CN219873434U - 承载舟 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种承载舟。该承载舟包括上下相对设置的上连接框和下连接框，且上连接框和下连接框均由杆状连接件形成，上连接框和下连接框之间连接有平行间隔设置的承载杆，若干承载杆与上连接框和下连接框限定出用于放置硅片的放置空间，且承载杆设置用于固定硅片的凹槽。通过将现有的矩形板替换为上连接框和下连接框，且上连接框和下连接框均由杆状连接件组装形成，从而在上连接框和下连接框的中心位置形成中空部分，相比于使用矩形板大大减小了承载舟的表面积，避免在承载舟的局部出现吸附大量反应掺杂物的现象，防止上连接框和下连接框附近的硅片的掺杂浓度偏高以及方阻偏低问题，确保了晶硅电池的转换效率。

Description

承载舟

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种承载舟。

背景技术

扩散工序是晶体硅太阳能电池生产过程的关键工序之一，硅片通过扩散形成P-N结后才具有光伏效应。扩散的工艺过程是在一个高温密闭的炉腔内进行，硅片需要放置在一种上，然后通过传动装置送进扩散炉内进行扩散工序。

现有的承载舟由数个承载杆和以及承载杆两端连接的矩形板组成，两个矩形板设置在承载杆的两端位置，并与承载杆连接形成框架结构，且承载杆设置有凹槽，能够固定硅片，使得硅片能够稳固地摆放在框架结构中。但是在扩散工序中，矩形板表面积较大，会吸附大量反应掺杂物，且随着反复使用，掺杂物堆积越来越多，致使工艺时矩形板附近硅片的掺杂浓度偏高，方阻偏低，进而影响晶硅电池的转换效率。

因此，亟需一种承载舟，以解决上述的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种承载舟，能够避免出现矩形板附近硅片的掺杂浓度偏高、方阻偏低的现象，从而确保晶硅电池的转换效率。

为实现上述技术效果，本实用新型的技术方案如下：

承载舟，包括：

上连接框和下连接框，上述上连接框和上述下连接框上下相对设置，且均由杆状连接件形成；

承载杆，若干上述承载杆平行间隔设置，若干上述承载杆的一端连接于上述上连接框，且另一端连接于上述下连接框；若干上述承载杆与上述上连接框和上述下连接框限定出用于放置硅片的放置空间，且上述承载杆设置用于固定上述硅片的凹槽。

可选地，上述杆状连接件和上述承载杆中至少一者采用圆杆件。

可选地，上述杆状连接件包括相连接的若干连接直杆；

或者，上述杆状连接件包括相连接的若干连接直杆和若干连接弯杆；

或者，上述上连接框和上述下连接框采用一体成型的上述杆状连接件。

可选地，上述承载杆的端部分别与上述上连接框和上述下连接框可拆卸连接。

可选地，上述上连接框和上述下连接框均设置有多于上述承载杆数量的承载杆安装孔，上述承载杆选择性地插设固定于其中一个上述承载杆安装孔。

可选地，上述凹槽的深度不小于上述承载杆直径的1/4，且不大于上述承载杆直径的1/3。

可选地，上述承载舟还包括支撑杆，上述支撑杆的一端连接于相邻两根上述承载杆中的一根，上述支撑杆的另一端连接相邻两根上述承载杆中的另一根。

可选地，相对设置的两个上述支撑杆上设置有把手。

可选地，上述支撑杆可拆卸地安装于上述承载杆。

可选地，上述支撑杆包括第一杆和第二杆，上述把手固定于上述第一杆，且上述第一杆和上述第二杆沿轴线方向长度可调地连接。

本实用新型的承载舟的有益效果在于：通过将现有的矩形板替换为上连接框和下连接框，且上连接框和下连接框均由杆状连接件组装形成，从而在上连接框和下连接框的中心位置形成中空部分，相比于使用矩形板大大减小了承载舟的表面积，大幅度减少该承载舟对反应掺杂物的吸附和堆积，避免在承载舟的局部出现吸附大量反应掺杂物的现象，防止上连接框和下连接框附近的硅片的掺杂浓度偏高以及方阻偏低问题，确保了晶硅电池的转换效率。

附图说明

图1是本实用新型的第一个实施例的承载舟的立体图；

图2是本实用新型中第一个实施例的上连接框的仰视图；

图3是本实用新型第一个实施例的承载舟的俯视图；

图4是本实用新型中第一个实施例的隐去把手的支撑杆的正视图；

图5是本实用新型中第一个实施例的隐去把手的第一杆的俯视图；

图6是本实用新型中第一个实施例的第二杆的正视图；

图7是本实用新型中第二个实施例的承载舟的立体图。

图中：

1、上连接框；11、连接直杆；111、承载杆安装孔；12、连接弯杆；

2、下连接框；

3、承载杆；

4、支撑杆；41、第一杆；411、定位槽；42、第二杆；421、定位凸块；43、把手。

具体实施方式

为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，用于区别描述特征，无顺序之分，无轻重之分。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面参考图1至图7介绍本实用新型所提供的承载舟。

