JP2001290000A - 紫外線照射方法およびその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 物品に貼付けられた紫外線硬化型の粘着テー
プに照射する紫外線の積算光量を全域にわたって一定に
するとともに、装置の小型化を図る。 【解決手段】 ランプハウス１２を首振り駆動すること
により、粘着テープＴを介してウエハＷを支持している
マウントフレームＭＦに向けて紫外線を照射する。ラン
プハウス１２の移動範囲が小さいので、装置を小型にで
きる。また、ランプハウス１２の首振り角度（紫外線の
照射角度）に応じて、制御部１７がランプハウス１２の
首振り速度をコントロールすることにより、紫外線の照
射領域の全体にわって紫外線の積算光量を一定にし、粘
着テープＴの粘着力を均一に低下させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、紫外線硬化型の粘
着テープが貼付けられた物品に紫外線を照射することに
よって、前記粘着テープの粘着力を低下させる紫外線照
射方法およびその装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】以下、半導体ウエハをリング状支持体に
紫外線硬化型の粘着テープを介して貼り付けたマウント
フレームに紫外線を照射することによって、ウエハ貼り
付けテープ部分の粘着力を低下させるウエハ・マウント
フレームに対する紫外線照射方法およびその装置を例に
採って説明する。

【０００３】一般に、半導体ウエハのダイシング工程に
用いられる粘着テープは、半導体ウエハを安定良く強力
に保持するために相当に強い粘着力をもっている必要が
ある。しかし、次工程であるダイボンディング工程にお
いては、前記のダイシング工程によって分離された個々
の半導体素子を粘着テープから分離しやすいように、予
め、半導体ウエハを貼り付けている粘着テープ部分（ウ
エハ貼り付けテープ部分）の粘着力を低下させておく必
要がある。

【０００４】このため、従来から一般的に、粘着テープ
としては粘着力の強い紫外線硬化型の粘着テープが用い
られ、ダイシング工程の後にマウントフレームに紫外線
を照射することによってウエハ貼り付け部分の粘着力を
低下させる手法が用いられている。すなわち、第１の手
法として、図６（ａ）、（ｂ）に示すように、マウント
フレームＭＦおよび紫外線ランプ１１を固定した状態で
一定時間紫外線をウエハ貼り付けテープ部分に照射して
いる。

【０００５】第２の手法として、図７に示すように、マ
ウントフレームＭＦおよび紫外線ランプ１１を固定配置
し、その間に内壁に反射鏡が備えられた紫外線収束筒１
３を用いている。その結果、この紫外線収束筒１３中で
紫外線を反射させてウエハ貼り付けテープ部分に紫外線
を照射している。

【０００６】第３の手法として、図８に示すように、マ
ウントフレームＭＦを固定配置して、前記マウントフレ
ームＭＦに対して紫外線ランプ１１を水平方向（Ｈ方
向）に移動させて紫外線を照射している。

【０００７】第４の手法として、図示しないが、紫外線
ランプ１１を固定して、マウントフレームＭＦ自体を水
平方向に移動させて紫外線を照射している。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成を有する従来例の場合には、次のような問題が
ある。すなわち、第１の手法において、マウントフレー
ムＭＦと紫外線ランプ１１が固定配置されているため
に、一定時間紫外線を照射したとしてもマウントフレー
ムＭＦの中央部とその両端部分とでは、紫外線の照射角
度が異なるので均一な積算光量を得ることができない。
その結果、マウントフレームＭＦの中央部分と両端とを
比較すると、中央部分から両端に向かうに連れて粘着テ
ープＴの粘着力が十分に低下していないという問題があ
る。

【０００９】第２の手法においては、内壁に反射鏡が備
えられた紫外線収束筒１３をマウントフレームＭＦと紫
外線ランプ１１の間に設けることにより、マウントフレ
ームＭＦにより紫外線を照射している。しかし、この手
法においても紫外線の反射効率の関係上、マウントフレ
ームＭＦ全体に紫外線を均一照射することが困難であ
る。

