JP2001281576A - Ｌｅｄビーム光源及び走査露光装置 - Google Patents
Ｌｅｄビーム光源及び走査露光装置Info
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- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/435—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of radiation to a printing material or impression-transfer material
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- B41J2/473—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of radiation to a printing material or impression-transfer material using the combination of scanning and modulation of light using dot sequential main scanning by means of a light deflector, e.g. a rotating polygonal mirror using multiple light beams, wavelengths or colours
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 プリント品質を落とすことなしに、低コスト
でかつ精密に組み込みができるようにしたＬＥＤビーム
光源及び走査露光装置を提供する。 【解決手段】 それぞれ独立して制御可能な複数本の光
ビームをポリゴンミラー１４に入射させるＬＥＤビーム
光源１１において、発光時期および発光強度を独立して
制御可能な複数個のＬＥＤ素子３２，３３，３４と、そ
のＬＥＤ素子３２，３３，３４を保持する基板部材３６
と、そのＬＥＤ素子３２，３３，３４の発光側を共通に
覆って配置され、出力されるビームごとにビーム開口３
５ａ，３５ｂ，３５ｃを形成した遮光板３５とを有する
ことを特徴とする。また、遮光板３５の四隅に位置決め
孔３５ｄ、基板部材３６の四隅に位置決め突起３９を設
け、位置決め孔３５ｄに位置決め突起３９を挿入するこ
とにより、容易に組み込みができる。
でかつ精密に組み込みができるようにしたＬＥＤビーム
光源及び走査露光装置を提供する。 【解決手段】 それぞれ独立して制御可能な複数本の光
ビームをポリゴンミラー１４に入射させるＬＥＤビーム
光源１１において、発光時期および発光強度を独立して
制御可能な複数個のＬＥＤ素子３２，３３，３４と、そ
のＬＥＤ素子３２，３３，３４を保持する基板部材３６
と、そのＬＥＤ素子３２，３３，３４の発光側を共通に
覆って配置され、出力されるビームごとにビーム開口３
５ａ，３５ｂ，３５ｃを形成した遮光板３５とを有する
ことを特徴とする。また、遮光板３５の四隅に位置決め
孔３５ｄ、基板部材３６の四隅に位置決め突起３９を設
け、位置決め孔３５ｄに位置決め突起３９を挿入するこ
とにより、容易に組み込みができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＬＥＤビーム光源
及び走査露光装置に関し、更に詳しくはそれぞれ独立
し、制御可能な複数のＬＥＤ素子を用いたＬＥＤビーム
光源及び走査露光装置に関するものである。
及び走査露光装置に関し、更に詳しくはそれぞれ独立
し、制御可能な複数のＬＥＤ素子を用いたＬＥＤビーム
光源及び走査露光装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】特許２８１３３５３号、米国特許４８０
０４００号、および米国特許４８０９０２０号を始めと
する多数の文献より知られるように、インスタント写真
フイルムを電子画像データに基づきフライングスポット
方式で走査露光する小型プリンタの光源として、それぞ
れ独立して制御可能である赤色光，青色光，および緑色
光のＬＥＤ素子が用いられている。
０４００号、および米国特許４８０９０２０号を始めと
する多数の文献より知られるように、インスタント写真
フイルムを電子画像データに基づきフライングスポット
方式で走査露光する小型プリンタの光源として、それぞ
れ独立して制御可能である赤色光，青色光，および緑色
光のＬＥＤ素子が用いられている。
【０００３】ＬＥＤ素子の発光面はそれぞれ個別に開口
付きマスクで覆われ、その開口を通過したビームが走査
ミラー手段に入射し、インスタント写真フイルムを露光
する。また開口付きマスクで覆われたＬＥＤ素子は距離
を置いて走査方向に対し水平に並べられる。
付きマスクで覆われ、その開口を通過したビームが走査
ミラー手段に入射し、インスタント写真フイルムを露光
する。また開口付きマスクで覆われたＬＥＤ素子は距離
を置いて走査方向に対し水平に並べられる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、赤色
光，青色光，および緑色光のＬＥＤ素子を個別に開口付
きマスクで覆い、その後にＬＥＤ素子を位置決めするた
め、ＬＥＤ素子および開口を精度良く一列に配置させる
ことは容易ではない。
光，青色光，および緑色光のＬＥＤ素子を個別に開口付
きマスクで覆い、その後にＬＥＤ素子を位置決めするた
め、ＬＥＤ素子および開口を精度良く一列に配置させる
ことは容易ではない。
【０００５】実際、プリント品質に３００ｄｐｉの解像
度を求める場合、１ｍｍ当たり１０本以上の解像度とな
り、１００μｍ以下の走査ビームスポットで露光面フイ
ルム上を走査する必要がある。１００μｍの走査ビーム
スポットに１０％の誤差を許容し、ＬＥＤの開口から露
光面までの光学系の倍率が等倍であった場合、ＬＥＤビ
