KR20010094815A - 리니어 모터에 적용된 엔코더의 보정장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 리니어 모터에 적용되어 가동자의 위치 및 속도를 감지하는 엔코더가 주변환경으로 인한 열변형을 보정하기 위한 엔코더의 보정장치에 관한 것이다.
상기 본 발명은 가동자의 일측면에 장착되어 직선 운동하는 가동자의 위치를 감지하여 위치신호를 발생하는 엔코더와, 엔코더의 주변환경을 측정하여 주변환경신호를 발생하여 출력하는 엔코더 주변센서부와, 위치신호와 주변환경신호를 수신받아 디지털신호로 변환시켜 출력하는 A/D 변환부와, 위치감지신호와 주변환경감지신호를 수신받고 수신된 주변환경감지신호와 미리 설정되어 저장된 주변환경치와 비교하여 서로 다르면 주변환경감지신호에 따라 엔코더의 열변형량을 산출하여 가동자의 위치를 이동시켜 엔코더를 보정하는 제어기로 구성하여, 엔코더의 주변환경에 의해 엔코더가 오류를 발생하는 경우 주변환경을 감지하여 발생된 오류만큼 가동자를 이동시켜 엔코더를 보정함으로써 엔코더가 적용된 리니어 모터의 제품 신뢰성을 개선시키는 데 있다.

Description

리니어 모터에 적용된 엔코더의 보정장치{Encoder Correcting System for Linear Motor}
본 발명은 리니어 모터(linear motor)에 적용된 엔코더(encoder)의 보정장치에 관한 것으로, 특히 리니어 모터에 적용되어 가동자의 위치 및 속도를 감지하는 엔코더가 주변환경으로 인한 열변형을 보정하기 위한 엔코더의 보정장치에 관한 것이다.
일반적으로 리니어 모터는 고정자(stator)와 가동자(mover)로 구성된다. 가동자가의 구성에 따라 가동 코일형과 가동 영구자석형으로 분류된다. 가동 코일형은 고정자가 영구자석으로 구성되며 가동자는 코일로 구성되고, 가동 영구자석형은 고정자가 코일로 구성되며 가동자는 영구자석으로 구성된다.
가동 코일형은 가동자에 구성된 다수의 코일로 구동전원을 공급하면 코일과 소정 거리로 이격되어 설치되는 고정자에 설치된 영구자석 사이에 가동자를 밀어내는 추력이 발생되며, 이 추력을 이용하여 가동자를 직접적으로 직선 운동시키게 된다. 고정자와 가동자로 구성된 가동 코일형 리니어 모터의 구성을 첨부된 도면을 이용하여 설명하면 다음과 같다.
도 1은 종래의 리니어 모터의 사시도이다. 도시된 바와 같이, 크게 고정자(10)와 가동자(20)로 구성된다. 고정자(10)는 "U"자형 프레임(frame)(11)의 내측 양측벽에 다수의 영구자석(12)이 소정 간격으로 이격되어 설치된다. 가동자(20)는 "-"자형 프레임(21)의 저면에 다수의 코일(22a)을 소정 간격으로 배열한 후 몰딩(molding)하여 형성한 코일블럭(coil block)(22)이 형성된다.
가동자(20)를 구성하고 있는 코일블럭(22)에 소정의 구동전원을 공급하면 코일블럭(22)에 설치된 다수의 코일(22a)에서 전류가 발생되어 고정자(10)의 내측 양측면에 설치된 영구자석(12)과 코일블럭 사이에서 자계가 발생되며, 이 자계에 의하여 가동자(20)을 이동시키기 위한 추력이 발생된다.
가동자(20)를 직선 운동시키기 위해 다수의 코일(22a)로 구동 전원을 장시간 공급하면 코일(22a)에서 코일(22a) 자체의 특성으로 공급된 구동전원에 의한 열을 발생하게 된다. 코일(22a)에서 장시간 열이 발생되는 경우 가동자(20)의 "-"자형 프레임(21)이 열적 변형을 일으키거나 코일(22a)에서 발생된 열이 고정자(10)의 "U"자형 프레임(11)으로 전도되어 고정자(10)가 열적 변형을 발생시킬 수 있다.
