JP2001304867A - 角速度センサ - Google Patents
角速度センサInfo
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Abstract
の影響を受けないようにすることのできる新規な角速度
センサを提供する。 【解決手段】 基板に設けられた可動部1〜4を基板の
水平面内で振動させて基板と垂直軸J回りに角速度Ωが
発生したときに、可動部1〜4に対して基板の水平面内
に作用するコリオリ力を検出するようにした角速度セン
サにおいて、4個の可動部1〜4を、基板の水平面内の
所定点Kを中心に点対称に配置し、互いの可動部1〜4
の全てを、所定点Kを中心とした円の径方向に沿って同
一方向に駆動振動させる。それにより、各可動部1〜4
に発生するコリオリ力は所定点Kを中心とした円の周方
向に沿って同一方向となり、このコリオリ力により各可
動部1〜4は所定点K回りの同一方向へ回転振動し、直
線的な外力の影響を受けない。
Description
可動部を基板の水平面内で振動させて基板と垂直軸回り
に角速度が発生したときに、可動部に対して基板の水平
面内に作用するコリオリ力を検出するようにした角速度
センサ(ジャイロセンサ、ヨーレートセンサ)に関す
る。
面内で駆動振動させるようにした角速度センサにおいて
は、該基板と垂直軸回りに角速度が発生したときに、該
可動部に対して該基板の水平面内に作用するコリオリ力
を検出することができる。一般には、コリオリ力による
可動部の変位によって発生する電気的信号(例えば、可
動部側の電極と固定部側の電極との容量変化等)に基づ
いて角速度を検出するようにしている。
等の外力がセンサに加わった場合、この外力が可動部を
変位させ、出力の誤差を発生させる。従来より、一般
に、この外力による出力への影響を除去するために、可
動部を複数個設け、互いの可動部から得られるコリオリ
力による信号を、回路により差動処理する等の演算処理
を行うことにより、外力の成分をキャンセルし、センサ
出力から外力の影響を除去するようにしている。
来の外力成分の除去方法では、互いの可動部から得られ
るコリオリ力による信号に含まれる外力成分をキャンセ
ルするために、センサの回路に差動回路等の演算処理機
能が必要となるため、複雑な回路構成となってしまう。
成とすることなく、簡単に外力の影響を受けないように
することのできる新規な角速度センサを提供することを
目的とする。
め、請求項1の発明では、基板(104)に設けられた
可動部(1〜4)を基板の水平面内で駆動振動させて基
板と垂直軸回りに角速度が発生したときに、可動部に対
して基板の水平面内に作用するコリオリ力を検出するよ
うにした角速度センサにおいて、可動部を、基板の水平
面内の所定点(K)を中心に点対称に配置された複数個
のものより構成し、互いの可動部の全てを、上記所定点
を中心とした円の径方向に沿って同一方向に同期して、
同一周波数で駆動振動させるようにしたことを特徴とし
ている。
基板の水平面内の所定点を中心に点対称に配置すること
で、駆動振動において、互いの可動部の振動によって漏
れ振動を打ち消し合うことができるため、各可動部の駆
動振動を高精度に行うことができる。
定点を中心とした円の径方向に沿って同一方向に同期し
て駆動振動する。即ち、複数個の可動部の全てが、この
円の径方向に沿って上記所定点からみて同時に広がる
か、同時に狭まるように駆動振動するため、基板と垂直
軸回りに角速度が発生したときに、各可動部に対して作
用するコリオリ力も全ての可動部で、この円の周方向に
沿って同一方向に作用する。そのため、各可動部は全
て、コリオリ力によって上記所定点を中心として同一方
向に回転振動し、この回転振動に基づいて角速度を検出
することができる。
力は直線的な力であるので、コリオリ力による各可動部
の回転振動は、この外力により影響を受けない。回転運
動する物体に対し、直線的な力を加えても回転の度合を
変えることはできないためである。また、可動部に対し
て上記円の径方向に作用する遠心力については、そもそ
