JP2001298940A - リニアモータを有するガントリーの冷却制御装置及び冷却制御方法 - Google Patents
リニアモータを有するガントリーの冷却制御装置及び冷却制御方法Info
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- JP2001298940A JP2001298940A JP2001050960A JP2001050960A JP2001298940A JP 2001298940 A JP2001298940 A JP 2001298940A JP 2001050960 A JP2001050960 A JP 2001050960A JP 2001050960 A JP2001050960 A JP 2001050960A JP 2001298940 A JP2001298940 A JP 2001298940A
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- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
- H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
- H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
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- H02K2201/18—Machines moving with multiple degrees of freedom
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Combustion & Propulsion (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Linear Motors (AREA)
- Motor Or Generator Cooling System (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 ガントリーのリニアモータの過熱の際にガン
トリーを冷却させることができる冷却制御装置及びその
方法を提供する。 【解決手段】 ガントリーの冷却制御装置は、温度セン
サ３１を持ち、その所定部位に放熱ファンと冷却ファン
がそれぞれ設置されるX軸及びY軸リニアモータの固定子
１１、２１と、可動子１２，２２に加えて、加動子の位
置及び速度を感知するためのエンコーダならびに周辺の
環境（温度、湿度、圧力）を測定するためのエンコーダ
周辺センサ部に従って、冷却ファン制御信号と空気バル
ブ制御信号のデジタル信号を出力すると共にコイルブロ
ックに駆動信号を提供するための可動子ドライバを制御
する。
トリーを冷却させることができる冷却制御装置及びその
方法を提供する。 【解決手段】 ガントリーの冷却制御装置は、温度セン
サ３１を持ち、その所定部位に放熱ファンと冷却ファン
がそれぞれ設置されるX軸及びY軸リニアモータの固定子
１１、２１と、可動子１２，２２に加えて、加動子の位
置及び速度を感知するためのエンコーダならびに周辺の
環境（温度、湿度、圧力）を測定するためのエンコーダ
周辺センサ部に従って、冷却ファン制御信号と空気バル
ブ制御信号のデジタル信号を出力すると共にコイルブロ
ックに駆動信号を提供するための可動子ドライバを制御
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術の分野】本発明は、リニアモータを
有するガントリーの冷却制御装置及びその方法に係るも
ので、特に、ガントリーのリニアモータの周辺環境を測
定し、過熱の際に冷却ファン及び空気ノズルを用いてガ
ントリーを冷却させることができるリニアモータを有す
るガントリーの冷却制御装置及び冷却制御方法に関す
る。
有するガントリーの冷却制御装置及びその方法に係るも
ので、特に、ガントリーのリニアモータの周辺環境を測
定し、過熱の際に冷却ファン及び空気ノズルを用いてガ
ントリーを冷却させることができるリニアモータを有す
るガントリーの冷却制御装置及び冷却制御方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】一般に、表面実装装置（SMD:Surface Mo
unting Device）は印刷回路基板（PCB:Printed Circuit
Board)に電子部品を実装するためのものである。前記
印刷回路基板に表面実装用部品を実装するためピックア
ップモジュールを具備したX-Yガントリー（gantry）が
用いられ、前記X-Yガントリーの駆動源としてリニアモ
ータが適用される。
unting Device）は印刷回路基板（PCB:Printed Circuit
Board)に電子部品を実装するためのものである。前記
印刷回路基板に表面実装用部品を実装するためピックア
ップモジュールを具備したX-Yガントリー（gantry）が
