JP2001305505A

JP2001305505A - 液晶表示パネルの表示パターン検査方法

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Publication number: JP2001305505A
Application number: JP2000126136A
Authority: JP
Inventors: Ikuhisa Maeda; 育久前田; Yoshihiko Miyoshi; 芳彦三好
Original assignee: Kyocera Display Corp
Current assignee: Kyocera Display Corp
Priority date: 2000-04-26
Filing date: 2000-04-26
Publication date: 2001-10-31
Anticipated expiration: 2020-04-26
Also published as: JP4585084B2

Abstract

(57)【要約】【課題】誤判定率を低減し、検査精度を向上すること
のできる液晶表示パネルの表示パターン検査方法を提供
すること。【解決手段】２値画像からなる基準画像ＢＰと２値画
像からなる検査画像ＩＰとの排他的論理和ＸＯＲにより
不一致部を抽出した後に、表示パターンの輪郭のずれを
吸収する吸収マスクの２値画像からなるマスク画像ＭＰ
と不一致部との論理積ＡＮＤにより欠陥部位を抽出する
ことを特徴としている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示パネルの
表示パターンの欠陥の有無を精度よく検出するのに好適
な液晶表示パネルの表示パターン検査方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、文字や図形などの各種の画像
を表示する表示装置の一種として、２枚の透明基板の間
に液晶が密封された液晶表示パネルを用いた液晶表示装
置が知られている。

【０００３】このような液晶表示装置に用いられる液晶
表示パネルは、製造工程において各種の性能検査が行わ
れており、この性能検査の一つとして、液晶表示パネル
の表示画素である表示パターンの欠陥としてのパターン
欠けやパターン突出などの有無を検出する検査が行われ
ている。

【０００４】従来の表示パターンの欠陥の検査は、パタ
ーンマッチング法により行われているのが一般的であ
る。このパターンマッチング法は、予め形成してメモリ
に記憶された白と黒との２値画像からなる基準画像の画
像データ（黒または白）と、ＣＣＤカメラあるいはビデ
オカメラなどの画像入力装置により読み取られる検査対
象の液晶表示パネルの表示パターンの白と黒との２値画
像からなる検査画像の画像データ（黒または白）との各
画素毎における排他的論理和ＸＯＲを得ることによって
欠陥であるパターン不良を判断している。

【０００５】例えば、図７に示すように、基準画像ＢＰ
の画像データ（黒：論理値「０」、白：論理値「１」）
と、検査画像ＩＰの画像データ（黒：論理値「０」、
白：論理値「１」）との排他的論理和ＸＯＲによる合成
画像ＣＰは、各画素Ｐ毎に両者が一致している場合には
黒（論理値「０」）とされ、両者が不一致の場合には白
（論理値「１」）とされるので、欠陥部位の画素ＤＰが
白（論理値「１」）となり、表示パターンの欠陥である
パターン不良を容易に抽出することができる（図７にお
ける合成画像ＣＰは、便宜上白と黒とを反転させて表示
あるので図７において黒で示す）。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
パターンマッチング法による液晶表示パネルの表示パタ
ーン検査方法においては、表示パターンの欠陥であるパ
ターン欠けやパターン突出などからなる欠陥部位の画素
ＤＰの有無を容易に判別することはできるものの、図８
に示すように、基準画像ＢＰの画像データと、検査画像
ＩＰの画像データとを各画素Ｐ毎に排他的論理和ＸＯＲ
を得ることにより形成した合成画像ＣＰには、欠陥部位
の画素ＤＰに加えて、本来良品として許容可能な欠陥で
はない表示パターンの輪郭のずれ（辺ずれ）もその画素
Ｐが白（図８における合成画像ＣＰは、便宜上白と黒と
を反転させて表示してあるので図８において黒で示す）
となり、欠陥部位の画素ＤＰとして抽出してしまうとい
う問題点があった。