も、コリオリ力の方向が上記円の周方向なので、出力に
は影響しない。
全体でみたときのコリオリ力による信号は、外力が加わ
ったときでも、外力が加わっていないときでも、変化す
ることが無いため、外力の影響を考慮した特別な回路構
成とすることなく、簡単に外力の影響を受けないように
することのできる新規な角速度センサを提供することが
できる。
検出するための検出部(6)を、基板(104)の水平
面内において所定点(K)からみて各々の可動部(1〜
4)の外側に設けたことを特徴としている。検出部は、
コリオリ力による可動部の上記所定点を中心とした円の
周方向への変位に基づく電気的信号を検出するが、検出
部を各可動部の外側に設けることにより、検出部におけ
る電極自体を大面積化でき、出力の高感度化を容易に図
れる等の利点がある。
の検出部(6)を、基板(104)の水平面内において
所定点(K)からみて各可動部(1〜4)の外側に設け
られた櫛歯状の第1電極(6c)と、各可動部に形成さ
れ第1電極における櫛歯の隙間と噛み合うように設けら
れた櫛歯状の第2電極(6b)とにより構成し、これら
第1の電極と第2の電極との間に形成される検出間隔
(6d)の変化によって生じる容量変化に基づいてコリ
オリ力を検出するようにしたことを特徴としている。
とした円の径方向において可動部の外側に設けることに
より、第1電極及び第2電極の各櫛歯の長さをこの円の
径方向へ伸ばすことができるため、電極の大面積化が図
れる。また、第1及び第2電極の櫛歯の隙間(つまり、
検出間隔)は、上記円の径が大きくなる方向へ行くに従
い、広がるため、第1電極及び第2電極間の容量変化を
大きくできる。このように、本発明によれば、電極面積
及び容量変化を大きくすることができるため、センサ出
力の感度をさらに向上させることが容易となる。
部(1〜4)に対応する各々の検出部(6)において、
検出間隔(6d)が、第1電極を基準としてみたとき、
所定点(K)を中心とした円の周方向に沿って一方向側
にある部分(C1)と、他方向側にある部分(C2)と
が存在していることを特徴としている。
において、検出間隔が上記一方向側にある部分と上記他
方向側にある部分とで、第1電極と第2電極との間に発
生する静電気力が逆方向となる。そのため、上記検出間
隔が、第1電極を基準としてみたとき上記円の周方向に
沿って一方向側のみにある構成を採用した場合に比べ
て、各可動部が回転しにくい構成を実現することができ
る。
動部の適切な具体的構成を提供するものである。また、
請求項7の発明のように、複数個の可動部(1〜4)を
互いに、所定点(K)を中心とした円の径方向に弾性変
形可能な連成梁(10)にて連結し、駆動振動時に各可
動部を連成振動させれば、確実に各可動部を同じ周波数
で駆動振動させることができ、好ましい。
する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一
例である。
について説明する。本実施形態では、車両に搭載される
姿勢制御用として適用され、基板に設けられた可動部を
該基板の水平面内で振動させて該基板と垂直軸回りに角
速度が発生したときに、該可動部に対して該基板の水平
面内に作用するコリオリ力を検出するようにした角速度
センサについて、説明する。
面構成を示し、図2は図1中のA−A断面を示し、図3
は図1中のセンサ主要部の拡大図、図4は図3の部分拡
大図であって1個の可動部の構成を示す説明図である。
なお、図4中のハッチングは、識別のためのもので断面
を示すものではない。
に、共に結晶方位が(100)である単結晶シリコンか
らなる第1の半導体層101と第2の半導体層102と
の間に酸化膜からなる絶縁層103を有する矩形状のS
OI基板(本発明でいう基板)104に、半導体製造技
術を利用した周知のマイクロマシン加工を施すことによ
り形成されたものである。そして、車両へは、図1の紙
面垂直方向における紙面表側を上、紙面裏側を下として
搭載される。
101及び絶縁層103は、センサの主要部が形成され
る領域において、第2の半導体層102が露出するよう