고정자와 가동자의 주변 환경에 의한 열전달에 의해 리니어 모터에 적용된 엔코더의 길이 변위가 발생될 수 있으며, 이 길이 변위에 의해 리니어 모터의 위치 오류를 발생시킬 수 있다. 엔코더에 의해 리니어 모터의 위치 오류가 발생되면 리니어 모터의 정밀 작업시 신뢰성이 저하되는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 리니어 모터에 적용되어 직선 운동을 하는 가동자의 위치 및 속도를 감지하는 엔코더가 주변환경으로 인한 자체의 변형을 보상하기 위해 엔코더의 주변환경을 측정하여 엔코더의 열변형을 보정하기 위한 엔코더의 보정장치를 제공함에 있다.
도 1은 종래의 리니어 모터의 사시도,
도 2는 본 발명에 의한 리니어 모터의 사시도,
도 3은 도 2에 도시된 리니어 모터의 평면도,
도 4는 도 2에 도시된 리니어 모터의 측면도,
도 5는 도 2에 도시된 엔코더의 보정장치의 블록도,
도 6은 도 2에 도시된 엔코더의 보정방법을 나타낸 흐름도이다.
〈도면의 주요부분에 대한 부호 설명〉
10: 고정자 11: "U"자형 프레임
12: 영구자석 13: 방열판
14a: 제1냉각팬 14b: 제2냉각팬
20: 가동자 21: "-"자형 프레임
22: 코일블럭 23: 방열판
31: 제1온도센서 32: 제2온도센서
33: 공기밸브 34: 엔코더 주변센서
상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 가동자의 일측면에 장착되어 직선 운동하는 가동자의 위치를 감지하여 위치신호를 발생하는 엔코더와, 엔코더의 주변환경을 측정하여 주변환경신호를 발생하여 출력하는 엔코더 주변센서부와, 위치신호와 주변환경신호를 수신받아 디지털신호로 변환시켜 출력하는 주변센서A/D 변환부와, 위치감지신호와 주변환경감지신호를 수신받고 수신된 주변환경감지신호와 미리 설정되어 저장된 주변환경치와 비교하여 서로 다르면 주변환경감지신호에 따라 엔코더의 열변형량을 산출하여 가동자의 위치를 이동시켜 엔코더를 보정하는 제어기로 구성되는 것을 특징으로 하는 리니어 모터에 적용된 엔코더의 보정장치를 제공한다.
상기 엔코더는 리니어 엔코더가 사용되며 리니어 엔코더는 가동자로부터 소정 거리로 이격 설치되는 가동자의 위치정보를 표시하는 표시부재와 표시부재에 표시된 가동자의 위치정보를 독출하기 위한 광센서로 구성되고, 엔코더 주변센서부에서 측정되는 주변환경은 엔코더의 주변의 습도와 온도와 압력이 측정됨을 특징으로 한다.
(실시예)
이하, 본 발명을 첨부된 도면을 이용하여 설명하면 다음과 같다.
도 2는 본 발명에 의한 리니어 모터의 사시도, 도 3은 도 2에 도시된 리니어 모터의 평면도, 도 4는 도 2에 도시된 리니어 모터의 측면도 및 도 5는 도 2에 도시된 엔코더의 보정장치의 블록도이다. 도시된 바와 같이, 가동자(20)의 일측면에 장착되어 직선 운동하는 가동자(20)의 위치를 감지하여 위치신호를 발생하는 엔코더(35)와, 엔코더(35)의 주변환경을 측정하여 주변환경신호를 발생하여 출력하는엔코더 주변센서부(34)와, 위치신호와 주변환경신호를 수신받아 디지털신호로 변환시켜 출력하는 A/D 변환부(41)와, 위치감지신호와 주변환경감지신호를 수신받고 수신된 주변환경감지신호와 미리 설정되어 저장된 주변환경치와 비교하여 서로 다르면 주변환경감지신호에 따라 엔코더의 열변형량을 산출하여 가동자(20)의 위치를 이동시켜 엔코더(35)를 보정하는 제어기(42)로 구성된다.