ームの個別のマスクは例えば、下記の条件のように位置
決めされる必要がある。また下記の条件を満たさない場
合、露光面における色のにじみ、解像度の低下、走査線
に沿った縞模様等が発生してプリント品質が損なわれる
おそれがある。 （１）走査方向と直角な方向の位置ずれがプラスマイナ
ス５μｍ以下 （２）開口間隔を開口長さで割ったあまりがプラスマイ
ナス５μｍ以下 （３）３つの開口の大きさのばらつきがプラスマイナス
５μｍ以下 （４）走査方向に対する３つの開口の傾きのばらつきが
プラスマイナス３度以下
度を求める場合、１ｍｍ当たり１０本以上の解像度とな
り、１００μｍ以下の走査ビームスポットで露光面フイ
ルム上を走査する必要がある。１００μｍの走査ビーム
スポットに１０％の誤差を許容し、ＬＥＤの開口から露
光面までの光学系の倍率が等倍であった場合、ＬＥＤビ
ームの個別のマスクは例えば、下記の条件のように位置
決めされる必要がある。また下記の条件を満たさない場
合、露光面における色のにじみ、解像度の低下、走査線
に沿った縞模様等が発生してプリント品質が損なわれる
おそれがある。 （１）走査方向と直角な方向の位置ずれがプラスマイナ
ス５μｍ以下 （２）開口間隔を開口長さで割ったあまりがプラスマイ
ナス５μｍ以下 （３）３つの開口の大きさのばらつきがプラスマイナス
５μｍ以下 （４）走査方向に対する３つの開口の傾きのばらつきが
プラスマイナス３度以下
【０００６】上記のようなＬＥＤビーム光源は組み込み
が複雑なため、作業効率の低下、歩留まりの低下、組み
込みコストの増加を引き起こすという欠点があった。
が複雑なため、作業効率の低下、歩留まりの低下、組み
込みコストの増加を引き起こすという欠点があった。
【０００７】本発明は、プリント品質を落とすことなし
に、低コストでかつ精密に組み込みができるようにした
ＬＥＤビーム光源及び走査露光装置を提供することを目
的とする。
に、低コストでかつ精密に組み込みができるようにした
ＬＥＤビーム光源及び走査露光装置を提供することを目
的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のＬＥＤビーム光源及び走査露光装置は、発
光時期および発光強度を独立して制御可能な複数個のＬ
ＥＤ素子と、そのＬＥＤ素子の発光側を共通に覆って配
置され、出力されるビームごとに開口を形成した遮光手
段とを有することを特徴とするものである。また、遮光
手段の開口は露光面におけるビームスポットの形状と等
しく、ビームスポットの寸法に開口から露光面までの間
に配置された光学系の倍率比の逆数を乗じた大きさと
し、それぞれの開口の相対距離は、開口寸法の略自然数
倍とする。また、遮光手段の開口は、複数のＬＥＤ素子
の発光面に設けられた配線用の電極パッドを避けて発光
面上に位置決めされる。また、複数のＬＥＤ素子は、共
通の基板部材に固定され、露光の三原色に対応する３種
類のＬＥＤチップからなり、遮光手段は、３個の開口を
それぞれＬＥＤチップの発光領域に位置決めして基板部
材に固定される。また基板部材と遮光手段は、両者を相
互に拘束して、ＬＥＤ素子の発光面と遮光手段の開口の
相対的な位置関係を機械的に設定する位置決め手段を有
する。
に、本発明のＬＥＤビーム光源及び走査露光装置は、発
光時期および発光強度を独立して制御可能な複数個のＬ
ＥＤ素子と、そのＬＥＤ素子の発光側を共通に覆って配
置され、出力されるビームごとに開口を形成した遮光手
段とを有することを特徴とするものである。また、遮光
手段の開口は露光面におけるビームスポットの形状と等
しく、ビームスポットの寸法に開口から露光面までの間
に配置された光学系の倍率比の逆数を乗じた大きさと
し、それぞれの開口の相対距離は、開口寸法の略自然数
倍とする。また、遮光手段の開口は、複数のＬＥＤ素子
の発光面に設けられた配線用の電極パッドを避けて発光
面上に位置決めされる。また、複数のＬＥＤ素子は、共
通の基板部材に固定され、露光の三原色に対応する３種
類のＬＥＤチップからなり、遮光手段は、３個の開口を
それぞれＬＥＤチップの発光領域に位置決めして基板部
材に固定される。また基板部材と遮光手段は、両者を相
互に拘束して、ＬＥＤ素子の発光面と遮光手段の開口の
相対的な位置関係を機械的に設定する位置決め手段を有
する。
【０００９】
【発明の実施の形態】実施例の走査露光装置は、図３，
４に示すように、赤色光，青色光，および緑色光を発光
するＬＥＤビーム光源１１と、そのＬＥＤビーム光源１
１からの発光ビームを反射させるミラー１２と、入射光
を平行光に変換するコリメートレンズ１３と、六面反射
面を有し、走査方向に回転するポリゴンミラー１４と、
ポリゴンミラー１４を一定速度で回転させるモータ１５
と、ポリゴンミラー１４の走査範囲に対応した開口の大
きさを持ち、ポリゴンミラー１４からの反射光を収束さ
せてるとともに、走査距離を等しくするエフシータレン
ズ１６と、ＬＥＤビーム光源１１からのビームスポット
が露光されるインスタント写真フイルム１７と、エフシ
ータレンズ１６からのビームをインスタント写真フイル
ム１７に反射する露光ミラー１９と、インスタント写真
フイルム１７を副走査方向に移動させるとともに、イン
スタント写真フイルム１７の露光面に現像液を展開する
展開ローラ１８と、で構成されている。
４に示すように、赤色光，青色光，および緑色光を発光
するＬＥＤビーム光源１１と、そのＬＥＤビーム光源１
１からの発光ビームを反射させるミラー１２と、入射光
を平行光に変換するコリメートレンズ１３と、六面反射
面を有し、走査方向に回転するポリゴンミラー１４と、
ポリゴンミラー１４を一定速度で回転させるモータ１５
と、ポリゴンミラー１４の走査範囲に対応した開口の大
きさを持ち、ポリゴンミラー１４からの反射光を収束さ
せてるとともに、走査距離を等しくするエフシータレン
ズ１６と、ＬＥＤビーム光源１１からのビームスポット
が露光されるインスタント写真フイルム１７と、エフシ
ータレンズ１６からのビームをインスタント写真フイル