【０００７】この輪郭のずれは、基準画像ＢＰおよび検
査画像ＩＰを取り込む際の取り込み誤差、液晶表示パネ
ルを製造する際の２枚の透明基板を貼り合わせた時の重
ね合わせずれなどによる表示パターンの太りあるいは細
り、および、検査対象の液晶表示パネルを検査装置にセ
ットする際の位置ずれなどに起因して生じている。

【０００８】したがって、従来の液晶表示パネルの表示
パターン検査方法においては、本来のパターンの欠けあ
るいは突出などの欠陥と、良品として許容可能な輪郭の
ずれとを判別することができない。その結果、良品とし
て許容可能な輪郭のずれを有する製品を不良品として判
別してしまうという確率（以下、誤判定率と記す）が３
０％程度発生していた。この誤判定は、例え欠陥がない
場合であっても、輪郭のずれを有していれば生じる。

【０００９】そこで、誤判定率を低減し、検査精度を向
上することのできる液晶表示パネルの表示パターン検査
方法が求められている。

【００１０】本発明はこれらの点に鑑みてなされたもの
であり、誤判定率を低減し、検査精度を向上することの
できる液晶表示パネルの表示パターン検査方法を提供す
ることを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ため特許請求の範囲の請求項１に係る本発明の液晶表示
パネルの表示パターン検査方法の特徴は、２値画像から
なる基準画像と２値画像からなる検査画像との排他的論
理和により不一致部を抽出した後に、表示パターンの輪
郭のずれを吸収する吸収マスクの２値画像からなるマス
ク画像と不一致部との論理積により欠陥部位を抽出する
点にある。そして、このような構成を採用したことによ
り、基準画像と検査画像との排他的論理和により抽出し
た不一致部と吸収マスクのマスク画像との論理積を得る
と、不一致部のうちの良品として許容可能な輪郭のずれ
を不一致部から除去することができるため、良品として
許容可能な輪郭のずれを欠陥部位として判別する誤判定
率を確実に低減し、検査精度を向上することができる。

【００１２】また、請求項２に係る本発明の液晶表示パ
ネルの表示パターン検査方法の特徴は、請求項１におい
て、基準画像が、複数の液晶表示パネルの表示パターン
を濃淡画像で読み込んだ後に、各濃淡画像の画像データ
を平均化して平均画像とし、この平均画像を２値化する
ことにより形成されている点にある。そして、このよう
な構成を採用したことにより、２値画像からなる基準画
像の画像データである２値の画像データを直接形成する
際に生じる照明の明暗などによる表示パターンの幅の太
りあるいは細りの影響を低減できるので、表示パターン
の検査に最適な基準画像を形成することができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明を図面に示す実施形
態により説明する。

【００１４】まず、本発明に係る液晶表示パネルの表示
パターン検査方法に用いる基準画像の実施形態について
図１により説明する。

【００１５】図１は本発明に係る液晶表示パネルの表示
パターン検査方法に用いる基準画像の形成過程を示す説
明図である。

【００１６】図１に示すように、本実施形態における基
準画像ＢＰは、従来と異なり、液晶表示パネルの検査に
先立って、ＣＣＤカメラ、ビデオカメラなどの適宜な画
像入力装置を用いて、複数、例えば３０枚以上の液晶表
示パネルの表示パターンを濃淡画像ＳＰ、例えば、２５
６階調の階調画像として読み込んだ後に、各濃淡画像Ｓ
Ｐの画像データを平均化、詳しくは各濃淡画像ＳＰの画
像データを各画素毎に平均化して平均画像ＡＰとし、こ
の平均画像ＡＰを従来公知の方法によって２値化処理を
施して２値化することにより形成される。

【００１７】このように、複数の濃淡画像ＳＰの画像デ
ータの和を画像の数ｎで除算することにより、図１にお
いて誇張して示す表示パターンの横細画像、縦長画像、
横長画像、縦短画像などの多種多様の画像を平均化して
最も誤差の少ない検査に最適な基準画像ＢＰを形成する
ことができる。

