JP2001217297A - 基板搬送方法 - Google Patents
基板搬送方法Info
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- JP2001217297A JP2001217297A JP2000025320A JP2000025320A JP2001217297A JP 2001217297 A JP2001217297 A JP 2001217297A JP 2000025320 A JP2000025320 A JP 2000025320A JP 2000025320 A JP2000025320 A JP 2000025320A JP 2001217297 A JP2001217297 A JP 2001217297A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 カセット内の基板を取り出し、このカセット
あるいは他のカセットにソーティングするときに、基板
をカセットに衝突させず、また破損させない。 【解決手段】 上下動および旋回自在な主軸50bの上
端に回動自在に取り付けた第1アーム53と、この第1
アーム53に直結し且つ第1アーム53に対し屈曲自在
に取り付けた第2アーム52と、この第2アーム52に
取り付けたハンド51とを備えたロボット本体50のハ
ンド51でカセット31から取り出した基板41に対
し、位置ずれの全くない基板との傾き角θa および横方
向の位置ずれ量を求める。次いで、傾き角θaと横方向
の位置ずれ量をなくすようにロボット本体50を制御す
る。その後、カセット31の開口の中心軸線Mに対し
て、ロボット本体50のハンド51で保持される基板4
1の挿入端側の中心が沿うように、ロボット本体50を
制御しながらカセット31内に基板41を挿入する。
あるいは他のカセットにソーティングするときに、基板
をカセットに衝突させず、また破損させない。 【解決手段】 上下動および旋回自在な主軸50bの上
端に回動自在に取り付けた第1アーム53と、この第1
アーム53に直結し且つ第1アーム53に対し屈曲自在
に取り付けた第2アーム52と、この第2アーム52に
取り付けたハンド51とを備えたロボット本体50のハ
ンド51でカセット31から取り出した基板41に対
し、位置ずれの全くない基板との傾き角θa および横方
向の位置ずれ量を求める。次いで、傾き角θaと横方向
の位置ずれ量をなくすようにロボット本体50を制御す
る。その後、カセット31の開口の中心軸線Mに対し
て、ロボット本体50のハンド51で保持される基板4
1の挿入端側の中心が沿うように、ロボット本体50を
制御しながらカセット31内に基板41を挿入する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体や液晶表示
装置等の製造に用いる基板を搬送する基板搬送方法に関
する。
装置等の製造に用いる基板を搬送する基板搬送方法に関
する。
【0002】
【従来の技術】従来、未検査基板が積層されて収容され
た未検査用カセットから、基板搬送装置として機能する
ロボットのハンドで前記基板を取り出し、この基板を基
板検査用ステージに搬送して基板の検査をし、検査後の
基板を検査済用カセット内に順次積層して収容してい
た。
た未検査用カセットから、基板搬送装置として機能する
ロボットのハンドで前記基板を取り出し、この基板を基
板検査用ステージに搬送して基板の検査をし、検査後の
基板を検査済用カセット内に順次積層して収容してい
た。
【0003】この際、基板検査用ステージ上での基板の
位置決めは、その検査のために高精度が要求されてい
る。
位置決めは、その検査のために高精度が要求されてい
る。
【0004】しかし、未検査用カセットに収容されてい
る基板は、このカセット内に基板をロボット等で収容で
きるようにするために、基板の幅寸法よりも該基板の両
側をカセット内で支持している対の支持部材の基部間の
幅寸法が、例えば基板の大きさが650mm(幅)×7
20mm(長さ)のときには支持部材基部間の幅寸法が
654mm程度であって4mm程大きく設定され、構造
上一定の隙間が確保されていることから前記支持部材上
で基板が動くことができるようになっている。
る基板は、このカセット内に基板をロボット等で収容で
きるようにするために、基板の幅寸法よりも該基板の両
側をカセット内で支持している対の支持部材の基部間の
幅寸法が、例えば基板の大きさが650mm(幅)×7
20mm(長さ)のときには支持部材基部間の幅寸法が
654mm程度であって4mm程大きく設定され、構造
上一定の隙間が確保されていることから前記支持部材上
で基板が動くことができるようになっている。
【0005】このため、未検査基板はカセットの中で前
後左右あるいは回転したりして、カセットの中で一定の
向き(すなわち、定まった姿勢)にならず、無作為にズ
レた状態で収容されていることになる。
後左右あるいは回転したりして、カセットの中で一定の
向き(すなわち、定まった姿勢)にならず、無作為にズ
レた状態で収容されていることになる。
【0006】従って、このような未検査用カセットから
ロボットのハンドで基板を基板検査用ステージ上に搬送
しても、基板検査用ステージに対して基板の位置決めが
難しかった。
ロボットのハンドで基板を基板検査用ステージ上に搬送
しても、基板検査用ステージに対して基板の位置決めが
難しかった。
【0007】上記不具合に鑑みて、特願平10−120
349号(特開平11−312726号公報)にて、基
板検査用ステージに対する未検査基板の位置決めを正確
にできるようにするため、未検査基板を未検査用カセッ
トから取り出す際に基板の姿勢を検出し、その検出結果
に基づいて、ハンド上の基板の姿勢を検査用ステージへ
の載置前に補正し、定まった姿勢とした後に検査用ステ
ージに基板を供給していた。
349号(特開平11−312726号公報)にて、基
板検査用ステージに対する未検査基板の位置決めを正確
にできるようにするため、未検査基板を未検査用カセッ
トから取り出す際に基板の姿勢を検出し、その検出結果
に基づいて、ハンド上の基板の姿勢を検査用ステージへ
の載置前に補正し、定まった姿勢とした後に検査用ステ
ージに基板を供給していた。
【0008】図4に示すLCD基板検査装置(前記基板
検査用ステージに対応する)と基板搬送装置を用いて、
より詳細に説明する。図4は、LCD基板検査装置と基
板搬送装置の構成を説明するための概念図であり、図4
(a)はその内部を示した側面図、図4(b)は同様に
平面図である。
