JP2001242364A - 光学素子の保持機構、および該保持機構によって構成された投影光学系を備える露光装置 - Google Patents
光学素子の保持機構、および該保持機構によって構成された投影光学系を備える露光装置Info
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】光学素子の形状に倣って光学素子を保持し、光
学素子の変形による光学特性の劣化を防止することを可
能とする光学素子の保持機構、および該保持機構によっ
て構成された投影光学系を備える露光装置を提供する。 【解決手段】光学素子を所定の場所に保持する光学素子
の保持機構において、前記光学素子の形状に倣って該光
学素子を保持する保持手段を構成する。
学素子の変形による光学特性の劣化を防止することを可
能とする光学素子の保持機構、および該保持機構によっ
て構成された投影光学系を備える露光装置を提供する。 【解決手段】光学素子を所定の場所に保持する光学素子
の保持機構において、前記光学素子の形状に倣って該光
学素子を保持する保持手段を構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はレンズ等の光学素子
の保持機構、および該保持機構によって構成された投影
光学系を備える露光装置に関するものである。
の保持機構、および該保持機構によって構成された投影
光学系を備える露光装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来レンズ等の光学素子を所定の場所に
位置決めする光学素子の保持機構として、玉押し、投げ
込み、セル方式等による鏡筒の組立方式が挙げられる。
これを、図７に示す玉押し構造による鏡筒構造の概略図
を用いて説明する。同図において、１５は屈折式投影光
学系を構成するレンズ、１６はレンズ１５を保持する鏡
筒本体である。各レンズ１５は、予め、レンズ光軸に対
して所定の同軸度を有する外径になるよう研削されてお
り、これらの外径寸法は所定の精度で計測されている。
１６の内周には各レンズの外径に応じたレンズ設置部１
６ａ〜１６ｃが形成され、レンズを設置した際に所定の
クリアランスができるようになっている。各レンズの外
周近傍の下面を各レンズ設置部１６ａ〜１６ｃに突き当
てて、各レンズ設置部１６ａ〜１６ｃの上方に形成され
たねじ部にねじ込んだ押え環１７によってレンズ１５を
押さえ付けることでレンズを固定する。以上のように投
影光学系を構成する複数のレンズ１５は、互いに所望の
間隔、同軸度を保った状態で鏡簡１６内に位置決めされ
る。
位置決めする光学素子の保持機構として、玉押し、投げ
込み、セル方式等による鏡筒の組立方式が挙げられる。
これを、図７に示す玉押し構造による鏡筒構造の概略図
を用いて説明する。同図において、１５は屈折式投影光
学系を構成するレンズ、１６はレンズ１５を保持する鏡
筒本体である。各レンズ１５は、予め、レンズ光軸に対
して所定の同軸度を有する外径になるよう研削されてお
り、これらの外径寸法は所定の精度で計測されている。
１６の内周には各レンズの外径に応じたレンズ設置部１
６ａ〜１６ｃが形成され、レンズを設置した際に所定の
クリアランスができるようになっている。各レンズの外
周近傍の下面を各レンズ設置部１６ａ〜１６ｃに突き当
てて、各レンズ設置部１６ａ〜１６ｃの上方に形成され
たねじ部にねじ込んだ押え環１７によってレンズ１５を
押さえ付けることでレンズを固定する。以上のように投
影光学系を構成する複数のレンズ１５は、互いに所望の
間隔、同軸度を保った状態で鏡簡１６内に位置決めされ
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の鏡筒では、レンズ設置部１６ａ〜１６ｃが直接
レンズ１５に接しているが、レンズ１５の形状とレンズ
設置部１６ａ〜１６ｃの形状とが厳密に一致することは
少なく、レンズ１５とレンズ設置部１６ａ〜１６ｃとが
複数の点で接触することが多い。そしてこの場合、レン
ズ自重や押え環１７の押圧力によってレンズがレンズ設
置部１６ａ〜１６ｃの形状に倣って変形し、光学特性が
悪化してしまうという問題がある。
た従来の鏡筒では、レンズ設置部１６ａ〜１６ｃが直接
レンズ１５に接しているが、レンズ１５の形状とレンズ
設置部１６ａ〜１６ｃの形状とが厳密に一致することは
少なく、レンズ１５とレンズ設置部１６ａ〜１６ｃとが
複数の点で接触することが多い。そしてこの場合、レン
ズ自重や押え環１７の押圧力によってレンズがレンズ設
置部１６ａ〜１６ｃの形状に倣って変形し、光学特性が
悪化してしまうという問題がある。
