JP2001227915A - 撮像装置におけるカメラの位置ずれ検出方法、撮像装置におけるカメラの傾き検出方法、および、撮像装置におけるカメラの移動量補正方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基準マークを設けることなく正確にカメラの
位置ずれおよび傾きを検出し、カメラの移動量を補正す
ること。 【解決手段】 カメラの位置ずれ検出方法は、半導体ウ
エハを撮像する第１撮像工程と、撮像した画像から所定
のパターンを含む領域の画像を切り出して登録するパタ
ーン登録工程と、パターンを含む領域の中心座標位置を
測定する第１座標位置測定工程と、カメラを回転させる
回転工程と、半導体ウエハを撮像する第２撮像工程と、
パターンを含む領域の画像と第２撮像工程において撮像
した画像とのパターンマッチングを行うことによりパタ
ーンを含む領域の中心の座標位置を測定する第２座標位
置測定工程と、第１座標位置測定工程で測定した座標位
置と第２座標位置測定工程とで測定した座標位置とから
カメラの位置ずれ量を計算する位置ずれ量計算工程とを
備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、撮像装置におけ
るカメラの位置ずれ検出方法、撮像装置におけるカメラ
の傾き検出方法、および、これらの位置ずれ検出方法や
傾き検出方法を利用した撮像装置におけるカメラの移動
量補正方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、カメラを撮像対象に対して一方
向および回転方向に移動させることにより、撮像対象の
表面を撮像する極座標系の撮像装置においては、カメラ
の回転中心と画像（光軸）の中心との間で位置ずれが生
じた場合、撮像対象表面における撮像を行うべき特定の
領域（以下「特定領域」という）を撮像するためにカメ
ラを移動させても、撮像領域が特定領域と正確には一致
しない。同様に、カメラを撮像対象に対して一方向に移
動させることにより、撮像対象の表面を撮像する撮像装
置において、カメラが移動方向と交差する方向に傾いた
状態で配置された場合、撮像対象表面の特定領域を撮像
するためにカメラを移動させても、撮像領域が特定領域
と正確には一致しない。このため、カメラの回転中心と
画像（光軸）の中心とが正確に一致するよう、また、カ
メラが移動方向と一致する方向に正確に配置されるよう
に、カメラの位置を調整する必要がある。

【０００３】従来、このようなカメラの位置調整は、人
手により機械的にカメラの位置を微調整する方式が採用
されていた。

【０００４】また、特開平９−２８７９１９号公報にお
いては、撮像対象を載置するステージ上の特定の基準マ
ークを二カ所で読み取り、これを画像処理することでカ
メラの位置を補正する方式が提案されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】前者の人手により機械
的にカメラの位置を微調整する方式においては、カメラ
の位置をμｍ単位で調整することは困難である。

【０００６】また、後者の撮像対象を載置するステージ
上の特定の基準マークを二カ所で読み取ってこれを画像
処理することでカメラの位置を補正する方式において
は、ステージ上に特定の基準マークを設けなければなら
ないという問題が生ずる。

【０００７】この発明は上記課題を解決するためになさ
れたものであり、特定の基準マークを設けることなく正
確にカメラの位置ずれおよび傾きを検出し、あるいは、
これらの検出値を利用してカメラの移動量を補正するこ
とができる撮像装置におけるカメラの位置ずれ検出方
法、撮像装置におけるカメラの傾き検出方法、および、
撮像装置におけるカメラの移動量補正方法を提供するこ
とを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、撮像対象とカメラとを一方向および回転方向に相対
的に移動させることにより、前記撮像対象における特定
領域を前記カメラにより撮像する撮像装置におけるカメ
ラの位置ずれ検出方法であって、前記カメラにより前記
撮像対象を撮像する第１撮像工程と、前記第１撮像工程
において撮像した画像から所定のパターンを含む領域の
画像を切り出して登録するパターン登録工程と、前記パ
ターンにおける特定位置の座標位置を測定する第１座標
位置測定工程と、前記撮像対象と前記カメラとを相対的
に回転させる回転工程と、前記カメラにより前記撮像対
象の表面を撮像する第２撮像工程と、前記パターン登録
工程において切り出した所定のパターンを含む領域の画
像と前記第２撮像工程において撮像した画像とのパター
ンマッチングを行うことにより、前記パターンにおける
特定位置の座標位置を測定する第２座標位置測定工程
と、前記第１座標位置測定工程で測定した前記特定位置
の座標位置と前記第２座標位置測定工程とで測定した前
記特定位置の座標位置とから、前記カメラの位置ずれ量
を計算する位置ずれ量計算工程と、を備えたことを特徴
とする。

