JP2001264270A - Ｘ線検査装置、及びｘ線シール構造 - Google Patents
Ｘ線検査装置、及びｘ線シール構造Info
- Publication number
- JP2001264270A JP2001264270A JP2000075453A JP2000075453A JP2001264270A JP 2001264270 A JP2001264270 A JP 2001264270A JP 2000075453 A JP2000075453 A JP 2000075453A JP 2000075453 A JP2000075453 A JP 2000075453A JP 2001264270 A JP2001264270 A JP 2001264270A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- sample
- inspection apparatus
- detection unit
- rays
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 積層基板等の内部構造をより明確に観察する
ことのできるＸ線検査装置を提供すること。 【解決手段】 試料を載置する試料台４を挟んで、Ｘ線
を照射するＸ線源２１とＸ線を検出するＸ線検出部２２
とが対向して配置され、Ｘ線源２１から照射され、試料
を透過したＸ線がＸ線検出部２２にて検出されるように
構成されたＸ線検査装置において、Ｘ線源２１とＸ線検
出部２２におけるＸ線入射面２２ａの中心とを結ぶ直線
に直交する軸Ｓ3 上で装置の枠体２８に枢支され、Ｘ線
源２１とＸ線検出部２２とを支持する支持手段２６と、
距離Ｄを調整することによって、軸Ｓ3 を回転軸とし
て、支持手段２６を回動させる駆動手段２７とを装備す
る。
ことのできるＸ線検査装置を提供すること。 【解決手段】 試料を載置する試料台４を挟んで、Ｘ線
を照射するＸ線源２１とＸ線を検出するＸ線検出部２２
とが対向して配置され、Ｘ線源２１から照射され、試料
を透過したＸ線がＸ線検出部２２にて検出されるように
構成されたＸ線検査装置において、Ｘ線源２１とＸ線検
出部２２におけるＸ線入射面２２ａの中心とを結ぶ直線
に直交する軸Ｓ3 上で装置の枠体２８に枢支され、Ｘ線
源２１とＸ線検出部２２とを支持する支持手段２６と、
距離Ｄを調整することによって、軸Ｓ3 を回転軸とし
て、支持手段２６を回動させる駆動手段２７とを装備す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はＸ線検査装置及びＸ
線シール構造に関し、より詳細には、積層基板の内部構
造やＢＧＡ（Ball Grid Array ）等の電子部品の基板へ
の実装状態（接合状態）等をＸ線を用いて検査するため
のＸ線検査装置、及び該Ｘ線検査装置に利用されるＸ線
シール構造に関する。
線シール構造に関し、より詳細には、積層基板の内部構
造やＢＧＡ（Ball Grid Array ）等の電子部品の基板へ
の実装状態（接合状態）等をＸ線を用いて検査するため
のＸ線検査装置、及び該Ｘ線検査装置に利用されるＸ線
シール構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、絶縁基板の表裏両面だけでな
く、内面にも導体パターンが形成された多層プリント配
線基板があり、電子機器の小型化や高密度実装化に伴
い、プリント配線基板の高密度化が進められ、電子計算
機等では、４層板（導体パターンが４層あるもの）、６
層板、８層板、あるいはそれ以上のものまで実用化され
ている。
く、内面にも導体パターンが形成された多層プリント配
線基板があり、電子機器の小型化や高密度実装化に伴
い、プリント配線基板の高密度化が進められ、電子計算
機等では、４層板（導体パターンが４層あるもの）、６
層板、８層板、あるいはそれ以上のものまで実用化され
ている。
【０００３】しかしながら、多層プリント配線基板（表
面導体層を含めて３層以上に導体パターンがあるプリン
ト配線基板）は、その構造上、外観検査では内面に形成
された導体パターンの状態の良否を判断することは難し
い。
面導体層を含めて３層以上に導体パターンがあるプリン
ト配線基板）は、その構造上、外観検査では内面に形成
された導体パターンの状態の良否を判断することは難し
い。
【０００４】そのため現在においては、このような多層
プリント配線基板の内部構造を検査する技術として、前
記多層プリント配線基板の真下からＸ線を照射し、該多
層プリント配線基板を透過したＸ線を該多層プリント配
線基板の真上で検出することによって、真上から見た前
記多層プリント配線基板の透視画像（以下、垂直透視画
像とも記す）を得る方式がある。図１７（ａ）にこの方
式を採用したＸ線検査装置の要部を概略的に示し、
（ｂ）に試料を載置する試料台の平面図を示し、図１
８、図１９にＸ線検査装置の外観図を示す。なお図１８
は正面図であり、図１９は側面図である。
プリント配線基板の内部構造を検査する技術として、前
記多層プリント配線基板の真下からＸ線を照射し、該多
層プリント配線基板を透過したＸ線を該多層プリント配
線基板の真上で検出することによって、真上から見た前
記多層プリント配線基板の透視画像（以下、垂直透視画
像とも記す）を得る方式がある。図１７（ａ）にこの方
式を採用したＸ線検査装置の要部を概略的に示し、
（ｂ）に試料を載置する試料台の平面図を示し、図１
８、図１９にＸ線検査装置の外観図を示す。なお図１８
は正面図であり、図１９は側面図である。
【０００５】図中３は試料を示しており、試料３は、中
央部にＸ線を透過する透過板４ａが形成された試料台４
に載置されるようになっている。試料台４を挟んで、Ｘ
線源１とＸ線検出部２とが対向して配置され、Ｘ線源１
からＸ線が照射され、試料３を透過したＸ線がＸ線検出
部２に検出されるようになっている。
央部にＸ線を透過する透過板４ａが形成された試料台４
に載置されるようになっている。試料台４を挟んで、Ｘ
線源１とＸ線検出部２とが対向して配置され、Ｘ線源１
からＸ線が照射され、試料３を透過したＸ線がＸ線検出
部２に検出されるようになっている。
【０００６】またＸ線検出部２は画像処理部５に接続さ
れており、検出したＸ線に応じた画像データ（映像信
号）が画像処理部５へ出力されるようになっている。画
像処理部５は、画質を改善するなどの処理を行い、処理
した画像をモニタ６に表示するようになっている。後述
する図１５（ａ）は多層プリント配線基板を真上から撮
影したＸ線写真である。
れており、検出したＸ線に応じた画像データ（映像信
号）が画像処理部５へ出力されるようになっている。画
像処理部５は、画質を改善するなどの処理を行い、処理
した画像をモニタ６に表示するようになっている。後述
する図１５（ａ）は多層プリント配線基板を真上から撮
影したＸ線写真である。
【０００７】また図１８、図１９に示したように、Ｘ線
検出部２は枠体８で覆われ、また枠体８の下端部８ａか
らは柔軟性を有するシール部材９が吊設されて、Ｘ線検
出部２の下部及び下方が覆われ、Ｘ線源１からのＸ線が
漏洩するのを阻止するためのＸ線シール構造７が試料台
４に近接して形成されている。
検出部２は枠体８で覆われ、また枠体８の下端部８ａか
らは柔軟性を有するシール部材９が吊設されて、Ｘ線検
出部２の下部及び下方が覆われ、Ｘ線源１からのＸ線が
漏洩するのを阻止するためのＸ線シール構造７が試料台
４に近接して形成されている。
【０００８】図２０はＸ線シール構造７の外観を示した
斜視図であり、図２１は図２０におけるＸＸＩ−ＸＸＩ
線断面図である。図２０、図２１に示したように、シー
ル部材９は柔軟性を有すると共に、のれん状になってお
り、さらにシール部材９の内側には、シール部材９と同
質のシール部材１０が枠体８の下端部８ａから吊設さ
れ、２層式のＸ線シール構造７が形成されている。
斜視図であり、図２１は図２０におけるＸＸＩ−ＸＸＩ
線断面図である。図２０、図２１に示したように、シー
ル部材９は柔軟性を有すると共に、のれん状になってお
り、さらにシール部材９の内側には、シール部材９と同
質のシール部材１０が枠体８の下端部８ａから吊設さ
れ、２層式のＸ線シール構造７が形成されている。
【０００９】図２２は試料台４に試料３が載置された状
態のＸ線シール構造７の外観を示した斜視図であり、図
２２に示したように、シール部材９、１０が柔軟性を有
し、なおかつのれん状になっているため、試料３の試料
台４への挿脱をスムーズに行うことができる。
態のＸ線シール構造７の外観を示した斜視図であり、図
２２に示したように、シール部材９、１０が柔軟性を有
し、なおかつのれん状になっているため、試料３の試料
台４への挿脱をスムーズに行うことができる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】図１５（ａ）から明ら
かなように、Ｘ線検査装置を利用することで、外側から
では観察することのできない内部構造を透視画像として
観察することができるので、内部構造が複雑であったと
しても、かなり明確に内部状態を把握することができる
ようになる。
かなように、Ｘ線検査装置を利用することで、外側から
では観察することのできない内部構造を透視画像として
観察することができるので、内部構造が複雑であったと
しても、かなり明確に内部状態を把握することができる
ようになる。
【００１１】ところが多層プリント配線基板のような積
層基板が試料の場合には、異なる層間でパターンが重複
することがあり、その重複部分の状態については垂直透
視画像で把握することは難しく、特に内外層のめっき接
続用のスルーホールや内層間接続用のビアホール等にめ
っき処理が適切に施されているか否かを判断することは
非常に難しいといった問題がある。
層基板が試料の場合には、異なる層間でパターンが重複
することがあり、その重複部分の状態については垂直透
視画像で把握することは難しく、特に内外層のめっき接
続用のスルーホールや内層間接続用のビアホール等にめ
っき処理が適切に施されているか否かを判断することは
非常に難しいといった問題がある。
【００１２】また従来のＸ線シール構造７（図２０〜図
２２参照）についてであるが、柔軟性を有したシール部
材９、１０を枠体８の下端部８ａから吊設し、２層式の
Ｘ線シール構造を形成することによって、Ｘ線源１から
のＸ線の漏洩を阻止するようにしているが、試料台４
（透過板４ａ上）への試料３の挿脱が繰り返されると、
