KR100904909B1

KR100904909B1 - 디스크형 부재, 특히 웨이퍼의 조작 장치

Info

Publication number: KR100904909B1
Application number: KR1020040081913A
Authority: KR
Inventors: 틸만랄프
Original assignee: 인티그레이티드 다이나믹스 엔지니어링 게엠베하
Priority date: 2004-04-07
Filing date: 2004-10-13
Publication date: 2009-06-29
Also published as: US20050237520A1; EP1584919A2; JP4451805B2; TW200533484A; KR20050099449A; TWI272166B; DE102004017114A1; US7400392B2; EP1584919A3; JP2005317956A; DE102004017114B4

Abstract

본 발명은, 디스크형 부재, 특히 웨이퍼의 조작 장치로서, 정해진 이동 평면에서 적어도 각운동을 수행하는 로봇 수단과 디스크형 부재를 유지시키는 말단 장치 수단을 포함하고, 또한 상기 로봇 수단과 상기 말단 장치 수단을 작동가능하게 상호 연결시키는 손목 관절형 부재를 포함하며, 상기 표면과 동일 평면에 있고 상기 표면을 대칭으로 분할하는 제1 축과 상기 이동 평면에 수직인 제2 축을 중심으로 하는 상기 말단 장치의 조합 운동에 의한 상기 디스크형 부재의 경사 운동이 상기 손목 관절형 부재와 상기 로봇에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 조작 장치에 관한 것이다.

디스크형 부재, 웨이퍼, 조작 장치

Description

디스크형 부재, 특히 웨이퍼의 조작 장치{APPARATUS FOR HANDLING OF A DISKLIKE MEMBER, ESPECIALLY FOR HANDLING OF A WAFER}

도 1은 2개의 축이 웨이퍼 표면과 동일 평면에 있는 3개의 회전축과 웨이퍼의 좌표계를 도시한 도면이다.

도 2는 본 발명에 따른 조작 장치의 일 실시예를 도시한 도면이다.

도 3은 R방향, θ방향, Z방향의 좌표계를 도시한 도면이다.

도 4는 도 3의 좌표계에 대한 평면도이다.

도 5는 본 발명에 따른 롤링 기구 또는 플리핑 기구의 일 실시예를 도시한 도면이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

1: 장치 2: 로봇

3: 로봇 암 4, 5: 회전 기구

6: 말단 장치 7: 파지부

8: 웨이퍼 9: 전방 개방 통합 포드

10: 프레임 11: 말단 장치 본체

12, 13: 휠 14: 구동 모터

15: 브라켓 16: 구동 피니언

17, 18: 지지부 19: 관통구

20: 지지 롤러 21: 안내 롤러

본 발명은 특허청구범위 제1항, 제14항 및 제20항에 따른 디스크형 부재의 조작 장치, 디스크 표면의 광학 검사 장치 및 디스크형 부재를 유지하는 말단 장치(end-effector) 수단에 관한 것이다.

디스크형 부재를 조작하고 디스크형 부재의 표면, 특히 웨이퍼의 표면을 광학 검사하는 장치는 본 기술 분야에 잘 알려져 있다.

반도체 웨이퍼는 청정실 환경하에서 복잡한 다단계 공정에 의해 제조된다. 웨이퍼로부터 정교한 전자 칩을 제조하는 데에는 약 150가지의 단계가 필요하다. 1 마이크론 미만의 범위를 다루는 기술에는 아주 세밀함이 요구될 뿐만 아니라, 각 단계마다 오차나 오작동이 생길 가능성이 상존하게 되며, 이러한 오차나 오작동은 가능한 한 신속하게 판별되어야 한다. 제조 공정 중에 그리고 그 제조 공정의 종료시에 검사 단계는 필수적인 단계이며, 따라서 적당한 시간 내에 다수의 웨이퍼를 정확하게 검사할 수 있는 효율적인 검사 수단이 필요하게 된다.

이를 위해서, 전세계의 반도체 제조 분야에서는 웨이퍼 표면의 결함을 검사 및 분석하기 위해 광학 측정 장치가 사용되고 있으며, 이에는 그 결함의 특성화 및/또는 등급화가 수반된다.

이러한 분석은 현미경(microscope)을 사용하여 여러 가지 크기의 측정 지점에 대해서 수행되며[이는 마이크로 스테이션(Micro-Station)으로 명명됨], 또한 웨이퍼 전면 및 배면의 웨이퍼 표면 전체까지 웨이퍼의 더 큰 영역에 대해서도 수행된다. 이는 매크로 스테이션(Macro-Station)으로 명명되는 별도의 스테이션에서 수행된다. 매크로 스테이션 내에서 웨이퍼의 표면은 광을 그 표면에 조사함으로써 광학적으로 검사된다. 이러한 종류의 측정은 또한 명광 검사(Bright-Light-Inspection)로도 명명된다.

