JP2001296336A - 半導体装置およびその検査方法 - Google Patents
半導体装置およびその検査方法Info
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Abstract
態を低コスト且つ短時間で検査可能な半導体装置および
その検査方法を提供する。 【解決手段】 被検査LSI4内部の複数の電源端子P
D1〜PD3と電源線10との間にスイッチSW1〜S
W3を、被検査LSI内部の電源線と接地線11間にス
イッチSWTを設ける。ある電源端子の接続状態を検査
する場合、その電源端子と電源線間に接続されたスイッ
チを閉状態にし、電源線と接地線間のスイッチSWTを
閉状態とし、残りのスイッチを開状態にする。電源端子
と接地端子の間に電圧を与え、電流が流れるか否かによ
り、電源端子が接続状態か否かを判断する。
Description
有する半導体装置における端子間の接続検査に関し、特
に、複数の電源端子と接地端子の接続検査に関する。
形成されているチップが実装されているパッケージにつ
いて述べる。例えば、プラスチック・パッケージの場合
には、チップの信号線とリードとの接続は、信号線に接
続されているパッドをワイヤによってリードと接続する
ことによって実現している。ところで、チップをパッケ
ージに封入する途中において、問題が発生する場合があ
る。その問題とは、適切にパッドにワイヤが接続されて
いなかったためにワイヤがパッドから外れてしまうこと
である。そして、チップがパッケージに封入された後
に、ワイヤが外れているLSIは動作不良を起こす。し
たがって、これらのLSIは不良品と考えなければなら
ない。そのため、パッドとリードがワイヤによって正し
く接続されたか否かを、チップがパッケージに実装され
封入された後に、検査装置によって検査する必要があ
る。
ードとパッド間を電気的に接続されているか否かを調べ
るための接続検査方法とは、次のようなものである。検
査対象となるLSI(以下、被検査LSIと呼ぶ)の電
源端子と接地端子に所定の電圧を与え、検査対象となる
接続部分に対応するリードに試験電圧を与えるという方
法をとる。
関する被検査LSIとその検査装置の構成図である。
れているワイヤW1はサージ保護ダイオードDUのカソ
ードに、ワイヤW3はサージ保護ダイオードDLのアノ
ードに、ワイヤW2はサージ保護ダイオードDUのアノ
ードとサージ保護ダイオードDLのカソードとの接続部
に、各々、被検査LSIの内部配線を通して接続されて
いる。
接続か非接続かを検査するためには、ワイヤW1、W3
が接続されている被検査LSI4’のリードL1、L3
にそれぞれ電圧3.3Vと0Vを与え、次に、ワイヤW
2が接続されているリードL2にサージ保護ダイオード
DLの順方向電流が流れる電圧−0.8Vを与える。
ば、サージ保護ダイオードDLには、順方向電流Iaが
流れ、電圧発生器12によって順方向電流Iaが検知さ
れる。電圧発生器12は電圧源と該電圧源から出力され
る電流を測定する電流計を備えているものとする。
ジ保護ダイオードDLは、順方向電圧が与えられないの
で電流は流れない。サージ保護ダイオードDLの順方向
電流が流れれば、ワイヤW2は接続されていおり、順方
向電流が流れなければ、ワイヤW2は非接続であること
を検知することができる。ただし、接続検査はワイヤW
2が接続されている配線が信号線である場合に限ってい
る。例えば、デジタル回路6’の入力端子に接続されて
いる信号線などが対象である。
地線の接続状態を検査するための適切な方法はなかっ
た。その理由について図17を用いて説明する。
関する被検査LSIとその検査装置の構成図である。
プ内部の回路に要求されている動作周波数や動作精度、
あるいは電源ノイズ量を保証するために複数の端子が設
けられている。ここでは、3つの電源端子が設けられた
LSIの場合について説明をおこなう。接地端子につい
ては、電源端子と同様であるから説明を省略する。
の電圧供給は、被検査LSI4’のチップ内部にある3
つのリードL4、L5、L6、ワイヤW4、W5、W
6、パッドPD4、PD5、PD6により行われる。つ
まり、LSI側の電源線10’から分岐した電源線A、
B、Cは、それぞれ、パッドPD4、PD5、PD6と
ワイヤW4、W5、W6を介して、3つのリードL4、
L5、L6によって、プリント基板側電源線8’に接続
されている。また、被検査LSI4’の電源線A、B、
Cに各々接続されているサージ保護ダイオードD1、D
2、D3のアノードには、図面の簡略化のために省略し
ているが、被検査LSI4’の外部から接地電圧GND
が供給されている。
て、LSI側電源線10’がプリント基板側電源線8’
と断絶されていたとする。この場合、従来の信号線の検
査方法を電源線の検査に適用すると、以下のような問題
が生じてしまう。
生器12により電圧を与える。電圧発生器12が、プリ
ント基板側電源線8’に与える電圧は−0.8Vであ
る。ここで、電圧−0.8Vはサージ保護ダイオードの
順方向電流が流れるときの電圧である。サージ保護ダイ
オードD1、D2、D3はそれぞれ、電源線A、B、C
に接続されており、順方向電流が流れる電圧が与えられ
る。従って、サージ保護ダイオードD2は、ワイヤW5
が非接続であるが、ワイヤW4、W6と共通にLSI側
電源線10’に接続されているために順方向電流が流れ
る。その結果、サージ保護ダイオードD1、D2、D3
には順方向電流Ia、Ib、Icが流れる。
て、電流I=Ia+Ib+Icとして検知される。順方
向電流Iは、ワイヤW5が非接続状態であっても流れ
る。ワイヤW4、W5、W6が接続されている場合は、
順方向電流はサージ保護ダイオードD1、D2、D3に
生じ、ワイヤW4、W6が接続されワイヤW5が非接続
の場合でも順方向電流はサージ保護ダイオードD1、D
2、D3に生じる。よって、ワイヤW5が非接続状態で
も接続状態でも流れる電流量の変化はない。したがっ
て、ワイヤW5の接続状態を検知することができない。
態であるにも関わらず、ワイヤW4、W6が接続状態な
らば、各々のサージ保護ダイオードに順方向電流が流れ
た。その理由は、被検査LSI4’の外部と内部では、
各々、一つの電源線であって、外部の電源線に相当する
プリント基板側電源線8’と内部の電源線に相当するL
SI側電源線10’との間を、複数の電源線が並列接続
されているためである。チップ内部の電源線を共通化す
る理由は、電源端子毎にチップ内部の電源線を分割する
ことによる電源配線の面積の増大が、チップ・コストが
高くなるのを避けるためである。
れるプリント基板の電源線8’が共通化されるのは、以
下の理由がある。
査LSI4’のリードL4、L5、L6の間にある電源
線のインピーダンスを小さくすることが望まれる。特
に、インダクタンスを小さくする必要がある。そのため
に、プリント基板側電源線8’を分割することで配線幅
を細くしてしまわないで、電源線を共通化して幅を広く
設計することになる。
パッケージ(以下、C−CSPと呼ぶ)などによる、端
子部分のインダクタンスが小さいという特徴を活かし
て、回路の動作周波数を増大させる目的でC−CSPを
使用する場合も増加してくる。そして、電源端子の低イ
ンピーダンスを必要とする回路の場合は、アプリケーシ
ョン上でLSIが実装されるプリント基板の電源線に寄
生するインピーダンスも小さくなくてはならない。そう
しなければ、低インピーダンスのパッケージを利用して
も、プリント基板の電源線に寄生するインピーダンスの
方が大きくなってしまえば、総合したインピーダンスが
大きくなり、パッケージの低インピーダンス特性を有効
に利用することができなくなる。
を低下させなければならないのは、検査用プリント基板
においても同じである。検査用のプリント基板の電源線
に寄生するインピーダンスを小さくしなければ、アプリ
ケーション上の動作と同じ動作状態を実現することがで
きなくなる。それでは、精度の高い検査を行っていると
は言えない。つまり、小型パッケージに実装されている
LSIほど、検査用プリント基板の電源に寄生するイン
ピーダンスを小さく設計する必要がある。このことは、
LSIの内部のデジタル回路やメモリ回路などの電源端
子の検査に対する必要性だけでなく、LSIでの演算結
果を信号として、外部の信号受信器に伝達するための出
力回路の電源端子においても同等以上に検査の必要性が
重要となる。
し、電源端子に含まれるインピーダンス、特に、インダ
クタンスに重点をおいて設計する必要性が増す。より精
度よく設計されたLSIの電源端子数と接地端子数であ
れば、全ての電源端子が接続されていることを検査する
必要がある。それだけ、設計マージンが小さいためであ
る。
必要性は、これまで以上に高まってくる。今後、LSI
の動作周波数は必然的に高くなるので、電源線と接地線
のインダクタンスを低下させなければならない。それだ
け、LSIのアプリケーション上の動作に近い検査状態
を実現する必要性がある。電源端子と接地端子の接続検
査を実施することがより優れたLSIの品質を保証す
る。
がら、そのような要求を満足する検査方法が今までなか
った。
てなされたものであり、アプリケーション上のLSIの
実装状態に近い検査用プリント基板を実現でき、検査装
置に多種の性能を要求せず、検査に必要な時間が短く、
低コストで電源端子と接地端子の接続状態を検査するこ
とが可能な半導体装置およびその検査方法を提供するこ
とを目的とする。
め、本発明に係る第1の半導体装置は、半導体集積回路
を有する半導体装置であって、半導体集積回路の内部に
