JP2001301914A

JP2001301914A - ラック

Info

Publication number: JP2001301914A
Application number: JP2000117415A
Authority: JP
Inventors: Masazumi Fukushima; 正純福島
Original assignee: Murata Machinery Ltd
Current assignee: Murata Machinery Ltd
Priority date: 2000-04-19
Filing date: 2000-04-19
Publication date: 2001-10-31

Abstract

(57)【要約】【構成】クリーンルームの天井から、取り付け部材１
８を介して、ラック６を吊り下げる。ラック６の底部を
着脱自在なスタンド２４で支え、背部にダクト１４を設
ける。そして天井からのクリーンエアーをラック６の背
面から前面に向けて吹き付ける。【効果】ラックの設置後に処理装置を増設するのが容
易で、ラック内に均一な層流を維持でき、かつラックの
取り付けも容易である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の利用分野】この発明はクリーンルームで用いる
ラックに関し、特にラックを設置した後にその背面側に
処理装置等を容易に増設できるラックに関する。

【０００２】

【従来技術】クリーンルームでは、仕掛品等をラックに
１時保管することが行われている。またクリーンルーム
では、処理装置を既設の建屋内に増設したり、処理装置
のレイアウトを変更したりすることが行われている。こ
のような場合に、ラックが処理装置と１：１に対応し、
特定の処理装置用にラックを設けるのであれば問題はな
い。しかし処理装置の設置前にラックのみを設けたいこ
とがある。この場合、ラックは通路側に設置されるの
で、先にラックを設置すると処理装置の搬入が困難にな
る。

【０００３】

【発明の課題】この発明の基本的課題は、ラックの設置
後でも、その背面側に他の装置を容易に搬入でき、かつ
ラック内にクリーンエアーを均一に供給できる、ラック
を提供することにある（請求項１〜３）。請求項２の発
明での追加の課題は、ラックを天井から吊り下げて設置
するのを容易にすることにある。請求項３の発明での追
加の課題は、他の装置の搬入を邪魔しないようにしなが
ら、ラックの重量を支えることにある。

【０００４】

【発明の構成】この発明のラックでは、クリーンルーム
の天井に設けた取り付け部材により、ラック本体を吊持
すると共に、該ラック本体の背面から前面へ向けて、ク
リーンエアーを供給するための手段を設ける。

【０００５】好ましくは、前記取り付け部材の底部に長
溝を設けて、前記ラック本体側に設けた吊持部を、前記
長溝で支承する。また好ましくは、前記ラック本体の底
部に、着脱自在なスタンドを設ける。

【０００６】

【発明の作用と効果】この発明では、クリーンルームの
天井に設けた取り付け部材でラック本体を吊持すると共
に、ラック本体の背面から前面へ向けてクリーンエアー
を供給する。ラック本体はクリーンルームの天井に吊持
されているので、ラック本体の下部を通して処理装置等
の他の設備を搬入でき、先にラックを設置し、後で処理
装置等を増設できる。またラックの内部では、背面から
前面へ向けてクリーンエアーを供給するので、保管した
物品が汚染されることがない。クリーンエアーはラック
の背面から前面へ流れるので、ラックに保管した物品が
汚染されている場合でも、汚染されたエアーがラックの
下方のスペースへ流れることがない。このため設備の増
設時などには、ラックの下方のスペースも有効に利用で
きる（請求項１）。

【０００７】請求項２の発明では、取り付け部材の底部
に長溝を設けて、ラック本体側に設けた吊持部をこの長
溝で支承する。そのためラックの取り付け時には、吊持
部を長溝にセットして所望の位置までずらせば良く、ラ
ックの設置が容易になる。請求項３の発明では、ラック
本体の底部に着脱自在なスタンドを設けるので、ラック
重量の一部をスタンドで支えて、取り付け部材に加わる
力を軽減できる。このスタンドは着脱自在なので、搬入
装置等を通路側からラック背面側に設置する場合には、
スタンドを取り外して設備を搬入できる。

【０００８】

【実施例】図１〜図５に実施例を示す。図１〜図３に、
クリーンルーム内に設置したラック６を示すと、２はク
リーンルームの天井で、図示しないフィルターファンユ
ニット等から、クリーンエアーが床面４へ向けて均一に
送気されている。８はラック本体で、１０はその前面の
開口で、半導体ウエハーや液晶基板等を収容したカセッ
ト１２を複数個保管する。１４はラック本体８の背面側
に設けたダクトで、天井２からラック本体８の上部へ吹
き付けられたクリーンエアーを集めて、整流板１６から
層流状にラック本体８に送気する。なお図１，図２の白
抜き矢印は、クリーンエアーの流れを表す。ここではダ
クト１４により、ラック本体８の上部に送気されたクリ
ーンエアーを集めて供給したが、これに代えてフィルタ
ーファンユニットをダクト１４の位置等に設けても良
い。

【０００９】１８は長尺状の取り付け部材で、取り付け
部材１８でラック本体８に設けたボルト２０を保持する
ことにより、ラック本体８をクリーンルームの天井２に
吊持する。２２はラック本体８の上部に設けた仕切り
で、ラック本体８の上部へ送気されたクリーンエアーを
ダクト１４へ導くためのものである。ラック本体８の底
部には、着脱自在なスタンド２４を適宜の箇所に取り付
け、スタンド２４の上部あるいは下部に高さ調整部２６
を設けて、スタンド２４の高さを調整し得るようにす
る。そして取り付け時には、高さ調整部２６でスタンド
２４の高さを短くして取り付け、同様に取り外し時にも
高さ調整部２６でスタンド２４を縮めて取り外す。