用いられ、前記X-Yガントリーの駆動源としてリニアモ
ータが適用される。
【０００３】図７は、従来のリニアモータを有するガン
トリーの概略的な斜視図である。従来のガントリーは、
図７に示すように、大きくY軸フレームに適用された複
数のリニアモータ10とX軸フレームに適用されたリニア
モータ20と、から構成される。
トリーの概略的な斜視図である。従来のガントリーは、
図７に示すように、大きくY軸フレームに適用された複
数のリニアモータ10とX軸フレームに適用されたリニア
モータ20と、から構成される。
【０００４】Y軸フレームにそれぞれ適用されたリニア
モータ10のそれぞれは固定子11と可動子12から構成され
る。前記固定子11は“U”字形フレーム11aと前記“U”
字形フレーム11aの内側の両側面に所定間隔で配列され
た永久磁石11bからなる。前記可動子12は“―”字形フ
レーム12aと“―”字形フレーム12aの底面に多数のコイ
ル（図示せず）を所定間隔で配列させた後、絶縁材でモ
ールディングして形成されたコイルブロック12bとから
なる。
モータ10のそれぞれは固定子11と可動子12から構成され
る。前記固定子11は“U”字形フレーム11aと前記“U”
字形フレーム11aの内側の両側面に所定間隔で配列され
た永久磁石11bからなる。前記可動子12は“―”字形フ
レーム12aと“―”字形フレーム12aの底面に多数のコイ
ル（図示せず）を所定間隔で配列させた後、絶縁材でモ
ールディングして形成されたコイルブロック12bとから
なる。
【０００５】複数個のY軸フレームのリニアモータ10の
可動子12に設置されるX軸フレームに適用されたリニア
モータ20は、Y軸複数のリニアモータ10と類似した固定
子21と可動子22からなる。前記固定子21は“U”字形フ
レーム21aと多数の永久磁石21bからなり、可動子22は
“―”字形フレーム22aと多数のコイル（図示せず）が
配列されたコイルブロック22bからなる。
可動子12に設置されるX軸フレームに適用されたリニア
モータ20は、Y軸複数のリニアモータ10と類似した固定
子21と可動子22からなる。前記固定子21は“U”字形フ
レーム21aと多数の永久磁石21bからなり、可動子22は
“―”字形フレーム22aと多数のコイル（図示せず）が
配列されたコイルブロック22bからなる。
【０００６】このように構成されたX-Yガントリーにお
いて、X軸フレームに適用されたリニアモータ20の可動
子22の所定部位には部品をピックアンドプレース（Pick
and Place：つかみ上げて所定位置に位置決めする）す
るためのピックアップモジュール（図示せず）が設置さ
れ、前記ピックアップモジュールのX軸方向への移動はX
軸リニアモータ20の可動子22により移動され、Y軸方向
への移動はY軸複数のリニアモータ10の可動子12により
移動される。
いて、X軸フレームに適用されたリニアモータ20の可動
子22の所定部位には部品をピックアンドプレース（Pick
and Place：つかみ上げて所定位置に位置決めする）す
るためのピックアップモジュール（図示せず）が設置さ
れ、前記ピックアップモジュールのX軸方向への移動はX
軸リニアモータ20の可動子22により移動され、Y軸方向
への移動はY軸複数のリニアモータ10の可動子12により
移動される。
【０００７】前記ピックアップモジュールは、電子部品
をピッキングして印刷回路基板（図示せず）にプレーシ
ング（placing）するため、Ｙ軸リニアモータ10の可動
子12とX軸リニアモータ20の可動子22により印刷回路基
板の上部をX-Y軸方向に移動しながら、ピックアンドプ
レース動作をする。
をピッキングして印刷回路基板（図示せず）にプレーシ
ング（placing）するため、Ｙ軸リニアモータ10の可動
子12とX軸リニアモータ20の可動子22により印刷回路基
板の上部をX-Y軸方向に移動しながら、ピックアンドプ
レース動作をする。
【０００８】前記ピックアンプモジュールを所定方向に
移動させるため、Y軸リニアモータ10とX軸リニアモータ
20が長時間用いられる。前記Y軸リニアモータ10とX軸リ
ニアモータ20を長時間に亘って駆動する場合、それぞれ
の可動子12,22に形成されたコイルブロック12b,22bで熱
が発生する。可動子12,22に形成されたコイルブロック1
2b,22bは多数のコイルで構成されているため、それぞれ
の多数のコイルに駆動電源を連続的に供給する場合に熱
が発生するようになる。
移動させるため、Y軸リニアモータ10とX軸リニアモータ
20が長時間用いられる。前記Y軸リニアモータ10とX軸リ
ニアモータ20を長時間に亘って駆動する場合、それぞれ
の可動子12,22に形成されたコイルブロック12b,22bで熱
が発生する。可動子12,22に形成されたコイルブロック1
2b,22bは多数のコイルで構成されているため、それぞれ
の多数のコイルに駆動電源を連続的に供給する場合に熱
が発生するようになる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