【０００４】そこで、本発明は、上記した従来のものに
おける課題を解決し、光学素子の形状に倣って光学素子
を保持し、光学素子の変形による光学特性の劣化を防止
することを可能とする光学素子の保持機構、および該保
持機構によって構成された投影光学系を備える露光装置
を提供することを目的とするものである。
おける課題を解決し、光学素子の形状に倣って光学素子
を保持し、光学素子の変形による光学特性の劣化を防止
することを可能とする光学素子の保持機構、および該保
持機構によって構成された投影光学系を備える露光装置
を提供することを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために、つぎの（１）〜（８）のように構成した
光学素子の保持機構、および該保持機構によって構成さ
れた投影光学系を備える露光装置を提供するものであ
る。 （１）光学素子を所定の場所に保持する光学素子の保持
機構において、前記光学素子の形状に倣って該光学素子
を保持する保持手段を有することを特徴とする光学素子
の保持機構。 （２）前記保持手段は、前記光学素子の外周部に配置さ
れる支持部材を有し、該支持部材が光学素子を自重等に
よって変形しないように支持する構成を備えていること
を特徴とする上記（１）に記載の光学素子の保持機構。 （３）前記支持部材が、リング状の支持部材であって、
該リング状の支持部材によって前記光学素子の下面部ま
たは上下面部全周に渡り、または前記光学素子の外周部
に対して、該光学素子を均等な力で押圧し、該光学素子
が変形しないようにする押圧手段を備えていることを特
徴とする上記（２）に記載の光学素子の保持機構。 （４）前記支持部材が、複数に分割されたリング状の支
持部材であって、該複数に分割されたリング状の支持部
によって前記光学素子の下面部または上下面部の複数個
所で、または前記光学素子の外周部に対して、該光学素
子を均等な力で押圧し、該光学素子が変形しないように
する押圧手段を備えていることを特徴とする上記（２）
に記載の光学素子の保持機構。 （５）前記光学素子の上下面部または外周部に対する押
圧手段を、該光学素子の上下面部を薄箔を介して作動流
体により押圧するように構成し、該押圧手段によって前
記光学素子を前記支持部材に支持するようにしたことを
特徴とする上記（３）または上記（４）に記載の光学素
子の保持機構。 （６）前記光学素子の下面部に対する押圧手段を、薄箔
を介して作動流体により押圧するように構成する一方、
該光学素子の外周面を前記支持部材の内周面に接着剤で
接合することにより、該光学素子を前記支持部材に支持
することを特徴とする上記（３）または上記（４）に記
載の光学素子の保持機構。 （７）複数の光学素子保持手段を同軸上に所定間隔で有
する光学素子の保持機構において、前記各光学素子保持
手段のそれぞれが上記（１）〜（６）のいずれかに記載
の支持部材で構成されていることを特徴とする光学素子
の保持機構。 （８）マスクのパターンを投影光学系により基板に投影
する露光装置において、前記投影光学系が上記（１）〜
（７）のいずれかに記載の光学素子の保持機構を用いて
構成されていることを特徴とする露光装置。
決するために、つぎの（１）〜（８）のように構成した
光学素子の保持機構、および該保持機構によって構成さ
れた投影光学系を備える露光装置を提供するものであ
る。 （１）光学素子を所定の場所に保持する光学素子の保持
機構において、前記光学素子の形状に倣って該光学素子
を保持する保持手段を有することを特徴とする光学素子
の保持機構。 （２）前記保持手段は、前記光学素子の外周部に配置さ
れる支持部材を有し、該支持部材が光学素子を自重等に
よって変形しないように支持する構成を備えていること
を特徴とする上記（１）に記載の光学素子の保持機構。 （３）前記支持部材が、リング状の支持部材であって、
該リング状の支持部材によって前記光学素子の下面部ま
たは上下面部全周に渡り、または前記光学素子の外周部
に対して、該光学素子を均等な力で押圧し、該光学素子
が変形しないようにする押圧手段を備えていることを特
徴とする上記（２）に記載の光学素子の保持機構。 （４）前記支持部材が、複数に分割されたリング状の支
持部材であって、該複数に分割されたリング状の支持部
によって前記光学素子の下面部または上下面部の複数個
所で、または前記光学素子の外周部に対して、該光学素
子を均等な力で押圧し、該光学素子が変形しないように
する押圧手段を備えていることを特徴とする上記（２）
に記載の光学素子の保持機構。 （５）前記光学素子の上下面部または外周部に対する押
圧手段を、該光学素子の上下面部を薄箔を介して作動流
