JP2001272361A - 試料分析装置 - Google Patents
試料分析装置Info
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- JP2001272361A JP2001272361A JP2000083145A JP2000083145A JP2001272361A JP 2001272361 A JP2001272361 A JP 2001272361A JP 2000083145 A JP2000083145 A JP 2000083145A JP 2000083145 A JP2000083145 A JP 2000083145A JP 2001272361 A JP2001272361 A JP 2001272361A
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- detector
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＷＤＳ用検出器としてエネルギー分解能がよ
く且つ安定性のよい半導体検出器を用いることができる
ようにして、再現性がよく高精度の定量分析を実行でき
るようにした試料分析装置を提供する。 【解決手段】 一次Ｘ線２を照射した試料１から励起さ
れる特性Ｘ線を第１のコリメータ６を介して入射させる
分光結晶７と、該分光結晶で分光された特性Ｘ線を第２
のコリメータ８を介して入射させ検出するＷＤＳ用半導
体検出器４と、ＥＤＳ用半導体検出器５とを備え、前記
ＷＤＳ用検出器とＥＤＳ用検出器とを装置本体に固定さ
れた液体窒素デュワ３に固定配置し、前記分光結晶は固
定配置された第２のコリメータの光軸方向に沿って直線
的に移動すると共に所定の回析角度だけ回転するように
構成され、第１のコリメータはその光軸方向が前記分光
結晶の移動に伴って該分光結晶の中心に向くように回転
させて試料分析装置を構成する。
く且つ安定性のよい半導体検出器を用いることができる
ようにして、再現性がよく高精度の定量分析を実行でき
るようにした試料分析装置を提供する。 【解決手段】 一次Ｘ線２を照射した試料１から励起さ
れる特性Ｘ線を第１のコリメータ６を介して入射させる
分光結晶７と、該分光結晶で分光された特性Ｘ線を第２
のコリメータ８を介して入射させ検出するＷＤＳ用半導
体検出器４と、ＥＤＳ用半導体検出器５とを備え、前記
ＷＤＳ用検出器とＥＤＳ用検出器とを装置本体に固定さ
れた液体窒素デュワ３に固定配置し、前記分光結晶は固
定配置された第２のコリメータの光軸方向に沿って直線
的に移動すると共に所定の回析角度だけ回転するように
構成され、第１のコリメータはその光軸方向が前記分光
結晶の移動に伴って該分光結晶の中心に向くように回転
させて試料分析装置を構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ＷＤＳ用検出器
として固定配置された半導体検出器を用いることがでる
ように構成し、再現性のよい高精度の定量分析を行える
ようにした試料分析装置に関する。
として固定配置された半導体検出器を用いることがでる
ように構成し、再現性のよい高精度の定量分析を行える
ようにした試料分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】試料にＸ線等の一次線を照射して試料に
含まれる元素を分析するための蛍光Ｘ線等の特性Ｘ線を
分析する手法には、波長分散形Ｘ線分光法（ＷＤＳと略
称されている）とエネルギー分散形Ｘ線分光法（ＥＤＳ
と略称されている）の２つの手法が知られている。ＷＤ
Ｓでは、分光結晶とシンチレーション検出器や比例計数
管などの検出器を同時にスキャンして、通常10ｅＶ〜20
ｅＶ程度のエネルギー分解能を得て、元素分析を行うよ
うになっている。このようにＷＤＳでは、分光結晶と検
出器をスキャンするため、試料に含まれる全ての元素を
分析するには、かなりの時間がかかる。
含まれる元素を分析するための蛍光Ｘ線等の特性Ｘ線を
分析する手法には、波長分散形Ｘ線分光法（ＷＤＳと略
称されている）とエネルギー分散形Ｘ線分光法（ＥＤＳ
と略称されている）の２つの手法が知られている。ＷＤ