본 발명의 구성 및 작용을 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
고정자(10)와 가동자(20)로 구성된 리니어 모터는 고정자(10)에 설치되는 가동자(20)로 소정 간격으로 이격된 상태에서 가동자(20)를 직선 운동을 시키게 된다. 가동자(20)가 설치되는 고정자(10)는 "U"자형 프레임(11)의 내측 양측벽에 다수의 영구자석(12)이 설치되며, 가동자(20)는 "-"자형 프레임(21)의 저면에 다수의 코일(도시 않음)을 소정 간격으로 배열한 후 몰딩하여 형성한 코일블럭(22)이 형성된다.
가동자(20)를 직선 운동시키기 위해 도 5에 도시된 제어기(42)는 가동자 드라이버(44)로 위치제어신호(POS), 속도제어신호(VEL) 및 가속도제어신호(ACC) 등의 드라이버 제어신호를 발생하여 출력한다. 제어기(42)로부터 출력되는 위치제어신호(POS), 속도제어신호(VEL) 및 가속도 제어신호(ACC)e 등의 드라이버 제어신호는 가동자 드라이버(mover driver)(44)에서 수신받아 코일블럭(22)으로 공급하기 위한 구동신호를 발생하여 출력한다.
가동자 드라이버(44)는 수신된 위치제어신호(POS), 속도제어신호(VEL) 및 가속도 제어신호(ACC) 등의 드라이버 제어신호에 따라 가동자(20)의 코일블럭(22)으로 공급하기 위한 구동전원인 구동신호를 발생하게 된다. 구동신호를 수신받은 코일블럭(22)은 수신된 구동신호에 의해 전류가 흐르게 되며, 이 전류의 흐름에 의해 고정자(10)에 설치된 다수의 영구자석(12)과 코일블럭(22)의 사이에서 자계가 발생되어 가동자(20)를 밀어내는 추력이 발생된다. 이 추력에 의해 가동자(20)가 직선 운동을 하게 된다.
가동자(20)를 구동시키기 위해 코일블럭(22)으로 구동 전원을 장시간 공급하면 코일블럭(22)에서 열이 발생된다. 코일(22a)에 발생되는 열은 가동자(20)의 "-"자형 프레임(21)이 열적 변형의 원인이 되거나 고정자(10)의 "U"자형 프레임(11)으로 전도되어 열적 변형을 발생시키는 원인이 된다. 이를 냉각시키기 위해 고정자(10)의 일측면에 방열판(13)과 복수의 냉각팬(14a,14b)이 설치되며, 가동자(20)의 상면에는 방열판(23)이 설치되고 도3에서와 같이 공기 노즐(air nozzle)(33a)이 설치된다. 공기 노즐(33a)로 유입되는 공기를 개폐시키기 위해 공기 밸브(air valve)(33)가 구비된다.
고정자(10)와 가동자(20)에 각각 설치된 방열판(13)(23), 복수의 냉각팬(14a,14b) 및 공기 노즐(33a)을 이용해 고정자(10)와 가동자(20)에서 발생된 열을 냉각시키게 된다. 고정자(10)에 설치된 방열판(13)은 가동자(10)의 코일블럭(22)에서 발생되어 전도되는 열을 외부로 방출시켜, 방열판(13)을 통해 방출되는 열을 보다 강제로 외부로 빠르게 배출시키기 위해 방열판(13)의 양측면에 복수의 냉각팬(14a,14b)이 설치된다. 복수의 냉각팬(14a,14b)는 제1냉각팬(14a)과 제2냉각팬(14b)으로 구성된다.