にはそれぞれのY軸複数のリニアモータ10とX軸リニアモ
ータ20で発生された熱を除去する別途の方法がなかった
ので、リニアモータに過負荷が掛かってガントリーが停
止するかまたは誤動作をするという問題点があった。
にはそれぞれのY軸複数のリニアモータ10とX軸リニアモ
ータ20で発生された熱を除去する別途の方法がなかった
ので、リニアモータに過負荷が掛かってガントリーが停
止するかまたは誤動作をするという問題点があった。
【００１０】本発明の目的は、ガントリーのリニアモー
タで過熱が発生すると、該発生した熱を低下させるた
め、Y軸リニアモータとX軸リニアモータの速度を調整す
ることができる、リニアモータを有するガントリーの冷
却制御装置及びその冷却制御方法を提供することであ
る。
タで過熱が発生すると、該発生した熱を低下させるた
め、Y軸リニアモータとX軸リニアモータの速度を調整す
ることができる、リニアモータを有するガントリーの冷
却制御装置及びその冷却制御方法を提供することであ
る。
【００１１】本発明の他の目的は、ガントリーのリニア
モータで過熱が発生する場合、冷却装置を駆動させて冷
却させることできるリニアモータをもつガントリーの冷
却制御装置及びその冷却制御方法を提供するにある。
モータで過熱が発生する場合、冷却装置を駆動させて冷
却させることできるリニアモータをもつガントリーの冷
却制御装置及びその冷却制御方法を提供するにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るため本発明によるリニアモータをもつガントリーの冷
却制御装置は、第１の温度センサを持ち、その所定部位
に放熱板と冷却ファンがそれぞれ設置されるX軸及びY軸
リニアモータの固定子と、第２の温度センサを持ち、そ
の上面に放熱板がそれぞれ設置されるX軸及びY軸リニア
モータの可動子と、可動子の位置及び速度を感知するた
めのエンコーダと、エンコーダ周辺の周辺環境（温度、
湿度、圧力）を測定するためのエンコーダ周辺センサ部
と、第１及び第２の温度信号を受けてアナログ信号から
デジタル信号に変換させて出力するA/D変換部と、可動
子ドライバ部から出力される駆動信号を調整してY軸リ
ニアモータとX軸リニアモータの速度を調整する制御器
と、冷却ファン制御信号と空気バルブ制御信号のデジタ
ル信号をアナログ信号の複数個の駆動信号に変換させる
D/A変換部と、コイルブロックに駆動信号を提供するた
めの可動子ドライバと、から構成される。
るため本発明によるリニアモータをもつガントリーの冷
却制御装置は、第１の温度センサを持ち、その所定部位
に放熱板と冷却ファンがそれぞれ設置されるX軸及びY軸
リニアモータの固定子と、第２の温度センサを持ち、そ
の上面に放熱板がそれぞれ設置されるX軸及びY軸リニア
モータの可動子と、可動子の位置及び速度を感知するた
めのエンコーダと、エンコーダ周辺の周辺環境（温度、
湿度、圧力）を測定するためのエンコーダ周辺センサ部
と、第１及び第２の温度信号を受けてアナログ信号から
デジタル信号に変換させて出力するA/D変換部と、可動
子ドライバ部から出力される駆動信号を調整してY軸リ
ニアモータとX軸リニアモータの速度を調整する制御器
と、冷却ファン制御信号と空気バルブ制御信号のデジタ
ル信号をアナログ信号の複数個の駆動信号に変換させる
D/A変換部と、コイルブロックに駆動信号を提供するた
めの可動子ドライバと、から構成される。
【００１３】本発明のリニアモータをもつガントリーの
冷却制御方法は、少なくとも１個以上の可動子を移動さ
せる段階（S11）と、温度センサでX軸及びY軸固定子の
温度Txs,Tysを測定する段階（S12）と、温度センサでX
軸及びY軸可動子の温度Txm,Tymを測定する段階（S13）
と、測定された固定子及び可動子の温度Txs,Tys,Txm,Ty
m情報を記憶した後、予め設定された温度の比較値とそ
の大きさを比較する段階（S14）と、制御器42は温度Tx
s,Tys,Txm,Tymの情報を記憶した後、予め設定された温
度の比較値と比較して温度Txs,Tys, Txm, Tym情報の
方が高い場合に比較値とその差を算出する段階（S15）
と、算出された温度差に相応する温度利得を算出する段
階（S16）と、温度利得に該当する量だけ第１及び第２
冷却ファン14a,14b及び空気バルブ33を駆動して冷却を
行う段階（S17）と、からなる。
冷却制御方法は、少なくとも１個以上の可動子を移動さ
せる段階（S11）と、温度センサでX軸及びY軸固定子の
温度Txs,Tysを測定する段階（S12）と、温度センサでX
軸及びY軸可動子の温度Txm,Tymを測定する段階（S13）
と、測定された固定子及び可動子の温度Txs,Tys,Txm,Ty
m情報を記憶した後、予め設定された温度の比較値とそ
の大きさを比較する段階（S14）と、制御器42は温度Tx
s,Tys,Txm,Tymの情報を記憶した後、予め設定された温
度の比較値と比較して温度Txs,Tys, Txm, Tym情報の
方が高い場合に比較値とその差を算出する段階（S15）
と、算出された温度差に相応する温度利得を算出する段