Ｓでは、分光結晶とシンチレーション検出器や比例計数
管などの検出器を同時にスキャンして、通常10ｅＶ〜20
ｅＶ程度のエネルギー分解能を得て、元素分析を行うよ
うになっている。このようにＷＤＳでは、分光結晶と検
出器をスキャンするため、試料に含まれる全ての元素を
分析するには、かなりの時間がかかる。
【０００３】一方、ＥＤＳでは、検出器はスキャンせ
ず、ＷＤＳで使用するシンチレーション検出器や比例計
数管に比べ約５倍から10倍のエネルギー分解能のよい
（通常 150ｅＶ程度）半導体検出器を利用して、元素分
析を行うようになっている。このようにＥＤＳでは、検
出器をスキャンする必要がないので、短時間に試料中の
全ての元素分析を実行することができる。
ず、ＷＤＳで使用するシンチレーション検出器や比例計
数管に比べ約５倍から10倍のエネルギー分解能のよい
（通常 150ｅＶ程度）半導体検出器を利用して、元素分
析を行うようになっている。このようにＥＤＳでは、検
出器をスキャンする必要がないので、短時間に試料中の
全ての元素分析を実行することができる。
【０００４】しかし、ＥＤＳを用いた試料分析装置全体
としては、ＷＤＳを用いた試料分析装置に比べて、エネ
ルギー分解能が悪いので、複雑な組成の試料を分析しよ
うとすると、ピークのオーバーラップが起こってくるの
で、精度よく定量分析をするのが困難である。また半導
体検出器は、高いエネルギー分解能を得るために、液体
窒素温度に冷却するための重いデュワが付属している。
としては、ＷＤＳを用いた試料分析装置に比べて、エネ
ルギー分解能が悪いので、複雑な組成の試料を分析しよ
うとすると、ピークのオーバーラップが起こってくるの
で、精度よく定量分析をするのが困難である。また半導
体検出器は、高いエネルギー分解能を得るために、液体
窒素温度に冷却するための重いデュワが付属している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来、多くの蛍光Ｘ線
分析装置では、ＥＤＳかＷＤＳのいずれか一方の検出手
法が用いられている。したがって、上記のような個別の
問題点を有している。これに対して、一つの試料分析装
置でＥＤＳとＷＤＳの双方の検出系を備えた試料分析装
置を作成すれば、ＥＤＳの短時間に元素分析ができる利
点と、ＷＤＳのエネルギー分解能のよい利点を合わせも
った特徴ある試料分析装置が得られる。このため、従
来、蛍光Ｘ線分析装置では従来のＷＤＳ型の蛍光Ｘ線分
析装置に、単純にＥＤＳ検出系を付加した装置が知られ
ている。
分析装置では、ＥＤＳかＷＤＳのいずれか一方の検出手
法が用いられている。したがって、上記のような個別の
問題点を有している。これに対して、一つの試料分析装
置でＥＤＳとＷＤＳの双方の検出系を備えた試料分析装
置を作成すれば、ＥＤＳの短時間に元素分析ができる利
点と、ＷＤＳのエネルギー分解能のよい利点を合わせも
った特徴ある試料分析装置が得られる。このため、従
来、蛍光Ｘ線分析装置では従来のＷＤＳ型の蛍光Ｘ線分
析装置に、単純にＥＤＳ検出系を付加した装置が知られ
ている。
【０００６】しかしながら、単にＷＤＳ型の蛍光Ｘ線分
析装置にＥＤＳ検出系を組み込んだ場合には、構成が大
規模となりコストが大となるという問題点がある。
析装置にＥＤＳ検出系を組み込んだ場合には、構成が大
規模となりコストが大となるという問題点がある。
【０００７】本発明は、従来の試料分析装置における上
記問題点を解消するためになされたもので、ＷＤＳ用検
出器として、固定的に配置されていてエネルギー分解能
がよく且つ安定性のよい半導体検出器を用いることがで
きるようにして、再現性がよく高精度の定量分析を実行
できるようにした低コストの試料分析装置を提供するこ
とを目的とする。
記問題点を解消するためになされたもので、ＷＤＳ用検
出器として、固定的に配置されていてエネルギー分解能
がよく且つ安定性のよい半導体検出器を用いることがで
きるようにして、再現性がよく高精度の定量分析を実行
できるようにした低コストの試料分析装置を提供するこ
とを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
め、請求項１に係る発明は、一次線を照射した試料から
励起される特性Ｘ線を第１のコリメータを介して入射さ
