JP2001249715A - 生産スケジューリングシステム及び半導体装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 過剰投入の防止による不要不急仕掛の発生を
防止し、過小投入の早期発見による納期遅延を予防し、
時差のある生産拠点の生産を折込んだスケジューリング
を可能とし、スケジューリングの開始を任意の時間で可
能にする。 【解決手段】 上位システム１０００の生産スケジュー
リング装置６０が、下位システム２００の生産拠点、営
業拠点等が管理する基本情報を受け取ってスケジューリ
ング計画を作成するシステムにおいて、下位システム２
００からの基本情報（製品に関する情報，仕掛に関する
情報，受注に関する情報）を格納する基本情報格納部１
０と、下位システム２００からの変動情報を格納する更
新情報格納部２０と、基本情報と更新情報とを比較しあ
らかじめ定められた更新ルールに基いて基本情報の更新
を行う比較更新部と、更新済み情報に基いて生産必要数
・生産必要拠点・生産必要日を算出する生産スケジュー
ル装置６０を備えた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、工程手順および
処理時間等が異なる複数の生産品目（例えば半導体装
置）を複数の生産拠点にて製造を行う場合の生産スケジ
ューリングシステムに関するものであり、特に、上位シ
ステムの生産スケジューリング装置が下位システムの生
産拠点、営業拠点等から基本情報を受け取って効率の良
いスケジューリング計画を作成するものである。

【０００２】

【従来の技術】工程手順および処理時間等が異なる複数
の生産品目、例えば半導体装置を複数の生産拠点にて生
産を行う場合、上位システムに配設された生産スケジュ
ーリング装置が、下位システムに配設された生産拠点、
営業拠点等から基本情報を受け取って、スケジューリン
グ計画を作成する生産スケジューリングシステムが存在
する。

【０００３】図１０はこの種の生産スケジューリングシ
ステムの全体構成を示すブロック図である。図におい
て、下位システム２００では、複数の生産拠点Ａ，Ｂ，
・・・において各々製造を統括する工場コンピュータＡ，
Ｂ，・・・が稼働し、営業拠点Ｚにおいて営業情報を統括
する営業コンピュータＺが稼働している。工場コンピュ
ータＡ，Ｂ，・・・は、製品に関する情報及び仕掛に関す
る情報を格納した基本情報Ａ，Ｂ，・・・を備えており、
営業コンピュータＺは受注に関する情報を格納した基本
情報Ｚを備えている。

【０００４】上位システム１００には、下位システム２
００から送られてくる基本情報を格納する基本情報格納
部１と、基本情報格納部１に格納された基本情報に基づ
いて、製品の生産必要数、生産に際して必要な生産拠
点、生産必要日等の生産スケジューリングを作成する生
産スケジューリング装置２が配設されている。

【０００５】そして、上記システムにおいて、生産スケ
ジューリング装置２で生産スケジューリングを実施する
ための基本情報（製品に関する情報、仕掛に関する情
報、受注に関する情報）は、それぞれの情報を管理して
いる下位システムのコンピュータの集計処理の結果をそ
のまま使用している。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記生産スケジューリ
ングシステムにおいては、下位システムからの基本情報
をそのままスケジューリングに使用していたので、各シ
ステム間の情報に不整合が発生した場合に、異常なスケ
ジューリング結果を発生させていた。すなわち、仕掛の
欠落、製品構成情報（後述）の登録モレ等の原因によ
り、過剰な投入指示が発生したり、仕掛の重複、製品構
成情報の削除モレ等の原因により過小な投入指示が発生
していた。

【０００７】また、時差のある生産拠点（たとえば海外
生産場所）との間で、製品の移動が発生した場合は、各
システム間の基本情報の同期が保証されず、仕掛の欠落
・重複等の問題が発生する場合があり、基本情報をその
ままスケジューリングに使用することができなかったた
め、時差のある生産拠点の生産を折込んだスケジューリ
ングは不可能であった。

【０００８】更に、生産スケジューリングの結果は、定
期的、例えば毎朝（１回／１日）、各生産拠点へ提供し
ているが、各システムの基本情報の同期をとって、生産
スケジューリングを開始するために、どれかのシステム
からの基本情報が遅れた場合、各生産拠点へのデータ提
供時間が守れない場合がある。