シール部材９、１０の下端部９ａ、１０ａが摩耗し、Ｘ
線の漏洩量が増加してしまう虞れがある。
２２参照）についてであるが、柔軟性を有したシール部
材９、１０を枠体８の下端部８ａから吊設し、２層式の
Ｘ線シール構造を形成することによって、Ｘ線源１から
のＸ線の漏洩を阻止するようにしているが、試料台４
（透過板４ａ上）への試料３の挿脱が繰り返されると、
シール部材９、１０の下端部９ａ、１０ａが摩耗し、Ｘ
線の漏洩量が増加してしまう虞れがある。
【００１３】本発明は上記課題に鑑みなされたものであ
って、積層基板等の内部構造をより明確に観察すること
のできるＸ線検査装置、及び該Ｘ線検査装置に利用され
るものであり、Ｘ線の漏洩量の増加を抑制することので
きるＸ線シール構造を提供することを目的としている。
って、積層基板等の内部構造をより明確に観察すること
のできるＸ線検査装置、及び該Ｘ線検査装置に利用され
るものであり、Ｘ線の漏洩量の増加を抑制することので
きるＸ線シール構造を提供することを目的としている。
【００１４】
【課題を解決するための手段及びその効果】上記目的を
達成するために本発明に係るＸ線検査装置（１）は、試
料を挟んで、Ｘ線を照射するＸ線源とＸ線を検出するＸ
線検出部とが対向して配置され、前記Ｘ線源から照射さ
れ、前記試料を透過したＸ線が前記Ｘ線検出部にて検出
されるように構成されたＸ線検査装置において、前記Ｘ
線検出部におけるＸ線入射面に直交する第１の直線を試
料載置面に対して傾斜させるように、前記Ｘ線源と前記
Ｘ線検出部とを一体的に回動させる第１の回動手段を備
えていることを特徴としている。
達成するために本発明に係るＸ線検査装置（１）は、試
料を挟んで、Ｘ線を照射するＸ線源とＸ線を検出するＸ
線検出部とが対向して配置され、前記Ｘ線源から照射さ
れ、前記試料を透過したＸ線が前記Ｘ線検出部にて検出
されるように構成されたＸ線検査装置において、前記Ｘ
線検出部におけるＸ線入射面に直交する第１の直線を試
料載置面に対して傾斜させるように、前記Ｘ線源と前記
Ｘ線検出部とを一体的に回動させる第１の回動手段を備
えていることを特徴としている。
【００１５】上記したＸ線検査装置（１）によれば、前
記Ｘ線入射面に直交する前記第１の直線を前記試料載置
面に対して傾斜させるように、前記Ｘ線源と前記Ｘ線検
出部とを一体的に回動させることができるため（図１、
図２参照）、前記試料を真上から見た透視画像（垂直透
視画像）としてだけでなく、斜め方向からの透視画像
（傾斜透視画像）として観察することができるようにな
る。
記Ｘ線入射面に直交する前記第１の直線を前記試料載置
面に対して傾斜させるように、前記Ｘ線源と前記Ｘ線検
出部とを一体的に回動させることができるため（図１、
図２参照）、前記試料を真上から見た透視画像（垂直透
視画像）としてだけでなく、斜め方向からの透視画像
（傾斜透視画像）として観察することができるようにな
る。
【００１６】従って上記したＸ線検査装置（１）を利用
することで、外側からでは観察することのできない内部
構造を透視画像として把握することができるので、例え
ば前記試料が多層プリント配線基板のような積層基板で
あり、内部構造が複雑であったとしても、かなり明確に
内部状態を把握することができる。また異なる層間でパ
ターンが重複していたとしても、層間の映像をズラして
観察できる傾斜透視画像（図１５（ｂ）参照）を観察す
ることで、その重複部分の状態についても容易に把握す
ることができる。
することで、外側からでは観察することのできない内部
構造を透視画像として把握することができるので、例え
ば前記試料が多層プリント配線基板のような積層基板で
あり、内部構造が複雑であったとしても、かなり明確に
内部状態を把握することができる。また異なる層間でパ
ターンが重複していたとしても、層間の映像をズラして
観察できる傾斜透視画像（図１５（ｂ）参照）を観察す
ることで、その重複部分の状態についても容易に把握す
ることができる。
【００１７】また本発明に係るＸ線検査装置（２）は、
上記Ｘ線検査装置（１）において、前記第１の直線が、
前記Ｘ線源と前記Ｘ線入射面の中心とを結ぶ直線である
ことを特徴としている。
上記Ｘ線検査装置（１）において、前記第１の直線が、
前記Ｘ線源と前記Ｘ線入射面の中心とを結ぶ直線である
ことを特徴としている。
【００１８】前記Ｘ線入射面に直交する前記第１の直線
と、前記Ｘ線源と前記Ｘ線入射面の中心とを結ぶ直線Ａ
とが離れるに従って、前記Ｘ線源を回動させたときの前
記Ｘ線源の回動距離が長くなる。特に前記Ｘ線源が前記
試料載置面へ接近するペースが早くなる。例えば、前記
第１の直線と直線Ａとが距離ｄ1 離れている場合に、前
記第１の直線を角度θ傾斜させると、前記第１の直線と
直線Ａとが一致している場合と比べて、前記Ｘ線源が距
離ｄ1 ・ｓｉｎθ、前記試料載置面に接近する。
と、前記Ｘ線源と前記Ｘ線入射面の中心とを結ぶ直線Ａ
とが離れるに従って、前記Ｘ線源を回動させたときの前
記Ｘ線源の回動距離が長くなる。特に前記Ｘ線源が前記
試料載置面へ接近するペースが早くなる。例えば、前記
第１の直線と直線Ａとが距離ｄ1 離れている場合に、前
記第１の直線を角度θ傾斜させると、前記第１の直線と
直線Ａとが一致している場合と比べて、前記Ｘ線源が距
離ｄ1 ・ｓｉｎθ、前記試料載置面に接近する。
【００１９】上記したＸ線検査装置（２）によれば、前
記第１の直線と、前記Ｘ線源と前記Ｘ線入射面の中心と
を結ぶ直線とが一致しているため、前記Ｘ線源を回動さ
せたときの該Ｘ線源の回動距離を短くしたり、前記Ｘ線
源が前記試料載置面へあまり近づかないようにすること
ができ、前記Ｘ線源の回動に必要となるスペースを小さ
くすることができる。
記第１の直線と、前記Ｘ線源と前記Ｘ線入射面の中心と
を結ぶ直線とが一致しているため、前記Ｘ線源を回動さ
せたときの該Ｘ線源の回動距離を短くしたり、前記Ｘ線
源が前記試料載置面へあまり近づかないようにすること
ができ、前記Ｘ線源の回動に必要となるスペースを小さ
くすることができる。
【００２０】従って、前記Ｘ線源の回動スペースを装置
内で容易に確保することができるため、装置全体の構成
を単純なものにすることができる。また前記Ｘ線源を試
料台に近接して配置し易くなり、映像拡大率を上げるこ
とが容易となる。
内で容易に確保することができるため、装置全体の構成
を単純なものにすることができる。また前記Ｘ線源を試
料台に近接して配置し易くなり、映像拡大率を上げるこ
とが容易となる。
【００２１】また本発明に係るＸ線検査装置（３）は、
試料を挟んで、Ｘ線を照射するＸ線源とＸ線を検出する
Ｘ線検出部とが対向して配置され、前記Ｘ線源から照射
され、前記試料を透過したＸ線が前記Ｘ線検出部にて検
出されるように構成されたＸ線検査装置において、前記
Ｘ線源と前記Ｘ線検出部におけるＸ線入射面の中心とを
結ぶ第２の直線に直交する第３の直線上で装置の枠体に
枢支され、前記Ｘ線源と前記Ｘ線検出部とを支持する支
持手段と、前記第３の直線を回転軸として、前記支持手
段を回動させる駆動手段とを備えていることを特徴とし
ている。
試料を挟んで、Ｘ線を照射するＸ線源とＸ線を検出する
Ｘ線検出部とが対向して配置され、前記Ｘ線源から照射
され、前記試料を透過したＸ線が前記Ｘ線検出部にて検
出されるように構成されたＸ線検査装置において、前記
Ｘ線源と前記Ｘ線検出部におけるＸ線入射面の中心とを
結ぶ第２の直線に直交する第３の直線上で装置の枠体に
枢支され、前記Ｘ線源と前記Ｘ線検出部とを支持する支
持手段と、前記第３の直線を回転軸として、前記支持手
段を回動させる駆動手段とを備えていることを特徴とし
ている。
【００２２】上記したＸ線検査装置（３）によれば、前
記Ｘ線源と前記Ｘ線入射面の中心とを結ぶ前記第２の直
線に直交する前記第３の直線を回転軸として、前記Ｘ線
源と前記Ｘ検出部とを支持する前記支持手段を回動させ
ることができる。すなわち、前記第３の直線を回転軸と
して、前記Ｘ線源と前記Ｘ線検出部とを回動させること
ができるため（図１１〜図１３参照）、前記試料を真上
からの透視画像（垂直透視画像）としてだけでなく、斜
め方向からの透視画像（傾斜透視画像）として観察する
ことができるようになる。
記Ｘ線源と前記Ｘ線入射面の中心とを結ぶ前記第２の直
線に直交する前記第３の直線を回転軸として、前記Ｘ線
源と前記Ｘ検出部とを支持する前記支持手段を回動させ
ることができる。すなわち、前記第３の直線を回転軸と
して、前記Ｘ線源と前記Ｘ線検出部とを回動させること
ができるため（図１１〜図１３参照）、前記試料を真上
からの透視画像（垂直透視画像）としてだけでなく、斜
め方向からの透視画像（傾斜透視画像）として観察する
ことができるようになる。
【００２３】従って上記したＸ線検査装置（３）を利用
することで、外側からでは観察することのできない内部
構造を透視画像として認識することができるので、例え
ば前記試料が多層プリント配線基板のような積層基板で
あり、内部構造が複雑であったとしても、かなり明確に
内部状態を認識することができる。また異なる層間でパ
ターンが重複していたとしても、層間の映像をズラして
観察できる傾斜透視画像（図１５（ｂ）参照）を観察す
ることで、その重複部分の状態についても容易に把握す
ることができる。
することで、外側からでは観察することのできない内部
構造を透視画像として認識することができるので、例え
ば前記試料が多層プリント配線基板のような積層基板で
あり、内部構造が複雑であったとしても、かなり明確に
内部状態を認識することができる。また異なる層間でパ
ターンが重複していたとしても、層間の映像をズラして
観察できる傾斜透視画像（図１５（ｂ）参照）を観察す
ることで、その重複部分の状態についても容易に把握す
ることができる。
【００２４】また本発明に係るＸ線検査装置（４）は、
上記Ｘ線検査装置（３）において、回動する前記支持手
段の位置を検出する検出手段と、該検出手段からの検出
結果に基づいて、前記駆動手段の駆動を制限する制限手
段とを備えていることを特徴としている。
上記Ｘ線検査装置（３）において、回動する前記支持手
段の位置を検出する検出手段と、該検出手段からの検出
結果に基づいて、前記駆動手段の駆動を制限する制限手
段とを備えていることを特徴としている。
【００２５】また本発明に係るＸ線検査装置（５）は、
上記Ｘ線検査装置（４）において、前記検出手段が、前
記駆動手段の駆動状況を検出することによって、前記支
持手段の位置を検出するものであることを特徴としてい
る。