せる分光結晶と、該分光結晶で分光された特性Ｘ線を第
２のコリメータを介して入射させ検出するＷＤＳ用半導
体検出器とを備え、前記ＷＤＳ用半導体検出器と第２の
コリメータは装置本体に固定されており、前記分光結晶
は第２のコリメータの光軸方向に沿って直線的に移動す
ると共に所定の回析角度回転するように構成され、第１
のコリメータはその光軸方向が前記分光結晶の移動に対
応して該分光結晶の中心に向かうように、試料配置位置
を中心にして回転するようにして試料分析装置を構成す
るものである。
め、請求項１に係る発明は、一次線を照射した試料から
励起される特性Ｘ線を第１のコリメータを介して入射さ
せる分光結晶と、該分光結晶で分光された特性Ｘ線を第
２のコリメータを介して入射させ検出するＷＤＳ用半導
体検出器とを備え、前記ＷＤＳ用半導体検出器と第２の
コリメータは装置本体に固定されており、前記分光結晶
は第２のコリメータの光軸方向に沿って直線的に移動す
ると共に所定の回析角度回転するように構成され、第１
のコリメータはその光軸方向が前記分光結晶の移動に対
応して該分光結晶の中心に向かうように、試料配置位置
を中心にして回転するようにして試料分析装置を構成す
るものである。
【０００９】このように光学系を構成することにより、
ＷＤＳ用検出器として、固定配置されていてエネルギー
分解能がよく安定性のよい半導体検出器を用いることが
でき、再現性がよく高精度の定量分析を行うことが可能
な試料分析装置を実現できる。
ＷＤＳ用検出器として、固定配置されていてエネルギー
分解能がよく安定性のよい半導体検出器を用いることが
でき、再現性がよく高精度の定量分析を行うことが可能
な試料分析装置を実現できる。
【００１０】請求項２に係る発明は、請求項１に係る試
料分析装置において、ＥＤＳ用半導体検出器を装置内に
合わせて配置したことを特徴とするものである。このよ
うにＷＤＳ用半導体検出器に対してＥＤＳ用半導体検出
器を合わせて配置することにより、ＥＤＳとＷＤＳによ
る検出手法の全ての特徴を一つの装置で発揮させること
ができ、ＥＤＳで分析された検出結果のオーバーラップ
したピーク部分のみをＷＤＳで検出することにより、広
範囲の分析測定時間を短縮することが可能となる。
料分析装置において、ＥＤＳ用半導体検出器を装置内に
合わせて配置したことを特徴とするものである。このよ
うにＷＤＳ用半導体検出器に対してＥＤＳ用半導体検出
器を合わせて配置することにより、ＥＤＳとＷＤＳによ
る検出手法の全ての特徴を一つの装置で発揮させること
ができ、ＥＤＳで分析された検出結果のオーバーラップ
したピーク部分のみをＷＤＳで検出することにより、広
範囲の分析測定時間を短縮することが可能となる。
【００１１】請求項３に係る発明は、請求項２に係る試
料分析装置において、前記ＥＤＳ用半導体検出器は、前
記ＷＤＳ用半導体検出器と共に単一の液体窒素デュワに
固定配置されていることを特徴とするものである。この
ように構成することにより、単一の液体窒素デュワを用
いてＷＤＳ用半導体検出器とＥＤＳ用半導体検出器とを
配置することができ、極めてコンパクトなＷＤＳとＥＤ
Ｓ機能を備えた低コストの試料分析装置を実現すること
ができる。
料分析装置において、前記ＥＤＳ用半導体検出器は、前
記ＷＤＳ用半導体検出器と共に単一の液体窒素デュワに
固定配置されていることを特徴とするものである。この
ように構成することにより、単一の液体窒素デュワを用
いてＷＤＳ用半導体検出器とＥＤＳ用半導体検出器とを
配置することができ、極めてコンパクトなＷＤＳとＥＤ
Ｓ機能を備えた低コストの試料分析装置を実現すること
ができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】次に、実施の形態について説明す
る。図１は、本発明の試料分析装置の実施の形態に係る
蛍光Ｘ線分析装置の概略構成を示す図である。図におい
て、１は試料で、光学的な立体座標系ＸＹＺの原点に配
置されており、一次Ｘ線２はＸ−Ｚ面上の試料表面に、
図示しないＸ線源より照射されるようになっている。３
は装置に固定配置されている液体窒素デュワで、該デュ
ワ３にはＷＤＳ用半導体検出器４とＥＤＳ用半導体検出
器５が固定配置されている。６は試料１の表面から励起