検査用ステージに対応する)と基板搬送装置を用いて、
より詳細に説明する。図4は、LCD基板検査装置と基
板搬送装置の構成を説明するための概念図であり、図4
(a)はその内部を示した側面図、図4(b)は同様に
平面図である。
【0009】図4(a)において、製造途上のLCD基
板41を検査するための基板検査装置10と基板搬送装
置20は隣接して配置されており、基板搬送装置20は
未検査のLCD基板41をカセット31から基板検査装
置10に供給するとともに、検査済のLCD基板41を
基板検査装置10から取り出してカセット32収容す
る。
板41を検査するための基板検査装置10と基板搬送装
置20は隣接して配置されており、基板搬送装置20は
未検査のLCD基板41をカセット31から基板検査装
置10に供給するとともに、検査済のLCD基板41を
基板検査装置10から取り出してカセット32収容す
る。
【0010】基板搬送装置20は、未検査のLCD基板
41や検査済のLCD基板41をそれぞれ積層して収容
し運搬するためのカセット31あるいはカセット32
を、図4(b)に示す如く、カセットステーション基台
21a上の所定位置で並べて位置決めして収容するカセ
ットステーション21と、このカセットステーション2
1上に位置決めされた各カセット31,32と前記基板
検査装置10の基板ステージ11との間で未検査あるい
は検査済のLCD基板41を移動するためのロボットユ
ニット22とからなる。従って、ロボットユニット22
は、基板検査装置10とカセットステーション21の間
に配置されている。
41や検査済のLCD基板41をそれぞれ積層して収容
し運搬するためのカセット31あるいはカセット32
を、図4(b)に示す如く、カセットステーション基台
21a上の所定位置で並べて位置決めして収容するカセ
ットステーション21と、このカセットステーション2
1上に位置決めされた各カセット31,32と前記基板
検査装置10の基板ステージ11との間で未検査あるい
は検査済のLCD基板41を移動するためのロボットユ
ニット22とからなる。従って、ロボットユニット22
は、基板検査装置10とカセットステーション21の間
に配置されている。
【0011】ロボットユニット22は、ロボット本体5
0と、このロボット本体50を基板検査装置10とカセ
ットステーション21の間で、前記カセット31,32
の並び方向に沿って平行移動させるための横移動手段6
0を含む。図4(b)において、横移動手段60は、典
型的には、前記カセット31,32の並び方向に沿って
基板搬送装置20の基台20a上に取り付けられる一対
の直動軸受61と、ボールネジ62および駆動用モータ
60aからなり、ロボット本体50をその支持板50a
で支持しつつ、基台20a上に配置した制御装置20b
で制御されて横移動軸として機能するとともに、カセッ
ト31,32の並び方向に沿って横移動する。
0と、このロボット本体50を基板検査装置10とカセ
ットステーション21の間で、前記カセット31,32
の並び方向に沿って平行移動させるための横移動手段6
0を含む。図4(b)において、横移動手段60は、典
型的には、前記カセット31,32の並び方向に沿って
基板搬送装置20の基台20a上に取り付けられる一対
の直動軸受61と、ボールネジ62および駆動用モータ
60aからなり、ロボット本体50をその支持板50a
で支持しつつ、基台20a上に配置した制御装置20b
で制御されて横移動軸として機能するとともに、カセッ
ト31,32の並び方向に沿って横移動する。
【0012】このロボット本体50は、LCD基板41
を載置して移動するために、上下動および旋回自在な主
軸50bと、この主軸50bの上端に回動自在に取り付
けられた第1アーム53と、この第1アーム53に連結
し且つ第1アーム53に対して屈曲自在に取り付けられ
た第2アーム52と、この第2アーム52に対して取り
付けられたハンド51を有しており、このハンド51の
位置および向きは、主軸50b、第1アーム53および
第2アーム52の前記制御装置20bによる制御によっ
て変えられるようになっている。なお、各部材の支持部
材は不図示である。
を載置して移動するために、上下動および旋回自在な主
軸50bと、この主軸50bの上端に回動自在に取り付
けられた第1アーム53と、この第1アーム53に連結
し且つ第1アーム53に対して屈曲自在に取り付けられ
た第2アーム52と、この第2アーム52に対して取り
付けられたハンド51を有しており、このハンド51の
位置および向きは、主軸50b、第1アーム53および
第2アーム52の前記制御装置20bによる制御によっ
て変えられるようになっている。なお、各部材の支持部
材は不図示である。
【0013】よって、ロボット本体50と横移動手段6
0により、未検査基板を収容するカセット31から未検
査のLCD基板41を取り出して反対側の基板検査装置
10の基板ステージ11に置き、検査済のLCD基板
(不図示)を基板ステージ11から取り出して検査済基
板を収容するカセット32に入れるように動作するもの
である。
0により、未検査基板を収容するカセット31から未検
査のLCD基板41を取り出して反対側の基板検査装置
10の基板ステージ11に置き、検査済のLCD基板
(不図示)を基板ステージ11から取り出して検査済基
板を収容するカセット32に入れるように動作するもの
である。
【0014】前記動作をするために、ロボットユニット
22に備わっている駆動軸(すなわち、ロボットユニッ
ト22が制御装置20bによって制御される動作方向、
いわゆる動作方向の軸)を図5を用いて説明する。図5
(a)はロボットユニット22を側方から見た図、図5
(b)〜(d)はロボットユニットを上方から見た図で
ある。
22に備わっている駆動軸(すなわち、ロボットユニッ
ト22が制御装置20bによって制御される動作方向、
いわゆる動作方向の軸)を図5を用いて説明する。図5
(a)はロボットユニット22を側方から見た図、図5
(b)〜(d)はロボットユニットを上方から見た図で
ある。
【0015】すなわち、ロボットユニット22の駆動軸
は、図5(a)に示す、LCD基板41を載置するハン
ド51を主軸50bを介して昇降させる昇降軸と、図5
(b)に示す、第1アーム53と第2アーム52とを屈
曲させ、両アーム53,52のなす角度θを変えること
でLCD基板41をカセット31,32と基板ステージ
11との間で取り出したり供給したりするための前後動
軸と、図5(c)に示す、カセット31,32と基板ス
テージ11との間で主軸50bを旋回させることでハン
ド51の向きを変えてLCD基板41の方向を転換する