ム１７に反射する露光ミラー１９と、インスタント写真
フイルム１７を副走査方向に移動させるとともに、イン
スタント写真フイルム１７の露光面に現像液を展開する
展開ローラ１８と、で構成されている。
【００１０】インスタント写真フイルム１７は、１０枚
を単位でカセットに収納され、一枚ずつカセットから引
出しながら、その露光面１７ａに走査線を書き込む。ま
た、露光に続いて現像液１７ｂを展開ローラ１８で展開
して露光画像を現像し固定させる。また展開ローラ１８
は、インスタント写真フイルム１７の走査線ピッチの送
り駆動を兼ねている。
を単位でカセットに収納され、一枚ずつカセットから引
出しながら、その露光面１７ａに走査線を書き込む。ま
た、露光に続いて現像液１７ｂを展開ローラ１８で展開
して露光画像を現像し固定させる。また展開ローラ１８
は、インスタント写真フイルム１７の走査線ピッチの送
り駆動を兼ねている。
【００１１】図１，２に示すように、ＬＥＤビーム光源
１１は、約５ｍｍ角のセラミック製の基板部材３６と、
その基板部材３６上面に配置され、３個のＬＥＤ素子か
らなるＬＥＤ素子群３１と、基板部材３６とともに３個
のＬＥＤ素子群３１を覆う三開口一体型の遮光板３５
と、で構成されている。
１１は、約５ｍｍ角のセラミック製の基板部材３６と、
その基板部材３６上面に配置され、３個のＬＥＤ素子か
らなるＬＥＤ素子群３１と、基板部材３６とともに３個
のＬＥＤ素子群３１を覆う三開口一体型の遮光板３５
と、で構成されている。
【００１２】ＬＥＤ素子群３１はそれぞれ赤色，青色，
緑色を発光する３種類のＬＥＤ素子３２，３３，３４か
ら構成されている。３種類のＬＥＤ素子３２，３３，３
４はともに２種類のパッドを有する。一方はＬＥＤ素子
３２，３３，３４中央上面に位置する金薄膜の電極パッ
ド３２ａ，３３ａ，３４ａであり、もう一方はＬＥＤ素
子３２，３３，３４下面中央に位置する電極パッド（図
示せず）である。そして各ＬＥＤ素子３２，３３，３４
の電極パッド間に流れる電流値によりＬＥＤ素子３２，
３３，３４の発光レベルは決定される。
緑色を発光する３種類のＬＥＤ素子３２，３３，３４か
ら構成されている。３種類のＬＥＤ素子３２，３３，３
４はともに２種類のパッドを有する。一方はＬＥＤ素子
３２，３３，３４中央上面に位置する金薄膜の電極パッ
ド３２ａ，３３ａ，３４ａであり、もう一方はＬＥＤ素
子３２，３３，３４下面中央に位置する電極パッド（図
示せず）である。そして各ＬＥＤ素子３２，３３，３４
の電極パッド間に流れる電流値によりＬＥＤ素子３２，
３３，３４の発光レベルは決定される。
【００１３】遮光板３５は、厚さ１０μｍのステンレス
板で設けられており、中央部分には３個のビーム開口３
５ａ，３５ｂ，３５ｃが、四隅には位置決め孔３５ｄが
形成されている。またビーム開口３５ａ，３５ｂ，３５
ｃおよび位置決め孔３５ｄはフォトエッチング加工され
るため、寸法、位置、相互距離の誤差はプラスマイナス
３μｍ以内に抑えられる。
板で設けられており、中央部分には３個のビーム開口３
５ａ，３５ｂ，３５ｃが、四隅には位置決め孔３５ｄが
形成されている。またビーム開口３５ａ，３５ｂ，３５
ｃおよび位置決め孔３５ｄはフォトエッチング加工され
るため、寸法、位置、相互距離の誤差はプラスマイナス
３μｍ以内に抑えられる。
【００１４】図５（Ａ）に示すように、ビーム開口３５
ａ，３５ｂ，３５ｃは同形状であり、一辺がＤＡ＝ＤＢ
＝ＤＣ＝１００μｍの正方形状をした開口である。ビー
ム開口３５ａ，３５ｂ，３５ｃは３種類のＬＥＤ素子３
２，３３，３４の略上方に位置し、ＬＥＤ素子３２，３
３，３４にそれぞれ対応する発光ビームを外部に通過さ
せる。また、本実施例では３５ａと３５ｂ、そして３５
ｂと３５ｃとの間隔Ａ，Ｂはビーム開口３５ａ，３５
ｂ，３５ｃ一辺の長さの５倍であり、Ａ＝Ｂ＝５ＤＡ＝
５００μｍとなるように設定されている。
ａ，３５ｂ，３５ｃは同形状であり、一辺がＤＡ＝ＤＢ
＝ＤＣ＝１００μｍの正方形状をした開口である。ビー
ム開口３５ａ，３５ｂ，３５ｃは３種類のＬＥＤ素子３
２，３３，３４の略上方に位置し、ＬＥＤ素子３２，３
３，３４にそれぞれ対応する発光ビームを外部に通過さ
せる。また、本実施例では３５ａと３５ｂ、そして３５
ｂと３５ｃとの間隔Ａ，Ｂはビーム開口３５ａ，３５
ｂ，３５ｃ一辺の長さの５倍であり、Ａ＝Ｂ＝５ＤＡ＝
５００μｍとなるように設定されている。
【００１５】遮光板３５下面四隅に設けられた位置決め
孔３５ｄは直径５００μｍの円形状の孔であり、遮光板
３５を位置決めする。
孔３５ｄは直径５００μｍの円形状の孔であり、遮光板
３５を位置決めする。
【００１６】基板部材３６の上面にはＬＥＤ素子３２，
３３，３４を保持するために、窪状のＬＥＤ素子格納部
３６ａが設けらている。そしてＬＥＤ素子３２，３３，
３４と外部回路とを導通させるために、ＬＥＤ素子格納
部３６ａの底面には４個のパッド３７ａ，３７ｂ，３７
ｃ，３７ｄが、そして基板部材３６の側面には外部端子
３８ａ，３８ｂ，３８ｃ，３８ｄが設けられている。ま
た基板部材３６上面の四隅には前記遮光板３５を位置決
めするための位置決め突起３９が設けられている。
３３，３４を保持するために、窪状のＬＥＤ素子格納部
３６ａが設けらている。そしてＬＥＤ素子３２，３３，
３４と外部回路とを導通させるために、ＬＥＤ素子格納
部３６ａの底面には４個のパッド３７ａ，３７ｂ，３７
ｃ，３７ｄが、そして基板部材３６の側面には外部端子
３８ａ，３８ｂ，３８ｃ，３８ｄが設けられている。ま
た基板部材３６上面の四隅には前記遮光板３５を位置決
めするための位置決め突起３９が設けられている。
【００１７】４個のパッド３７ａ，３７ｂ，３７ｃ，３
７ｄは、各ＬＥＤ素子３２，３３，３４への制御信号を
伝達するための３個のマイナス電極パッド３７ａ，３７
ｂ，３７ｃと、３つのＬＥＤ素子３２，３３，３４共通
で使用する１個のプラス電極パッド３７ｄとで構成され
ている。
７ｄは、各ＬＥＤ素子３２，３３，３４への制御信号を