【００１０】第３の手法においては、固定されたマウン
トフレームＭＦに対して紫外線照射角度が一定になるよ
うに、紫外線ランプがマウントフレームＭＦの上を水平
方向に移動するのでマウントフレームＭＦに対して紫外
線を均一に照射することができる。しかしながら、装置
自体が大きくなる。さらには、電源から紫外線ランプ１
１までのケーブルの取り回しを考慮しなければならない
問題がある。

【００１１】第４の手法においても、前記第３の手法と
同様に装置自体が大きくなる。

【００１２】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、照射領域の全体にわたって均一に紫外
線を照射することができるとともに、装置の小型化が可
能な紫外線照射方法およびその装置を提供することを目
的としている。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明は、このような目
的を達成するために、次のような構成をとる。請求項１
に記載の発明は、紫外線硬化型の粘着テープが貼付けら
れた物品に紫外線を照射することによって、前記粘着テ
ープの粘着力を低下させる方法であって、紫外線を首振
り走査することにより、物品に貼付けられた粘着テープ
に紫外線を照射する紫外線照射過程と、紫外線の照射領
域の全体にわたって紫外線の積算光量を一定にする制御
過程とを備えたことを特徴とする。

【００１４】請求項２に記載の発明は、紫外線硬化型の
粘着テープが貼付けられた物品に紫外線を照射すること
によって、前記粘着テープの粘着力を低下させる紫外線
照射装置であって、前記物品に紫外線を照射する紫外線
照射手段と、前記紫外線照射手段から物品に向けて照射
される紫外線を首振り走査する走査手段と、紫外線の照
射領域の全体にわたって紫外線の積算光量を一定にする
制御手段とを備えたことを特徴とする。

【００１５】請求項３に記載の発明は、請求項２に記載
の紫外線照射装置において、前記走査手段は、前記紫外
線照射手段を首振り駆動する駆動機構である。

【００１６】請求項４に記載の発明は、請求項２に記載
の紫外線照射装置において、前記走査手段は、前記紫外
線照射手段から照射された紫外線を反射する反射ミラー
と、この反射ミラーを首振り駆動するミラー駆動機構と
を含む。

【００１７】請求項５に記載の発明は、請求項３または
請求項４に記載の紫外線照射装置において、前記制御手
段は、紫外線の照射領域の全体にわたって紫外線の積算
光量が一定になるように、紫外線照射手段または反射ミ
ラーの首振り速度をコントロールする速度制御手段であ
る。

【００１８】請求項６に記載の発明は、請求項３または
請求項４に記載の紫外線照射装置において、前記制御手
段は、紫外線の照射領域の全体にわたって紫外線の積算
光量が一定になるように、紫外線の照度をコントロール
する照度制御手段である。

【００１９】請求項７に記載の発明は、請求項６に記載
の紫外線照射装置において、前記照度制御手段は、紫外
線の照射領域の全体にわたって紫外線の積算光量が一定
になるように、紫外線照射手段の駆動電圧をコントロー
ルする電圧制御手段である。

【００２０】請求項８に記載の発明は、請求項６に記載
の紫外線照射装置において、前記照度制御手段は、紫外
線の照射領域の全体にわたって紫外線の積算光量が一定
になるように、紫外線の透過光量を調整する減光フィル
ターである。

【００２１】

【作用】本発明の作用は次のとおりである。すなわち、
請求項１に記載の発明によれば、紫外線を首振り走査す
ることによって、物品に貼付けられた粘着テープに紫外
線を照射するとともに、紫外線の照射領域の全体にわた
って紫外線の積算光量が一定になるように制御される。

【００２２】請求項２に記載の発明によれば、紫外線照
射手段から照射された紫外線は、走査手段によって首振
り走査されれる。このとき、制御手段は、紫外線の照射
領域の全体にわたって紫外線の積算光量が一定になるよ
うに制御する。