別個に設けられ、半導体集積回路の外部に設けられた外
部配線から異なる電源電位が印加される内部配線と、内
部配線間に接続されたスイッチ部とを備えたことを特徴
とする。
側のワイヤと接地端子側のワイヤの両方について一度に
接続状態の検査をすることができ、検査に必要な時間を
短縮することが可能になる。また、半導体集積回路の外
部にある電源線と接地線のインダクタンスを小さくする
ことができるので、LSIの高速化および低消費電力化
に対応することが可能になる。
第2の半導体装置は、半導体集積回路を有する半導体装
置であって、半導体集積回路の内部に設けられた第1の
内部配線および第2の内部配線と、半導体集積回路の内
部に設けられた第1の内部端子、第2の内部端子、第3
の内部端子、および第4の内部端子と、半導体集積回路
の外部に設けられた第1の外部配線および第2の外部配
線と、第1の外部配線と第1の内部端子を接続するため
の第1の接続部と、第1の外部配線と第2の内部端子を
接続するための第2の接続部と、第2の外部配線と第3
の内部端子を接続するための第3の接続部と、第2の外
部配線と第4の内部端子を接続するための第4の接続部
と、第1の内部端子と第1の内部配線との間に接続され
た第1のスイッチ部と、第2の内部端子と前記第1の内
部配線との間に接続された第2のスイッチ部と、第1の
内部配線と第2の内部配線との間に接続された第3のス
イッチ部と、第3の内部端子と第2の内部配線との間に
接続された第4のスイッチ部と、第4の内部端子と第2
の内部配線との間に接続された第5のスイッチ部とを備
えたことを特徴する。
および接地端子における接続状態の検査を可能にし、検
査に必要な時間も短縮することが可能になる。また、半
導体集積回路の外部にある電源線と接地線のインダクタ
ンスを小さくすることができるので、LSIの高速化お
よび低消費電力化に対応することが可能になる。
チ部は、第3のスイッチ部が閉状態のときにそこを流れ
る電流を所定量に制限する電流制限機能を有することが
好ましい。
圧発生回路の許容電流値を超えない電流量で検査をする
ことができる。また、電圧発生回路は、出力電流の許容
値を超えないため過電流保護回路が動作せずその復帰の
ための時間も要さないので、検査時間を短縮することが
できる。
路の内部に、第1から第5のスイッチ部の開閉動作を制
御するスイッチ制御部を備えることが好ましい。
作に要する時間を短縮することができるので、検査時間
を短縮することが可能になる。
集積回路の外部に設けられた電源配線と接続された内部
の電源配線に接続されており、スイッチ制御部の接地端
子は半導体集積回路の外部に設けられた接地配線と接続
された内部の接地配線に接続されており、内部の電源配
線および内部の接地配線の少なくとも一方は、第1の内
部配線および第2の内部配線と分離されていることが好
ましい。
源電圧の供給に必要な回路を削減することが可能にな
る。
スイッチ部はPチャンネルMOSトランジスタを備え、
第2の半導体装置はさらに、半導体集積回路の内部にN
チャンネルMOSトランジスタを備え、PチャンネルM
OSトランジスタのソース端子は第2の内部端子に接続
され、そのドレイン端子は第1の内部配線に接続されて
おり、所定の電圧が第1の外部配線と第2の外部配線に
与えられたときにPチャンネルMOSトランジスタが導
通状態になるように、NチャンネルMOSトランジスタ
のゲート端子が第2の内部端子に接続され、そのソース
端子が第4の内部端子に接続され、そのドレイン端子が
PチャンネルMOSトランジスタのゲート端子に接続さ
れていることが好ましい。
の外部配線に所定の電圧を与えることで、第2のスイッ
チ部を閉状態にすることができる。
スイッチ部はNチャンネルMOSトランジスタを備え、
第2の半導体装置はさらに、半導体集積回路の内部にP
チャンネルMOSトランジスタを備え、NチャンネルM
OSトランジスタのソース端子は第4の内部端子に接続
され、そのドレイン端子は第2の内部配線に接続されて
おり、所定の電圧が第1の外部配線と第2の外部配線に
与えられたときにNチャンネルMOSトランジスタが導
通状態になるように、PチャンネルMOSトランジスタ
のゲート端子が第4の内部端子に接続され、そのソース
端子が第2の内部端子に接続され、そのドレイン端子が
NチャンネルMOSトランジスタのゲート端子に接続さ
れていることが好ましい。
の外部配線に所定の電圧を与えることで、第5のスイッ
チ部を閉状態にすることができる。
第3の半導体装置は、半導体集積回路を有する半導体装
置であって、半導体集積回路の内部に設けられた内部配
線と、半導体集積回路の内部に設けられた第1の内部端
子および第2の内部端子と、半導体集積回路の外部に設
けられた第1の外部配線と、第1の外部配線と前記第1
の内部端子を接続するための第1の接続部と、第1の外
部配線と前記第2の内部端子を接続するための第2の接
続部と、第1の内部端子と前記内部配線との間に接続さ
れた第1のスイッチ部と、第2の内部端子と前記内部配
線との間に接続された第2のスイッチ部と、内部配線に
流れる電流を検知するための電流検知部とを備えたこと
を特徴とする。
積回路の外部に電流検知回路を設ける必要がなく、外部
の検査装置の検査能力に対する負担を軽減し、低コスト
の検査を行うことができる。
部に、第1および第2のスイッチ部の開閉動作を制御す
るスイッチ制御部を備えることが好ましい。
作に要する時間を短縮することができるので、検査時間
を短縮することが可能になる。
部の電源端子は半導体集積回路の外部に設けられた電源
配線と接続された内部の電源配線に接続されており、ス
イッチ制御部の接地端子は半導体集積回路の外部に設け
られた接地配線と接続された内部の接地配線に接続され
ており、内部の電源配線および内部の接地配線の少なく
とも一方は、内部配線と分離されていることが好まし
い。
源電圧の供給に必要な回路を削減することが可能にな
る。
チ部はPチャンネルMOSトランジスタを備え、第3の
半導体装置はさらに、半導体集積回路の内部にNチャン
ネルMOSトランジスタを備え、PチャンネルMOSト
ランジスタのソース端子は第2の内部端子に接続され、
そのドレイン端子は内部配線に接続されており、所定の
電圧が第1の外部配線と半導体集積回路の外部に設けら
れた第2の外部配線とに与えられたときにPチャンネル
MOSトランジスタが導通状態になるように、Nチャン
ネルMOSトランジスタのゲート端子が第2の内部端子
に接続され、そのソース端子が第2の外部配線に接続さ
れ、そのドレイン端子がPチャンネルMOSトランジス
タのゲート端子に接続されていることが好ましい。
スイッチ部はNチャンネルMOSトランジスタを備え、
第3の半導体装置はさらに、半導体集積回路の内部にP
チャンネルMOSトランジスタを備え、NチャンネルM
OSトランジスタのソース端子は第1の外部配線に接続
され、そのドレイン端子は内部配線に接続されており、
所定の電圧が第1の外部配線と半導体集積回路の外部に
設けられた第2の外部配線に与えられたときにNチャン
ネルMOSトランジスタが導通状態になるように、Pチ
ャンネルMOSトランジスタのゲート端子が第1の外部
配線に接続され、そのソース端子が第2の外部配線に接
続され、そのドレイン端子がNチャンネルMOSトラン
ジスタのゲート端子に接続されていることが好ましい。
配線に所定の電圧を与えることで、第2のスイッチ部を
閉状態にすることができる。
第4の半導体装置は、半導体集積回路を有する半導体装
置であって、半導体集積回路の内部に設けられた内部配
線と、半導体集積回路の内部に設けられた第1の内部端
子、第2の内部端子、および第3の内部端子と、半導体
集積回路の外部に設けられた第1の外部配線および第2
の外部配線と、第1の外部配線と第1の内部端子を接続
するための第1の接続部と、第1の外部配線と第2の内
部端子を接続するための第2の接続部と、第2の外部配
線と第3の内部端子を接続するための第3の接続部と、
第1の内部端子と内部配線との間に接続された第1のス
イッチ部と、第2の内部端子と内部配線との間に接続さ
れた第2のスイッチ部と、第3の内部端子と内部配線と
の間に接続された第3のスイッチ部とを備えたことを特
徴とする。
および接地端子における接続状態の検査を可能にし、検
査に必要な時間も短縮することが可能になる。また、半
導体集積回路の外部にある電源線と接地線のインダクタ
ンスを小さくすることができるので、LSIの高速化お
よび低消費電力化に対応することが可能になる。
部に、第1のスイッチ部、第2のスイッチ部、および第
3のスイッチ部の開閉動作を制御するスイッチ制御部を
備えることが好ましい。
作に要する時間を短縮することができるので、検査時間
を短縮することが可能になる。
部の電源端子は半導体集積回路の外部に設けられた電源
配線と接続された内部の電源配線に接続されており、ス
イッチ制御部の接地端子は半導体集積回路の外部に設け
られた接地配線と接続された内部の接地配線に接続され
ており、内部の電源配線および内部の接地配線の少なく
とも一方は、内部配線と分離されていることが好まし
い。この構成によれば、スイッチ制御部への電源電圧の
供給に必要な回路を削減することが可能になる。
体集積回路の外部に設けられた電源配線と接続された内
部の電源配線に接続されており、スイッチ制御部の接地
端子は第3の内部端子に接続されていることが好まし
い。この構成によれば、スイッチ制御部への電源電圧の
供給に必要な回路をさらに削減することが可能になる。
導体集積回路の外部に設けられた接地配線と接続された
内部の接地配線に接続されており、スイッチ制御部の電
