JP2001281855A - 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント - Google Patents
感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 密着性、解像性、剥離特性等に優れた感光性
樹脂組成物を提供するものである。 【解決手段】 （Ａ）バインダーポリマー、（Ｂ）下記
一般式（Ｉ） 【化１】 ［式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3及びＲ4は各々独立に水素原子又
は炭素数１〜３のアルキル基を示し、Ａはエチレン基を
示し、Ｂは炭素数３〜６のアルキレン基を示し、ｍ、
ｎ、ｐ及びｑは各々独立に１〜２０の整数である。］で
表される化合物を必須成分として含む分子内に重合可能
なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物及び
（Ｃ）光重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物。
樹脂組成物を提供するものである。 【解決手段】 （Ａ）バインダーポリマー、（Ｂ）下記
一般式（Ｉ） 【化１】 ［式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3及びＲ4は各々独立に水素原子又
は炭素数１〜３のアルキル基を示し、Ａはエチレン基を
示し、Ｂは炭素数３〜６のアルキレン基を示し、ｍ、
ｎ、ｐ及びｑは各々独立に１〜２０の整数である。］で
表される化合物を必須成分として含む分子内に重合可能
なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物及び
（Ｃ）光重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物。
Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、感光性樹脂組成物
及びこれを用いた感光性エレメントに関する。
及びこれを用いた感光性エレメントに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、プリント回路板の製造分野におい
て、エッチング、メッキ等に用いられるレジスト材料と
しては、感光性樹脂組成物及びそれに支持体と保護フィ
ルムを用いて得られる感光性エレメントが広く用いられ
ている。
て、エッチング、メッキ等に用いられるレジスト材料と
しては、感光性樹脂組成物及びそれに支持体と保護フィ
ルムを用いて得られる感光性エレメントが広く用いられ
ている。
【０００３】プリント回路板は、感光性エレメントを銅
基板上にラミネートして、パターン露光した後、未露光
部を現像液で除去し、エッチング又はメッキ処理を施し
て、パターンを形成させた後、硬化部分を基板上から剥
離除去する方法によって製造されている。
基板上にラミネートして、パターン露光した後、未露光
部を現像液で除去し、エッチング又はメッキ処理を施し
て、パターンを形成させた後、硬化部分を基板上から剥
離除去する方法によって製造されている。
【０００４】この未露光部の除去を行う現像液として
は、炭酸ナトリウム溶液等を使用するアルカリ現像型が
主流になっており、現像液は、通常、ある程度感光層を
溶解する能力がある限り使用され、使用時には現像液中
に感光性樹脂組成物が溶解又は分散される。
は、炭酸ナトリウム溶液等を使用するアルカリ現像型が
主流になっており、現像液は、通常、ある程度感光層を
溶解する能力がある限り使用され、使用時には現像液中
に感光性樹脂組成物が溶解又は分散される。
【０００５】近年の印刷配線板の高密度化に伴い、銅基
板とパターン形成された感光層との接触面積が小さくな
るため、感光性エレメントには、現像、エッチング又は
メッキ処理工程で優れた接着力、機械強度、耐薬品性、
柔軟性が要求される。
板とパターン形成された感光層との接触面積が小さくな
るため、感光性エレメントには、現像、エッチング又は
メッキ処理工程で優れた接着力、機械強度、耐薬品性、
柔軟性が要求される。
【０００６】また、作業性の点から剥離除去の際、剥離
片が細分化しかつ剥離時間が短いことが好ましい。
片が細分化しかつ剥離時間が短いことが好ましい。
【０００７】通常、剥離は、自動剥離機で行われるが、
剥離片が大きいと、剥離機のロールに剥離片が絡まり著
しく作業性を低下させるのみならず、剥離片が清浄な基
板上に再付着する。
剥離片が大きいと、剥離機のロールに剥離片が絡まり著
しく作業性を低下させるのみならず、剥離片が清浄な基
板上に再付着する。
【０００８】特開平４−８８３４５号公報等には、良好
な剥離性を有する光重合性化合物としてビスフェノール
Ａ系アクリル酸及びメタクリル酸エステルモノマーの分
子中にエチレングリコール鎖とプロピレングリコール鎖
の双方を含有する化合物が開示されているが、アクリレ
ート系化合物はアルカリ現像液中で分離しやすく、スカ
ム発生の原因となり、基板に付着するとショート、断線
の原因となる問題点がある。
な剥離性を有する光重合性化合物としてビスフェノール
Ａ系アクリル酸及びメタクリル酸エステルモノマーの分
子中にエチレングリコール鎖とプロピレングリコール鎖
の双方を含有する化合物が開示されているが、アクリレ
ート系化合物はアルカリ現像液中で分離しやすく、スカ
ム発生の原因となり、基板に付着するとショート、断線
の原因となる問題点がある。
【０００９】また、特開平６−３０１２０６号公報に
は、ビスフェノールＡをポリエチレングリコール又はポ
リプロピレングリコールで鎖伸長したアルコールにイソ
シアン酸エチル（メタ）アクリレートを付加させた化合
物が開示されているが、側鎖を長くすると耐薬品性が低
下したり、他成分との相溶性が損なわれる傾向にある。
は、ビスフェノールＡをポリエチレングリコール又はポ
リプロピレングリコールで鎖伸長したアルコールにイソ
シアン酸エチル（メタ）アクリレートを付加させた化合
物が開示されているが、側鎖を長くすると耐薬品性が低
下したり、他成分との相溶性が損なわれる傾向にある。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上記
した従来の技術の問題点を解消し、密着性、解像性、剥
離特性等に優れた感光性樹脂組成物を提供するものであ
る。本発明の他の目的は、更に現像性、光感度、塗膜性
等に優れた感光性樹脂組成物を提供するものである。本
発明の他の目的は、上記した従来の技術の問題点を解消
し、密着性、解像性、剥離特性等に優れた感光性エレメ
ントを提供するものである。
した従来の技術の問題点を解消し、密着性、解像性、剥
離特性等に優れた感光性樹脂組成物を提供するものであ
る。本発明の他の目的は、更に現像性、光感度、塗膜性
等に優れた感光性樹脂組成物を提供するものである。本
発明の他の目的は、上記した従来の技術の問題点を解消
し、密着性、解像性、剥離特性等に優れた感光性エレメ
ントを提供するものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、（Ａ）バイン
ダーポリマー、（Ｂ）下記一般式（Ｉ）
ダーポリマー、（Ｂ）下記一般式（Ｉ）
【００１２】
【化２】 ［式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3及びＲ4は各々独立に水素原子又
は炭素数１〜３のアルキル基を示し、Ａはエチレン基を
示し、Ｂは炭素数３〜６のアルキレン基を示し、ｍ、
ｎ、ｐ及びｑは各々独立に１〜２０の整数である。］で
表される化合物を必須成分として含む分子内に重合可能
なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物及び