【００２３】請求項３に記載の発明によれば、紫外線照
射手段自体が首振り駆動されることにより、紫外線が首
振り走査される結果、紫外線は粘着テープに向けて照射
角度を変えながら首振り走査される。

【００２４】請求項４に記載の発明によれば、紫外線照
射手段から反射ミラーに向けて紫外線が照射される。こ
の反射鏡が首振り駆動されることにより、紫外線が首振
り走査される。

【００２５】請求項５に記載の発明によれば、紫外線の
照射角度に応じて紫外線照射手段または反射ミラーの首
振り速度がコントロールされる。すなわち、物品への紫
外線の照射角度が垂直の状態から傾斜した状態になるに
従って、首振り速度を遅くし、逆に物品への紫外線の照
射角度が傾斜した状態から垂直の状態になるに従って首
振り速度を早くすることによって、紫外線の照射領域の
全体にわたって紫外線の積算光量が一定になるようにし
ている。

【００２６】請求項６に記載の発明によれば、紫外線の
照射角度に応じて紫外線の照度がコントロールされる。
すなわち、物品への紫外線の照射角度が垂直の状態から
傾斜した状態になるに従って、紫外線の照度を強くし、
逆に物品への紫外線の照射角度が傾斜した状態から垂直
の状態になるに従って紫外線の照度を弱くすることによ
って、紫外線の照射領域の全体にわたって紫外線の積算
光量が一定になるようにしている。

【００２７】請求項７に記載の発明によれば、紫外線照
射手段の駆動電圧をコントロールすることによって、紫
外線の照度を調整する。すなわち、物品への紫外線の照
射角度が垂直の状態から傾斜した状態になるに従って、
駆動電圧を高くして紫外線の照度を強くし、逆に物品へ
の紫外線の照射角度が傾斜した状態から垂直の状態にな
るに従って駆動電圧を低くして紫外線の照度を弱くする
ことによって、紫外線の照射領域の全体にわたって紫外
線の積算光量が一定になるようにしている。

【００２８】請求項８に記載の発明によれば、減光フィ
ルターによって紫外線の透過光量が調整される。すなわ
ち、物品への紫外線の照射角度が垂直の状態から傾斜し
た状態になるに従って、透過光量が多くなるようにし、
逆に物品への紫外線の照射角度が傾斜した状態から垂直
の状態になるに従って透過光量が少なくなるようにする
ことによって、紫外線の照射領域の全体にわたって紫外
線の積算光量が一定になるようにしている。

【００２９】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の一
実施例を説明する。 ＜第１実施例＞図１は本発明に係る紫外線照射装置の一
実施例の概略構成図である。

【００３０】この紫外線照射装置１０は、本発明の紫外
線照射手段に相当する紫外線ランプ１１と、この紫外線
ランプ１１を収めるランプハウス１２と、紫外線ランプ
１１の上方に配置された紫外線収束筒１３と、マウント
フレームＭＦを載せるリング状のフレーム支持プレート
１４と、このフレーム支持プレート１４の上に設けられ
る円筒状の筒状周壁１５とから構成されている。また、
ランプハウス１２には、ランプハウス１２の首振り動作
をするようにモータ１６が、このモータ１６には回転速
度をコントロールするための制御部１７が接続されてい
る。

【００３１】紫外線ランプ１１は、図２に示すように、
マウントフレームＭＦ上の半導体ウエハＷを粘着支持し
ている紫外線硬化型の粘着テープＴに対して十分な紫外
線が照射できるように、マウントフレームＭＦの径とほ
ぼ同じ長さを有している。

【００３２】ランプハウス１２は、紫外線ランプ１１の
収まるサイズであり、その内側面には紫外線の照射効率
を上げるために反射板を備えている。また、このランプ
ハウス１２は、紫外線照射装置１０の本体に首振り動作
可能に軸支されている。

【００３３】筒状周壁１５はマウントフレームＭＦを囲
うように覆い被せ、その中に不活性ガスを充填して酸素
を取り除くことにより粘着テープＴの粘着力を低下させ
るとともに、紫外線の漏洩を防止するために設けられて
いる。