伝達するための３個のマイナス電極パッド３７ａ，３７
ｂ，３７ｃと、３つのＬＥＤ素子３２，３３，３４共通
で使用する１個のプラス電極パッド３７ｄとで構成され
ている。
【００１８】４個の外部端子３８ａ，３８ｂ，３８ｃ，
３８ｄは、基板部材３６上に設けられたマイナス電極パ
ッド３７ａ，３７ｂ，３７ｃと、プラス電極パッド３７
ｄに導通している。外部端子３８ａはマイナス電極パッ
ド３７ａに、外部端子３８ｂはマイナス電極パッド３７
ｂに、外部端子３８ｃはマイナス電極パッド３７ｃに、
そして外部端子３８ｄはプラス電極パッド３７ｄにそれ
ぞれ導通しており、これら外部端子３８ａ，３８ｂ，３
８ｃ，３８ｄは外部回路と配線される。
３８ｄは、基板部材３６上に設けられたマイナス電極パ
ッド３７ａ，３７ｂ，３７ｃと、プラス電極パッド３７
ｄに導通している。外部端子３８ａはマイナス電極パッ
ド３７ａに、外部端子３８ｂはマイナス電極パッド３７
ｂに、外部端子３８ｃはマイナス電極パッド３７ｃに、
そして外部端子３８ｄはプラス電極パッド３７ｄにそれ
ぞれ導通しており、これら外部端子３８ａ，３８ｂ，３
８ｃ，３８ｄは外部回路と配線される。
【００１９】また、基板部材３６上面四隅に設けられた
位置決め突起３９は直径５００μｍの円柱状の突起であ
り、遮光板３５に設けられた位置決め孔３５ｄに挿入可
能である。
位置決め突起３９は直径５００μｍの円柱状の突起であ
り、遮光板３５に設けられた位置決め孔３５ｄに挿入可
能である。
【００２０】そしてＬＥＤ素子３２，３３，３４は基板
部材３６のプラス電極パッド３７ｄに比較的粗い精度
（プラスマイナス２０μｍ程度）で位置決めを行い、銀
ペーストにより密着固定される。これにより、ＬＥＤ素
子３２，３３，３４下面に設けられた電極パッド（図示
せず）は基板部材３６のプラス電極パッド３７ｄは導通
する。またＬＥＤ素子３２，３３，３４を位置決めする
際に、遮光板３５に設けられたビーム開口３５ａ，３５
ｂ，３５ｃの下方にＬＥＤ素子３２，３３，３４の端部
が位置するように、ＬＥＤ素子３２，３３，３４を配置
する。
部材３６のプラス電極パッド３７ｄに比較的粗い精度
（プラスマイナス２０μｍ程度）で位置決めを行い、銀
ペーストにより密着固定される。これにより、ＬＥＤ素
子３２，３３，３４下面に設けられた電極パッド（図示
せず）は基板部材３６のプラス電極パッド３７ｄは導通
する。またＬＥＤ素子３２，３３，３４を位置決めする
際に、遮光板３５に設けられたビーム開口３５ａ，３５
ｂ，３５ｃの下方にＬＥＤ素子３２，３３，３４の端部
が位置するように、ＬＥＤ素子３２，３３，３４を配置
する。
【００２１】そしてＬＥＤ素子３２，３３，３４の上面
中央に設けられた電極パッド３２ａ，３３ａ，３４ａと
パッド３７ａ，３７ｂ，３７ｃとがそれぞれ配線され、
ＬＥＤ素子３２，３３，３４はそれぞれパッド３７ａ，
３７ｂ，３７ｃ，３７ｄを通じて外部端子３８ａ，３８
ｂ，３８ｃ，３８ｄと導通する。これにより外部端子か
らの入力電流値により、ＬＥＤ素子３２，３３，３４の
発光レベルを制御できる。
中央に設けられた電極パッド３２ａ，３３ａ，３４ａと
パッド３７ａ，３７ｂ，３７ｃとがそれぞれ配線され、
ＬＥＤ素子３２，３３，３４はそれぞれパッド３７ａ，
３７ｂ，３７ｃ，３７ｄを通じて外部端子３８ａ，３８
ｂ，３８ｃ，３８ｄと導通する。これにより外部端子か
らの入力電流値により、ＬＥＤ素子３２，３３，３４の
発光レベルを制御できる。
【００２２】ＬＥＤ素子３２，３３，３４と基板部材３
６とが接続された後、透明エキポジをＬＥＤ素子格納部
３６ａに流し込み、モールドされる。モールド硬化後、
位置決め突起３９を位置決め孔３５ｄに挿入することに
より位置決めを行い、ＬＥＤ素子３２，３３，３４を配
置した基板部材３６と遮光板３５が接着固定される。
６とが接続された後、透明エキポジをＬＥＤ素子格納部
３６ａに流し込み、モールドされる。モールド硬化後、
位置決め突起３９を位置決め孔３５ｄに挿入することに
より位置決めを行い、ＬＥＤ素子３２，３３，３４を配
置した基板部材３６と遮光板３５が接着固定される。
【００２３】上記構成による作用について説明する。露
光される画像データに基づき制御部からＬＥＤビーム光
源１１に設けられた外部端子３８ａ，３８ｂ，３８ｃ，
３８ｄに電流が流れ、各ＬＥＤ素子３２，３３，３４が
発光する。そしてこの電流値によって各ＬＥＤ素子３
２，３３，３４の発光レベルは決定される。３種類の発
光ビームはそれぞれの上方に設けられたビーム開口３５
ａ，３５ｂ，３５ｃを通過し、ＬＥＤビーム光源１１外
部に放射される。
光される画像データに基づき制御部からＬＥＤビーム光
源１１に設けられた外部端子３８ａ，３８ｂ，３８ｃ，
３８ｄに電流が流れ、各ＬＥＤ素子３２，３３，３４が
発光する。そしてこの電流値によって各ＬＥＤ素子３
２，３３，３４の発光レベルは決定される。３種類の発
光ビームはそれぞれの上方に設けられたビーム開口３５
ａ，３５ｂ，３５ｃを通過し、ＬＥＤビーム光源１１外
部に放射される。
【００２４】外部に放射されたそれぞれのＬＥＤビーム
はビーム開口３５ａ，３５ｂ，３５ｃと同じ形状、相互
距離であり、１００μｍ角の正方形状となり、それぞれ
のＬＥＤビームの間隔は５００μｍとなる。またＬＥＤ
素子３２，３３，３４は遮光板３５と基板部材３６に覆
われるため、ビーム開口３５ａ，３５ｂ，３５ｃ以外か
らの漏れ光はない。
はビーム開口３５ａ，３５ｂ，３５ｃと同じ形状、相互
距離であり、１００μｍ角の正方形状となり、それぞれ
のＬＥＤビームの間隔は５００μｍとなる。またＬＥＤ
素子３２，３３，３４は遮光板３５と基板部材３６に覆
われるため、ビーム開口３５ａ，３５ｂ，３５ｃ以外か
らの漏れ光はない。
【００２５】図３に示すように、ＬＥＤビーム光源１１
から発光されたＬＥＤビームはミラー１２で反射され、
コリメートレンズ１３により平行光と変換され、ポリゴ
ンミラー１４に入射する。ポリゴンミラー１４はエフシ
ータレンズ１６に入射させ、インスタント写真フイルム