【００１０】ラック６の前面の開口１０側は、手押し車
や無人搬送車、天井走行車等の通路に面しており、図１
の状態では、ラック６の背面側は空きスペースである。
ここで高さ調整部２６でスタンド２４を縮めて取り外す
と、ラック本体８の底部を経由して処理装置等を増設で
きる。図２に処理装置等を増設した後の状態を示すと、
３０は半導体や液晶等の処理装置である。３２は枚葉移
載機で、カセット１２からウエハーや液晶基板等を１枚
ずつ取り出し、処理装置３０に送り込むと共に、処理装
置３０で処理後のウエハーや基板等を受け取って、カセ
ット１２に格納する。

【００１１】３４はステーションで、この上部に枚葉移
載機３２で取り出しあるいは格納を行うためのカセット
１２ｂを保持し、無人搬送車や手押し車との間でカセッ
ト１２を受け渡しするためのものである。ステーション
３４上のカセット１２ｂは、背面側の処理装置３０で処
理するためのもので、ステーション３４はいわば処理装
置３０の専用ステーションである。これに対してラック
６は、天井走行車等との間でカセット１２を受け渡しし
て、工程間のバッファとしてカセット１２を保管するた
めの、いわば汎用のラックである。このため処理装置３
０の設置前に、ラック６を設置する必要が生じる。

【００１２】図３に、処理装置３０等の増設前のラック
６を示す。ラック６にはカセットを複数個収容できるだ
けのスペースがあり、前面と背面の天井側が仕切り２２
で区切られ、クリーンエアーがダクトに流れ込むように
されている。そしてその重量を、取り付け部材とスタン
ド２４の双方で支えるようにしてある。スタンド２４は
取り外しや取り付けの自在なものであれば良く、種類は
任意で、処理装置等の搬入時には、邪魔になる箇所のス
タンド２４を取り外す。この間は、ラック６にカセット
を保管しないようにして重量を軽減しておく。

【００１３】図２に戻り、処理装置３０や枚葉移載機３
２を設置すると、この部分ではグレーティングを施した
床面でのクリーンエアーの流れが遮断される。そのた
め、本来は処理装置３０や枚葉移載機３２の部分から床
下へ流れるべきクリーンエアーが、ステーション３４の
上部を介して流れるようになる。このクリーンエアーに
よって、ステーション３４のカセット１２ｂの汚染を防
止できる。ラック６内の場合も、ステーション３４上の
場合も、クリーンエアーは背面側から前面の通路側へと
流れ込み、通路側はクリーンルーム内において最もクリ
ーン度が低くても良いスペースなので、問題はない。

【００１４】図４，図５に、ラック本体８の天井２から
の吊り下げを示す。取り付け部材１８の構造を図５に示
すと、取り付け部材１８は長尺状で、例えば両端に開口
４０，４０がある。取り付け部材１８は、孔４２を用い
て、ボルト４４とナット４６等で予め天井２に取り付け
ておく。取り付け部材１８には、両端の開口４０，４０
間に渡る長溝４８があり、ラック本体８の上部から突き
出たボルト２０には、先端にナットプレート５０を取り
付け、その下部には挟持部５２とナット５４とを取り付
ける。

【００１５】ナットプレート５０が長溝４８の上に位置
するように開口４０を通し、長溝４８に沿って滑らせて
所望の位置へ移動させる。そこでナット５４を締めて、
挟持部５２とナットプレート５０とで、長溝４８の両側
の断面ハの字状の部分を締め付ける。これによって、ラ
ック本体８を取り付け部材１８に取り付ける。ラック本
体８の取り付け位置は、取り付け部材１８の長溝４８に
対してナットプレート５０等を滑らせることで調整で
き、取り付け高さはボルト２０の高さを変えることで調
整できる。

【００１６】実施例では特定の例を説明したが、これに
限るものではなく、スタンド２４の材質等は任意で、着
脱自在で、ラック本体８に加わる重量の一部を支え得る
ものであればよい。取り付け部材１８は直接天井２に取
り付けるものに限らず、取り付け部材１８と天井２との
間に、さらに他の取り付け部材を設けても良い。また取
り付け部材１８に設けた開口４０の位置は両端には限ら
ず、取り付け時にナットプレート５０を通過し得る開口
をいずれかの場所に設ければよい。さらにナットプレー
ト５０と挟持部５２とで長溝４８を上下から締め付けて
取り付けたが、これに限るものではない。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例のラックを、クリーンルームの天井か
ら吊り下げ、スタンドで補強した状態を示す側面図

【図２】ラックの設置後に、処理装置とそのカセット
ステーションとを増設した状態を示す側面図

【図３】実施例のラックの設置状態を示す正面図

【図４】クリーンルームの天井からのラックの吊り下
げ機構を示す、図１の部分拡大側面図

【図５】実施例で用いた取り付け部材の斜視図

【符号の説明】

２天井４床面６ラック８ラック本体１０前面の開口１２カセット１４ダクト１６整流板１８取り付け部材２０ボルト２２仕切り２４着脱自在なスタンド２６高さ調整部３０処理装置３２枚葉移載機３４ステーション４０開口４２孔４４ボルト４６ナット４８長溝５０ナットプレート５２挟持部５４ナット

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】クリーンルームの天井に設けた取り付け
部材により、ラック本体を吊持すると共に、該ラック本
体の背面から前面へ向けて、クリーンエアーを供給する
ための手段を設けたラック。
【請求項２】前記取り付け部材の底部に長溝を設け
て、前記ラック本体側に設けた吊持部を、前記長溝で支
承するようにしたことを特徴とする、請求項１のラッ
ク。
【請求項３】前記ラック本体の底部に、着脱自在なス
タンドを設けたことを特徴とする、請求項１または２の
ラック。