【０００９】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の発明において、前記第１座標位置測定工程において
は、前記パターン登録工程において切り出した所定のパ
ターンを含む領域の画像と前記第１撮像工程において撮
像した画像とのパターンマッチングを行うことにより、
前記パターンにおける特定位置の座標位置を測定する。

【００１０】請求項３に記載の発明は、請求項１または
請求項２いずれかに記載の発明において、前記パターン
における特定位置は、前記パターンを含む領域の中心位
置である。

【００１１】請求項４に記載の発明は、請求項１乃至請
求項３いずれかに記載の発明において検出したカメラの
位置ずれ量に基づいて、前記特定領域を前記カメラによ
り撮像する際の前記撮像対象と前記カメラとの一方向お
よび回転方向の相対的な移動量を補正することを特徴と
する。

【００１２】請求項５に記載の発明は、撮像対象とカメ
ラとを少なくとも一方向に相対的に移動させることによ
り、前記撮像対象における特定領域を前記カメラにより
撮像する撮像装置における前記移動方向と交差する方向
に対するカメラの傾きを検出するカメラの傾き検出方法
であって、前記カメラにより前記撮像対象を撮像する第
１撮像工程と、前記第１撮像工程において撮像した画像
から参照直線を選択する参照直線選択工程と、前記第１
撮像工程において撮像した画像における、前記参照直線
と交差する互いに平行な第１、第２の辺と、これら第
１、第２の辺に直交する第３の辺とを少なくとも備えた
画像表示ウィンドウに対し、前記第１の辺と前記参照直
線の交点と前記第３の辺との距離ａと、前記第２の辺と
前記参照直線の交点と前記第３の辺との距離ｂとを測定
する第１測定工程と、前記撮像対象と前記カメラとを前
記参照直線と交差する方向に相対的に距離Ｌだけ移動さ
せる移動工程と、前記カメラにより前記撮像対象の表面
を撮像する第２撮像工程と、前記第２撮像工程において
撮像した画像における、前記画像表示ウィンドウに対
し、前記第１の辺と前記参照直線の交点と前記第３の辺
との距離ｃを測定する第２測定工程と、前記第１測定工
程で測定した前記第１の辺と前記参照直線の交点と前記
第３の辺との距離ａと、前記第１測定工程で測定した前
記第２の辺と前記参照直線の交点と前記第３の辺との距
離ｂと、前記第２測定工程で測定した前記第１の辺と前
記参照直線の交点と前記第３の辺との距離ｃと、前記移
動工程における前記被測定物と前記カメラとの相対移動
距離Ｌと、前記第１の辺と前記第２の辺との距離Ｗとか
ら、前記カメラの傾きを計算する傾き計算工程と、を備
えたことを特徴とする。

【００１３】請求項６に記載の発明は、請求項５に記載
の発明において検出したカメラの傾きに基づいて、前記
特定領域を前記カメラにより撮像する際の前記撮像対象
と前記カメラとの一方向および回転方向の相対的な移動
量を補正することを特徴とする。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基づいて説明する。図１はこの発明を適用する撮像
装置の側面概要図である。

【００１５】この撮像装置は、対物レンズ１２を備えた
カメラ１３と、このカメラ１３を一方向（Ｒ軸方向）に
移動させるためのＲ軸用のカメラステージ１４と、この
Ｒ軸用のカメラステージ１４を回転方向（θ軸方向）に
移動させるためのθ軸用のカメラステージ１５と、撮像
対象たる半導体ウエハ１６を載置するための支持部材１
７とを備える。

【００１６】この撮像装置においては、Ｒ軸用のカメラ
ステージ１４とθ軸用のカメラステージ１５との作用で
カメラ１３を一方向（Ｒ軸方向）および回転方向（θ軸
方向）に移動させることにより、半導体ウエハ１６の下
側を向いた表面における所望の特定領域をカメラ１３の
対物レンズ１２により撮像する構成となっている。

【００１７】図２は、この撮像装置の主要な電気的構成
を示すブロック図である。

【００１８】この撮像装置は、装置全体を制御するため
の中央演算部２１を備える。この中央演算部２１は、装
置の制御に必要な動作プログラムが格納されたＲＯＭや
制御時にデータ等が一時的にストアされるＲＡＭからな
るメモリ２２と接続されている。

【００１９】この中央演算部２１は、カメラ１３を制御
するためのカメラ制御部２３を介してカメラ１３と接続
されている。また、カメラ１３は、そこで撮像した画像
を記憶するためのフレームメモリ２４と接続されてい
る。このフレームメモリ２４は、画像処理部２５を介し
て中央演算部２１と接続されている。

