膜導体回路10
を形成すると共に位置合わせの為のアライメントマーク
30をその四隅に印刷し、次いで、かかる厚膜導体回路
に、エリアビーム型電子線照射装置6によって加速電圧
200KV,線量40KGYの電子線を照射した。
EXAMPLES Example 1 A resin film substrate composed of a web-shaped polyester alloy-based film was fed from an unwinder, and was continuously wound by a winder. Then, an electron beam-curable silver paste (silver powder having a particle size of about 80 μm) using a binder containing an acrylate-based polymer compound and a silver powder having an average diameter of 2.5 μm as main components and an acrylic resin is used as a main component. % By weight) is printed using a rotary screen printer, and the thick film conductor circuit 10 having an average thickness of 30 μm for four turns shown in FIG.
Was formed and alignment marks 30 for alignment were printed at the four corners. Then, the thick-film conductor circuit was irradiated with an electron beam having an acceleration voltage of 200 KV and a dose of 40 KGY by the area beam type electron beam irradiation device 6.

【0048】得られた厚膜導体回路10の抵抗は40Ω
であった。なお、電子線照射部における樹脂フィルム基
板の移送速度は20m/分、照射領域長さは40mmで
あった。従って、0.12秒間照射したことになる。後
述の熱風循環炉式の比較例においては、樹脂フィルム基
板の移送速度を1m/分とした場合、30mの熱風循環
炉が必要とされるのに対し、樹脂フィルム基板の移送速
度を20m/分と前者(熱風循環炉式の比較例)の20
倍にしたにもかかわらず電子線照射装置の長さは2mで
あった。従って、前者の1/15となり、装置スペース
を大幅に節約できた。
The resistance of the obtained thick film conductor circuit 10 is 40Ω.
Met. In addition, the transfer speed of the resin film substrate in the electron beam irradiation part was 20 m / min, and the irradiation region length was 40 mm. Therefore, irradiation was performed for 0.12 seconds. In a hot air circulation furnace type comparative example described later, when the transfer speed of the resin film substrate is 1 m / min, a 30 m hot air circulation furnace is required, whereas the transfer speed of the resin film substrate is 20 m / min. And 20 of the former (comparative example of the hot air circulation furnace type)
Despite the doubling, the length of the electron beam irradiation device was 2 m. Therefore, the former is 1/15 of that of the former, and the device space can be saved significantly.

【0049】また、電子線照射時間が0.12秒と非常
に短い為、温度上昇は全く認められなかった。その結
果、電子線照射後に取り出した樹脂フィルム基板に、う
ねりや反りや皺は全く認められなかった。また、ロータ
リースクリーン印刷機で印刷した樹脂フィルム基板上の
アライメントマーク30(図2参照)と、アンテナとな
る厚膜導体回路10の電極位置間の距離の誤差を測定し
たところ、誤差は±0.05mm以下であった。
Since the electron beam irradiation time was as short as 0.12 seconds, no temperature rise was observed. As a result, no swell, warpage or wrinkles were observed on the resin film substrate taken out after the electron beam irradiation. The error between the alignment mark 30 (see FIG. 2) on the resin film substrate printed by the rotary screen printer and the electrode position of the thick film conductor circuit 10 serving as an antenna was measured. 05 mm or less.

【0050】次に、樹脂フィルム基板をボンディング装
置に配置し、印刷された4隅のアライメントマークの内
の2個を画像処理して、各アンテナとなる厚膜導体回路
10の電極位置を求め、ICチップをボンディングし
た。その結果、ICチップをボンディングしたいずれの
樹脂フィルム基板も、非接触IDカード類として使用す
ることが判明した。
Next, the resin film substrate is placed in a bonding apparatus, and two of the printed four alignment marks are image-processed to determine the electrode positions of the thick-film conductor circuit 10 serving as each antenna. The IC chip was bonded. As a result, it was found that any resin film substrate to which the IC chip was bonded was used as a non-contact ID card.