上記Ｘ線検査装置（４）において、前記検出手段が、前
記駆動手段の駆動状況を検出することによって、前記支
持手段の位置を検出するものであることを特徴としてい
る。
【００２６】前記Ｘ線源と前記Ｘ線検出部とを支持する
前記支持手段が制限なく回動可能になると、装置の枠体
等に衝突する虞れがあり、上記したＸ線検査装置（４）
又は（５）によれば、前記支持手段の位置を検出し、そ
の検出結果に基づいて、前記支持手段を回動させる前記
駆動手段の駆動を制限するため、上記問題が生じるのを
防止することができる。
前記支持手段が制限なく回動可能になると、装置の枠体
等に衝突する虞れがあり、上記したＸ線検査装置（４）
又は（５）によれば、前記支持手段の位置を検出し、そ
の検出結果に基づいて、前記支持手段を回動させる前記
駆動手段の駆動を制限するため、上記問題が生じるのを
防止することができる。
【００２７】また前記支持手段の位置と前記支持手段を
回動させる前記駆動手段の駆動状況との間には対応関係
が成立し、前記駆動手段の駆動状況によって、前記支持
手段の位置が決定されるようになっている。上記したＸ
線検査装置（５）によれば、前記支持手段の位置それ自
体を検出するのではなく、前記駆動手段の駆動状況を検
出し、その検出結果に基づいて前記駆動手段の駆動を制
限するため、確実な前記制限を効率良く行わせることが
できる装置を実現することができる。
回動させる前記駆動手段の駆動状況との間には対応関係
が成立し、前記駆動手段の駆動状況によって、前記支持
手段の位置が決定されるようになっている。上記したＸ
線検査装置（５）によれば、前記支持手段の位置それ自
体を検出するのではなく、前記駆動手段の駆動状況を検
出し、その検出結果に基づいて前記駆動手段の駆動を制
限するため、確実な前記制限を効率良く行わせることが
できる装置を実現することができる。
【００２８】また本発明に係るＸ線検査装置（６）は、
上記Ｘ線検査装置（３）〜（５）のいずれかにおいて、
前記Ｘ線検出部を、前記第２の直線と平行にスライドさ
せるスライド手段を備えていることを特徴としている。
上記Ｘ線検査装置（３）〜（５）のいずれかにおいて、
前記Ｘ線検出部を、前記第２の直線と平行にスライドさ
せるスライド手段を備えていることを特徴としている。
【００２９】上記したＸ線検査装置（６）によれば、前
記Ｘ線検出部を、前記第２の直線と平行にスライドさせ
ることができる。すなわち、前記Ｘ線検出部を前記Ｘ線
源及び回動の中心に対して遠近駆動可能となるので、取
得画像の大きさを調整することができる。
記Ｘ線検出部を、前記第２の直線と平行にスライドさせ
ることができる。すなわち、前記Ｘ線検出部を前記Ｘ線
源及び回動の中心に対して遠近駆動可能となるので、取
得画像の大きさを調整することができる。
【００３０】また本発明に係るＸ線検査装置（７）は、
試料を挟んで、Ｘ線を照射するＸ線源とＸ線を検出する
Ｘ線検出部とが対向して配置され、前記Ｘ線源から照射
され、前記試料を透過したＸ線が前記Ｘ線検出部にて検
出されるように構成されたＸ線検査装置において、前記
Ｘ線検出部におけるＸ線入射面に直交する第１の直線を
試料載置面に対して傾斜させるように、前記Ｘ線検出部
だけを回動させる第２の回動手段を備えていることを特
徴としている。
試料を挟んで、Ｘ線を照射するＸ線源とＸ線を検出する
Ｘ線検出部とが対向して配置され、前記Ｘ線源から照射
され、前記試料を透過したＸ線が前記Ｘ線検出部にて検
出されるように構成されたＸ線検査装置において、前記
Ｘ線検出部におけるＸ線入射面に直交する第１の直線を
試料載置面に対して傾斜させるように、前記Ｘ線検出部
だけを回動させる第２の回動手段を備えていることを特
徴としている。
【００３１】上記したＸ線検査装置（７）によれば、前
記Ｘ線入射面に直交する前記第１の直線を前記試料載置
面に対して傾斜させるように、前記Ｘ線検出部を回動さ
せることができるため（図３、図４参照）、前記試料を
真上からの透視画像（垂直透視画像）としてだけでな
く、斜め方向からの透視画像（傾斜透視画像）として観
察することができるようになる。
記Ｘ線入射面に直交する前記第１の直線を前記試料載置
面に対して傾斜させるように、前記Ｘ線検出部を回動さ
せることができるため（図３、図４参照）、前記試料を
真上からの透視画像（垂直透視画像）としてだけでな
く、斜め方向からの透視画像（傾斜透視画像）として観
察することができるようになる。
【００３２】従って上記したＸ線検査装置（７）を利用
することで、外側からでは観察することのできない内部
構造を透視画像として把握することができるので、例え
ば前記試料が多層プリント配線基板のような積層基板で
あり、内部構造が複雑であったとしても、かなり明確に
内部状態を把握することができる。また異なる層間でパ
ターンが重複していたとしても、層間の映像をズラして
観察できる傾斜透視画像を観察することで、その重複部
分の状態についても容易に把握することができる。
することで、外側からでは観察することのできない内部
構造を透視画像として把握することができるので、例え
ば前記試料が多層プリント配線基板のような積層基板で
あり、内部構造が複雑であったとしても、かなり明確に
内部状態を把握することができる。また異なる層間でパ
ターンが重複していたとしても、層間の映像をズラして
観察できる傾斜透視画像を観察することで、その重複部
分の状態についても容易に把握することができる。
【００３３】また上記したＸ線検査装置（１）〜（６）
のいずれとも異なり、前記Ｘ線源については回動させな
くても良いため、装置としては上記Ｘ線検査装置（１）
〜（６）のいずれよりも簡単なものにすることが可能に
なる。
のいずれとも異なり、前記Ｘ線源については回動させな
くても良いため、装置としては上記Ｘ線検査装置（１）
〜（６）のいずれよりも簡単なものにすることが可能に
なる。
【００３４】また本発明に係るＸ線検査装置（８）は、
上記Ｘ線検査装置（１）〜（７）のいずれかにおいて、
回動の中心が、試料載置面もしくは該試料載置面の近傍
位置に設定されていることを特徴としている。
上記Ｘ線検査装置（１）〜（７）のいずれかにおいて、
回動の中心が、試料載置面もしくは該試料載置面の近傍
位置に設定されていることを特徴としている。
【００３５】前記回動の中心が、前記試料載置面から離
れるに従って、前記Ｘ線検出部を回動させたときの透視
位置（すなわちターゲット）のズレが大きくなる。例え
ば、前記回動の中心が、前記試料載置面から距離ｄ2 離
れている場合に、前記Ｘ線源と前記Ｘ線検出部とを一体
的に角度θ傾斜させると、前記回動の中心が前記試料載
置面にある場合と比べて、前記透視位置が距離ｄ2 ・ｔ
ａｎθ、ズレる。
れるに従って、前記Ｘ線検出部を回動させたときの透視
位置（すなわちターゲット）のズレが大きくなる。例え
ば、前記回動の中心が、前記試料載置面から距離ｄ2 離
れている場合に、前記Ｘ線源と前記Ｘ線検出部とを一体
的に角度θ傾斜させると、前記回動の中心が前記試料載
置面にある場合と比べて、前記透視位置が距離ｄ2 ・ｔ
ａｎθ、ズレる。
【００３６】上記したＸ線検査装置（８）によれば、前
記回動の中心が、前記試料載置面もしくは該試料載置面
の近傍位置に設定されているため、前記透視位置のズレ
を小さくしたり、なくすことができる。
記回動の中心が、前記試料載置面もしくは該試料載置面
の近傍位置に設定されているため、前記透視位置のズレ
を小さくしたり、なくすことができる。
【００３７】また本発明に係るＸ線検査装置（９）は、
上記Ｘ線検査装置（１）〜（８）のいずれかにおいて、
前記Ｘ線検出部を傾斜させる方向が、前記試料を載置す
る試料台の設置側から見て装置の奥行側となるように構
成されていることを特徴としている。
上記Ｘ線検査装置（１）〜（８）のいずれかにおいて、
前記Ｘ線検出部を傾斜させる方向が、前記試料を載置す
る試料台の設置側から見て装置の奥行側となるように構
成されていることを特徴としている。
【００３８】上記したＸ線検査装置（９）によれば、前
記Ｘ線検出部の傾斜方向が、前記試料台の設置側（すな
わち操作側又は作業側）から見て奥行側となるように構
成されているため、図１８、図１９に示した従来のＸ線
検査装置（すなわち垂直透視画像だけを取得することの
できる装置）と同じスリムな形状とすることができる。
さらに前記試料の前記試料台への挿脱や透視位置選択等
の作業については、従来と同様に効率良く、かつ適切に
行うことができる。
記Ｘ線検出部の傾斜方向が、前記試料台の設置側（すな
わち操作側又は作業側）から見て奥行側となるように構
成されているため、図１８、図１９に示した従来のＸ線
検査装置（すなわち垂直透視画像だけを取得することの
できる装置）と同じスリムな形状とすることができる。
さらに前記試料の前記試料台への挿脱や透視位置選択等
の作業については、従来と同様に効率良く、かつ適切に
行うことができる。
【００３９】また本発明に係るＸ線シール構造（１）
は、Ｘ線検査装置に利用されるものであり、試料を載置
する試料台に近接して形成され、Ｘ線源からのＸ線の漏
洩を阻止するためのＸ線シール構造において、柔軟性を
有する第１のシール部材がＸ線検出部の下部及び下方を
覆うように前記Ｘ線検出部の下端部近傍から吊設され、
前記第１のシール部材の内側に、板状の第２のシール部
材が遊動支持手段を介して前記Ｘ線検出部の下端部近傍
から吊設されていることを特徴としている。
は、Ｘ線検査装置に利用されるものであり、試料を載置
する試料台に近接して形成され、Ｘ線源からのＸ線の漏
洩を阻止するためのＸ線シール構造において、柔軟性を
有する第１のシール部材がＸ線検出部の下部及び下方を
覆うように前記Ｘ線検出部の下端部近傍から吊設され、
前記第１のシール部材の内側に、板状の第２のシール部
材が遊動支持手段を介して前記Ｘ線検出部の下端部近傍
から吊設されていることを特徴としている。
【００４０】通常、Ｘ線シール構造は、前記試料の前記
試料台への挿脱に必要となる挿脱口（図８参照）を封鎖
するために、前記試料台に近接して形成されるものであ
る。上記したＸ線シール構造（１）によれば、前記Ｘ線
検出部の下部及び下方を覆うように（例えば、前記挿脱
口を封鎖するように）、前記Ｘ線検出部の下端部近傍
（例えば、前記挿脱口上部）から前記第１のシール部材
及び前記第２のシール部材が吊設され、２層式のＸ線シ
ール構造が形成されているため、前記Ｘ線源からのＸ線
が漏洩するのを阻止することができる。
試料台への挿脱に必要となる挿脱口（図８参照）を封鎖