【００２０】また、中央演算部２１は、ステージ制御部
２６と接続されている。このステージ制御部２６は、そ
こに接続されたＲ軸用のカメラステージ１４およびθ軸
用のカメラステージ１５を制御するためのものである。

【００２１】さらに、中央演算部２１は、ＣＲＴ等の画
像表示ウィンドウ２８およびキーボードやマウス等の座
標点入力装置２９を備えたコンソール２７とも接続され
ている。

【００２２】次に、上述した撮像装置において、カメラ
１３のθ軸方向の回転中心と画像中心（すなわち、対物
レンズ１２における光軸中心）との間の位置ずれを検出
するための位置ずれ検出方法について説明する。

【００２３】図３は、カメラ１３により、撮像対象たる
半導体ウエハ１６の表面における領域３２を撮像する状
態を模式的に示す説明図である。なお、この図において
は、カメラ１３のθ軸方向の回転中心３１と画像中心
（すなわち、対物レンズ１２における光軸中心）とが、
後述するＸ、Ｙ方向に各々ａ、ｂだけずれた状態を誇張
して示している。

【００２４】また、図４は位置ずれ検出動作を示すフロ
ーチャートであり、図５〜図９はカメラ１３により撮像
され画像処理部２５で画像処理された後、画像表示ウィ
ンドウ２８に表示された画像を示す説明図である。

【００２５】先ず、Ｒ軸用のカメラステージ１４および
θ軸用のカメラステージ１５によりカメラ１３を一方向
（Ｒ軸方向）および回転方向（θ軸方向）に移動させ、
カメラ１３を半導体ウエハ１６表面における領域３２を
撮像可能な位置に配置する。そして、図５に示すよう
に、カメラ１３により半導体ウエハ１６の表面の画像を
撮像する（ステップＳ１）。しかる後、変数Ｉに０を入
力する（ステップＳ２）。

【００２６】次に、図５で示すステップＳ１で撮像した
画像から、図６に示すように、パターンマッチングに適
したパターン４１を含む領域の画像を切り出し、パター
ン登録する（ステップＳ３）。なお、このパターン４１
としては、図５に示す画像の中央付近に配置された他の
パターンと容易に識別可能なものを選択することが好ま
しい。

【００２７】次に、図５で示すステップＳ１で撮像した
画像とステップＳ３で登録したパターン４１を含む領域
の画像とのパターンマッチングを行う（ステップＳ
４）。そして、図７に示すように、パターン４１におけ
る特定位置としての中心の座標位置を測定し、記憶する
（ステップＳ５）。しかる後、変数Ｉに［Ｉ＋１］を入
力する（ステップＳ６）。

【００２８】次に、［Ｉ＝３］となったか否かを判定す
る（ステップＳ７）。［Ｉ＝３］となっていない場合に
は、θ軸用のカメラステージ１５の駆動によりカメラ１
３を３０度回転させた後、図８に示すように、カメラ１
３により半導体ウエハ１６の表面の画像を撮像する（ス
テップＳ８）。そして、再度、ステップＳ４〜ステップ
Ｓ６の動作を繰り返すことにより、パターン４１を含む
領域の画像の中心の座標位置を測定し、記憶する。

【００２９】しかる後、再度、［Ｉ＝３］となったか否
かを判定する（ステップＳ７）。［Ｉ＝３］となってい
ない場合には、θ軸用のカメラステージ１５の駆動によ
りカメラ１３をさらに３０度回転させた後、図９に示す
ように、カメラ１３により半導体ウエハ１６の表面の画
像を撮像する（ステップＳ８）。そして、再度、ステッ
プＳ４〜ステップＳ６の動作を繰り返すことにより、パ
ターン４１を含む領域の画像の中心の座標位置を測定
し、記憶する。

【００３０】そして、［Ｉ＝３］となった場合には、ス
テップＳ５において測定した３組のパターン４１を含む
領域の画像の中心の座標位置を後述する計算式に入力す
る（ステップＳ９）。そして、この計算式に基づいて、
カメラ１３のθ軸方向の回転中心と画像中心（すなわ
ち、対物レンズ１２における光軸中心）との間の位置ず
れ量を計算する（ステップＳ１０）。

【００３１】次に、上述したカメラ１３のθ軸方向の回
転中心と画像中心との間の位置ずれ量を計算するための
計算式について説明する。

【００３２】先ず、ステージ座標系とスクリーン座標系
との関係式について説明する。ここで、ステージ座標系
とは、カメラ１３を一方向（Ｒ軸方向）に移動させるた
めのＲ軸用のカメラステージ１４と、このＲ軸用のカメ
ラステージ１４を回転方向（θ軸方向）に移動させるた
めのθ軸用のカメラステージ１５とに係る座標系（撮像
装置の中心を原点とする撮像装置固有の直交座標系）を
指し、スクリーン座標系とは、画像表示ウィンドウ２８
内における直交座標系を指す。