階（S16）と、温度利得に該当する量だけ第１及び第２
冷却ファン14a,14b及び空気バルブ33を駆動して冷却を
行う段階（S17）と、からなる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明のリニアモータをも
つガントリーの冷却制御装置及びその冷却制御方法につ
いて図面を用いて説明する。
つガントリーの冷却制御装置及びその冷却制御方法につ
いて図面を用いて説明する。
【００１５】まず、本発明のリニアモータをもつガント
リー冷却制御装置は、図１ないし図３に示すように、ガ
ントリーのYフレーム（図示せず）にはY軸リニアモータ
10が設置され、ガントリーのXフレーム（図示せず）に
はX軸リニアモータ20が設置される。
リー冷却制御装置は、図１ないし図３に示すように、ガ
ントリーのYフレーム（図示せず）にはY軸リニアモータ
10が設置され、ガントリーのXフレーム（図示せず）に
はX軸リニアモータ20が設置される。
【００１６】前記Y軸リニアモータ10は、図１及び図２
に示すように、固定子11と可動子12から構成される。
に示すように、固定子11と可動子12から構成される。
【００１７】前記固定子11は、“U”字形フレーム11a
と、“U”字形フレーム11aの内側の両側面に所定間隔で
配列設置された永久磁石11bと、からなる。前記“U”字
形フレーム11aの内側の所定部位には、図１及び図３に
示すように、第１の温度センサ31が設置される。そし
て、前記“U”字形フレーム11aの所定部位には放熱板11
cが設置され、放熱板11cの所定部位には複数個の冷却フ
ァン11dが設置される。
と、“U”字形フレーム11aの内側の両側面に所定間隔で
配列設置された永久磁石11bと、からなる。前記“U”字
形フレーム11aの内側の所定部位には、図１及び図３に
示すように、第１の温度センサ31が設置される。そし
て、前記“U”字形フレーム11aの所定部位には放熱板11
cが設置され、放熱板11cの所定部位には複数個の冷却フ
ァン11dが設置される。
【００１８】前記可動子12は、“―”字形フレーム12a
と、“―”字形フレームの底面に設置されたコイルブロ
ック12bと、からなる。そして、前記“―”字形フレー
ム12aの一側には第２の温度センサ32が設置され、
“―”字形フレーム12aの上部には放熱板12cが設置され
る。そして、前記コイルブロック12bの上部側には可動
子12を冷却させるためノズル33aを形成したバルブ33が
設置される。
と、“―”字形フレームの底面に設置されたコイルブロ
ック12bと、からなる。そして、前記“―”字形フレー
ム12aの一側には第２の温度センサ32が設置され、
“―”字形フレーム12aの上部には放熱板12cが設置され
る。そして、前記コイルブロック12bの上部側には可動
子12を冷却させるためノズル33aを形成したバルブ33が
設置される。
【００１９】一方、X軸リニアモータ20は、図１及び図
２に示すように、固定子21と可動子22からなる。
２に示すように、固定子21と可動子22からなる。
【００２０】前記固定子21は、“U”字形フレーム21a
と、“U”字形フレーム21aの内側の両側面に所定間隔で
配列設置された永久磁石21bとからなる。そして、前記
“U”字形フレーム21aの内部の一側には第１の温度セン
サ31が設置され、その外部所定部位には放熱板21cが設
置される。
と、“U”字形フレーム21aの内側の両側面に所定間隔で
配列設置された永久磁石21bとからなる。そして、前記
“U”字形フレーム21aの内部の一側には第１の温度セン
サ31が設置され、その外部所定部位には放熱板21cが設
置される。
【００２１】前記可動子22は、“―”字形フレーム22a
と、“―”字形フレームの底面に設置されたコイルブロ
ック22bと、からなる。そして、前記“―”字形フレー
ム22aの一側には第２の温度センサ32が設置され、その
上部には放熱板22cが設置される。そして、前記コイル
ブロック22bの上部側には可動子22を冷却させるためノ
ズル33aを形成したバルブ33が設置される。
と、“―”字形フレームの底面に設置されたコイルブロ
ック22bと、からなる。そして、前記“―”字形フレー
ム22aの一側には第２の温度センサ32が設置され、その
上部には放熱板22cが設置される。そして、前記コイル
ブロック22bの上部側には可動子22を冷却させるためノ
ズル33aを形成したバルブ33が設置される。
【００２２】前記可動子22の位置及び速度を感知するた
め、図３に示すように、エンコーダ35が設置され、前記
エンコーダ35はリニアエンコーダであり、前記エンコー
ダ35は表示部材35aと、可動子22と所定間隔を置いて設
置された光センサ35bと、からなる。前記表示部材35aの
一側にはエンコーダ周辺センサ部34が設置され、前記エ
ンコーダ周辺センサ部34はエンコーダ35の周辺環境を測
定してアナログ信号の周辺環境信号を発生する。即ち、
エンコーダ周辺センサ部34はエンコーダ35の周辺で発生
される湿度、温度及び圧力を測定し得るセンサからな
る。