体により押圧するように構成し、該押圧手段によって前
記光学素子を前記支持部材に支持するようにしたことを
特徴とする上記（３）または上記（４）に記載の光学素
子の保持機構。 （６）前記光学素子の下面部に対する押圧手段を、薄箔
を介して作動流体により押圧するように構成する一方、
該光学素子の外周面を前記支持部材の内周面に接着剤で
接合することにより、該光学素子を前記支持部材に支持
することを特徴とする上記（３）または上記（４）に記
載の光学素子の保持機構。 （７）複数の光学素子保持手段を同軸上に所定間隔で有
する光学素子の保持機構において、前記各光学素子保持
手段のそれぞれが上記（１）〜（６）のいずれかに記載
の支持部材で構成されていることを特徴とする光学素子
の保持機構。 （８）マスクのパターンを投影光学系により基板に投影
する露光装置において、前記投影光学系が上記（１）〜
（７）のいずれかに記載の光学素子の保持機構を用いて
構成されていることを特徴とする露光装置。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態によれば、上
記した構成を用いて、光学素子を所定の場所に保持する
ための機構を構成する場合において、該光学素子をその
外周部に配置された保持部材によって支持し、該保持部
材の光学素子支持部を、例えば薄箔と該薄箔を光学素子
に押圧するための作動流体により構成することによっ
て、光学素子の形状に倣って光学素子を保持し、光学素
子の変形による光学特性の悪化を防止することを可能と
することができる。
記した構成を用いて、光学素子を所定の場所に保持する
ための機構を構成する場合において、該光学素子をその
外周部に配置された保持部材によって支持し、該保持部
材の光学素子支持部を、例えば薄箔と該薄箔を光学素子
に押圧するための作動流体により構成することによっ
て、光学素子の形状に倣って光学素子を保持し、光学素
子の変形による光学特性の悪化を防止することを可能と
することができる。
【０００７】
【実施例】以下に、本発明の実施例を図を用いて説明す
る。
る。
【０００８】［実施例１］図１は本発明の実施例１に係
る屈折式投影光学系の構成を示す概略図である。図１に
おいて、重力方向は光軸と一致し、図中のＺ方向であ
る。１は屈折投影光学系を構成するレンズ（光学素
子）、２はレンズ１の外周部に取り付けられたリング状
の保持用セルであり、レンズ１とセル２は、レンズ１の
光軸とセル２の外径が所定の同軸度になるように接合さ
れる。また、６は複数のセル２を所定の位置精度で同軸
上に固定するための鏡筒であり、鏡筒６の内径は各々の
セル２を所望の同軸度で配列させることができるよう
に、所定の円筒度で加工されている。７はセル２を鏡筒
６内で所定の間隔で光軸方向に位置決めするためのスペ
ーサーである。８はセル２を鏡筒６下部の突出部に突き
当てて固定するための押え環であり、投影光学系を構成
する複数のレンズ１は、互いに所望の間隔、同軸度を保
った状態で鏡筒６内に位置決めされる。
る屈折式投影光学系の構成を示す概略図である。図１に
おいて、重力方向は光軸と一致し、図中のＺ方向であ
る。１は屈折投影光学系を構成するレンズ（光学素
子）、２はレンズ１の外周部に取り付けられたリング状
の保持用セルであり、レンズ１とセル２は、レンズ１の
光軸とセル２の外径が所定の同軸度になるように接合さ
れる。また、６は複数のセル２を所定の位置精度で同軸
上に固定するための鏡筒であり、鏡筒６の内径は各々の
セル２を所望の同軸度で配列させることができるよう
に、所定の円筒度で加工されている。７はセル２を鏡筒
６内で所定の間隔で光軸方向に位置決めするためのスペ
ーサーである。８はセル２を鏡筒６下部の突出部に突き
当てて固定するための押え環であり、投影光学系を構成
する複数のレンズ１は、互いに所望の間隔、同軸度を保
った状態で鏡筒６内に位置決めされる。
【０００９】本実施例における詳細を図２を用いて説明
する。図２において、図１と同一の符号は同一の部材で
ある。ａはレンズ１の下面とセル２の接触部位（以下胴
付き部と記す）を示している。胴付き部において、作動
流体４を注入するための溝ｂが全周に渡って形成されて
おり、この溝を覆って薄箔３が接合される。接合方法と
しては、該薄箔の両端部が、セル２と部材ｃとｄに挟ま
れた状態で取り付けられ、部材ｃとｄは、セル２に溶
接、またはボルト締めされる。また、直接、該薄箔を溶
接し、セル２に接合することも可能である。また、作動
流体４の圧力を一定にするために、圧力調整用の雄ネジ
を取り付ける溝と全周に渡って形成されている溝は繋が
っており、雄ネジを用いて圧力は簡易的に調整すること
ができる。また、レンズ１の外周壁部とセル２の内壁は
