JP2001221696A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2001221696A5 JP2001221696A5 JP2000074937A JP2000074937A JP2001221696A5 JP 2001221696 A5 JP2001221696 A5 JP 2001221696A5 JP 2000074937 A JP2000074937 A JP 2000074937A JP 2000074937 A JP2000074937 A JP 2000074937A JP 2001221696 A5 JP2001221696 A5 JP 2001221696A5
- Authority
- JP
- Japan
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000074937A JP2001221696A (ja) | 2000-02-10 | 2000-02-10 | 感温感歪複合センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000074937A JP2001221696A (ja) | 2000-02-10 | 2000-02-10 | 感温感歪複合センサ |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2011024384A Division JP4988938B2 (ja) | 2011-02-07 | 2011-02-07 | 感温感歪複合センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001221696A JP2001221696A (ja) | 2001-08-17 |
| JP2001221696A5 true JP2001221696A5 (ja) | 2007-04-05 |
Family
ID=18592899
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000074937A Withdrawn JP2001221696A (ja) | 2000-02-10 | 2000-02-10 | 感温感歪複合センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001221696A (ja) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3756737B2 (ja) * | 2000-08-02 | 2006-03-15 | 財団法人電気磁気材料研究所 | 薄膜触覚センサ |
| JP3913526B2 (ja) * | 2001-10-30 | 2007-05-09 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 変位センサとその製造方法および位置決めステージ |
| JP2006349535A (ja) * | 2005-06-16 | 2006-12-28 | Taiheiyo Cement Corp | 複合センサモジュールおよびセンサデバイス |
| JP5717972B2 (ja) * | 2010-02-26 | 2015-05-13 | 太平洋セメント株式会社 | ひずみ計測装置及びひずみ計測システム |
| JP5499942B2 (ja) * | 2010-06-28 | 2014-05-21 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | 複合センサ、センサユニット |
| JP5947494B2 (ja) * | 2011-06-30 | 2016-07-06 | トヨタ自動車株式会社 | トルク計測装置の製造方法 |
| JP6084393B2 (ja) * | 2012-08-08 | 2017-02-22 | 公益財団法人電磁材料研究所 | 歪センサおよび歪の測定方法 |
| KR101921379B1 (ko) * | 2016-09-26 | 2018-11-22 | 제주대학교 산학협력단 | 밴딩 측정이 가능한 온도센서 |
| JP2018189554A (ja) * | 2017-05-09 | 2018-11-29 | 株式会社Ｓｏｋｅｎ | 熱流式センサモジュール |
| JP7268333B2 (ja) * | 2018-11-16 | 2023-05-08 | Tdk株式会社 | 歪検出素子および力学量センサ |
| JP2022108071A (ja) * | 2021-01-12 | 2022-07-25 | ミネベアミツミ株式会社 | ドライブプレート型トルク変換器 |
| JP2022188394A (ja) | 2021-06-09 | 2022-12-21 | ミネベアミツミ株式会社 | ひずみゲージ、ロードセル |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0510826A (ja) * | 1991-07-02 | 1993-01-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | アレイセンサ |
| JPH0534182A (ja) * | 1991-07-31 | 1993-02-09 | Anritsu Corp | 歪・温度複合センサ |
| JPH06300649A (ja) * | 1993-04-12 | 1994-10-28 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 薄膜歪抵抗材料とその製造方法及び薄膜歪みセンサ |
| JPH09280911A (ja) * | 1996-04-16 | 1997-10-31 | Toyota Motor Corp | 圧力、歪、温度の同時計測方法 |
| JPH11195504A (ja) * | 1997-12-26 | 1999-07-21 | Res Inst Electric Magnetic Alloys | 電気抵抗薄膜及びその製造法並びにセンサデ バイス |
| JP2000111368A (ja) * | 1998-10-08 | 2000-04-18 | Nippon Soken Inc | 圧力、歪み及び温度の同時測定装置、同時測定方法及び薄膜センサ |
-
2000
- 2000-02-10 JP JP2000074937A patent/JP2001221696A/ja not_active Withdrawn