め、図３に示すように、エンコーダ35が設置され、前記
エンコーダ35はリニアエンコーダであり、前記エンコー
ダ35は表示部材35aと、可動子22と所定間隔を置いて設
置された光センサ35bと、からなる。前記表示部材35aの
一側にはエンコーダ周辺センサ部34が設置され、前記エ
ンコーダ周辺センサ部34はエンコーダ35の周辺環境を測
定してアナログ信号の周辺環境信号を発生する。即ち、
エンコーダ周辺センサ部34はエンコーダ35の周辺で発生
される湿度、温度及び圧力を測定し得るセンサからな
る。
【００２３】本発明のリニアモータを有するガントリー
の冷却制御装置は、図４に示すように、制御器42は可動
子ドライバ44に位置、速度、加速度制御信号などのドラ
イバ制御信号を発生して出力する。そして、可動子ドラ
イバ44では駆動信号を発生してコイルブロック22に伝達
することにより、コイルブロック22に電流が流れるよう
になり、この電流によりリニアモータが動作する。
の冷却制御装置は、図４に示すように、制御器42は可動
子ドライバ44に位置、速度、加速度制御信号などのドラ
イバ制御信号を発生して出力する。そして、可動子ドラ
イバ44では駆動信号を発生してコイルブロック22に伝達
することにより、コイルブロック22に電流が流れるよう
になり、この電流によりリニアモータが動作する。
【００２４】エンコーダ周辺センサ部34では周辺環境
（温度、湿度、圧力など）を測定して周辺信号を発生
し、エンコーダ35は可動子22の速度及び位置を感知して
エンコーダ信号を発生する。そして、第１及び第２の温
度センサ31,32はそれぞれ第１及び第２の温度センサ信
号を発生する。前記信号はA/D変換部41でデジタル信号
に変換されて制御器42に入力される。そして、制御器42
は受信された信号を入力し、予め設定された設定環境値
と比較する。もし、入力された周辺環境値が設定環境値
よりも高い場合（即ち、あまり長い時間の間にリニアモ
ータが動作されて過熱された場合）、制御器42は制御器
42から出力される第１及び第２冷却ファン制御信号及び
空気バルブ制御信号をD/A変換部43でデジタル信号をア
ナログ信号に変換させて、第１駆動信号と第２駆動信号
を受けて第１及び第２冷却ファン14a,14b及び空気バル
ブ33を駆動して冷却させる。
（温度、湿度、圧力など）を測定して周辺信号を発生
し、エンコーダ35は可動子22の速度及び位置を感知して
エンコーダ信号を発生する。そして、第１及び第２の温
度センサ31,32はそれぞれ第１及び第２の温度センサ信
号を発生する。前記信号はA/D変換部41でデジタル信号
に変換されて制御器42に入力される。そして、制御器42
は受信された信号を入力し、予め設定された設定環境値
と比較する。もし、入力された周辺環境値が設定環境値
よりも高い場合（即ち、あまり長い時間の間にリニアモ
ータが動作されて過熱された場合）、制御器42は制御器
42から出力される第１及び第２冷却ファン制御信号及び
空気バルブ制御信号をD/A変換部43でデジタル信号をア
ナログ信号に変換させて、第１駆動信号と第２駆動信号
を受けて第１及び第２冷却ファン14a,14b及び空気バル
ブ33を駆動して冷却させる。
【００２５】さらに、Y軸リニアモータ10とX軸リニアモ
ータ20を冷却させる間に過熱が発生される場合、該発生
した過熱を低くするために本発明は、Y軸リニアモータ1
0とX軸リニアモータ20の速度を制御する。
ータ20を冷却させる間に過熱が発生される場合、該発生
した過熱を低くするために本発明は、Y軸リニアモータ1
0とX軸リニアモータ20の速度を制御する。
【００２６】以下、本発明のリニアモータをもつガント
リーの冷却制御方法を図４及び図５を参照して説明す
る。
リーの冷却制御方法を図４及び図５を参照して説明す
る。
【００２７】Y軸リニアモータ10とX軸リニアモータ20を
もつガントリーでモジュールヘッド（図示せず）を移動
させるため、それぞれの可動子12,22を移動させる段階
（S11）を行う。前記可動子12,22を移動させるため制御
器42は、位置制御信号POS、速度制御信号VEL、加速度制
御信号ACCなどのドライバ制御信号を発生して可動子ド
ライバ44に伝送する。前記可動子ドライバ44は受信され
たドライバ制御信号に応じて駆動信号に相応する駆動信
号を発生して、Y軸コイルブロック12b及びX軸コイルブ
ロック22bにそれぞれ伝送し可動子12,22を駆動して移動
させる。前記可動子12,22が移動して所定作業を行う間
に、Y軸リニアモータ10とX軸リニアモータ20で発生する
熱を第１の温度センサ31と第２の温度センサ32で感知す
る。
もつガントリーでモジュールヘッド（図示せず）を移動
させるため、それぞれの可動子12,22を移動させる段階
（S11）を行う。前記可動子12,22を移動させるため制御
器42は、位置制御信号POS、速度制御信号VEL、加速度制
御信号ACCなどのドライバ制御信号を発生して可動子ド
ライバ44に伝送する。前記可動子ドライバ44は受信され
たドライバ制御信号に応じて駆動信号に相応する駆動信