１７に露光を行う。ただし、露光ミラー１９でビーム光
路を曲げてインスタント写真フイルム１７に露光を行
う。
から発光されたＬＥＤビームはミラー１２で反射され、
コリメートレンズ１３により平行光と変換され、ポリゴ
ンミラー１４に入射する。ポリゴンミラー１４はエフシ
ータレンズ１６に入射させ、インスタント写真フイルム
１７に露光を行う。ただし、露光ミラー１９でビーム光
路を曲げてインスタント写真フイルム１７に露光を行
う。
【００２６】また本実施例において光学系の倍率比が等
倍のため、図５（Ａ），（Ｂ）に示すように、ＬＥＤビ
ーム光源１１における遮光板３５に設けられたビーム開
口３５ａ，３５ｂ，３５ｃの形状および寸法とインスタ
ント写真フイルム１７に露光されるビームスポット２０
ａ，２０ｂ，２０ｃとの形状および寸法を等しくなり、
１００μｍ角の正方形状のビームスポットが露光される
ことになる。
倍のため、図５（Ａ），（Ｂ）に示すように、ＬＥＤビ
ーム光源１１における遮光板３５に設けられたビーム開
口３５ａ，３５ｂ，３５ｃの形状および寸法とインスタ
ント写真フイルム１７に露光されるビームスポット２０
ａ，２０ｂ，２０ｃとの形状および寸法を等しくなり、
１００μｍ角の正方形状のビームスポットが露光される
ことになる。
【００２７】そしてポリゴンミラー１４が一定速度で回
転することにより反射角が変わるため、走査方向に露光
が行われ、ポリゴンミラー１４が１／６回転毎に１本の
走査線が露光される。また、ＬＥＤビーム光源１１に電
流を流す制御部は回転速度に応じて電流値を変化させ
る。そしてポリゴンミラー１４の１／６回転毎に展開ロ
ーラ１８がインスタント写真フイルム１７を副走査方向
に１００μｍ駆動させ、次の走査線の露光を行う。
転することにより反射角が変わるため、走査方向に露光
が行われ、ポリゴンミラー１４が１／６回転毎に１本の
走査線が露光される。また、ＬＥＤビーム光源１１に電
流を流す制御部は回転速度に応じて電流値を変化させ
る。そしてポリゴンミラー１４の１／６回転毎に展開ロ
ーラ１８がインスタント写真フイルム１７を副走査方向
に１００μｍ駆動させ、次の走査線の露光を行う。
【００２８】更に、ＬＥＤビーム光源１１における遮光
板３５に設けられたビーム開口３５ａ，３５ｂ，３５ｃ
の間隔はその開口の寸法の５倍となっている。そのた
め、図６に示すように、赤、青、緑の画素濃度マップ４
１ａ，４１ｂ，４１ｃは、走査方向にちょうど５画素分
ずれる。そのため、画像データはポリゴンミラー１４の
回転に同期して走査線ごとに読み出され、各ＬＥＤ素子
３２，３３，３４を制御することにより、インスタント
写真フイルム１７は正常に露光される。
板３５に設けられたビーム開口３５ａ，３５ｂ，３５ｃ
の間隔はその開口の寸法の５倍となっている。そのた
め、図６に示すように、赤、青、緑の画素濃度マップ４
１ａ，４１ｂ，４１ｃは、走査方向にちょうど５画素分
ずれる。そのため、画像データはポリゴンミラー１４の
回転に同期して走査線ごとに読み出され、各ＬＥＤ素子
３２，３３，３４を制御することにより、インスタント
写真フイルム１７は正常に露光される。
【００２９】また、走査線と直角な方向、すなわち送り
方向に走査ビームスポットをずらして、赤、青、緑の３
本の走査線を平行に形成し、露光面の送りにより重ね合
わせても良い。また、赤、青、緑の画素マップデータか
ら形成した赤、青、緑の走査線ごとのアナログ信号に対
して個別の遅延時間を設定しても良い。言い換えれば、
個々の露光装置ごとに、２つの色の走査線に１個の画素
以下の距離レベルに至る遅延時間を設定して残りの走査
線に合わせる複雑で面倒な方法を用いても良い。
方向に走査ビームスポットをずらして、赤、青、緑の３
本の走査線を平行に形成し、露光面の送りにより重ね合
わせても良い。また、赤、青、緑の画素マップデータか
ら形成した赤、青、緑の走査線ごとのアナログ信号に対
して個別の遅延時間を設定しても良い。言い換えれば、
個々の露光装置ごとに、２つの色の走査線に１個の画素
以下の距離レベルに至る遅延時間を設定して残りの走査
線に合わせる複雑で面倒な方法を用いても良い。
【００３０】よって遮光板３５によって迷光を遮り、遮
光板３５に設けられたビーム開口３５ａ，３５ｂ，３５
ｃによって精密なビームスポットが露光できる。また、
遮光板３５に設けられた位置決め孔３５ｄに、基板部材
３６に設けられた位置決め突起３９を挿入することによ
って、ＬＥＤ素子３２，３３，３４は比較的に粗い精度
で配置ができるため、精度を落とすことなく容易に組み
込みができる。
光板３５に設けられたビーム開口３５ａ，３５ｂ，３５
ｃによって精密なビームスポットが露光できる。また、
遮光板３５に設けられた位置決め孔３５ｄに、基板部材
３６に設けられた位置決め突起３９を挿入することによ
って、ＬＥＤ素子３２，３３，３４は比較的に粗い精度
で配置ができるため、精度を落とすことなく容易に組み
込みができる。
【００３１】更に、ＬＥＤ素子３２，３３，３４の配線
用の電極パッド３２ａ，３３ａ，３４ａはＬＥＤビーム
光源１１における遮光板３５に設けられたビーム開口３
５ａ，３５ｂ，３５ｃの下方から避けて配置されるた
め、干渉することなく正常に露光できる。また、本実施
例では基板部材３６から独立した遮光板３５を使用した
が、基板部材３６と一体化した、チップマウント後に金
属薄膜等の遮光板を形成してもよい。
用の電極パッド３２ａ，３３ａ，３４ａはＬＥＤビーム
光源１１における遮光板３５に設けられたビーム開口３
５ａ，３５ｂ，３５ｃの下方から避けて配置されるた
め、干渉することなく正常に露光できる。また、本実施
例では基板部材３６から独立した遮光板３５を使用した
が、基板部材３６と一体化した、チップマウント後に金
属薄膜等の遮光板を形成してもよい。
【００３２】以上、図示した実施形態をもとに説明して
きたが、光源に用いられるＬＥＤ素子は赤色光，青色
光，および緑色光各１個とは限らない。図７に示すよう
に、ＬＥＤビーム光源５１は、基板部材の上に赤色発光