するために、前記試料台に近接して形成されるものであ
る。上記したＸ線シール構造（１）によれば、前記Ｘ線
検出部の下部及び下方を覆うように（例えば、前記挿脱
口を封鎖するように）、前記Ｘ線検出部の下端部近傍
（例えば、前記挿脱口上部）から前記第１のシール部材
及び前記第２のシール部材が吊設され、２層式のＸ線シ
ール構造が形成されているため、前記Ｘ線源からのＸ線
が漏洩するのを阻止することができる。
【００４１】また前記第１のシール部材は柔軟性を有
し、前記第２のシール部材は前記遊動支持手段を介して
吊設されているため、前記試料の前記試料台への挿脱を
スムーズに行うことができる。
し、前記第２のシール部材は前記遊動支持手段を介して
吊設されているため、前記試料の前記試料台への挿脱を
スムーズに行うことができる。
【００４２】ところで前記試料の前記試料台への挿脱が
繰り返されると、前記第１のシール部材の下端部が摩耗
してくるが、前記第２のシール部材については板状であ
り、前記第１のシール部材のように摩耗してくることは
ないため、前記第１のシール部材が摩耗してきたとして
も、Ｘ線の漏洩量の増加を抑制することができる。
繰り返されると、前記第１のシール部材の下端部が摩耗
してくるが、前記第２のシール部材については板状であ
り、前記第１のシール部材のように摩耗してくることは
ないため、前記第１のシール部材が摩耗してきたとして
も、Ｘ線の漏洩量の増加を抑制することができる。
【００４３】また本発明に係るＸ線シール構造（２）
は、上記Ｘ線シール構造（１）において、前記第２のシ
ール部材が、鉛で形成されていることを特徴としてい
る。上記したＸ線シール構造（２）によれば、前記第２
のシール部材が、Ｘ線の遮断に有効な鉛で形成されてい
るため、前記Ｘ線源からのＸ線の漏洩を確実に阻止する
ことができる。
は、上記Ｘ線シール構造（１）において、前記第２のシ
ール部材が、鉛で形成されていることを特徴としてい
る。上記したＸ線シール構造（２）によれば、前記第２
のシール部材が、Ｘ線の遮断に有効な鉛で形成されてい
るため、前記Ｘ線源からのＸ線の漏洩を確実に阻止する
ことができる。
【００４４】また本発明に係るＸ線シール構造（３）
は、上記Ｘ線シール構造（１）又は（２）において、前
記第２のシール部材の周辺に保護部材が配置され、前記
第２のシール部材が前記保護部材により挟持されている
ことを特徴としている。上記したＸ線シール構造（３）
によれば、前記第２のシール部材が前記保護部材により
挟持されているため、前記第２のシール部材の摩耗をな
くすことができる。
は、上記Ｘ線シール構造（１）又は（２）において、前
記第２のシール部材の周辺に保護部材が配置され、前記
第２のシール部材が前記保護部材により挟持されている
ことを特徴としている。上記したＸ線シール構造（３）
によれば、前記第２のシール部材が前記保護部材により
挟持されているため、前記第２のシール部材の摩耗をな
くすことができる。
【００４５】また本発明に係るＸ線シール構造（４）
は、上記Ｘ線シール構造（３）において、前記保護部材
が、樹脂で形成されていることを特徴としている。前記
試料の前記試料台への挿脱時に、前記試料が板状の前記
第２のシールド部材と衝突し、前記試料が破損する虞れ
があるが、上記したＸ線シール構造（４）によれば、前
記第２のシールド部材を保護する前記保護部材が樹脂で
形成されているため、軟性の前記保護部材が緩衝材とな
り、前記試料が破損するといった事態が生じるのを回避
することができる。
は、上記Ｘ線シール構造（３）において、前記保護部材
が、樹脂で形成されていることを特徴としている。前記
試料の前記試料台への挿脱時に、前記試料が板状の前記
第２のシールド部材と衝突し、前記試料が破損する虞れ
があるが、上記したＸ線シール構造（４）によれば、前
記第２のシールド部材を保護する前記保護部材が樹脂で
形成されているため、軟性の前記保護部材が緩衝材とな
り、前記試料が破損するといった事態が生じるのを回避
することができる。
【００４６】また本発明に係るＸ線シール構造（５）
は、上記Ｘ線シール構造（１）〜（４）のいずれかにお
いて、前記第２のシール部材が短冊状であり、前記Ｘ線
検出部の下端部近傍から水平方向に多数枚連続して吊設
されていることを特徴としている。
は、上記Ｘ線シール構造（１）〜（４）のいずれかにお
いて、前記第２のシール部材が短冊状であり、前記Ｘ線
検出部の下端部近傍から水平方向に多数枚連続して吊設
されていることを特徴としている。
【００４７】上記したＸ線シール構造（５）によれば、
前記第２のシール部材が短冊状であるため（図６参
照）、前記試料の前記試料台への挿脱をスムーズに行う
ことができる。また前記第２のシール部材が短冊状であ
ったとしても、該第２のシール部材が水平方向に連続し
て吊設されているので、前記Ｘ線源からのＸ線が漏洩す
るのを確実に阻止することができる。
前記第２のシール部材が短冊状であるため（図６参
照）、前記試料の前記試料台への挿脱をスムーズに行う
ことができる。また前記第２のシール部材が短冊状であ
ったとしても、該第２のシール部材が水平方向に連続し
て吊設されているので、前記Ｘ線源からのＸ線が漏洩す
るのを確実に阻止することができる。
【００４８】また本発明に係るＸ線シール構造（６）
は、上記Ｘ線シール構造（１）〜（４）のいずれかにお
いて、前記第２のシール部材の水平方向の長さが、垂直
方向の長さと略同等、もしくは垂直方向の長さよりも長
く設定されていることを特徴としている。
は、上記Ｘ線シール構造（１）〜（４）のいずれかにお
いて、前記第２のシール部材の水平方向の長さが、垂直
方向の長さと略同等、もしくは垂直方向の長さよりも長
く設定されていることを特徴としている。
【００４９】また本発明に係るＸ線シール構造（７）
は、上記Ｘ線シール構造（６）において、前記第２のシ
ール部材が、前記Ｘ線検出部の下端部近傍から水平方向
に複数枚連続して吊設されていることを特徴としてい
る。
は、上記Ｘ線シール構造（６）において、前記第２のシ
ール部材が、前記Ｘ線検出部の下端部近傍から水平方向
に複数枚連続して吊設されていることを特徴としてい
る。
【００５０】上記したＸ線シール構造（６）又は（７）
によれば、前記第２のシール部材の水平方向の長さが、
垂直方向の長さと略同等、もしくは垂直方向の長さより
も長く設定され（図９、図１０参照）、上記Ｘ線シール
構造（５）における短冊状よりも表面積が大きくなるた
め、前記Ｘ線検出部の下端部近傍からの吊設枚数を少な
くすることができる。従って、構造としては上記Ｘ線シ
ール構造（５）よりも簡単なものにすることができるの
で、製造コストの削減を図ることができる。
によれば、前記第２のシール部材の水平方向の長さが、
垂直方向の長さと略同等、もしくは垂直方向の長さより
も長く設定され（図９、図１０参照）、上記Ｘ線シール
構造（５）における短冊状よりも表面積が大きくなるた
め、前記Ｘ線検出部の下端部近傍からの吊設枚数を少な
くすることができる。従って、構造としては上記Ｘ線シ
ール構造（５）よりも簡単なものにすることができるの
で、製造コストの削減を図ることができる。
【００５１】さらに上記Ｘ線シール構造（７）によれ
ば、前記第２のシール部材が水平方向に複数枚連続して
吊設されているので（図１０参照）、前記試料の前記試
料台への挿脱をスムーズに行うことができる。
ば、前記第２のシール部材が水平方向に複数枚連続して
吊設されているので（図１０参照）、前記試料の前記試
料台への挿脱をスムーズに行うことができる。
【００５２】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係るＸ線検査装
置、及びＸ線シール構造の実施の形態を図面に基づいて
説明する。
置、及びＸ線シール構造の実施の形態を図面に基づいて
説明する。
【００５３】図１（ａ）は実施の形態（１）に係るＸ線
検査装置の要部を示した概略図であり、（ｂ）は試料を
載置する試料台を示した平面図である。図中３は試料を
示しており、試料３は、中央部にＸ線を透過する透過板
４ａが形成された試料台４に載置されるようになってい
る。試料台４を挟んで、Ｘ線源２１とＸ線検出部２２と
が対向して配置され、Ｘ線源２１からＸ線が照射され、
試料３を透過したＸ線がＸ線検出部２２に検出されるよ
うになっている。なお、ここではＸ線源２１として、出
射角が４０度程度である密封管型のＸ線源が採用されて
いる。
検査装置の要部を示した概略図であり、（ｂ）は試料を
載置する試料台を示した平面図である。図中３は試料を
示しており、試料３は、中央部にＸ線を透過する透過板
４ａが形成された試料台４に載置されるようになってい
る。試料台４を挟んで、Ｘ線源２１とＸ線検出部２２と
が対向して配置され、Ｘ線源２１からＸ線が照射され、
試料３を透過したＸ線がＸ線検出部２２に検出されるよ
うになっている。なお、ここではＸ線源２１として、出
射角が４０度程度である密封管型のＸ線源が採用されて
いる。
【００５４】またＸ線検出部２２は画像処理部５に接続
されており、検出したＸ線に応じた画像データ（映像信
号）が画像処理部５へ出力されるようになっている。画
像処理部５は、画質を改善するなどの信号処理を行い、
信号処理した画像データをモニタ６に表示するようにな
っている。
されており、検出したＸ線に応じた画像データ（映像信
号）が画像処理部５へ出力されるようになっている。画
像処理部５は、画質を改善するなどの信号処理を行い、
信号処理した画像データをモニタ６に表示するようにな
っている。
【００５５】Ｘ線源２１及びＸ線検出部２２は回動手段
２３に連結され、回動手段２３の動きに合わせて、Ｘ線
検出部２２におけるＸ線入射面２２ａに直交する直線Ｌ
1 を試料載置面４ｂに対して傾斜させるように、回動す
るようになっている。なお図中Ｓ1 は、Ｘ線源２１及び
Ｘ線検出部２２の回動の中心を示している。
２３に連結され、回動手段２３の動きに合わせて、Ｘ線
検出部２２におけるＸ線入射面２２ａに直交する直線Ｌ
1 を試料載置面４ｂに対して傾斜させるように、回動す
るようになっている。なお図中Ｓ1 は、Ｘ線源２１及び
Ｘ線検出部２２の回動の中心を示している。
【００５６】また回動手段２３は制御手段２４により制
御され、この制御手段２４は使用者が操作する操作部２
５からの指示に基づいた制御を行うようになっており、
使用者の所望する位置にＸ線源２１及びＸ線検出部２２
を配置させることができるようになっている。なお角度
θ1 は、試料載置面４ｂに対するＸ線検出部２２の傾斜
角度を示している。