号を発生して、Y軸コイルブロック12b及びX軸コイルブ
ロック22bにそれぞれ伝送し可動子12,22を駆動して移動
させる。前記可動子12,22が移動して所定作業を行う間
に、Y軸リニアモータ10とX軸リニアモータ20で発生する
熱を第１の温度センサ31と第２の温度センサ32で感知す
る。
【００２８】まず、第１の温度センサ31でX軸及びY軸固
定子11,21の温度Txs,Tysを測定する段階（S12）を行っ
てから、第２の温度センサ32でX軸及びY軸可動子12,22
の温度Txm,Tymを測定する段階（S13）を行う。前記第１
及び第２の温度センサ31,32から出力する第１及び第２
の温度信号はそれぞれA/D変換部41で受信される。
定子11,21の温度Txs,Tysを測定する段階（S12）を行っ
てから、第２の温度センサ32でX軸及びY軸可動子12,22
の温度Txm,Tymを測定する段階（S13）を行う。前記第１
及び第２の温度センサ31,32から出力する第１及び第２
の温度信号はそれぞれA/D変換部41で受信される。
【００２９】そして、A/D変換部41から出力する第１及
び第２の温度感知信号に応じて固定し11,21と可動子12,
22の温度Txs,Tys,Txm,Tym情報を記憶した後、予め設定
された温度の比較値とその大きさを比較する段階（S1
4）を行う。
び第２の温度感知信号に応じて固定し11,21と可動子12,
22の温度Txs,Tys,Txm,Tym情報を記憶した後、予め設定
された温度の比較値とその大きさを比較する段階（S1
4）を行う。
【００３０】前記制御器42は、温度Txs,Tys,Txm,Tym情
報を記憶した後、予め設定された温度の比較値と比較し
て、温度Txs,Tys,Txm,Tym情報が高い場合には比較値と
その差を算出する段階（S15）を行う。
報を記憶した後、予め設定された温度の比較値と比較し
て、温度Txs,Tys,Txm,Tym情報が高い場合には比較値と
その差を算出する段階（S15）を行う。
【００３１】そして、算出された温度差に従い制御器42
は温度利得を算出する段階（S16）を行う。前記制御器4
2では温度利得に該当する量だけを第１及び第２の冷却
ファン制御信号と空気バルブ制御信号に分散してD/A変
換部43に送り、アナログ信号の第１乃至第３駆動信号に
変換して第１及び第２の冷却ファン14a,14b及び空気バ
ルブ33を駆動して冷却する段階（S17）を行う。
は温度利得を算出する段階（S16）を行う。前記制御器4
2では温度利得に該当する量だけを第１及び第２の冷却
ファン制御信号と空気バルブ制御信号に分散してD/A変
換部43に送り、アナログ信号の第１乃至第３駆動信号に
変換して第１及び第２の冷却ファン14a,14b及び空気バ
ルブ33を駆動して冷却する段階（S17）を行う。
【００３２】一方、本発明のリニアモータを有するガン
トリーの他の冷却制御方法は、図６に示すように、Y軸
リニアモータ10とX軸リニアモータ20を持つガントリー
でモジュールヘッド（図示せず）を移動させるため、そ
れぞれの可動子12,22を移動させる段階（S110）を行
う。前記可動子12,22を移動させるため制御器42は位置
制御信号POS、速度制御信号VEL、加速度制御信号ACCな
どのドライバ制御信号を発生して可動子ドライバ44に伝
送する。
トリーの他の冷却制御方法は、図６に示すように、Y軸
リニアモータ10とX軸リニアモータ20を持つガントリー
でモジュールヘッド（図示せず）を移動させるため、そ
れぞれの可動子12,22を移動させる段階（S110）を行
う。前記可動子12,22を移動させるため制御器42は位置
制御信号POS、速度制御信号VEL、加速度制御信号ACCな
どのドライバ制御信号を発生して可動子ドライバ44に伝
送する。
【００３３】そして、エンコーダ35の位置及び速度を測
定する段階（S120）を行う。また、エンコーダ周辺セン
サ部34の温度、湿度及び圧力を測定する段階（S130）を
行う。前記エンコーダ35の位置及び速度信号とエンコー
ダ周辺センサ部34の周辺信号をA/D変換部41でデジタル
信号に変換して制御器42に入力する。
定する段階（S120）を行う。また、エンコーダ周辺セン
サ部34の温度、湿度及び圧力を測定する段階（S130）を
行う。前記エンコーダ35の位置及び速度信号とエンコー
ダ周辺センサ部34の周辺信号をA/D変換部41でデジタル
信号に変換して制御器42に入力する。
【００３４】第１の温度センサ31にX軸及びY軸固定子1
1,21の温度Txs,Tysと第２の温度センサ32にX軸及びY軸
可動子12,22の温度Txm,Tymを測定する段階（S140）を行
う。そして、前記第１及び第２の温度センサ31,32で出
力される第１及び第２の温度信号はそれぞれA/D変換部4
1で受信される。
1,21の温度Txs,Tysと第２の温度センサ32にX軸及びY軸
可動子12,22の温度Txm,Tymを測定する段階（S140）を行
う。そして、前記第１及び第２の温度センサ31,32で出
力される第１及び第２の温度信号はそれぞれA/D変換部4
1で受信される。
