JPH04174350A

JPH04174350A - Ｘ線分析装置

Info

Publication number: JPH04174350A
Application number: JP2301643A
Authority: JP
Inventors: Noriaki Nakanishi; 中西　典顯
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 1990-11-07
Filing date: 1990-11-07
Publication date: 1992-06-22

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〈産業上の利用分野〉本発明は、ＥＰＭＡや蛍光Ｘ線分析装置等のＸ線分析装
置に関する。

〈従来の技術〉ＥＰＭＡや蛍光Ｘ線分析装置などのＸ線分析装置のＸ線
分光検出部分には、従来、第２図に示すような構成のも
のがある。すなわち、このＸ線分光検出部分は、試料Ｓ
からのＸ線を分光する湾曲形の分光結晶ｇを有し、この
分光結晶ｇで分光されるＸ線の集束位置には検出スリッ
トｈが設けられ、この検出スリットｈの後段には比例計
数管等のＸ線検出器ｆか配置されている。

いま、分光すべきＸ線の波長をλ、分光結晶ｇの格子間
隔をｄ１分光結晶ｇの分光角をθとすると、プラグの回
折条件より、 λ＝　２　ｄｓｉｎθ　　　　　　　　　　（１）よっ
て、 θ＝ｓｉｎ−＋（λ／２ｄ）　　　　　　　（２）また
、試料Ｓと分光結晶ｇとの距離（または分光結晶とその
集束位置までの距離）をＱ１０−ラン１円にの半径をＲ
とすると、Ｘ線が集束条件を満たす場合には、Ｑ＝　２　Ｒ５１ｎθ　　　　　　　　　　（３）よっ
て、（１）式と（３）式とから、Ｑ＝λ・（Ｒ／ｄ）　　　　　　　　　（４）となる。

そして、分光結晶ｇがＬ軸上をｒ＝とえばＰｌ、Ｐ３、
・・・と直線状に移動されると試料Ｓと分光結晶ｇとの
距離Ｑが変わるので、これに伴って、（４）式の関係か
らローランド円にの半径Ｒが一定の場合には、分光され
る波長λが変化する。そして、分光波長λが変わると、
（２）式の関係から分光結晶ｇの分光角θも順次変更さ
れる。これとともに、検出スリットｈの位置しＱいＱ３
、・・・と変化し、同時にＸ線検出器ｆも検出スリット
ｈと共に追従移動する。すなわち、波長走査のために、
分光結晶ｇの位置Ｑと角度θを変えると、これに応じて
ローランド円にの中心位置０も変化するが、試料Ｓ、分
光結晶ｇ１および検出スリットｈは常に一定半径Ｒのロ
ーランド円に上に位置することになる。

〈発明が解決しようとする課題〉このように、従来の構成のものでは、分光結晶ｇと検出
スリットｈとがローランド円に上に常に位置するように
移動させるために、分光結晶ｇを搭載するブロックと、
検出スリットｈおよびＸ線検出器ｒを共に搭載するブロ
ックとの間をリンク機構（いずれも図示省略）を介して
互いに連結している。

ところが、分光結晶ｇ、検出スリットｈおよびＸ線検出
器ｆを互いに連係動作させる場合には、分光結晶ｇ単独
の動きだけでなく、検出スリットｈとの相対的な位置関
係においても集束条件を十分に満たすことが必要となり
、そのため、測定結果の再現性に欠ける場合があった。

すなわち、分光結晶ｇを移動させて波長選択するために
、たとえばＬ軸上の図中Ｐ４の位置に停止させる場合、
Ｐ７側から移動してＰ４の位置に停止させるのと、Ｐｌ
側から移動してＰ４の位置に停止させるのとでは、機械
的な停止位置の再現精度が確保し難く、そのため、Ｘ線
検出器で検出されるＸ線強度が異なることがある。また
、分析に際して、試料Ｓにはどのような成分元素が含ま
れているのかを予め確認したい場合があり、そのときに
は、分光結晶ｇをＬ軸に沿って連続的に移動させて波長
走査を行う。

しかし、従来のように分光結晶ｇ１検出スリットｈおよ
びＸ線検出器ｆが互いにリンク機構で連結されている場
合には、機械的な制約があるために高速走査が難しく、
余分な時間がかかっていた。

〈課題を解決するための手段〉本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであっ
て、分光結晶を所定位置に停止させる際の位置再現精度
を高め、常に精度良い測定結果が得られるようにすると
ともに、Ｘ線の波長走査を高速に行えるようにして分析
時間の短縮化が図れるようにするものである。