【００１８】すなわち、液晶表示パネルの表示パターン
を用いて２値画像からなる基準画像ＢＰの画像データで
ある２値の画像データを直接形成する際に生じる照明の
明暗などによる表示パターンの幅の太りあるいは細りな
どを低減できるので、基準画像ＢＰそのものの精度を容
易かつ確実に向上することができる。したがって、検査
精度を確実に向上させることができる。

【００１９】なお、検査装置としては、基準画像形成用
の画像処理手段を検査装置に配設し、この検査装置を用
いて基準画像ＢＰを形成し、形成した基準画像ＢＰの画
像データをメモリなどの記憶装置に記憶することが検査
効率を向上させるうえで好ましい。

【００２０】つぎに、本発明に係る液晶表示パネルの表
示パターン検査方法の実施形態について図２および図３
により説明する。

【００２１】図２は本発明に係る液晶表示パネルの表示
パターン検査方法の実施形態を示すフローチャート、図
３は本発明に係る液晶表示パネルの表示パターン検査方
法の実施形態における欠陥部位の抽出を示す説明図であ
る。

【００２２】図２に示すように、本実施形態の液晶表示
パネルの表示パターン検査方法が開始されると、ステッ
プＳＴ01において、検査に供する液晶表示パネルの表示
パターンの読み込みを実行し、表示パターンの画像デー
タを得る。このステップＳＴ01における表示パターンの
読み込みは、例えば、検査に供する液晶表示パネルをロ
ボットなどにより自動的に位置決めして検査ステージに
載置した後、液晶表示パネルの表示パターンをＣＣＤカ
メラ、ビデオカメラなどの画像入力装置により読み取る
ことにより行われる。そして、読み込んだ表示パターン
の画像データは、例えば、画像処理装置のメモリに記憶
する。

【００２３】つぎに、ステップＳＴ02において、画像デ
ータの各画素に対して白と黒との２値の２値化処理を施
して検査に用いる２値画像からなる検査画像ＩＰを形成
する。この２値画像は、白か黒かの状態を表すことので
きるデータであり、いずれか一方を論理値「０」、他方
を論理値「１」に対応させており、本実施形態において
は、図３右上に示すように、例えば、黒を論理値
「０」、白を論理値「１」としている。そして、２値画
像からなる検査画像ＩＰの画像データは、例えば、画像
処理装置のメモリに記憶する。なお、画像データの２値
化処理は、従来公知であり、その詳しい説明は省略す
る。

【００２４】つぎに、ステップＳＴ03において、図３左
上に示す前述した２値画像からなる基準画像ＢＰと、図
３右上に示す２値画像からなる検査画像ＩＰとの排他的
論理和ＸＯＲを得ることにより、図３右中に示すよう
に、不一致部を抽出する。すなわち、白と黒との２値の
２値画像からなる基準画像ＢＰの画像データと、白と黒
との２値の２値画像からなる検査画像ＩＰの画像データ
との排他的論理和ＸＯＲによる合成画像（２値画像）Ｃ
Ｐを得て不一致部を抽出する。この合成画像ＣＰは、本
実施形態においては、各画素毎に基準画像ＢＰと検査画
像ＩＰとの両者が一致している場合には黒（論理値
「０」）とされ、基準画像ＢＰと検査画像ＩＰとの両者
が不一致の場合には白（論理値「１」）とされるので、
不一致部の画素が白（論理値「１」）となり、不一致部
を容易に抽出することができる。なお、不一致部を抽出
しない場合も論理的には考えられるが、現状において
は、何らかの理由により不一致部が必ず検出されてい
る。また、図３右中に示す合成画像ＣＰの黒色により周
囲が覆われた白色部が抽出された不一致部の画素であ
る。