【００３５】そして、A/D変換部41で出力される第１及
び第２の温度感知信号に応じて固定子11,21と可動子12,
22の温度Txs,Tys,Txm,Tym情報を記憶した後、予め設定
された温度の比較値とその大きさを比較する段階（S15
0）を行う。
び第２の温度感知信号に応じて固定子11,21と可動子12,
22の温度Txs,Tys,Txm,Tym情報を記憶した後、予め設定
された温度の比較値とその大きさを比較する段階（S15
0）を行う。
【００３６】前記制御器42は、温度Txs,Tys,Txm,Tym情
報を記憶した後に予め設定された温度の比較値と比較し
て、温度Txs,Tys,Txm,Tym情報が高い場合には比較値と
の差を算出する段階（S160）を行う。
報を記憶した後に予め設定された温度の比較値と比較し
て、温度Txs,Tys,Txm,Tym情報が高い場合には比較値と
の差を算出する段階（S160）を行う。
【００３７】そして、算出された温度差に応じて制御器
42は温度利得を算出する段階（S170）を行う。前記制御
器42では温度利得に該当される量だけを第１及び第２の
冷却ファン制御信号と空気バルブ制御信号に分散してD/
A変換部43に送り、アナログ信号の第１乃至第３の駆動
信号に変換して第１及び第２の冷却ファン14a,14b及び
空気バルブ33を駆動して冷却する段階（S180）を行う。
42は温度利得を算出する段階（S170）を行う。前記制御
器42では温度利得に該当される量だけを第１及び第２の
冷却ファン制御信号と空気バルブ制御信号に分散してD/
A変換部43に送り、アナログ信号の第１乃至第３の駆動
信号に変換して第１及び第２の冷却ファン14a,14b及び
空気バルブ33を駆動して冷却する段階（S180）を行う。
【００３８】そして、前記第１及び第２冷却ファン14a,
14b及び空気バルブ33を冷却する段階（S180）を行った
後、再び温度Txs,Tys,Txm,Tym情報と比較値を比較する
段階（S190）を行う。そして、前記温度Txs,Tys,Txm,Ty
m情報が比較値よりも低い場合にはS110段階とS120段階
の間に移動する。
14b及び空気バルブ33を冷却する段階（S180）を行った
後、再び温度Txs,Tys,Txm,Tym情報と比較値を比較する
段階（S190）を行う。そして、前記温度Txs,Tys,Txm,Ty
m情報が比較値よりも低い場合にはS110段階とS120段階
の間に移動する。
【００３９】しかし、前記温度Txs,Tys,Txm,Tym情報が
比較値よりも高い場合には、可動子12,22の移動命令を
補正する段階S200を行う。
比較値よりも高い場合には、可動子12,22の移動命令を
補正する段階S200を行う。
【００４０】上述のように、ガントリーに適用されたY
軸複数のリニアモータとX軸リニアモータで過熱が発生
された場合、それぞれのコイルブロックに伝送される駆
動信号を調整して、Y軸複数のリニアモータとX軸リニア
モータの速度を減速させて駆動させることにより、Y軸
複数のリニアモータとＸ軸リニアモータで発生される過
熱を除去することができるようになる。
軸複数のリニアモータとX軸リニアモータで過熱が発生
された場合、それぞれのコイルブロックに伝送される駆
動信号を調整して、Y軸複数のリニアモータとX軸リニア
モータの速度を減速させて駆動させることにより、Y軸
複数のリニアモータとＸ軸リニアモータで発生される過
熱を除去することができるようになる。
【００４１】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ガ
ントリーに適用されたリニアモータで過熱が発生した場
合、コイルブロックに伝送される駆動信号を調整してリ
ニアモータの速度を調整することにより、リニアモータ
で発生される過熱を除去することができるようになっ
て、過熱によるリニアモータの誤動作を防止し得るとい
う効果がある。
ントリーに適用されたリニアモータで過熱が発生した場
合、コイルブロックに伝送される駆動信号を調整してリ
ニアモータの速度を調整することにより、リニアモータ
で発生される過熱を除去することができるようになっ
て、過熱によるリニアモータの誤動作を防止し得るとい
う効果がある。
【図１】本発明によるリニアモータが適用されたガント
リーの冷却制御装置の斜視図である。
リーの冷却制御装置の斜視図である。
【図２】図１に示したガントリーの冷却制御装置の平面
図である。
図である。
【図３】図１に示したガントリーの冷却制御装置の側面
図である。
図である。
【図４】図１に示したガントリーの冷却制御装置及びそ
の方法を説明するためのブロック図である。
の方法を説明するためのブロック図である。
【図５】図１に示したガントリーの冷却制御方法を示し
たフローチャートである。
たフローチャートである。
【図６】本発明の他のガントリーの冷却制御方法を示し
たフローチャートである。
たフローチャートである。
【図７】従来のリニアモータが適用されたガントリーの
斜視図である。
斜視図である。