【0051】上記アライメントマークを画像処理して位
置合わせするに要した時間は、2個のアライメントマー
ク認識時間と演算時間のみであり、後述の比較例の28
秒に比べ、合計4秒と大幅に短縮できた。なお、ここで
のICチップのバンプには、金スタッドバンプを、接続
用にはACF(異方性導電フィルム)を用い、5秒加熱
して硬化させた。
The time required for image processing and alignment of the alignment mark is only two alignment mark recognition times and a calculation time.
Compared to seconds, the total was significantly reduced to 4 seconds. Here, gold stud bumps were used for the bumps of the IC chip, and ACF (anisotropic conductive film) was used for the connection, which was cured by heating for 5 seconds.

【0052】[実施例2]幅が300mmのウェブ状の
ポリエステルフィルムで構成された樹脂フィルム基板を
巻出機から送出すると共にそれを巻取機で連続して巻き
取った。そして、連続移送される樹脂フィルム基板に、
アクリレート系重合化合物と平均径が2.5μmの銀粉
を主成分とし、かつアクリル系樹脂を含むバインダーを
用いた電子線硬化型銀ペースト(銀粉が約80%重量配
合)を、ロータリースクリーン印刷機を用いて印刷し、
図4に示す6ターンに係る平均厚みが20μmの厚膜導
体回路20を形成すると共に位置合わせの為のアライメ
ントマーク30をその四隅に印刷し、次いで、かかる厚
膜導体回路20に、エリアビーム型電子線照射装置によ
って加速電圧150KV,線量20KGYの電子線を照
射した。
Example 2 A resin film substrate composed of a web-shaped polyester film having a width of 300 mm was fed from an unwinder and was continuously wound by a winder. And, on the resin film substrate that is continuously transferred,
An electron beam curable silver paste (containing about 80% by weight of silver powder) containing an acrylate polymer compound and a silver powder having an average diameter of 2.5 μm as a main component and containing a binder containing an acrylic resin is supplied to a rotary screen printing machine. Print using
A thick film conductor circuit 20 having an average thickness of 20 μm for six turns shown in FIG. 4 is formed, and alignment marks 30 for alignment are printed at the four corners. An electron beam was irradiated by an electron beam irradiation device at an acceleration voltage of 150 KV and a dose of 20 KGY.

【0053】得られた厚膜導体回路20の抵抗は60Ω
であった。なお、電子線照射部における樹脂フィルム基
板の移送速度は10m/分、照射領域長さは40mmで
あった。従って、0.24秒間照射したことになる。後
述の熱風循環炉式の比較例においては、樹脂フィルム基
板の移送速度を1m/分とした場合、30mの熱風循環
炉が必要とされるのに対し、樹脂フィルム基板の移送速
度を10m/分と前者(熱風循環炉式の比較例)の10
倍にしたにもかかわらず電子線照射装置の長さは2mで
あった。従って、前者の1/15となり、装置スペース
を大幅に節約できた。
The resistance of the obtained thick film conductor circuit 20 is 60Ω.
Met. The transfer speed of the resin film substrate in the electron beam irradiation section was 10 m / min, and the length of the irradiation area was 40 mm. Therefore, the irradiation was performed for 0.24 seconds. In a hot air circulation furnace type comparative example described later, when the transfer speed of the resin film substrate is 1 m / min, a 30 m hot air circulation furnace is required, whereas the transfer speed of the resin film substrate is 10 m / min. And 10 of the former (comparative example of hot air circulation furnace type)
Despite the doubling, the length of the electron beam irradiation device was 2 m. Therefore, the former is 1/15 of that of the former, and the device space can be saved significantly.

