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広ダイナミックレンジイオンエネルギーバイアス制御、高速イオンエネルギー切り替え、イオンエネルギー制御およびパルスバイアス供給部、および仮想フロントパネル
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先进工程解决方案全球控股私人有限公司 |
等离子体处理系统中的调制电源的改进应用
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Przestrzenne i czasowe sterowanie napięciem polaryzacji jonów do przetwarzania plazmowego
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Advanced Energy Industries, Inc. |
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2024-01-16 |
2024-02-20 |
国科大杭州高等研究院 |
适用于电推力器响应时间测量的检测系统
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