【００２５】つぎに、ステップＳＴ04において、図３右
中に示す合成画像ＣＰと、図３左中に示す、基本画像Ｂ
Ｐから形成した輪郭のずれを吸収する２値画像からなる
吸収マスクのマスク画像ＭＰとの論理積ＡＮＤを得るこ
とにより、図３下に示すように、欠陥部位を抽出する。
すなわち、白と黒との２値の２値画像からなる合成画像
ＣＰの画像データと、白と黒との２値の２値画像からな
る吸収マスクのマスク画像ＭＰの画像データとの論理積
ＡＮＤによる判定画像（２値画像）ＪＰを得て欠陥部位
を抽出する。この判定画像ＪＰは、本実施形態において
は、各画素毎に合成画像ＣＰとマスク画像ＭＰとの両者
が一致している場合には黒（論理値「０」）とされ、合
成画像ＣＰとマスク画像ＭＰとの両者が不一致の場合に
は白（論理値「１」）とされるので、欠陥部位の画素が
白（論理値「１」）となり、欠陥部位を容易に抽出する
ことができる。なお、図３下に示す判定画像ＪＰの黒色
により周囲が覆われた白色部が抽出された欠陥部位の画
素である。

【００２６】つぎに、ステップＳＴ05において、欠陥部
位があるかを判断する。

【００２７】前記ステップＳＴ05の判断がＮＯ（欠陥部
位がない）の場合には、つぎのステップＳＴ06に進行
し、良品と判断して検査を終了する。

【００２８】前記ステップＳＴ05の判断がＹＥＳ（欠陥
部位がある）の場合には、つぎのステップＳＴ0７に進
行し、判定画像ＪＰの画像データを従来と同様に膨張・
収縮処理することにより、ノイズ（雑音：外乱要因）を
除去し、つぎのステップＳＴ08において、欠陥部位があ
るを再度判断する。

【００２９】前記ステップＳＴ08の判断がＮＯ（欠陥部
位がない）の場合には、前記ステップＳＴ06に進行し、
良品と判断して検査を終了する。

【００３０】前記ステップＳＴ08の判断がＹＥＳ（欠陥
部位がある）の場合には、つぎのステップＳＴ09に進行
し、不良と判断して検査を終了する。

【００３１】なお、ステップＳＴ07およびステップＳＴ
08は、本当に不良かを見極めるために従来と同様に行わ
れる処理であり、従来の液晶表示パネルの表示パターン
検査方法の場合は、基準画像ＢＰと検査画像ＩＰとの排
他的論理和ＸＯＲによる合成画像ＣＰの画像データを膨
張・収縮処理することにより行われている。

【００３２】また、液晶表示パネルの表示パターンを検
査する検査装置としては、液晶表示パネルを載置するた
めの検査ステージ、液晶表示パネルの表示パターンを読
み込むためのＣＣＤカメラ、ビデオカメラなどの画像入
力装置、画像処理手段、各部の動作の制御を司る制御手
段、基準画像、検査画像、各種の制御プログラムおよび
必要なデータなどを記憶するための適宜な容量の記憶装
置などから構成するとよい。

【００３３】つぎに、欠陥部位の抽出に用いる吸収マス
クのマスク画像ＭＰの形成について図４により具体的に
説明する。

【００３４】図４は本発明に係る液晶表示パネルの表示
パターン検査方法に用いる吸収マスクの形成過程を示す
説明図である。

【００３５】本実施形態の欠陥部位の抽出に用いる吸収
マスクのマスク画像ＭＰの形成は、前述した基準画像Ｂ
Ｐに基づいて形成されるようになっている。

【００３６】本実施形態における吸収マスクのマスク画
像ＭＰの形成は、図４左上に示す基準画像ＢＰの画像デ
ータのうちの論理値「１」にて示される白の画素を３回
膨張させた後、白と黒とを反転させる第１処理を実行
し、図４右上に示す第１処理画像ＴＰ１を形成すること
により開始される。ここでいう膨張処理とは、８近傍処
理といわれるものであり、縦横斜めの８方向に拡大する
ことであり、１回膨張が１画素をその周囲に１画素ずつ
拡大して９画素（３×３画素）分の大きさにすることで
あり、３回膨張とは、１画素をその周囲に３画素ずつ拡
大して４９画素（７×７画素）の大きさにすることであ
る。なお、膨張処理は、画素を上下左右の４方向に拡大
する４近傍処理であってもよい。