【００３３】図１０は、撮像装置におけるカメラ１３が
極座標系で（Ｒ，θ）の位置に配置された場合における
ステージ座標系とスクリーン座標系との位置関係を模式
的に示す説明図であり、図１１は画像表示ウィンドウ２
８の大きさと補助座標系の間系を示す説明図である。

【００３４】なお、これらの図において、Ｘ，Ｙはステ
ージ座標系を、ｘ，ｙはスクリーン座標系を、Ｘｈ，Ｙ
ｈは計算のために使用する補助座標系を、Ｒ，θはカメ
ラステージ１４、１５に係る極座標系を、Ｘ’，Ｙ’は
Ｘ，Ｙ座標系を（Ｒ，θ）の座標位置に平行移動した座
標系を表す。また、図１１におけるＷは、表示ウィンド
ウ２８の幅を、また、Ｈは表示ウィンドウ２８の高さを
示している。

【００３５】これらの座標系の間には、下記の式１、式
２、式３の関係が成り立つ。

【００３６】

【式１】

【式２】

【式３】 これらについて、Ｘｈ，Ｙｈを介して等式を作成すると
下記の式４の通りとなる。

【００３７】

【式４】 これを（Ｘ，Ｙ）および（ｘ，ｙ）について解くと、下
記の式５、式６が得られる。

【００３８】

【式５】

【式６】 これらの式が、スクリーン座標系とステージ座標系との
関係を表す関係式である。

【００３９】次に、カメラ１３のθ軸方向の回転中心と
画像中心（すなわち、対物レンズ１２における光軸中
心）との間の位置ずれ量の計算方法について説明する。

【００４０】図１２は、カメラ１３がθ方向に角度θだ
け回転した場合における回転前のステージ座標系と回転
後のステージ座標系との位置関係を模式的に示す説明図
である。

【００４１】なお、これらの図において、Ｘ，Ｙはカメ
ラ１３が回転する前の上記と同様のステージ座標系を、
Ｘ’，Ｙ’はカメラ１３の回転後のステージ座標系を、
ｘ，ｙはカメラ１３が回転する前の上記と同様のスクリ
ーン座標系を、ｘ’，ｙ’はカメラ１３の回転後のスク
リーン座標系を、Ｘｃ，Ｙｃはカメラ１３が回転する前
の補助座標系を、Ｘ’ｃ，Ｙ’ｃはカメラ１３の回転後
の補助座標系を表す。また、ａ，ｂは、カメラ１３のθ
軸方向の回転中心と画像中心との位置ずれ量を示してい
る。

【００４２】これらの座標系の間には、下記の式７、式
８の関係が成り立つ。

【００４３】

【式７】

【式８】 従って、下記の式９が成立する。

【００４４】

【式９】 また、補助座標系と画像表示ウィンドウ２８の大きさと
の関係は下記の式１０の通りである。

【００４５】

【式１０】 これを式９に代入すると下記の式１１が得られる。

【００４６】

【式１１】 この式１１をａ，ｂについて解くと、下記の式１２が得
られる。

【００４７】

【式１２】 以上から、画像表示ウィンドウ２８におけるカメラ１３
が回転する前のスクリーン座標系ｘ，ｙおよびカメラ１
３の回転後のスクリーン座標系ｘ’，ｙ’の各々におけ
る、パターン４１を含む領域の画像の中心の座標位置が
求まれば、上述したカメラ１３のθ軸方向の回転中心と
画像中心との位置ずれ量ａ，ｂを計算することが可能と
なる。

【００４８】なお、カメラ１３のθ軸方向の回転中心と
画像中心との位置ずれ量ａ，ｂを計算するためには、画
像表示ウィンドウ２８におけるカメラ１３が回転する前
のスクリーン座標系ｘ，ｙおよびカメラ１３の回転後の
スクリーン座標系ｘ’，ｙ’において、パターン４１を
含む領域の画像の中心の座標位置を２組認識できればよ
い。しかしながら、上述した実施形態のように、Ｒ軸用
のカメラステージ１４をθ方向に２度回転させることに
よりパターン４１を含む領域の画像の中心の座標位置を
３組認識するようにした場合においては、カメラ１３の
θ軸方向の回転中心と画像中心との位置ずれ量ａ，ｂを
３組計算することが可能となる。このため、これらの位
置ずれ量ａ、ｂを平均すること等により、より精度の高
い計算値を得ることが可能となる。