【００３４】次に第１実施例の動作を説明する。ランプ
ハウス１２に収められた紫外線ランプ１１が発光し、ラ
ンプハウス１２の反射効果とにより紫外線をマウントフ
レームＭＦに向かって照射する。この紫外線は、紫外線
収束筒１３を通りマウントフレームＭＦに照射される。

【００３５】例えば、図１に示すように、ランプハウス
１２の開口部がマウントフレームＭＦに対して対向して
いる状態（すなわち、紫外線の照射方向がマウントフレ
ームＭＦに対して垂直な状態）では、図３（ａ）、
（ｂ）に示すように、ランプの中心に沿ってほぼ均一な
照度が得られる。しかし、ランプハウス１２が傾くに従
って、紫外線はマウントフレームＭＦに対して斜め方向
から照射されるので、照度が次第に低下する。つまり、
ランプハウス１２を等速度で首振り駆動すると、マウン
トフレームＭへの積算光量が中心部（照射方向が垂直の
状態）から外れるに従って低下し不均一になる。

【００３６】そこで、マウントフレームＭＦへの紫外線
の積算光量を一定にするために、ランプハウス１２の首
振り速度を制御する。すなわち、図４に示すように、マ
ウントフレームＭＦへの紫外線の照射角度が垂直の状態
から傾斜した状態、すなわち照度が低くなるに従って、
首振り速度（移動速度）を遅くし、逆にマウントフレー
ムＭＦへの紫外線の照射角度が傾斜した状態から垂直の
状態、すなわち照度が高くなるに従って、首振り速度
（移動速度）を速くすることによって、紫外線の照射領
域の全体にわたって紫外線の積算光量が一定になるよう
にしている。このようなランプハウス１２の首振り速度
の制御を制御部１７が行っている。なお、この首振り速
度は、ランプハウス１２の首振り角度θに応じて予め設
定されている。

【００３７】＜第２実施例＞図５は第２実施例に係る紫
外線照射装置の概略構成図である。この第２実施例にお
いて、先の第１実施例と異なっている点は次の通りであ
る。すなわち、ランプハウス１２の開口部が左側を向い
て固定配置されており、そのランプハウス１２の左手に
は本発明の反射手段に相当する揺動可能な反射ミラー１
８が配備されている。この反射鏡１８はモータ１６によ
って首振り駆動され、このモータ１６は制御部１７に接
続されている。

【００３８】なお、その他の構成は第１実施例と同様で
あるので、対応する部分に同一符号を付すにとどめ、説
明を省略する。

【００３９】次に、この第２実施例の動作について説明
する。ランプハウス１２から反射ミラー１８に向かって
紫外線が照射される。この紫外線を受光した反射ミラー
１８はマウントフレームＭＦに向かって紫外線を反射さ
せる。このとき、反射ミラー１８は、マウントフレーム
ＭＦの紫外線受光面の全体にわたって積算光量を一定に
するために、モータ１６による首振り動作を制御部１７
でコントロールされる。

【００４０】この反射ミラー１８の首振り速度は、反射
鏡１８により反射された紫外線のマウントフレームＭＦ
への照射角度に応じて変化する。すなわち、第１実施例
の場合と同様に、マウントフレームＭＦへの紫外線の照
射角度が垂直の状態から傾斜した状態になるに従って、
首振り速度を遅くし、逆にマウントフレームＭＦへの紫
外線の照射角度が傾斜した状態から垂直の状態になるに
従って、首振り速度を速くすることによって、紫外線の
照射領域の全体にわたって紫外線の積算光量が一定にな
るようにしている。