源端子は第3の内部端子に接続されていることが好まし
い。この構成によれば、スイッチ制御部への電源電圧の
供給に必要な回路をさらに削減することが可能になる。
チ部はPチャンネルMOSトランジスタを備え、第4の
半導体装置はさらに、半導体集積回路の内部にNチャン
ネルMOSトランジスタを備え、PチャンネルMOSト
ランジスタのソース端子は第2の内部端子に接続され、
そのドレイン端子は内部配線に接続されており、所定の
電圧が第1の外部配線と第2の外部配線に与えられたと
きにPチャンネルMOSトランジスタが導通状態になる
ように、NチャンネルMOSトランジスタのゲート端子
が第2の内部端子に接続され、そのソース端子が第2の
外部配線に接続され、そのドレイン端子がPチャンネル
MOSトランジスタのゲート端子に接続されていること
が好ましい。
スイッチ部はNチャンネルMOSトランジスタを備え、
第4の半導体装置はさらに、半導体集積回路の内部にP
チャンネルMOSトランジスタを備え、NチャンネルM
OSトランジスタのソース端子は第2の内部端子に接続
され、そのドレイン端子は半導体集積回路の内部に設け
られた内部配線に接続されており、所定の電圧が第1の
外部配線と第2の外部配線に与えられたときにNチャン
ネルMOSトランジスタが導通状態になるように、Pチ
ャンネルMOSトランジスタのゲート端子が第2の内部
端子に接続され、そのソース端子が第2の外部配線に接
続され、そのドレイン端子がNチャンネルMOSトラン
ジスタのゲート端子に接続されていることが好ましい。
配線に所定の電圧を与えることで、第2のスイッチ部を
閉状態にすることができる。
第5の半導体装置は、半導体集積回路を有する半導体装
置であって、半導体集積回路の内部に設けられた第1の
内部配線と、半導体集積回路の内部に設けられた第1の
内部端子および第2の内部端子と、半導体集積回路の外
部に設けられた第1の外部配線と、半導体集積回路の外
部に設けられ第1の内部配線に接続された第2の外部配
線と、第1の外部配線と第1の内部端子を接続するため
の第1の接続部と、第1の外部配線と第2の内部端子を
接続するための第2の接続部と、第1の内部端子と第1
の内部配線との間に接続された第1のスイッチ部と、第
2の内部端子と第1の内部配線との間に接続された第2
のスイッチ部とを備えたことを特徴とする。
および接地端子における接続状態の検査を可能にし、検
査に必要な時間も短縮することが可能になる。また、半
導体集積回路の外部にある電源線と接地線のインダクタ
ンスを小さくすることができるので、LSIの高速化お
よび低消費電力化に対応することが可能になる。さら
に、IDDQテストを容易に実行することができる。
部に、第1および第2のスイッチ部の開閉動作を制御す
るスイッチ制御部を備えることが好ましい。
作に要する時間を短縮することができるので、検査時間
を短縮することが可能になる。
部の電源端子は半導体集積回路の外部に設けられた電源
配線と接続された内部の電源配線に接続されており、ス
イッチ制御部の接地端子は半導体集積回路の外部に設け
られた接地配線と接続された内部の接地配線に接続され
ており、内部の電源配線および内部の接地配線の少なく
とも一方は、第1の内部配線と分離されていることが好
ましい。この構成によれば、スイッチ制御部への電源電
圧の供給に必要な回路を削減することが可能になる。
の内部配線に接続されており、スイッチ制御部の接地端
子は半導体集積回路の外部に設けられた接地配線と接続
された内部の接地配線に接続されていることが好まし
い。この構成によれば、スイッチ制御部への電源電圧の
供給に必要な回路をさらに削減することが可能になる。
1の内部配線に接続されており、スイッチ制御部の電源
端子は半導体集積回路の外部に設けられた電源配線と接
続された内部の電源配線に接続されていることが好まし
い。この構成によれば、スイッチ制御部への電源電圧の
供給に必要な回路をさらに削減することが可能になる。
半導体装置の第1の検査方法は、前記第1の半導体装置
を検査する方法であって、スイッチ部を閉状態にして、
外部配線と半導体集積回路の内部に設けられた内部端子
との間の接続状態を検査することを特徴とする。
のワイヤと接地端子側のワイヤの両方について一度に接
続状態の検査をすることができ、検査に必要な時間を短
縮することが可能になる。
半導体装置の第2の検査方法は、前記第2の半導体装置
を検査する方法であって、第1のスイッチ部、第3のス
イッチ部、および第4のスイッチ部を閉状態にすると共
に、第2のスイッチ部および第5のスイッチ部を開状態
にし、第1の外部配線と第2の外部配線とに検査信号を
与えて、第1の接続部による第1の外部配線と第1の内
部端子との接続状態、および第3の接続部による第2の
外部配線と第3の内部端子との接続状態を検査すること
を特徴する。
よび接地端子における接続状態の検査を可能にし、検査
に必要な時間も短縮することが可能になる。
半導体装置の第3の検査方法は、前記第3の半導体装置
を検査する方法であって、第1のスイッチ部を閉状態に
すると共に第2のスイッチ部を開状態にし、電流検知部
による検知結果に基づいて、第1の接続部による第1の
外部配線と第1の内部端子との接続状態を検査すること
を特徴とする。
回路の外部に電流検知回路を設ける必要がなく、外部の
検査装置の検査能力に対する負担を軽減し、低コストの
検査を行うことができる。
半導体装置の第4の検査方法は、前記第4の半導体装置
を検査する方法であって、第1のスイッチ部と第3のス
イッチ部を閉状態にすると共に、第2のスイッチ部を開
状態にして、第1の接続部による第1の外部配線と第1
の内部端子との接続状態を検査することを特徴とする。
よび接地端子における接続状態の検査を可能にし、検査
に必要な時間も短縮することが可能になる。
半導体装置の第5の検査方法は、前記第5の半導体装置
を検査する方法であって、第1のスイッチ部を閉状態に
すると共に前記第2のスイッチ部を開状態にし、第1の
外部配線から第2の外部配線に検査信号を与えて、第1
の接続部による第1の外部配線と第1の内部端子との接
続状態を検査することを特徴とする。
よび接地端子における接続状態の検査を可能にし、検査
に必要な時間も短縮することが可能になる。また、ID
DQテストを容易に実行することができる。
ついて、図面を参照して説明する。
の実施形態に係る被検査LSIとその検査装置の基本構
成図である。
の出力電流を計測する電流計、3は検査装置、4は被検
査LSI、5は検査制御回路(スイッチ制御部)であ
る。6はLSIの電源線10(第1の内部配線)とLS
Iの接地線11(第2の内部配線)との間に接続されて
いる回路群であり、例えば、乗算器などのように複数の
デジタル回路が含まれる回路である。7は半導体チップ
(以下、チップと呼ぶ。)である。
1、L2、L3、ワイヤW1、W2(第1、第2の接続
部)、W3、およびパッドPD1、PD2(第1、第2
の内部端子)、PD3によって構成されており、接地端
子は、リードL4、L5、L6、ワイヤW4、W5(第
3、第4の接続部)、W6、およびパッドPD4、PD
5(第3、第4の内部端子)、PD6によって構成され
ている。そして、被検査LSI4の外部にあるプリント
基板の電源線8(第1の外部配線)と接地線9(第2の
外部配線)が、それぞれ、パッケージのリードL1〜L
3とリードL4〜L6に接続されている。パッケージの
リードL1〜L6とチップ7のパッドPD1〜PD6の
間は、ワイヤW1〜W6によって接続されている。
W2(第2のスイッチ部)、SW3が、それぞれ、電源
側のパッドPD1、PD2、PD3とLSIの電源線1
0との間に接続されている。一方、スイッチSW4(第
4のスイッチ部)、SW5(第5のスイッチ部)、SW
6が、それぞれ、接地側のパッドPD4、PD5、PD
6とLSIの接地線11との間に接続されている。さら
に、LSIの電源線10とLSIの接地線11との間に
は、スイッチSWT(第3のスイッチ部)が接続されて
いる。LSIの電源線10とLSIの接地線11によ
り、チップ7の内部にある回路群6に動作電流が供給さ
れる。
のパッケージへの封入状態について述べる。
てチップ7を封入する場合は、チップ7のパッドとパッ
ケージのリードとを電気的に接続するためにワイヤを用
いる。ワイヤをパッドとリード間に接続した後に、プラ
スチックによってチップを封入する。ところで、ワイヤ
とパッドあるいはリードとの接続が不適切となる場合と
しては、チップ7をプラスチック・パッケージに封入す
る過程において、ワイヤがリードやパッドから離れてし
まう場合がある。したがって、チップ7をプラスチック
・パッケージに封入した後に、ワイヤの接続が適切に実
現できているか否かを検査する必要がある。
て述べる。
めの手順について、図1を参照しながら説明する。ま
ず、スイッチSW1、SW4、SWTを閉状態にし、ス
イッチSW2、SW3、SW5、SW6を開状態にす
る。これらのスイッチの開閉動作は、検査制御回路5に
よって制御されている。この場合は、検査装置3の電圧
源1から図示の矢印で示された電流が流れる。この電流
は、図示のように、プリント基板の電源線8から被検査
LSI4の内部を通り、プリント基板の接地線9に流れ
る。スイッチのうちで閉状態にあるのは、スイッチSW
1、SWT、SW4であるから、電流の経路はスイッチ
SW1、SWT、SW4を通る経路だけである。従っ
て、電圧源1をプリント基板の電源線8とプリント基板
の接地線9に与えたときに、電流が流れるか否かを検知
することで、ワイヤW1、W4の接続状態を検査するこ
