JP2001259881A - 排煙機構を備えたレーザー加工装置および方法 - Google Patents

排煙機構を備えたレーザー加工装置および方法

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JP2001259881A JP2000075278A JP2000075278A JP2001259881A JP 2001259881 A JP2001259881 A JP 2001259881A JP 2000075278 A JP2000075278 A JP 2000075278A JP 2000075278 A JP2000075278 A JP 2000075278A JP 2001259881 A JP2001259881 A JP 2001259881A
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渉 廣畑
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 加工部分から発生する煙によってレーザービ
ームが実質的に遮られることなく、且つこの煙の作用に
よって集光レンズの表面が実質的に損なわれることな
く、良好なレーザー加工を行う。 【解決手段】 所定方向に沿って連続的に移動するシー
ト(6)にレーザービーム(2)を照射して加工するレ
ーザー加工装置。レーザービームを供給するためのレー
ザー光源と、レーザービームをシート上へ導くための導
光部(12)と、レーザービームの照射によりシートの
加工部分から発生する煙を吸引排出するための吸引排出
手段(13〜20)とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、排煙機構を備えた
レーザー加工装置および方法に関し、特に連続用紙に対
してミシン目を形成するときに発生する煙の排出処理機
構に関するものである。
【0002】
【従来の技術】一般に、コンピュータの出力帳票とし
て、いわゆる連続用紙が使用されている。連続用紙は一
方向に沿って長く延びた用紙であり、その長手方向すな
わち連続方向に沿って両側に一対の縦ミシン目が形成さ
れている。また、その長手方向と直交する方向すなわち
幅方向に沿って横ミシン目が多数形成されている。
【0003】連続用紙にミシン目を形成する方法とし
て、適当な搬送手段の作用によって移動する連続用紙上
に、パルス発振されたレーザービームを、集光レンズを
介して照射する方法が知られている。この場合、レーザ
ービームの照射により、連続用紙のカット部分から煙が
発生する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、レー
ザービームを連続用紙に照射して加工する場合、レーザ
ービームの照射により連続用紙の加工部分から煙が発生
する。発生した煙が集光レンズと連続用紙との間の光路
中に滞留すると、この光路に沿って連続用紙に照射され
るレーザービームが煙によって遮られ、良好なレーザー
加工を行うことができないという不都合があった。
【0005】また、レーザービームの照射により連続用
紙の加工部分から発生した煙が集光レンズと連続用紙と
の間の光路中に滞留すると、その煙が集光レンズの表面
に作用する。その結果、集光レンズの表面が損なわれ、
良好なレーザー加工を行うことができないという不都合
があった。
【0006】本発明は、前述の課題に鑑みてなされたも
のであり、加工部分から発生する煙によってレーザービ
ームが実質的に遮られることなく、且つこの煙の作用に
よって集光レンズの表面が実質的に損なわれることな
く、良好なレーザー加工を行うことのできる、レーザー
加工装置および方法を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明の第1発明では、所定方向に沿って連続的に
移動するシートにレーザービームを照射して加工するレ
ーザー加工装置において、レーザービームを供給するた
めのレーザー光源と、前記レーザー光源から出力された
レーザービームを前記シート上へ導くための導光部と、
レーザービームの照射により前記シートの加工部分から
発生する煙を吸引排出するための吸引排出手段とを備え
ていることを特徴とするレーザー加工装置を提供する。
【0008】第1発明の好ましい態様によれば、前記吸
引排出手段は、前記シートに対して前記導光部と同じ側
に配置されて前記シートの加工部分から発生する煙を吸
引排出するための第1吸引排出部を有する。この場合、