された特性Ｘ線を分光結晶７へ入射させるための第１の
コリメータ、８は分光結晶７で分光された特性Ｘ線をＷ
ＤＳ用半導体検出器４へ入射させるための第２のコリメ
ータである。そして、前記分光結晶７は第２のコリメー
タ８の光軸方向の直線９上に沿って移動し、且つ移動に
伴ってブラッグの条件を満たすように必要な回析角度だ
け回転するような機構（図示せず）を備えており、また
第１のコリメータ６は前記分光結晶７の移動に対応し
て、その光軸方向が該分光結晶７の中心に向かうよう
に、座標系の原点を中心にして回転制御される機構（図
示せず）を備えている。なお、図１において、θは特性
Ｘ線の分光結晶７への入射角である。
る。図１は、本発明の試料分析装置の実施の形態に係る
蛍光Ｘ線分析装置の概略構成を示す図である。図におい
て、１は試料で、光学的な立体座標系ＸＹＺの原点に配
置されており、一次Ｘ線２はＸ−Ｚ面上の試料表面に、
図示しないＸ線源より照射されるようになっている。３
は装置に固定配置されている液体窒素デュワで、該デュ
ワ３にはＷＤＳ用半導体検出器４とＥＤＳ用半導体検出
器５が固定配置されている。６は試料１の表面から励起
された特性Ｘ線を分光結晶７へ入射させるための第１の
コリメータ、８は分光結晶７で分光された特性Ｘ線をＷ
ＤＳ用半導体検出器４へ入射させるための第２のコリメ
ータである。そして、前記分光結晶７は第２のコリメー
タ８の光軸方向の直線９上に沿って移動し、且つ移動に
伴ってブラッグの条件を満たすように必要な回析角度だ
け回転するような機構（図示せず）を備えており、また
第１のコリメータ６は前記分光結晶７の移動に対応し
て、その光軸方向が該分光結晶７の中心に向かうよう
に、座標系の原点を中心にして回転制御される機構（図
示せず）を備えている。なお、図１において、θは特性
Ｘ線の分光結晶７への入射角である。
【００１３】そして、ＥＤＳ用半導体検出器５は、その
検出効率を上げるため、前記分光結晶７の動作を妨げな
いようにして、できるだけ試料１の表面の近くに配置す
るようにしている。
検出効率を上げるため、前記分光結晶７の動作を妨げな
いようにして、できるだけ試料１の表面の近くに配置す
るようにしている。
【００１４】次に、このように構成された実施の形態の
動作について説明する。ＷＤＳ検出手法で測定するとき
は、試料１から発生する各元素の特性Ｘ線のエネルギー
に対応して、分光結晶７を直線９上で移動させ、且つブ
ラッグの条件を満たすように必要な回析角度だけ回転さ
せ、そのエネルギーの特性Ｘ線だけを分光してＷＤＳ用
半導体検出器４で検出する。一方、ＥＤＳ検出手法で測
定するときは、試料１の表面より励起される特性Ｘ線を
直接ＥＤＳ用半導体検出器５に入射させて、試料面の多
元素の特性Ｘ線を同時に高速で検出する。
動作について説明する。ＷＤＳ検出手法で測定するとき
は、試料１から発生する各元素の特性Ｘ線のエネルギー
に対応して、分光結晶７を直線９上で移動させ、且つブ
ラッグの条件を満たすように必要な回析角度だけ回転さ
せ、そのエネルギーの特性Ｘ線だけを分光してＷＤＳ用
半導体検出器４で検出する。一方、ＥＤＳ検出手法で測
定するときは、試料１の表面より励起される特性Ｘ線を
直接ＥＤＳ用半導体検出器５に入射させて、試料面の多
元素の特性Ｘ線を同時に高速で検出する。
【００１５】このように、分光結晶を用いたＷＤＳによ
る検出でも、上記のような光学系を用いて固定配置した
安定性のよい半導体検出器を利用しているので、再現性
のよい測定データが得られ、高精度の定量分析を行うこ
とができる。またＷＤＳとＥＤＳの２つの検出手法を結
合して、ＷＤＳとＥＤＳの検出手法の全ての特徴を一つ
の装置で発揮させることができ、したがってＥＤＳ検出
によりオーバーラップしたピークのみをＷＤＳ検出で高
精度で分析するようにして、測定時間を短縮することが
できる。また、ＷＤＳ用半導体検出器とＥＤＳ用半導体
検出器とを単一の液体窒素デュワに固定配置しているの
で、コンパクトで低コストのＥＤＳとＷＤＳのコンバイ
ンした試料分析装置を実現することができる。
る検出でも、上記のような光学系を用いて固定配置した
安定性のよい半導体検出器を利用しているので、再現性
のよい測定データが得られ、高精度の定量分析を行うこ
とができる。またＷＤＳとＥＤＳの２つの検出手法を結