【００３７】したがって、図４左上に示す基準画像ＢＰ
の画像データのうちの論理値「１」にて示される白の画
素を３回膨張させてから、白と黒とを反転させると、図
４右上に示すように、白と黒との境界部が、基準画像Ｂ
Ｐの表示パターンの輪郭部に位置する白と黒との基準境
界部より３画素分左側に形成される。この基準境界部よ
り３画素分左側に形成された白と黒との境界部を内側最
大境界部と呼ぶ。

【００３８】なお、図４左上に示す基準画像ＢＰの黒で
示す部位は、液晶表示パネルの表示パターンの形成部位
を示している。

【００３９】つぎに、図４左上に示す基準画像ＢＰの画
像データのうちの論理値「１」にて示される白の画素を
３回収縮させる第２処理を実行し、図４左中に示す第２
処理画像ＴＰ２を形成する。ここでいう収縮処理とは、
前記膨張処理とは逆に８方向に収縮することであり、１
回収縮は、縦横それぞれが３画素の９画素の大きさを、
中心に位置する１画素の大きさにすることである。な
お、収縮処理は、画素を上下左右の４方向に縮小する４
近傍処理であってもよい。

【００４０】したがって、図４左上に示す基準画像ＢＰ
の画像データのうちの論理値「１」にて示される白の画
素を３回収縮させると、図４左中に示すように、白と黒
との境界部が、基準画像ＢＰの表示パターンの輪郭部に
位置する白と黒との基準境界部より３画素分右側に形成
される。この基準境界部より３画素分右側に形成された
白と黒との境界部を外側最大境界部と呼ぶ。

【００４１】なお、第１処理画像ＴＰ１と第２処理画像
ＴＰ２とを得る順序はどちらを先にしてもよい。

【００４２】つぎに、図４右上に示す第１処理画像ＴＰ
１と図４左中に示す第２処理画像ＴＰ２との論理和ＯＲ
を得ることにより吸収マスクを形成する。この吸収マス
クのマスク画像ＭＰを図４右中に示す。この吸収マスク
のマスク画像ＭＰは、図４右中に示すように、基準画像
ＢＰの基準境界部を基準としてその両側にそれぞれ３画
素分、総計６画素分の黒の領域をもつ画像となってお
り、合成画像ＣＰ（図３参照）とマスク画像ＭＰとの論
理積ＡＮＤによる欠陥部位の抽出を行った際には、基準
画像ＢＰの基準境界部を基準として内外方向にそれぞれ
３画素の領域内に位置するパターンの欠けおよび輪郭の
ずれをマスキングして隠して吸収することで抽出しない
ようにすることができる。すなわち、不一致部のうちの
良品として許容可能な輪郭のずれを不一致部から容易か
つ確実に除去することができる。

【００４３】なお、本実施形態においては、パターンの
欠けおよび輪郭のずれを抽出させないための画素の数
を、基準境界部を基準としてその両側にそれぞれ３画素
分、つまり、表示パターンの輪郭の内外方向に３画素分
としたが、この画素の数は、液晶表示パネルの解像度
（分解能）、基準画像ＢＰおよび検査画像を読み込むＣ
ＣＤカメラ、ビデオカメラなどの画像入力装置の解像度
（分解能）および設計コンセプトなどの必要に応じて設
定すればよく、特に、本実施形態の画素の数に限定され
るものではない。

