JP2001256680A - 光ディスク用基板真空貼り合わせ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 真空中あるいは減圧雰囲気内でＤＶＤなどの
２枚基板貼り合せを行う場合、真空度による吸着力と重
力が等しくなったときにも、基板の落下及び脱落が無
く、気泡の混入が無く、光ディスク用基板の真空貼り合
わせを安定して円滑に行うことができる光ディスク用基
板真空貼り合わせ装置を提供する。 【解決手段】 基板６の中心孔６ａの周囲又は外周部を
把持する機械式チャック４０，４５ａにより、真空雰囲
気内でも、基板を落下することを防ぐことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、２枚の光ディスク
用基板を接着剤を介して真空中又は減圧雰囲気中で貼り
合わせて構成するＤＶＤ（Digital Versatile Disk）−
ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＡＭ、ＤＶＤ−Ｒなどの光ディスク
用基板の貼り合わせ装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図７に、公知ではないが、光ディスク用
基板の真空貼り合わせ装置として設計した試作案の装置
の断面を示す。

【０００３】図７において、光ディスク用の基板１０１
は、紫外線硬化接着剤などを前工程で塗布されたもので
あり、ある真空度の領域に保たれた、真空雰囲気中で、
真空吸着等の基板保持装置にて、ピストン１０６に固定
されており、基板１０２は、それに対して、定盤１０７
に、真空吸着、重力などで固定されている。

【０００４】基板１０１が載置されたピストン１０６
は、エアシリンダ１０４の推力にて、基板１０２に矢印
１１０の方向（下方）に下降して、基板１０１及び１０
２を密着させて貼り合わせを行う。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た構成においては、ピストン１０６及び定盤１０７に固
定されている基板１０１及び基板１０２は、真空吸引に
よる吸着にて真空雰囲気になる前に固定され、真空雰囲
気に達することで、真空源が同一の場合は、吸着強度と
真空圧が等しくなり、基板１０１は落下してしまう可能
性がある。

【０００６】また、このように、基板が落下してしまう
ため、真空雰囲気内で基板貼り合わせを行うことができ
ない結果、大気圧下で基板貼り合わせを行うと、図７に
示すように、基板１０１及び基板１０２間の接着剤１１
１層中には、２枚の基板が密着するときに気泡１１２が
取り残されてしまい、基板１０１，１０２間が平行であ
れば、気泡１１２は移動できず、そのまま接着剤１１１
中に残留することになり、気泡の混入により接着力もば
らつきが生じてしまい、強度が不安定であった。

【０００７】従って、本発明の目的は、上記問題を解決
することにあって、基板の落下及び脱落が無く、気泡の
混入が無く、光ディスク用基板の真空貼り合わせを安定
して円滑に行うことができる光ディスク用基板真空貼り
合わせ装置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は以下のように構成する。

【０００９】本発明の第１態様によれば、２枚の光ディ
スク用基板を真空中又は減圧雰囲気中で貼り合わせる装
置であって、上記２枚のうちの上側の基板を吸着保持す
る第１基板保持装置と、上記第１基板保持装置の上記基
板吸着保持動作とは独立して駆動され、かつ、上記第１
基板保持装置により上記上側の基板を保持するとき、上
記上側の基板の中心孔の周囲又は外周部を機械的に保持
する第２基板保持装置と、上記２枚のうちの下側の基板
を保持する第３基板保持装置と、上記第３基板保持装置
に保持された上記下側の基板に対して、上記第１基板保
持装置と上記第２基板保持装置とを一体的に接離させる
可動部とを備え、上記第１基板保持装置により上記上側
の基板を保持するとともに上記第２基板保持装置で上記
上側の基板の上記中心孔の周囲又は外周部を機械的に保
持した状態で、上記可動部により、上記第３基板保持装
置に保持された上記下側の基板に対して、上記第１基板
保持装置と上記第２基板保持装置とを一体的に接近させ
て、上記２枚の基板を接着剤を介して貼り合わせるよう
にしたことを特徴とする光ディスク用基板の真空貼り合
わせ装置を提供する。