とができる。
PD1、PD4とリードL1、L4との間に接続されて
いれば、電圧源1から出力される電流が流れる。一方、
ワイヤW1、W4の少なくとも一つが非接続状態にある
場合には、プリント基板の電源線8とプリント基板の接
地線9に電圧が与えられても電流は流れない。電圧源1
から出力された電流が流れたか否かは、電流計2によっ
て検知される。電流計2が電流を検出すれば、ワイヤW
1、W4は接続されており、電流を検出しなければ、ワ
イヤW1、W4のどちらか一方か両方が非接続状態であ
ることを検知することができる。
ないことによって、ワイヤW1、W4のどちらか一方か
両方が非接続であることは検知するが、ワイヤW1、W
4のうちで、どちらのワイヤが非接続であるかは特定す
る必要はない。というのは、全て電源端子と接地端子が
接続されているLSIと、一つでも電源端子か接地端子
が非接続であるLSIとを分別することができればよ
く、何れか一つの端子でも非接続であれば不良品のLS
Iとなるためである。
が発生した場合には、スイッチの開閉状態と電流検出結
果を総合することにより、非接続状態にあるワイヤを特
定することが可能である。例えば、ワイヤW1、W4の
うちで、どちらが非接続状態であるかを特定するために
は、上述の検査と、次の検査結果を組み合わせる必要が
ある。
W5、SWTを閉状態に、スイッチSW2、SW3、S
W4、SW6を開状態にして、電圧源1から電流が流れ
るかどうかを検査する。電流が流れたならば、リードL
1、L5は接続されていることになるので、前回の検査
結果と合わせてリードL4が非接続状態であることが特
定できる。
ば、2回目の検査でのスイッチの開閉状態から、スイッ
チSW5を開状態に移行させ、スイッチSW6を閉状態
に移行させて電流が流れるかどうかを検査する。電流が
流れれば、前回の2回の結果と合わせてリードL4が非
接続であったことがわかる。一方、電流が流れなけれ
ば、リードL1が非接続であったことがわかる。
が検知されなかった場合には、リードL4、L5、L6
の全てが非接続状態にある確率は極めて小さいという前
提条件を考慮して、リードL1が非接続状態であると判
断している。つまり、3つの検査で全て電流が検知され
なかった場合は、論理的には、リードL1が非接続であ
ったか、リードL4、L5、L6が全て非接続であった
かを特定することは出来ない。しかし、リードL4、L
5、L6の全てが非接続になる可能性は極めて小さいと
考えれば、リードL1が非接続状態であると特定するこ
とが可能となる。
査方法は、ワイヤW1、W4の接続検査と同様にして行
われる。ワイヤW2、W5の接続状態を検知するために
は、スイッチSW2、SW5、SWTを閉状態に、スイ
ッチSW1、SW3、SW4、SW6を開状態にして、
電圧源1から出力される電流を電流計2で検知する。ワ
イヤW3、W6の接続状態を検査するためには、スイッ
チSW3、SW6、SWTを閉状態に、スイッチSW
1、SW2、SW4、SW5を開状態にして、電圧源1
から出力される電流を電流計2で検知する。
W4〜6の役割としては、電圧源1からの電流が流れる
経路を、並列接続されているワイヤW1〜W3、ワイヤ
W4〜W6から検査対象になるワイヤだけに限定するこ
とにある。スイッチSWTは、電圧源1から供給される
電流が、LSIの電源線10からLSIの接地線11に
流れる経路を作成する役割をしている。そして、スイッ
チSWTは、電源端子側のワイヤと接地端子側のワイヤ
の両方を一度に検査できるようにする役割がある。
プ7の電源端子と接地端子は、各々に3つの端子が接続
されている場合について説明した。しかしながら、電源
端子か接地端子のどちらか一方の端子が単一である場合
には、単一の端子である端子側に接続されているスイッ
チSW1〜3、あるいはSW4〜6は不要になる。例え
ば、接地端子側が単一の端子ならば、スイッチSW4〜
6は不要になり、単一のパッドとLSIの接地線間にス
イッチを介さずに直接接続すればよい。
態として、CMOSトランジスタで構成されたLSIの
接続検査について、図2および図3を参照して説明す
る。
検査LSIとその検査装置の構成図である。
19は電圧源と該電圧源から出力している電流を測定す
る電流計とが内蔵されている電圧発生器であり、20は
クロック発生器であり、21は信号源である。18は検
査装置であり、電圧発生器19、クロック発生器20、
および信号源21を含んでいる。22は検査制御回路
(スイッチ制御部)であり、17は被検査LSIであ
り、16はチップである。プリント基板の電源線8(第
1の外部配線)と接地線9(第2の外部配線)は、被検
査LSI17と検査装置18を接続するために設けられ
ている。プリント基板と検査装置18は被検査LSI1
7の外部に存在している。
え、プリント基板の電源線8とLSIの電源線10(第
1の内部配線)との間は、リードL1、L2、L3、ワ
イヤW1、W2(第1、第2の接続部)、W3、パッド
PD1(第1の内部端子)、PD2、PD3(第2の内
部端子)によって接続されている。PMOSトランジス
タで形成されているスイッチMP1(第1のスイッチ
部)、MP2、およびMPS3/MPM3(第2のスイ
ッチ部)が、対応するパッドPD1、PD2、PD3と
LSIの電源線10(第1の内部配線)との間に接続さ
れている。接地端子側も電源端子と同じ構成であるが、
スイッチMN1(第4のスイッチ部)、MN2、および
MNS3/MNM3(第5のスイッチ部)が、PMOS
ではなくNMOSトランジスタである点が異なる。スイ
ッチMN1、MN2、およびMNS3/MNM3は、対
応するパッドPD4(第3の内部端子)、PD5、PD
6(第4の内部端子)とLSIの接地線11(第2の内
部配線)との間に接続されている。リードL1〜L6
は、被検査LSI17の外部に接続可能な端子であり、
リードL1〜L3はプリント基板の電源線8に、リード
L4〜L6はプリント基板の接地線9に電気的に接続さ
れている。
との間にはスイッチMT(第3のスイッチ部)が接続さ
れている。スイッチMPS3/MPM3とパッドPD3
の接続点には、スイッチMPT(PチャンネルMOSト
ランジスタ)のソース端子SとスイッチMNT(Nチャ
ンネルMOSトランジスタ)のゲート端子Gが接続さ
れ、スイッチMNS3/MNM3とパッドPD6との接
続点には、スイッチMNTのソース端子SとスイッチM
PTのゲート端子Gが接続され、スイッチMPS3のゲ
ート端子Gには、スイッチMNTのドレイン端子Dが接
続され、スイッチMNS3のゲート端子Gにはスイッチ
MPTのドレイン端子Dが接続されている。
査LSI17の内部にある回路群15に接続されてお
り、動作電流を供給する。回路群15は、図1の回路群
6と同じであり、例えば、乗算器やデコーダなどの多数
の論理回路を含むデジタル回路群である。検査制御回路
22の動作電流は、LSIの電源線と接地線から、それ
ぞれVdd端子、Vss端子に供給される。
イッチMT、MN1、MN2、MNM3の閉状態におけ
る抵抗値は、信号出力端子に設けられている被検査LS
I17の外部の負荷容量を駆動する出力回路の最終段ト
ランジスタと同程度であればよい。スイッチMPS3、
MNS3、MPT、MNTは、スイッチMP1、MP
2、MPM3と、スイッチMT、MN1、MN2、MN
M3よりも十分に小さい駆動力でよい。
スタと比べて、同等の面積かそれ以下となる。したがっ
て、出力回路が形成されている出力端子の回路ブロック
の面積で、各スイッチを各々の電源端子ブロックと接地
端子ブロックに配置することができる。元々、電源端子
ブロックと接地端子ブロックは出力端子ブロックと同じ
大きさなので、検査に必要なスイッチは、被検査LSI
17のチップ面積を増大させることはない。検査制御回
路22は、少ない論理回路で構成できるので、電源端子
ブロックと接地端子ブロックの空き領域に配置可能であ
る。従って、検査を実現する上で必要なトランジスタ
を、被検査LSI17上に配置してもチップ面積を増大
させることはない。
順について、図2および図3を参照しながら詳細な説明
を行う。
グチャートである。図3において、信号P1、P2、P
S、PMは反転信号で示されている。
端子の接続検査を行うために、電圧発生器19から被検
査LSI17に電圧を与える。供給する電圧は3.3V
であるとする。例えば、ワイヤW3、W6がパッドPD
3、PD6とリードL3、L6間に接続されていれば、
スイッチMPTのソース端子Sとゲート端子Gの間には
電圧3.3Vが与えられ、スイッチMNTのソース端子
Sとゲート端子Gの間にも、電圧3.3Vが与えられ
る。その結果、スイッチMPTとMNTは導通状態とな
り、スイッチMPS3のゲート端子Gは電圧0Vとな
り、スイッチMNS3のゲート端子Gは3.3Vとな
る。これにより、スイッチMPS3とMNS3は導通状
態に変化する。スイッチMPS3とMNS3が導通状態
になることによって、LSIの電源線10と接地線11
には電圧3.3Vと0Vが与えられる。
子は、それぞれ、LSIの電源線10と接地線11に接
続されているので、ワイヤW3、W6が接続状態であれ
ば、検査制御回路22には電圧が供給され活性状態とな
る。一方、ワイヤW3、W6が非接続状態であれば、検
査制御回路22には電圧が供給されずに非活性となる。
そして、スイッチMPM3、MNM3、MTが、検査制
御回路22に含まれるスイッチ駆動回路からの信号P
M、NM、Tによって閉動作に移行する。
圧発生器19から出力された電流はワイヤW3、スイッ
チMPS3/MPM3、MT、MNS3/MNM3、お