【００４４】なお、基本的には、図４右中に示す吸収マ
スクのマスク画像ＭＰを検査に用ればよいが、本実施形
態においては、表示パターンの輪郭部から離れた表示パ
ターンの形成されていない部位に生じる欠陥を吸収（除
去）するため、図４左中に示す第２処理画像ＴＰ２の画
像データのうちの白の画素を３回収縮させた後、白と黒
とを反転させる第３処理を実行し、図４左下に示す第３
処理画像ＴＰ３を得る。そして、図４右中に示すマスク
画像ＭＰと、図４左下に示す第３処理画像ＴＰ３との論
理積ＡＮＤを得ることにより、図４右下に示す検査用パ
ターンマスクを形成し、この検査用パターンマスクのパ
ターンマスク画像ＪＭＰの画像データを欠陥部位の抽出
に供する。この検査用パターンマスクのパターンマスク
画像ＪＭＰは、図４右下に示すように、基準画像ＢＰの
基準境界部を基準としてその両側にそれぞれ３画素分の
領域と、基準画像ＢＰの基準境界部を基準としてその外
側の６画素以上離れた領域とをともに黒とする画像にな
っている。

【００４５】したがって、この検査用パターンマスクの
パターンマスク画像ＪＭＰの画像データと合成画像ＣＰ
の画像データとの論理積ＡＮＤによる欠陥部位の抽出を
行った際には、基準画像ＢＰの基準境界部を基準として
内外方向にそれぞれ３画素の領域内に加えて基準画像Ｂ
Ｐの基準境界部を基準としてその外側の６画素以上離れ
た領域に位置するパターンの欠けおよび輪郭のずれを抽
出しないようにすることができるようになっており、本
来不良ではない表示パターンの輪郭部から離れた表示パ
ターンの形成されていない部位に生じる欠陥の抽出によ
る液晶表示パネルを不良と判別する誤判定率をより低減
することができるようになっている。

【００４６】つぎに、前記検査用パターンマスクを用い
た液晶表示パネルの表示パターンの検査について具体的
に説明する。

【００４７】まず、輪郭のずれのない場合の検査過程に
ついて図５により具体的に説明する。

【００４８】図５は本発明に係る液晶表示パネルの表示
パターン検査方法における輪郭のずれのない場合の検査
過程を示す説明図である。

【００４９】図５左上に示すように、検査に供する液晶
表示パネルの表示パターンの２値画像からなる検査画像
ＩＰの表示パターンの輪郭部に縦横それぞれ７画素分の
突出するパターン突出のパターン不良たる欠陥部位があ
るとする。この欠陥部位は、検査画像ＩＰにおいて表示
パターンの形成部位と同様の黒にて示されることにな
る。

【００５０】そして、図５右上に示す２値画像からなる
基準画像ＢＰと、図５左上に示す２値画像からなる検査
画像ＩＰとの排他的論理和ＸＯＲにより不一致部を抽出
すると、図５左中に示すように、縦横それぞれ７画素の
領域が不一致部として白にて抽出された合成画像ＣＰを
得ることができる。

【００５１】つぎに、本来は必要はないが、本実施形態
においては、輪郭のギザギザ、波打ちなどのノイズを除
去するため、合成画像ＣＰの白の画素を１回収縮する。
すると、図５右中に示すように、合成画像ＣＰにおける
縦横それぞれ７画素の総計４９画素からなる白の画素の
領域の不一致部は、中心を一致させた状態で縦横それぞ
れ５画素の総計２５画素からなる白の画素の領域の不一
致部を有する補正合成画像ＣＳＰを得ることができる。

【００５２】つぎに、図５右中に示す補正合成画像ＣＳ
Ｐと図５左下に示す前記検査用パターンマスクのパター
ンマスク画像ＪＭＰとの論理積ＡＮＤにより欠陥部位を
抽出すると、図５右下に示すように、縦が５画素、横が
３画素の領域が白にて欠陥部位の画素として抽出された
判定画像ＪＰを得ることができる。

【００５３】そして、図５右下に示す判定画像ＪＰの画
像データにおいて、欠陥部位の画素としての白の画素が
抽出された場合のみ検査に供した液晶表示パネルを不良
と判断することができる。