（Ｃ）光重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物に
関する。本発明はまた、上記感光性樹脂組成物の層を支
持体上に積層してなる感光性エレメントに関する。
は炭素数１〜３のアルキル基を示し、Ａはエチレン基を
示し、Ｂは炭素数３〜６のアルキレン基を示し、ｍ、
ｎ、ｐ及びｑは各々独立に１〜２０の整数である。］で
表される化合物を必須成分として含む分子内に重合可能
なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物及び
（Ｃ）光重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物に
関する。本発明はまた、上記感光性樹脂組成物の層を支
持体上に積層してなる感光性エレメントに関する。
【００１３】
【発明の実施の形態】本発明の感光性樹脂組成物は
（Ａ）成分のバインダーポリマー、（Ｂ）成分の分子内
に重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合
物及び（Ｃ）成分の光重合開始剤を必須成分として含む
ものである。
（Ａ）成分のバインダーポリマー、（Ｂ）成分の分子内
に重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合
物及び（Ｃ）成分の光重合開始剤を必須成分として含む
ものである。
【００１４】本発明における（Ａ）成分のバインダーポ
リマーとしては、アクリル酸又はメタクリル酸とこれら
と共重合しうるビニルモノマーとを共重合して得られる
ビニル系共重合体等が挙げられる。これらのビニル系共
重合体は、単独で又は２種類以上を組み合わせて使用さ
れる。
リマーとしては、アクリル酸又はメタクリル酸とこれら
と共重合しうるビニルモノマーとを共重合して得られる
ビニル系共重合体等が挙げられる。これらのビニル系共
重合体は、単独で又は２種類以上を組み合わせて使用さ
れる。
【００１５】前記ビニルモノマーとしては、特に制限は
なく、例えば、メチルアクリレート、エチルアクリレー
ト、ｎ−プロピルアクリレート、ブチルアクリレート、
ラウリルアクリレート、２−エチルヘキシルアクリレー
ト、２−ヒドロキシエチルアクリレート、テトラヒドロ
フルフリルアクリレート、ジメチルアミノエチルアクリ
レート、ジエチルアミノエチルアクリレート、グリシジ
ルアクリレート、２，２，２−トリフルオロエチルアク
リレート、２，２，３，３−テトラフルオロプロピルア
クリレート、これらに対応するメタクリレート、アクリ
ルアミド、ジアセトンアクリルアミド、アクリロニトリ
ル、スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、
Ｎ−ビニルピロリドン等が挙げられ、その中でも、メチ
ルアクリレート、エチルアクリレート、ブチルアクリレ
ート、２−エチルヘキシルアクリレート、これらに対応
するメタクリレート、スチレン、α−メチルスチレン、
ビニルトルエン等が好ましく、メチルアクリレート、エ
チルアクリレート、これらに対応するメタクリレート、
スチレンがより好ましい。
なく、例えば、メチルアクリレート、エチルアクリレー
ト、ｎ−プロピルアクリレート、ブチルアクリレート、
ラウリルアクリレート、２−エチルヘキシルアクリレー
ト、２−ヒドロキシエチルアクリレート、テトラヒドロ
フルフリルアクリレート、ジメチルアミノエチルアクリ
レート、ジエチルアミノエチルアクリレート、グリシジ
ルアクリレート、２，２，２−トリフルオロエチルアク
リレート、２，２，３，３−テトラフルオロプロピルア
クリレート、これらに対応するメタクリレート、アクリ
ルアミド、ジアセトンアクリルアミド、アクリロニトリ
ル、スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、
Ｎ−ビニルピロリドン等が挙げられ、その中でも、メチ
ルアクリレート、エチルアクリレート、ブチルアクリレ
ート、２−エチルヘキシルアクリレート、これらに対応
するメタクリレート、スチレン、α−メチルスチレン、
ビニルトルエン等が好ましく、メチルアクリレート、エ
チルアクリレート、これらに対応するメタクリレート、
スチレンがより好ましい。
【００１６】（Ａ）成分のバインダーポリマーは、アル
カリ水溶液（例えば、１〜３重量％の炭酸ナトリウム又
は炭酸カリウム水溶液等）に可溶又は膨潤可能であるこ
とが、現像性、環境保全性等の点で望ましいので、カル
ボキシル基を有していることが好ましく、酸価は、１０
０〜３００であることが好ましい。酸価が１００未満で
は、現像時間が遅くなる傾向があり、３００を超える
と、光硬化したレジストの耐現像液性が低下する傾向が
ある。
カリ水溶液（例えば、１〜３重量％の炭酸ナトリウム又
は炭酸カリウム水溶液等）に可溶又は膨潤可能であるこ
とが、現像性、環境保全性等の点で望ましいので、カル
ボキシル基を有していることが好ましく、酸価は、１０
０〜３００であることが好ましい。酸価が１００未満で
は、現像時間が遅くなる傾向があり、３００を超える
と、光硬化したレジストの耐現像液性が低下する傾向が
ある。
【００１７】また、重量平均分子量（ゲルパーミエーシ
ョンクロマトグラフィーで測定し、ポリスチレン換算し
たもの）は１０，０００〜５００，０００とすることが
好ましく、１５，０００〜３００，０００とすることが
より好ましく、２０，０００〜１５０，０００とするこ
とが特に好ましい。重量平均分子量が１０，０００未満
では、光硬化したレジストの耐現像液性が低下する傾向
があり、５００，０００を超えると、現像時間が長くな
る傾向がある。
ョンクロマトグラフィーで測定し、ポリスチレン換算し
たもの）は１０，０００〜５００，０００とすることが
好ましく、１５，０００〜３００，０００とすることが
より好ましく、２０，０００〜１５０，０００とするこ
とが特に好ましい。重量平均分子量が１０，０００未満
では、光硬化したレジストの耐現像液性が低下する傾向
があり、５００，０００を超えると、現像時間が長くな
る傾向がある。
【００１８】本発明において、（Ａ）成分の配合量は、
（Ａ）成分及び（Ｂ）の総量１００重量部に対して２０
〜９０重量部とすることが好ましく、３０〜８５重量部
とすることがより好ましく、４０〜８０重量部とするこ
とが特に好ましい。この配合量が２０重量部未満では、
光硬化物が脆くなりやすく、感光性エレメントとして用
いた場合塗膜性に劣る傾向があり、９０重量部を超える
と、感度が不十分となる傾向がある。
（Ａ）成分及び（Ｂ）の総量１００重量部に対して２０
〜９０重量部とすることが好ましく、３０〜８５重量部
とすることがより好ましく、４０〜８０重量部とするこ
とが特に好ましい。この配合量が２０重量部未満では、
光硬化物が脆くなりやすく、感光性エレメントとして用
いた場合塗膜性に劣る傾向があり、９０重量部を超える
と、感度が不十分となる傾向がある。
【００１９】本発明の感光性樹脂組成物は、（Ｂ）成分
の分子内に重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重
合性化合物として、前記一般式（Ｉ）で表される化合物
を必須成分として含有する。
の分子内に重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重
合性化合物として、前記一般式（Ｉ）で表される化合物
を必須成分として含有する。
【００２０】前記一般式（Ｉ）で表される化合物におい
て、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3及びＲ4は水素原子又は炭素数１〜３
のアルキル基であり、水素原子、メチル基、エチル基等
であることが好ましく、水素原子、メチル基であること
がより好ましい。
て、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3及びＲ4は水素原子又は炭素数１〜３