御され、この制御手段２４は使用者が操作する操作部２
５からの指示に基づいた制御を行うようになっており、
使用者の所望する位置にＸ線源２１及びＸ線検出部２２
を配置させることができるようになっている。なお角度
θ1 は、試料載置面４ｂに対するＸ線検出部２２の傾斜
角度を示している。
【００５７】図２（ａ）に垂直透視画像を取得するため
のＸ線源２１と、Ｘ線検出部２２と、試料台４と、回動
の中心Ｓ1 との位置関係を示し、図２（ｂ）、（ｃ）に
傾斜透視画像（傾斜角度θ1 ＝６７．５度、４５度）を
取得するためのＸ線源２１と、Ｘ線検出部２２と、試料
台４と、回動の中心Ｓ1 との位置関係を示す。なお図中
２１ａはＸ線源２１のＸ線焦点を示している。
のＸ線源２１と、Ｘ線検出部２２と、試料台４と、回動
の中心Ｓ1 との位置関係を示し、図２（ｂ）、（ｃ）に
傾斜透視画像（傾斜角度θ1 ＝６７．５度、４５度）を
取得するためのＸ線源２１と、Ｘ線検出部２２と、試料
台４と、回動の中心Ｓ1 との位置関係を示す。なお図中
２１ａはＸ線源２１のＸ線焦点を示している。
【００５８】上記実施の形態（１）に係るＸ線検査装置
によれば、Ｘ線入射面２２ａに直交する直線Ｌ1 を試料
載置面４ｂに対して傾斜させるように、Ｘ線源２１とＸ
線検出部２２とを一体的に回動させることができるた
め、真上から見た透視画像（垂直透視画像）としてだけ
でなく、斜め方向から見た透視画像（傾斜透視画像）と
して試料３の内部構造を観察することができるようにな
る。
によれば、Ｘ線入射面２２ａに直交する直線Ｌ1 を試料
載置面４ｂに対して傾斜させるように、Ｘ線源２１とＸ
線検出部２２とを一体的に回動させることができるた
め、真上から見た透視画像（垂直透視画像）としてだけ
でなく、斜め方向から見た透視画像（傾斜透視画像）と
して試料３の内部構造を観察することができるようにな
る。
【００５９】従って上記実施の形態（１）に係るＸ線検
査装置を利用することで、外側からでは観察することの
できない内部構造を透視画像として把握することができ
るようになり、例えば試料３が多層プリント配線基板の
ような積層基板であり、内部構造が複雑であったとして
も、かなり明確に内部状態を把握することができる。ま
た異なる層間でパターンが重複していたとしても、層間
の映像をズラして観察できる傾斜透視画像（図１５
（ｂ）参照）を観察することで、その重複部分の状態に
ついても容易に把握することができる。
査装置を利用することで、外側からでは観察することの
できない内部構造を透視画像として把握することができ
るようになり、例えば試料３が多層プリント配線基板の
ような積層基板であり、内部構造が複雑であったとして
も、かなり明確に内部状態を把握することができる。ま
た異なる層間でパターンが重複していたとしても、層間
の映像をズラして観察できる傾斜透視画像（図１５
（ｂ）参照）を観察することで、その重複部分の状態に
ついても容易に把握することができる。
【００６０】また図１、図２に示したように、直線Ｌ1
と、Ｘ線源２１とＸ線入射面２２ａの中心とを結ぶ直線
とが一致しているため、Ｘ線源２１を回動させたときの
Ｘ線源２１の回動距離を短くしたり、Ｘ線源２１が試料
台４へあまり近づかないようにすることができ、Ｘ線源
２１の回動に必要となるスペースを小さくすることがで
きる。
と、Ｘ線源２１とＸ線入射面２２ａの中心とを結ぶ直線
とが一致しているため、Ｘ線源２１を回動させたときの
Ｘ線源２１の回動距離を短くしたり、Ｘ線源２１が試料
台４へあまり近づかないようにすることができ、Ｘ線源
２１の回動に必要となるスペースを小さくすることがで
きる。
【００６１】従って、Ｘ線源２１の回動スペースを装置
内で容易に確保することができるため、装置全体の構成
を単純なものにすることができる。またＸ線源２１を試
料台４に近接して配置し易くなり、映像拡大率を上げる
ことが容易になる。また回動の中心Ｓ1 が、試料台４の
近傍位置に設定されているため、透視位置のズレを小さ
くすることができる。
内で容易に確保することができるため、装置全体の構成
を単純なものにすることができる。またＸ線源２１を試
料台４に近接して配置し易くなり、映像拡大率を上げる
ことが容易になる。また回動の中心Ｓ1 が、試料台４の
近傍位置に設定されているため、透視位置のズレを小さ
くすることができる。
【００６２】図３（ａ）は実施の形態（２）に係るＸ線
検査装置の要部を示した概略図であり、（ｂ）は試料を
載置する試料台を示した平面図である。図中３は試料を
示しており、試料３は、中央部にＸ線を透過する透過板
４ａが形成された試料台４に載置されるようになってい
る。試料台４を挟んで、Ｘ線源３１とＸ線検出部３２と
が対向して配置され、Ｘ線源３１からＸ線が照射され、
試料３を透過したＸ線がＸ線検出部３２に検出されるよ
うになっている。なお、ここではＸ線源３１として、出
射角が１２０度程度である開放管型のＸ線源が採用され
ている。
検査装置の要部を示した概略図であり、（ｂ）は試料を
載置する試料台を示した平面図である。図中３は試料を
示しており、試料３は、中央部にＸ線を透過する透過板
４ａが形成された試料台４に載置されるようになってい
る。試料台４を挟んで、Ｘ線源３１とＸ線検出部３２と
が対向して配置され、Ｘ線源３１からＸ線が照射され、
試料３を透過したＸ線がＸ線検出部３２に検出されるよ
うになっている。なお、ここではＸ線源３１として、出
射角が１２０度程度である開放管型のＸ線源が採用され
ている。
【００６３】またＸ線検出部３２は画像処理部５に接続
されており、検出したＸ線に応じた画像データ（映像信
号）が画像処理部５へ出力されるようになっている。画
像処理部５は、画質を改善するなどの信号処理を行い、
信号処理した画像データをモニタ６に表示するようにな
っている。
されており、検出したＸ線に応じた画像データ（映像信
号）が画像処理部５へ出力されるようになっている。画
像処理部５は、画質を改善するなどの信号処理を行い、
信号処理した画像データをモニタ６に表示するようにな
っている。
【００６４】Ｘ線検出部３２は回動手段３３に連結さ
れ、回動手段３３の動きに合わせて、Ｘ線検出部３２に
おけるＸ線入射面３２ａに直交する直線Ｌ2 を試料載置
面４ｂに対して傾斜させるように、回動するようになっ
ている。なお図中Ｓ2 は、Ｘ線検出部３２の回動の中心
を示している。
れ、回動手段３３の動きに合わせて、Ｘ線検出部３２に
おけるＸ線入射面３２ａに直交する直線Ｌ2 を試料載置
面４ｂに対して傾斜させるように、回動するようになっ
ている。なお図中Ｓ2 は、Ｘ線検出部３２の回動の中心
を示している。
【００６５】また回動手段３３は制御手段３４により制
御され、この制御手段３４は使用者が操作する操作部３
５からの指示に基づいた制御を行うようになっており、
使用者の所望する位置にＸ線検出部３２を配置させるこ
とができるようになっている。なお角度θ2 は、試料載
置面４ｂに対するＸ線検出部３２の傾斜角度を示してい
る。
御され、この制御手段３４は使用者が操作する操作部３
５からの指示に基づいた制御を行うようになっており、
使用者の所望する位置にＸ線検出部３２を配置させるこ
とができるようになっている。なお角度θ2 は、試料載
置面４ｂに対するＸ線検出部３２の傾斜角度を示してい
る。
【００６６】図４（ａ）に垂直透視画像を取得するため
のＸ線源３１と、Ｘ線検出部３２と、試料台４と、回動
の中心Ｓ2 との位置関係を示し、図４（ｂ）、（ｃ）に
傾斜透視画像（傾斜角度θ2 ＝６７．５度弱、４５度
弱）を取得するためのＸ線源３１と、Ｘ線検出部３２
と、試料台４と、回動の中心Ｓ2 との位置関係を示す。
なお図中３１ａはＸ線源３１のＸ線焦点を示している。
のＸ線源３１と、Ｘ線検出部３２と、試料台４と、回動
の中心Ｓ2 との位置関係を示し、図４（ｂ）、（ｃ）に
傾斜透視画像（傾斜角度θ2 ＝６７．５度弱、４５度
弱）を取得するためのＸ線源３１と、Ｘ線検出部３２
と、試料台４と、回動の中心Ｓ2 との位置関係を示す。
なお図中３１ａはＸ線源３１のＸ線焦点を示している。
【００６７】上記実施の形態（２）に係るＸ線検査装置
によれば、Ｘ線入射面３２ａに直交する直線Ｌ2 を試料
載置面４ｂに対して傾斜させるように、Ｘ線検出部３２
を回動させることができるため、真上から見た透視画像
（垂直透視画像）としてだけでなく、斜め方向から見た
透視画像（傾斜透視画像）として試料３の内部構造を観
察することができるようになる。
によれば、Ｘ線入射面３２ａに直交する直線Ｌ2 を試料
載置面４ｂに対して傾斜させるように、Ｘ線検出部３２
を回動させることができるため、真上から見た透視画像
（垂直透視画像）としてだけでなく、斜め方向から見た
透視画像（傾斜透視画像）として試料３の内部構造を観
察することができるようになる。
【００６８】従って上記実施の形態（２）に係るＸ線検
査装置を利用することで、外側からでは観察することの
できない内部構造を透視画像として把握することができ
るようになり、例えば試料３が多層プリント配線基板の
ような積層基板であり、内部構造が複雑であったとして
も、かなり明確に内部状態を把握することができる。ま
た異なる層間でパターンが重複していたとしても、層間
の映像をズラして観察できる傾斜透視画像を観察するこ
とで、その重複部分の状態についても容易に把握するこ
とができる。また図３、図４に示したように、回動の中
心Ｓ2 が、試料台４の近傍位置に設定されているため、
透視位置のズレを小さくすることができる。
査装置を利用することで、外側からでは観察することの
できない内部構造を透視画像として把握することができ
るようになり、例えば試料３が多層プリント配線基板の
ような積層基板であり、内部構造が複雑であったとして
も、かなり明確に内部状態を把握することができる。ま
た異なる層間でパターンが重複していたとしても、層間
の映像をズラして観察できる傾斜透視画像を観察するこ
とで、その重複部分の状態についても容易に把握するこ
とができる。また図３、図４に示したように、回動の中
心Ｓ2 が、試料台４の近傍位置に設定されているため、
透視位置のズレを小さくすることができる。
【００６９】また上記実施の形態（１）に係るＸ線検査
装置とは異なり、開放管型であるＸ線源３１からの出射
角（１２０度程度）の広さを利用し、Ｘ線源３１につい
ては回動させなくても良いため、装置としては上記実施
の形態（１）に係るＸ線検査装置よりも簡単なものにす
ることが可能になる。
装置とは異なり、開放管型であるＸ線源３１からの出射