よびワイヤW6を介して接地GNDに流れる。ここで、
スイッチMTのゲート端子Gに3.3V、ソース端子S
に0V、ドレイン端子Dに3.3Vが与えられたとき
に、ドレイン端子Dとソース端子Sの間に流れる電流を
100mAに制限すると、電圧発生器19に含まれる電
流計により100mAの電流が検出されることになる。
ただし、並列スイッチMPS3/MPM3と並列スイッ
チMNS3/MNM3の導通抵抗はゼロとする。また、
電圧発生器19が検出する電流には、検査制御回路22
の動作電流も含まれる。しかし、検査制御回路22が消
費する電流は非常に少ないとして無視している。結局、
ワイヤW3、W6が接続されていれば、電圧発生器19
は電流100mAを検出し、非接続であれば電流は検出
しない。
0mAに制限するのは、電圧発生器19の電流出力能力
を超えないようにするためである。仮に、スイッチMT
を流れる電流が2Aであって、電圧発生器19の電流出
力能力が最大1Aであったならば、電圧発生器19の過
電流保護回路が動作してしまう。過電流保護回路が動作
すると、電圧発生器19が通常動作に復帰するまでに時
間がかかってしまう。復帰に必要な時間は、検査時間を
長くするので、スイッチMTに流れる最大電流を100
mAにして、電圧発生器19の電流出力能力を超えない
ようにしている。
検査できるようにすることができる。検査時の電流制限
は、スイッチMP1、MP2、MPS3/MPM3、M
N1、MN2、MNS3、MNM3の導通時の電流によ
っても制限することができる。しかし、これらのスイッ
チは、回路群15が通常動作する場合には、電源線と接
地線の寄生抵抗となるため、導通時はできるだけ小さい
抵抗値で大きな電流が通過できるように設計する。その
ため、スイッチMP1、MP2、MPS3/MPM3、
MN1、MN2、MNS3/MNM3によって電流を制
限することはできない。そのため、通常動作では開状態
になり、検査時には閉状態となるスイッチMTに導通時
の電流制限を行わせるのがよい。
ために、検査制御回路22からの信号P1、N1により
スイッチMP1とMN1を閉状態にする。スイッチMT
は閉状態のままである。その後、検査制御回路22から
の信号PS、PM、NS、NMによって、それぞれ、ス
イッチMPS3、MPM3、MNS3、MNM3を開状
態にする。スイッチMP2とMN2は開状態のままであ
る。ここで、スイッチMPS3とMNS3のゲート端子
Gは、スイッチMNTとMPTのドレイン端子Dが接続
されている。スイッチMPTとスイッチMNTは、それ
ぞれのゲート端子に0Vと電圧3.3Vが与えられてい
るので閉状態である。したがって、スイッチMPS3と
MNS3のゲート端子Gには、それぞれ、GNDからス
イッチMNTを介した電圧0Vが、また電圧発生器19
からスイッチMPTを介した電圧3.3Vが与えられて
おり、スイッチMPS3とMNS3は閉状態にある。
ート端子Gに、スイッチMPTとスイッチMNTの駆動
力よりも十分に強力な駆動力を持つ検査制御回路22の
駆動回路から信号PSとNSとして、電圧3.3Vと電
圧0Vを与える。つまり、MPS3とMNS3を開状態
にする。
ッチMPS3、MNS3、MPM3、MNM3を開状態
にする前に、スイッチMP1とMN1を閉状態にする必
要がある。その理由は、スイッチMPS3、MPM3、
MNS3、MNM3の閉状態の期間とスイッチMP1、
MN1が閉状態の期間が重なる期間ta(図3参照)を
設けることで、検査制御回路22に電圧発生器19から
の電圧3.3Vが一時的に遮断されることのないように
するためである。すなわち、スイッチMPS3、MPM
3、MNS3、MNM3の開状態と、スイッチMP1、
MN1の開状態とが両立しないようにしている。また、
各スイッチの動作タイミングを制御する信号P1、P
2、PS、PM、N1、N2、NS、NMは、クロック
発生器20のクロック信号CLKを基準に生成されてい
る。
圧発生器19から出力された電流は、ワイヤW1、スイ
ッチMP1、MT、MN1、ワイヤW4を介して接地G
NDに流れる。この電流は、電圧発生器19の電流計に
検出される。一方、ワイヤW1、W4の両方か一方が非
接続状態であれば電流は検出されない。
する場合は、スイッチMP2、MN2、MTを閉状態に
し、スイッチMP1、MPS3、MPM3、MN1、M
NS3、MNM3を開状態にして、電圧発生器19から
出力される電流を検知する。この検査は、ワイヤW1、
W4の検査と同様であるので、詳細な説明を省略する。
て検出される電流パターンとしてケース1、2を示し
た。ケース1はワイヤW1〜W6が接続されている場合
であり、ケース2はワイヤW2、W5の両方か一方が非
接続状態の場合である。
成されることで、スイッチMP1、MP2、MPS3、
MPM3、MN1、MN2、MNS3、MNM3を駆動
するときの配線容量を削減することができる。故に、各
スイッチの開閉動作は、短時間で行うことができるので
検査時間が短縮される。また、信号P1、P2、PS、
PM、T、N1、N2、NS、NMをチップ内部で生成
するので、被検査LSI17の入力信号端子が不用とな
る。ただし、検査制御回路22は被検査LSI17に含
まれる必要は必ずしもなく、被検査LSI17の外部に
あっても、電源端子と接地端子の接続検査を阻害するも
のではない。
う場合の各スイッチの開閉状態を示すタイミングチャー
トである。図4において、信号P1、P2、PS、PM
は反転信号で示されている。
3.3Vが与えられると、スイッチMPT、MNTによ
って、スイッチMPS3、MNS3が閉状態になる。検
査制御回路22には電圧3.3Vが与えられ、検査制御
回路22に含まれる駆動回路によって、スイッチMP
1、MN1、MP2、MN2、MPM3、MNM3を閉
状態にし、スイッチMTを開状態にする。
か、通常動作状態になるのかは、信号源21からの検査
信号SIGによって決定される。検査信号SIGが入力
されている間は検査状態であり、検査信号が入力されて
いない場合は、通常動作状態になる。
検査LSI17への電源投入によって、LSIの電源線
と接地線に電圧を供給するための回路である。スイッチ
MPS3、MNS3のゲート端子Gは、それぞれ、駆動
力の小さいスイッチMNT、MPTによって駆動され
る。スイッチMPS3、MNS3の開閉動作の所要時間
を短くするためには、閉状態での抵抗値を下げるより
も、ゲート端子Gの入力容量を小さく設計するのがよ
い。閉状態での抵抗値を小さくするためには、スイッチ
MPS3、MNS3にそれぞれ並列接続されているスイ
ッチMPM3とMNM3を閉状態にする。
持する必要がある場合は、スイッチMPT、MNTには
定常電流が流れる。それは、スイッチMPT、MNTの
駆動力より強力な検査制御回路22の駆動回路によっ
て、スイッチMPS3、MNS3のゲート端子Gをそれ
ぞれ3.3Vと0Vに設定しており、そのため、駆動回
路の電流が、導通状態のスイッチMPT、MNTに流れ
るためである。
静止動作時の消費電流を削減するために、スイッチMP
1、MP2、MPS3、MPM3、MN1、MN2、M
NS3、MNM3を開状態にする場合は、スイッチMP
S3、MNS3を閉状態であってもよい回路群の電源端
子に割り振るのがよい。あるいは、静止電流が小さい回
路群の電源にスイッチMPS3、MNS3を割り振るの
がよい。
る方法として、図2の破線で囲まれた電流検知回路23
のような、LSIの電源線10とLSIの接地線11に
流れる電流を検知する回路を設けてもよいし、LSIの
電源線10とLSIの接地線11の電圧変化を検知する
ことによって電流を検知する回路を設けてもよい。これ
らの場合は、スイッチMTを取り外すことができる。
に流れる電流を検知するには、電流検知回路23の端子
naと端子nb間に電流計を設ければよい。また、図1
4に示すように、電流計n1と定電圧源n2を直列接続
したものを端子naと端子nb間に接続してもよい。
を示す。図15において、LSIの電源線10における
電圧変化の検知は、破線で囲んだ23aによって行われ
る。n3はスイッチであり、Cは容量であり、n4は電
圧比較器であり、n5はスイッチ制御及び論理回路であ
り、n6は定電圧源である。電圧比較器n4の電圧端子
Vddと接地端子Vssには、端子naと端子nbから
動作電圧が供給される。スイッチ制御及び論理回路n5
は、スイッチn3の開閉動作を信号nnsで制御し、電
圧比較器n4の出力信号を端子nnrで受信する。容量
Cの一方の端子は、定電圧源n6に接続されている。た
だし、定電圧源n6の代わりに接地電位に接続してもよ
い。
ける電圧変化の検知は、23aとほぼ同様の構成とり、
やはり破線で囲んだ23bによって行われる。ただし、
標本化する電圧は、端子nbの電圧なのでスイッチn3
qの接続と電圧比較器n4qの正転入力端子の接続は異
なる。23bにおいて、符号の終わりにqが記載されて
いることで、23aとの違いを表している。23bにお
いて、qを除いた符号と同じ符号の要素が23aと同じ
機能を示す。
態を検知する動作について述べる。接続状態を検知する
ために必要なスイッチの開閉動作は、図3で示されたタ
イミングの動作と同様である。図3に示されているスイ
ッチの開閉動作、電圧発生器19からの電圧Vdd供
給、およびスイッチn3、n3qの開閉動作は、クロッ
ク発生器20からのクロック信号によってタイミングが
合わされている。ただし、図15において、クロック信
号線の接続は省略している。
ように、スイッチの開閉状態を設定した後、電圧発生器
19から供給する電圧を3.3Vに設定する。電圧3.