【０００９】この発明は、上記のような問題点を解消す
るためになされたものであり、各システム間の情報の不
整合の発生を防止することを課題とし、過剰投入の防止
による不要不急仕掛の発生を防止し、過小投入の早期発
見による納期遅延を予防し、時差のある生産拠点の生産
を折込んだスケジューリングを可能とし、スケジューリ
ングの開始を任意の時間で可能にすることを目的とす
る。

【００１０】

【課題を解決するための手段】この発明による生産スケ
ジューリングシステムは、上位システムの生産スケジュ
ーリング装置が、下位システムの生産拠点、営業拠点等
が管理する基本情報を受け取ってスケジューリング計画
を作成するシステムにおいて、下位システムから送信さ
れる基本情報（製品に関する情報；生産品目名称、生産
品目毎の工程手順、生産品目間の構成に関連する情報で
ある製品構成情報，仕掛に関する情報；ロット毎の基準
日程に対応した仕掛情報，受注に関する情報；オーダ別
の品種・数量・納期に関する情報）の入力を受け付けて
格納する基本情報格納部と、基本情報を管理する下位シ
ステムからの変動情報（新規ロット発生、ロット完了、
新規受注、新規出荷等）を受け付けて格納する更新情報
格納部と、あらかじめ定められた更新ルールを格納する
更新ルール格納部と、基本情報格納部に格納された基本
情報（製品に関する情報・仕掛に関する情報・受注に関
する情報）と、更新情報格納部に格納された下位システ
ムの更新情報を比較し、更新ルール格納部に格納された
更新ルールに基いて、基本情報の更新を行う比較更新部
と、比較更新部により更新された更新済み情報を格納す
る更新済み基本情報格納部と、更新済み基本情報格納部
に格納された更新済み情報に基いて、あらかじめ設定さ
れた工程毎の生産必要数・生産必要拠点・生産必要日を
算出する生産スケジュール装置を備えたことを特徴とす
る。

【００１１】また、比較更新部により更新された基本情
報と、基本情報を管理する下位システムからの最新基本
情報を比較し、更新ルールの確認を促すメッセージを出
力するアラーム部を備えたことを特徴とする。

【００１２】更に、上記生産スケジューリングシステム
を使用して半導体装置を製造することを特徴とする。

【００１３】

【発明の実施の形態】実施の形態１．図１はこの発明の
実施の形態１による生産スケジューリングシステムの全
体構成を示すブロック図である。このようなシステムに
おいて、工程手順および処理時間等が異なる複数の生産
品目、例えば半導体装置の製造を行う場合、上位システ
ム１０００に配設された生産スケジューリング装置６０
が、下位システム２００に配設された生産拠点Ａ，Ｂ，
・・・、営業拠点Ｚから基本情報Ａ，Ｂ，・・・、Ｚを受け取
って、上位概念であるスケジューリング計画（製品の生
産必要数、生産に際して必要な生産拠点、生産必要日
等）を作成する。なお、下位システム２００の生産拠点
Ａ，Ｂ，・・・では、各工場コンピュータＡ，Ｂ，・・・が下
位概念であるスケジューリング計画（工場単位の詳細な
計画；ロット進捗、停止、加工処理条件等）を作成し実
行している。

【００１４】図１のシステムを詳細に説明すると、下位
システム２００には、生産拠点Ａ（国内）、生産拠点Ｂ
（海外）、・・・においてそれぞれ製品の製造を統括する
工場コンピュータＡ，Ｂ，・・・が稼働しており、営業拠
点Ｚにおいて営業情報を統括する営業コンピュータＺが
稼働している。各工場コンピュータＡ，Ｂ，・・・は、製
品に関する情報及び仕掛に関する情報を格納した基本情
報Ａ，Ｂ，・・・を備えており、営業コンピュータＺは受
注に関する情報を格納した基本情報Ｚを備えている。

【００１５】上位システム１０００には、下位システム
２００から送られてくる基本情報、更新情報、更新ルー
ルに基づいて、上位概念であるスケジューリング計画
（製品の生産必要数、生産に際して必要な生産拠点、生
産必要日等）を作成する生産スケジューリング装置６０
が配設されている。