【００１０】本発明の第２態様によれば、上記第２基板
保持装置は、上記上側の基板の上記中心孔に挿入可能で
かつ挿入後に外側向きに移動して上記中心孔の周囲を機
械的に把持することにより、上記上側の基板を保持する
把持部である第１の態様に記載の光ディスク用基板の真
空貼り合わせ装置を提供する。

【００１１】本発明の第３態様によれば、上記第２基板
保持装置は、上記上側の基板の上記外周部に、上記上側
の基板の径方向の内向きに押圧して上記外周部を機械的
に把持することにより、上記上側の基板を保持するチャ
ックである第１の態様に記載の光ディスク用基板の真空
貼り合わせ装置を提供する。

【００１２】本発明の第４態様によれば、上記第１基板
保持装置及び上記第３基板保持装置のうちの少なくとも
一方の基板保持装置の上記基板を保持する保持面が、保
持すべき基板の中心側で他方の基板に対して凸となる球
面、もしくは、上記保持すべき基板に対して対向する基
板に対して、上記保持すべき基板の中心から外側に向か
って遠ざかるような傾斜を持つテーパ形状であるように
した第１〜３のいずれか１つの態様に記載の光ディスク
用基板の真空貼り合わせ装置を提供する。

【００１３】本発明の第５態様によれば、上記可動部が
上記２枚の基板を上記接着剤を介して接触させた後に、
さらに加圧する加圧装置を備えるようにした第１〜４の
いずれか１つの態様に記載の光ディスク用基板の真空貼
り合わせ装置を提供する。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下に、本発明にかかる実施の形
態を図面に基づいて詳細に説明する。

【００１５】（第１実施形態）図１は、本発明の第１実
施形態による真空貼り合わせ装置を示す。

【００１６】まず、この真空貼り合わせ装置を説明する
前に、前段階までの工程について、図４〜図６を基に説
明する。

【００１７】図４では、接着剤塗布用基板保持装置の一
例としての吸着盤３０により吸着保持された基板６の上
面の中心部近傍に、接着剤塗布装置の一例としてのディ
スペンサー８より接着剤７を塗布する。このとき、基板
６がモータなどの回転駆動装置３１により面方向に低速
回転することにより、基板６の上面の中心部近傍に輪状
に接着剤７が塗布される。また、面方向に回転すると
は、基板６を基板６が大略水平状態に吸着盤３０により
吸着保持されたまま回転することを意味する。なお、こ
の回転駆動装置３１と吸着盤３０とにより、接着剤拡散
装置の一例を構成する。

【００１８】図５は、図４で基板６上に環状に接着剤７
が塗布された後、基板６を面方向に上記回転駆動装置３
１により接着剤塗布時の低速より速い高速で回転し、遠
心力を利用して、接着剤７を基板６の中心部を除く面全
体に広げる様子を示す。このときの高速回転数は、例え
ば、２０００ｒｐｍ〜８０００ｒｐｍの間で設定される
ことが多い。

【００１９】次いで、上記第１実施形態による真空貼り
合わせ装置を使用して、真空雰囲気内で上記２枚の基板
６，９を上記接着剤７を介して貼り合わせる。

【００２０】次いで、図１の上記真空貼り合わせ装置を
使用して、２枚の光ディスク用基板を真空中又は減圧雰
囲気中で貼り合わせる。

【００２１】上記真空貼り合わせ装置は、断面大略コ字
状の真空室下部１６と断面大略コ字状の真空室上蓋１７
とで真空室を形成可能となっている。真空室上蓋１７の
内部には、第１基板保持装置の一例としての上側基板受
け台１２を相対的に移動可能に収納するとともに、真空
室下部１６の内部には、第３基板保持装置の一例として
の下側基板受け台１６ａを上向きに突出させて真空室下
部１６と一体的に形成している。