【００４９】次に、上述したカメラ１３の位置ずれ検出
方法において検出したカメラ１３の位置ずれ量に基づい
て、特定領域をカメラ１３により撮像する際のカメラ１
３の移動量を補正するための移動量補正方法について説
明する。図１３は、カメラ１３の移動量を補正するため
の移動量補正方法の基本的な考え方を示す説明図であ
る。

【００５０】この図に示すように、回転中心３１と画像
中心（対物レンズ１２の中心）４２との間に、上述した
位置ずれ量ａ、ｂに相当する位置ずれが生じていた場合
においては、特定領域を撮像するための（ｘ，ｙ）の位
置に画像中心を移動させるため、下記の式１３に基づい
てＲ軸用のカメラステージ１４およびθ軸用のカメラス
テージ１５を駆動させたとしても、画像中心４２は
（ｘ，ｙ）とは異なる座標位置に配置されることにな
る。このため、位置ずれ量ａ，ｂを考慮して画像中心４
２を移動させる必要がある。

【００５１】

【式１３】 ここで、（ｒ＋ａ，ｂ）の位置にある画像中心４２が角
度θだけ回転して（ｘ，ｙ）に移動したとすると、下記
の式１４が成立する。

【００５２】

【式１４】 これを解いてｒおよびθを求める。なお、これらの式か
らは２組の解が生ずるが、その一方はｒ＜０となるの
で、他方の解が求める解となる。

【００５３】従って、下記の式１５、１６、１７で求め
られるｒおよびθに基づき、Ｒ軸用のカメラステージ１
４およびθ軸用のカメラステージ１５を駆動してカメラ
１３を移動させることにより、画像中心を正しく座標位
置（ｘ，ｙ）に移動させることが可能となる。

【００５４】

【式１５】

【式１６】

【式１７】 なお、上述した実施形態においては、パターン４１にお
ける特定位置としての中心の座標位置を測定するため、
ステップＳ４において、ステップＳ１で撮像した画像と
ステップＳ３で登録したパターン４１を含む領域の画像
とのパターンマッチングを行っている。しかしながら、
ステップＳ３においてステップＳ１で撮像した画像から
パターンマッチングに適したパターン４１を含む領域の
画像を切り出してパターン登録する時にパターン４１を
含む領域の画像の中心の座標位置が認識できるのであれ
ば、最初のパターンマッチングを省略することも可能で
ある。

【００５５】また、上述した実施形態においては、パタ
ーン４１における特定位置としてパターン４１を含む領
域の画像における中心位置を採用しているが、これに換
えて、特定位置としてパターン４１の先端位置等の他の
位置を利用することも可能である。

【００５６】次に、上述した撮像装置において、Ｒ軸方
向と交差する方向に対するカメラ１３の傾きを検出する
ための傾き検出方法について説明する。

【００５７】図１４は、カメラ１３により、撮像対象た
る半導体ウエハ１６の表面における二つの領域３２ａ、
３２ｂを撮像する状態を模式的に示す説明図である。な
お、以下の説明においては、上述した第１実施形態と同
一の部材については、同一の符号を付して詳細な説明を
省略する。

【００５８】また、図１５は傾き検出動作を示すフロー
チャートであり、図１６は二つの領域３２ａ、３２ｂを
撮像したときの画像表示ウィンドウ２８ａ、２８ｂと参
照直線４４との関係を示す説明図である。

【００５９】先ず、Ｒ軸用のカメラステージ１４および
θ軸用のカメラステージ１５によりカメラ１３を一方向
（Ｒ軸方向）および回転方向（θ軸方向）に移動させ、
カメラ１３を半導体ウエハ１６表面における最初の領域
３２ａを撮像可能な位置に配置する（ステップＳ１）。
このとき、参照直線４４が含まれる領域を領域３２ａと
して指定する。

【００６０】ここで、参照直線４４は、カメラ１３の傾
きを検出するために使用する直線である。この参照直線
４４は、半導体ウエハ１６に形成されたパターンのう
ち、直線部分を有する図形の辺等から選択される。

【００６１】次に、カメラ１３により半導体ウエハ１６
の表面における領域３２ａの画像を撮像し、このときの
画像表示ウィンドウ２８ａの両端と参照直線４４との交
点４５、４６の座標を、図２に示すコンソール２７の座
標点入力装置２９により入力する（ステップＳ２）。

【００６２】そして、距離ａおよび距離ｂを求める（ス
テップＳ３）。

【００６３】ここで、画像表示ウィンドウ２８ａが、参
照直線４４と交差する互いに平行で距離Ｗだけ離隔した
第１、第２の辺５１、５２と、これら第１、第２の辺５
１、５２に直交する第３の辺５３とを備えると考えた場
合、距離ａは第１の辺５１と参照直線４４の交点４５と
第３の辺５３との距離であり、距離ｂは第２の辺５２と
参照直線４４の交点４６と第３の辺５３との距離であ
る。