【００１６】図２は実施の形態１による上位システムの
詳細構成を示すブロック図である。図において、上位シ
ステム１０００には、基本情報（製品に関する情報、仕
掛に関する情報、受注に関する情報）を受け付けて格納
する基本情報格納部１０と、下位システムからの変動情
報を受け付けて格納する更新情報格納部２０と、あらか
じめ定められた更新ルールを格納する更新ルール格納部
３０と、基本情報格納部１０に格納している基本情報と
更新情報格納部２０に格納している更新情報を比較し、
更新ルールに基いて基本情報の更新を行う比較更新部４
０と、更新済み情報を格納する更新済み基本情報格納部
５０と、更新された基本情報に基いて、上位概念である
スケジューリング計画を作成する生産スケジューリング
装置６０が配設されている。

【００１７】基本情報格納部１０は、下位システム２０
０の生産拠点Ａ，Ｂ，・・・，並びに営業拠点Ｚから送信
される基本情報Ａ，Ｂ，・・・，Ｚを受け付けて格納する
ためのものであり、基本情報には、製品に関する情報、
仕掛に関する情報、受注に関する情報が含まれる。

【００１８】ここで、製品に関する情報としては、生産
品目名称（型名）、生産品目毎の工程手順、生産品目間
の構成に関連する情報を表わす製品構成情報等がある。
図３は生産品目（型名）毎の工程手順を表わした図であ
る。例えば、生産品目名称（型名）が「Ｍ３８−１１
２」は、第１工程としてウエハ処理工程Ａ１、第２工程
としてウエハテスト工程Ｂ１、第３工程としてアセンブ
リ工程Ｃ１、第４工程として製品テスト工程Ｄ１が規定
されており、生産品目名称（型名）が「Ｓ３８−１１１
２」の場合は、第１工程としてウエハ処理工程Ａ２、第
２工程としてウエハテスト工程Ｂ２、第３工程としてア
センブリ工程Ｃ２、第４工程として製品テスト工程Ｄ２
が規定されている。

【００１９】製品構成情報は、製品の生産工程において
生産品目名称（型名）が変化していくことに対応するも
のであり、生産品目名称間の構成を関連づけるための情
報である。図４は生産品目（型名）及び工程と製品構成
情報の関係を示す図である。図において、ウエハ処理工
程、ウエハテスト工程、アセンブリ工程、製品テスト工
程を通して、生産品目（型名）が例えば「Ｌ３８−１１
２」→「Ｃ３８−１１２」→「Ｍ３８−１１２」に変化
する。したがって、図４の上段に示すトリー図を製品構
成情報として保存しておけば、生産品目名称間の関連が
わかる。

【００２０】仕掛に関する情報として、ロット毎の基準
日程に対応したロット仕掛情報がある。ロットは同一処
理条件で処理される製品の集合体であり、このロット単
位でスケジューリング計画が作成され加工処理される。
図５はロット仕掛情報の例を示す図であり、生産品目
（型名）が「Ｃ３８−１１２」のロットＮＯ．１１１１
について、所定の工程に対する投入日、完了日、投入
数、完了数を表わしている。

【００２１】受注に関する情報は、営業拠点Ｚのコンピ
ュータにより集計される情報であり、図６に示すよう
に、オーダーされた生産品目（型名）、オーダーされた
数量、納期に関する情報を含む。

【００２２】更新情報格納部２０は、基本情報Ａ，Ｂ，
・・・を管理する下位システム２００からの変動情報（新
規ロット発生、ロット完了、新規受注、新規出荷等）を
受け付けて格納するためのものである。

【００２３】図７は変動情報としての新規ロット発生及
びロット完了の情報を説明するための工程フロー図であ
る。図７において、所定のロット（同一加工処理条件で
処理される集合体）は、ウエハ処理工程→ウエハテスト
工程→アセンブリ工程→製品テスト工程の順に送られ、
ウエハ処理工程は生産拠点Ｍにおいて加工処理され、ウ
エハテスト工程は生産拠点Ｎにおいて検査されるものと
する。この時、生産拠点Ｍ（ウエハ処理工程）において
ロットの加工処理が完了すると、生産拠点Ｎ（ウエハテ
スト工程）において新規のロットが発生する。ここで、
それぞれの生産拠点Ｍ、Ｎは、上記のロット完了の情報
及び新規ロット発生の情報を変動情報として上位システ
ム１０００の更新情報格納部２０に送信して格納する。
なお、新規受注等の変動情報は、営業拠点Ｚから上位シ
ステム１０００の更新情報格納部２０に送信して格納す
る。