【００２２】真空室上蓋１７の下端面にはＯリング１８
が配置されて、このＯリング１８が真空室下部１６の上
端面に密着させるようにしている。また、１９もＯリン
グであり、上側基板受け台１２の軸部１２ａと真空室上
蓋１７の貫通穴１７ａの内周面との間をシールするよう
にしている。

【００２３】下側基板受け台１６ａは、吸着回路１１を
有し、吸着回路１１を介して真空ポンプなどの吸着源１
４につながっている。これにより、吸着源１４が駆動さ
れると、吸着回路１１を介して、下側の基板９が下側基
板受け台１６ａ上に吸着で保持される。同様に、上側基
板受け台１２は、吸着回路１３を有し、吸着回路１３を
介して真空ポンプなどの吸着源１５につながっている。
これにより、吸着源１５が駆動されると、吸着回路１３
を介して、下側の基板９に貼り合わされかつ接着剤７を
有する上側の基板６が上側基板受け台１２上に吸着で保
持される。

【００２４】上側基板受け台１２の中央部には、第２基
板保持装置の一例としての上側基板中央部把持装置４５
を備えている。図６にも示すように、上側基板中央部把
持装置４５は、上側の基板６の上記中心孔６ａに挿入可
能でかつ挿入後に外側向きに移動して係止保持する把持
部４５ａを複数備えている。各把持部４５ａは外向きに
屈曲した先端部を有して、上側の基板６が把持部４５ａ
から脱落しにくいようにしている。図６（Ａ）は、把持
部４５ａを上側の基板６の上記中心孔６ａに挿入した状
態、図６（Ｂ）は、上記中心孔６ａに挿入された把持部
４５ａを外側向きに移動して上記中心孔６ａの周囲を係
止保持している状態を示す。

【００２５】上記接着剤７を有する基板６が上側の基板
６として上側基板受け台１２上に吸着で保持されると同
時に、上記複数の把持部４５ａが上側の基板６の上記中
心孔６ａ内に挿入される。その後、上側基板中央部把持
装置４５が駆動されて、上側の基板６の上記中心孔６ａ
内の上記複数の把持部４５ａが外側向きに移動して、上
側の基板６の上記中心孔６ａの周囲を外向きの付勢力を
付与し続けることにより機械的に把持している。なお、
後述する下側の基板９との貼り合わせのため、上記複数
の把持部４５ａは、上側の基板６の上記中心孔６ａから
下向きに若干突出していても、下側の基板９にも大略同
一径の中心孔があり、その中心孔内に上記複数の把持部
４５ａが入り込めるため、何ら支障は無い。

【００２６】このように、基板９，６が下側基板受け台
１６ａ及び上側基板受け台１２にそれぞれ保持されると
同時的に、上側の基板６の上記中心孔６ａの周囲を上記
把持部４５ａにより機械的に把持した後、移動装置の一
例としてのエアシリンダのピストンなどの可動部２１が
下降されて、真空室上蓋１７と上側基板受け台１２とが
最初は一体的に下降し、上側基板受け台１２に吸着保持
された上側の基板６が下側の基板９に向けて下降してい
く。下側基板受け台１６ａをその内部に有する真空室下
部１６の上端面に、上側基板受け台１２をその内部に収
納する真空室上蓋１７の下端面のＯリング１８が接触し
て密着することにより、真空室下部１６と真空室上蓋１
７とにより密室２６が形成される。このように、真空室
下部１６の上端面にＯリング１８が接触した時点より、
真空引き回路２３につながっている真空ポンプなどの真
空源２４で、上記密室２６の空間を真空雰囲気に保つよ
うに真空吸引する。このときは、まだ、接着剤７と下側
の基板９は接触していない。上記密室２６内が所定の真
空雰囲気に到達すると、可動部２１がさらに下降し、上
側の基板６の下面の接着剤７が下側の基板９に接触し、
その結果、基板６と基板９が接着剤７を介して貼り合わ
される。