接着剤で接合することによって、レンズ１はセル２に固
定される。作動流体４には非圧縮性の油を用いたが、水
や圧縮性の気体を使用することができる。
する。図２において、図１と同一の符号は同一の部材で
ある。ａはレンズ１の下面とセル２の接触部位（以下胴
付き部と記す）を示している。胴付き部において、作動
流体４を注入するための溝ｂが全周に渡って形成されて
おり、この溝を覆って薄箔３が接合される。接合方法と
しては、該薄箔の両端部が、セル２と部材ｃとｄに挟ま
れた状態で取り付けられ、部材ｃとｄは、セル２に溶
接、またはボルト締めされる。また、直接、該薄箔を溶
接し、セル２に接合することも可能である。また、作動
流体４の圧力を一定にするために、圧力調整用の雄ネジ
を取り付ける溝と全周に渡って形成されている溝は繋が
っており、雄ネジを用いて圧力は簡易的に調整すること
ができる。また、レンズ１の外周壁部とセル２の内壁は
接着剤で接合することによって、レンズ１はセル２に固
定される。作動流体４には非圧縮性の油を用いたが、水
や圧縮性の気体を使用することができる。
【００１０】本実施例において、薄箔は作動流体によっ
てレンズの下面に押圧され、レンズの形状に倣って密着
する。そのため、レンズは全周に渡って均等な力で線又
は面で支持され、レンズ変形を極小に抑えることがで
き、光学特性が悪化することを防ぐことができる。
てレンズの下面に押圧され、レンズの形状に倣って密着
する。そのため、レンズは全周に渡って均等な力で線又
は面で支持され、レンズ変形を極小に抑えることがで
き、光学特性が悪化することを防ぐことができる。
【００１１】［実施例２］実施例１においてはレンズ１
の下面部を全周に渡って支持する場合において説明した
が、本発明の実施例２として、レンズ１の下面部を６０
°ピッチで６箇所など数箇所でのみ支持する構成を図３
で説明する。なお、図３において実施例１と同一の符号
は同一の部材である。セルの胴付き部における溝ｂの形
状として、図３に示すように６箇所の溝が繋がる一体構
成でも、溝が６分割され、おのおので作動流体４の内圧
を調整する構成でも良い。その６箇所において薄箔を取
付け、実施例１と同様にレンズ１は薄箔３と該薄箔を押
圧するための作動流体によって支持され、レンズの外周
壁部とセル２の内壁部は接着剤で接着される。この構成
によりレンズの自重変形が予測でき、制御することがで
きる。
の下面部を全周に渡って支持する場合において説明した
が、本発明の実施例２として、レンズ１の下面部を６０
°ピッチで６箇所など数箇所でのみ支持する構成を図３
で説明する。なお、図３において実施例１と同一の符号
は同一の部材である。セルの胴付き部における溝ｂの形
状として、図３に示すように６箇所の溝が繋がる一体構
成でも、溝が６分割され、おのおので作動流体４の内圧
を調整する構成でも良い。その６箇所において薄箔を取
付け、実施例１と同様にレンズ１は薄箔３と該薄箔を押
圧するための作動流体によって支持され、レンズの外周
壁部とセル２の内壁部は接着剤で接着される。この構成
によりレンズの自重変形が予測でき、制御することがで
きる。
【００１２】［実施例３］上記実施例１及び実施例２で
は、レンズ１の下面部を支持する場合について説明した
が、本発明の実施例３として、セル２の内周壁部におい
て、レンズ１の外周壁部形状に倣ってレンズ１を支持す
る構造を図４で説明する。なお、図４において、上記実
施例１及び実施例２と同一の符号は同一の部材である。
図４に示すように、セルの全周に渡って作動流体４が注
入される溝ｂが形成されており、該溝を覆って薄箔３が
接合される。作動流体の内圧を一定にするために、作動
流体が注入される溝を圧力調整用の雄ネジを取り付ける
溝と一体構成にすることと、薄箔をセルに接合する方法
は実施例１と同様である。なお、重力方向にＦの力が加
わってもレンズが固定されているための横方向の力Ｎ
は、次式で表される。 Ｆ＜μＮ（Ｎ：横方向の力、μ：静止摩擦係数） 上の式から、Ｆ＝５．０［ｋｇｆ］、μ＝０．２におい
て要する横方向の力Ｎは２５［ｋｇｆ］以上となり、長
さ２００［ｍｍ］、幅５［ｍｍ］、厚さ０．０５［ｍ
ｍ］の薄箔の形状寸法において、有限要素法を用いて計
算を行うと、降伏応力が３０［ｋｇｆ／ｍｍ2］以上の
金属材料（アルミ、銅、真鍮、鉄）であれば１枚の薄箔
で破断せずに使用することが可能である。ここでは、金
属を用いて計算を行ったが、伸び、縮み可能な弾性特性
を有する材料（ゴム）を使用することができる。また、
レンズと薄箔との接触面積が小さく、薄箔に作用する圧
力が大きい場合においては、薄箔を何重にも重ねて使用
すれば良い。