【００４１】本発明は上述した実施例に限らず、次のよ
うに変形実施することもできる。 （１）上述した第１および第２実施例では、ランプハウ
ス１２または反射ミラー１８の首振り速度をコントロー
ルすることによって、紫外線照射領域の全体にわたって
積算光量が一定になるようにしたが、ランプハウス１２
または反射ミラー１８を等しい速度で首振り駆動する代
わりに、紫外線の照射角度に応じて紫外線の照度をコン
トロールするようにしてもよい。すなわち、マウントフ
レームＭＦへの紫外線の照射角度が垂直の状態から傾斜
した状態になるに従って、紫外線の照度を強くし、逆に
マウントフレームＭＦへの紫外線の照射角度が傾斜した
状態から垂直の状態になるに従って紫外線の照度を弱く
することによって、紫外線の照射領域の全体にわたって
紫外線の積算光量が一定になるようにしてもよい。

【００４２】このような照度をコントロールする手法と
して、例えば次の２つの手法がある。第１の手法は、紫
外線の照射角度に応じて紫外線ランプ１１の駆動電圧を
コントロールする手法である。具体的には、マウントフ
レームＭＦへの紫外線の照射角度が垂直の状態から傾斜
した状態になるに従って、駆動電圧を高くして紫外線の
照度を強くし、逆にマウントフレームＭＦへの紫外線の
照射角度が傾斜した状態から垂直の状態になるに従って
駆動電圧を低くして紫外線の照度を弱くすることによっ
て、紫外線の照射領域の全体にわたって紫外線の積算光
量が一定になるようにする。

【００４３】第２の手法は、紫外線の照射角度に応じて
紫外線の透過量を減光フィルターを使って調整する手法
である。具体的には、マウントフレームＭＦへの紫外線
の照射角度が垂直の状態から傾斜した状態になるに従っ
て、透過光量が多くなるようにし、逆にマウントフレー
ムＭＦへの紫外線の照射角度が傾斜した状態から垂直の
状態になるに従って透過光量が少なくなるような減光フ
ィルターを介在させることによって、紫外線の照射領域
の全体にわたって紫外線の積算光量が一定になるように
する。

【００４４】（２）上記実施例ではランプハウス内に１
個の紫外線ランプを設置していたが、ランプハウス内に
２個以上の紫外線ランプを設置してもよい。

【００４５】（３）また、１個の紫外線ランプを装着し
たランプハウスを複数個組み合わせて並列配置し、これ
らのランプハウスを首振り駆動するようにしてもよい。

【００４６】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
１に記載の発明によれば、紫外線を首振り走査すること
によって物品に紫外線を照射しているので、紫外線照射
手段の移動範囲が少なく装置の小型化が可能であるとと
もに、電源用の配線の処理が容易である。また、紫外線
の照射領域の全体にわたって紫外線の積算光量が一定に
なるように制御しているので、粘着テープの粘着力を均
一に低下させることができる。

【００４７】請求項２に記載の発明によれば、請求項１
に記載の方法を好適に実施することができる。

【００４８】請求項３に記載の発明によれば、紫外線照
射手段を首振り駆動し、請求項４に記載の発明によれ
ば、反射ミラーを首振り駆動しているので、いずれの発
明も装置の小型化が可能で、かつ、粘着テープの粘着力
を均一に低下させることができる。

【００４９】請求項５に記載の発明によれば、紫外線照
射手段または反射ミラーの首振り速度をコントロールす
ることによって、紫外線の照射領域の全体にわたって紫
外線の積算光量が一定になるので、粘着テープの粘着力
を均一に低下させることができる。

【００５０】請求項６に記載の発明によれば、紫外線の
照度をコントロールすることによって、紫外線の照射領
域の全体にわたって紫外線の積算光量が一定になるの
で、粘着テープの粘着力を均一に低下させることができ
る。

【００５１】請求項７に記載の発明によれば、紫外線照
射手段の駆動電圧をコントロールすることによって、紫
外線の照射領域の全体にわたって紫外線の積算光量が一
定になるので、粘着テープの粘着力を均一に低下させる
ことができる。

【００５２】請求項８に記載の発明によれば、減光フィ
ルターを用いることによって、紫外線の照射領域の全体
にわたって紫外線の積算光量が一定になるので、粘着テ
ープの粘着力を均一に低下させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る紫外線照射装置の第１実施例の概
略構成図である。