【0054】電子線照射装置での樹脂フィルム基板の滞
留時間は、実施例1の0.12秒に比べて2倍の0.2
4秒となったが、それでも、温度上昇は全く認められな
かった。その結果、電子線照射後の樹脂フィルム基板に
は、うねりや反りや皺は全く認められなかった。ロータ
リスクリーン印刷機で印刷した樹脂フィルム基板上のア
ライメントマーク30と、アンテナとなる厚膜導体回路
10の電極位置間の距離の誤差を測定したところ、誤差
は±0.05mm以下であった。
The residence time of the resin film substrate in the electron beam irradiator was 0.2 times as long as 0.12 seconds in Example 1.
The time was 4 seconds, but no temperature increase was observed. As a result, no undulation, warpage, or wrinkles were observed on the resin film substrate after the electron beam irradiation. When an error in the distance between the alignment mark 30 on the resin film substrate printed by the rotary screen printing machine and the electrode position of the thick film conductor circuit 10 serving as an antenna was measured, the error was ± 0.05 mm or less.

【0055】次に、実施例1と同様に、電子線照射後の
樹脂フィルム基板をボンディング装置に配置し、印刷さ
れた4隅のアライメントマーク30の内2個を画像処理
して、各アンテナとなる厚膜導体回路20の電極位置を
求め、ICチップをボンディングした。
Next, as in the first embodiment, the resin film substrate after the electron beam irradiation is placed in a bonding apparatus, and two of the printed four alignment marks 30 are image-processed, and each antenna is The electrode position of the thick film conductor circuit 20 was determined, and the IC chip was bonded.

【0056】その結果、いずれの樹脂フィルム基板も非
接触IDカードとして使用できることが判明した。アラ
イメントマーク30を画像処理して位置合わせするに要
した時間は、2個のアライメントマーク30認識時間と
演算時間のみであり、後述の比較例の28秒に比べ、合
計4秒と大幅に短縮できた。ここでのICチップのバン
プには、金スタッドバンプを、接続用には、平均4μm
の導電粒子が含まれたエポキシ樹脂系の異方性導電ペー
ストを用い10秒加熱して硬化させた。
As a result, it was found that any of the resin film substrates can be used as a non-contact ID card. The time required for image processing and alignment of the alignment mark 30 is only the recognition time for the two alignment marks 30 and the calculation time, and can be greatly reduced to a total of 4 seconds as compared with 28 seconds of a comparative example described later. Was. Here, gold stud bumps are used for the bumps of the IC chip, and an average of 4 μm is used for the connection.
And cured by heating for 10 seconds using an epoxy resin-based anisotropic conductive paste containing the conductive particles.

【0057】上述の実施例1,2と同様に、実施例3と
して印刷厚み50μmの厚膜導体回路をそれぞれ形成し
た。かかる実施例1〜3における電子線照射条件をまと
めると、以下のようになる。
In the same manner as in the first and second embodiments, thick-film conductor circuits having a printed thickness of 50 μm were formed as the third embodiment. The electron beam irradiation conditions in Examples 1 to 3 are summarized as follows.

【0058】 印刷厚さ 加速電圧 線 量 照射時間 実施例1 30μm 200KV 40KGY 0.12秒 実施例2 20μm 150KV 20KGY 0.24秒 実施例3 50μm 300KV 20〜80KGY 0.02〜1秒Printing Thickness Acceleration Voltage Linear Amount Irradiation Time Example 1 30 μm 200 KV 40 KGY 0.12 seconds Example 2 20 μm 150 KV 20 KGY 0.24 seconds Example 3 50 μm 300 KV 20-80 KGY 0.02 to 1 second

【比較例】[比較例1]幅が300mmのウェブ状のポ
リエステルアロイ系フィルムで構成された樹脂フィルム
基板に、スクリーン印刷機を用いて、加熱硬化型エポキ
シ樹脂系銀ペーストを印刷し、ピッチが70mm×95
mmで4×4個の厚膜導体回路を形成すると共にその四
隅にアライメントマーク30を印刷した。
[Comparative Example] [Comparative Example 1] A thermosetting epoxy resin-based silver paste was printed on a resin film substrate composed of a web-shaped polyester alloy film having a width of 300 mm using a screen printer, and the pitch was adjusted. 70mm x 95
4 × 4 thick film conductor circuits were formed in mm, and alignment marks 30 were printed at the four corners.