合して、ＷＤＳとＥＤＳの検出手法の全ての特徴を一つ
の装置で発揮させることができ、したがってＥＤＳ検出
によりオーバーラップしたピークのみをＷＤＳ検出で高
精度で分析するようにして、測定時間を短縮することが
できる。また、ＷＤＳ用半導体検出器とＥＤＳ用半導体
検出器とを単一の液体窒素デュワに固定配置しているの
で、コンパクトで低コストのＥＤＳとＷＤＳのコンバイ
ンした試料分析装置を実現することができる。
【００１６】なお、回転制御される第１のコリメータ６
を介した試料１からの特性Ｘ線の取り出し角度が変化す
ると、その角度変化に応じてＸ線強度が変化するので、
検出データを取った後に、第１のコリメータ６の回転角
度（取り出し角度）に対応した関数を用いて、検出デー
タの補正を行うことが好ましい。
を介した試料１からの特性Ｘ線の取り出し角度が変化す
ると、その角度変化に応じてＸ線強度が変化するので、
検出データを取った後に、第１のコリメータ６の回転角
度（取り出し角度）に対応した関数を用いて、検出デー
タの補正を行うことが好ましい。
【００１７】上記実施の形態では、ＷＤＳ用半導体検出
器とＥＤＳ用半導体検出器とを単一の液体窒素デュワに
固定配置したものを示したが、ＷＤＳ用半導体検出器４
とＥＤＳ用半導体検出器５とは、図２に示すように、別
個に配置した液体窒素デュワ３と10とにそれぞれ別個に
配置するようにしてもよい。この場合は、半導体検出器
の配置態様に裕度をもたせることができる。
器とＥＤＳ用半導体検出器とを単一の液体窒素デュワに
固定配置したものを示したが、ＷＤＳ用半導体検出器４
とＥＤＳ用半導体検出器５とは、図２に示すように、別
個に配置した液体窒素デュワ３と10とにそれぞれ別個に
配置するようにしてもよい。この場合は、半導体検出器
の配置態様に裕度をもたせることができる。
【００１８】また、上記実施の形態では、本発明を蛍光
Ｘ線分析装置に適用したものを示したが、本発明はＷＤ
Ｓ又はＥＤＳ検出方式を用いている電子プローブマイク
ロアナライザ（ＥＰＭＡ）など他の試料分析装置にも、
同様に適用することができる。
Ｘ線分析装置に適用したものを示したが、本発明はＷＤ
Ｓ又はＥＤＳ検出方式を用いている電子プローブマイク
ロアナライザ（ＥＰＭＡ）など他の試料分析装置にも、
同様に適用することができる。
【００１９】
【発明の効果】以上実施の形態に基づいて説明したよう
に、請求項１に係る発明によれば、ＷＤＳ用検出器とし
てエネルギー分解能がよく且つ安定性のよい固定配置さ
れる半導体検出器を用いることができ、再現性がよく高
精度の定量分析を行うことが可能な試料分析装置を実現
することができる。また請求項２に係る発明によれば、
ＷＤＳ用半導体検出器に対してＥＤＳ用半導体検出器を
合わせ配置しているので、ＥＤＳとＷＤＳの検出手法の
全ての特徴を一つの装置で発揮させることができ、ＥＤ
Ｓ検出でオーバーラップしたピークのみをＷＤＳで検出
することにより測定時間を短縮することができる。また
請求項３に係る発明によれば、単一の液体窒素デュワを
用いてＷＤＳ用半導体検出器とＥＤＳ用半導体検出器と
を配置することができ、コンパクトなＷＤＳとＥＤＳ機
能を備えた低コストの試料分析装置を実現することがで
きる。
に、請求項１に係る発明によれば、ＷＤＳ用検出器とし
てエネルギー分解能がよく且つ安定性のよい固定配置さ
れる半導体検出器を用いることができ、再現性がよく高
精度の定量分析を行うことが可能な試料分析装置を実現
することができる。また請求項２に係る発明によれば、
ＷＤＳ用半導体検出器に対してＥＤＳ用半導体検出器を
合わせ配置しているので、ＥＤＳとＷＤＳの検出手法の
全ての特徴を一つの装置で発揮させることができ、ＥＤ
Ｓ検出でオーバーラップしたピークのみをＷＤＳで検出
することにより測定時間を短縮することができる。また
請求項３に係る発明によれば、単一の液体窒素デュワを
用いてＷＤＳ用半導体検出器とＥＤＳ用半導体検出器と
を配置することができ、コンパクトなＷＤＳとＥＤＳ機
能を備えた低コストの試料分析装置を実現することがで
きる。
【図１】本発明の試料分析装置の実施の形態に係る蛍光
Ｘ線分析装置の概略構成を示す図である。
Ｘ線分析装置の概略構成を示す図である。
【図２】図１に示した実施の形態の変形例を示す概略図