【００２４】従来のシステムにおいては、下位システム
から上位システムへの基本情報の送信は同期をとって行
い、上位システムの生産スケジューリング装置はそれら
の基本情報を基に生産スケジューリングを開始してい
た。そのため、どれかのシステムからの基本情報が遅れ
た場合、仕掛の欠落等の原因により、過剰な投入指示が
発生したり、仕掛の重複等の原因により過小な投入指示
が発生していた。すなわち、図７において、生産拠点Ｍ
（ウエハ処理工程）においてロットの加工処理が完了
し、生産拠点Ｎ（ウエハテスト工程）において新規のロ
ットが発生しても、従来のシステムでは、前回同期して
送信された基本情報に基づきスケジューリング計画を作
成するので、ロットに関するデータがシステムにおいて
突然消失したり、または出現したりすることとなり、ロ
ットに関するデータの不整合が生じてしまう。これは、
営業情報として新規の受注が発生した場合も同様であ
る。そこで、本実施の形態では、基本情報Ａ，Ｂ，・・・
Ｚを管理する下位システム２００からの変動情報（新規
ロット発生、ロット完了、新規受注、新規出荷等）を一
定頻度のサイクルで送信して、更新情報格納部２０に格
納しておく。

【００２５】更新ルール格納部３０は、下位システム２
００の各生産拠点等においてあらかじめ定められた更新
ルールを格納するためのものである。複数の生産品目を
複数の生産拠点において生産を行うに当って、ロット単
位でスケジューリング計画が作成され加工処理されるの
であるが、このロットの識別番号（ロットＮＯ）を各シ
ステム間の共通のルールとすればデータの整合性はとれ
る。しかしながら、図８に示すように、ある工程（図８
ではウエハ処理工程）において、特定のロットを研究・
開発のために外部に取り出すことがあり、またある工程
（図８ではウエハテスト工程）において、複数のロット
を一つのロットに統合したり、逆に一つのロットを複数
のロットに分割する場合がある。それらの場合、生産拠
点（Ｍ，Ｎ）ではロットの識別番号をその都度変更すれ
ばデータの整合性がとれるが、上位システムにおいて
は、ロット識別番号の整合性がとれない。従って、この
実施の形態では、研究・開発のためのロットの取り出
し、ロットの統合、並びにロットの分割によるロット識
別番号の変更等を、変更ルールとしてそれぞれ下位シス
テム２００の生産拠点等から上位システムの更新ルール
格納部３０に一定頻度のサイクルで送信して格納するこ
とにする。

【００２６】比較更新部４０は、基本情報格納部１０に
格納された基本情報（製品に関する情報・仕掛に関する
情報・受注に関する情報）と更新情報格納部２０に格納
された更新情報とを比較し、更新ルール格納部３０に格
納された更新ルールに基いて、基本情報（製品に関する
情報・仕掛に関する情報・受注に関する情報）の更新を
行う。

【００２７】更新済み基本情報格納部５０は、比較更新
部４０により更新された基本情報（製品に関する情報・
仕掛に関する情報・受注に関する情報）を格納する。

【００２８】生産スケジューリング装置６０は、更新済
み基本情報格納部５０に格納された更新済み基本情報に
基いて、上位概念であるスケジューリング計画（あらか
じめ設定された工程毎の生産必要数・生産必要拠点・生
産必要日）を作成する。

【００２９】次に、実施の形態１による生産スケジュー
リングシステムの作用及び効果について説明する。

【００３０】従来のように下位システムからの基本情報
をそのまま上位システムの生産スケジューリング装置の
スケジューリングに使用するのではなく、下位システム
の更新ルールと更新情報に基いて前回の基本情報を更新
するために、仕掛の欠落等の致命的なエラーの発生が防
止でき、過剰投入の発生を防止できる。

【００３１】また、下位システムからの基本情報をその
まま上位システムの生産スケジューリング装置のスケジ
ューリングに使用するのではなく、下位システムの更新
ルールと更新情報に基いて前回の基本情報を更新するた
めに、仕掛の重複等のエラーの発見が早期に検知でき、
過小投入の早期発見ができる。