は、レンズ１の下面部を支持する場合について説明した
が、本発明の実施例３として、セル２の内周壁部におい
て、レンズ１の外周壁部形状に倣ってレンズ１を支持す
る構造を図４で説明する。なお、図４において、上記実
施例１及び実施例２と同一の符号は同一の部材である。
図４に示すように、セルの全周に渡って作動流体４が注
入される溝ｂが形成されており、該溝を覆って薄箔３が
接合される。作動流体の内圧を一定にするために、作動
流体が注入される溝を圧力調整用の雄ネジを取り付ける
溝と一体構成にすることと、薄箔をセルに接合する方法
は実施例１と同様である。なお、重力方向にＦの力が加
わってもレンズが固定されているための横方向の力Ｎ
は、次式で表される。 Ｆ＜μＮ（Ｎ：横方向の力、μ：静止摩擦係数） 上の式から、Ｆ＝５．０［ｋｇｆ］、μ＝０．２におい
て要する横方向の力Ｎは２５［ｋｇｆ］以上となり、長
さ２００［ｍｍ］、幅５［ｍｍ］、厚さ０．０５［ｍ
ｍ］の薄箔の形状寸法において、有限要素法を用いて計
算を行うと、降伏応力が３０［ｋｇｆ／ｍｍ2］以上の
金属材料（アルミ、銅、真鍮、鉄）であれば１枚の薄箔
で破断せずに使用することが可能である。ここでは、金
属を用いて計算を行ったが、伸び、縮み可能な弾性特性
を有する材料（ゴム）を使用することができる。また、
レンズと薄箔との接触面積が小さく、薄箔に作用する圧
力が大きい場合においては、薄箔を何重にも重ねて使用
すれば良い。
【００１３】保持部材の内周壁部において、薄箔を介し
て作動流体でレンズの外周壁部形状に倣ってレンズを支
持することにより、レンズを全周に渡って均等な力で支
持することができると共に、レンズ保持部材にレンズの
受け面を設ける必要がなくなり、レンズの表面がレンズ
受け面の形状に倣って変形することがなく、光学特性の
悪化を防止することができる。また、上記実施例１及び
実施例２と比較して、接着剤を使用しないので、接着剤
から発生するガスによるレンズ汚染がなくなることとレ
ンズとレンズ保持部材の着脱が簡単になり、着脱に費や
されてきた工数も削滅することができる。
て作動流体でレンズの外周壁部形状に倣ってレンズを支
持することにより、レンズを全周に渡って均等な力で支
持することができると共に、レンズ保持部材にレンズの
受け面を設ける必要がなくなり、レンズの表面がレンズ
受け面の形状に倣って変形することがなく、光学特性の
悪化を防止することができる。また、上記実施例１及び
実施例２と比較して、接着剤を使用しないので、接着剤
から発生するガスによるレンズ汚染がなくなることとレ
ンズとレンズ保持部材の着脱が簡単になり、着脱に費や
されてきた工数も削滅することができる。
【００１４】［実施例４］本発明の実施例４として、図
５に示したレンズの上下側面において、薄箔３を作動流
体４で押圧することで支持する構成について説明する。
なお、図５において、上記した実施例と同一の符号は同
一の部材である。図５に示すように、セル２はレンズの
上面を支持するための上部品とレンズの側面と下面を支
持するための下部品に分割された構成となっており、セ
ル２の上下部品、共に、全周に渡って作動流体が注入さ
れるための溝が形成され、セル２の上下部品を組み立て
ることによって、上部品の溝と下部品の溝は繋がり、一
体構成となっている。図５には、レンズの下面を全周に
渡って支持しているが、実施例２に示すように、数箇所
においてのみ支持しても良い。薄箔の接合方法は、実施
例１〜実施例３と同様であり、作動流体の内圧は調整可
能となっている。実施例３の構成でレンズの外周面積が
小さくレンズを保持するために充分でない場合では、本
実施例の構成のようにレンズの外周壁部と上下面の３面
を支持する。レンズの上下側面を支持することにより、
接着剤から発生するガスによるレンズ汚染防止とレンズ
に照明光等が照射された場合などに、熱をレンズに蓄積
することなく、上記実施例１〜実施例３と比較して、よ
り効率良く作動流体に伝えることができ、光学特性の劣
化を防ぐことができる。
５に示したレンズの上下側面において、薄箔３を作動流
体４で押圧することで支持する構成について説明する。
なお、図５において、上記した実施例と同一の符号は同
一の部材である。図５に示すように、セル２はレンズの
上面を支持するための上部品とレンズの側面と下面を支
持するための下部品に分割された構成となっており、セ
ル２の上下部品、共に、全周に渡って作動流体が注入さ
れるための溝が形成され、セル２の上下部品を組み立て
ることによって、上部品の溝と下部品の溝は繋がり、一
体構成となっている。図５には、レンズの下面を全周に
渡って支持しているが、実施例２に示すように、数箇所