のＬＥＤチップ５２，青色発光のＬＥＤチップ５３，緑
色発光のＬＥＤチップ５４がそれぞれ２個ずつ隣接状態
で位置決め固定されている。ＬＥＤチップ５２，５３，
５４のそれぞれの中央部分は、金薄膜の電極パッド５２
ａ，５３ａ，５４ａに占有され、非発光領域となってい
る。
きたが、光源に用いられるＬＥＤ素子は赤色光，青色
光，および緑色光各１個とは限らない。図７に示すよう
に、ＬＥＤビーム光源５１は、基板部材の上に赤色発光
のＬＥＤチップ５２，青色発光のＬＥＤチップ５３，緑
色発光のＬＥＤチップ５４がそれぞれ２個ずつ隣接状態
で位置決め固定されている。ＬＥＤチップ５２，５３，
５４のそれぞれの中央部分は、金薄膜の電極パッド５２
ａ，５３ａ，５４ａに占有され、非発光領域となってい
る。
【００３３】この変形例では、実施例と同様に、セラミ
ック製の基板部材に重ね合わせた遮光板５５に１００μ
ｍ角のビーム開口５５ａ，５５ｂ，５５ｃが、５００μ
ｍピッチで形成されている。ただし、ビーム開口５５
ａ，５５ｂ，５５ｃは、２個のＬＥＤチップ５２，５
３，５４の中間に位置決めされる。そのためビーム開口
５５ａ，５５ｂ，５５ｃはＬＥＤチップ５２，５３，５
４の発光領域にまたがり、赤青緑の光源スポットが確保
される。
ック製の基板部材に重ね合わせた遮光板５５に１００μ
ｍ角のビーム開口５５ａ，５５ｂ，５５ｃが、５００μ
ｍピッチで形成されている。ただし、ビーム開口５５
ａ，５５ｂ，５５ｃは、２個のＬＥＤチップ５２，５
３，５４の中間に位置決めされる。そのためビーム開口
５５ａ，５５ｂ，５５ｃはＬＥＤチップ５２，５３，５
４の発光領域にまたがり、赤青緑の光源スポットが確保
される。
【００３４】また、隣接した２個のＬＥＤチップ５２，
５３，５４の隙間が走査線を形成しないように、ＬＥＤ
チップ５２，５３，５４をビーム開口５５ａ，５５ｂ，
５５ｃの配列方向から少し斜めに傾けて配置してある。
５３，５４の隙間が走査線を形成しないように、ＬＥＤ
チップ５２，５３，５４をビーム開口５５ａ，５５ｂ，
５５ｃの配列方向から少し斜めに傾けて配置してある。
【００３５】また図１の場合のようにＬＥＤチップ５
２，５３，５４の中央に電極パッドの大きな非発光エリ
アが存在する場合でも、複数のチップにまたがって必要
なサイズの光源スポットを確保できる。従って、露光面
におけるビームスポットに電極パッド５２ａ，５３ａ，
５４ａに起因する暗部が形成されないで済む。
２，５３，５４の中央に電極パッドの大きな非発光エリ
アが存在する場合でも、複数のチップにまたがって必要
なサイズの光源スポットを確保できる。従って、露光面
におけるビームスポットに電極パッド５２ａ，５３ａ，
５４ａに起因する暗部が形成されないで済む。
【００３６】また、ＬＥＤチップ５２，５３，５４の発
光面において電極パッド５２ａ，５３ａ，５４ａから周
辺に向かって発光する光量が減少している場合でも、ビ
ーム開口５５ａ，５５ｂ，５５ｃが２個のＬＥＤチップ
にまたがって位置決めされることにより、光源スポット
の上下の縁の明るさをそろえることができ、ムラのない
発光ビームとなる。
光面において電極パッド５２ａ，５３ａ，５４ａから周
辺に向かって発光する光量が減少している場合でも、ビ
ーム開口５５ａ，５５ｂ，５５ｃが２個のＬＥＤチップ
にまたがって位置決めされることにより、光源スポット
の上下の縁の明るさをそろえることができ、ムラのない
発光ビームとなる。
【００３７】図８に示すように、厚い銅製の基板部材６
１の上に赤色発光のＬＥＤチップ６２が田の字に４個隣
接して位置決めされ、銀ぺーストで固定されている。基
板部材６１の上には、４個のＬＥＤチップ６２に対応す
る貫通の逃げ開口６３を設けたガラス材料のスペーサ６
４も固定している。スペーサ６４の表面にはＬＥＤチッ
プ６２の発光面の電極パッドを配線するため、配線パタ
ーンが形成される。
１の上に赤色発光のＬＥＤチップ６２が田の字に４個隣
接して位置決めされ、銀ぺーストで固定されている。基
板部材６１の上には、４個のＬＥＤチップ６２に対応す
る貫通の逃げ開口６３を設けたガラス材料のスペーサ６
４も固定している。スペーサ６４の表面にはＬＥＤチッ
プ６２の発光面の電極パッドを配線するため、配線パタ
ーンが形成される。
【００３８】そしてＬＥＤチップ６２およびスペーサ６
４の全面を覆って透明な材料の絶縁保護層６５が形成さ
れる。その後、絶縁保護層６５にスパッタリング形成さ
れたアルミニウム薄膜６６が重ねられる。そして、アル
ミニウム薄膜６６の上にフォトレジストを塗布して開口
６７の部分だけをマスク露光するフォトエッチングを施
して、開口６７のアルミニウム薄膜６６が除去される。
青色発光ＬＥＤ、緑色発光ＬＥＤに関しても同時進行で
アルミニウム薄膜６６に開口６７が１個づつ形成され
る。
４の全面を覆って透明な材料の絶縁保護層６５が形成さ
れる。その後、絶縁保護層６５にスパッタリング形成さ
れたアルミニウム薄膜６６が重ねられる。そして、アル
ミニウム薄膜６６の上にフォトレジストを塗布して開口
６７の部分だけをマスク露光するフォトエッチングを施
して、開口６７のアルミニウム薄膜６６が除去される。
青色発光ＬＥＤ、緑色発光ＬＥＤに関しても同時進行で
アルミニウム薄膜６６に開口６７が１個づつ形成され
る。
【００３９】このような変形例の光源によれば、例えば
２５０μｍ角のＬＥＤチップを使用して３００μｍ角、
４００μｍ角といった大きな光源スポットを形成でき
る。図１から図６に示す実施例では等倍の投影光学系を
採用しているから、１００μｍ角の走査ビームスポット
を形成するために１００μｍ角の光源スポットを利用す
ればよい。
２５０μｍ角のＬＥＤチップを使用して３００μｍ角、
４００μｍ角といった大きな光源スポットを形成でき
る。図１から図６に示す実施例では等倍の投影光学系を
採用しているから、１００μｍ角の走査ビームスポット
を形成するために１００μｍ角の光源スポットを利用す
ればよい。
【００４０】しかし、より光量密度の高い走査ビームス