前記シートの加工部分から発生する煙を前記第1吸引排
出部に向けるための空気を吹き出す空気吹出し手段をさ
らに備えていることが好ましい。
【0009】また、第1発明の好ましい態様によれば、
前記吸引排出手段は、前記シートに対して前記導光部と
反対側に配置されて前記シートの加工部分から発生する
煙を吸引排出するための第2吸引排出部を有する。この
場合、前記第1吸引排出部および前記第2吸引排出部
は、前記シートの加工部分から発生する煙に含まれる微
粒子を捕捉するためのフィルターを備えていることが好
ましい。
【0010】さらに、第1発明の好ましい態様によれ
ば、前記シートに対して前記所定方向に沿ったミシン目
を形成するために、前記レーザー光源はレーザービーム
をパルス発振する。あるいは、前記シートに対して前記
所定方向と直交する方向に沿ったミシン目を形成するた
めに、前記レーザー光源はレーザービームをパルス発振
し、前記レーザー光源から出力されたレーザービームを
所定の走査面に沿ってシート上において走査するための
走査手段をさらに備えていることが好ましい。
【0011】本発明の第2発明では、所定方向に沿って
連続的に移動するシートにレーザービームを照射して加
工するレーザー加工方法において、連続的に移動するシ
ートに所要のテンションを作用させながら、レーザービ
ームの照射によりシートの加工部分から発生する煙を吸
引排出することを特徴とするレーザー加工方法を提供す
る。
【0012】
【発明の実施の形態】本発明では、たとえば連続用紙の
ようなシートに縦ミシン目を形成するレーザー加工装置
において、レーザービームの照射により連続用紙の加工
部分から発生する煙を吸引排出するための吸引排出手段
を備えている。換言すると、連続的に移動する連続用紙
のようなシートに所要のテンションを作用させながら、
レーザービームの照射によりシートの加工部分から発生
する煙を吸引排出する。
【0013】具体的な態様によれば、吸引排出手段は、
たとえば連続用紙の表面側に配置されて加工部分から発
生する煙を吸引排出するための第1吸引排出部と、連続
用紙の裏面側に配置されて加工部分から発生する煙を吸
引排出するための第2吸引排出部とを備えている。ま
た、加工部分から発生する煙を第1吸引排出部に向ける
ための空気を吹き出す空気吹出し手段が設けられてい
る。
【0014】したがって、本発明では、レーザービーム
の照射により連続用紙の加工部分から煙が発生しても、
連続用紙の表面側では、発生した煙が空気吹出し手段に
より第1吸引排出部に向かって吹き飛ばされた後に第1
吸引排出部を介して吸引排出される。一方、連続用紙の
裏面側では、発生した煙が第2吸引排出部を介して吸引
排出される。
【0015】その結果、本発明では、加工部分から発生
する煙が集光レンズと連続用紙との間の光路中にほとん
ど滞留しないので、この煙によってレーザービームが実
質的に遮られることなく、且つこの煙の作用によって集
光レンズの表面が実質的に損なわれることなく、良好な
レーザー加工を行うことができる。
【0016】本発明の実施形態を、添付図面に基づいて
説明する。図1は、本発明の実施形態にかかるレーザー
加工装置の構成を概略的に示す斜視図である。また、図
2は、図1のレーザー加工装置に組み込まれた排煙処理
機構の構成を概略的に示す図である。なお、図1では、
図面の明瞭化のために、排煙処理機構の各構成要素の図
示を省略している。本実施形態では、連続用紙に対して
縦ミシン目を形成するレーザー加工装置に本発明を適用
している。
【0017】図1に示す装置は、パルス発振型のレーザ
ー光源として、たとえば炭酸ガスレーザー光源1を備え
ている。レーザー光源1から射出されたレーザービーム
2は、コリメータレンズ3を介して平行ビームとなり、
光路折り曲げ用のミラー4に入射する。ミラー4で反射
されたレーザービーム2は、集光レンズ5を介して集光
された後、処理すべき連続用紙6上に結像スポットを形
成する。
【0018】一方、連続用紙6は、その長手方向(図中
矢印F1で示す)に沿って連続的に搬送される。こうし
て、連続的に移動する連続用紙6上にレーザービーム2
を照射することにより、連続用紙6の長手方向に沿った
縦ミシン目7が形成される。このとき、レーザービーム
2の照射により、縦ミシン目7のカット部分から煙が発
生する。すなわち、連続用紙6の加工部分の紙自体およ
びその表面に塗布されていた接着剤などが燃焼により昇
華して発煙する。
【0019】図2を参照すると、連続用紙6は、その長
手方向に沿って所要のテンションが加えられた状態で、