방열판(13), 제1냉각팬(14a) 및 제2냉각팬(14b)을 이용해 열을 외부로 방출시키는 고정자(10)와 달리 가동자(20)는 상면에 설치된 방열판(23)을 통해 코일블럭(22)에서 전도되는 열을 외부로 방출하게 된다. 코일블럭(22)에서 발생되는 열을 빠르게 외부로 배출시키기 위해 공기가 사용된다. 공기는 외부로부터 공급되며 공기의 개폐는 공기밸브(33)에 의해 개폐된다. 공기밸브(33)가 개방되면 공기노즐(33a)을 통해 코일블럭(22)으로 공기가 분사되어 강제로 코일블럭(22)에서 발생된 열을 냉각시키게 된다.
엔코더(encoder)(34)는 가동자(20)의 속도 및 위치를 감지하여 엔코더 신호를 발생하고 발생된 엔코더 신호는 A/D 변환부(41)에서 엔코더 감지신호인 디지털신호로 변환되어 제어기(42)에서 수신받는다. 제어기(42)는 수신된 엔코더 감지신호를 이용하여 현재의 가동자(20)의 위치 및 속도를 판별하게 된다.
가동자(20)의 위치신호를 바탕으로 속도를 감지하기 위해 사용되는 엔코더(35)가 주변환경에 의해 발생된 열변형 오차를 보정하는 방법을 첨부된 도 6을 이용하여 설명하면 다음과 같다.
고정자(10)에 설치된 가동자(20)가 직선 운동을 하여 이동하고(S11) 있는 상태에서 엔코더 주변센서부(34)에서 엔코더(35)의 주변환경을 측정하여 아나로그신호인 주변환경신호를 발생하여 출력한다. 엔코더 주변센서부(34)는 엔코더(35)의 주변에서 발생되는 습도, 온도 및 압력이 측정한다(S12). 각각을 측정하기 위해 엔코더 주변센서부(34)는 습도, 온도 및 압력센서로 구성된다.
엔코더 주변센서부(34)에서 엔코더(35)의 주변환경을 측정함과 동시에 엔코더(35)는 현재 가동자(20)의 위치를 감지하여 아나로그신호인 위치지신호를 발생한다. 가동자(20)의 위치를 감지하기 위해 엔코더(35)는 리니어 엔코더가 사용되며, 리니어 엔코더는 표시부재(35a)와 광센서(35b)로 구성된다. 표시부재(35a)는 가동자(20)로부터 소정 거리로 이격 설치되는 가동자(20)의 위치정보를 표시한다. 표시부재(35a)에 표시된 가동자의 위치정보는 광센서(35b)에 의해 독출되어 위치신호로 발생하게 된다.
엔코더 주변센서부(34)와 엔코더(35)로부터 발생되는 위치신호와 주변환경신호를 A/D 변환부(41)에서 수신받아 디지탈신호인 위치감지신호와 주변환경감지신호로 변환시켜 출력한다. A/D 변환부(41)로부터 출력되는 위치감지신호와 주변환경감지신호를 제어기(42)에서 수신받아 엔코더(35)의 주변환경치를 산출하게 된다(S13). 제어기(42)에서 엔코더(35)에 주변에서 발생되는 온도, 습도 및 압력이 산출되면 미리 설정되어 저장된 주변환경치와 비교하여 차이가 있는지를 판별한다(S14).
판별 결과, 미리 설정되어 저장된 주변환경치와 주변환경감지신호와 차이가 있으면 가동자(20)를 이동시켜 엔코더(35)를 보정하게 된다(S15). 엔코더(35)의 주변환경에 따라 엔코더(35)에서 수신된 위치감지신호에 따라 엔코더(35)의 열변형에 의한 오차를 산출하고, 이 산출된 값만큼 제어기(42)는 가동자(20)를 이동시켜 엔코더(35)를 보정하게 된다. 제어기(42)는 가동자(20)를 이동시키기 위해 가동자(20)로 다수의 제어신호를 발생한다. 가동자(20)를 이동시키기 위한 위치(POS), 속도(VEL) 및 가속도제어신호(ACC) 등의 드라이버 제어신호를 발생하여가동자 드라이버(44)로 전송한다.