である。
である。
１ 試料 ２ 一次Ｘ線 ３ 液体窒素デュワ ４ ＷＤＳ用半導体検出器 ５ ＥＤＳ用半導体検出器 ６ 第１のコリメータ ７ 分光結晶 ８ 第２のコリメータ ９ 分光結晶の移動方向を示す直線 10 液体窒素デュワ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 坂牧 俊夫 東京都昭島市武蔵野三丁目１番２号 日本 電子エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 酒井 巖 東京都昭島市武蔵野三丁目１番２号 日本 電子エンジニアリング株式会社内 Ｆターム(参考） 2G001 AA01 AA03 BA04 BA05 CA01 DA01 DA02 DA06 DA10 EA01 EA03 GA01 JA05 JA11 JA20 KA01 SA02
Claims (3)
- 【請求項１】 一次線を照射した試料から励起される特
性Ｘ線を第１のコリメータを介して入射させる分光結晶
と、該分光結晶で分光された特性Ｘ線を第２のコリメー
タを介して入射させ検出するＷＤＳ用半導体検出器とを
備え、前記ＷＤＳ用半導体検出器と第２のコリメータは
装置本体に固定されており、前記分光結晶は第２のコリ
メータの光軸方向に沿って直線的に移動すると共に所定
の回析角度回転するように構成され、第１のコリメータ
はその光軸方向が前記分光結晶の移動に対応して該分光
結晶の中心に向かうように、試料配置位置を中心にして
回転するように構成されていることを特徴とする試料分
析装置。 - 【請求項２】 ＥＤＳ用半導体検出器を装置内に合わせ
て配置したことを特徴とする請求項１に係る試料分析装
置。 - 【請求項３】 前記ＥＤＳ用半導体検出器は、前記ＷＤ
Ｓ用半導体検出器と共に単一の液体窒素デュワに固定配
置されていることを特徴とする請求項２に係る試料分析
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000083145A JP2001272361A (ja) | 2000-03-24 | 2000-03-24 | 試料分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000083145A JP2001272361A (ja) | 2000-03-24 | 2000-03-24 | 試料分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001272361A true JP2001272361A (ja) | 2001-10-05 |
Family
ID=18599832
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000083145A Withdrawn JP2001272361A (ja) | 2000-03-24 | 2000-03-24 | 試料分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001272361A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108956672A (zh) * | 2018-05-15 | 2018-12-07 | 江苏天瑞仪器股份有限公司 | 使用食品快检仪专用样品杯进行重金属检测的检测方法 |
-
2000
- 2000-03-24 JP JP2000083145A patent/JP2001272361A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108956672A (zh) * | 2018-05-15 | 2018-12-07 | 江苏天瑞仪器股份有限公司 | 使用食品快检仪专用样品杯进行重金属检测的检测方法 |
| CN108956672B (zh) * | 2018-05-15 | 2021-12-17 | 江苏天瑞仪器股份有限公司 | 使用食品快检仪专用样品杯进行重金属检测的检测方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20070605 |