【図２】第１実施例装置の要部の平面図である。

【図３】ランプハウスから照射される紫外線の照度分布
図であり、（ａ）は正面から見たときの照度分布図、
（ｂ）は側面から見たときの照度分布図である。

【図４】第１実施例装置におけるランプハウスの首振り
速度（移動速度）と、紫外線の照度分布と、積算光量と
の関係を示した図である。

【図５】本発明に係る紫外線照射装置の第２実施例の概
略構成図である。

【図６】従来の第１手法に係る紫外線照射装置の概略構
成図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。

【図７】従来の第２手法に係る紫外線照射装置の概略構
成図であり、（ａ）は正面図であり、（ｂ）は側面図で
ある。

【図８】従来の第３手法に係る紫外線照射装置の概略構
成図である。

【符号の説明】

１１ … 紫外線ランプ １２ … ランプハウス １３ … 紫外線収束筒 １４ … フレーム支持プレート １６ … モータ １７ … 制御部 ＭＦ … マウントフレーム Ｔ … 粘着テープ Ｗ … 半導体ウエハ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山本 雅之 大阪府茨木市下穂積１丁目１番２号 日東 電工株式会社内 Ｆターム(参考） 4F203 AD08 AD32 AD35 AK03 AR07 AR08 AR20 DA12 DB01 DC08 DD08 DF05 DK13

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 紫外線硬化型の粘着テープが貼付けられ
   た物品に紫外線を照射することによって、前記粘着テー
   プの粘着力を低下させる方法であって、 紫外線を首振り走査することにより、物品に貼付けられ
   た粘着テープに紫外線を照射する紫外線照射過程と、 紫外線の照射領域の全体にわたって紫外線の積算光量を
   一定にする制御過程とを備えたことを特徴とする紫外線
   照射方法。
2. 【請求項２】 紫外線硬化型の粘着テープが貼付けられ
   た物品に紫外線を照射することによって、前記粘着テー
   プの粘着力を低下させる紫外線照射装置であって、 前記物品に紫外線を照射する紫外線照射手段と、 前記紫外線照射手段から物品に向けて照射される紫外線
   を首振り走査する走査手段と、 紫外線の照射領域の全体にわたって紫外線の積算光量を
   一定にする制御手段とを備えたことを特徴とする紫外線
   照射装置。
3. 【請求項３】 請求項２に記載の紫外線照射装置におい
   て、 前記走査手段は、前記紫外線照射手段を首振り駆動する
   駆動機構である紫外線照射装置。
4. 【請求項４】 請求項２に記載の紫外線照射装置におい
   て、 前記走査手段は、前記紫外線照射手段から照射された紫
   外線を反射する反射ミラーと、この反射ミラーを首振り
   駆動するミラー駆動機構とを含む紫外線照射装置。
5. 【請求項５】 請求項３または請求項４に記載の紫外線
   照射装置において、 前記制御手段は、紫外線の照射領域の全体にわたって紫
   外線の積算光量が一定になるように、紫外線照射手段ま
   たは反射ミラーの首振り速度をコントロールする速度制
   御手段である紫外線照射装置。
6. 【請求項６】 請求項３または請求項４に記載の紫外線
   照射装置において、 前記制御手段は、紫外線の照射領域の全体にわたって紫
   外線の積算光量が一定になるように、紫外線の照度をコ
   ントロールする照度制御手段である紫外線照射装置。
7. 【請求項７】 請求項６に記載の紫外線照射装置におい
   て、 前記照度制御手段は、紫外線の照射領域の全体にわたっ
   て紫外線の積算光量が一定になるように、紫外線照射手
   段の駆動電圧をコントロールする電圧制御手段である紫
   外線照射装置。
8. 【請求項８】 請求項６に記載の紫外線照射装置におい
   て、 前記照度制御手段は、紫外線の照射領域の全体にわたっ
   て紫外線の積算光量が一定になるように、紫外線の透過
   光量を調整する減光フィルターである紫外線照射装置。