3Vをスイッチn3の開閉動作により容量Cに標本化す
る。標本化後は、スイッチn3は開状態になっている。
次に、電圧発生器19から供給される電圧を3.3Vよ
りも高い電圧3.4Vに設定する。端子naの電圧は
3.4Vに上昇する。標本化された電圧3.3Vと端子
naの電圧3.4Vは、電圧比較器n4によって比較さ
れる。このとき、検査対象となっている接続が接続状態
であれば、端子naの電圧が上昇しているので、出力信
号は論理「H」レベルになる。非接続状態であれば、電
圧比較器n4には動作電圧が供給されていない。従っ
て、出力信号は論理「L」レベルとなる。以上の検査手
順は、23bによってLSIの接地線に対しても行われ
る。さらに、各接続に対して繰り返して行われる。
の実施形態に係る被検査LSIとその検査装置の構成図
である。
圧源と該電圧源から出力された電流を検知するための電
流計を備えた電圧発生器25、クロック発生器26、信
号源27、および電圧源28を備える。29は被検査L
SIであり、30は検査制御回路であり、31、32は
回路群である。ここで、図5に示すスイッチの符号と図
2に示すスイッチの符号が同じものは同じ役割である。
さらに、スイッチMP3とMN3は、図2のスイッチM
PM3とMNM3と同じ役割である。電圧発生器25、
クロック発生器26、信号源27は、図2の電圧発生器
19、クロック発生器20、信号源21と同じ役割であ
る。
であり、双方は被検査LSI29の内部において接続さ
れていない。また、LSIの接地線54と接地線56は
独立した配線であり、双方は被検査LSI29の内部で
非接続である。プリント基板の電源線50と電源線51
は分割されている。しかし、共通にして電圧源28を取
り外してもよい。
子には、それぞれ、LSIの電源線55と接地線56を
介して電圧源28から電圧3.3V、GNDから0Vが
供給される。スイッチMP1、MP2、MP3、MN
1、MN2、MN3、MTの開閉動作は、検査制御回路
30から出力される信号P11、P21、P31、N1
1、N21、M31、T1によって制御される。
の間には、回路群31が接続されている。例えば、回路
群31は、図1の回路群6および図2の回路群15と同
種類の回路構成をとる。回路群32は、被検査LSI2
9のLSIの電源線55とLSIの接地線56の間に接
続されている。例えば、回路群32は、図2の回路群1
5と同種類の回路である。
は、検査制御回路22のVdd端子、Vss端子に与え
る電圧3.3V、0Vは、スイッチMPT、MNTによ
ってスイッチMPS3、MNS3を閉状態にすることで
与えられていた。しかし、本実施形態の構成では、図2
のスイッチMPT、MNT、スイッチMPS3、MNS
3が不要になる。ただし、検査制御回路30のVdd端
子、Vss端子には、LSIの電源線55と接地線56
を介して電圧源28から電圧3.3V、GNDから0V
が供給される。
イッチの動作を示すタイミングチャートである。
合には、スイッチMP1、MN1、MTを閉状態に、ス
イッチMP2、MP3とスイッチMN2、MN3を開状
態にする。ワイヤW1、W4が接続状態であれば、電圧
発生器25の電流計によって、電流100mAが検知さ
れる。ただし、電流は、スイッチMTによって100m
Aに制限されている。ワイヤW1、W4は、電流100
mAが流れれば接続状態であり、流れなければ非接続状
態である。
する場合には、スイッチMP2、MN2、MTを閉状態
とし、残りのスイッチMP1、MN1、MP3、MN3
を開状態とする。各スイッチの動作タイミングは、クロ
ック発生器26のクロック信号CLKに従っている。ワ
イヤW3、W6の接続検査についてもワイヤW1、W4
やワイヤW2、W5と同様の検査方法であるので説明を
省略する。
回路30が動作を開始するか否かによって判断する。ワ
イヤW7、W8が接続されていれば、各スイッチを開閉
動作させて、各端子の接続検査を行うことができる。ワ
イヤW7、W8の一方か両方が非接続状態であれば、接
続検査は行うことができない。ワイヤW7、W8の一方
か両方が非接続状態ならば、接続検査時に電圧発生器2
8から電流が出力されない。
るには、LSIの電源線55の電源端子と接地線56の
接地端子は単一であることが必要になる。検査制御回路
30の電源端子Vdd、接地端子Vssにそれぞれ動作
電圧3.3V、0Vが与えられれば、信号源27から出
力される検査信号SIG1によって動作を開始する。
電流値の変化をケース1、2で示した。ケース1は、ワ
イヤW1〜W8が全て接続状態である場合における電流
変化である。ケース2は、ワイヤW1、W2、W4、W
5、W7、W8が接続され、ワイヤW3、W6の両方か
一方が非接続状態である場合の電流変化である。図7
は、通常動作時の各スイッチの開閉状態を示すタイミン
グチャートである。図6および図7において、信号P1
1、P21、P31は反転信号で示している。検査時の
動作と通常動作時の動作は、信号源27から出力される
検査信号SIG1によって決定される。
の実施形態に係る被検査LSIとその検査装置の構成図
である。本実施形態は、第2の実施形態を応用したもの
である。本実施形態では、第2の実施形態で設けられて
いたスイッチMTは不要となる。プリント基板の電源線
と接地線は、それぞれ、プリント基板の電源線80、8
1と接地線82、83に分割している。図8で、図2に
示すスイッチの符号と同じ符号で示されているスイッチ
は同じ役割のスイッチであるが、開閉動作が異なる。
4、38は電圧源と該電圧源から出力される電流を測定
する電流計を含む電圧発生器であり、35、39は電圧
源であり、36はクロック発生器であり、37は信号源
である。41は回路群であり、例えば、図1に示す回路
群6と同種の回路群である。40は被検査LSIであ
る。42は検査制御回路である。
示すタイミングチャートである。スイッチMP1、MP
2、MPS3、MPM3、MN1、MN2、MNS3、
MNM3は、検査制御回路42からの信号P12、P2
2、PS2、PM2、N12、N22、NS2、NM2
によって開閉動作が制御される。各スイッチの動作タイ
ミングは、クロック発生器36のクロック信号CLK2
によって与えられている。
続状態を検査する場合には、スイッチMP1、MPS
3、MPM3、MN1、MNS3、MNM3が閉状態
に、スイッチMP2、MN2が開状態になる。電圧発生
器34は、例えば、3.3+0.5Vを出力し、電圧源
35は3.3Vを発生する。電圧発生器38は、例え
ば、0.5Vを発生し、電圧源39は0Vとする。
れば、電圧発生器34から電流が電圧源35に向かって
流れるので、電圧発生器34に含まれる電流計によって
電流が検出される。ワイヤW1、W3の両方か一方が非
接続ならば、電流は流れないので、電圧発生器34の電
流計には電流が検出されない。
限する役割を持っているスイッチMTは設けられていな
い。電流量は、電圧発生器34と電圧源35の電圧差、
また電圧発生器38と電圧源39の電圧差によって調整
する。
圧発生器38から電圧源39に電流が流れるので、電圧
発生器38に含まれる電流計によって電流が検出され
る。ワイヤW4、W6の両方か一方が非接続状態なら
ば、電流は検出されない。
続検査は、ワイヤW1、W3とワイヤW4、W6の接続
検査と同様であるので説明を省略する。
した電流の変化を示している。ケース1は、ワイヤW1
〜W3が接続状態であった場合の電流変化であり、ケー
ス2は、ワイヤW1が非接続状態であり、ワイヤW2、
W3が接続状態であった場合である。
イヤの組み合わせは、必ずしも、上述の組み合わせに限
らない。ワイヤW1、W3とワイヤW4、W6の接続検
査のかわりに、ワイヤW1、W2とワイヤW4、W5の
接続検査により、各ワイヤの接続検査を行うこともでき
る。
内部の電源線と接地線であるLSIの電源線10と接地
線11との間にスイッチMTを設けていたが、本実施形
態のように、プリント基板の電源線と接地線を各々2つ
に分割できる場合はスイッチMTを設けなくてもよい。
状態を示すタイミングチャートである。接地線82と8
3は0Vとする。被検査LSI40を検査動作に設定す
るか、通常動作に設定するかは、信号源37の出力信号
SIG2で決定される。
図8において、破線で囲まれたAAとADにそれぞれ含
まれるスイッチMPS3/MPM3とMNTを取り除い
て、パッドPD3とLSIの電源線84を直接接続して
もよい。また、破線で囲まれたAB、ACにそれぞれ含
まれるスイッチMNS3/MNM3とMPTを取り除い
て、パッドPD6とLSIの接地線85を直接接続して
もよい。
被検査LSIとその検査装置の構成図であり、第4の実
施形態の構成を変形したものである。
AB、AC、AD部のスイッチを取り除き、パッドPD
3とLSIの電源線84を直接接続し、パッドPD6と
LSIの接地線85を直接接続している。その他の構成
は、図8と同じであり、同じ符号を付けている。
1はLSIの電源線84にスイッチを介さずに直接接続
されている。また、プリント基板の接地線83はLSI
の接地線85にスイッチを介さずに直接接続されてい
る。この構成により、LSIのIDDQテストを容易に
行うことができる。というのは、IDDQテストは、回
路群41の製造上の不良を検知するために行われる検査
であり、回路群41の電源端子と接地端子は直接外部端
子に接続されていることが望まれるためである。
ついて説明する。
示すタイミングチャートである。
合には、スイッチMP1、MN1を閉状態にし、スイッ
チMP2、MN2を開状態にして、電圧発生器34から
電圧源35に流れる電流と、電圧発生器38から電圧源
39に流れる電流とを検知する。ワイヤW2、W5の接
続状態を検査する場合には、スイッチMP2、MN2を
閉状態にし、スイッチMP1、MN1を開状態にして電
流を検知する。ワイヤW3、W6の接続状態は、検査制
御回路42が動作するか否かによって判断する。あるい
は、電圧源35か39に電流計を設けて、検査制御回路
42の電流を検知する。
示すケース1は、ワイヤW1〜W3が接続状態であり、