4つのガイドローラー11a〜11dの周面に当接しな
がら図中左側から右側へ搬送される。そして、レーザー
光源1(図2では不図示)から供給されたレーザービー
ム2が、コリメータレンズ3(図2では不図示)を介し
て、ミラー4と集光レンズ5とから構成された導光ユニ
ット12に入射する。導光ユニット12に入射したレー
ザービーム2は、集光レンズ5を介して集光され、連続
用紙6の表面(一対のガイドローラー11bと11cと
の間において上側の面)に結像スポットを形成する。
【0020】本実施形態では、連続用紙6の加工部分か
ら発生する煙を吸引排出するための第1吸引排出ダクト
13が設けられている。第1吸引排出ダクト13は、連
続用紙6の表面側において導光ユニット12の図中左側
に隣接するように位置決めされ、その吸引口は連続用紙
6上の加工部分に向かって開口している。また、第1吸
引排出ダクト13の内部には、連続用紙6の加工部分か
ら発生する煙に含まれる有害な微粒子などを捕捉するた
めのフィルター14が設けられている。さらに、第1吸
引排出ダクト13にはたとえば可撓性の配管15の一端
が接続され、この配管15の他端は図示を省略したリン
グブロアーなどの吸込み手段に接続されている。
【0021】一方、連続用紙6の裏面側(一対のガイド
ローラー11bと11cとの間において下側)には、連
続用紙6の加工部分から発生する煙を吸引排出するため
の第2吸引排出ダクト16が設けられている。第2吸引
排出ダクト16の吸引口は、連続用紙6の加工部分に向
かって大きく開口している。また、第2吸引排出ダクト
16の内部には上述のフィルター14と同様の機能を有
するフィルター17が設けられている。
【0022】さらに、第2吸引排出ダクト16には、た
とえば可撓性の配管18の一端が接続され、この配管1
8の他端は、図示を省略したリングブロアーなどの吸込
み手段に接続されている。なお、配管15の他端が接続
されるリングブロアーと配管18の他端が接続されるリ
ングブロアーとは、同一のものであってもよいし、互い
に異なる別々のものであってもよい。
【0023】さらに、連続用紙6の表面側には、加工部
分から発生する煙を第1吸引排出ダクト13の吸引口に
向けるための空気を吹き出す吹出しノズル19が設けら
れている。吹出しノズル19は、導光ユニット12の図
中右側に配置され、その吹出し口を集光レンズ5と連続
用紙6との間の光路に向かって、特に連続用紙6の加工
部分に向かって開口している。また、吹出しノズル19
には、たとえば可撓性の配管20の一端が接続されてい
る。そして、配管20の他端は、たとえば当該施設内に
配設されている圧縮空気の送給用配管(不図示)に接続
されている。
【0024】以上のように、本実施形態では、レーザー
ビーム2の照射により連続用紙6の加工部分から煙が発
生しても、連続用紙6の表面側では、発生した煙が吹出
しノズル19により第1吸引排出ダクト13の吸引口に
向かって吹き飛ばされた後に、第1吸引排出ダクト13
および配管15を介して吸引排出される。一方、連続用
紙6の裏面側では、発生した煙が、第2吸引排出ダクト
16を介して吸引排出される。
【0025】このように、本実施形態では、加工部分か
ら発生する煙が、集光レンズ5と連続用紙6との間の光
路中にほとんど滞留しない。その結果、この煙によって
レーザービーム2が実質的に遮られることなく、且つこ
の煙の作用によって集光レンズ5の表面が実質的に損な
われることなく、良好な縦ミシン目の形成を行うことが
できる。
【0026】なお、上述の実施形態では、連続用紙の長
手方向に沿って1本の縦ミシン目を形成する例を示して
いるが、上述の構成を有する装置を並列的に設置するこ
とにより、たとえば一対の縦ミシン目を形成することも
できる。あるいは、1つのレーザー光源からのビームを
2つのビームに分割し、各ビームを上述の構成に準じて
連続用紙6上へ導くことにより、一対の縦ミシン目を形
成することもできる。以下、連続用紙に一対の縦ミシン
目を形成するレーザー加工装置に好適な排煙処理機構の
構成例を概略的に説明する。
【0027】図3は、図2に対応する図であって、連続
用紙に一対の縦ミシン目を形成するレーザー加工装置に
組み込まれた排煙処理機構の構成を概略的に示す図であ
る。図3において、(a)は連続用紙6のレーザー加工
面を上から見た平面図であり、(b)は図2に対応する
側面図である。図3では、図2に示す構成要素と同様の
機能を有する要素に同じ参照符号(あるいは同じ参照符
号+「’」)を付している。