가동자 드라이버(44)는 드라이버 제어신호를 수신받아 코일블럭(22)으로 공급하기 위한 구동신호를 발생하여 출력하고, 출력되는 구동신호를 수신받은 코일블럭(22)에 전류가 흐르게 된다. 이 전류의 흐름에 의해 가동자(20)를 이동시키기 위한 추력이 발생되어 가동자(20)를 이동시키게 된다. 설명되지 않은 D/A 변환부(43)는 제어기(42)로부터 발생되는 제1 및 제2냉각팬제어신호와 공기밸브제어신호를 수신받아 디지탈신호를 아나로그신호로 변환시킨 다수의 구동신호인 제1, 제2 및 제3구동신호를 발생하여 출력한다. D/A 변환부(43)로부터 출력되는 제1, 제2 및 제3구동신호를 수신받은 제1냉각팬(14a), 제2냉각팬(14b) 및 공기밸브(33)는 수신된 제1, 제2 및 제3구동신호에 따라 동작되어 고정자(10)와 가동자(20)를 냉각시키게 된다.
이상과 같이 엔코더가 온도, 습도 및 압력 등의 주변환경에 의한 길이 변위가 발생되면 엔코더에서 독출한 리니어 모터의 위치신호에 오차가 발생된다. 발생된 오차만큼 제어기(42)는 리니어 모터의 가동자(20)를 이동시켜 엔코더에서 발생한 오차를 보상함으로써 리니어 모터의 정밀 작업시 신뢰성을 개선시킬 수 있게 된다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 리니어 모터에 적용된 엔코더의 주변환경에 의해 엔코더가 오류를 발생하는 경우 주변환경을 감지하여 발생된 오차만큼 가동자를 이동시켜 엔코더에서 발생한 오차를 보상함으로써 엔코더가 적용된 리니어 모터의 제품 신뢰성을 개선시키는 이점이 있다.

Claims (4)

  1. 리니어 모터에 적용되어 가동자의 위치 및 속도를 감지하는 엔코더를 보정하는 장치에 있어서,
    가동자의 일측면에 장착되어 직선 운동하는 가동자의 위치를 감지하여 위치신호를 발생하는 엔코더와;
    상기 엔코더의 주변환경을 측정하여 주변환경신호를 발생하여 출력하는 엔코더 주변센서부와;
    상기 위치신호와 주변환경신호를 수신받아 디지털신호로 변환시켜 출력하는 A/D 변환부와;
    상기 위치감지신호와 주변환경감지신호를 수신받고 수신된 주변환경감지신호와 미리 설정되어 저장된 주변환경치와 비교하여 서로 다르면 수신된 주변환경감지신호에 따라 엔코더의 열변형량을 산출하여 가동자의 위치를 이동시켜 상기 엔코더를 보정하는 제어기로 구성됨을 특징으로 하는 리니어 모터에 적용된 엔코더의 보정장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 엔코더는 가동자로부터 소정 거리로 이격 설치되는 가동자의 위치정보를 표시하는 표시부재와; 상기 표시부재에 표시된 가동자의 위치정보를 독출하기 위한 광센서로 구성됨을 특징으로 하는 리니어 모터에 적용된 엔코더의 보정장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 엔코더는 리니어 엔코더가 사용됨을 특징으로 하는 리니어 모터에 적용된 엔코더의 보정장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 엔코더 주변센서부에서 측정되는 주변환경은 엔코더의 주변의 습도와 온도와 압력이 측정됨을 특징으로 하는 리니어 모터에 적용된 엔코더의 보정장치.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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