ポットを得る等の目的で２対１の縮小光学系を採用する
場合、露光面に１００μｍ角の走査ビームスポットを形
成するために２００μｍ角の光源スポットを準備する必
要がある。
ポットを得る等の目的で２対１の縮小光学系を採用する
場合、露光面に１００μｍ角の走査ビームスポットを形
成するために２００μｍ角の光源スポットを準備する必
要がある。
【００４１】このような場合でも、ＬＥＤチップを複数
個配置して複数個の発光領域にわたる大きな開口を形成
した遮光手段と組み合わせることにより、既存のサイズ
のＬＥＤチップを有効に活用でき、従って、安定した品
質で信頼性の高い光源を安価かつ確実に製造できる。
個配置して複数個の発光領域にわたる大きな開口を形成
した遮光手段と組み合わせることにより、既存のサイズ
のＬＥＤチップを有効に活用でき、従って、安定した品
質で信頼性の高い光源を安価かつ確実に製造できる。
【００４２】また、厚い銅板を基準に採用したから、高
密度に配置したＬＥＤチップ６２の発熱を効率的に除去
できる。従って、熱破壊に至らせることなくここの光源
スポットを確保できる。
密度に配置したＬＥＤチップ６２の発熱を効率的に除去
できる。従って、熱破壊に至らせることなくここの光源
スポットを確保できる。
【００４３】図９に示すように、配線パターンが形成さ
れたガラス基板７１上に３個のパッケージＬＥＤ素子７
２，７３，７４が並べて固定してある。パッケージＬＥ
Ｄ素子７２，７３，７４は、赤、青、緑をそれぞれ発光
色とするＬＥＤ素子７２ａ，７３ａ，７４ａからそれぞ
れ配線用の端子電極を取り出し、幅１ｍｍ、長さ４ｍｍ
のエポキシモールドに納めて個別素子に仕上げた汎用部
品である。
れたガラス基板７１上に３個のパッケージＬＥＤ素子７
２，７３，７４が並べて固定してある。パッケージＬＥ
Ｄ素子７２，７３，７４は、赤、青、緑をそれぞれ発光
色とするＬＥＤ素子７２ａ，７３ａ，７４ａからそれぞ
れ配線用の端子電極を取り出し、幅１ｍｍ、長さ４ｍｍ
のエポキシモールドに納めて個別素子に仕上げた汎用部
品である。
【００４４】パッケージＬＥＤ素子７２，７３，７４の
周囲を囲んで、ガラス基板７１上には、パッケージＬＥ
Ｄ素子７２，７３，７４と同じ厚さのスペーサ７５を固
定してある。スペーサ７５に重ねて遮光板７６が固定さ
れる。遮光板７６は、その開口７６ａ，７６ｂ，７６ｃ
をＬＥＤ素子７２ａ，７３ａ，７４ａが３個の光源スポ
ットを構成する。
周囲を囲んで、ガラス基板７１上には、パッケージＬＥ
Ｄ素子７２，７３，７４と同じ厚さのスペーサ７５を固
定してある。スペーサ７５に重ねて遮光板７６が固定さ
れる。遮光板７６は、その開口７６ａ，７６ｂ，７６ｃ
をＬＥＤ素子７２ａ，７３ａ，７４ａが３個の光源スポ
ットを構成する。
【００４５】このような変形例の光源によれば、汎用の
パッケージＬＥＤ素子を利用して手軽に光源を組み立て
られる。また、このようなパッケージＬＥＤ素子は、少
量の乱反射微粒子をエポキシモールド樹脂に混入してい
る場合がある。このとき、光源スポットとしての光束量
は少し損なわれる。しかし、ＬＥＤチップの電極パッド
の上空からも乱反射による発光が得られるから、電極パ
ッドを避けたＬＥＤ素子７２ａ，７３ｂ，７４ｃの隅に
開口７６ａ，７６ｂ，７６ｃを無理に位置決めする必要
が無い。
パッケージＬＥＤ素子を利用して手軽に光源を組み立て
られる。また、このようなパッケージＬＥＤ素子は、少
量の乱反射微粒子をエポキシモールド樹脂に混入してい
る場合がある。このとき、光源スポットとしての光束量
は少し損なわれる。しかし、ＬＥＤチップの電極パッド
の上空からも乱反射による発光が得られるから、電極パ
ッドを避けたＬＥＤ素子７２ａ，７３ｂ，７４ｃの隅に
開口７６ａ，７６ｂ，７６ｃを無理に位置決めする必要
が無い。
【００４６】
【発明の効果】本発明のＬＥＤビーム光源及び走査露光
装置によれば、個別のＬＥＤにマスクを形成した後に基
板上に位置決めする場合と比較して、精密な形状と寸法
の光源スポットを簡単かつ高精度に位置決めできるの
で、高品質のプリントが約束されるとともに、光源の品
質のばらつきが低下して歩留まりが高まり、製造に要す
る機器設備や作業時間が節約され、光源の製造コストを
低下させることができる。
装置によれば、個別のＬＥＤにマスクを形成した後に基
板上に位置決めする場合と比較して、精密な形状と寸法
の光源スポットを簡単かつ高精度に位置決めできるの
で、高品質のプリントが約束されるとともに、光源の品
質のばらつきが低下して歩留まりが高まり、製造に要す
る機器設備や作業時間が節約され、光源の製造コストを
低下させることができる。
【図１】本発明を実施したＬＥＤビーム光源の要部概略
図である。
図である。
【図２】本発明を実施したＬＥＤビーム光源の要部概略
図である。
図である。
【図３】本発明を実施した走査露光装置の構成を示す要
部概略図である。
部概略図である。
【図４】インスタントフイルムの送り展開の説明図であ
る。
る。
【図５】本発明を実施したＬＥＤビーム光源のスポット
形状を示す説明図である。
形状を示す説明図である。
【図６】赤、青、緑のＬＥＤビーム光源の駆動説明図で
ある。
ある。
【図７】本発明を実施したＬＥＤビーム光源の要部概略
図である。
図である。
【図８】本発明を実施したＬＥＤビーム光源の要部概略
図である。
図である。
【図９】本発明を実施したＬＥＤビーム光源の要部概略
図である。
図である。
１１ 光源 １４ ポリゴンミラー １７ インスタント写真フイルム １８ 展開ロール ３２，３３，３４ ＬＥＤ素子 ３５ 遮光板 ３６ 基板部材
Claims (9)
- 【請求項１】 それぞれ独立して制御可能な複数本の光
ビームを走査ミラー手段に入射させるＬＥＤビーム光源
において、 発光時期および発光強度を独立して制御可能な複数個の
ＬＥＤ素子と、そのＬＥＤ素子の発光側を共通に覆って
配置され、出力されるビームごとに開口を形成した遮光
手段とを有することを特徴とするＬＥＤビーム光源。 - 【請求項２】 前記遮光手段に設けられた開口と、露光