角（１２０度程度）の広さを利用し、Ｘ線源３１につい
ては回動させなくても良いため、装置としては上記実施
の形態（１）に係るＸ線検査装置よりも簡単なものにす
ることが可能になる。
【００７０】図５は実施の形態（１）に係るＸ線シール
構造の外観を示した斜視図であり、図６はその部分破断
正面図であり、図７は図６におけるＶII−ＶII線断面図
である。図中４は試料（図示せず）を載置する試料台を
示しており、試料台４を挟んで、Ｘ線源１とＸ線検出部
２とが対向して配置され、Ｘ線源１からＸ線が照射さ
れ、前記試料を透過したＸ線がＸ線検出部２に検出され
るようになっている。
構造の外観を示した斜視図であり、図６はその部分破断
正面図であり、図７は図６におけるＶII−ＶII線断面図
である。図中４は試料（図示せず）を載置する試料台を
示しており、試料台４を挟んで、Ｘ線源１とＸ線検出部
２とが対向して配置され、Ｘ線源１からＸ線が照射さ
れ、前記試料を透過したＸ線がＸ線検出部２に検出され
るようになっている。
【００７１】またＸ線検出部２は枠体４２で覆われ、ま
た枠体４２の下端部４２ａからは柔軟性を有するシール
部材４３が吊設されて、Ｘ線検出部２の下部及び下方が
覆われ、Ｘ線源１からのＸ線が漏洩するのを阻止するた
めのＸ線シール構造４１が試料台４に近接して形成され
ている。
た枠体４２の下端部４２ａからは柔軟性を有するシール
部材４３が吊設されて、Ｘ線検出部２の下部及び下方が
覆われ、Ｘ線源１からのＸ線が漏洩するのを阻止するた
めのＸ線シール構造４１が試料台４に近接して形成され
ている。
【００７２】シール部材４３は柔軟性を有すると共に、
のれん状になっており、さらにシール部材４３の内側に
は、鉛等で形成された板状のシール部材４４が遊動支持
手段４６を介して枠体４２の下端部４２ａから吊設さ
れ、２層式のＸ線シール構造４１が形成されている。な
お、ここでは遊動支持手段４６としてチェーンが採用さ
れている。またシール部材４４は塩化ビニール等の軟性
樹脂で形成された保護部材４５により挟持されている。
のれん状になっており、さらにシール部材４３の内側に
は、鉛等で形成された板状のシール部材４４が遊動支持
手段４６を介して枠体４２の下端部４２ａから吊設さ
れ、２層式のＸ線シール構造４１が形成されている。な
お、ここでは遊動支持手段４６としてチェーンが採用さ
れている。またシール部材４４は塩化ビニール等の軟性
樹脂で形成された保護部材４５により挟持されている。
【００７３】通常、Ｘ線シール構造は、試料の試料台４
への挿脱に必要となる挿脱口４７（図８参照）を封鎖す
るために、試料台４に近接して形成されるものである。
図８は図５に示したＸ線シール構造４１からシール部材
４３、４４の一部を除去した状態を示す斜視図であり、
図中４７は挿脱口を示しており、挿脱口４７を封鎖する
ようにシール部材４３、４４が吊設されている。
への挿脱に必要となる挿脱口４７（図８参照）を封鎖す
るために、試料台４に近接して形成されるものである。
図８は図５に示したＸ線シール構造４１からシール部材
４３、４４の一部を除去した状態を示す斜視図であり、
図中４７は挿脱口を示しており、挿脱口４７を封鎖する
ようにシール部材４３、４４が吊設されている。
【００７４】上記実施の形態（１）に係るＸ線シール構
造によれば、Ｘ線検出部２の下部及び下方（例えば、挿
脱口４７）を覆うように、枠体４２の下端部４２ａ（例
えば、挿脱口４７の上部）からシール部材４３、４４が
吊設されているため、Ｘ線源１からのＸ線が漏洩するの
を阻止することができる。またシール部材４３は柔軟性
を有し、シール部材４４は遊動支持手段４６を介して吊
設されているため、前記試料の試料台４への挿脱をスム
ーズに行うことができる。
造によれば、Ｘ線検出部２の下部及び下方（例えば、挿
脱口４７）を覆うように、枠体４２の下端部４２ａ（例
えば、挿脱口４７の上部）からシール部材４３、４４が
吊設されているため、Ｘ線源１からのＸ線が漏洩するの
を阻止することができる。またシール部材４３は柔軟性
を有し、シール部材４４は遊動支持手段４６を介して吊
設されているため、前記試料の試料台４への挿脱をスム
ーズに行うことができる。
【００７５】ところで前記試料の試料台４への挿脱が繰
り返されると、シール部材４３の下端部４３ａが摩耗し
てくるが、シール部材４４については板状であり、シー
ル部材４３のように摩耗してくることはないため、シー
ル部材４３が摩耗してきたとしても、Ｘ線の漏洩量の増
加を抑制することができる。
り返されると、シール部材４３の下端部４３ａが摩耗し
てくるが、シール部材４４については板状であり、シー
ル部材４３のように摩耗してくることはないため、シー
ル部材４３が摩耗してきたとしても、Ｘ線の漏洩量の増
加を抑制することができる。
【００７６】また前記試料の試料台４への挿脱時に、前
記試料が板状のシールド部材４４と衝突し、前記試料が
破損する虞れがあるが、上記したＸ線シール構造４１に
よれば、シールド部材４４を保護する保護部材４５が塩
化ビニール等の樹脂で形成されているため、軟性の保護
部材４５が緩衝材となり、前記試料が破損するといった
事態が生じるのを回避することができる。
記試料が板状のシールド部材４４と衝突し、前記試料が
破損する虞れがあるが、上記したＸ線シール構造４１に
よれば、シールド部材４４を保護する保護部材４５が塩
化ビニール等の樹脂で形成されているため、軟性の保護
部材４５が緩衝材となり、前記試料が破損するといった
事態が生じるのを回避することができる。
【００７７】上記実施の形態（１）に係るＸ線シール構
造では、短冊状のシール部材４４が枠体４２の下端部４
２ａから水平方向に多数枚連続して吊設されている場合
についてのみ説明しているが、別の実施の形態では、例
えば、図９に示したように、水平方向の長さの長いシー
ル部材４４Ａを枠体４２の下端部４２ａから吊設させた
り、図１０に示したように、水平方向の長さのやや長い
シール部材４４Ｂを水平方向に複数枚連続して吊設させ
るようにしても良い。
造では、短冊状のシール部材４４が枠体４２の下端部４
２ａから水平方向に多数枚連続して吊設されている場合
についてのみ説明しているが、別の実施の形態では、例
えば、図９に示したように、水平方向の長さの長いシー
ル部材４４Ａを枠体４２の下端部４２ａから吊設させた
り、図１０に示したように、水平方向の長さのやや長い
シール部材４４Ｂを水平方向に複数枚連続して吊設させ
るようにしても良い。
【００７８】
【実施例】図１１、図１２は実施例１に係るＸ線検査装
置の要部を模式的に示した側面図であり、図１３は実施
例１に係るＸ線検査装置の要部を示した概略図である。
図中４は試料（図示せず）を載置する試料台を示してお
り、試料台４を挟んで、Ｘ線源２１とＸ線検出部２２と
が対向して配置され、Ｘ線源２１からＸ線が照射され、
前記試料を透過したＸ線がＸ線検出部２２に検出される
ようになっている。なお角度θ3 は、試料台４に対する
Ｘ線検出部２２の傾斜角度である。
置の要部を模式的に示した側面図であり、図１３は実施
例１に係るＸ線検査装置の要部を示した概略図である。
図中４は試料（図示せず）を載置する試料台を示してお
り、試料台４を挟んで、Ｘ線源２１とＸ線検出部２２と
が対向して配置され、Ｘ線源２１からＸ線が照射され、
前記試料を透過したＸ線がＸ線検出部２２に検出される
ようになっている。なお角度θ3 は、試料台４に対する
Ｘ線検出部２２の傾斜角度である。
【００７９】ここではＸ線源２１として、最大管電圧が
６０ｋＶであり、最大管電流が０．３ｍＡであり、焦点
寸法が０．１ｍｍであり、出射角が４０度程度である密
封管型のミニフォーカスＸ線源を採用している。またＸ
線検出部２２としては、高解像度、高コントラスト、低
ノイズであるイメージインテンシファイアを採用してい
る。
６０ｋＶであり、最大管電流が０．３ｍＡであり、焦点
寸法が０．１ｍｍであり、出射角が４０度程度である密
封管型のミニフォーカスＸ線源を採用している。またＸ
線検出部２２としては、高解像度、高コントラスト、低
ノイズであるイメージインテンシファイアを採用してい
る。
【００８０】またＸ線検出部２２は画像処理部５に接続
されており、検出したＸ線に応じた画像データ（映像信
号）が画像処理部５へ出力されるようになっている。画
像処理部５は、画質を改善するなどの信号処理を行い、
信号処理した画像データをモニタ６に表示するようにな
っている。
されており、検出したＸ線に応じた画像データ（映像信
号）が画像処理部５へ出力されるようになっている。画
像処理部５は、画質を改善するなどの信号処理を行い、
信号処理した画像データをモニタ６に表示するようにな
っている。
【００８１】Ｘ線源２１及びＸ線検出部２２を支持する
支持手段２６は、Ｘ線源２１とＸ線検出部２２における
Ｘ線入射面２２ａにおける中心とを結ぶ直線に直交し、
試料台４の近傍位置に設定された軸Ｓ3 上で装置（側面
側）の枠体２８に枢支されている。
支持手段２６は、Ｘ線源２１とＸ線検出部２２における
Ｘ線入射面２２ａにおける中心とを結ぶ直線に直交し、
試料台４の近傍位置に設定された軸Ｓ3 上で装置（側面
側）の枠体２８に枢支されている。
【００８２】軸Ｓ3 を回転軸として、支持手段２６を回
動させる駆動手段２７は、支持手段２６の連結部２６ａ
と装置（底面側）の枠体２８の連結部２８ａとを連結
し、連結部２６ａと連結部２８ａとの距離Ｄを調整する
ことができるようになっている。図１４に駆動手段２７
の要部を模式的に示す。（ａ）は正面図であり、（ｂ）
は側面図である。
動させる駆動手段２７は、支持手段２６の連結部２６ａ
と装置（底面側）の枠体２８の連結部２８ａとを連結
し、連結部２６ａと連結部２８ａとの距離Ｄを調整する
ことができるようになっている。図１４に駆動手段２７
の要部を模式的に示す。（ａ）は正面図であり、（ｂ）
は側面図である。
【００８３】駆動手段２７は、距離Ｄの微調整を可能に
するボールネジ５１と、ナット５２と、ボールネジ５１
を収容する主軸５３と、ボールネジ５１の伸縮状態を調
整するモータ部５４と、ドグ５６を有したセンサ棒５５
と、上限センサ５７と、下限センサ５８とを含んで構成
され、モータ部５４を制御することによって、ボールネ
ジ５１を伸縮させ、距離Ｄを調整することにより、支持
手段２６（すなわちＸ線源２１及びＸ線検出部２２）を
回動させることができるようになっている。
するボールネジ５１と、ナット５２と、ボールネジ５１
を収容する主軸５３と、ボールネジ５１の伸縮状態を調