のアルキル基であり、水素原子、メチル基、エチル基等
であることが好ましく、水素原子、メチル基であること
がより好ましい。
【００２１】Ｂは炭素数３〜６のアルキレン基であり、
プロピレン基、イソプロピレン基、ブチレン基、ヘプチ
レン基、ヘキシレン基等であることが好ましく、プロピ
レン基、イソプロピレン基であることがより好ましい。
上記イソプロピレン基は−ＣＨ2−ＣＨ（ＣＨ3）−で表
される基であり、メチン基はどちらの向きに結合してい
てもよい。
プロピレン基、イソプロピレン基、ブチレン基、ヘプチ
レン基、ヘキシレン基等であることが好ましく、プロピ
レン基、イソプロピレン基であることがより好ましい。
上記イソプロピレン基は−ＣＨ2−ＣＨ（ＣＨ3）−で表
される基であり、メチン基はどちらの向きに結合してい
てもよい。
【００２２】前記一般式（Ｉ）で表される化合物におい
て、−Ａ−Ｏ−及び−Ｂ−Ｏ−は分子中にブロックセグ
メントとして存在していてもよいし、ランダムセグメン
トとして存在していてもよい。−Ｂ−Ｏ−が１分子中に
複数存在する場合は、複数個の−Ｂ−Ｏ−は同じもので
あってもよいし、異なるものであってもよい。
て、−Ａ−Ｏ−及び−Ｂ−Ｏ−は分子中にブロックセグ
メントとして存在していてもよいし、ランダムセグメン
トとして存在していてもよい。−Ｂ−Ｏ−が１分子中に
複数存在する場合は、複数個の−Ｂ−Ｏ−は同じもので
あってもよいし、異なるものであってもよい。
【００２３】前記一般式（Ｉ）で表される化合物におい
て、ｍ、ｎ、ｐ及びｑは１〜２０の整数であることが好
ましい。ｍ、ｎ、ｐ及びｑが２０を超えると硬化性が低
下する傾向がある。
て、ｍ、ｎ、ｐ及びｑは１〜２０の整数であることが好
ましい。ｍ、ｎ、ｐ及びｑが２０を超えると硬化性が低
下する傾向がある。
【００２４】また、前記一般式（Ｉ）で表される化合物
以外の本発明に用いられる（Ｂ）成分の分子内に重合可
能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物として
は、例えば、多価アルコールにα，β−不飽和カルボン
酸を反応させて得られる化合物（ポリエチレングリコー
ルジ（メタ）アクリレート（エチレン基の数が２〜１４
のもの）、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレ
ート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレー
ト、トリメチロールプロパンエトキシトリ（メタ）アク
リレート、トリメチロールプロパンプロポキシトリ（メ
タ）アクリレート、テトラメチロールメタントリ（メ
タ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メ
タ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メ
タ）アクリレート（プロピレン基の数が２〜１４のも
の）、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレ
ート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレ
ート等）、ビスフェノールＡポリオキシエチレンジ（メ
タ）アクリレート（ビスフェノールＡジオキシエチレン
ジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡトリオキシ
エチレンジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡデ
カオキシエチレンジ（メタ）アクリレート等）、グリシ
ジル基含有化合物にα、β−不飽和カルボン酸を付加し
て得られる化合物（トリメチロールプロパントリグリシ
ジルエーテルトリ（メタ）アクリレート、ビスフェノー
ルＡジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート
等）、多価カルボン酸（無水フタル酸等）と水酸基及び
エチレン性不飽和基を有する物質（β−ヒドロキシエチ
ル（メタ）アクリレート等）とのエステル化物、ウレタ
ン（メタ）アクリレート化合物（多価イソシアネート
（トリレンジイソシアネート等）と水酸基及びエチレン
性不飽和基を有する物質（β−ヒドロキシエチル（メ
タ）アクリレート等）との反応物、多価イソシアネート
（トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート等）と多
価アルコール（ポリエチレングリコール等）と水酸基及
びエチレン性不飽和基を有する物質（β−ヒドロキシエ
チル（メタ）アクリレート等）との反応物等）、（メ
タ）アクリル酸のアルキルエステル（（メタ）アクリル
酸メチルエステル、（メタ）アクリル酸エチルエステ
ル、（メタ）アクリル酸ブチルエステル、（メタ）アク
リル酸２−エチルヘキシルエステル等）等が挙げられ、
その中でも、ビスフェノールＡポリオキシエチレンジ
（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ
（メタ）アクリレート、グリシジル基含有化合物にα、
β−不飽和カルボン酸を付加して得られる化合物、多価
カルボン酸（無水フタル酸等）と水酸基及びエチレン性
不飽和基を有する物質（β−ヒドロキシエチル（メタ）
アクリレート等）とのエステル化物等が好ましく、ビス
フェノールＡポリオキシエチレンジ（メタ）アクリレー
ト、多価カルボン酸（無水フタル酸等）と水酸基及びエ
チレン性不飽和基を有する物質（β−ヒドロキシエチル
（メタ）アクリレート等）とのエステル化物がより好ま
しい。これらの化合物は１種又は２種以上を組み合わせ
て用いられる。
以外の本発明に用いられる（Ｂ）成分の分子内に重合可
能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物として
は、例えば、多価アルコールにα，β−不飽和カルボン
酸を反応させて得られる化合物（ポリエチレングリコー
ルジ（メタ）アクリレート（エチレン基の数が２〜１４
のもの）、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレ
ート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレー
ト、トリメチロールプロパンエトキシトリ（メタ）アク
リレート、トリメチロールプロパンプロポキシトリ（メ
タ）アクリレート、テトラメチロールメタントリ（メ
タ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メ
タ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メ
タ）アクリレート（プロピレン基の数が２〜１４のも
の）、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレ
ート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレ
ート等）、ビスフェノールＡポリオキシエチレンジ（メ
タ）アクリレート（ビスフェノールＡジオキシエチレン
ジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡトリオキシ
エチレンジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡデ
カオキシエチレンジ（メタ）アクリレート等）、グリシ
ジル基含有化合物にα、β−不飽和カルボン酸を付加し
て得られる化合物（トリメチロールプロパントリグリシ
ジルエーテルトリ（メタ）アクリレート、ビスフェノー
ルＡジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート
等）、多価カルボン酸（無水フタル酸等）と水酸基及び
エチレン性不飽和基を有する物質（β−ヒドロキシエチ
ル（メタ）アクリレート等）とのエステル化物、ウレタ
ン（メタ）アクリレート化合物（多価イソシアネート
（トリレンジイソシアネート等）と水酸基及びエチレン
性不飽和基を有する物質（β−ヒドロキシエチル（メ
タ）アクリレート等）との反応物、多価イソシアネート
（トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート等）と多
価アルコール（ポリエチレングリコール等）と水酸基及
びエチレン性不飽和基を有する物質（β−ヒドロキシエ
チル（メタ）アクリレート等）との反応物等）、（メ
タ）アクリル酸のアルキルエステル（（メタ）アクリル
酸メチルエステル、（メタ）アクリル酸エチルエステ
ル、（メタ）アクリル酸ブチルエステル、（メタ）アク
リル酸２−エチルヘキシルエステル等）等が挙げられ、
その中でも、ビスフェノールＡポリオキシエチレンジ
（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ
（メタ）アクリレート、グリシジル基含有化合物にα、
β−不飽和カルボン酸を付加して得られる化合物、多価
カルボン酸（無水フタル酸等）と水酸基及びエチレン性
不飽和基を有する物質（β−ヒドロキシエチル（メタ）
アクリレート等）とのエステル化物等が好ましく、ビス
フェノールＡポリオキシエチレンジ（メタ）アクリレー
ト、多価カルボン酸（無水フタル酸等）と水酸基及びエ
チレン性不飽和基を有する物質（β−ヒドロキシエチル
（メタ）アクリレート等）とのエステル化物がより好ま
しい。これらの化合物は１種又は２種以上を組み合わせ
て用いられる。
【００２５】本発明において、（Ｂ）成分の配合量は、
（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量１００重量部に対し、１
０〜８０重量部とすることが好ましく、１５〜７０重量
部とすることがより好ましく、２０〜６０重量部とする
ことが特に好ましい。この配合量が１０重量部未満で
は、感度が不十分となる傾向があり、８０重量部を超え
ると、光硬化物が脆くなる傾向がある。
（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量１００重量部に対し、１
０〜８０重量部とすることが好ましく、１５〜７０重量
部とすることがより好ましく、２０〜６０重量部とする
ことが特に好ましい。この配合量が１０重量部未満で
は、感度が不十分となる傾向があり、８０重量部を超え
ると、光硬化物が脆くなる傾向がある。
【００２６】（Ｂ）成分中の一般式（Ｉ）で表される化
合物の配合量は（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量１００重
量部に対し、３重量部以上とすることが好ましく、５重
量部以上とすることがより好ましく、１０重量部以上と
することが特に好ましい。この配合量が３重量部未満で
は本発明の目的とする効果が十分に得られない。
合物の配合量は（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量１００重
量部に対し、３重量部以上とすることが好ましく、５重
量部以上とすることがより好ましく、１０重量部以上と
することが特に好ましい。この配合量が３重量部未満で
は本発明の目的とする効果が十分に得られない。
【００２７】本発明に用いられる（Ｃ）成分の光重合開
始剤には、特に制限はなく、従来知られているものを用
いることができる。例えば、芳香族ケトン（ベンゾフェ
ノン、Ｎ，Ｎ’−テトラメチル−４，４’−ジアミノベ
ンゾフェノン（ミヒラーケトン）、Ｎ，Ｎ’−テトラエ
チル−４，４’−ジアミノベンゾフェノン、４−メトキ
シ−４‘−ジメチルアミノベンゾフェノン、４，４’−
ジクロルベンゾフェノン、２−エチルアントラキノン、
ｔ−ブチルアントラキノン、フェナントレンキノン、２
−クロロチオキサントン等）、ベンゾインエーテル（ベ
ンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、
ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインフェニル
エーテル等）、ベンゾイン（メチルベンゾイン、エチル
ベンゾイン等）、ベンジル誘導体（ベンジルジメチルケ
タール等）、２，４，５−トリアリルイミダゾール二量
体（２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニル
イミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−
４，５−ジ（ｍ−メトキシフェニル）イミダゾール二量
体、２−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニ
ルイミダゾール二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）
−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−
メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール
二量体、２，４−ジ（ｐ−メトキシフェニル）−５−フ
ェニルイミダゾール二量体、２−（２，４−ジメトキシ
フェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体
等）、アクリジン誘導体（９−フェニルアクリジン等）
等が挙げられ、その中でも、芳香族ケトン、２，４，５
−トリアリルイミダゾール二量体、アクリジン誘導体等
が好ましく、芳香族ケトン、２，４，５−トリアリルイ
ミダゾール二量体がより好ましい。これらは単独で又は
２種類以上を組み合わせて使用される。
始剤には、特に制限はなく、従来知られているものを用
いることができる。例えば、芳香族ケトン（ベンゾフェ
ノン、Ｎ，Ｎ’−テトラメチル−４，４’−ジアミノベ
ンゾフェノン（ミヒラーケトン）、Ｎ，Ｎ’−テトラエ
チル−４，４’−ジアミノベンゾフェノン、４−メトキ
シ−４‘−ジメチルアミノベンゾフェノン、４，４’−
ジクロルベンゾフェノン、２−エチルアントラキノン、
ｔ−ブチルアントラキノン、フェナントレンキノン、２
−クロロチオキサントン等）、ベンゾインエーテル（ベ
ンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、
ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインフェニル
エーテル等）、ベンゾイン（メチルベンゾイン、エチル
ベンゾイン等）、ベンジル誘導体（ベンジルジメチルケ
タール等）、２，４，５−トリアリルイミダゾール二量
体（２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニル
イミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−
４，５−ジ（ｍ−メトキシフェニル）イミダゾール二量
体、２−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニ
ルイミダゾール二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）
−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−
メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール
二量体、２，４−ジ（ｐ−メトキシフェニル）−５−フ
ェニルイミダゾール二量体、２−（２，４−ジメトキシ
フェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体
等）、アクリジン誘導体（９−フェニルアクリジン等）
等が挙げられ、その中でも、芳香族ケトン、２，４，５
−トリアリルイミダゾール二量体、アクリジン誘導体等
が好ましく、芳香族ケトン、２，４，５−トリアリルイ
ミダゾール二量体がより好ましい。これらは単独で又は
２種類以上を組み合わせて使用される。
【００２８】本発明において、（Ｃ）成分の配合量は、
（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量１００重量部に対し、
０．０１〜２０重量部とすることが好ましく、０．０２
〜１５重量部とすることがより好ましく、０．０３〜１
０重量部とすることが特に好ましい。この配合量が、
０．０１重量部未満では、十分な光感度が得られない傾
向があり、２０重量部を越えると、露光の際に組成物の
表面での光吸収が増加して、内部の光硬化が不十分とな
る傾向がある。
（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量１００重量部に対し、
０．０１〜２０重量部とすることが好ましく、０．０２
〜１５重量部とすることがより好ましく、０．０３〜１
０重量部とすることが特に好ましい。この配合量が、
０．０１重量部未満では、十分な光感度が得られない傾
向があり、２０重量部を越えると、露光の際に組成物の
表面での光吸収が増加して、内部の光硬化が不十分とな
る傾向がある。
【００２９】本発明の感光性樹脂組成物には、必要に応
じて、マラカイトグリーン等の染料、トリブロモメチル
フェニルスルホン、ロイコクリスタルバイオレット等の
発色剤、ｐ−トルエンスルホンアミド等の可塑剤、顔
料、難燃剤、安定剤、密着性付与剤等を添加することが
できる。
じて、マラカイトグリーン等の染料、トリブロモメチル
フェニルスルホン、ロイコクリスタルバイオレット等の
発色剤、ｐ−トルエンスルホンアミド等の可塑剤、顔
料、難燃剤、安定剤、密着性付与剤等を添加することが
できる。
【００３０】本発明の感光性樹脂組成物には、前記各成
分を溶解する溶剤、例えば、トルエン、アセトン、メチ
ルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、メチルセロ
ソルブ、エチルセロソルブ、クロロホルム、塩化メチレ
ン、メチルアルコール、エチルアルコール、Ｎ，Ｎ−ジ
メチルホルムアミド等を含むことができる。
分を溶解する溶剤、例えば、トルエン、アセトン、メチ
ルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、メチルセロ
ソルブ、エチルセロソルブ、クロロホルム、塩化メチレ
ン、メチルアルコール、エチルアルコール、Ｎ，Ｎ−ジ
メチルホルムアミド等を含むことができる。
【００３１】本発明の感光性エレメントは、前記感光性
樹脂組成物を、支持体上に塗布、乾燥し、支持体上に感
光層を形成することによって製造できる。
樹脂組成物を、支持体上に塗布、乾燥し、支持体上に感
光層を形成することによって製造できる。
【００３２】前記支持体としては、例えば、ポリエチレ
ンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン等か
らなる重合体フィルムが挙げられ、ポリエチレンテレフ
タレートフィルムが好ましい。
ンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン等か
らなる重合体フィルムが挙げられ、ポリエチレンテレフ
タレートフィルムが好ましい。
【００３３】これらの重合体フィルムの厚さは、５〜１
００μｍとすることが好ましく、１０〜３０μｍとする
ことがより好ましい。また、これらの重合体フィルム
は、一つは感光層の支持体として、他の一つは感光層の
保護フィルムとして感光層の両面に積層することができ
る。
００μｍとすることが好ましく、１０〜３０μｍとする
ことがより好ましい。また、これらの重合体フィルム
は、一つは感光層の支持体として、他の一つは感光層の
保護フィルムとして感光層の両面に積層することができ
る。
【００３４】本発明の感光性エレメントを用いてフォト
レジスト画像を製造する方法としては、前記の保護フィ
ルムが存在している場合には、保護フィルムを除去後、
感光層を加熱しながら銅張積層板等の基板に圧着させる
ことによって積層する方法などが挙げられる。
レジスト画像を製造する方法としては、前記の保護フィ
ルムが存在している場合には、保護フィルムを除去後、
感光層を加熱しながら銅張積層板等の基板に圧着させる
ことによって積層する方法などが挙げられる。
【００３５】感光層の加熱温度は、特に制限はなく、９
０〜１３０℃とすることが好ましい。また、感光層の圧
着圧力は、特に制限はなく、１〜１０ｋｇｆ／ｃｍ2と
することが好ましい。
０〜１３０℃とすることが好ましい。また、感光層の圧
着圧力は、特に制限はなく、１〜１０ｋｇｆ／ｃｍ2と
することが好ましい。
【００３６】なお、感光層を前記のように加熱すれば、
予め基板を予熱処理することは必要ではないが、積層性
を更に向上させるために、基板の予熱処理を行うことも
できる。
予め基板を予熱処理することは必要ではないが、積層性
を更に向上させるために、基板の予熱処理を行うことも
できる。
【００３７】このようにして、積層が完了した感光層
は、次いで、ネガフィルムまたはポジフィルムを用い
て、活性光に画像的に露光される。この際、感光層上に
存在する支持体が透明の場合には、そのまま露光しても
よく、また、不透明な場合には、除去する必要がある。
は、次いで、ネガフィルムまたはポジフィルムを用い
て、活性光に画像的に露光される。この際、感光層上に
存在する支持体が透明の場合には、そのまま露光しても
よく、また、不透明な場合には、除去する必要がある。
【００３８】感光層の保護という点からは、支持体は透
明で、この支持体を残存させたまま、それを通して露光
することが好ましい。
明で、この支持体を残存させたまま、それを通して露光
することが好ましい。
【００３９】活性光は、公知の活性光源、例えば、カー
ボンアーク、水銀蒸気アーク、キセノンアーク等から発
生する光が用いられる。
ボンアーク、水銀蒸気アーク、キセノンアーク等から発
生する光が用いられる。
【００４０】次いで、露光後、感光層上に支持体が存在
している場合に、これを除去した後、アルカリ水溶液等
を用いて、例えば、スプレー、揺動浸漬、ブラッシン
グ、スクラッビング等の公知の方法によって未露光部を
除去して現像する。
している場合に、これを除去した後、アルカリ水溶液等
を用いて、例えば、スプレー、揺動浸漬、ブラッシン
グ、スクラッビング等の公知の方法によって未露光部を
除去して現像する。
【００４１】アルカリ水溶液に用いられる塩基として
は、水酸化アルカリ（リチウム、ナトリウム若しくはカ
リウムの水酸化物等）、炭酸アルカリ（リチウム、ナト
リウム若しくはカリウムの炭酸塩又は重炭酸塩等）、ア
ルカリ金属リン酸塩（リン酸ナトリウム、リン酸カリウ
ム等）、アルカリ金属ピロリン酸塩（ピロリン酸ナトリ
ウム、ピロリン酸カリウム等）等が挙げられ、その中で
も、炭酸ナトリウム等が好ましい。
は、水酸化アルカリ（リチウム、ナトリウム若しくはカ
リウムの水酸化物等）、炭酸アルカリ（リチウム、ナト
リウム若しくはカリウムの炭酸塩又は重炭酸塩等）、ア
ルカリ金属リン酸塩（リン酸ナトリウム、リン酸カリウ
ム等）、アルカリ金属ピロリン酸塩（ピロリン酸ナトリ
ウム、ピロリン酸カリウム等）等が挙げられ、その中で
も、炭酸ナトリウム等が好ましい。
【００４２】現像に用いるアルカリ水溶液のｐＨは、９
〜１１の範囲とすることが好ましく、その温度は、感光