ための旋回軸と、図5(d)に示す、ロボット本体50
を前記横移動手段60によって丸ごと移動させることで
LCD基板41をカセット31,32の並び方向で平行
移動させるための横移動軸と、の4軸が備わっている。
は、図5(a)に示す、LCD基板41を載置するハン
ド51を主軸50bを介して昇降させる昇降軸と、図5
(b)に示す、第1アーム53と第2アーム52とを屈
曲させ、両アーム53,52のなす角度θを変えること
でLCD基板41をカセット31,32と基板ステージ
11との間で取り出したり供給したりするための前後動
軸と、図5(c)に示す、カセット31,32と基板ス
テージ11との間で主軸50bを旋回させることでハン
ド51の向きを変えてLCD基板41の方向を転換する
ための旋回軸と、図5(d)に示す、ロボット本体50
を前記横移動手段60によって丸ごと移動させることで
LCD基板41をカセット31,32の並び方向で平行
移動させるための横移動軸と、の4軸が備わっている。
【0016】図6は、前記各駆動軸(いわゆる動作方向
の軸)を構成するためのロボットユニット22内部の断
面図である。
の軸)を構成するためのロボットユニット22内部の断
面図である。
【0017】前記ハンド51を主軸50aを介して昇降
させる昇降軸は、ロボット本体50内の駆動モータ10
1の出力軸にベルト115を介して連結されたボールネ
ジ102の回転により、このボールネジ102と螺合す
る上下動座103を上下動することによって構成され
る。
させる昇降軸は、ロボット本体50内の駆動モータ10
1の出力軸にベルト115を介して連結されたボールネ
ジ102の回転により、このボールネジ102と螺合す
る上下動座103を上下動することによって構成され
る。
【0018】また、LCD基板41の方向を転換するた
めの旋回軸は、上下動座103の箱体の空間内部に取り
付けられた駆動モータ104の出力軸の上端に、減速機
付きエンコーダ105を介して主軸50bの下端底部を
連結し、駆動モータ104の回転によりエンコーダ10
5を介して主軸50bを旋回することによって構成され
る。
めの旋回軸は、上下動座103の箱体の空間内部に取り
付けられた駆動モータ104の出力軸の上端に、減速機
付きエンコーダ105を介して主軸50bの下端底部を
連結し、駆動モータ104の回転によりエンコーダ10
5を介して主軸50bを旋回することによって構成され
る。
【0019】また、LCD基板41をカセット31(あ
るいは32)と基板ステージ11との間で取り出したり
供給したりする前後動軸は、主軸50bの上部に固定し
た上端室106の底部側にエンコーダ付き駆動モータ1
07を固定し、このエンコーダ付きモータ107の出力
軸にベルト116および中空状の第1アーム53、第2
アーム52およびハンド51等を連結して、ハンド51
を直線的に前後動するようにして構成される。
るいは32)と基板ステージ11との間で取り出したり
供給したりする前後動軸は、主軸50bの上部に固定し
た上端室106の底部側にエンコーダ付き駆動モータ1
07を固定し、このエンコーダ付きモータ107の出力
軸にベルト116および中空状の第1アーム53、第2
アーム52およびハンド51等を連結して、ハンド51
を直線的に前後動するようにして構成される。
【0020】すなわち、エンコーダ付き駆動モータ10
7の出力軸のプーリー107aと、上端室106の上部
に固定した減速機108のプーリー108bとをベルト
116を介して連結する。また、減速機108の出力端
(上端)を中空状の第1アーム53の基端側に固着する
とともに、この減速機108の外周にプーリー108a
を固着する。第1アーム53の先端側には支軸109を
一体的に固着するとともに、この支軸109に対して回
動自在な軸受110を一体的に固着した第2アーム52
を連結する。
7の出力軸のプーリー107aと、上端室106の上部
に固定した減速機108のプーリー108bとをベルト
116を介して連結する。また、減速機108の出力端
(上端)を中空状の第1アーム53の基端側に固着する
とともに、この減速機108の外周にプーリー108a
を固着する。第1アーム53の先端側には支軸109を
一体的に固着するとともに、この支軸109に対して回
動自在な軸受110を一体的に固着した第2アーム52
を連結する。
【0021】この軸受110の外周には、プーリー11
0aを固着している。また、支軸109の上端外周にプ
ーリー109aを固着している。第2アーム52の先端
側には支軸111を一体的に固着するとともに、この支
軸111に対して回動自在な軸受112を一体的に固着
したハンド51を連結する。この軸受112の外周には
プーリー112aを固着している。そして、前記プーリ
ー108aとプーリー110aとの比を2対1、またプ
ーリー109aとプーリー112aとの比を2対1と設
定し、且つ各プーリー108a,110aおよびプーリ
ー109a,112a間をそれぞれベルト117,11
8で連結する。
0aを固着している。また、支軸109の上端外周にプ
ーリー109aを固着している。第2アーム52の先端
側には支軸111を一体的に固着するとともに、この支
軸111に対して回動自在な軸受112を一体的に固着
したハンド51を連結する。この軸受112の外周には
プーリー112aを固着している。そして、前記プーリ
ー108aとプーリー110aとの比を2対1、またプ
ーリー109aとプーリー112aとの比を2対1と設
定し、且つ各プーリー108a,110aおよびプーリ
ー109a,112a間をそれぞれベルト117,11
8で連結する。
【0022】以上の構成によって、エンコーダ付き駆動
モータ107の駆動により、ハンド51の先端部は直線
的に前後移動することになり、よって前後動軸が構成さ
れる。
モータ107の駆動により、ハンド51の先端部は直線
的に前後移動することになり、よって前後動軸が構成さ
れる。
【0023】なお、図6にあって、駆動モータ101、
駆動モータ104およびエンコーダ105、エンコーダ
付き駆動モータ107は、図4の制御装置20bに接続
されている。また、主軸50bの回転中心に対してエン
コーダ付き駆動モータ107の中心軸は、偏心されて配
備されている。
駆動モータ104およびエンコーダ105、エンコーダ
付き駆動モータ107は、図4の制御装置20bに接続
されている。また、主軸50bの回転中心に対してエン
コーダ付き駆動モータ107の中心軸は、偏心されて配
備されている。
【0024】また、図4において、未検査のLCD基板
41を未検査用カセット31から取り出す際に、基板4