整するモータ部５４と、ドグ５６を有したセンサ棒５５
と、上限センサ５７と、下限センサ５８とを含んで構成
され、モータ部５４を制御することによって、ボールネ
ジ５１を伸縮させ、距離Ｄを調整することにより、支持
手段２６（すなわちＸ線源２１及びＸ線検出部２２）を
回動させることができるようになっている。
【００８４】上限センサ５７又は下限センサ５８でドグ
５６が検出されると、モータ部５４の駆動が停止するよ
うに構成され、ボールネジ５１（すなわち距離Ｄ）が長
くなりすぎたり、短くなりすぎるのを防止している。換
言すれば支持手段２６の回動範囲を制限している。なお
上限センサ５７によりドグ５６が検出されるのは、傾斜
角度θ3 が９０度のときに、また下限センサ５８により
ドグ５６が検出されるのは、傾斜角度θ3 が４５度のと
きとなるように構成されている。
５６が検出されると、モータ部５４の駆動が停止するよ
うに構成され、ボールネジ５１（すなわち距離Ｄ）が長
くなりすぎたり、短くなりすぎるのを防止している。換
言すれば支持手段２６の回動範囲を制限している。なお
上限センサ５７によりドグ５６が検出されるのは、傾斜
角度θ3 が９０度のときに、また下限センサ５８により
ドグ５６が検出されるのは、傾斜角度θ3 が４５度のと
きとなるように構成されている。
【００８５】またＸ線検出部２２には、矢印Ｗの方向に
スライドさせるスライド機構２９が連結され、スライド
機構２９を用いることによって、取得画像の大きさを調
整することができるようになっている。
スライドさせるスライド機構２９が連結され、スライド
機構２９を用いることによって、取得画像の大きさを調
整することができるようになっている。
【００８６】駆動手段２７及びスライド機構２９は制御
手段２４Ａにより制御され、この制御手段２４Ａは使用
者が操作する操作部２５Ａからの指示に基づいた制御を
行うようになっており、使用者の所望する位置にＸ線源
２１及びＸ線検出部２２を配置させたり、取得画像を所
望の大きさに設定することができるようになっている。
手段２４Ａにより制御され、この制御手段２４Ａは使用
者が操作する操作部２５Ａからの指示に基づいた制御を
行うようになっており、使用者の所望する位置にＸ線源
２１及びＸ線検出部２２を配置させたり、取得画像を所
望の大きさに設定することができるようになっている。
【００８７】上記実施例１に係るＸ線検査装置によれ
ば、Ｘ線源２１とＸ線検出部２２とを結ぶ直線に直交す
る軸Ｓ3 を回転軸として、Ｘ線源２１とＸ線検出部２２
とを回動させることができるため、真上から見た透視画
像（垂直透視画像）としてだけでなく、斜め方向から見
た透視画像（傾斜透視画像）として試料の内部構造を観
察することができるようになる。
ば、Ｘ線源２１とＸ線検出部２２とを結ぶ直線に直交す
る軸Ｓ3 を回転軸として、Ｘ線源２１とＸ線検出部２２
とを回動させることができるため、真上から見た透視画
像（垂直透視画像）としてだけでなく、斜め方向から見
た透視画像（傾斜透視画像）として試料の内部構造を観
察することができるようになる。
【００８８】図１５は実施例１に係るＸ線検査装置を用
いて、多層プリント配線基板（４層板）を撮影したＸ線
写真であり、（ａ）は傾斜角度θ3 を９０度に設定した
場合の垂直透視画像であり、（ｂ）は傾斜角度θ3 を４
５度に設定した場合の傾斜透視画像である。
いて、多層プリント配線基板（４層板）を撮影したＸ線
写真であり、（ａ）は傾斜角度θ3 を９０度に設定した
場合の垂直透視画像であり、（ｂ）は傾斜角度θ3 を４
５度に設定した場合の傾斜透視画像である。
【００８９】図１５から明らかなように、異なる層間で
のパターン重複部分の状態については垂直透視画像で把
握することは難しいが、傾斜透視画像では層間の映像を
ズラして観察できるため、重複部分の状態についても容
易に把握することができることが分かる。特に内外層の
めっき接続用のスルーホール等にめっき処理が適切に施
されているか否かといった判断を容易に行うことができ
る。
のパターン重複部分の状態については垂直透視画像で把
握することは難しいが、傾斜透視画像では層間の映像を
ズラして観察できるため、重複部分の状態についても容
易に把握することができることが分かる。特に内外層の
めっき接続用のスルーホール等にめっき処理が適切に施
されているか否かといった判断を容易に行うことができ
る。
【００９０】図１６は実施例１に係るＸ線検査装置を用
いて、ＢＧＡ（Ball Grid Array ）が実装された基板を
撮影したＸ線写真であり、（ａ）は傾斜角度θ3 が９０
度に設定した場合の垂直透視画像であり、（ｂ）は傾斜
角度θ3 を４５度に設定した場合の傾斜透視画像であ
る。
いて、ＢＧＡ（Ball Grid Array ）が実装された基板を
撮影したＸ線写真であり、（ａ）は傾斜角度θ3 が９０
度に設定した場合の垂直透視画像であり、（ｂ）は傾斜
角度θ3 を４５度に設定した場合の傾斜透視画像であ
る。
【００９１】図１６から明らかなように、垂直透視画
像、傾斜透視画像のいずれであったとしても、外側から
では観察することのできない内部形状を透視画像として
観察することができるが、傾斜透視画像では映像がズレ
るため、垂直透視画像よりもボール接合状態の把握が容
易になることが分かる。
像、傾斜透視画像のいずれであったとしても、外側から
では観察することのできない内部形状を透視画像として
観察することができるが、傾斜透視画像では映像がズレ
るため、垂直透視画像よりもボール接合状態の把握が容
易になることが分かる。
【００９２】また上記実施例１に係るＸ線検査装置で
は、図１１、図１２から明らかなように、Ｘ線検出部２
２が試料台４の設置側（すなわち操作側、作業側）から
見て奥行側へ傾斜するように構成されているため、図１
８、図１９に示した従来のＸ線検査装置（すなわち垂直
透視画像だけを取得することのできる装置）と同じスリ
ムな形状とすることができ、試料の試料台４への挿脱や
透視位置選択等の作業についても、従来と同様に効率良
く、かつ適切に行うことができる。
は、図１１、図１２から明らかなように、Ｘ線検出部２
２が試料台４の設置側（すなわち操作側、作業側）から
見て奥行側へ傾斜するように構成されているため、図１
８、図１９に示した従来のＸ線検査装置（すなわち垂直
透視画像だけを取得することのできる装置）と同じスリ
ムな形状とすることができ、試料の試料台４への挿脱や
透視位置選択等の作業についても、従来と同様に効率良
く、かつ適切に行うことができる。
【図１】（ａ）は本発明の実施の形態（１）に係るＸ線
検査装置の要部を示した概略図であり、（ｂ）は試料を
載置する試料台を示した平面図である。
検査装置の要部を示した概略図であり、（ｂ）は試料を
載置する試料台を示した平面図である。
【図２】垂直透視画像、及び傾斜透視画像を取得するた
めのＸ線源と、Ｘ線検出部と、試料台と、回転軸との位
置関係を説明するための説明図である。
めのＸ線源と、Ｘ線検出部と、試料台と、回転軸との位
置関係を説明するための説明図である。
【図３】（ａ）は実施の形態（２）に係るＸ線検査装置
の要部を示した概略図であり、（ｂ）は試料を載置する
試料台を示した平面図である。
の要部を示した概略図であり、（ｂ）は試料を載置する
試料台を示した平面図である。
【図４】垂直透視画像、及び傾斜透視画像を取得するた
めのＸ線源と、Ｘ線検出部と、試料台と、回転軸との位
置関係を説明するための説明図である。
めのＸ線源と、Ｘ線検出部と、試料台と、回転軸との位
置関係を説明するための説明図である。
【図５】実施の形態（１）に係るＸ線シール構造の外観
を示した斜視図である。
を示した斜視図である。
【図６】実施の形態（１）に係るＸ線シール構造の要部
を示した部分破断正面図である。
を示した部分破断正面図である。
【図７】図６におけるＶII−ＶII線断面図である。
【図８】図５に示した、実施の形態（１）に係るＸ線シ
ール構造からシール部材の一部を除去した状態を示す斜
視図である。
ール構造からシール部材の一部を除去した状態を示す斜
視図である。
【図９】別の実施の形態に係るＸ線シール構造の要部を
示した部分破断正面図である。
示した部分破断正面図である。
【図１０】さらに別の実施の形態に係るＸ線シール構造
の要部を示した部分破断正面図である。
の要部を示した部分破断正面図である。
【図１１】実施例１に係るＸ線検査装置の要部を模式的
に示した側面図である。
に示した側面図である。
【図１２】実施例１に係るＸ線検査装置の要部を模式的
に示した側面図である。
に示した側面図である。
【図１３】実施例１に係るＸ線検査装置の要部を示した
概略図である。
概略図である。
【図１４】実施例１に係るＸ線検査装置における駆動手
段の要部を示した模式図であり、（ａ）は正面図であ
り、（ｂ）は側面図である。
段の要部を示した模式図であり、（ａ）は正面図であ
り、（ｂ）は側面図である。
【図１５】実施例１に係るＸ線検査装置を用いて、多層
プリント配線基板を撮影したＸ線写真であり、（ａ）は
垂直透視画像であり、（ｂ）は傾斜透視画像である。
プリント配線基板を撮影したＸ線写真であり、（ａ）は
垂直透視画像であり、（ｂ）は傾斜透視画像である。
【図１６】実施例１に係るＸ線検査装置を用いて、ＢＧ
Ａが実装された基板を撮影したＸ線写真であり、（ａ）
は垂直透視画像であり、（ｂ）は傾斜透視画像である。
Ａが実装された基板を撮影したＸ線写真であり、（ａ）
は垂直透視画像であり、（ｂ）は傾斜透視画像である。
【図１７】（ａ）は従来のＸ線検査装置の要部を示した
概略図であり、（ｂ）は試料を載置する試料台を示した
平面図である。
概略図であり、（ｂ）は試料を載置する試料台を示した
平面図である。
【図１８】従来のＸ線検査装置の外観を示した正面図で
ある。
ある。
【図１９】従来のＸ線検査装置の外観を示した側面図で
ある。
ある。
【図２０】従来のＸ線シール構造の外観を示した斜視図
である。
である。
【図２１】図２０におけるＸＸＩ−ＸＸＩ線断面図であ
る。
る。
【図２２】試料台に試料が載置された状態のＸ線シール
構造の外観を示した斜視図である。
構造の外観を示した斜視図である。