層の現像性に合わせて調節される。また、アルカリ水溶
液中には、表面活性剤、消泡剤、現像を促進させるため
の少量の有機溶剤等を混入させることもできる。
〜１１の範囲とすることが好ましく、その温度は、感光
層の現像性に合わせて調節される。また、アルカリ水溶
液中には、表面活性剤、消泡剤、現像を促進させるため
の少量の有機溶剤等を混入させることもできる。
【００４３】印刷配線板を製造する場合は、現像された
フォトレジスト画像をマスクとして、基板の表面を、エ
ッチング、メッキ等の公知方法で処理すればよい。
フォトレジスト画像をマスクとして、基板の表面を、エ
ッチング、メッキ等の公知方法で処理すればよい。
【００４４】フォトレジストの画像は、通常、現像に用
いたアルカリ水溶液より更に強いアルカリ性の水溶液で
剥離することができる。この強アルカリ性の水溶液とし
ては、例えば、１〜５重量％の水酸化ナトリウム水溶液
等が用いられる。
いたアルカリ水溶液より更に強いアルカリ性の水溶液で
剥離することができる。この強アルカリ性の水溶液とし
ては、例えば、１〜５重量％の水酸化ナトリウム水溶液
等が用いられる。
【００４５】
【実施例】以下、本発明の実施例及びその比較例によっ
て本発明を更に具体的に説明するが、本発明はこれらの
実施例に限定されるものではない。 合成例１（バインダーポリマーの製造） 攪拌機、還流冷却器、温度計、滴下ロート及び窒素ガス
導入管を備えたフラスコに、重量比で、メチルセロソル
ブ３／トルエン２の溶液（以下、溶液Ａと称する）７０
０ｇを加え、攪拌し、窒素ガスを吹き込みながら８５℃
に加温した。温度が８５℃になったところで、メタクリ
ル酸１２５ｇ、メチルメタクリレート２５０ｇ、ブチル
アクリレート２５ｇ、２−エチルヘキシルアクリレート
１００ｇ及びアゾビスイソブチロニトリル３ｇを混合し
た液を４時間かけてフラスコ内に滴下し、その後８５℃
で攪拌しながら２時間保温した。２時間後にアゾビスイ
ソブチロニトリル０．３ｇを溶液Ａ６０ｇに溶解した液
を１０分かけてフラスコ内に滴下し、その後再び８５℃
で攪拌しながら５時間保温した後、冷却した。得られた
重合体は不揮発分が４１．８重量％、重量平均分子量が
８４，０００であった。なお、重量平均分子量は、ゲル
パーミエーションクロマトグラフィーによって測定し、
標準ポリスチレンの検量線を用いて換算した値である。
て本発明を更に具体的に説明するが、本発明はこれらの
実施例に限定されるものではない。 合成例１（バインダーポリマーの製造） 攪拌機、還流冷却器、温度計、滴下ロート及び窒素ガス
導入管を備えたフラスコに、重量比で、メチルセロソル
ブ３／トルエン２の溶液（以下、溶液Ａと称する）７０
０ｇを加え、攪拌し、窒素ガスを吹き込みながら８５℃
に加温した。温度が８５℃になったところで、メタクリ
ル酸１２５ｇ、メチルメタクリレート２５０ｇ、ブチル
アクリレート２５ｇ、２−エチルヘキシルアクリレート
１００ｇ及びアゾビスイソブチロニトリル３ｇを混合し
た液を４時間かけてフラスコ内に滴下し、その後８５℃
で攪拌しながら２時間保温した。２時間後にアゾビスイ
ソブチロニトリル０．３ｇを溶液Ａ６０ｇに溶解した液
を１０分かけてフラスコ内に滴下し、その後再び８５℃
で攪拌しながら５時間保温した後、冷却した。得られた
重合体は不揮発分が４１．８重量％、重量平均分子量が
８４，０００であった。なお、重量平均分子量は、ゲル
パーミエーションクロマトグラフィーによって測定し、
標準ポリスチレンの検量線を用いて換算した値である。
【００４６】合成例２（一般式（Ｉ）で表される化合物
の製造） 攪拌機、還流冷却器、温度計、滴下ロート及び酸素ガス
導入管を備えたフラスコに、トルエン５００ｇ及びビス
フェノールＡポリエチレングリコールポリプロピレング
リコール付加物（商品名ＴＡ−４７３、日本乳化剤
（株）製）１２２２ｇを入れ、次に、ジブチル錫ラウレ
ート０．０１ｇを加え、攪拌し、６５℃に加温した。温
度が６５℃になったところで、イソシアン酸エチルメタ
クリレート（商品名カレンズＭＯＩ、昭和電工（株）
製）３１０ｇを、酸素を吹き込みながら徐々に添加し
た。その後６５℃で攪拌しながら３時間保温した。３時
間後にメタノール５ｇを添加し、２時間保温した後、冷
却した。得られた生成物（以下、化合物ａと称する）の
不揮発分は７８重量％であった。また、このものの赤外
線吸収スペクトルのピークにはイソシアン酸の吸収は見
られなかった。
の製造） 攪拌機、還流冷却器、温度計、滴下ロート及び酸素ガス
導入管を備えたフラスコに、トルエン５００ｇ及びビス
フェノールＡポリエチレングリコールポリプロピレング
リコール付加物（商品名ＴＡ−４７３、日本乳化剤
（株）製）１２２２ｇを入れ、次に、ジブチル錫ラウレ
ート０．０１ｇを加え、攪拌し、６５℃に加温した。温
度が６５℃になったところで、イソシアン酸エチルメタ
クリレート（商品名カレンズＭＯＩ、昭和電工（株）
製）３１０ｇを、酸素を吹き込みながら徐々に添加し
た。その後６５℃で攪拌しながら３時間保温した。３時
間後にメタノール５ｇを添加し、２時間保温した後、冷
却した。得られた生成物（以下、化合物ａと称する）の
不揮発分は７８重量％であった。また、このものの赤外
線吸収スペクトルのピークにはイソシアン酸の吸収は見
られなかった。
【００４７】実施例１〜４及び比較例１〜４ 一般式（Ｉ）で表される化合物として、Ｒ1がメチル
基、Ｒ2がメチル基、Ｒ3メチル基、Ｒ4メチル基、Ｂが
イソプロピレン基であって、ｍ＋ｎ及びｐ＋ｑが表１に
示す光重合性化合物（化合物ａ〜ｅ）を用い、表２に示
す配合（単位は重量部）で感光性樹脂組成物の溶液を調
製した。なお、表２中に商品名で示す物質は、下記の物
質を意味し、バインダーポリマーについては不揮発分の
重量である。 ＭＥＣＨＰＰ：γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−
β′−メタクリロイルオキシエチル−ｏ−フタレート
（大阪有機化学工業（株）製） ＢＰＥ−５００：ビスフェノールＡポリオキシエチレン
ジメタクリレート（新中村化学工業（株）製） ＡＰＧ−４００：ポリプロピレングリコールジアクリレ
ート（新中村化学工業（株）製） ＢＰ−４ＰＡ：ビスフェノールＡポリオキシプロピレン
ジアクリレート（共栄社化学（株）製） 前記感光性樹脂組成物の溶液を厚さ２０μｍのポリエチ
レンテレフタレートフィルム（ＰＥＴ）に乾燥後の膜厚
が４０μｍとなるように塗工し、乾燥し、厚さ３５μｍ
のポリエチレンフィルムで被覆して感光性エレメントを
得た。
基、Ｒ2がメチル基、Ｒ3メチル基、Ｒ4メチル基、Ｂが
イソプロピレン基であって、ｍ＋ｎ及びｐ＋ｑが表１に
示す光重合性化合物（化合物ａ〜ｅ）を用い、表２に示
す配合（単位は重量部）で感光性樹脂組成物の溶液を調
製した。なお、表２中に商品名で示す物質は、下記の物
質を意味し、バインダーポリマーについては不揮発分の
重量である。 ＭＥＣＨＰＰ：γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−
β′−メタクリロイルオキシエチル−ｏ−フタレート
（大阪有機化学工業（株）製） ＢＰＥ−５００：ビスフェノールＡポリオキシエチレン
ジメタクリレート（新中村化学工業（株）製） ＡＰＧ−４００：ポリプロピレングリコールジアクリレ
ート（新中村化学工業（株）製） ＢＰ−４ＰＡ：ビスフェノールＡポリオキシプロピレン
ジアクリレート（共栄社化学（株）製） 前記感光性樹脂組成物の溶液を厚さ２０μｍのポリエチ
レンテレフタレートフィルム（ＰＥＴ）に乾燥後の膜厚
が４０μｍとなるように塗工し、乾燥し、厚さ３５μｍ
のポリエチレンフィルムで被覆して感光性エレメントを
得た。
【００４８】
【表１】
【００４９】
【表２】 （特性評価用試料の作製）銅箔（厚さ３５μｍ）を両面
に積層したガラスエポキシ材である銅張積層板（日立化
成工業（株）製、ＭＣＬ−Ｅ−６１）の銅表面を、スコ