【００２７】さらに、図１で基板６と基板９を貼り合わ
せるのに加圧が必要であれば、可動部２１を駆動するエ
アシリンダを加圧装置として機能させて、可動部２１を
さらに加工させて２枚の基板６，９を互いに接近させる
ように、さらに加圧することができる。実際は、面圧に
して１〜３０ｋｇで加圧設定することが多く、加圧の必
要の有無やその加圧力は基板６，９の形状によって左右
される。

【００２８】貼り合わせが完了した後、下側の基板９の
下側基板受け台１６ａによる吸着保持は維持したまま、
上側基板受け台１２側の吸着源１５による上側の基板６
の吸着保持を解除したのち、可動部２１を上昇させて、
まず、最初は、真空室上蓋１７は移動させずに上側基板
受け台１２のみを上昇させる。次いで、上側基板受け台
１２が真空室上蓋１７に接触すると、上側基板受け台１
２が真空室上蓋１７と一体的に上昇することにより、真
空室上蓋１７が真空室下部１６から離れて、真空室下部
１６の下側基板受け台１６ａ上に吸着保持された貼り合
わされた基板６，９を取り出すことができる。

【００２９】なお、逆に、上側の基板６の上側基板受け
台１２による吸着保持は維持したまま、下側基板受け台
１６ａ側の吸着源１４による下側の基板９の吸着保持を
解除することにより、貼り合わされた基板６，９が上側
基板受け台１２側に吸着保持されるようにしてもよい。

【００３０】上記第１実施形態によれば、上側の基板６
を吸着保持する上側基板受け台１２の中央部に、上側の
基板６の中心孔６ａを内側から外向きに把持部４５ａで
把持する機械式チャックである上側基板中央部把持装置
４５を備えているので、上側の基板６は真空吸着すると
同時にその中心孔６ａを内側から外向きに把持部４５ａ
で把持する機械式チャックとの両方の保持力により、上
側の基板６を保持することができる。よって、上側の基
板６と下側の基板９との貼り合わせを行う密室２６内が
真空雰囲気に達したとき、上側の基板６の吸着用の吸着
源１５と密室２６の真空源２４とがたとえ同一の場合で
あって吸着強度と真空圧が等しくなり上側の基板６に対
する吸着力が無くなっても、把持部４５ａで上側の基板
６を把持し続けることができる。従って、２枚の基板
６，９を徐々に近づけて密着させて貼り合わせる際に上
側の基板６の落下・脱落を確実に防止することができ
る。また、真空雰囲気又は減圧雰囲気内で安定して円滑
にかつ確実に２枚の基板６，９を貼り合わせることがで
きるため、気泡の混入していない良好な貼り合わせ状態
を得ることができる。また、上記可動部２１が上記２枚
の基板９，６を上記接着剤７を介して接触させた後に、
さらに加圧装置で加圧する場合には、上記可動部２１が
２枚の基板６，９を密着させた後に、上記加圧装置で加
圧して、貼り合わせ基板９，６間の接着剤７の層の厚み
及び膜厚分布をより安定により均一化させることができ
る。

【００３１】（第２実施形態）図２及び図９は、本発明
の第２実施形態による真空貼り合わせ装置であって、上
側の基板６の中心孔６ａの周囲を把持する代わりに、上
側の基板６の外周部を把持するものである。

【００３２】すなわち、上側基板受け台１２の中央部に
上側基板中央部把持装置４５を配置する代わりに、上側
基板受け台１２の外周部に、上側の基板６の外周部を把
持する機械式チャック４０を所定間隔で複数個配置す
る。上側の基板６の外周部を安定して把持するため、好
ましくは、等角度間隔で配置する。よって、各機械式チ
ャック４０は、エアシリンダなどの駆動部４０ａの駆動
により、上側の基板６の外周部において径方向沿いに内
外に移動可能で、上側の基板６の径方向の内向きに移動
することにより、上側の基板６の外周部を中心側に向け
て加圧するように付勢力を付与して、機械的に把持可能
とする。また、逆に、各機械式チャック４０は、エアシ
リンダなどの駆動部の駆動により、上側の基板６の径方
向の外向きに移動することにより、上側の基板６の外周
部に対する把持を解除する。すなわち、図９の実線は、
エアシリンダなどの駆動部４０ｂの駆動により機械式チ
ャック４０の把持部４０ａを上側の基板６の上記外周部
から外側に離した非係止状態、図９の二点鎖線は、エア
シリンダなどの駆動部４０ｂの駆動により機械式チャッ
ク４０の把持部４０ａを内側に移動させて上側の基板６
の上記外周部に係止した状態を示す。この各機械式チャ
ック４０は、第１実施形態の把持部４５ａと同様な機能
を奏することができる。