1の姿勢(位置ズレ量や傾き量等)を検出するために、
一対の透過型光学センサ70(70R,70L)がカセ
ット31からのLCD基板41の取り出し口の前方に設
けられている。
41を未検査用カセット31から取り出す際に、基板4
1の姿勢(位置ズレ量や傾き量等)を検出するために、
一対の透過型光学センサ70(70R,70L)がカセ
ット31からのLCD基板41の取り出し口の前方に設
けられている。
【0025】前記センサ70(70R,70L)は、図
4(a)に示すように、カセット31の取り出し口の前
方の上下に配置した発光部71と受光部72の対からな
るとともに、センサ70R,70Lは図4(b)に示す
ように所定の間隔を置いて配置されており、70R,7
0Lのそれぞれの発光部71と受光部72の間をLCD
基板41が通過して遮光したとき、これを検出するもの
である。
4(a)に示すように、カセット31の取り出し口の前
方の上下に配置した発光部71と受光部72の対からな
るとともに、センサ70R,70Lは図4(b)に示す
ように所定の間隔を置いて配置されており、70R,7
0Lのそれぞれの発光部71と受光部72の間をLCD
基板41が通過して遮光したとき、これを検出するもの
である。
【0026】具体的には、図7(a)で、基板41をロ
ボット本体50のハンド51でカセット31から引き出
すとき、図7(b)のように、片側のセンサ70LをL
CD基板41が遮光する。このときのロボット本体50
のハンド51に載置されたLCD基板41の姿勢を、位
置ズレがない場合(所望の姿勢状態の場合)にLCD基
板41が遮光するときの姿勢と比較することで、センサ
70L側におけるLCD基板41の図中上下方向(すな
わち、カセット31に対して出し入れする前後方向)の
位置ズレ量(前後方向のズレ量に相当する)が検出で
き、また算出できる。
ボット本体50のハンド51でカセット31から引き出
すとき、図7(b)のように、片側のセンサ70LをL
CD基板41が遮光する。このときのロボット本体50
のハンド51に載置されたLCD基板41の姿勢を、位
置ズレがない場合(所望の姿勢状態の場合)にLCD基
板41が遮光するときの姿勢と比較することで、センサ
70L側におけるLCD基板41の図中上下方向(すな
わち、カセット31に対して出し入れする前後方向)の
位置ズレ量(前後方向のズレ量に相当する)が検出で
き、また算出できる。
【0027】さらに、LCD基板41を引き出すと、図
7(c)に示すように、もう一方のセンサ70RをLC
D基板41が遮光する。このときのロボット本体50の
ハンド51に載置されたLCD基板41の姿勢と、図7
(b)における姿勢を比較することにより、LCD基板
41の回転方向成分の位置ズレが算出できる。
7(c)に示すように、もう一方のセンサ70RをLC
D基板41が遮光する。このときのロボット本体50の
ハンド51に載置されたLCD基板41の姿勢と、図7
(b)における姿勢を比較することにより、LCD基板
41の回転方向成分の位置ズレが算出できる。
【0028】すなわち、傾いた基板41がセンサ70L
を遮光した後にセンサ70Rを遮光するまでの基板41
の移動距離aと、各センサ70R,70L間の距離dと
に基づいて、基板41の傾き角θa(=a/d)を算出
できる。この傾き角θaは、カセット31の取り出し口
の前縁31aの中心軸線Mに対する傾き角度である。な
お、この中心軸線Mの延長線と、ロボット本体50の主
軸50bの軸中心(主軸50bの回転中心)とが直交し
た位置で、カセット31から基板41の取り出しが行わ
れるようになっている。図7(d)は、回転方向で位置
ズレのあるLCD基板41をカセット31から完全に引
き出したところである。
を遮光した後にセンサ70Rを遮光するまでの基板41
の移動距離aと、各センサ70R,70L間の距離dと
に基づいて、基板41の傾き角θa(=a/d)を算出
できる。この傾き角θaは、カセット31の取り出し口
の前縁31aの中心軸線Mに対する傾き角度である。な
お、この中心軸線Mの延長線と、ロボット本体50の主
軸50bの軸中心(主軸50bの回転中心)とが直交し
た位置で、カセット31から基板41の取り出しが行わ
れるようになっている。図7(d)は、回転方向で位置
ズレのあるLCD基板41をカセット31から完全に引
き出したところである。
【0029】次いで、図7(e)のように、横移動軸を
使って、LCD基板41をロボット本体50ごと図中右
方向に移動し、左側のセンサ70Lが基板41に遮光さ
れなくなる瞬間を検出する。このときの横移動量を、位
置ズレの全くないときの横移動量と比較し、前述の前後
方向のズレ量および回転方向成分のズレ量も加味して、
LCD基板41の図中横方向の位置ズレを算出できる。
使って、LCD基板41をロボット本体50ごと図中右
方向に移動し、左側のセンサ70Lが基板41に遮光さ
れなくなる瞬間を検出する。このときの横移動量を、位
置ズレの全くないときの横移動量と比較し、前述の前後
方向のズレ量および回転方向成分のズレ量も加味して、
LCD基板41の図中横方向の位置ズレを算出できる。
【0030】以上で、検出された前後方向および横方向
のズレ量を位置ズレの全くない場合から差し引くととも
に、回転方向成分のズレ量(角度θa)に相当してロボ
ット本体50の主軸50bを、その軸中心回り(主軸5
0bの回転中心回り)に回転させて、LCD基板41の
姿勢を修正した後に、基板検査装置10の基板ステージ
11に置けば、正確な位置に所定の姿勢で置ける。位置
ズレ量は、幾何学的に一意に求められるものである。
のズレ量を位置ズレの全くない場合から差し引くととも
に、回転方向成分のズレ量(角度θa)に相当してロボ
ット本体50の主軸50bを、その軸中心回り(主軸5
0bの回転中心回り)に回転させて、LCD基板41の
姿勢を修正した後に、基板検査装置10の基板ステージ
11に置けば、正確な位置に所定の姿勢で置ける。位置
ズレ量は、幾何学的に一意に求められるものである。
【0031】なお、回転方向成分に位置ズレを有する未
検査のLCD基板41を位置ズレなく基板ステージ11
に置くために、ロボット本体50の主軸50bを回転さ
せたので、基板41を進退させる方向Aが図8(a)に
示すように、前記傾き角θa分だけ前記中心軸線M(カ
セット31の取り出し口の前縁31aの中心軸線であ
り、主軸50bの回転中心と直交する)に対して、逆方
向(−θa)に傾いている。
検査のLCD基板41を位置ズレなく基板ステージ11
に置くために、ロボット本体50の主軸50bを回転さ
せたので、基板41を進退させる方向Aが図8(a)に