においてのみ支持しても良い。薄箔の接合方法は、実施
例１〜実施例３と同様であり、作動流体の内圧は調整可
能となっている。実施例３の構成でレンズの外周面積が
小さくレンズを保持するために充分でない場合では、本
実施例の構成のようにレンズの外周壁部と上下面の３面
を支持する。レンズの上下側面を支持することにより、
接着剤から発生するガスによるレンズ汚染防止とレンズ
に照明光等が照射された場合などに、熱をレンズに蓄積
することなく、上記実施例１〜実施例３と比較して、よ
り効率良く作動流体に伝えることができ、光学特性の劣
化を防ぐことができる。
【００１５】［実施例５］本発明の実施例５を図６を用
いて説明する。図６は上記実施例を露光装置に適用した
場合の露光装置の概略図である。なお、図６において、
先の実施例と同一の符号は同一の部材である。以下レン
ズ１、セル２、鏡筒６、スペーサー７、押え環８を総称
して投影光学系と呼ぶ。９は照明光源、１０は転写され
るパターンの原版であるレチクル、１１はレチクル１０
を保持するステージである。１２は投影光学系を露光装
置本体の所定の位置に設置するための定盤である。１３
はパターンが転写されるウエハ、１４はウエハ１３を保
持するステージである。
いて説明する。図６は上記実施例を露光装置に適用した
場合の露光装置の概略図である。なお、図６において、
先の実施例と同一の符号は同一の部材である。以下レン
ズ１、セル２、鏡筒６、スペーサー７、押え環８を総称
して投影光学系と呼ぶ。９は照明光源、１０は転写され
るパターンの原版であるレチクル、１１はレチクル１０
を保持するステージである。１２は投影光学系を露光装
置本体の所定の位置に設置するための定盤である。１３
はパターンが転写されるウエハ、１４はウエハ１３を保
持するステージである。
【００１６】本実施例によれば、光学素子を支持して位
置決めするセルにおいて、セルの光学素子支持部を薄箔
と該薄箔を光学素子に押圧するための作動流体によって
構成することにより、レンズを線又は面で支持し、レン
ズの自重変形を予測することができると同時に、変形量
を極小に抑えることで、投影光学系の光学特性が劣化す
るのを防ぐことができる。
置決めするセルにおいて、セルの光学素子支持部を薄箔
と該薄箔を光学素子に押圧するための作動流体によって
構成することにより、レンズを線又は面で支持し、レン
ズの自重変形を予測することができると同時に、変形量
を極小に抑えることで、投影光学系の光学特性が劣化す
るのを防ぐことができる。
【００１７】
【発明の効果】以上に説明したとおり、本発明によれ
ば、光学素子を所定の場所に保持する光学素子の保持機
構において、前記光学素子の形状に倣って該光学素子を
保持する保持手段を有する構成を採ることで、光学素子
の自重等による変形を防止することが可能となり、この
ような光学素子の変形による光学特性の劣化を防止する
ことができる。また、本発明によれば、光学素子の外周
部を支持し、あるいはレンズの上下側面を支持する構成
を採ることで、光学素子と光学素子保持部材間におい
て、接着剤を使用しないので、接着剤から発生するガス
によるレンズ汚染をなくすことができ、レンズとレンズ
保持部材の着脱が簡単になり、着脱に費やされてきた工
数も削減することができる。また、本発明によれば、レ
ンズを薄い薄箔を介して作動流体により支持する構成を
採ることで、レンズに照明光等が照射された場合など
に、熱をレンズに蓄積することなく、効率良く作動流体
に伝えることができ、熱収差による光学特性の劣化を防
ぐことが可能となる。
ば、光学素子を所定の場所に保持する光学素子の保持機
構において、前記光学素子の形状に倣って該光学素子を
保持する保持手段を有する構成を採ることで、光学素子
の自重等による変形を防止することが可能となり、この
ような光学素子の変形による光学特性の劣化を防止する
ことができる。また、本発明によれば、光学素子の外周
部を支持し、あるいはレンズの上下側面を支持する構成
を採ることで、光学素子と光学素子保持部材間におい
て、接着剤を使用しないので、接着剤から発生するガス
によるレンズ汚染をなくすことができ、レンズとレンズ
保持部材の着脱が簡単になり、着脱に費やされてきた工
数も削減することができる。また、本発明によれば、レ
ンズを薄い薄箔を介して作動流体により支持する構成を
採ることで、レンズに照明光等が照射された場合など
に、熱をレンズに蓄積することなく、効率良く作動流体
に伝えることができ、熱収差による光学特性の劣化を防
ぐことが可能となる。
【図１】本発明の実施例１に係る投影光学系の概略図。
【図２】本発明の実施例１に係る光学素子保持部材の構
成図。
成図。
【図３】本発明の実施例２に係る光学素子保持部材の構