【0028】図3では、連続用紙6の移動方向(長手方
向)に沿って間隔を隔てた一対の導光ユニット12およ
び12’が、連続用紙6の幅方向に沿って往復移動可能
に構成されている。そして、連続用紙6の表面側におい
て、一対の導光ユニット12と12’との間には、連続
用紙6の幅方向に沿ってそのほぼ全体に亘って延びる第
1吸引排出ダクト13が設けられている。また、連続用
紙6の裏面側には、一対の導光ユニット12および1
2’に対応する一対の加工部分を包括するように、連続
用紙6の幅方向に沿ってそのほぼ全体に亘って延びる第
2吸引排出ダクト16が設けられている。
【0029】さらに、第1導光ユニット12に隣接して
第1吹出しノズル19が設けられ、第2導光ユニット1
2’に隣接して第2吹出しノズル19’が設けられてい
る。ここで、第1吹出しノズル19および第2吹出しノ
ズル19’は、第1導光ユニット12および第2導光ユ
ニット12’とそれぞれ一体的に、連続用紙6の幅方向
に沿って往復移動するように構成されている。なお、第
1吹出しノズル19および第2吹出しノズル19’が連
続用紙6の幅方向に沿ってそのほぼ全体に亘って延びる
ように構成することもできる。この場合、第1吹出しノ
ズル19および第2吹出しノズル19’ は、第1導光
ユニット12および第2導光ユニット12’とそれぞれ
一体的に移動することなく、固定的に設置されることは
いうまでもない。
【0030】なお、図3の実施形態では、連続用紙6の
移動方向に沿って間隔を隔てた一対の導光ユニット12
および12’が連続用紙6の幅方向に沿って往復移動可
能に構成されている。しかしながら、これに限定される
ことなく、一対の導光ユニット12および12’を連続
用紙6の幅方向の1つの直線に沿って往復移動させた
り、一対の導光ユニット12および12’を連続用紙6
の幅方向の1つの直線に沿って固定的に設置することも
できる。
【0031】図4は、図3の実施形態に対応する図であ
って、装置の要部構成をさらに具体的に説明する図であ
る。図4に示す具体的な構成例では、吹出しノズル19
(19’)から連続用紙6の加工部分に向かって圧縮空
気が吹き出される。この圧縮空気の作用により、加工部
分から発生する煙は、吸引排出ダクト13の吸引口に向
かって吹き飛ばされる。こうして、吸引排出ダクト13
の吸引口を介してその内部へ吸引された煙は、吸引排出
ダクト13に内設されたパイプ13aを介して、図示を
省略した配管15へ導かれる(図6(c)を参照)。こ
のパイプ13aは必須の構成要素ではないが、図6に示
すように、吸引排出ダクト13の吸引力を均一にする作
用を有する。すなわち、図6(a)に示すように、パイ
プ13aに同じサイズ(パイプの長手方向に沿った長
さ)の開口部60を一定のピッチで形成する場合、配管
15に近い開口部ほど吸引力が大きくなり、ひいては吸
引排出ダクト13の吸引力が連続用紙の幅方向に沿って
不均一になってしまう。しかしながら、図6(b)に示
すように、配管15から離れるにつれてサイズが大きく
なるような開口部61をパイプ13aに形成することに
より、吸引排出ダクト13の吸引力を連続用紙の幅方向
に沿って均一にすることができる。
【0032】一方、集光レンズ5(5’)を保持するレ
ンズホルダー21(21’)には、集光レンズ5
(5’)の下側面とほぼ同じ高さ位置に開口部22(2
2’)が形成されている。そして、この開口部22(2
2’)を介して、レンズホルダー21(21’)の内部
へ圧縮空気が供給されるように構成されている。すなわ
ち、開口部22(22’)には、吹出しノズル19(1
9’)と同様の機能を有するノズルが接続され、このノ
ズルに配管20と同様の機能を有する配管が接続されて
いる。その結果、レンズホルダー21(21’)の内部
において下側へ向かう圧縮空気の流れが形成されるの
で、加工部分から発生する煙が集光レンズ5(5’)の
下側面(表面)に達することなく、したがって煙により
集光レンズ5(5’)の表面が実質的に損なわれること
がない。
【0033】なお、図1〜図4に示す実施形態では、連
続用紙に縦ミシン目を形成するレーザー加工装置に対し
て本発明を適用しているが、連続用紙に横ミシン目を順
次形成するレーザー加工装置に対しても本発明を適用す
ることができる。以下、連続用紙に横ミシン目を順次形
成するレーザー加工装置の構成を概略的に説明する。図
5は、本発明を適用可能なレーザー加工装置の一例とし
て、横ミシン目形成装置の構成を概略的に示す斜視図で
ある。
【0034】図5に示す装置は、パルス発振型のレーザ