示すように、前記傾き角θa分だけ前記中心軸線M(カ
セット31の取り出し口の前縁31aの中心軸線であ
り、主軸50bの回転中心と直交する)に対して、逆方
向(−θa)に傾いている。
【0032】
【発明が解決しようとする課題】上記基板搬送装置20
を用いて未検査基板41をソーティングする。例えば、
未検査基板41を収容する未検査用カセット31内で、
空きの段を他の段の基板で詰めるためのソーティングを
したり、あるいは、空きの多い2つ以上の未検査用カセ
ット31をカセットステーション上に並列に配置した後
に選択された未検査用カセット31から取り出した基板
41をロボットの横移動により1つの未検査用カセット
31に集約するためのソーティングをしたりする場合が
ある。
を用いて未検査基板41をソーティングする。例えば、
未検査基板41を収容する未検査用カセット31内で、
空きの段を他の段の基板で詰めるためのソーティングを
したり、あるいは、空きの多い2つ以上の未検査用カセ
ット31をカセットステーション上に並列に配置した後
に選択された未検査用カセット31から取り出した基板
41をロボットの横移動により1つの未検査用カセット
31に集約するためのソーティングをしたりする場合が
ある。
【0033】しかしながら、前記第1アーム53、第2
アーム52およびハンド51をそれぞれ連結して、ハン
ド51が直線移動するように構成したロボットユニット
22において、ハンド51の先端の移動軌跡を詳細に検
討してみると、未検査用カセット31からLCD基板4
1を取り出したときのハンド51の先端移動軌跡(図9
(a))と、ソーティングのために基板41を再度カセ
ット31に挿入するときのハンド51の先端移動軌跡
(図9(b))との間に、ズレがあることを見い出し
た。このズレ量が、例えば前述の基板41の大きさ(6
50mm×720mm)の場合、基板41の挿入側前縁
とカセット31の開口までの間が略50mmのときは、
略1.3mmにも達するものであった。
アーム52およびハンド51をそれぞれ連結して、ハン
ド51が直線移動するように構成したロボットユニット
22において、ハンド51の先端の移動軌跡を詳細に検
討してみると、未検査用カセット31からLCD基板4
1を取り出したときのハンド51の先端移動軌跡(図9
(a))と、ソーティングのために基板41を再度カセ
ット31に挿入するときのハンド51の先端移動軌跡
(図9(b))との間に、ズレがあることを見い出し
た。このズレ量が、例えば前述の基板41の大きさ(6
50mm×720mm)の場合、基板41の挿入側前縁
とカセット31の開口までの間が略50mmのときは、
略1.3mmにも達するものであった。
【0034】このため、未検査用カセット31から基板
41を取り出す際に、カセット31内の内側面奥側と基
板41の奥側とが接触している場合など、ハンド51に
よりカセット31の開口から取り出された基板41を再
度カセット31内に挿入(図8(a)のA方向に挿入)
するときには、前記方向成分のズレ量(角度θa:実験
では最大50分となる)に相当してロボット本体50を
回転し基板41の姿勢を修正した場合であっても、略
1.3mmのズレ量と、前記角度θaによるズレ量に起
因してカセット31の開口と基板41の奥側(挿入側前
縁)とが干渉することになる(図8(b))。
41を取り出す際に、カセット31内の内側面奥側と基
板41の奥側とが接触している場合など、ハンド51に
よりカセット31の開口から取り出された基板41を再
度カセット31内に挿入(図8(a)のA方向に挿入)
するときには、前記方向成分のズレ量(角度θa:実験
では最大50分となる)に相当してロボット本体50を
回転し基板41の姿勢を修正した場合であっても、略
1.3mmのズレ量と、前記角度θaによるズレ量に起
因してカセット31の開口と基板41の奥側(挿入側前
縁)とが干渉することになる(図8(b))。
【0035】よって、基板41をカセット31に挿入で
きない、あるいは無理に挿入すると基板41が割れると
いう不具合が生じた。
きない、あるいは無理に挿入すると基板41が割れると
いう不具合が生じた。
【0036】本発明は、上記不具合に鑑みてなされたも
のであって、カセット内の基板を取り出し、このカセッ
トあるいは他のカセットに対してソーティングするとき
に、カセットに対して基板が衝突することなく、また破
損することなく可能にする基板搬送方法を提供すること
を目的とする。
のであって、カセット内の基板を取り出し、このカセッ
トあるいは他のカセットに対してソーティングするとき
に、カセットに対して基板が衝突することなく、また破
損することなく可能にする基板搬送方法を提供すること
を目的とする。
【0037】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明の請求項1の基板搬送方法は、上下動および
旋回自在な主軸の上端に回動自在に取り付けられた第1
アームと、この第1アームに直結し且つ第1アームに対
し屈曲自在に取り付けられた第2アームと、この第2ア
ームに対し取り付けられたハンドとを備えたロボット本
体を有し、前記主軸、第1アームおよび第2アームの駆
動により前記ハンドを介して未検査用カセットから取り
出された基板を、ソーティング用にカセットに収容する
基板搬送方法において、前記未検査用カセットから取り
出した基板に対し位置ずれの全くない基板との傾き角θ
aおよび横方向の位置ずれ量を求め、次いで、前記傾き
角θaおよび横方向の位置ずれ量をなくすように、前記
ロボット本体を制御し、その後、カセットの開口の中心
軸線Mに対して、前記ロボット本体のハンドで保持され
る基板の挿入端側の中心が沿うように、前記ロボット本
体を制御しながら、前記カセット内に基板を挿入するこ
ととした。
に、本発明の請求項1の基板搬送方法は、上下動および
旋回自在な主軸の上端に回動自在に取り付けられた第1
アームと、この第1アームに直結し且つ第1アームに対
し屈曲自在に取り付けられた第2アームと、この第2ア
ームに対し取り付けられたハンドとを備えたロボット本
体を有し、前記主軸、第1アームおよび第2アームの駆
動により前記ハンドを介して未検査用カセットから取り
出された基板を、ソーティング用にカセットに収容する
基板搬送方法において、前記未検査用カセットから取り
出した基板に対し位置ずれの全くない基板との傾き角θ
aおよび横方向の位置ずれ量を求め、次いで、前記傾き
角θaおよび横方向の位置ずれ量をなくすように、前記
ロボット本体を制御し、その後、カセットの開口の中心
軸線Mに対して、前記ロボット本体のハンドで保持され