【0059】そして、厚膜導体回路及びアライメントマ
ーク30が印刷された樹脂フィルム基板を熱風循環炉で
120℃、30分加熱し、冷却後、炉から取り出した。
得られた樹脂フィルム基板は、全面にうねり上がり、端
面には反りが生じていた。アンテナとなる厚膜導体回路
には、4ターンで、線幅は広い箇所で0.8μm、狭い
箇所で0.3μmであった。
Then, the resin film substrate on which the thick film conductor circuit and the alignment mark 30 were printed was heated in a hot air circulating furnace at 120 ° C. for 30 minutes, cooled, and taken out of the furnace.
The obtained resin film substrate undulated over the entire surface, and the end face was warped. The thick-film conductor circuit serving as an antenna had four turns, and the line width was 0.8 μm at a wide portion and 0.3 μm at a narrow portion.

【0060】この回路上に、外形が1.6mm×2.4
mm、バンプ径が100μm、バンプが対角線上にピッ
チ2.8mmで2個配置されたICチップを搭載した。
ボンディングに必要な精度は±0.2mmであった。し
かし、樹脂フィルム基板は、幅が約1mm収縮し、ま
た、各アンテナとなる厚膜導体回路のパターン間のピッ
チPa,Pb(図2参照)は−0.1mmから−0.3
mm収縮すると共にアライメントマーク30間のピッチ
Mpは最大−1.2mm収縮し、更に、図示のLaは約
−0.6mm収縮した。
On this circuit, the outer shape is 1.6 mm × 2.4.
mm, a bump diameter of 100 μm, and an IC chip in which two bumps were arranged diagonally at a pitch of 2.8 mm were mounted.
The precision required for bonding was ± 0.2 mm. However, the width of the resin film substrate shrinks by about 1 mm, and the pitch Pa, Pb (see FIG. 2) between the patterns of the thick-film conductor circuits serving as the antennas is -0.1 mm to -0.3 mm.
mm, the pitch Mp between the alignment marks 30 contracted by a maximum of -1.2 mm, and La shown in the figure contracted by about -0.6 mm.

【0061】この為、加熱硬化型エポキシ樹脂系銀ペー
ストを用いて厚膜導体回路と同時にその四隅に印刷した
アライメントマーク30の4個を用いてボンディングし
たが、正確に所定位置にボンディングすることができな
かった。図示していないが、再度、収縮を避けるために
同じ装置で、同じ樹脂フィルム基板の両面側に基準穴を
設けて、位置決めガイドピンを用いてテストした。しか
し、同様に所定の位置にボンディングすることができな
かった。
For this reason, although the thick film conductor circuit was bonded simultaneously with the four alignment marks 30 printed at the four corners of the thick film conductor circuit using a heat-curable epoxy resin-based silver paste, bonding could be performed accurately at a predetermined position. could not. Although not shown, the same device was used again to avoid shrinkage, and reference holes were provided on both sides of the same resin film substrate, and the test was performed using positioning guide pins. However, bonding could not be performed at a predetermined position.

【0062】そこで、その収縮による位置ずれを補正す
る為に、各アンテナとなる厚膜導体回路の電極の近傍に
1個又は複数の電極位置アライメントマークを設け、各
樹脂フィルム基板毎に画像認識アライメントを行わなけ
ればならなかった。その結果、各樹脂フィルム基板への
ボンディングを行う毎に、余分に1.5秒〜2秒程度の
アライメント時間(電極位置を画像認識する為の時間)
を要した。樹脂フィルム基板へのICチップのボンディ
ングは16個、実施した為に28秒要した。また、16
個の内から厚膜導体回路の断線等、変形によるものと思
われる不良品が5個発生した。
Therefore, in order to correct the displacement caused by the contraction, one or a plurality of electrode position alignment marks are provided in the vicinity of the electrodes of the thick conductor circuit serving as each antenna, and the image recognition alignment is performed for each resin film substrate. Had to do. As a result, each time bonding to each resin film substrate is performed, an extra alignment time of about 1.5 to 2 seconds (time for recognizing the electrode position as an image)
Cost. Bonding of 16 IC chips to the resin film substrate took 28 seconds to perform. Also, 16
Five of the defective products were considered to be due to deformation, such as disconnection of the thick film conductor circuit.