に矩形状に除去され、その除去部分は、第1の半導体層
101の開口部(図1中、破線図示)105を構成して
いる。この開口部105の領域における第2の半導体層
102は、開口部105の外周部にて絶縁層103を介
して第1の半導体層101に支持され、開口部105に
臨んだ状態となっている。
口部105の領域における第2の半導体層102を溝で
区画することにより、4個の可動部1、2、3、4、各
可動部1〜4を駆動振動させるための駆動電極5、及
び、各可動部1〜4からコリオリ力を検出するための検
出電極6等からなるセンサ主要部が分離形成されてい
る。なお、各半導体層101、102を構成する単結晶
シリコンには、その抵抗率を下げるために不純物が予め
拡散されている。
り、基板104の水平面(図1中の紙面に相当)におい
て該水平面の所定点Kを中心に点対称に配置されてい
る。個々の可動部1〜4は、略扇状の振動部(図4中、
クロスハッチングで図示)1a、2a、3a、4aと、
振動部1a〜4aの外周を取り囲むように配置された検
出錘(図4中、片側斜線ハッチングで図示)7とを備え
ている。こうして、各可動部1〜4は全体として、振動
部1a〜4aの円周方向両側を検出錘7で挟んだ1/4
円形状をなす。
は、所定点Kを中心とした円の径方向に延びるように検
出梁(本発明でいう第1の弾性部材)8が設けられてお
り、この検出梁8により、検出錘7はSOI基板104
に支持されている。また、各可動部1〜4において、振
動部1a〜4aは、その円周方向両側に設けられた略コ
の字形状を有する駆動梁(本発明でいう第2の弾性部
材)9により、検出錘7に支持されている。
略中心として環状に配置された1個の連成梁10に懸架
され、連成梁10は、懸架梁11を介して各可動部1〜
4の検出錘7に懸架されている。従って、各可動部1〜
4は、連結された各梁8〜11を介して、絶縁層103
を介して第1の半導体層101に支持されており、開口
部105に臨んだ状態となっている。
た円の周方向に弾性変形可能なものであり、振動部1a
〜4aに対して検出錘7が、基板104の水平面内且つ
上記所定点Kを中心とした円の周方向(駆動振動の方向
と直交する方向)へ振動できるように、弾性を発揮す
る。また、駆動梁9及び連成梁10は、所定点Kを中心
とした円の径方向に弾性変形可能なものであり、各振動
部1a〜4aが基板104の水平面内且つ所定点Kを中
心とした円の径方向(駆動振動の方向)へ振動できるよ
うに、弾性を発揮する。
4の振動部1a〜4aが互いに連結されているため、駆
動振動時に各振動部1a〜4aが連成振動するようにな
っている。このような、各梁における振動方向への弾性
の発揮は、例えば、アスペクト比を上げる等によって、
振動方向には柔らかく、その他の方向には固くすること
によって実現できる。次に、駆動及び検出電極5、6の
詳細について述べる(上記図4参照)。
動電極(駆動部)5は、各可動部1〜4毎に設けられて
いる。各駆動電極5は、第1の半導体層101上に絶縁
層103を介して片持ち状に支持固定されるとともに、
所定点Kを中心とした円の径方向外側から振動部1a〜
4aに対向して配置された固定部(図4中、点々ハッチ
ングで図示)5aと、この固定部5aにおける振動部1
a〜4aと対向する面に形成された櫛歯状の固定部側電
極5bと、この固定部側電極5bにおける櫛歯の隙間と
噛み合うように振動部1a〜4a側に設けられた櫛歯状
の可動部側電極5cとにより構成されている。
出するための検出電極(本発明でいう検出部)6は、各
可動部1〜4毎に設けられている。各検出電極6は、各
々、基板4の水平面内において所定点Kからみて可動部
1〜4の外側(つまり上記所定点Kより離れる側)に位
置している。
に絶縁層103を介して支持固定されるとともに、検出
錘7に対向して配置された固定部6aと、この固定部6
aにおける検出錘7と対向する面に形成された櫛歯状の
固定部側電極(本発明でいう検出部の第2電極)6b
と、この固定部側電極6bにおける櫛歯の隙間と噛み合
うように検出錘7側に設けられた櫛歯状の可動部側電極
(本発明でいう検出部の第1電極)6cとにより構成さ