る基板の挿入端側の中心が沿うように、前記ロボット本
体を制御しながら、前記カセット内に基板を挿入するこ
ととした。
【0038】また、本発明の請求項2の基板搬送方法
は、上下動および旋回自在な主軸の上端に回動自在に取
り付けられた第1アームと、この第1アームに直結し且
つ第1アームに対し屈曲自在に取り付けられた第2アー
ムと、この第2アームに対し取り付けられたハンドとを
備えたロボット本体を有し、前記主軸、第1アームおよ
び第2アームの駆動により前記ハンドを介して未検査用
カセットから取り出された基板を、ソーティング用にカ
セットに収容する基板搬送方法において、前記未検査用
カセットから取り出した基板に対し位置ずれの全くない
基板との傾き角θaおよび横方向の位置ずれ量を求め、
次いで、前記基板の傾き角θaおよび横方向の位置ずれ
量をなくすように、前記ロボット本体を制御して基板の
位置補正をし、位置補正した基板を前記ソーティング用
にカセットに収容するときに、このカセットの開口の中
心軸線Mに対して前記ロボット本体のハンドで保持され
る基板の挿入端側の中心が沿うように、前記第1アーム
を駆動するアームモータに連動させて前記横方向に駆動
される駆動用モータを駆動し、ロボット本体を制御する
こととした。
は、上下動および旋回自在な主軸の上端に回動自在に取
り付けられた第1アームと、この第1アームに直結し且
つ第1アームに対し屈曲自在に取り付けられた第2アー
ムと、この第2アームに対し取り付けられたハンドとを
備えたロボット本体を有し、前記主軸、第1アームおよ
び第2アームの駆動により前記ハンドを介して未検査用
カセットから取り出された基板を、ソーティング用にカ
セットに収容する基板搬送方法において、前記未検査用
カセットから取り出した基板に対し位置ずれの全くない
基板との傾き角θaおよび横方向の位置ずれ量を求め、
次いで、前記基板の傾き角θaおよび横方向の位置ずれ
量をなくすように、前記ロボット本体を制御して基板の
位置補正をし、位置補正した基板を前記ソーティング用
にカセットに収容するときに、このカセットの開口の中
心軸線Mに対して前記ロボット本体のハンドで保持され
る基板の挿入端側の中心が沿うように、前記第1アーム
を駆動するアームモータに連動させて前記横方向に駆動
される駆動用モータを駆動し、ロボット本体を制御する
こととした。
【0039】すなわち、請求項1の発明では、ロボット
本体のハンドでカセットより取り出した基板の傾き角θ
aと横方向の位置ずれ量を求める。そして、ロボット本
体を制御して、傾き角θaと位置ずれ量をなくし、その
後、カセットの開口の中心軸線Mに対して、ハンドで保
持する基板の挿入端側の中心が沿うようにロボット本体
を制御しながら、カセット内に基板を挿入する。
本体のハンドでカセットより取り出した基板の傾き角θ
aと横方向の位置ずれ量を求める。そして、ロボット本
体を制御して、傾き角θaと位置ずれ量をなくし、その
後、カセットの開口の中心軸線Mに対して、ハンドで保
持する基板の挿入端側の中心が沿うようにロボット本体
を制御しながら、カセット内に基板を挿入する。
【0040】また、請求項2の発明では、ロボット本体
のハンドでカセットより取り出した基板の傾き角θaと
横方向の位置ずれ量を求める。そして、ロボット本体を
制御して、傾き角θaと位置ずれ量をなくように基板の
位置補正をする。その後、一補正した基板をカセットに
収容する際に、カセットの開口の中心軸線Mに対して、
ハンドで保持する基板の挿入端側の中心が沿うように、
ロボット本体を制御する。
のハンドでカセットより取り出した基板の傾き角θaと
横方向の位置ずれ量を求める。そして、ロボット本体を
制御して、傾き角θaと位置ずれ量をなくように基板の
位置補正をする。その後、一補正した基板をカセットに
収容する際に、カセットの開口の中心軸線Mに対して、
ハンドで保持する基板の挿入端側の中心が沿うように、
ロボット本体を制御する。
【0041】
【発明の実施の形態】(実施の形態1)以下、図を用い
て本発明の基板搬送方法の実施の形態を説明する。図1
(a)〜(d)は、本発明の実施の形態を説明するため
の動作順序を示す説明図であって、図1(a)は前記図
8(a)の状態図と同じである。
て本発明の基板搬送方法の実施の形態を説明する。図1
(a)〜(d)は、本発明の実施の形態を説明するため
の動作順序を示す説明図であって、図1(a)は前記図
8(a)の状態図と同じである。
【0042】図1(a)〜(d)に示すように、第1ア
ーム53と第2アーム52をエンコーダ付き駆動モータ
107(図6参照、以下アームモータ107という)に
より駆動して、ハンド51上のLCD基板41をカセッ
ト31に差し入れていくとき、この基板41の位置補正
の結果として、図1(a)のようにカセット31の中心
軸線Mに対してLCD基板41の差し入れていく方向A
が角度θa分だけ傾いている。
ーム53と第2アーム52をエンコーダ付き駆動モータ
107(図6参照、以下アームモータ107という)に
より駆動して、ハンド51上のLCD基板41をカセッ
ト31に差し入れていくとき、この基板41の位置補正
の結果として、図1(a)のようにカセット31の中心
軸線Mに対してLCD基板41の差し入れていく方向A
が角度θa分だけ傾いている。
【0043】このため、横移動手段60(図4参照)を
構成する駆動用モータ60aを駆動することにより横移
動軸を図1(b)、(c)、(d)中の矢印Bの方向
に、LCD基板41のカセット31への差入れ量に応
じ、同時に追従する如く、連携して駆動した。こうする
とカセット31に差し入れていく基板41は見かけ上、
図中上下の方向(すなわち、カセット31の中心軸線M
に沿うような方向)に進むことになる。
構成する駆動用モータ60aを駆動することにより横移
動軸を図1(b)、(c)、(d)中の矢印Bの方向
に、LCD基板41のカセット31への差入れ量に応
じ、同時に追従する如く、連携して駆動した。こうする
とカセット31に差し入れていく基板41は見かけ上、
図中上下の方向(すなわち、カセット31の中心軸線M
に沿うような方向)に進むことになる。
【0044】すなわち、カセット31の中心軸線MとL
CD基板41の差し入れる方向Aとのなす角度θaは変
わらないけれども、基板41の挿入端側の中心(中央部
分)がカセット31の中心軸線Mに沿って進むようにな
る。よって、カセット31の出口側に対して基板41の
縁部(41a,41b)がカセット31の開口内に位置
するように調整されることとなる。
CD基板41の差し入れる方向Aとのなす角度θaは変
わらないけれども、基板41の挿入端側の中心(中央部