【００６４】次に、Ｒ軸用のカメラステージ１４により
カメラ１３を参照直線４４と交差する方向（図１６にお
けるＸ方向）に移動させる（ステップＳ４）。

【００６５】そして、カメラ１３により半導体ウエハ１
６の表面における領域３２ｂの画像を撮像し、このとき
の画像表示ウィンドウ２８ｂの一端と参照直線４４との
交点４７の座標を、図２に示すコンソール２７の座標点
入力装置２９により入力する（ステップＳ５）。

【００６６】そして、距離ｃを求める（ステップＳ
６）。

【００６７】ここで、上記同様、画像表示ウィンドウ２
８ｂが、参照直線４４と交差する互いに平行で距離Ｗだ
け離隔した第１、第２の辺５１、５２と、これら第１、
第２の辺５１、５２に直交する第３の辺５３とを備える
と考えた場合、距離ｃは第１の辺５１と参照直線４４の
交点４７と第３の辺５３との距離である。

【００６８】しかる後、ステップＳ３で求めた距離ａ、
ｂとステップＳ６で求めた距離ｃとから、カメラ１３の
傾きαを計算する（ステップＳ７）。

【００６９】次に、上述したカメラ１３の傾きαを計算
するための計算式について説明する。

【００７０】図１６に示すように、カメラ１３の移動距
離をＬ、カメラ１３の移動方向に対するカメラ１３の傾
きをα、また、カメラ１３の移動方向と参照直線４４と
の角度をθとした場合、下記の式１８が成立する。

【００７１】

【式１８】 この式１８からｓｉｎαおよびｃｏｓαを未知数とする
方程式をたて、これを解くと、下記の式１９および式２
０で表される２組の解が得られる。

【００７２】

【式１９】

【式２０】 そして、カメラ１３の角度αは微小であることから、こ
れら２組の解のうち、ｔａｎα（ｓｉｎα／ｃｏｓα）
が小さい値をとる方の角度αを、カメラ１３の傾きと認
定することができる。

【００７３】なお、上述した実施形態においては、画像
表示ウィンドウ２８ａ、２８ｂの３辺が、参照直線４４
と交差する互いに平行で距離Ｗだけ離隔した第１、第２
の辺と５１、５２と、これら第１、第２の辺５１、５２
に直交する第３の辺５３とから構成されている場合につ
いて説明しているが、画像表示ウィンドウ２８ａ、２８
ｂ内に参照直線４４と交差する互いに平行で距離Ｗだけ
離隔した第１、第２の辺と５１、５２と、これら第１、
第２の辺５１、５２に直交する第３の辺５３を設定する
ようにしてもよい。

【００７４】次に、上述したカメラ１３の傾き検出方法
において検出したカメラ１３の傾きに基づいて、特定領
域をカメラ１３により撮像する際のカメラ１３の移動量
を補正するための移動量補正方法について説明する。図
１７は、カメラ１３の移動量を補正するための移動量補
正方法の基本的な考え方を示す説明図である。撮像装置
におけるカメラ１３が、極座標系で（Ｒ、θ）の位置に
配置されているものとする。

【００７５】なお、図１７においては、カメラ１３の傾
斜角が０であった場合の画像表示ウィンドウ２８を破線
で、また、カメラ１３の傾斜角がαであった場合の画像
表示ウィンドウ２８を実線で示している。

【００７６】図１７において、上述したステージ座標系
Ｘ，Ｙを画像表示ウィンドウ２８の中心に平行移動させ
た座標系（図１７においてＸｈ，Ｙｈで示す座標系）を
考えた場合、下記の式２１が成立する。

【００７７】

【式２１】 一方、スクリーン座標系ｘ，ｙとＸα，Ｙαとの関係
は、前述した式３と同様、下記の式２２で表される。

【００７８】

【式２２】 これらから、スクリーン座標系ｘ，ｙとステージ座標系
Ｘ，Ｙとに関し、下記の式２３および式２４に示す方程
式が成立する。

【００７９】

【式２３】

【式２４】 そして、カメラ１３の視野内のスクリーン座標系におけ
る（ｘ，ｙ）の座標に画像中心を移動させる場合におい
ては、上記式２３および式２４を利用してスクリーン座
標系をステージ座標系に変換した後、上述した式１３に
より求められるｒおよびθに基づき、Ｒ軸用のカメラス
テージ１４およびθ軸用のカメラステージ１５を駆動し
てカメラ１３を移動させることにより、画像中心を正し
く座標位置（ｘ，ｙ）に移動させることが可能となる。