具体地，如图1、图7所示，该承载舟包括上下相对设置的上连接框1和下连接框2，上连接框1和下连接框2均由杆状连接件组装形成。示例性地，在本实施例中，上连接框1和下连接框2由四根连接直杆11和四个连接弯杆12围设而成，呈四边形框架状，四根连接直杆11和四个连接弯杆12位于四边形框架的边缘位置，四边形框架的中心位置为中空部分。

上连接框1和下连接框2之间设置有若干承载杆3，若干承载杆3平行间隔设置，承载杆3的上端连接于上连接框1，下端连接于下连接框2，使得若干承载杆3能够固定设置在上连接框1和下连接框2之间，并与上连接框1和下连接框2可拆卸连接。示例性地，在本实施例中，上连接框1和下连接框2设置有承载杆安装孔111，承载杆3的端部插设固定于承载杆安装孔111，四根承载杆3分别连接于四边形框架的四个顶点位置，并和四边形框架组成了一种框架结构。

若干承载杆3、上连接框1和下连接框2之间限定出用于放置硅片的放置空间，硅片能够通过相邻承载杆3之间进出该放置空间，或者通过上连接框1的中空部分进出该放置空间。各承载杆3与硅片相近的位置设置有凹槽(图中未示出)，该凹槽能够使得硅片插接，且当一片硅片同时插接至多根承载杆3的对应的凹槽时，就能够被固定在放置空间内，从而方便转移硅片进行扩散工艺。

通过将现有的矩形板替换为上连接框1和下连接框2，且上连接框1和下连接框2均由杆状连接件组装形成，从而在上连接框1和下连接框2的中心位置形成中空部分，相比于使用矩形板大大减小了承载舟的表面积，大幅度减少该承载舟对反应掺杂物的吸附和堆积，避免在承载舟的局部出现吸附大量反应掺杂物的现象，防止上连接框1和下连接框2附近的硅片的掺杂浓度偏高以及方阻偏低问题，确保了晶硅电池的转换效率。

可选地，在一些其他实施例中，如图7所示，也可以仅用连接直杆11首尾相连以简化承载舟的结构，或者采用其他数量的杆状连接件组成相同或不同的多边形框架以满足不同形状的硅片的固定需求；或者直接通过杆状连接件分别一体成型上连接框1和下连接框2来进一步增强承载舟的结构强度，这些均属于本实用新型所要保护的范围内。

进一步地，在本实施例中，杆状连接件与承载杆3中的至少一者采用圆杆件，能够显著增加承载舟的承载重量和结构强度。相比于截面为方形、三角形等其他多边形的杆件，圆杆件各处所受到的力是十分均匀和对称的，具有较佳的受力特性，在进行加热和冷却的时候不易产生应力集中，也不易因棱边破坏硅片。而以方形杆件为例，其棱边处易出现应力集中，导致在热胀冷缩的过程中易破碎，甚至导致硅片和扩散炉损坏。优选地，杆状连接件与承载杆3均采用相同直径的石英圆杆加工而成，能够降低承载舟的制造成本。

具体地，在本实施例中，凹槽的深度不小于承载杆3直径的1/4，且不大于承载杆3直径的1/3。当凹槽的深度小于承载杆3直径的1/4时，深度太浅不利于硅片的放置，降低了硅片放置的稳定性，使得硅片易掉落。当凹槽的深度大于承载杆3直径的1/3时，易破坏承载杆3的结构强度，导致应力集中等情况，增加承载杆3折损的风险。并且，凹槽在满足硅片承载放置的需求下，越浅越使得硅片与凹槽接触的位置较难充分接触扩散时的反应气体，且深度越小面积越小越不易吸附反应掺杂物，也就越不易在凹槽处形成较高的掺杂浓度。因此在本实施例中，凹槽的深度优选为承载杆3直径的1/4。

如图1、图3所示，在本实施例中，承载舟还包括支撑杆4，支撑杆4的一端连接于相邻两根承载杆3中的一根，支撑杆4的另一端连接相邻两根承载杆3中的另一根，能够加强承载舟的结构强度。在本实施例中，承载舟设置有两根相对设置的支撑杆4，两根支撑杆4的中部设置有用于方便移动承载舟的把手43，且两个把手43对称设置在承载舟的两侧，进一步方便操作人员移动承载舟。

进一步地，在本实施例中，如图2所示，上连接框1和下连接框2均设置有多于承载杆3数量的承载杆安装孔111，承载杆3选择性地插设固定于承载杆安装孔111，从而在组装承载舟时，根据实际生产的硅片尺寸限定合适大小的放置空间。示例性地，在本实施例中，上连接框1和下连接框2的每个顶点位置各设置有三个承载杆安装孔111，连接于每个顶点位置的承载杆3择一地连接，通过选择不同的承载杆安装孔111，即可形成不同大小的框架结构，形成不同尺寸的放置空间。