分)がカセット31の中心軸線Mに沿って進むようにな
る。よって、カセット31の出口側に対して基板41の
縁部(41a,41b)がカセット31の開口内に位置
するように調整されることとなる。
【0045】図1(b)、(c)、(d)において、B
方向に横移動させるべき量を図2を用いて説明する。図
2において、図2(a)はハンド51が下がりきったと
ころで、図2(b)は伸びきったところである。図2
(a)から図2(b)の状態となる間に、ハンド51が
A方向に進む距離Lは、 L=2R(cosθe−cosθs) ・・・(1)式 その間に横移動すべき距離Wは、 W=−L×sinθa ・・・(2)式 となる。ここで、ハンド51が進む方向Aと第1アーム
53がなす角度θs〜θeは、第1アーム53を回転駆
動するサーボモータのエンコーダで常に検出しているの
で、制御装置に出力信号が送られている。
方向に横移動させるべき量を図2を用いて説明する。図
2において、図2(a)はハンド51が下がりきったと
ころで、図2(b)は伸びきったところである。図2
(a)から図2(b)の状態となる間に、ハンド51が
A方向に進む距離Lは、 L=2R(cosθe−cosθs) ・・・(1)式 その間に横移動すべき距離Wは、 W=−L×sinθa ・・・(2)式 となる。ここで、ハンド51が進む方向Aと第1アーム
53がなす角度θs〜θeは、第1アーム53を回転駆
動するサーボモータのエンコーダで常に検出しているの
で、制御装置に出力信号が送られている。
【0046】そこで任意の角度θ(θe<θ<θs)に
対し、横移動量wを w=W×{(θs−θ)/(θs−θe)} ・・・(3)式 となるように、wをθに比例的に連携させるとよい。こ
のwは、角度θs〜θeの間の角度θのときの時々刻々
の横移動量であり、図1(b)→(c)→(d)のB方
向でのロボット本体50の主軸50bの横移動量であ
る。
対し、横移動量wを w=W×{(θs−θ)/(θs−θe)} ・・・(3)式 となるように、wをθに比例的に連携させるとよい。こ
のwは、角度θs〜θeの間の角度θのときの時々刻々
の横移動量であり、図1(b)→(c)→(d)のB方
向でのロボット本体50の主軸50bの横移動量であ
る。
【0047】よって、第1アーム53の角度θを制御し
てのロボット本体50のハンド51の前後動の動作を行
うとともに、ロボット本体50の横移動の動作を行い、
この2つの移動軸(2つの軸方向の動作)により基板4
1をカセット31内に差し入れるように機能しているこ
とになる。
てのロボット本体50のハンド51の前後動の動作を行
うとともに、ロボット本体50の横移動の動作を行い、
この2つの移動軸(2つの軸方向の動作)により基板4
1をカセット31内に差し入れるように機能しているこ
とになる。
【0048】記号の意味は以下のとおりである。 L:ハンド51が方向Aに進む全工程 R:第1アーム53および第2アーム52のそれぞれの
長さ(両アームとも同じ長さである) θ:ハンド51が進む方向Aと第1アーム53がなす角
度 θs:θの最大値、ハンド51が進む方向Aとハンド5
1が最も下がったときの第1アーム53がなす角度 θe:θの最小値、ハンド51が進む方向とハンド51
が最も伸びたときの第1アーム53がなす角度 W:ハンド51が方向Aに進む全工程Lに対してロボッ
ト全体を横移動させるべき全移動量 w:ハンド51が方向Aに進むにつれて(すなわち角度
θ(変数)に連動して)、ロボット全体を時々刻々に横
移動させるべき量
長さ(両アームとも同じ長さである) θ:ハンド51が進む方向Aと第1アーム53がなす角
度 θs:θの最大値、ハンド51が進む方向Aとハンド5
1が最も下がったときの第1アーム53がなす角度 θe:θの最小値、ハンド51が進む方向とハンド51
が最も伸びたときの第1アーム53がなす角度 W:ハンド51が方向Aに進む全工程Lに対してロボッ
ト全体を横移動させるべき全移動量 w:ハンド51が方向Aに進むにつれて(すなわち角度
θ(変数)に連動して)、ロボット全体を時々刻々に横
移動させるべき量
【0049】上記(1)、(2)および(3)式に基づ
き、各変数(記号)を下記のように設定して、中心軸線
Mに対してハンド51のふれ量(すなわち、基板41の
挿入端側の中心が中心軸線Mに対してふれる量に相当す
る)を調べた。その結果を図3に示す。
き、各変数(記号)を下記のように設定して、中心軸線
Mに対してハンド51のふれ量(すなわち、基板41の
挿入端側の中心が中心軸線Mに対してふれる量に相当す
る)を調べた。その結果を図3に示す。
【0050】図3において、横軸はハンド51が中心軸
線Mに沿って方向Aに進む移動量(直進量)、縦軸は中
心軸線Mに対するハンド51のふれ量(蛇行量)で、横
軸の基準線は、中心軸線Mに対応している。また、変数
の具体的な値は、以下のとおりである。 L(アーム進退のフルストローク):910mm R(アーム有効長) :394mm θa(基板の角度補正量) :0.83°(角度50分に相当する) θs(θの最大値) :120° θe(θの最小値) :0.86°
線Mに沿って方向Aに進む移動量(直進量)、縦軸は中
心軸線Mに対するハンド51のふれ量(蛇行量)で、横
軸の基準線は、中心軸線Mに対応している。また、変数
の具体的な値は、以下のとおりである。 L(アーム進退のフルストローク):910mm R(アーム有効長) :394mm θa(基板の角度補正量) :0.83°(角度50分に相当する) θs(θの最大値) :120° θe(θの最小値) :0.86°
【0051】図3から、ハンド51が中心軸線Mに沿う
ようにして方向Aに移動するとき、中心軸線Mに対する
ハンド51のふれ量は0.0004m(0.4mm)以
下となっている。従って、基板41がカセット31から
取り出された後の基板41の挿入側前縁とカセット31
の開口までの間が略50mmであって、基板41をカセ
ット31に挿入するときのハンド51の先端移動軌跡の
ズレ量が略1.3mmであっても、(1.3mm+0.
4mm)=1.7mmのふれ量しかならず、よって片側
で2mm未満となっているので、基板41をカセット3
1に衝突せずに入れられることになる。
ようにして方向Aに移動するとき、中心軸線Mに対する
ハンド51のふれ量は0.0004m(0.4mm)以
下となっている。従って、基板41がカセット31から
取り出された後の基板41の挿入側前縁とカセット31
の開口までの間が略50mmであって、基板41をカセ
ット31に挿入するときのハンド51の先端移動軌跡の
ズレ量が略1.3mmであっても、(1.3mm+0.