ッチブライトバフロール（住友スリーエム（株）製、商
品名）で研磨し、水洗後、空気流で乾燥し、得られた銅
張積層板を６０℃に加温し、その銅面上に、前記感光性
エレメントの感光層を１００℃に加熱しながら積層し、
特性評価用試料を得た。
に積層したガラスエポキシ材である銅張積層板（日立化
成工業（株）製、ＭＣＬ−Ｅ−６１）の銅表面を、スコ
ッチブライトバフロール（住友スリーエム（株）製、商
品名）で研磨し、水洗後、空気流で乾燥し、得られた銅
張積層板を６０℃に加温し、その銅面上に、前記感光性
エレメントの感光層を１００℃に加熱しながら積層し、
特性評価用試料を得た。
【００５０】得られた特性評価用試料について、（１）
密着性、（２）解像度、（３）剥離特性及び（４）耐め
っき性を以下に示す方法で評価し、また、感光性エレメ
ントについて、（５）スカム発生性を以下に示す方法で
評価し、結果をまとめて表３に示した。 （１）密着性及び（２）解像度 高圧水銀灯ランプを有する露光機（（株）オーク製作所
製、ＨＭＷ−５９０）を用い、ネガとしてストーファー
２１段ステップタブレットとライン／スペースが１０／
４００〜５０／４００（密着性、単位：μｍ）及びライ
ン／スペースが１０／１０〜５０／５０（解像度、単
位：μｍ）の配線パターンを有するフォトツールを試験
片上に置いて、ストーファー２１段ステップタブレット
の現像後の残存ステップ段数が７となるエネルギー量で
露光した。
密着性、（２）解像度、（３）剥離特性及び（４）耐め
っき性を以下に示す方法で評価し、また、感光性エレメ
ントについて、（５）スカム発生性を以下に示す方法で
評価し、結果をまとめて表３に示した。 （１）密着性及び（２）解像度 高圧水銀灯ランプを有する露光機（（株）オーク製作所
製、ＨＭＷ−５９０）を用い、ネガとしてストーファー
２１段ステップタブレットとライン／スペースが１０／
４００〜５０／４００（密着性、単位：μｍ）及びライ
ン／スペースが１０／１０〜５０／５０（解像度、単
位：μｍ）の配線パターンを有するフォトツールを試験
片上に置いて、ストーファー２１段ステップタブレット
の現像後の残存ステップ段数が７となるエネルギー量で
露光した。
【００５１】露光後、室温で１５分間放置し、次にＰＥ
Ｔを除去し、１重量％の炭酸ナトリウム水溶液（３０
℃）をスプレーすることによって現像した。密着性及び
解像度は、現像後に剥離せずに残った最小ライン幅（μ
ｍ）を測定することによって求めた。これらの幅が小さ
いほど密着性、解像度が優れていることを示す。 （３）剥離特性 ストーファー２１段ステップタブレットの現像後の残存
ステップ段数が７となるエネルギー量で露光し、次い
で、ＰＥＴを除去し、現像して得たレジスト（光硬化被
膜）を、５０℃に加温した３重量％の水酸化ナトリウム
水溶液に浸漬した。レジストが銅面から剥離した時間と
剥離片の大きさを測定した。 （４）耐めっき性 ストーファー２１段ステップタブレットの現像後の残存
ステップ段数が７となるエネルギー量で露光し、次い
で、ＰＥＴを除去し、現像して得たレジスト（光硬化被
膜）を、脱脂後流水水洗を１分間行い、次いで、過酸化
水素／硫酸の１０／２０容量％水溶液中に２分間浸漬
し、流水水洗を１分間行った後、１０容量％硫酸水溶液
浴に１分間浸漬し、再び流水水洗を１分間行った。
Ｔを除去し、１重量％の炭酸ナトリウム水溶液（３０
℃）をスプレーすることによって現像した。密着性及び
解像度は、現像後に剥離せずに残った最小ライン幅（μ
ｍ）を測定することによって求めた。これらの幅が小さ
いほど密着性、解像度が優れていることを示す。 （３）剥離特性 ストーファー２１段ステップタブレットの現像後の残存
ステップ段数が７となるエネルギー量で露光し、次い
で、ＰＥＴを除去し、現像して得たレジスト（光硬化被
膜）を、５０℃に加温した３重量％の水酸化ナトリウム
水溶液に浸漬した。レジストが銅面から剥離した時間と
剥離片の大きさを測定した。 （４）耐めっき性 ストーファー２１段ステップタブレットの現像後の残存
ステップ段数が７となるエネルギー量で露光し、次い
で、ＰＥＴを除去し、現像して得たレジスト（光硬化被
膜）を、脱脂後流水水洗を１分間行い、次いで、過酸化
水素／硫酸の１０／２０容量％水溶液中に２分間浸漬
し、流水水洗を１分間行った後、１０容量％硫酸水溶液
浴に１分間浸漬し、再び流水水洗を１分間行った。
【００５２】次いで、下記の硫酸銅めっき浴に入れ、２
５℃、３Ａ／ｄｍ2で４０分間めっきした。硫酸銅めっ
き終了後、直ちに水洗し、続いて、１０重量％ホウフッ
化水素酸水溶液浴に１分間浸漬し、続いて下記のはんだ
めっき浴に入れ、２５℃、２Ａ／ｄｍ2で２０分間はん
だめっきした。はんだめっき終了後、水洗を行い、乾燥
した。 硫酸銅めっき浴：硫酸銅７５ｇ／リットル、硫酸１９０
ｇ／リットル、塩素イオン７５ｐｐｍ、カパーグリーム
ＰＣＭ（メルテックス（株）製、商品名）５ｍｌ／リッ
トル はんだめっき浴：４５重量％ホウフッ化錫６４ｍｌ／リ
ットル、４５重量％ホウフッ化鉛２２ｍｌ／リットル、
４２重量％ホウフッ化水素酸２００ｍｌ／リットル、プ
ルティンＬＡコンダクティビティソルト（メルテックス
（株）製、商品名）２０ｇ／リットル、プルティンＬＡ
スターター（メルテックス（株）製、商品名）４０ｍｌ
／リットル 上記めっき処理後、直ちにセロハンテープを貼り、これ
を垂直方向に引き剥がし、レジストの剥がれの有無を調
べた（テープテスト）。その後、上方から光学顕微鏡で
はんだめつきのもぐりの有無を観察した。はんだめっき
のもぐりを生じた場合は、透明なレジストを介してその
下部に観察される。 （５）スカム発生性 感光性エレメントの感光層のみを０．４ｍ2／リットル
の割合で１重量％の炭酸ナトリウム水溶液に溶解し、５
０℃に加温して攪拌機で３０分間攪拌した。一昼夜放置
後、スカムの発生の有無を観察した。
５℃、３Ａ／ｄｍ2で４０分間めっきした。硫酸銅めっ
き終了後、直ちに水洗し、続いて、１０重量％ホウフッ
化水素酸水溶液浴に１分間浸漬し、続いて下記のはんだ
めっき浴に入れ、２５℃、２Ａ／ｄｍ2で２０分間はん
だめっきした。はんだめっき終了後、水洗を行い、乾燥
した。 硫酸銅めっき浴：硫酸銅７５ｇ／リットル、硫酸１９０
ｇ／リットル、塩素イオン７５ｐｐｍ、カパーグリーム
ＰＣＭ（メルテックス（株）製、商品名）５ｍｌ／リッ
トル はんだめっき浴：４５重量％ホウフッ化錫６４ｍｌ／リ
ットル、４５重量％ホウフッ化鉛２２ｍｌ／リットル、
４２重量％ホウフッ化水素酸２００ｍｌ／リットル、プ
ルティンＬＡコンダクティビティソルト（メルテックス
（株）製、商品名）２０ｇ／リットル、プルティンＬＡ
スターター（メルテックス（株）製、商品名）４０ｍｌ
／リットル 上記めっき処理後、直ちにセロハンテープを貼り、これ
を垂直方向に引き剥がし、レジストの剥がれの有無を調
べた（テープテスト）。その後、上方から光学顕微鏡で
はんだめつきのもぐりの有無を観察した。はんだめっき
のもぐりを生じた場合は、透明なレジストを介してその
下部に観察される。 （５）スカム発生性 感光性エレメントの感光層のみを０．４ｍ2／リットル
の割合で１重量％の炭酸ナトリウム水溶液に溶解し、５
０℃に加温して攪拌機で３０分間攪拌した。一昼夜放置
後、スカムの発生の有無を観察した。
【００５３】
【表３】 表３から明らかなように、実施例１〜４で使用された本
発明の感光性樹脂組成物は、（Ｂ）成分中に前記一般式
（Ｉ）で表される化合物を含有するため、密着性及び解
像度に優れ、また、剥離時間が短く、かつ剥離片が細分
化し、優れた剥離特性を有することが分かる。
発明の感光性樹脂組成物は、（Ｂ）成分中に前記一般式
（Ｉ）で表される化合物を含有するため、密着性及び解
像度に優れ、また、剥離時間が短く、かつ剥離片が細分
化し、優れた剥離特性を有することが分かる。
【００５４】さらに、実施例１〜４で使用された本発明
の感光性樹脂組成物は、テープテストにおいて剥がれが