【００８０】上述した実施形態においては、いずれも、
支持部材１７上に固定状態で載置された半導体ウエハ１
６に対してカメラ１３を一方向（Ｒ軸方向）および回転
方向（θ軸方向）に移動させているが、固定状態のカメ
ラ１３に対して半導体ウエハ１６を一方向（Ｒ軸方向）
および回転方向（θ軸方向）に移動させるようにしても
よい。

【００８１】

【発明の効果】請求項１乃至請求項３に記載の発明によ
れば、特定の基準マークを設けることなく正確にカメラ
の位置ずれ量を検出することが可能となる。

【００８２】請求項４に記載の発明によれば、カメラの
位置ずれ量の検出値を利用してカメラの移動量を補正す
ることができ、カメラを正確な位置に移動させることが
可能となる。

【００８３】請求項５に記載の発明によれば、特定の基
準マークを設けることなく正確にカメラの傾きを検出す
ることが可能となる。

【００８４】請求項６に記載の発明によれば、カメラの
傾きの検出値を利用してカメラの移動量を補正すること
ができ、カメラを正確な位置に移動させることが可能と
なる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明を適用する撮像装置の側面概要図であ
る。

【図２】この撮像装置の主要な電気的構成を示すブロッ
ク図である。

【図３】カメラ１３により、撮像対象たる半導体ウエハ
１６の表面における領域３２を撮像する状態を模式的に
示す説明図である。

【図４】位置ずれ検出動作を示すフローチャートであ
る。

【図５】カメラ１３により撮像され画像処理部２５で画
像処理された後、画像表示ウィンドウ２８に表示された
画像を示す説明図である。

【図６】カメラ１３により撮像され画像処理部２５で画
像処理された後、画像表示ウィンドウ２８に表示された
画像を示す説明図である。

【図７】カメラ１３により撮像され画像処理部２５で画
像処理された後、画像表示ウィンドウ２８に表示された
画像を示す説明図である。

【図８】カメラ１３により撮像され画像処理部２５で画
像処理された後、画像表示ウィンドウ２８に表示された
画像を示す説明図である。

【図９】カメラ１３により撮像され画像処理部２５で画
像処理された後、画像表示ウィンドウ２８に表示された
画像を示す説明図である。

【図１０】撮像装置におけるカメラ１３が極座標系で
（Ｒ，θ）の位置に配置された場合におけるステージ座
標系とスクリーン座標系との位置関係を模式的に示す説
明図である。

【図１１】画像表示ウィンドウ２８の大きさと補助座標
系の間系を示す説明図である。

【図１２】カメラ１３がθ方向に角度θだけ回転した場
合における回転前のステージ座標系と回転後のステージ
座標系との位置関係を模式的に示す説明図である。

【図１３】カメラ１３の移動量を補正するための移動量
補正方法の基本的な考え方を示す説明図である。

【図１４】カメラ１３により、撮像対象たる半導体ウエ
ハ１６の表面における二つの領域３２ａ、３２ｂを撮像
する状態を模式的に示す説明図である。

【図１５】図１５は傾き検出動作を示すフローチャート
である。

【図１６】二つの領域３２ａ、３２ｂを撮像したときの
画像表示ウィンドウ２８ａ、２８ｂと参照直線４４との
関係を示す説明図である。

【図１７】カメラ１３の移動量を補正するための移動量
補正方法の基本的な考え方を示す説明図である。

【符号の説明】

１２ 対物レンズ １３ カメラ １４ カメラステージ １５ カメラステージ １６ 半導体ウエハ １７ 支持部材 ２１ 中央演算部 ２２ メモリ ２３ カメラ制御部 ２４ フレームメモリ ２５ 画像処理部 ２６ ステージ制御部 ２７ コンソール ２８ 画像表示ウィンドウ ２９ 座標点入力装置 ３２ 領域 ４１ パターン ４２ 画像中心 ４４ 参照直線 ５１ 第１の辺 ５２ 第２の辺 ５３ 第３の辺

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤本 博己 京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神 北町１番地の１ 大日本スクリーン製造株 式会社内 Ｆターム(参考） 2F065 AA03 AA32 AA37 BB02 CC19 DD00 FF01 FF04 JJ03 JJ26 KK01 MM07 MM08 PP03 QQ36 QQ38 QQ42 RR07 SS13 UU05