ー光源として、たとえば炭酸ガスレーザー光源31を備
えている。レーザー光源31から射出されたレーザービ
ーム32は、コリメータレンズ33を介して平行ビーム
となり、第1ミラー34に入射する。第1ミラー34で
反射されたレーザービーム32は、第2のミラー35で
再び偏向された後、ガルバノメータースキャナー36の
反射鏡36aに入射する。
【0035】ガルバノメータースキャナー36は、1枚
の反射鏡36aを所望のタイミングにしたがって所定の
軸線廻りに往復回動させる。ガルバノメータースキャナ
ー36の走査タイミング、すなわち反射鏡36aの往復
回動の動作タイミングは、制御部37によって制御され
る。ガルバノメータースキャナー36の反射鏡36aに
よって反射されたレーザービーム32は、集光レンズ3
8を介して集光された後、処理すべき連続用紙39上に
結像スポットを形成する。
【0036】上述したように、反射鏡36aは、所望の
可変タイミングにしたがって往復回動する。したがっ
て、図中時計廻りに回転する反射鏡36aの作用によ
り、レーザービーム32は参照符号32aで示す位置か
ら参照符号32bで示す位置へ所定の走査面に沿って走
査され、その結果、連続用紙39上においても図中破線
で示す直線軌道40に沿って結像スポットが走査される
ことになる。すなわち、ガルバノメータースキャナー3
6および集光レンズ38は、結像スポットが連続用紙3
9上において直線軌道40に沿って等速度で移動するよ
うに構成されている。
【0037】一方、連続用紙39は、その長手方向(図
中矢印F2で示す)に沿って連続的に且つ等速度で搬送
される。図示を省略したが、連続用紙39の搬送手段と
して、無端ベルトコンベアなどを利用した周知の搬送ユ
ニットを用いることができる。なお、ガルバノメーター
スキャナー36の走査面と連続用紙39の表面との交差
線すなわち直線軌道40が連続用紙39の幅方向に対し
て斜めに設定され、その角度θが後述するように連続用
紙39の移動速度に応じて調整される。
【0038】この目的のため、第2ミラー35、ガルバ
ノメータースキャナー36および集光レンズ38は、ス
テージ41上に固定的に支持されている。なお、ステー
ジ41には、ガルバノメータースキャナー36の反射鏡
36aで反射されて集光レンズ38へ向かうレーザービ
ーム32を通過させるための切り欠き部41aが形成さ
れている。また、第2ミラー35へ入射するレーザービ
ーム32の中心軸線を中心としてステージ41を回転駆
動するための駆動手段として、たとえばサーボモータ4
2が設けられている。
【0039】こうして、サーボモータ42によりステー
ジ41を回転駆動すると、ガルバノメータースキャナー
36および集光レンズ38が一体的に回転駆動され、ひ
いてはガルバノメータースキャナー36の走査面が変化
する。その結果、直線軌道40と連続用紙39の幅方向
とがなす走査角度θが変化する。制御部37は、連続用
紙39の搬送手段から供給される移動速度情報に基づい
て、サーボモータ42によりステージ41を回転駆動
し、ひいてはガルバノメータースキャナー36による走
査角度θを制御する。こうして、連続用紙39の移動速
度に応じて走査角度θを適宜調整することにより、連続
用紙39の長手方向と正確に直交する方向に沿って横ミ
シン目が形成される。
【0040】以上のように、図5に示す実施形態では、
連続用紙39が移動する方向と交差する方向にレーザー
ビームが走査されるが、この実施形態に対しても図2に
示す方式と類似の方式にしたがって排煙処理機構を設け
ることができる。すなわち、簡素な構成例として、第1
吸引排出ダクト、第2吸引排出ダクトおよび吹出しノズ
ルを、走査軌道に対して平行に且つ固定的に設けること
ができる。また、排煙処理機構の具体的な構成について
は、これに限定されることなく、様々な変形例が可能で
ある。
【0041】なお、上述の各実施形態では、連続用紙に
レーザー加工を施しているが、これに限定されることな
く、他の適当なシートに対して本発明を適用することも
できる。また、上述の各実施形態では、連続用紙にミシ
ン目を形成しているが、これに限定されることなく、た
とえば切断などの他のレーザー加工に対して本発明を適
用することもできる。
【0042】
【発明の効果】以上説明したように、本発明では、レー
ザービームの照射により連続用紙のようなシートの加工
部分から煙が発生しても、その煙が集光レンズと連続用
紙との間の光路中にほとんど滞留しない。その結果、加
工部分から発生する煙によってレーザービームが実質的