需要说明的是，未安装承载杆3的承载杆安装孔111由于属于通孔或盲孔结构，其内部具有较大的表面积，因此在扩散工序中，承载杆安装孔111内部也会出现吸附反应掺杂物，且该反应掺杂物不易清理。在反复使用过程中，也会使得承载杆安装孔111附近硅片的掺杂浓度偏高。因此，优选地，在本实施例中，承载舟还包括若干石英塞，若干承载杆安装孔111中均设置有承载杆3和石英塞中的一个，避免在承载杆安装孔111内部吸附、堆积反应掺杂物，进而影响晶硅电池的转换效率。

优选地，承载杆3可拆卸地安装于承载杆安装孔111，进一步降低换型生产的难度。示例性地，承载杆3以胶粘方式安装于承载杆安装孔111内，或者以紧固件连接的方式安装于承载杆安装孔111内，当更换不同的硅片进行生产时，只需将用除胶剂将胶水去除，或者将紧固件取出，即可更换承载杆3的安装位置，进而满足不同尺寸的硅片的固定需求。优选地，紧固件选用销钉，相比于螺钉等具有更小的表面积，不易增大承载舟的吸附面积。销钉采用石英材质，避免对硅片造成污染。

可选地，支撑杆4可拆卸地安装于承载杆3，从而在换型后，对应不同的承载杆3间距更换不同长度的支撑杆4，满足承载舟的搬运需求。优选地，如图4至图6所示，在本实施例中，支撑杆4包括第一杆41和第二杆42，把手43固定安装于第一杆41，且第一杆41和第二杆42之间伸缩设置，使得第一杆41和第二杆42沿轴线方向长度可调地连接。具体地，如图5所示，第一杆41具有插接口，插接口的侧壁沿其轴线方向设置有若干定位槽411，如图6所示，第二杆42具有插接部，插接部的外周面可拆卸地设置有定位凸块421。安装时，先将定位凸块421从插接部的外周面拆除，再将插接部插入插接口中，最后由外至内，将定位凸块421选择性地穿设于其中一个定位槽411，并固定于插接部的外周面。当需要调节支撑杆4的轴线方向长度时，只需再次拆除定位凸块421，使得插接部在插接口内沿轴线方向滑动至合适的位置，再将定位凸块421穿过对应的定位槽411并固定于插接部的外周面即可。

当然，在一些其他实施例中，也可是第一杆41或第二杆42中的一个可更换，例如通过更换不同长度的第二杆42来调节支撑杆4的长度，也能够达到调节支撑杆4的轴线方向长度的效果，也属于本实用新型所要保护的范围之内。

在本说明书的描述中，参考术语“有些实施例”、“其他实施例”、等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (10)

1.承载舟，其特征在于，包括：

上连接框(1)和下连接框(2)，所述上连接框(1)和所述下连接框(2)上下相对设置，且均由杆状连接件形成；

承载杆(3)，若干所述承载杆(3)平行间隔设置，若干所述承载杆(3)的一端连接于所述上连接框(1)，且另一端连接于所述下连接框(2)；若干所述承载杆(3)与所述上连接框(1)和所述下连接框(2)限定出用于放置硅片的放置空间，且所述承载杆(3)设置用于固定所述硅片的凹槽。

2.根据权利要求1所述的承载舟，其特征在于，

所述杆状连接件和所述承载杆(3)中至少一者采用圆杆件。

3.根据权利要求1所述的承载舟，其特征在于，

所述杆状连接件包括相连接的若干连接直杆(11)；

或者，所述杆状连接件包括相连接的若干连接直杆(11)和若干连接弯杆(12)；

或者，所述上连接框(1)和所述下连接框(2)采用一体成型的所述杆状连接件。

4.根据权利要求1所述的承载舟，其特征在于，

所述承载杆(3)的端部分别与所述上连接框(1)和所述下连接框(2)可拆卸连接。

5.根据权利要求1或4所述的承载舟，其特征在于，

所述上连接框(1)和所述下连接框(2)均设置有多于所述承载杆(3)数量的承载杆安装孔(111)，所述承载杆(3)选择性地插设固定于其中一个所述承载杆安装孔(111)。

6.根据权利要求1所述的承载舟，其特征在于，

所述凹槽的深度不小于所述承载杆(3)直径的1/4，且不大于所述承载杆(3)直径的1/3。

7.根据权利要求1所述的承载舟，其特征在于，

所述承载舟还包括支撑杆(4)，所述支撑杆(4)的一端连接于相邻两根所述承载杆(3)中的一根，所述支撑杆(4)的另一端连接相邻两根所述承载杆(3)中的另一根。

8.根据权利要求7所述的承载舟，其特征在于，

相对设置的两个所述支撑杆(4)上设置有把手(43)。

9.根据权利要求7所述的承载舟，其特征在于，

所述支撑杆(4)可拆卸地安装于所述承载杆(3)。

10.根据权利要求8所述的承载舟，其特征在于，

所述支撑杆(4)包括第一杆(41)和第二杆(42)，所述把手(43)固定于所述第一杆(41)，且所述第一杆(41)和所述第二杆(42)沿轴线方向长度可调地连接。