【００３３】上記第２実施形態によれば、上側の基板６
を吸着保持する上側基板受け台１２の外周部に、上側の
基板６の外周部を内向きに機械式チャック４０で把持す
るようにしているので、上側の基板６は真空吸着すると
同時にその外周部を内向きに機械式チャック４０で把持
するといった両方の保持力により、上側の基板６を保持
することができる。よって、上側の基板６と下側の基板
９との貼り合わせを行う密室２６内が真空雰囲気に達し
たとき、上側の基板６の吸着用の吸着源１５と密室２６
の真空源２４とがたとえ同一の場合であって吸着強度と
真空圧が等しくなり上側の基板６に対する吸着力が無く
なっても、機械式チャック４０で上側の基板６を把持し
続けることができる。従って、２枚の基板６，９を徐々
に近づけて密着させて貼り合わせる際に上側の基板６の
落下・脱落を確実に防止することができる。また、真空
雰囲気又は減圧雰囲気内で安定して円滑にかつ確実に２
枚の基板６，９を貼り合わせることができるため、気泡
の混入していない良好な貼り合わせ状態を得ることがで
きる。

【００３４】（第３実施形態）図３は、本発明の第３実
施形態による真空貼り合わせ装置であって、上側の基板
６の中心孔６ａの周囲又は外周部を把持する代わりに、
上側の基板６の上側基板受け台１２の上記基板６を保持
する保持面１２ｂが、保持すべき上側の基板６の中心側
で下側の基板９に対して凸となる半球面に形成されてい
る。

【００３５】このような半球面状の保持面１２ｂに上側
の基板６を吸着保時させて、第１実施形態において記載
したように、真空雰囲気下で、半球面状の保持面１２ｂ
に吸着保持された上側の基板６を、下側の基板９に接着
剤７を介して貼り合わせるようにする。

【００３６】上記第３実施形態によれば、基板９の保持
面１２ｂを半球面状にすることにより、基板９を半球面
状の保持面１２ｂに密着させるとき、基板９の形状を保
持面１２ｂに倣わせて中央部から外周部に向うに従い上
方に向うような傾斜（例えば、保持面１２ｂの直径が１
２０ｍｍのとき中央部と外周部との高低差が１０ｍｍ程
度となるような傾斜）を与えることで、基板６，９間の
接着剤１１中に挟み込まれた気泡が内周側から徐々に追
い出して外周側に移動しやすくすることにより、貼り合
わせ基板間に残る気泡を減少させることができ、気泡の
少ない高品質の光ディスクを製造することができる。

【００３７】なお、本発明は上記実施形態に限定される
ものではなく、その他種々の態様で実施できる。

【００３８】例えば、第１実施形態及び第２実施形態に
示した機械式チャックとしての上側基板中央部把持装置
４５又は機械式チャック４０と同様な装置を下側基板受
け台１６ａに配置して、下側の基板９に対しても基板保
持装置として基板保持させるようにしてもよい。

【００３９】また、各実施形態において、下側の基板９
は、固定定盤である下側基板受け台１６ａ上で、真空吸
着の代わりに、重力により固定させるようにしてもよ
い。

【００４０】また、第３実施形態に示した半球面状の保
持面１２ｂを第１実施形態又は第２実施形態に組み合わ
せるようにしてもよい。

【００４１】また、第３実施形態に示した半球面状の保
持面１２ｂに対向する下側基板受け台１６ａにおいて、
保持面１２ｂの半球面状に対して、凹凸関係が逆転する
ような、凹んだ半球面形状を有するようにして、上下の
基板６，９を半球面状の保持面１２ｂと凹んだ半球面状
保持面の下側基板受け台１６ａとの間に挟み込むように
してもよい。