成図。
成図。
【図４】本発明の実施例３に係る光学素子保持部材の構
成図。
成図。
【図５】本発明の実施例４に係る光学素子保持部材の構
成図。
成図。
【図６】本発明の実施例５に係る露光装置の概略図。
【図７】従来例におけるセル構造による鏡筒構造の概略
図。
図。
１：レンズ ２：セル ３：金属箔 ４：流動体 ５：調整ネジ ６：鏡筒 ７：スペーサー ８：押え環 ａ：胴付き部 ｂ：溝 ｃ．ｄ：リング部材 ９：照明光源 １０：レチクル １１：レチクルステージ １２：定盤 １３：ウエハ １４：ウエハステージ １５：レンズ １６：鏡筒 １７：押え環
Claims (8)
- 【請求項１】光学素子を所定の場所に保持する光学素子
の保持機構において、前記光学素子の形状に倣って該光
学素子を保持する保持手段を有することを特徴とする光
学素子の保持機構。 - 【請求項２】前記保持手段は、前記光学素子の外周部に
配置される支持部材を有し、該支持部材が光学素子を自
重等によって変形しないように支持する構成を備えてい
ることを特徴とする請求項１に記載の光学素子の保持機
構。 - 【請求項３】前記支持部材が、リング状の支持部材であ
って、該リング状の支持部材によって前記光学素子の下
面部または上下面部全周に渡り、または前記光学素子の
外周部に対して、該光学素子を均等な力で押圧し、該光
学素子が変形しないようにする押圧手段を備えているこ
とを特徴とする請求項２に記載の光学素子の保持機構。 - 【請求項４】前記支持部材が、複数に分割されたリング
状の支持部材であって、該複数に分割されたリング状の
支持部によって前記光学素子の下面部または上下面部の
複数個所で、または前記光学素子の外周部に対して、該
光学素子を均等な力で押圧し、該光学素子が変形しない
ようにする押圧手段を備えていることを特徴とする請求
項２に記載の光学素子の保持機構。 - 【請求項５】前記光学素子の上下面部または外周部に対
する押圧手段を、該光学素子の上下面部を薄箔を介して
作動流体により押圧するように構成し、該押圧手段によ
って前記光学素子を前記支持部材に支持するようにした
ことを特徴とする請求項３または請求項４に記載の光学
素子の保持機構。 - 【請求項６】前記光学素子の下面部に対する押圧手段
を、薄箔を介して作動流体により押圧するように構成す
る一方、該光学素子の外周面を前記支持部材の内周面に
接着剤で接合することにより、該光学素子を前記支持部
材に支持することを特徴とする請求項３または請求項４
に記載の光学素子の保持機構。 - 【請求項７】複数の光学素子保持手段を同軸上に所定間
隔で有する光学素子の保持機構において、前記各光学素
子保持手段のそれぞれが請求項１〜６のいずれか１項に
記載の支持部材で構成されていることを特徴とする光学
素子の保持機構。 - 【請求項８】マスクのパターンを投影光学系により基板
に投影する露光装置において、前記投影光学系が請求項
１〜７のいずれか１項に記載の光学素子の保持機構によ
って構成されていることを特徴とする露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000055253A JP2001242364A (ja) | 2000-03-01 | 2000-03-01 | 光学素子の保持機構、および該保持機構によって構成された投影光学系を備える露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000055253A JP2001242364A (ja) | 2000-03-01 | 2000-03-01 | 光学素子の保持機構、および該保持機構によって構成された投影光学系を備える露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001242364A true JP2001242364A (ja) | 2001-09-07 |
Family
ID=18576409
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000055253A Pending JP2001242364A (ja) | 2000-03-01 | 2000-03-01 | 光学素子の保持機構、および該保持機構によって構成された投影光学系を備える露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001242364A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003218023A (ja) * | 2002-01-28 | 2003-07-31 | Nikon Corp | Ｘ線反射鏡、ｘ線露光転写装置及び半導体デバイスの製造方法 |