れている。
いては、固定部側電極6bと可動部側電極6cとの間隔
のうち狭い方の間隔が検出間隔6dであり、この検出間
隔6dにて両電極6b、6c間にコンデンサが形成され
る。そして、コリオリ力により可動部1〜4(検出錘
7)が変位すると、検出間隔6dの距離が変化する。そ
のため、両電極6b、6c間の容量の変化に基づいて、
コリオリ力を電気信号として検出し、角速度を求めるこ
とができるようになっている。
半導体層101上に絶縁層103を介して支持された第
2の半導体層(固定部)102には、上記駆動電極5及
び検出電極6と後述する回路部200との信号のやり取
りを行うためのパッド20〜22が、アルミニウムを蒸
着する等により形成されている(図1参照)。駆動用パ
ッド20は各駆動電極5の固定部5aに形成され、駆動
電極5の固定部側電極5bに導通している。
梁8及び検出錘7を介して各検出電極6の可動部側電極
6cに導通し、検出用固定部側パッド22は各検出電極
6の固定部6aに形成されて各検出電極6の各固定部側
電極6bに導通している。これら駆動用及び検出用の各
パッド20〜22は、ワイヤボンディングや基板104
に配線を形成する等により、上記回路部200に電気的
に接続されるようになっている。
めに角速度センサに備えられた回路部(回路手段)20
0について、図5に示すブロック図を参照して述べる。
回路部200は、各振動部1a〜4aを駆動させるとと
もに、基板104の水平面方向への各振動部1a〜4a
の変位に基づく信号を角速度信号として出力するもの
で、上記駆動用パッド20に結線された駆動回路201
と、上記検出用固定部側パッド22に結線された検出・
処理回路202とを備えている。また、検出用可動部側
パッド21は所定の電圧もしくはGNDの状態となって
おり、可動部1〜4は基準電位となっている。
電極5bに駆動信号(交流電圧)を印加し、各振動部1
a〜4aを駆動振動させるものである。検出・処理回路
202は、検出電極6の固定部側電極6bと可動部側電
極6cとの間の静電容量変化を電圧値に変換するスイッ
チドキャパシタ等の容量−電圧変換回路(図5中、C/
Vで図示)202aと、該容量−電圧変換回路202a
から送られてきた電圧値を増幅し角速度検出信号S1と
して出力する増幅部202bとを備えている。
は、図6及び図7に示す製造方法により製造される。図
6及び図7は、上記図2に示すA−A断面に基づく製造
工程を示すものである。なお、図6(a)〜図7(c)
は図7(d)に示す完成図(上記図2と同様)に対応し
た途中部分を示す。
結晶シリコンからなる第1の半導体層101と第2の半
導体層102との間にシリコン酸化膜(例えば厚さ1μ
m)からなる絶縁層103を有するSOI基板104を
用意し(図6(a)参照)、第2の半導体層102の全
面に表面抵抗値を下げ、次工程にて形成されるアルミニ
ウムからなる上記パッド電極20〜22との接触抵抗を
下げるために、例えばリンを高濃度に拡散(N+ 拡散)
する。
4の表面(第2の半導体層102)にアルミニウムを例
えば1μm蒸着し、ホト、エッチングを行い、信号取り
出し用の上記パッド電極20〜22を形成する。続い
て、図6(c)に示す様に、基板104の裏面(第1の
半導体層101)を切削研磨(バックポリッシュ)する
ことにより所定の厚さ(例えば300μm)とし、且つ
鏡面仕上げする。
4の裏面(第1の半導体層101)にプラズマSiN膜
300を堆積(例えば0.5μm)し、ホトパターンを
形成し、プラズマSiN膜300をエッチングすること
により所定の領域を開口する。
導体層102の表面に、上記振動部1a〜4a、検出錘
7、各電極5、6及び各梁8〜11等を画定するパター
ンをレジストで形成し、ドライエッチングにより垂直に
絶縁層103までトレンチ形状を形成する。
導体層101を、プラズマSiN膜300に形成したパ
ターンをマスクとして、例えばKOH水溶液で深くエッ
チングする。このとき、絶縁層103までエッチングを
進めると、エッチング液の圧力により絶縁層103が破
れて基板104を破損するため、絶縁層103が破れな