【００４２】また、第３実施形態及び上記変形例におい
て、半球面状の保持面１２ｂに代えて、上記保持すべき
基板６に対して対向する基板９に対して、上記保持すべ
き基板６の中心から外側に向かって遠ざかるような傾斜
を持つテーパ形状を有する保持面としても、同様な作用
効果を奏することができる。

【００４３】以上の各実施形態において、可動部２１を
駆動するエアシリンダは、他の直動機構でも良く、２枚
の基板６，９が密着後、さらに加圧できる加圧装置とし
て機能させることができるものがよい。

【００４４】なお、上記様々な実施形態のうちの任意の
実施形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有
する効果を奏するようにすることができる。

【００４５】

【発明の効果】本発明によれば、２枚の基板が真空内で
貼り合わせを行う場合に、上記第１基板保持装置により
上記上側の基板を保持するとき、上記上側の基板の中心
孔の周囲又は外周部を第２基板保持装置により機械的に
保持することにより、基板の落下・脱落に伴う完成基板
のズレを防止することができる。よって、真空雰囲気又
は減圧雰囲気中で基板貼り合わせを行うことができるた
め、２枚の基板間の接着剤に発生する気泡を極力少なく
することができて、高品質の光ディスクを生産すること
ができる。

【００４６】また、上記第１基板保持装置及び上記第３
基板保持装置のうちの少なくとも一方の基板保持装置の
上記基板を保持する保持面が、保持すべき基板の中心側
で他方の基板に対して凸となる球面、もしくは、上記保
持すべき基板に対して対向する基板に対して、上記保持
すべき基板の中心から外側に向かって遠ざかるような傾
斜を持つテーパ形状とする場合には、基板貼り合わせの
とき、基板の形状を上記保持面に倣わせることで、基板
間に挟み込まれた気泡が内周側から徐々に追い出して外
周側に移動しやすくすることにより、貼り合わせ基板間
に残る気泡を減少させることができ、接着剤中に気泡の
少ない貼り合わせ基板による光ディスクを製造すること
ができる。

【００４７】また、上記可動部が上記２枚の基板を上記
接着剤を介して接触させた後に、さらに加圧する加圧装
置を備える場合には、上記可動部が２枚の基板を密着さ
せた後に、上記加圧装置で加圧して、貼り合わせ基板間
の接着剤の層の厚み及び膜厚分布をより安定により均一
化させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１実施形態にかかる光ディスク用
基板真空貼り合わせ装置の構成を示す図である。

【図２】 本発明の第２実施形態にかかる光ディスク用
基板の真空貼り合わせ装置の構成を示す図である。な
お、この図では、理解しやすくするため、接着剤の部分
を断面図として示している。

【図３】 本発明の第３実施形態にかかる光ディスク用
基板の真空貼り合わせ装置の構成を示す図である。な
お、この図では、理解しやすくするため、接着剤の部分
を断面図として示している。

【図４】 本発明の一実施形態にかかる基板の真空貼り
合わせ方法及び装置において、接着剤を塗布する状態を
示す側面図である。なお、この図では、理解しやすくす
るため、接着剤の部分を断面図として示している。

【図５】 上記実施形態にかかる基板の真空貼り合わせ
方法及び装置において、接着剤を基板全面に広げる状態
を示す側面図である。なお、この図では、理解しやすく
するため、接着剤の部分を断面図として示している。

【図６】 （Ａ），（Ｂ）はそれぞれ上記第１実施形態
にかかる基板の真空貼り合わせ方法及び装置の上側基板
中央部把持装置の上側基板中央部非係止状態及び上側基
板中央部係止状態の一部断面側面図である。なお、この
図では、理解しやすくするため、接着剤の部分を省略し
て示している。