そのため、本発明は、試料からのＸ線を分光する湾曲形
の分光結晶が分光角を変えながら直線状に移動させられ
る波長走査形のＸ線分光器を有するとともに、前記分光
結晶で分光されたＸ線を検出するＸ線検出器と備えたＸ
線分析装置において、Ｘ線検出器は、一次元位置敏感形
検出器を有し、この一次元位置敏感形検出器を分光結晶
で分光されたＸ線の集束位置の軌跡に沿って湾曲状に形
成して構成した。

〈作用〉上記構成において、Ｘ線検出器は、一次元位置敏感形検
出器を分光結晶で分光されたＸ線の集束位置の軌跡に沿
って湾曲状に形成して構成されているから、分光結晶で
分光されたＸ線は必ずこのＸ線検出器上に集束する。し
かも、機械的に移動するのは分光結晶側だけで、Ｘ線検
出器側は固定したままで移動させる必要がない。そのた
め、従来のように分光結晶、検出スリットの相互間をリ
ンク機構等で連結する必要がなく構造が簡単になるばか
りか、分光結晶の高速走査が可能となる。

〈実施例〉第１図は本発明の実施例のＸ線分析装置の構成図であり
、第２図に示した従来例に対応する部分には同一の符号
を付す。

この実施例のＸ線分析装置は、試料ＳからのＸ線を分光
する湾曲形の分光結晶ｇを有し、Ｘ線の波長走査を行う
際には、この分光結晶ｇＩＪ＜Ｌ軸上を直線状に移動さ
れて試料Ｓと分光結晶ｇとの距離ｅが変化され、これに
伴って（４）式および（２）式の関係に基づいて分光結
晶ｇの分光角θが順次変更されるようになっている点は
従来例の場合と同様である。

本発明の特徴は、ＰＳＰＣ等の一次元位置敏感形検出器
ｍを葺し、この−次元位置歓感杉検出器ｍを分光結晶ｇ
で分光されたＸ線の集束位置の軌跡に沿って湾曲状に形
成してＸ線検出器か構成されていることである。

すなわち、分光するＸ線の一つの波長λが決まると、（
２）式と（４）式の関係から、試料Ｓと分光結晶ｇとの
距離（−分光結晶とその集束位ｗＱ１、Ｑ３、・・・ま
での距離）ρ、および分光角θがそれぞれ一義的に決定
されるから、分光結晶ｇ８Ｌ軸上を直線移動させて波長
λを変化させると、分光結晶ｇで分光されたＸ線の集束
位置Ｑ、、Ｑ、、・・・の軌跡を決定することができる
。そして、この軌跡に沿って予め一次元位置敏感形検出
器を湾曲形成しておけば、分光結晶ｇで分光されたＸ線
は必ずこの一次元位置敏感形検出器ｍ上に集束する。し
かも、機械的に移動するのは分光結晶ｇ側だけで、一次
元位置敏感形検出器ｍは固定したままで移動させる必要
がない。そのため、従来のように分光結晶、検出スリッ
トの相互間をリンク機構等で連結する必要がなく構造か
簡単になるばかりか、分光結晶の高速走査が可能となる
。

〈発明の効果〉本発明によれば、−次元位置歓感杉検出器を分光結晶で
分光されたＸ線の集束位置の軌跡に沿って湾曲状に形成
してＸ線検出器を構成したので、分光結晶で分光された
Ｘ線は必すこのＸ線検出器上に集束する。しかも、機械
的に移動するのは分光結晶側たけで、Ｘ線検出器側は固
定したままとなるから、分光結晶を所定位置に停止させ
る際の位置再現精度が高まり常に精度良い測定結果か得
られるようになるとともに、Ｘ線の波長走査を高速に行
えるため、分析時間の短縮化が図れる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例のＸ線分析装置の構成図、７２
図は従来のＸ線分析装置の構成図である。Ｓ・・・試料、ｇ・・・分光結晶、ｋ・・ローランド円
、ｍ・・・一次元位置敏感形検出器。第１図り軸第２図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）試料からのＸ線を分光する湾曲形の分光結晶が分
光角を変えながら直線状に移動させられる波長走査形の
Ｘ線分光器を有するとともに、前記分光結晶で分光され
たＸ線を検出するＸ線検出器と備えたＸ線分析装置にお
いて、前記Ｘ線検出器は、一次元位置敏感形検出器を有し、こ
の一次元位置敏感形検出器が前記分光結晶で分光された
Ｘ線の集束位置の軌跡に沿って湾曲状に形成されて構成
されていることを特徴とするＸ線分析装置。