ケース2は、ワイヤW2、W3が接続状態であり、ワイ
ヤW1が非接続状態であることを示す。図13は、通常
動作時における各スイッチの開閉状態を示すタイミング
チャートである。接地線82と83は0Vとする。
1の検査制御回路5、図2の検査制御回路22、図5の
検査制御回路30、図8および図11の検査制御回路4
2を、それぞれ、被検査LSI4、17、29、40の
半導体チップ内部に設けるものとして説明したが、当該
半導体チップの外部に設けることもできる。
れた半導体チップの電源端子及び接地端子の接続状態を
検査する場合に関して説明したが、本発明の接続検査方
法は、プラスチック・パッケージに封入された半導体チ
ップの接続検査に限ったものではない。
接続されている場合に、双方の接続状態を検査するため
に本検査方法を適用することができる。例えば、C−C
SP(セラミックのチップ・サイズド・パッケージ)な
どのように、キャリヤと半導体チップがマイクロ・バン
プによって接続されている場合には、半導体チップとキ
ャリヤとの間の接続検査に、または、半導体チップと他
の半導体チップが接続される場合には、双方の半導体チ
ップの接続検査に、あるいは、半導体チップとプリント
基板が直接接続される場合、半導体チップとプリント基
板の接続検査に本発明を適用することができる。
源線と接地線が、キャリヤとの接続後に、キャリヤ内部
において単一またはより少ない電源線と接地線にまとめ
られる場合がある。これは、図1においてリードL1〜
L3とリードL4〜L6の各々が共通になっている状態
に相当する。この場合においても、本発明の検査方法に
よる電源端子及び接地端子の接続検査方法を適用するこ
とができる。
象になる電源線と接地線を限定するスイッチMP1、M
P2、MPS3、MPM3、MN1、MN2、MNS
3、MNM3、MP3、MN3を被検査LSIの内部に
設けているので、検査時間が短縮でき、電源線及び接地
線のインダクタンスを小さくすることができる。
源1から出力された電流が流れるか否かを検知し、その
電流が流れる経路が途中で断絶されているか否かを検知
する。電源端子、接地端子のように電流の経路が複数存
在する場合に、スイッチによって電流の経路を選択す
る。選択された電流の経路の組み合わせによって、各端
子の接続状態を検知する。以上が、本願の接続検査方法
である。従って、端子の接続検査の手順を示すスイッチ
の開閉手順は、図3、6、9、12に限ったものではな
く、他のスイッチの開閉手順による接続検査も可能であ
る。
アプリケーション上のLSIの実装状態に近い検査用プ
リント基板を実現でき、検査装置に多種の性能を要求せ
ず、検査に必要な時間が短く、低コストで電源端子と接
地端子の接続状態を検査することが可能な半導体装置お
よびその検査方法を提供することができる、という格別
な効果を奏する。
とその検査装置の基本構成図
とその検査装置の構成図
各スイッチの開閉動作を示すタイミングチャート
各スイッチの開閉動作を示すタイミングチャート
とその検査装置の構成図
各スイッチの開閉動作を示すタイミングチャート
各スイッチの開閉動作を示すタイミングチャート
とその検査装置の構成図
各スイッチの開閉動作を示すタイミングチャート
の各スイッチの開閉動作を示すタイミングチャート
Iとその検査装置の構成図
の各スイッチの開閉動作を示すタイミングチャート
の各スイッチの開閉動作を示すタイミングチャート
構成図
変形例としての電圧変化検出回路の構成図
LSIとその検査装置の構成図
LSIとその検査装置の構成図
Claims (29)
- 【請求項1】 半導体集積回路を有する半導体装置にお
いて、 前記半導体集積回路の内部に別個に設けられ、前記半導
体集積回路の外部に設けられた外部配線から異なる電源
電位が印加される内部配線と、 前記内部配線間に接続されたスイッチ部とを備えたこと
を特徴とする半導体装置。 - 【請求項2】 半導体集積回路を有する半導体装置にお
いて、 前記半導体集積回路の内部に設けられた第1の内部配線
および第2の内部配線と、 前記半導体集積回路の内部に設けられた第1の内部端
子、第2の内部端子、第3の内部端子、および第4の内
部端子と、 前記半導体集積回路の外部に設けられた第1の外部配線
および第2の外部配線と、 前記第1の外部配線と前記第1の内部端子を接続するた
めの第1の接続部と、 前記第1の外部配線と前記第2の内部端子を接続するた
めの第2の接続部と、 前記第2の外部配線と前記第3の内部端子を接続するた
めの第3の接続部と、 前記第2の外部配線と前記第4の内部端子を接続するた
めの第4の接続部と、 前記第1の内部端子と前記第1の内部配線との間に接続
された第1のスイッチ部と、 前記第2の内部端子と前記第1の内部配線との間に接続
された第2のスイッチ部と、 前記第1の内部配線と前記第2の内部配線との間に接続
された第3のスイッチ部と、 前記第3の内部端子と前記第2の内部配線との間に接続
された第4のスイッチ部と、 前記第4の内部端子と前記第2の内部配線との間に接続
された第5のスイッチ部とを備えたことを特徴する半導
体装置。 - 【請求項3】 前記第3のスイッチ部は、前記第3のス
イッチ部が閉状態のときにそこを流れる電流を所定量に
制限する電流制限機能を有する請求項2記載の半導体装
置。 - 【請求項4】 前記半導体装置は、前記半導体集積回路
の内部に、前記第1から第5のスイッチ部の開閉動作を
制御するスイッチ制御部を備えた請求項2記載の半導体
装置。 - 【請求項5】 前記スイッチ制御部の電源端子は前記半
導体集積回路の外部に設けられた電源配線と接続された
内部の電源配線に接続されており、 前記スイッチ制御部の接地端子は前記半導体集積回路の
外部に設けられた接地配線と接続された内部の接地配線
に接続されており、 前記内部の電源配線および前記内部の接地配線の少なく
とも一方は、前記第1の内部配線および前記第2の内部
配線と分離されている請求項4記載の半導体装置。 - 【請求項6】 前記第2のスイッチ部はPチャンネルM
OSトランジスタを備え、前記半導体装置はさらに、前
記半導体集積回路の内部にNチャンネルMOSトランジ
スタを備え、 前記PチャンネルMOSトランジスタのソース端子は前
記第2の内部端子に接続され、そのドレイン端子は前記
第1の内部配線に接続されており、 所定の電圧が前記第1の外部配線と前記第2の外部配線
に与えられたときに前記PチャンネルMOSトランジス
タが導通状態になるように、前記NチャンネルMOSト
ランジスタのゲート端子が前記第2の内部端子に接続さ
れ、そのソース端子が前記第4の内部端子に接続され、
そのドレイン端子が前記PチャンネルMOSトランジス
タのゲート端子に接続されている請求項2記載の半導体
装置。 - 【請求項7】 前記第5のスイッチ部はNチャンネルM
OSトランジスタを備え、前記半導体装置はさらに、前
記半導体集積回路の内部にPチャンネルMOSトランジ
スタを備え、 前記NチャンネルMOSトランジスタのソース端子は前
記第4の内部端子に接続され、そのドレイン端子は前記
第2の内部配線に接続されており、 所定の電圧が前記第1の外部配線と前記第2の外部配線
に与えられたときに前記NチャンネルMOSトランジス
タが導通状態になるように、前記PチャンネルMOSト
ランジスタのゲート端子が前記第4の内部端子に接続さ
れ、そのソース端子が前記第2の内部端子に接続され、
そのドレイン端子が前記NチャンネルMOSトランジス
タのゲート端子に接続されている請求項2記載の半導体
装置。 - 【請求項8】 半導体集積回路を有する半導体装置にお
いて、 前記半導体集積回路の内部に設けられた内部配線と、 前記半導体集積回路の内部に設けられた第1の内部端子
および第2の内部端子と、 前記半導体集積回路の外部に設けられた第1の外部配線
と、 前記第1の外部配線と前記第1の内部端子を接続するた
めの第1の接続部と、 前記第1の外部配線と前記第2の内部端子を接続するた
めの第2の接続部と、 前記第1の内部端子と前記内部配線との間に接続された
第1のスイッチ部と、 前記第2の内部端子と前記内部配線との間に接続された
第2のスイッチ部と、 前記内部配線に流れる電流を検知するための電流検知部
とを備えたことを特徴とする半導体装置。 - 【請求項9】 前記半導体装置は、前記半導体集積回路
の内部に、前記第1および第2のスイッチ部の開閉動作
を制御するスイッチ制御部を備えた請求項8記載の半導
体装置。 - 【請求項10】 前記スイッチ制御部の電源端子は前記
半導体集積回路の外部に設けられた電源配線と接続され
た内部の電源配線に接続されており、 前記スイッチ制御部の接地端子は前記半導体集積回路の
外部に設けられた接地配線と接続された内部の接地配線
に接続されており、 前記内部の電源配線および前記内部の接地配線の少なく
とも一方は、前記内部配線と分離されている請求項9記
載の半導体装置。 - 【請求項11】 前記第2のスイッチ部はPチャンネル
MOSトランジスタを備え、前記半導体装置はさらに、
前記半導体集積回路の内部にNチャンネルMOSトラン
ジスタを備え、 前記PチャンネルMOSトランジスタのソース端子は前
記第2の内部端子に接続され、そのドレイン端子は前記
内部配線に接続されており、 所定の電圧が前記第1の外部配線と前記半導体集積回路
の外部に設けられた第2の外部配線とに与えられたとき
に前記PチャンネルMOSトランジスタが導通状態にな
るように、前記NチャンネルMOSトランジスタのゲー
ト端子が前記第2の内部端子に接続され、そのソース端
子が前記第2の外部配線に接続され、そのドレイン端子
が前記PチャンネルMOSトランジスタのゲート端子に
接続されている請求項8記載の半導体装置。 - 【請求項12】 前記第2のスイッチ部はNチャンネル
MOSトランジスタを備え、前記半導体装置はさらに、
前記半導体集積回路の内部にPチャンネルMOSトラン
ジスタを備え、 前記NチャンネルMOSトランジスタのソース端子は前
記第1の外部配線に接続され、そのドレイン端子は前記
内部配線に接続されており、 所定の電圧が前記第1の外部配線と前記半導体集積回路