いように、例えば第1の半導体層101のシリコンを1
0μm残してエッチングを終了できるようエッチング時
間を管理する。
ドライエッチングにより、図7(b)の工程で残したS
iをエッチング除去する。このとき、基板104の裏面
のプラズマSiN膜300は同時に除去される。最後
に、図7(d)に示す様に、絶縁層103をドライエッ
チングによって除去して、上記振動部1a〜4a等を形
成し、上記回路部200との配線等を行うことにより、
上記図2に示す角速度センサ100が出来上がる。
いて、図8に示す図2の平面構成に対応したモデルを参
照して、説明する。なお、図8は、各可動部1〜4の振
動部1a〜4aを所定点Kを中心としたバネ系モデル
(駆動梁9及び連成梁10をバネで示す)で示したもの
である。
01によって、全ての駆動電極5において固定部側電極
5bと可動部側電極5cとの間に、同相の矩形波もしく
は正弦波の電圧信号(駆動信号)を印加する。すると、
両電極5bと5cとの間に静電気力が発生し、駆動梁
(第1の弾性部材)9及び連成梁10の弾性力によっ
て、全ての可動部1〜4において、振動部1a〜4aが
所定点Kを中心とした円の径方向に沿って同一方向に駆
動振動する。
が、この円の径方向に沿って所定点Kからみて同時に広
がるか、同時に狭まるように駆動振動する。図8では、
各矢印vに示す様に、4個の振動部1a〜4aの全て
が、同時に広がる瞬間を示している。このように各振動
部1a〜4aを基板104の水平面内で駆動振動させ、
基板104と垂直軸(図1中、符号Jで図示)回りに角
速度Ωが発生すると、各振動部1a〜4aに対して基板
104の水平面内において所定点Kを中心とした円の周
方向にコリオリ力Fcが作用する。
同一であるため、コリオリ力Fcの作用方向は、全ての
振動部1a〜4aにおいて該円周方向に沿って同一の方
向である。例えば、ある瞬間をみたとき、図8に示す様
に、全ての可動部1〜4においてコリオリ力Fcは、該
円周方向に沿って左回り(反時計回り)方向に作用して
いる。
Fcは、振動部1a〜4aから駆動梁9を介して検出錘
7に作用する。すると、検出梁(第2の弾性部材)8の
弾性力によって、4個の可動部1〜4全てにおいて、振
動部1a〜4a及び検出錘7(つまり、可動部全体)
が、基板104の水平面内且つ所定点Kを中心とした円
の周方向に沿って同一方向へ回転振動(検出振動)す
る。
る変位を、検出電極6の固定部側電極6bと可動部側電
極6c間の容量変化として検出する。この容量変化の検
出は、上記検出用パッド21、22を介し、上記容量−
電圧変換回路202によって、電圧値に変換し、該電圧
値を増幅し、角速度検出信号S1として出力する。本実
施形態では4個のコリオリ力Fcが全て単純に加算され
た分(4Fc)に相当する出力がなされる。以上が角速
度センサ100の基本動作である。
可動部1〜4における振動部1a〜4aの全てを、所定
点Kを中心とした円の径方向に沿って同一方向に駆動振
動させることによって、基板104と垂直軸J回りに角
速度Ωが発生したときに、コリオリ力Fcは、全ての可
動部1〜4で、この円の周方向に沿って同一方向に作用
するため、各可動部1〜4は全て、コリオリ力Fcによ
って所定点Kを中心として同一方向に回転振動(検出振
動)し、この回転振動に基づいて角速度Ωを検出するこ
とができる。
動振動時において、振動の反作用により振動の漏れ(漏
れ振動)が生じるが、本実施形態では、4個の可動部1
〜4を基板104の水平面内の所定点Kを中心に点対称
に配置しているので、そのような問題はない。即ち、駆
動振動において、互いの振動部1a〜4aの振動によっ
て漏れ振動を打ち消し合うことができるため、各振動部
1a〜4aの駆動振動を高精度に行うことができる。
向に作用する遠心力については、そもそも、コリオリ力
Fcの方向が上記円の周方向なので、出力には影響しな
い。また、センサに加わる外部加速度等の外力は直線的
な力であるので、コリオリ力Fcによる各可動部1〜4
の回転振動は、この外力により影響を受けない。回転運