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 撮像対象とカメラとを一方向および回転
   方向に相対的に移動させることにより、前記撮像対象に
   おける特定領域を前記カメラにより撮像する撮像装置に
   おけるカメラの位置ずれ検出方法であって、 前記カメラにより前記撮像対象を撮像する第１撮像工程
   と、 前記第１撮像工程において撮像した画像から所定のパタ
   ーンを含む領域の画像を切り出して登録するパターン登
   録工程と、 前記パターンにおける特定位置の座標位置を測定する第
   １座標位置測定工程と、 前記撮像対象と前記カメラとを相対的に回転させる回転
   工程と、 前記カメラにより前記撮像対象の表面を撮像する第２撮
   像工程と、 前記パターン登録工程において切り出した所定のパター
   ンを含む領域の画像と前記第２撮像工程において撮像し
   た画像とのパターンマッチングを行うことにより、前記
   パターンにおける特定位置の座標位置を測定する第２座
   標位置測定工程と、 前記第１座標位置測定工程で測定した前記特定位置の座
   標位置と前記第２座標位置測定工程とで測定した前記特
   定位置の座標位置とから、前記カメラの位置ずれ量を計
   算する位置ずれ量計算工程と、 を備えたことを特徴とする撮像装置におけるカメラの位
   置ずれ検出方法。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の撮像装置におけるカメ
   ラの位置ずれ検出方法において、 前記第１座標位置測定工程においては、前記パターン登
   録工程において切り出した所定のパターンを含む領域の
   画像と前記第１撮像工程において撮像した画像とのパタ
   ーンマッチングを行うことにより、前記パターンにおけ
   る特定位置の座標位置を測定する撮像装置におけるカメ
   ラの位置ずれ検出方法。
3. 【請求項３】 請求項１または請求項２いずれかに記載
   の撮像装置におけるカメラの位置ずれ検出方法におい
   て、 前記パターンにおける特定位置は、前記パターンを含む
   領域の中心位置である撮像装置におけるカメラの位置ず
   れ検出方法。
4. 【請求項４】 請求項１乃至請求項３いずれかに記載の
   撮像装置におけるカメラの位置ずれ検出方法において検
   出したカメラの位置ずれ量に基づいて、前記特定領域を
   前記カメラにより撮像する際の前記撮像対象と前記カメ
   ラとの一方向および回転方向の相対的な移動量を補正す
   ることを特徴とする撮像装置におけるカメラの移動量補
   正方法。
5. 【請求項５】 撮像対象とカメラとを少なくとも一方向
   に相対的に移動させることにより、前記撮像対象におけ
   る特定領域を前記カメラにより撮像する撮像装置におけ
   る前記移動方向と交差する方向に対するカメラの傾きを
   検出するカメラの傾き検出方法であって、 前記カメラにより前記撮像対象を撮像する第１撮像工程
   と、 前記第１撮像工程において撮像した画像から参照直線を
   選択する参照直線選択工程と、 前記第１撮像工程において撮像した画像における、前記
   参照直線と交差する互いに平行な第１、第２の辺と、こ
   れら第１、第２の辺に直交する第３の辺とを少なくとも
   備えた画像表示ウィンドウに対し、前記第１の辺と前記
   参照直線の交点と前記第３の辺との距離ａと、前記第２
   の辺と前記参照直線の交点と前記第３の辺との距離ｂと
   を測定する第１測定工程と、 前記撮像対象と前記カメラとを前記参照直線と交差する
   方向に相対的に距離Ｌだけ移動させる移動工程と、 前記カメラにより前記撮像対象の表面を撮像する第２撮
   像工程と、 前記第２撮像工程において撮像した画像における、前記
   画像表示ウィンドウに対し、前記第１の辺と前記参照直
   線の交点と前記第３の辺との距離ｃを測定する第２測定
   工程と、 前記第１測定工程で測定した前記第１の辺と前記参照直
   線の交点と前記第３の辺との距離ａと、前記第１測定工
   程で測定した前記第２の辺と前記参照直線の交点と前記
   第３の辺との距離ｂと、前記第２測定工程で測定した前
   記第１の辺と前記参照直線の交点と前記第３の辺との距
   離ｃと、前記移動工程における前記被測定物と前記カメ
   ラとの相対移動距離Ｌと、前記第１の辺と前記第２の辺
   との距離Ｗとから、前記カメラの傾きを計算する傾き計
   算工程と、 を備えたことを特徴とする撮像装置におけるカメラの傾
   き検出方法。
6. 【請求項６】 請求項５に記載の撮像装置におけるカメ
   ラの傾き検出方法において検出したカメラの傾きに基づ
   いて、前記特定領域を前記カメラにより撮像する際の前
   記撮像対象と前記カメラとの一方向および回転方向の相
   対的な移動量を補正することを特徴とする撮像装置にお
   けるカメラの移動量補正方法。