に遮られることなく、且つこの煙の作用によって集光レ
ンズの表面が実質的に損なわれることなく、良好なレー
ザー加工を行うことができる
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態にかかるレーザー加工装置の
構成を概略的に示す斜視図である。
【図2】図1のレーザー加工装置に組み込まれた排煙処
理機構の構成を概略的に示す図である。
【図3】図2に対応する図であって、連続用紙に一対の
縦ミシン目を形成するレーザー加工装置に組み込まれた
排煙処理機構の構成を概略的に示す図である。
【図4】図3の実施形態に対応する図であって、装置の
要部構成をさらに具体的に説明する図である。
【図5】本発明を適用可能なレーザー加工装置の一例と
して、横ミシン目形成装置の構成を概略的に示す斜視図
である。
【図6】図4の吸引排出ダクトの内部に設けられたパイ
プの吸引力の均一化作用を説明する図である。
【符号の説明】
1,31 レーザー光源 2,32 レーザービーム 3,33 コリメータレンズ 4,34,35 ミラー 5,38 集光レンズ 6,39 連続用紙 7 縦ミシン目 11 ガイドローラー 12 導光ユニット 13 第1吸引排出ダクト 14,17 フィルター 15,18,20 配管 16 第2吸引排出ダクト 19 吹出しノズル 21 レンズホルダー 22 開口部 36 ガルバノメータースキャナー 37 制御部 39a 横ミシン目 40 結像スポットの直線軌道 41 ステージ 42 サーボモータ

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 所定方向に沿って連続的に移動するシー
    トにレーザービームを照射して加工するレーザー加工装
    置において、 レーザービームを供給するためのレーザー光源と、 前記レーザー光源から出力されたレーザービームを前記
    シート上へ導くための導光部と、 レーザービームの照射により前記シートの加工部分から
    発生する煙を吸引排出するための吸引排出手段とを備え
    ていることを特徴とするレーザー加工装置。
  2. 【請求項2】 前記吸引排出手段は、前記シートに対し
    て前記導光部と同じ側に配置されて前記シートの加工部
    分から発生する煙を吸引排出するための第1吸引排出部
    を有することを特徴とする請求項1に記載のレーザー加
    工装置。
  3. 【請求項3】 前記シートの加工部分から発生する煙を
    前記第1吸引排出部に向けるための空気を吹き出す空気
    吹出し手段をさらに備えていることを特徴とする請求項
    2に記載のレーザー加工装置。
  4. 【請求項4】 前記吸引排出手段は、前記シートに対し
    て前記導光部と反対側に配置されて前記シートの加工部
    分から発生する煙を吸引排出するための第2吸引排出部
    を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1
    項に記載のレーザー加工装置。
  5. 【請求項5】 前記第1吸引排出部および前記第2吸引
    排出部は、前記シートから発生する煙に含まれる微粒子
    を捕捉するためのフィルターを備えていることを特徴と
    する請求項4に記載のレーザー加工装置。
  6. 【請求項6】 前記シートに対して前記所定方向に沿っ
    たミシン目を形成するために、前記レーザー光源はレー
    ザービームをパルス発振することを特徴とする請求項1
    乃至5のいずれか1項に記載のレーザー加工装置。
  7. 【請求項7】 前記シートに対して前記所定方向と直交
    する方向に沿ったミシン目を形成するために、前記レー
    ザー光源はレーザービームをパルス発振し、 前記レーザー光源から出力されたレーザービームを所定
    の走査面に沿ってシート上において走査するための走査
    手段をさらに備えていることを特徴とする請求項1乃至
    5のいずれか1項に記載のレーザー加工装置。
  8. 【請求項8】 所定方向に沿って連続的に移動するシー
    トにレーザービームを照射して加工するレーザー加工方
    法において、 連続的に移動するシートに所要のテンションを作用させ
    ながら、レーザービームの照射によりシートの加工部分
    から発生する煙を吸引排出することを特徴とするレーザ
    ー加工方法。
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