【0063】[0063]

【発明の効果】上述のように本発明によると、連続送り
される樹脂フィルム基板に、電気的及び機械的特性に優
れた厚膜導体回路パターンを高速に形成及び硬化するこ
とができ、しかも、その際、樹脂フィルム基板自体に、
うねりや寸法変化等を発生させずに厚膜導体回路パター
ンを形成することができ、従って、非接触IDカード類
に用いるのに好適な厚膜導体回路基板の量産化を図るこ
とができる。
As described above, according to the present invention, a thick film conductor circuit pattern having excellent electrical and mechanical properties can be formed and cured on a continuously fed resin film substrate at a high speed. At that time, the resin film substrate itself,
A thick-film conductor circuit pattern can be formed without generating undulations, dimensional changes, and the like. Therefore, mass production of a thick-film conductor circuit board suitable for use in non-contact ID cards and the like can be achieved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】厚膜導体回路基板の製造装置の全体的構成を示
す図である。
FIG. 1 is a diagram showing an overall configuration of a manufacturing apparatus for a thick film conductor circuit board.

【図2】厚膜導体回路基板を形成した樹脂フィルム基板
の平面図である。
FIG. 2 is a plan view of a resin film substrate on which a thick-film conductor circuit board is formed.

【図3】4ターンに係る厚膜導体回路の平面図である。FIG. 3 is a plan view of a thick-film conductor circuit according to four turns.

【図4】6ターンに係る厚膜導体回路の平面図である。FIG. 4 is a plan view of a thick-film conductor circuit according to 6 turns.

【図5】ロータリースクリーン印刷機の装着態様を示す
正面図である。
FIG. 5 is a front view showing a mounting mode of the rotary screen printing machine.

【図6】図5の平面図である。FIG. 6 is a plan view of FIG. 5;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1:厚膜導体回路基板の製造装置 2:樹脂フィルム基板 3:巻出機 4:ロータリースクリーン印刷機 5:電子線硬化型導電性ぺースト 6:電子線照射装置 7:電子線 8:巻取機 401:プレスローラ 402:スクリーン 1: Apparatus for manufacturing a thick film conductor circuit board 2: Resin film substrate 3: Unwinder 4: Rotary screen printer 5: Electron beam-curable conductive paste 6: Electron beam irradiator 7: Electron beam 8: Winding Machine 401: Press roller 402: Screen

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01B 13/00 503 H01B 13/00 503C ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) H01B 13/00 503 H01B 13/00 503C