なく、はんだめっきのもぐりもなく、耐めっき性に優
れ、また、スカムの発生もなく優れたものであった。
の感光性樹脂組成物は、テープテストにおいて剥がれが
なく、はんだめっきのもぐりもなく、耐めっき性に優
れ、また、スカムの発生もなく優れたものであった。
【００５５】なお、比較例１〜４で使用された本発明の
感光性樹脂組成物は、前記一般式（Ｉ）で表される化合
物を含有しないため、密着性、解像度、剥離特性、耐め
っき性等が劣っていた。
感光性樹脂組成物は、前記一般式（Ｉ）で表される化合
物を含有しないため、密着性、解像度、剥離特性、耐め
っき性等が劣っていた。
【００５６】
【発明の効果】本発明の感光性樹脂組成物は、密着性、
解像性、剥離特性等が優れ、エッチング処理後に極めて
細いライン幅が形成できるので、高配線密度化対応のプ
リント配線板等を製造する時の感光性エレメント等に好
適である。本発明の感光性樹脂組成物は、更に現像性、
光感度、塗膜性等にも優れる。本発明の感光性エレメン
トは、密着性、解像性、剥離特性等が優れ、エッチング
処理後に極めて細いライン幅が形成できるので、高配線
密度化対応のプリント配線板製造等に好適である。
解像性、剥離特性等が優れ、エッチング処理後に極めて
細いライン幅が形成できるので、高配線密度化対応のプ
リント配線板等を製造する時の感光性エレメント等に好
適である。本発明の感光性樹脂組成物は、更に現像性、
光感度、塗膜性等にも優れる。本発明の感光性エレメン
トは、密着性、解像性、剥離特性等が優れ、エッチング
処理後に極めて細いライン幅が形成できるので、高配線
密度化対応のプリント配線板製造等に好適である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｃ０８Ｆ 290/06 Ｃ０８Ｆ 290/06 ５Ｅ３４３ Ｇ０３Ｆ 7/004 ５１２ Ｇ０３Ｆ 7/004 ５１２ 7/028 7/028 7/033 7/033 Ｈ０５Ｋ 3/06 Ｈ０５Ｋ 3/06 Ｈ 3/18 3/18 Ｄ Ｆターム(参考） 2H025 AA00 AA02 AA14 AB11 AB15 AC01 AD01 BC14 BC45 CA01 CA14 CA28 CB14 FA03 FA17 FA40 FA43 FA48 4J011 PA69 PC02 PC08 QA03 QA12 QA22 QA23 QA24 QA38 QB16 QB20 QB23 QB24 SA22 SA25 SA27 SA28 SA29 SA32 SA34 SA38 SA52 SA54 SA78 UA01 VA01 WA01 4J027 AC02 AC03 AC04 AC06 AC08 AG04 AG12 AG24 AG27 AJ08 BA07 BA13 BA19 BA26 BA28 CA03 CB10 CC03 CC05 CD10 4J100 AL03Q AL04Q AL63Q AL66P AL66Q AL67Q BA02Q BA03Q BA08Q BA09P BA15Q BA38P BA38Q BA39Q BC43Q BC45P BC45Q CA04 CA05 CA06 JA38 5E339 AB02 BC02 BD03 BD11 BE13 CC01 CD01 CE11 CE16 CF15 CG04 DD02 5E343 AA11 CC63 DD21 GG08
Claims (3)
- 【請求項１】 （Ａ）バインダーポリマー、（Ｂ）下記
一般式（Ｉ） 【化１】 ［式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3及びＲ4は各々独立に水素原子又
は炭素数１〜３のアルキル基を示し、Ａはエチレン基を
示し、Ｂは炭素数３〜６のアルキレン基を示し、ｍ、
ｎ、ｐ及びｑは各々独立に１〜２０の整数である。］で
表される化合物を必須成分として含む分子内に重合可能
なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物及び
（Ｃ）光重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物。 - 【請求項２】 （Ａ）成分、（Ｂ）成分及び（Ｃ）成分
の配合割合が、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００
重量部に対し、（Ａ）成分が２０〜９０重量部、（Ｂ）
成分が１０〜８０重量部及び（Ｃ）成分が０．０１〜２
０重量部であり、（Ｂ）成分中に上記一般式（Ｉ）で表
される化合物が（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００
重量部に対し３重量部以上含まれる請求項１記載の感光
性樹脂組成物。 - 【請求項３】 請求項１又は２記載の感光性樹脂組成物
の層を支持体上に積層してなる感光性エレメント。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000101230A JP2001281855A (ja) | 2000-03-31 | 2000-03-31 | 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000101230A JP2001281855A (ja) | 2000-03-31 | 2000-03-31 | 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001281855A true JP2001281855A (ja) | 2001-10-10 |
Family
ID=18615315
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000101230A Pending JP2001281855A (ja) | 2000-03-31 | 2000-03-31 | 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001281855A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005321783A (ja) * | 2004-05-07 | 2005-11-17 | Dongjin Semichem Co Ltd | 感光性樹脂組成物 |
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| JP2009108252A (ja) * | 2007-10-31 | 2009-05-21 | Toho Chem Ind Co Ltd | 新規ジ（メタ）アクリレートおよびこれを含有する光硬化性樹脂組成物 |
| US20100197824A1 (en) * | 2007-09-26 | 2010-08-05 | Peter Bissinger | Methacrylate based monomers containing a urethane linkage, process for production and use thereof |
| JP2017039797A (ja) * | 2015-08-17 | 2017-02-23 | 日立化成株式会社 | 光学的立体造形用樹脂組成物、及び立体造形物を製造する方法 |
| JP2017179216A (ja) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | 日立化成株式会社 | 成形用組成物、樹脂成形体、及び樹脂成形体を製造する方法 |
-
2000
- 2000-03-31 JP JP2000101230A patent/JP2001281855A/ja active Pending
Cited By (8)
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