の外部に設けられた第2の外部配線に与えられたときに
前記NチャンネルMOSトランジスタが導通状態になる
ように、前記PチャンネルMOSトランジスタのゲート
端子が前記第1の外部配線に接続され、そのソース端子
が前記第2の外部配線に接続され、そのドレイン端子が
前記NチャンネルMOSトランジスタのゲート端子に接
続されている請求項8記載の半導体装置。 - 【請求項13】 半導体集積回路を有する半導体装置に
おいて、 前記半導体集積回路の内部に設けられた内部配線と、 前記半導体集積回路の内部に設けられた第1の内部端
子、第2の内部端子、および第3の内部端子と、 前記半導体集積回路の外部に設けられた第1の外部配線
および第2の外部配線と、 前記第1の外部配線と前記第1の内部端子を接続するた
めの第1の接続部と、 前記第1の外部配線と前記第2の内部端子を接続するた
めの第2の接続部と、 前記第2の外部配線と前記第3の内部端子を接続するた
めの第3の接続部と、 前記第1の内部端子と前記内部配線との間に接続された
第1のスイッチ部と、 前記第2の内部端子と前記内部配線との間に接続された
第2のスイッチ部と、 前記第3の内部端子と前記内部配線との間に接続された
第3のスイッチ部とを備えたことを特徴とする半導体装
置。 - 【請求項14】 前記半導体装置は、前記半導体集積回
路の内部に、前記第1のスイッチ部、前記第2のスイッ
チ部、および前記第3のスイッチ部の開閉動作を制御す
るスイッチ制御部を備えた請求項13記載の半導体装
置。 - 【請求項15】 前記スイッチ制御部の電源端子は前記
半導体集積回路の外部に設けられた電源配線と接続され
た内部の電源配線に接続されており、 前記スイッチ制御部の接地端子は前記半導体集積回路の
外部に設けられた接地配線と接続された内部の接地配線
に接続されており、 前記内部の電源配線および前記内部の接地配線の少なく
とも一方は、前記内部配線と分離されている請求項14
記載の半導体装置。 - 【請求項16】 前記スイッチ制御部の電源端子は前記
半導体集積回路の外部に設けられた電源配線と接続され
た内部の電源配線に接続されており、 前記スイッチ制御部の接地端子は前記第3の内部端子に
接続されている請求項14記載の半導体装置。 - 【請求項17】 前記スイッチ制御部の接地端子は前記
半導体集積回路の外部に設けられた接地配線と接続され
た内部の接地配線に接続されており、 前記スイッチ制御部の電源端子は前記第3の内部端子に
接続されている請求項14記載の半導体装置。 - 【請求項18】 前記第2のスイッチ部はPチャンネル
MOSトランジスタを備え、前記半導体装置はさらに、
前記半導体集積回路の内部にNチャンネルMOSトラン
ジスタを備え、 前記PチャンネルMOSトランジスタのソース端子は前
記第2の内部端子に接続され、そのドレイン端子は前記
内部配線に接続されており、 所定の電圧が前記第1の外部配線と前記第2の外部配線
に与えられたときに前記PチャンネルMOSトランジス
タが導通状態になるように、前記NチャンネルMOSト
ランジスタのゲート端子が前記第2の内部端子に接続さ
れ、そのソース端子が前記第2の外部配線に接続され、
そのドレイン端子が前記PチャンネルMOSトランジス
タのゲート端子に接続されている請求項13記載の半導
体装置。 - 【請求項19】 前記第2のスイッチ部はNチャンネル
MOSトランジスタを備え、前記半導体装置はさらに、
前記半導体集積回路の内部にPチャンネルMOSトラン
ジスタを備え、 前記NチャンネルMOSトランジスタのソース端子は前
記第2の内部端子に接続され、そのドレイン端子は前記
半導体集積回路の内部に設けられた前記内部配線に接続
されており、 所定の電圧が前記第1の外部配線と前記第2の外部配線
に与えられたときに前記NチャンネルMOSトランジス
タが導通状態になるように、前記PチャンネルMOSト
ランジスタのゲート端子が前記第2の内部端子に接続さ
れ、そのソース端子が前記第2の外部配線に接続され、
そのドレイン端子が前記NチャンネルMOSトランジス
タのゲート端子に接続されている請求項13記載の半導
体装置。 - 【請求項20】 半導体集積回路を有する半導体装置に
おいて、 前記半導体集積回路の内部に設けられた第1の内部配線
と、 前記半導体集積回路の内部に設けられた第1の内部端子
および第2の内部端子と、 前記半導体集積回路の外部に設けられた第1の外部配線
と、 前記半導体集積回路の外部に設けられ前記第1の内部配
線に接続された第2の外部配線と、 前記第1の外部配線と前記第1の内部端子を接続するた
めの第1の接続部と、 前記第1の外部配線と前記第2の内部端子を接続するた
めの第2の接続部と、 前記第1の内部端子と前記第1の内部配線との間に接続
された第1のスイッチ部と、 前記第2の内部端子と前記第1の内部配線との間に接続
された第2のスイッチ部とを備えたことを特徴とする半
導体装置。 - 【請求項21】 前記半導体装置は、前記半導体集積回
路の内部に、前記第1および第2のスイッチ部の開閉動
作を制御するスイッチ制御部を備えた請求項20記載の
半導体装置。 - 【請求項22】 前記スイッチ制御部の電源端子は前記
半導体集積回路の外部に設けられた電源配線と接続され
た内部の電源配線に接続されており、 前記スイッチ制御部の接地端子は前記半導体集積回路の
外部に設けられた接地配線と接続された内部の接地配線
に接続されており、 前記内部の電源配線および前記内部の接地配線の少なく
とも一方は、前記第1の内部配線と分離されている請求
項21記載の半導体装置。 - 【請求項23】 前記スイッチ制御部の電源端子は前記
第1の内部配線に接続されており、 前記スイッチ制御部の接地端子は前記半導体集積回路の
外部に設けられた接地配線と接続された内部の接地配線
に接続されている請求項21記載の半導体装置。 - 【請求項24】 前記スイッチ制御部の接地端子は前記
第1の内部配線に接続されており、 前記スイッチ制御部の電源端子は前記半導体集積回路の
外部に設けられた電源配線と接続された内部の電源配線
に接続されている請求項21記載の半導体装置。 - 【請求項25】 請求項1記載の半導体装置を検査する
方法であって、 前記スイッチ部を閉状態にして、前記外部配線と前記半
導体集積回路の内部に設けられた内部端子との間の接続
状態を検査することを特徴とする半導体装置の検査方
法。 - 【請求項26】 請求項2から7のいずれか一項記載の
半導体装置を検査する方法であって、 前記第1のスイッチ部、前記第3のスイッチ部、および
前記第4のスイッチ部を閉状態にすると共に、前記第2
のスイッチ部および前記第5のスイッチ部を開状態に
し、 前記第1の外部配線と前記第2の外部配線とに検査信号
を与えて、 前記第1の接続部による前記第1の外部配線と前記第1
の内部端子との接続状態、および前記第3の接続部によ
る前記第2の外部配線と前記第3の内部端子との接続状
態を検査することを特徴する半導体装置の検査方法。 - 【請求項27】 請求項8から12のいずれか一項記載
の半導体装置を検査する方法であって、 前記第1のスイッチ部を閉状態にすると共に前記第2の
スイッチ部を開状態にし、 前記電流検知部による検知結果に基づいて、前記第1の
接続部による前記第1の外部配線と前記第1の内部端子
との接続状態を検査することを特徴とする半導体装置の
検査方法。 - 【請求項28】 請求項13から19のいずれか一項記
載の半導体装置を検査する方法であって、 前記第1のスイッチ部と前記第3のスイッチ部を閉状態
にすると共に、前記第2のスイッチ部を開状態にして、 前記第1の接続部による前記第1の外部配線と前記第1
の内部端子との接続状態を検査することを特徴とする半
導体装置の検査方法。 - 【請求項29】 請求項20から24のいずれか一項記
載の半導体装置を検査する方法であって、 前記第1のスイッチ部を閉状態にすると共に前記第2の
スイッチ部を開状態にし、 前記第1の外部配線から前記第2の外部配線に検査信号
を与えて、 前記第1の接続部による前記第1の外部配線と前記第1
の内部端子との接続状態を検査することを特徴とする半
導体装置の検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000377824A JP3452896B2 (ja) | 2000-02-10 | 2000-12-12 | 半導体装置およびその検査方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000-33537 | 2000-02-10 | ||
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
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JP2009218356A (ja) * | 2008-03-10 | 2009-09-24 | Nec Electronics Corp | 半導体装置及びその制御方法 |
JP2014178176A (ja) * | 2013-03-14 | 2014-09-25 | Fujitsu Semiconductor Ltd | 半導体装置および半導体装置のテスト方法 |
KR20160136933A (ko) * | 2015-05-21 | 2016-11-30 | 삼성전자주식회사 | 노이즈 검사 장치 |
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JP2009218356A (ja) * | 2008-03-10 | 2009-09-24 | Nec Electronics Corp | 半導体装置及びその制御方法 |
JP2014178176A (ja) * | 2013-03-14 | 2014-09-25 | Fujitsu Semiconductor Ltd | 半導体装置および半導体装置のテスト方法 |
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