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 連続送りされる樹脂フィルム基板に、ロ
ータリー印刷機を用いて活性エネルギー線硬化型導電性
ペーストを印刷して厚膜導体回路パターンを形成すると
共に前記印刷された厚膜導体回路パターンに活性エネル
ギー線を照射して硬化させることを特徴とする厚膜導体
回路基板の製造方法。
1. A thick film conductor circuit pattern is formed by printing an active energy ray-curable conductive paste on a continuously fed resin film substrate using a rotary printing machine, and the printed thick film conductor circuit pattern is formed. A method for producing a thick-film conductor circuit board, comprising irradiating an active energy ray onto a substrate to cure the circuit.
【請求項2】 前記活性エネルギー線硬化型導電性ペー
ストが電子線硬化型導電性ペーストであると共に前記厚
膜導体回路パターンに電子線を照射して硬化させること
を特徴とする請求項1に記載の厚膜導体回路基板の製造
方法。
2. The method according to claim 1, wherein the active energy ray-curable conductive paste is an electron beam-curable conductive paste, and is cured by irradiating the thick-film conductive circuit pattern with an electron beam. Method for manufacturing a thick film conductor circuit board.
【請求項3】 前記電子線硬化型導電性ペーストが電子
線硬化型銀ペーストであることを特徴とする請求項2に
記載の厚膜導体回路基板の製造方法。
3. The method according to claim 2, wherein the electron beam-curable conductive paste is an electron beam-curable silver paste.
【請求項4】 前記樹脂フィルム基板の熱変形温度が1
50℃以下であると共に75KV〜300KVの電子線
を0.02秒〜1秒間照射することを特徴とする請求項
3に記載の厚膜導体回路基板の製造方法。
4. The heat deformation temperature of the resin film substrate is 1
4. The method according to claim 3, wherein an electron beam at a temperature of 50 [deg.] C. or lower and 75 KV to 300 KV is irradiated for 0.02 to 1 second.
【請求項5】 巻出機から送出される樹脂フィルム基板
を連続して巻き取る巻取機と、前記樹脂フィルム基板に
活性エネルギー線硬化型導電性ペーストを印刷して厚膜
導体回路パターンを形成するロータリー印刷機と、前記
印刷された厚膜導体回路パターンに活性エネルギー線を
照射して硬化させる活性エネルギー線照射装置とを備え
ていることを特徴とする厚膜導体回路基板の製造装置。
5. A winding machine for continuously winding a resin film substrate sent out from an unwinding machine, and forming an active energy ray-curable conductive paste on the resin film substrate to form a thick film conductor circuit pattern. A rotary printing machine for irradiating an active energy ray onto the printed thick-film conductor circuit pattern to cure the circuit.
【請求項6】 前記ロータリー印刷機がロータリースク
リーン印刷機であることを特徴とする請求項5に記載の
厚膜導体回路基板の製造装置。
6. The apparatus according to claim 5, wherein the rotary printing machine is a rotary screen printing machine.
【請求項7】 前記活性エネルギー線硬化型導電性ペー
ストが電子線硬化型導電性ペーストであると共に前記活
性エネルギー線照射装置が電子線照射装置であることを
特徴とする請求項5又は6に記載の厚膜導体回路基板の
製造装置。
7. The active energy beam-curable conductive paste is an electron beam-curable conductive paste, and the active energy beam irradiating device is an electron beam irradiating device. Thick film conductor circuit board manufacturing equipment.
【請求項8】 電子線照射装置がエリアビーム型電子線
照射装置であることを特徴とする請求項7に記載の厚膜
導体回路基板の製造装置。
8. The apparatus according to claim 7, wherein the electron beam irradiation device is an area beam type electron beam irradiation device.
JP2001045345A 2000-02-21 2001-02-21 Manufacturing method and apparatus of thick-film conductive circuit board Pending JP2001313452A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001045345A JP2001313452A (en) 2000-02-21 2001-02-21 Manufacturing method and apparatus of thick-film conductive circuit board

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000-42822 2000-02-21
JP2000042822 2000-02-21
JP2001045345A JP2001313452A (en) 2000-02-21 2001-02-21 Manufacturing method and apparatus of thick-film conductive circuit board

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001313452A true JP2001313452A (en) 2001-11-09

Family

ID=26585743

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001045345A Pending JP2001313452A (en) 2000-02-21 2001-02-21 Manufacturing method and apparatus of thick-film conductive circuit board

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2001313452A (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004180217A (en) * 2002-11-29 2004-06-24 Toppan Printing Co Ltd Method for forming radio tag and antenna for radio tag
JP2009124032A (en) * 2007-11-16 2009-06-04 Shinshu Univ Method of manufacturing printing type electronic circuit board
WO2015083307A1 (en) * 2013-12-03 2015-06-11 国立大学法人山形大学 Method for manufacturing metal thin film and conductive structure