【図７】 試作案の光ディスク用基板の真空貼り合わせ
装置の構成を示す図である。

【図８】 試作案の光ディスク用基板の貼り合わせ時の
気泡の残留過程を示す図である。

【図９】 上記第２実施形態にかかる基板の真空貼り合
わせ方法及び装置の上側基板中央部把持装置の上側基板
中央部非係止状態及び上側基板中央部係止状態の一部断
面側面図である。なお、この図では、理解しやすくする
ため、接着剤の部分を省略して示している。

【符号の説明】

６，９…基板、６ａ…中心孔、７…接着剤、８…ディス
ペンサー、１０…下側基板受け台、１１…吸着回路、１
２…上側基板受け台、１２ａ…軸部、１２ｂ…保持面、
１３…吸着回路、１４，１５…吸着源、１６…真空室下
部、１７…真空室上蓋、１７ａ…貫通穴、１８，１９…
Ｏリング、２１…可動部、２３…真空引き回路、２４…
真空源、２６…密室、３０…吸着盤、３１…回転駆動装
置、４０…機械式チャック、４０ａ…把持部、４０ｂ…
駆動部、４５…上側基板中央部把持装置、４５ａ…把持
部。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ２枚の光ディスク用基板を真空中又は減
   圧雰囲気中で貼り合わせる装置であって、 上記２枚のうちの上側の基板を吸着保持する第１基板保
   持装置と、 上記第１基板保持装置の上記基板吸着保持動作とは独立
   して駆動され、かつ、上記第１基板保持装置により上記
   上側の基板を保持するとき、上記上側の基板の中心孔の
   周囲又は外周部を機械的に保持する第２基板保持装置
   と、 上記２枚のうちの下側の基板を保持する第３基板保持装
   置と、 上記第３基板保持装置に保持された上記下側の基板に対
   して、上記第１基板保持装置と上記第２基板保持装置と
   を一体的に接離させる可動部とを備え、 上記第１基板保持装置により上記上側の基板を保持する
   とともに上記第２基板保持装置で上記上側の基板の上記
   中心孔の周囲又は外周部を機械的に保持した状態で、上
   記可動部により、上記第３基板保持装置に保持された上
   記下側の基板に対して、上記第１基板保持装置と上記第
   ２基板保持装置とを一体的に接近させて、上記２枚の基
   板を接着剤を介して貼り合わせるようにしたことを特徴
   とする光ディスク用基板の真空貼り合わせ装置。
2. 【請求項２】 上記第２基板保持装置は、上記上側の基
   板の上記中心孔に挿入可能でかつ挿入後に外側向きに移
   動して上記中心孔の周囲を機械的に把持することによ
   り、上記上側の基板を保持する把持部である請求項１に
   記載の光ディスク用基板の真空貼り合わせ装置。
3. 【請求項３】 上記第２基板保持装置は、上記上側の基
   板の上記外周部に、上記上側の基板の径方向の内向きに
   押圧して上記外周部を機械的に把持することにより、上
   記上側の基板を保持するチャックである請求項１に記載
   の光ディスク用基板の真空貼り合わせ装置。
4. 【請求項４】 上記第１基板保持装置及び上記第３基板
   保持装置のうちの少なくとも一方の基板保持装置の上記
   基板を保持する保持面が、保持すべき基板の中心側で他
   方の基板に対して凸となる球面、もしくは、上記保持す
   べき基板に対して対向する基板に対して、上記保持すべ
   き基板の中心から外側に向かって遠ざかるような傾斜を
   持つテーパ形状であるようにした請求項１〜３のいずれ
   か１つに記載の光ディスク用基板の真空貼り合わせ装
   置。
5. 【請求項５】 上記可動部が上記２枚の基板を上記接着
   剤を介して接触させた後に、さらに加圧する加圧装置を
   備えるようにした請求項１〜４のいずれか１つに記載の
   光ディスク用基板の真空貼り合わせ装置。