4mm)=1.7mmのふれ量しかならず、よって片側
で2mm未満となっているので、基板41をカセット3
1に衝突せずに入れられることになる。
【0052】本実施の形態においては、基板41のソー
ティングに際し、第1アーム53の角度θに対応させて
比例的にロボット本体50を横移動させるという、すな
わち、カセット31に対する基板41の挿入動作に対応
させてロボットの横移動動作をさせることでカセット3
1の出口に基板41を衝突することなく挿入できるとい
う効果を得ることができる。
ティングに際し、第1アーム53の角度θに対応させて
比例的にロボット本体50を横移動させるという、すな
わち、カセット31に対する基板41の挿入動作に対応
させてロボットの横移動動作をさせることでカセット3
1の出口に基板41を衝突することなく挿入できるとい
う効果を得ることができる。
【0053】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の請求項1
に係る基板搬送方法によれば、カセットから取り出した
基板の傾き角と位置ずれ量を求め、その傾き角と位置ず
れ量をなくすようにしてから基板をカセットに挿入する
ので、カセットからカセットへの基板のソーティング動
作が、カセットの出口に対して基板を衝突することなく
行うことができるという効果がある。
に係る基板搬送方法によれば、カセットから取り出した
基板の傾き角と位置ずれ量を求め、その傾き角と位置ず
れ量をなくすようにしてから基板をカセットに挿入する
ので、カセットからカセットへの基板のソーティング動
作が、カセットの出口に対して基板を衝突することなく
行うことができるという効果がある。
【0054】また、本発明の請求項2に係る基板搬送方
法によれば、カセットから取り出した基板の傾き角と位
置ずれ量を求め、その傾き角と位置ずれ量をなくすよう
に基板の位置補正してから基板をカセットに挿入するの
で、カセットからカセットへの基板のソーティング動作
が、カセットの出口に対して基板を衝突することなく行
うことができるという効果がある。
法によれば、カセットから取り出した基板の傾き角と位
置ずれ量を求め、その傾き角と位置ずれ量をなくすよう
に基板の位置補正してから基板をカセットに挿入するの
で、カセットからカセットへの基板のソーティング動作
が、カセットの出口に対して基板を衝突することなく行
うことができるという効果がある。
【図1】本発明の実施の形態の基板搬送方法を示す平面
図である。
図である。
【図2】本発明の実施の形態の基板搬送方法を示す平面
図である。
図である。
【図3】本発明の実施の形態の基板搬送時におけるハン
ド先端のふれ量を示す図である。
ド先端のふれ量を示す図である。
【図4】基板検査装置と基板搬送装置の構成を説明する
ため図で、(a)は側面図、(b)は平面図である。
ため図で、(a)は側面図、(b)は平面図である。
【図5】ロボットユニットの駆動軸を説明するため図
で、(a)は昇降軸、(b)は前後動軸、(c)は旋回
軸、(d)は横移動軸を示している。
で、(a)は昇降軸、(b)は前後動軸、(c)は旋回
軸、(d)は横移動軸を示している。
【図6】ロボットユニットの内部を示す断面図である。
【図7】従来の基板搬送方法を示す平面図である。
【図8】従来の基板搬送方法を示す平面図である。
【図9】従来の基板搬送時におけるハンド先端の移動軌
跡を示す図である。
跡を示す図である。
10 基板検査装置 20 基板搬送装置 20b 制御装置 22 ロボットユニット 31,32 カセット 41 基板 50 ロボット本体 50b 主軸 51 ハンド 52 第1アーム 53 第2アーム 60 横移動手段 60a 駆動用モータ 61 直動軸受 62 ボールネジ 70 透過型光学センサ 107 エンコーダ付き駆動モータ(アームモータ)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小沢 津登務 東京都渋谷区幡ヶ谷2丁目43番2号 オリ ンパス光学工業株式会社内 Fターム(参考) 3F059 AA01 AA11 AA14 BA02 BA08 CA06 DA02 DA09 DC07 DD01 DD11 FA03 FB01 FB15 FC02 FC13 FC14 5F031 CA02 CA05 FA01 FA02 FA11 FA12 GA43 GA47 GA48 GA49 JA05 JA25 LA07 MA33 PA20
Claims (2)
- 【請求項1】 上下動および旋回自在な主軸の上端に回
動自在に取り付けられた第1アームと、この第1アーム
に直結し且つ第1アームに対し屈曲自在に取り付けられ
た第2アームと、この第2アームに対し取り付けられた
ハンドとを備えたロボット本体を有し、前記主軸、第1
アームおよび第2アームの駆動により前記ハンドを介し
て未検査用カセットから取り出された基板を、ソーティ
ング用にカセットに収容する基板搬送方法において、 前記未検査用カセットから取り出した基板に対し位置ず
れの全くない基板との傾き角θaおよび横方向の位置ず
れ量を求め、 次いで、前記傾き角θaおよび横方向の位置ずれ量をな
くすように、前記ロボット本体を制御し、 その後、カセットの開口の中心軸線Mに対して、前記ロ
ボット本体のハンドで保持される基板の挿入端側の中心
が沿うように、前記ロボット本体を制御しながら、前記
カセット内に基板を挿入することを特徴とする基板搬送
方法。 - 【請求項2】 上下動および旋回自在な主軸の上端に回
動自在に取り付けられた第1アームと、この第1アーム
に直結し且つ第1アームに対し屈曲自在に取り付けられ
た第2アームと、この第2アームに対し取り付けられた
ハンドとを備えたロボット本体を有し、前記主軸、第1
アームおよび第2アームの駆動により前記ハンドを介し
て未検査用カセットから取り出された基板を、ソーティ
ング用にカセットに収容する基板搬送方法において、 前記未検査用カセットから取り出した基板に対し位置ず
れの全くない基板との傾き角θaおよび横方向の位置ず
れ量を求め、 次いで、前記基板の傾き角θaおよび横方向の位置すれ
量をなくすように、前記ロボット本体を制御して基板の
位置補正をし、 位置補正した基板を前記ソーティング用にカセットに収
容するときに、このカセットの開口の中心軸線Mに対し
て前記ロボット本体のハンドで保持される基板の挿入端
側の中心が沿うように、前記第1アームを駆動するアー
ムモータに連動させて前記横方向に駆動させる駆動用モ
ータを駆動し、ロボット本体を制御することを特徴とす
る基板搬送方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000025320A JP2001217297A (ja) | 2000-02-02 | 2000-02-02 | 基板搬送方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000025320A JP2001217297A (ja) | 2000-02-02 | 2000-02-02 | 基板搬送方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001217297A true JP2001217297A (ja) | 2001-08-10 |
Family
ID=18551194
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000025320A Withdrawn JP2001217297A (ja) | 2000-02-02 | 2000-02-02 | 基板搬送方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001217297A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101331368B1 (ko) * | 2011-10-20 | 2013-11-19 | 현대중공업 주식회사 | 사행 보상 기능을 구비하는 기판 반송용 로봇 및 그의 사행 보상 방법 |
JPWO2016125204A1 (ja) * | 2015-02-04 | 2017-11-09 | 川崎重工業株式会社 | ロボットのぶれ自動調整装置及びロボットのぶれ自動調整方法 |
-
2000
- 2000-02-02 JP JP2000025320A patent/JP2001217297A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101331368B1 (ko) * | 2011-10-20 | 2013-11-19 | 현대중공업 주식회사 | 사행 보상 기능을 구비하는 기판 반송용 로봇 및 그의 사행 보상 방법 |
JPWO2016125204A1 (ja) * | 2015-02-04 | 2017-11-09 | 川崎重工業株式会社 | ロボットのぶれ自動調整装置及びロボットのぶれ自動調整方法 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20070403 |