【００５４】つぎに、輪郭のずれのある場合の検査過程
について図６により具体的に説明する。

【００５５】図６は本発明に係る液晶表示パネルの表示
パターン検査方法における輪郭のずれのある場合の検査
過程を示す説明図である。

【００５６】図６左上に示すように、検査に供する液晶
表示パネルの表示パターンの２値画像からなる検査画像
ＩＰの表示パターンの輪郭部に横方向に３画素分の領域
の輪郭のずれと、その右側（表示パターンの輪郭の外
側）に縦７画素、横４画素（輪郭のずれと合わせると横
７画素）の突出するパターン不良たる欠陥部位があると
する。この欠陥部位は、検査画像ＩＰにおいて表示パタ
ーンの形成部位と同様の黒にて示されることになる。

【００５７】そして、図６右上に示す２値画像からなる
基準画像ＢＰと、図６左上に示す２値画像からなる検査
画像ＩＰとの排他的論理和ＸＯＲにより不一致部を抽出
すると、図６左中に示すように、輪郭のずれにより生じ
る基準境界部の右側（表示パターンの輪郭の外側）に位
置する３画素分の縦に連なる領域と、その右側（表示パ
ターンの輪郭の外側）に縦７画素、横４画素（輪郭のず
れと合わせると横７画素）の領域との両者が不一致部と
して白にて抽出された合成画像ＣＰを得ることができ
る。

【００５８】つぎに、本来は必要はないが、本実施形態
においては、輪郭のギザギザ、波打ちなどのノイズを除
去するため、合成画像ＣＰの白の画素を１回収縮する。
すると、図６右中に示すように、合成画像ＣＰにおける
白の画素の領域の不一致部は、基準境界部の右側の１画
素離れた位置に横１画素の縦に連なる領域と、その右側
（表示パターンの輪郭の外側）に縦５画素、横４画素
（輪郭のずれと合わせると横５画素）の領域との両者が
不一致部として白にて抽出された補正合成画像ＣＳＰを
得ることができる。

【００５９】つぎに、図６右中に示す補正合成画像ＣＳ
Ｐと図６左下に示す前記検査用パターンマスクのパター
ンマスク画像ＪＭＰとの論理積ＡＮＤにより欠陥部位を
抽出すると、図６右下に示すように、縦に連なる横１画
素分の輪郭のずれによる不一致部をマスキングして隠し
て吸収することで抽出しないようにすることができるの
で、その結果、縦が５画素、横が３画素の領域のみが白
にて欠陥部位の画素として抽出された判定画像ＪＰを得
ることができる。すなわち、不一致部のうちの良品とし
て許容可能な輪郭のずれを不一致部から容易かつ確実に
除去することができる。

【００６０】そして、図６右下に示す判定画像ＪＰの画
像データにおいて、欠陥部位の画素としての白の画素が
抽出された場合のみ検査に供した液晶表示パネルを不良
と判断することができる。

【００６１】なお、図４、図５、図６における画像の枠
の１升は、縦横それぞれ２画素の総計４画素を示してい
る。

【００６２】このように、本実施形態の液晶表示パネル
の表示パターン検査方法によれば、２値画像からなる基
準画像ＢＰと２値画像からなる検査画像ＩＰとの排他的
論理和により不一致部を抽出した後に、表示パターンの
輪郭のずれを吸収する吸収マスクの２値画像からなるマ
スク画像ＭＰと不一致部との論理積により欠陥部位を抽
出するようにしているので、基準画像ＢＰと検査画像Ｉ
Ｐとの排他的論理和により抽出した不一致部と吸収マス
クのマスク画像ＭＰとの論理積を得ると、不一致部のう
ちの良品として許容可能な輪郭のずれを不一致部から除
去することができるため、良品として許容可能な輪郭の
ずれを欠陥部位として判別する誤判定率を確実に低減
し、検査精度を向上することができる。