動する物体に対し、直線的な力を加えても回転の度合を
変えることはできないためである。
について、もう少し具体的に述べる。例えば、図8に示
す様に、急停止、急発進等により、センサ100に対し
て外部加速度(外力、外部G)FGが加わったとする。
このとき、外部加速度FGは振動部2a及び4aに作用
し、部分的に見た場合、振動部2aの出力は(Fc+F
G)、振動部4aの出力は(Fc−FG)であるが、4
個の可動部1〜4全体の出力(4Fc)は変わらない。
部全体でみたときのコリオリ力による信号(4Fc分の
出力)は、外力が加わったときでも、外力が加わってい
ないときでも、変化することが無いため、外力の影響を
考慮した特別な回路構成とすることなく、簡単に外力の
影響を受けないようにすることのできる新規な角速度セ
ンサを提供することができる。
出用の検出電極(検出部)6を、基板104の水平面内
において所定点Kからみて各々の可動部1〜4の外側に
設けたことを特徴としている。それにより、検出電極6
における櫛歯状電極5b、5cの長さを上記円の径方向
へ任意に伸ばすことができ、電極自体を大面積化できる
ため、出力の高感度化を図れる。
おける各櫛歯状電極6b、6cは、上記円の径方向へ放
射状に伸びるため、対向する電極6b、6c間の隙間
(つまり、検出間隔)は、上記円の径が大きくなる方向
へ行くに従い広がり、第1電極6c及び第2電極6b間
の容量変化も大きくなる。そのため、センサ出力の感度
を向上させることが容易となる。
中心とした円の周方向に弾性変形可能な検出梁(第1の
弾性部材)8により基板104に支持された検出錘7
と、所定点Kを中心とした円の径方向に弾性変形可能な
駆動梁(第2の弾性部材)9により検出錘7の内周側に
て検出錘7に支持された振動部1a〜4dとを備えたも
のであり、それにより、各可動部1〜4は、上述のよう
な駆動振動及び検出振動を適切に行うことができる。
1〜4を互いに、所定点Kを中心とした円の径方向に弾
性変形可能な連成梁10にて連結し、駆動振動時に各可
動部1〜4を同じ周波数で連成振動させているので、確
実に、各可動部1〜4の全てを、所定点Kを中心とした
円の径方向に沿って同一方向に駆動振動させることがで
き、好ましい。なお、各可動部1〜4の全てを、該円の
径方向に沿って同一方向に駆動振動させることは、連成
梁10にて各可動部を連結しなくとも、各可動部の駆動
梁9をトリミング等にて調整することでも可能である。
4の検出電極6における固定部側電極(第2電極)6b
と可動部側電極(第1電極)6cとの検出間隔6dは、
第1電極6cを基準としてみたとき、全ての検出間隔6
dが、所定点Kを中心とした円の周方向に沿って一方向
側(右回り側、時計回り側)にある。この検出間隔6d
の位置関係については、図9に示す様な変形も可能であ
る。
応する各々の検出電極6において、検出間隔6dが、第
1電極6cを基準としてみたとき、所定点Kを中心とし
た円の周方向に沿って一方向側(右回り側)にある部分
(図中、括弧で括ったC1部)と、他方向側(左回り
側)にある部分(図中、括弧で括ったC2部)とが存在
している。
て、検出間隔6dが上記一方向側にある部分C1と上記
他方向側にある部分C2とで、第1電極6cと第2電極
6bとの間に発生する静電気力が逆方向となる。そのた
め、両部分C1、C2からの信号を差動処理する必要は
あるけれども、上記図4に示す様に、検出間隔6dが、
第1電極6cを基準としてみたとき上記円の周方向に沿
って一方向側のみにある構成を採用した場合に比べて、
各可動部1〜4を回転しにくい構成にすることができ
る。
I基板104において支持基板となる第1の半導体層1
01を、開口部105の形成によって除去した構成、い
わゆる裏面エッチングした構成としているが、本実施形
態の角速度センサとしては、図10に示す様なものも可
能である。
体層102側からトレンチを形成し、犠牲層エッチング
を行うことにより、上記開口部105に相当する位置の
絶縁層103を除去し、第1の半導体層101は残した
ことが、上記センサ100とは異なる。他の部分は同一
である。このセンサ200によれば、例えば、所定点K