１０ Y軸リニアモータ １１ 固定子 １１ａ “U”字形フレーム １１ｂ 永久磁石 １１ｃ 放熱板 １１ｄ 冷却ファン １２ 可動子 １２ａ “―”字形フレーム １２ｂ コイルブロック １２ｃ 放熱板 ２０ X軸リニアモータ ３１ 第１の温度センサ ３２ 第２の温度センサ ３３ バルブ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 キー、ハー、リー 大韓民国ソウル、ドンヤク‐ク、サダン- ドン、419−48
Claims (6)
- 【請求項１】固定子と可動子を具備したリニアモータを
有するガントリーの冷却制御装置において、 第１の温度センサを持ち、その所定部位に放熱板と冷却
ファンがそれぞれ設置されるX軸及びY軸リニアモータの
固定子と、 第２の温度センサを持ち、その上面に放熱板がそれぞれ
設置されるX軸及びY軸リニアモータの可動子と、 前記可動子の位置及び速度を感知するためのエンコーダ
と、 前記エンコーダ周辺の周辺環境（温度、湿度、圧力）を
測定するためのエンコーダ周辺センサ部と、 第１及び第２の温度信号を受けてアナログ信号からデジ
タル信号に変換させて出力するA/D変換部と、 可動子ドライバ部から出力される駆動信号を調整してY
軸リニアモータとX軸リニアモータの速度を調整する制
御器と、 冷却ファン制御信号と空気バルブ制御信号のデジタル信
号をアナログ信号の複数個の駆動信号に変換させるD/A
変換部と、 コイルブロックに駆動信号を提供するための可動子ドラ
イバと、を備えたことを特徴とするリニアモータを有す
るガントリーの冷却制御装置。 - 【請求項２】前記エンコーダは可動子と位置情報を表示
する表示部材と、前記表示部材に表示された可動子の位
置情報を読み出すための光センサと、を備えたことを特
徴とする請求項１に記載のリニアモータを有するガント
リーの冷却制御装置。 - 【請求項３】前記可動子はその一側に所定間隔を置いて
可動子を冷却させるため空気バルブと連結された空気ノ
ズルが設置されることを特徴とする請求項１に記載のリ
ニアモータを有するガントリーの冷却制御装置。 - 【請求項４】少なくとも１個以上の可動子を移動させる
段階（S11）と、 温度センサでX軸及びY軸固定子の温度Txs,Tysを測定す
る段階（S12）と、 温度センサでX軸及びY軸可動子の温度Txm,Tymを測定す
る段階（S13）と、 前記測定された固定子及び可動子の温度Txs,Tys,Txm,Ty
m情報を記憶した後、予め設定された温度の比較値とそ
の大きさを比較する段階（S14）と、 前記制御器42は温度Txs,Tys,Txm,Tymの情報を記憶した
後、予め設定された温度の比較値と比較して、温度Txs,
Tys, Txm, Tym情報の方が高い場合に比較値とその差
を算出する段階（S15）と、 前記算出された温度差に相応する温度利得を算出する段
階（S16）と、 温度利得に該当する量だけ第１及び第２の冷却ファン14
a,14b及び空気バルブ33を駆動して冷却を行う段階（S1
7）と、を備えたことを特徴とするリニアモータを有す
るガントリーの冷却制御方法。 - 【請求項５】可動子を移動させる段階（S110）と、 エンコーダの位置及び速度を測定する段階（S120）と、 周辺環境（温度、湿度及び圧力）を測定する段階（S13
0）と、 X軸及びY軸固定子11,21の温度Txs,TysとX軸及びY軸可動
子12,22の温度Txm,Tymを測定する段階（S140）と、 前記測定された温度Txs,Tys,Txm,Tym情報を記憶した後
に予め設定された温度の比較値とその大きさを比較する
段階（S150）と、 前記温度Txs,Tys,Txm,Tym情報が比較値よりも高い場合
には比較値との差を算出する段階（S160）と、 温度利得を算出する段階（S170）と、 第１及び第２冷却ファン14a,14b及び空気バルブ33を駆
動して冷却する段階（S180）と、 冷却後に温度Txs,Tys,Txm,Tym情報と比較値を再び比較
する段階（S190）と、 前記温度Txs,Tys,Txm,Tym情報が比較値よりも高い場合
には可動子12,22の移動命令を補正する段階（S200）
と、を備えたことを特徴とするリニアモータを有するガ
ントリーの冷却制御方法。 - 【請求項６】前記段階（S190）の以後、温度Txs,Tys,Tx
m,Tym情報が比較値よりも低い場合には、段階（S110）
と段階（S120）との間の段階に移動することを特徴とす
る請求項５に記載のリニアモータを有するガントリーの
冷却制御方法。
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| KR1020000018126A KR100351968B1 (ko) | 2000-04-07 | 2000-04-07 | 리니어 모터가 적용된 갠트리의 냉각제어장치 |
| KR2000-18127 | 2000-04-07 |
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|---|---|
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