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58151253A (en) * 1982-03-05 1983-09-08 Nippon Bunka Seikou Kk Uv ink printing and applying device using seamless screen plate cylinder
JPH0251297A (en) * 1988-08-12 1990-02-21 Toyo Ink Mfg Co Ltd Manufacture of printed wiring board
JPH02290280A (en) * 1989-04-28 1990-11-30 Japan Atom Energy Res Inst Method for curing conductive coating material
JPH0469991A (en) * 1990-07-10 1992-03-05 Murata Mfg Co Ltd Manufacture of circuit board

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58151253A (en) * 1982-03-05 1983-09-08 Nippon Bunka Seikou Kk Uv ink printing and applying device using seamless screen plate cylinder
JPH0251297A (en) * 1988-08-12 1990-02-21 Toyo Ink Mfg Co Ltd Manufacture of printed wiring board
JPH02290280A (en) * 1989-04-28 1990-11-30 Japan Atom Energy Res Inst Method for curing conductive coating material
JPH0469991A (en) * 1990-07-10 1992-03-05 Murata Mfg Co Ltd Manufacture of circuit board

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004180217A (en) * 2002-11-29 2004-06-24 Toppan Printing Co Ltd Method for forming radio tag and antenna for radio tag
JP2009124032A (en) * 2007-11-16 2009-06-04 Shinshu Univ Method of manufacturing printing type electronic circuit board
WO2015083307A1 (en) * 2013-12-03 2015-06-11 国立大学法人山形大学 Method for manufacturing metal thin film and conductive structure
US9773989B2 (en) 2013-12-03 2017-09-26 National University Corporation Yamagata University Method for producing metal thin film and conductive structure

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2001061710A1 (en) Active energy beam curing type conductive paste, production method and device for conductor circuit substrate and non-contact id and production method thereof
KR101008090B1 (en) Method for manufacturing an electrically conductive pattern
WO2007140463A2 (en) Solderable pads utilizing nickel and silver nanoparticle ink jet inks
US20060068173A1 (en) Methods for forming and patterning of metallic films
US20080070011A1 (en) Method for manufacturing multi-layer printed circuit board
US7655107B2 (en) Method for establishing anisotropic conductive connection and anisotropic conductive adhesive film
JPWO2007058142A1 (en) Method for manufacturing a circuit board on which electronic components are mounted
JP2001313452A (en) Manufacturing method and apparatus of thick-film conductive circuit board
US20040115864A1 (en) Manufacturing method for electronic component-mounted component, manufacturing method for electronic component-mounted completed product with the electronic component-mounted component, and electronic component-mounted completed product
KR20060121081A (en) Method for mounting electronic component
JP2002185132A (en) Dry film for multilayer printed circuit board, method for manufacturing multilayer printed circuit board using the same, and the multilayer printed circuit board
JP2000202986A (en) Vacuum printing device and vacuum printing method
JP3189297B2 (en) Apparatus for manufacturing printed wiring board and method for manufacturing printed wiring board using the same
JP4341595B2 (en) Electronic component mounting structure
JP2844074B2 (en) How to cure paint
JP2001217286A (en) Method for producing film carrier tape for mounting electronic device
JP2007250619A (en) Conductive material, electronic component packaging structure and wiring board using the same, and manufacturing method thereof
CN111972052B (en) Printed board forming method and printed board forming apparatus
JP2000332063A (en) Manufacture of film carrier tape for electronic component mounting and warpage reduction device of the tape
JP2001257450A (en) Printed board and its manufacturing method
JP3220693B2 (en) Method of manufacturing film carrier tape for mounting electronic components with reduced warpage
JP2005259605A (en) Conductive sheet and its forming method
JP2003017855A (en) Manufacturing method of multilayer printed-wiring board
JP3954753B2 (en) TAB tape manufacturing method and TAB tape solder resist coating apparatus therefor
JP6997524B2 (en) How to manufacture wiring pattern sheet

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080128

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080128

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100521

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100527

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20101118