【００３２】更に、実施の形態１によれば、時差のある
生産拠点の生産を折込んだスケジューリングが可能とな
る。すなわち、時差のある生産拠点（たとえば海外生産
拠点）との間で、製品の移動が発生した場合は、従来の
基本情報では、各システム間の基本情報の同期が保証さ
れず、仕掛の欠落・重複等の問題が発生する場合があ
り、基本情報をそのままスケジューリングに使用するこ
とができなかったため、時差のある生産拠点の生産を折
込んだスケジューリングは、不可能であった。これに対
して本実施の形態によれば、スケジューリングに使用す
る基本情報は常に各システム間でその整合性が確保さ
れ、仕掛の欠落・重複等の問題が発生しないため、スケ
ジューリングが可能となる。

【００３３】また、実施の形態１によれば、生産スケジ
ューリング装置によるスケジューリング開始を任意の時
間で開始が可能となる。従来、生産スケジューリングの
結果は、定期的に、例えば毎朝（１回／１日）、各製造
部門へ提供しているが、下位システムの基本情報の同期
をとって、生産スケジューリングを開始するために、ど
れかのシステムからの基本情報が遅れた場合、各製造部
門へのデータ提供時間が守れない場合がある。これに対
して、本実施の形態の更新情報の送信サイクルを多頻度
化することにより、各システムの集計時間に依存しない
で、スケジューリングをスタートすることができ、各製
造部門へのデータ提供時間を保証することが可能にな
る。

【００３４】特に、工程手順および処理時間が異なる複
数の生産品目を複数の生産拠点にて生産することの多い
半導体装置の製造工程に本実施の形態の生産スケジュー
リングシステムを適用することにより、仕掛の欠落等に
よる過剰投入の発生、及び仕掛の重複等による過小投入
の発生を有効に防止し、上位・下位システム間の整合性
が確保できる効果がある。

【００３５】実施の形態２．実施の形態２は、実施の形
態１に加え、更新ルールに基づいて更新された更新済み
基本情報と、基本情報を管理する下位システムからの最
新基本情報とを比較し、更新ルールの確認を促すメッセ
ージを出力するようにしたものである。

【００３６】図９はこの発明の実施の形態２による生産
スケジューリングシステムの全体構成を示すブロック図
である。図において、最新基本情報格納部７０は、基本
情報を管理する下位システム２００からの最新基本情報
を格納するものであり、アラーム部８０は、更新済み基
本情報に格納された更新基本情報と上記最新基本情報格
納部に格納された最新基本情報とを比較し、更新ルール
の確認を促すメッセージを出力するためのものである。
その他の構成は図２と同様である。

【００３７】実施の形態２によれば、更新済み基本情報
と最新基本情報とを比較して更新ルールの確認を促すメ
ッセージを出力するようにしたので、作業者は最新の更
新ルールを作成することができる。

【００３８】

【発明の効果】以上のように、この発明によれば、過剰
投入の発生防止により不要・不急仕掛の発生を防止する
ことができる。すなわち、下位システムからの基本情報
をそのままスケジューリングに使用するのではなく、下
位システムの更新ルールと更新情報に基いて前回の基本
情報を更新するために、仕掛の欠落等の致命的なエラー
の発生が防止でき、過剰投入の発生を防止できる。

【００３９】また、過小投入の早期発見により納期遅延
を予防することができる。すなわち、下位システムから
の基本情報をそのままスケジューリングに使用するので
はなく、下位システムの更新ルールと更新情報に基いて
前回の基本情報を更新するために、仕掛の重複等のエラ
ーの発見が早期に検知でき、過小投入の早期発見ができ
る。

【００４０】更に、時差のある生産拠点の生産を折込ん
だスケジューリングが可能となる。すなわち、時差のあ
る生産拠点（たとえば海外生産場所）との間で、製品の
移動が発生した場合は、従来では、各システム間の基本
情報の同期が保証されず、仕掛の欠落・重複等の問題が
発生する場合があり、基本情報をそのままスケジューリ
ングに使用することができなかったため、時差のある生
産拠点の生産を折込んだスケジューリングは、不可能で
あった。これに対して、本発明においては、スケジュー
リングに使用する基本情報は、常に各システム間の整合
を確保しており、仕掛の欠落・重複等の問題が発生しな
いため、スケジューリングが可能となる。

