JP2001247396A5 - - Google Patents

Description

好ましくは、結晶シートの製造方法は、板状体を連結し、キャタピラ状に形成することによって、結晶シートを加熱室外へ案内することを含む。
好ましくは、結晶シートの製造方法は、板状体を案内するレール状の案内部材を設置することによって、結晶シートを加熱室外へ案内することを含む。
好ましくは、結晶シートの製造方法は、板状体の主表面を融液に接触させる工程において融液の水平面から融液内部に向かって板状体を移動させることを含む。
さらに好ましくは、この発明に従った太陽電池は、上述のいずれかの方法で製造した結晶シートを用いて製造される。

Claims (27)

1. 結晶シートが形成されるべき主表面を有する板状体と、
   融液を保持する容器と、
   前記板状体の主表面が融液に接触した後、融液から離れるように前記板状体を移動させるために前記板状体を保持する可動部材と、
   前記可動部材を冷却するための冷却手段とを備えた、結晶シートの製造装置。
2. 前記可動部材から搬送された前記板状体の主表面に形成された結晶シートを前記主表面から剥離する剥離手段をさらに備え、前記板状体には貫通孔が形成されており、前記剥離手段は前記貫通孔に嵌まり合う第１の突起を有する、請求項１に記載の結晶シートの製造装置。
3. 前記可動部材は、前記貫通孔に嵌まり合う第２の突起を有する、請求項２に記載の結晶シートの製造装置。
4. 前記第２の突起が前記貫通孔に嵌まり合ったとき前記第２の突起の頂面と前記主表面の高さとがほぼ等しくなる、請求項３に記載の結晶シートの製造装置。
5. 前記第１の突起の長さは前記第２の突起の長さよりも長い、請求項３に記載の結晶シートの製造装置。
6. 前記板状体の材質と前記第２の突起の材質とが異なる、請求項４または５に記載の結晶シートの製造装置。
7. 前記剥離手段には前記板状体の移動方向に沿って前記第１の突起が設けられており、前記可動部材には前記板状体の移動方向に沿って前記第２の突起が設けられている、請求項４から６のいずれか１項に記載の結晶シートの製造装置。
8. 前記板状体を前記可動部材から前記剥離手段に案内するベルト状の案内部材をさらに備え、前記案内部材により複数の前記板状体が連結されてキャタピラ状に形成されている、請求項２から７のいずれか１項に記載の結晶シートの製造装置。
9. 前記板状体の両端部に立設部が設けられており、隣り合う前記板状体を前記案内部材に締結するための締結部が前記立設部に設けられている、請求項８に記載の結晶シートの製造装置。
10. 前記板状体を前記可動部材から前記剥離手段に案内するレール状の案内部材をさらに備えた、請求項２から７のいずれか１項に記載の結晶シートの製造装置。
11. 前記可動部材は多角柱形状である、請求項１から１０のいずれか１項に記載の結晶シートの製造装置。
12. 前記可動部材と前記板状体とは、互いに嵌合し合う凹凸形状を有する、請求項１から１１のいずれか１項に記載の結晶シートの製造装置。
13. 前記板状体の主表面は平坦である、請求項１から１２のいずれか１項に記載の結晶シートの製造装置。
14. 前記板状体の主表面に凹凸が形成されている、請求項１から１２のいずれか１項に記載の結晶シートの製造装置。
15. 前記可動部材内に前記冷却手段が設けられている、請求項１から１４のいずれか１項に記載の結晶シートの製造装置。
16. 冷却された状態の板状体を融液に接触させる工程と、
    融液に接触した前記板状体の主表面を融液から離すことによって前記主表面に結晶シートを凝固成長させる工程と、
    前記板状体から結晶シートを剥離する工程とを備えた、結晶シートの製造方法。
17. 前記結晶シートを剥離する工程は、前記板状体上に成長した結晶シートを加熱室外に案内して剥離回収することを含む、請求項１６に記載の結晶シートの製造方法。
18. 前記結晶シートを凝固成長させる工程は、可動部材を用いて前記板状体の主表面を融液に接触させた後、融液から離れるように前記板状体を移動させることを含む、請求項１７に記載の結晶シートの製造方法。
19. 前記板状体を融液に接触させる工程は、貫通孔が形成された前記板状体に融液を接触させることを含み、前記結晶シートを剥離する工程は、第１の突起が設けられた剥離手段を用いて、結晶シートが形成された前記板状体の主表面の反対側から前記剥離手段の第１の突起を前記板状体の貫通孔に嵌め合わせることにより結晶シートを前記板状体から剥離することを含む、請求項１８に記載の結晶シートの製造方法。
20. 前記剥離手段は回転可能であり、前記剥離手段の回転方向に沿って複数の前記第１の突起が設けられ、前記結晶シートを剥離する工程は、前記剥離手段を回転させることにより複数の前記板状体の前記貫通孔の１つ以上に複数の前記第１の突起を嵌め合わせて、結晶シートを前記板状体から剥離することを含む、請求項１９に記載の結晶シートの製造方法。
21. 前記板状体を融液に接触させる工程は、第２の突起が形成された前記可動部材を用いて、前記可動部材の第２の突起が前記貫通孔に嵌め合わされた状態で前記板状体を融液に接触させることを含む、請求項１８から２０のいずれか１項に記載の結晶シートの製造方法。
22. 前記可動部材は回転可能であり、前記可動部材の回転方向に沿って複数の前記第２の突起が設けられ、前記板状体を融液に接触させる工程は、前記可動部材を回転させることにより複数の前記板状体の前記貫通孔の各々に複数の前記第２の突起の各々を嵌め合わせて、前記板状体に融液を接触させることを含む、請求項２１に記載の結晶シートの製造方法。
23. 前記結晶シートを凝固成長させる工程は、シリコンの結晶シートを凝固成長させることを含む、請求項１６から２２のいずれか１項に記載の結晶シートの製造方法。
24. 前記板状体を連結し、キャタピラ状に形成することによって、前記結晶シートを前記加熱室外へ案内することを含む、請求項１８に記載の結晶シートの製造方法。
25. 前記板状体を案内するレール状の案内部材を設置することによって前記結晶シートを前記加熱室外へ案内することを含む、請求項１８に記載の結晶シートの製造方法。
26. 前記板状体の主表面を融液に接触させる工程において融液の水平面から融液内部に向かって前記板状体を移動させることを含む、請求項１６に記載の結晶シートの製造方法。
27. 請求項１６から２６のいずれかの方法で製造した結晶シートを用いて製造した太陽電池。