の部分の絶縁層103及び第2の半導体層102を残し
て突起部12を形成し、この突起部12に連成梁10や
懸架梁11を支持させるようにすることができるため、
強度的により安定したセンサを実現することができる。
は、所定点Kを中心に点対称に配置された可動部は4個
であったが、該可動部は、漏れ振動を打ち消すために少
なくとも2個あれば良く、偶数、奇数を問わない。
は、基板104の水平面内において所定点Kからみて各
可動部1〜4の外側にあることが好ましいが、各可動部
1〜4の内側に位置していてもよい。また、検出部とし
ては、容量検出以外でも良く、例えば、検出錘7の変位
を電磁力の変化として検出するものであってもよい。ま
た、回路部200は、角速度センサ100と同一の基板
104上に形成しても良いし、他の基板上に形成しても
良い。
成図である。
ロック図である。
示す工程図である。
である。
面図である。
示す概略断面図である。
6b…検出部の固定部側電極(検出部の第2電極)、6
c…検出部の可動部側電極(検出部の第1電極)、6d
…検出間隔、7…検出錘、10…連成梁、104…SO
I(シリコンオンインシュレータ)基板。
Claims (7)
- 【請求項1】 基板(104)に設けられた可動部(1
〜4)を前記基板の水平面内で駆動振動させて前記基板
と垂直軸回りに角速度が発生したときに、前記可動部に
対して前記基板の水平面内に作用するコリオリ力を検出
するようにした角速度センサにおいて、 前記可動部は、前記基板の水平面内の所定点(K)を中
心に点対称に配置された複数個のものよりなり、 これら複数個の可動部は、前記所定点を中心とした円の
径方向に沿って全てが同一方向に同期して、同一周波数
で駆動振動するものであることを特徴とする角速度セン
サ。 - 【請求項2】 前記コリオリ力を検出するための検出部
(6)が、前記基板(104)の水平面内において前記
所定点(K)からみて前記複数個の可動部(1〜4)の
各々の外側に設けられていることを特徴とする請求項1
に記載の角速度センサ。 - 【請求項3】 前記検出部(6)は、前記基板(10
4)の水平面内において前記所定点(K)からみて前記
各可動部(1〜4)の外側に設けられた櫛歯状の第1電
極(6c)と、前記各可動部に形成され前記第1電極に
おける櫛歯の隙間と噛み合うように設けられた櫛歯状の
第2電極(6b)とを備えるものであり、 これら第1の電極と第2の電極との間に形成される検出
間隔(6d)の変化によって生じる容量変化に基づいて
前記コリオリ力を検出することを特徴とする請求項2に
記載の角速度センサ。 - 【請求項4】 前記各々の可動部(1〜4)に対応する
各々の前記検出部(6)において、前記第1電極(6
c)を基準としてみたとき、前記検出間隔(6d)が前
記所定点(K)を中心とした円の周方向に沿って一方向
側にある部分(C1)と、他方向側にある部分(C2)
とが存在していることを特徴とする請求項3に記載の角
速度センサ。 - 【請求項5】 前記可動部(1〜4)は、前記所定点
(K)を中心とした円の周方向に弾性変形可能な第1の
弾性部材(8)により前記基板(104)に支持された
検出錘(7)と、前記所定点を中心とした円の径方向に
弾性変形可能な第2の弾性部材(9)により前記検出錘
に支持された振動部(1a〜4a)とを備えたものであ
ることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに
記載の角速度センサ。 - 【請求項6】 前記検出錘(7)は前記振動部(1a〜
4a)の外周側に設けられていることを特徴とする請求
項5に記載の角速度センサ。 - 【請求項7】 前記複数個の可動部(1〜4)は互い
に、前記所定点(K)を中心とした円の径方向に弾性変
形可能な連成梁(10)にて連結され、前記駆動振動時
に各可動部が連成振動するようになっていることを特徴
とする請求項1ないし6のいずれか1つに記載の角速度
センサ。
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