【００４１】また、生産スケジューリング装置によるス
ケジューリング開始を任意の時間で開始が可能となる。
生産スケジューリングの結果は、定期的に、例えば毎朝
（１回／１日）、各生産拠点の製造部門へ提供している
が、各システムの基本情報の同期をとって、生産スケジ
ューリングを開始するために、どれかのシステムからの
基本情報が遅れた場合、各製造部門へのデータ提供時間
が守れない場合がある。これに対して、本発明の更新情
報の送信サイクルを多頻度化することにより、各システ
ムの集計時間に依存しないで、スケジューリングをスタ
ートすることができ、各製造部門へのデータ提供時間を
保証することが可能になる。

【００４２】更に、この発明の生産スケジューリングシ
ステムを、工程手順および処理時間が異なる複数の生産
品目を複数の生産拠点にて生産することの多い半導体装
置の製造工程に適用することにより、仕掛の欠落等によ
る過剰投入の発生、及び仕掛の重複等による過小投入の
発生を有効に防止し、システム間の整合性が確保でき、
また時差のある生産拠点の生産を折込んだスケジューリ
ングを可能とし、スケジューリングの開始を任意の時間
で可能にする効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】 実施の形態１による生産スケジューリングシ
ステムの全体構成を示すブロック図である。

【図２】 実施の形態１による上位システムの詳細構成
を示すブロック図である。

【図３】 実施の形態１による生産品目（型名）毎の工
程手順を表わした図である。

【図４】 実施の形態１による生産品目（型名）及び工
程と製品構成情報の関係を示す図である。

【図５】 実施の形態１による仕掛に関する情報を示す
図である。

【図６】 実施の形態１による受注に関する情報を示す
図である。

【図７】 実施の形態１による変動情報を説明するため
の工程フロー図である。

【図８】 実施の形態１による更新ルールを説明するた
めの工程フロー図である。

【図９】 実施の形態２による上位システムの詳細構成
を示すブロック図である。

【図１０】 従来の生産スケジューリングシステムの全
体構成を示すブロック図である。

【符号の説明】

１０ 基本情報格納部、２０ 更新情報格納部、３０
更新ルール格納部、４０ 比較更新部、５０ 更新済み
基本情報格納部、６０ 生産スケジューリング装置、７
０ 最新基本情報格納部、８０ アラーム部、２００
下位システム、１０００ 上位システム。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 上位システムの生産スケジューリング装
   置が、下位システムの生産拠点、営業拠点等が管理する
   基本情報を受け取ってスケジューリング計画を作成する
   生産スケジューリングシステムにおいて、下位システム
   から送信される基本情報を受け付けて格納する基本情報
   格納部と、下位システムから送信される更新情報を受け
   付けて格納する更新情報格納部と、上記基本情報格納部
   に格納された基本情報と上記更新情報格納部に格納され
   た更新情報を比較し、あらかじめ定められた更新ルール
   に基いて基本情報の更新を行う比較更新部と、上記比較
   更新部により更新された基本情報に基いて下位システム
   におけるスケジューリング計画を作成する生産スケジュ
   ール装置とを備えた生産スケジューリングシステム。
2. 【請求項２】 上記基本情報は、製品に関する情報、仕
   掛に関する情報、受注に関する情報を含み、上記更新情
   報は下位システムの基本情報のうち新たに更新された情
   報を指すことを特徴とする請求項１に記載の生産スケジ
   ューリングシステム。
3. 【請求項３】 上記更新ルールは、下位システムにより
   送信される情報に基づいて更新されることを特徴とする
   請求項１又は請求項２に記載の生産スケジューリングシ
   ステム。
4. 【請求項４】 上記比較更新部により更新された基本情
   報と、基本情報を管理する下位システムからの最新基本
   情報を比較し、更新ルールの確認を促すメッセージを出
   力するアラーム部を備えたことを特徴とする請求項１か
   ら請求項３のいずれか１項に記載の生産スケジューリン
   グシステム。
5. 【請求項５】 請求項１から請求項４のいずれか１項に
   記載の生産スケジューリングシステムを使用して半導体
   装置を製造することを特徴とする半導体装置の製造方
   法。