| US6867848B2 (en) | 2000-03-30 | 2005-03-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Supporting structure of optical element, exposure apparatus having the same, and manufacturing method of semiconductor device |
| US7672067B2 (en) | 2007-06-28 | 2010-03-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical device, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| EP2444829A1 (en) * | 2006-09-14 | 2012-04-25 | Carl Zeiss SMT GmbH | Optical element unit and method of supporting an optical element |
| US10539879B2 (en) | 2018-04-26 | 2020-01-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical apparatus, exposure apparatus, method of manufacturing optical apparatus, and method of manufacturing article |
| KR20200115200A (ko) | 2019-03-25 | 2020-10-07 | 캐논 가부시끼가이샤 | 광학장치, 노광장치 및 물품 제조방법 |
-
2000
- 2000-03-01 JP JP2000055253A patent/JP2001242364A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6867848B2 (en) | 2000-03-30 | 2005-03-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Supporting structure of optical element, exposure apparatus having the same, and manufacturing method of semiconductor device |
| US7113263B2 (en) | 2000-03-30 | 2006-09-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Supporting structure of optical element, exposure apparatus having the same, and manufacturing method of semiconductor device |
| JP2003218023A (ja) * | 2002-01-28 | 2003-07-31 | Nikon Corp | Ｘ線反射鏡、ｘ線露光転写装置及び半導体デバイスの製造方法 |
| EP2444829A1 (en) * | 2006-09-14 | 2012-04-25 | Carl Zeiss SMT GmbH | Optical element unit and method of supporting an optical element |
| US9134501B2 (en) | 2006-09-14 | 2015-09-15 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optical element unit and method of supporting an optical element |
| US7672067B2 (en) | 2007-06-28 | 2010-03-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical device, exposure apparatus, and device manufacturing method |
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