３ 試料 ４ 試料台 １、２１、３１ Ｘ線源 ２、２２、３２ Ｘ線検出部 ２２ａ、３２ａ Ｘ線入射面 ２３、３３ 回動手段 ２４、２４Ａ、３４ 制御手段 ２６ 支持手段 ２７ 駆動手段 ２８、４２ 枠体 ２９ スライド機構 ４１ Ｘ線シール構造 ４３、４４、４４Ａ、４４Ｂ シール部材 ４５、４５Ａ、４５Ｂ 保護部材 ４６ 遊動支持手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F067 AA54 AA67 BB01 BB04 BB16 CC14 EE17 HH04 JJ03 KK06 LL16 NN05 PP11 UU00 2G001 AA01 BA11 CA01 GA13 HA13 JA01 JA06 JA20 KA03 LA11 MA05 SA14 SA30 5E319 AC01 BB04 CC11 CD51
Claims (16)
- 【請求項１】 試料を挟んで、Ｘ線を照射するＸ線源と
Ｘ線を検出するＸ線検出部とが対向して配置され、 前記Ｘ線源から照射され、前記試料を透過したＸ線が前
記Ｘ線検出部にて検出されるように構成されたＸ線検査
装置において、 前記Ｘ線検出部におけるＸ線入射面に直交する第１の直
線を試料載置面に対して傾斜させるように、前記Ｘ線源
と前記Ｘ線検出部とを一体的に回動させる第１の回動手
段を備えていることを特徴とするＸ線検査装置。 - 【請求項２】 前記第１の直線が、前記Ｘ線源と前記Ｘ
線入射面の中心とを結ぶ直線であることを特徴とする請
求項１記載のＸ線検査装置。 - 【請求項３】 試料を挟んで、Ｘ線を照射するＸ線源と
Ｘ線を検出するＸ線検出部とが対向して配置され、 前記Ｘ線源から照射され、前記試料を透過したＸ線が前
記Ｘ線検出部にて検出されるように構成されたＸ線検査
装置において、 前記Ｘ線源と前記Ｘ線検出部におけるＸ線入射面の中心
とを結ぶ第２の直線に直交する第３の直線上で装置の枠
体に枢支され、前記Ｘ線源と前記Ｘ線検出部とを支持す
る支持手段と、 前記第３の直線を回転軸として、前記支持手段を回動さ
せる駆動手段とを備えていることを特徴とするＸ線検査
装置。 - 【請求項４】 回動する前記支持手段の位置を検出する
検出手段と、 該検出手段からの検出結果に基づいて、前記駆動手段の
駆動を制限する制限手段とを備えていることを特徴とす
る請求項３記載のＸ線検査装置。 - 【請求項５】 前記検出手段が、前記駆動手段の駆動状
況を検出することによって、前記支持手段の位置を検出
するものであることを特徴とする請求項４記載のＸ線検
査装置。 - 【請求項６】 前記Ｘ線検出部を、前記第２の直線と平
行にスライドさせるスライド手段を備えていることを特
徴とする請求項３〜５のいずれかの項に記載のＸ線検査
装置。 - 【請求項７】 試料を挟んで、Ｘ線を照射するＸ線源と
Ｘ線を検出するＸ線検出部とが対向して配置され、 前記Ｘ線源から照射され、前記試料を透過したＸ線が前
記Ｘ線検出部にて検出されるように構成されたＸ線検査
装置において、 前記Ｘ線検出部におけるＸ線入射面に直交する第１の直
線を試料載置面に対して傾斜させるように、前記Ｘ線検
出部だけを回動させる第２の回動手段を備えていること
を特徴とするＸ線検査装置。 - 【請求項８】 回動の中心が、試料載置面もしくは該試
料載置面の近傍位置に設定されていることを特徴とする
請求項１〜７のいずれかの項に記載のＸ線検査装置。 - 【請求項９】 前記Ｘ線検出部を傾斜させる方向が、前
記試料を載置する試料台の設置側から見て装置の奥行側
となるように構成されていることを特徴とする請求項１
〜８のいずれかの項に記載のＸ線検査装置。 - 【請求項１０】 Ｘ線検査装置に利用されるものであ
り、試料を載置する試料台に近接して形成され、Ｘ線源
からのＸ線の漏洩を阻止するためのＸ線シール構造にお
いて、 柔軟性を有する第１のシール部材がＸ線検出部の下部及
び下方を覆うように前記Ｘ線検出部の下端部近傍から吊
設され、 前記第１のシール部材の内側に、板状の第２のシール部
材が遊動支持手段を介して前記Ｘ線検出部の下端部近傍
から吊設されていることを特徴とするＸ線シール構造。 - 【請求項１１】 前記第２のシール部材が、鉛で形成さ
れていることを特徴とする請求項１０記載のＸ線シール
構造。 - 【請求項１２】 前記第２のシール部材の周辺に保護部
材が配置され、前記第２のシール部材が前記保護部材に
より挟持されていることを特徴とする請求項１０又は請
求項１１記載のＸ線シール構造。 - 【請求項１３】 前記保護部材が、樹脂で形成されてい
ることを特徴とする請求項１２記載のＸ線シール構造。 - 【請求項１４】 前記第２のシール部材が短冊状であ
り、前記Ｘ線検出部の下端部近傍から水平方向に多数枚
連続して吊設されていることを特徴とする請求項１０〜
１３のいずれかの項に記載のＸ線シール構造。 - 【請求項１５】 前記第２のシール部材の水平方向の長
さが、垂直方向の長さと略同等、もしくは垂直方向の長
さよりも長く設定されていることを特徴とする請求項１
０〜１３のいずれかの項に記載のＸ線シール構造。 - 【請求項１６】 前記第２のシール部材が、前記Ｘ線検
出部の下端部近傍から水平方向に複数枚連続して吊設さ
れていることを特徴とする請求項１５記載のＸ線シール
構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000075453A JP2001264270A (ja) | 2000-03-17 | 2000-03-17 | Ｘ線検査装置、及びｘ線シール構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000075453A JP2001264270A (ja) | 2000-03-17 | 2000-03-17 | Ｘ線検査装置、及びｘ線シール構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001264270A true JP2001264270A (ja) | 2001-09-26 |
Family
ID=18593345
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000075453A Pending JP2001264270A (ja) | 2000-03-17 | 2000-03-17 | Ｘ線検査装置、及びｘ線シール構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001264270A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012088816A1 (zh) * | 2010-12-31 | 2012-07-05 | 清华大学 | 检查装置 |
| JP2015059813A (ja) * | 2013-09-18 | 2015-03-30 | 株式会社イシダ | Ｘ線検査装置 |
| CN104897697A (zh) * | 2015-05-26 | 2015-09-09 | 工业和信息化部电子第五研究所 | 3d x-ray检测用的夹具 |
| JP2016178158A (ja) * | 2015-03-19 | 2016-10-06 | 日本電気株式会社 | 識別装置、識別方法およびトレーサビリティシステム |
-
2000
- 2000-03-17 JP JP2000075453A patent/JP2001264270A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012088816A1 (zh) * | 2010-12-31 | 2012-07-05 | 清华大学 | 检查装置 |
| JP2015059813A (ja) * | 2013-09-18 | 2015-03-30 | 株式会社イシダ | Ｘ線検査装置 |
| JP2016178158A (ja) * | 2015-03-19 | 2016-10-06 | 日本電気株式会社 | 識別装置、識別方法およびトレーサビリティシステム |
| CN104897697A (zh) * | 2015-05-26 | 2015-09-09 | 工业和信息化部电子第五研究所 | 3d x-ray检测用的夹具 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100863975B1 (ko) | 편축 단층영상합성법 | |
| JP3990914B2 (ja) | 放射線画像撮影装置 | |
| US20070165785A1 (en) | Radiographic apparatus | |
| JP6150975B2 (ja) | Ｄａｓ検出器及びｘ線コンピュータ断層撮影装置 | |
| JP5483903B2 (ja) | Ｘ線撮影装置 | |
| WO2012099314A1 (ko) | 병변 진단 장치 및 방법 | |
| CN106054234B (zh) | 放射线摄像装置以及摄像系统 | |
| JP2010094498A (ja) | 放射線画像検出器の撮像面の設置誤差検出方法および装置並びに画像補正方法および装置 | |
| CN1907224A (zh) | 便携式放射线成像装置 | |
| JP3880012B2 (ja) | 取り外し可能なデジタルｘ線結像装置 | |
| JP3092828B2 (ja) | Ｘ線透過像検出によるはんだ付け検査方法とその装置 | |
| JP2001264270A (ja) | Ｘ線検査装置、及びｘ線シール構造 | |
| KR102108974B1 (ko) | 전자파 차폐면 제거 방법 | |
| JP4610927B2 (ja) | 放射線乳房撮影装置 | |
| JP2000316845A (ja) | Ｘ線診断装置 | |
| JP2009109447A (ja) | Ｘ線検査装置およびｘ線検査方法 | |
| KR102381642B1 (ko) | 웨이퍼 검사용 엑스레이 장치 및 그에 의한 엑스레이 검사 방법 | |
| JP2002214352A (ja) | 放射線画像撮影装置 | |
| JP2002162370A (ja) | 基板のｘ線検査方法及びそれに用いるｘ線検査装置 | |
| JP2009145062A (ja) | Ｘ線検査装置 | |
| JP2004173908A (ja) | 移動型放射線画像撮影装置 | |
| JP4045443B2 (ja) | 傾斜型ｘ線ｃｔ装置における回転中心軸の較正方法および傾斜型ｘ線ｃｔ装置 | |
| JP2002303592A (ja) | 断層撮影装置 | |
| JP2003156454A (ja) | Ｘ線検査装置とその制御方法と調整方法 | |
| JP4665358B2 (ja) | Ｘ線撮影装置 |