面におけるビームスポットとの形状は等しく、前記開口
の寸法は、前記ビームスポットの寸法に開口から露光面
までの間に配置された光学系の倍率比の逆数を乗じた大
きさであることを特徴とする請求項１記載のＬＥＤビー
ム光源。 - 【請求項３】 遮光手段の隣接した２つの開口の距離
は、開口寸法の略自然数倍であることを特徴とする請求
項１記載のＬＥＤビーム光源。 - 【請求項４】 前記ＬＥＤ素子は赤色光、青色光、およ
び緑色光をそれぞれ出力して出力レベルを画像データの
赤、青、緑の濃度に応じて制御される３種類のＬＥＤ素
子からなり、遮光手段には、赤色光，青色光，および緑
色光にそれぞれ対応する同一形状で同面積の３個の開口
が形成されていることを特徴とする請求項１記載のＬＥ
Ｄビーム光源。 - 【請求項５】 複数のＬＥＤ素子は、その発光面に配線
用の電極パッドを有し、遮光手段の開口は、電極パッド
を避けて発光面上に位置決めされることを特徴とする請
求項１記載のＬＥＤビーム光源。 - 【請求項６】 前記複数のＬＥＤ素子は、共通の基板部
材に固定され、露光の三原色に対応する３種類のＬＥＤ
チップからなり、遮光手段は、３個の開口をそれぞれＬ
ＥＤチップの発光領域に位置決めして前記基板部材に固
定されていることを特徴とする請求項１記載のＬＥＤビ
ーム光源。 - 【請求項７】 前記基板部材と遮光手段は、両者を相互
に拘束して、ＬＥＤ素子の発光面と遮光手段の開口の相
対的な位置関係を機械的に設定する位置決め手段を有す
ることを特徴とする請求項６記載のＬＥＤビーム光源。 - 【請求項８】 前記複数のＬＥＤ素子は、共通の基板部
材に固定され、露光の三原色に対応するＬＥＤチップか
らなり、３種類のうち少なくとも１種類のＬＥＤチップ
は、基板部材の上に隣接状態で複数配置され、遮光手段
の開口は、隣接状態で配置された複数個のＬＥＤチップ
の発光領域にまたがって位置決めされていることを特徴
とする請求項１記載のＬＥＤビーム光源。 - 【請求項９】 請求項１から６のいずれかのＬＥＤビー
ム光源と、ＬＥＤビーム光源の出力光を平行光に変換す
る第１レンズ手段と、反射面の傾きを変化させて第１レ
ンズ手段の出力光を走査する走査ミラー手段と、走査ミ
ラー手段によって走査された光束を収束させて、ＬＥＤ
ビーム光源の複数の開口に対応する複数の走査ビームス
ポットを露光面に形成する第２レンズ手段と、を有する
ことを特徴とする走査露光装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000091585A JP2001281576A (ja) | 2000-03-29 | 2000-03-29 | Ｌｅｄビーム光源及び走査露光装置 |
| US09/811,396 US20010026310A1 (en) | 2000-03-29 | 2001-03-20 | LED beam source and scanning exposure apparatus |
| DE10113507A DE10113507A1 (de) | 2000-03-29 | 2001-03-20 | LED-Strahlquelle und Abtastbelichtungseinrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000091585A JP2001281576A (ja) | 2000-03-29 | 2000-03-29 | Ｌｅｄビーム光源及び走査露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001281576A true JP2001281576A (ja) | 2001-10-10 |
Family
ID=18607032
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000091585A Pending JP2001281576A (ja) | 2000-03-29 | 2000-03-29 | Ｌｅｄビーム光源及び走査露光装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20010026310A1 (ja) |
| JP (1) | JP2001281576A (ja) |
| DE (1) | DE10113507A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP5754173B2 (ja) * | 2011-03-01 | 2015-07-29 | ソニー株式会社 | 発光ユニットおよび表示装置 |
-
2000
- 2000-03-29 JP JP2000091585A patent/JP2001281576A/ja active Pending
-
2001
- 2001-03-20 DE DE10113507A patent/DE10113507A1/de not_active Ceased
- 2001-03-20 US US09/811,396 patent/US20010026310A1/en not_active Abandoned
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| Publication number | Publication date |
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| US20010026310A1 (en) | 2001-10-04 |
| DE10113507A1 (de) | 2001-10-04 |
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| A02 | Decision of refusal |
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