【００６３】さらに、本実施形態の液晶表示パネルの表
示パターン検査方法によれば、基準画像ＢＰが、複数の
液晶表示パネルの表示パターンを濃淡画像で読み込んだ
後に、各濃淡画像の画像データを平均化して平均画像と
し、この平均画像を２値化することにより形成されてい
るので、２値画像からなる基準画像ＢＰの画像データで
ある２値の画像データを直接形成する際に生じる照明の
明暗などによる表示パターンの幅の太りあるいは細りの
影響を低減でき、表示パターンの検査に最適な基準画像
ＢＰを形成することができる。

【００６４】また、本実施形態の液晶表示パネルの表示
パターン検査方法によれば、従来３０％程度あった誤判
定率を、１％程度に低減できることが、実験により確認
できた。

【００６５】また、本発明は、前記実施形態に限定され
るものではなく、必要に応じて種々変更することができ
る。

【００６６】

【発明の効果】以上説明したように請求項１に係る本発
明の本実施形態の液晶表示パネルの表示パターン検査方
法によれば、基準画像ＢＰと検査画像ＩＰとの排他的論
理和により抽出した不一致部と吸収マスクのマスク画像
ＭＰとの論理積を得ると、不一致部のうちの良品として
許容可能な輪郭のずれを不一致部から除去することがで
きるため、良品として許容可能な輪郭のずれを欠陥部位
として判別する誤判定率を確実に低減し、検査精度を向
上することができるなどの極めて優れた効果を奏する。

【００６７】また、請求項２に係る本発明の液晶表示パ
ネルの表示パターン検査方法によれば、２値画像からな
る基準画像ＢＰの画像データである２値の画像データを
直接形成する際に生じる照明の明暗などによる表示パタ
ーンの幅の太りあるいは細りの影響を低減できるので、
表示パターンの検査に最適な基準画像ＢＰを形成するこ
とができるなどの極めて優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る液晶表示パネルの表示パターン
検査方法に用いる基準画像の形成過程を示す説明図

【図２】本発明に係る液晶表示パネルの表示パターン
検査方法の実施形態を示すフローチャート

【図３】本発明に係る液晶表示パネルの表示パターン
検査方法の実施形態における欠陥部位の抽出を示す説明
図

【図４】本発明に係る液晶表示パネルの表示パターン
検査方法に用いる吸収マスクの形成過程を示す説明図

【図５】本発明に係る液晶表示パネルの表示パターン
検査方法における輪郭のずれのない場合の検査過程を示
す説明図

【図６】本発明に係る液晶表示パネルの表示パターン
検査方法における輪郭のずれのある場合の検査過程を示
す説明図

【図７】従来の液晶表示パネルの表示パターン検査方
法における基準画像と検査画像との排他的論理和による
欠陥の抽出を示す説明図

【図８】従来の液晶表示パネルの表示パターン検査方
法における輪郭のずれを欠陥として抽出することを示す
説明図

【符号の説明】

ＢＰ基準画像ＩＰ検査画像ＣＰ合成画像ＭＰマスク画像ＪＰ判定画像ＳＰ濃淡画像ＡＰ平均画像ＴＰ１第１処理画像ＴＰ２第２処理画像ＴＰ３第３処理画像ＣＳＰ補正合成画像ＪＭＰパターンマスク画像ＸＯＲ排他的論理和ＡＮＤ論理積ＯＲ論理和

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】液晶表示パネルの表示パターンの欠陥の
有無を検査する液晶表示パネルの表示パターン検査方法
において、２値画像からなる基準画像と２値画像からなる検査画像
との排他的論理和により不一致部を抽出した後に、表示
パターンの輪郭のずれを吸収する吸収マスクの２値画像
からなるマスク画像と前記不一致部との論理積により欠
陥部位を抽出することを特徴とする液晶表示パネルの表
示パターン検査方法。
【請求項２】前記基準画像が、複数の液晶表示パネル
の表示パターンを濃淡画像で読み込んだ後に、各濃淡画
像の画像データを平均化して平均画像とし、この平均画
像を２値化することにより形成されていることを特徴と
する請求項１に記載の液晶表示パネルの表示パターン検
査方法。