웨이퍼의 명광 검사 측정은, 웨이퍼의 표면에 광을 조사하여 반사된 광을 일정 각도로 관찰함으로써 볼 수 있는 표면의 일정 특성을 검사하도록 수행된다. 웨이퍼와 광원과 검사 작업자(대부분의 경우는 육안이고 간혹 카메라임) 사이에 소정의 각도가 형성될 때, 측정 결과는 색상 및 강도로서 제공된다.

이를 위하여, 육안과 광원에 대한 웨이퍼 표면의 각도가 변하는 동안에, 대개는 웨이퍼가 광선 내에 위치하게 되어 육안으로 웨이퍼의 표면을 검사하게 된다. 모든 소망하는 각도를 형성시킬 수 있게 하기 위해서는, 웨이퍼가 웨이퍼 표면과 동일 평면에 있는 2개의 직교축을 중심으로 회전되어야 한다. 웨이퍼의 개별적인 좌표계와 3개의 회전축이 동일 평면에 있는 회전축과 함께 도 1에 도시되어 있다.

근래에 이러한 측정은 웨이퍼를 유지시키는 특정 장치로 수행된다. 이 웨이퍼 유지 기구에는 광원에 대한 웨이퍼 표면의 각도를 변경시키는 데 사용되는 이동 부품이 포함된다. 이러한 유지 기구의 일례가 일본 공개 특허 공보 제162133호에 개시되어 있다.

이러한 시스템의 주요 단점은, 이 시스템의 매크로 스테이션에 아주 복잡한 특정 구조 장치가 요구됨으로써, 매크로 스테이션의 비용뿐만 아니라 그의 점유 면적도 증가하게 되고, 또한 아주 고가의 청정실 환경을 유지 보수하는 비용이 더욱 상승하게 된다는 점이다. 또한, 조작 로봇이 유지 기구로부터 또는 그 유지 기구로 웨이퍼를 위치시켜 집어 올려야 하기 때문에 조작 비용도 상승하게 된다. 이는 매크로 스테이션이 종종 마이크로 스테이션과 함께 사용되는 경우에 더욱 중요하다. 조작 작업이 추가됨으로써 시스템의 처리 수량이 급격히 감소하게 된다.

따라서, 본 발명의 목적은, 이들 단점과 다른 기타 단점들을 해소하여, 웨이퍼의 조작 및/또는 검사에 대한 전술한 단점들을 방지할 수 있고 더 간단하게 형성시킬 수 있으며 더 작은 점유 면적을 구비하고 처리량을 증대시킬 수 있는, 디스크형 부재나 웨이퍼의 조작 장치를 제공하는 것이다.

본 발명에 따르면, 이 과제는, 특허청구범위 제1항에 따른 디스크형 부재의 조작 장치와, 제14항에 개시된 디스크형 부재 표면의 광학 검사 장치와, 제20항에 따른 말단 장치 수단에 의해서 달성된다.

다른 개선점 및 이점은 각각의 종속항들을 형성한다.

본 발명에 따르면, 디스크형 부재, 특히 웨이퍼의 조작 장치로서, 정해진 이동 평면에서 적어도 각운동을 수행하는 로봇 수단과 디스크형 부재를 유지시키는 말단 장치 수단을 포함하고, 또한 상기 로봇 수단과 상기 말단 장치 수단을 작동가 능하게 상호 연결시키는 손목 관절형 부재(wrist member)를 포함하며, 상기 손목 관절형 부재에 의해 적어도 상기 말단 장치가 상기 표면과 동일 평면에 있는 축을 중심으로 회전 운동하게 되어, 상기 각운동과 상기 동일 평면의 축을 중심으로 회전하는 운동이 조합될 때 상기 디스크형 부재의 경사 운동이 달성되는 것을 특징으로 하는 조작 장치가 제공된다.

따라서, 바람직하게는 본 발명에 따라 광원과 같은 외부 기준점에 대해 어떠한 각도도 형성시킬 수 있도록 웨이퍼의 경사 운동이 이루어지게 된다. 제시된 조작 장치의 작동가능한 구조에 따르면, 웨이퍼를 특정 장치로 이송시킬 필요없이 웨이퍼 조작 로봇을 명광 검사용 스테이션에서 직접 사용할 수 있게 된다. 이러한 방식으로, 본 발명에서는 다수의 기계 장치와 그에 필요한 점유 면적을 감소시킬 수 있을 뿐만 아니라, 반자동 또는 자동 결함 검사 공정시에 바람직한 최소의 단일 웨이퍼 주기에 대한 조작 속도를 최대화시킬 수 있게 된다.

본 발명의 또 다른 태양에 따르면, 디스크형 부재의 표면이 이동 평면 내부에 평행하게 놓이고 또한 그의 대칭축이 평행하게 놓이지만 상기 제2 축과는 동일하지 않도록, 로봇 수단과 말단 장치가 적용된다. 이로써 디스크형 부재나 웨이퍼가 조작 공정시 정밀하게 위치될 수 있게 되고, 그리고/또는 명광 검사 중에 외부 광원에 대해 정밀하게 위치될 수 있게 된다. 또한, 디스크형 부재나 웨이퍼의 중심은 제2 축을 중심으로 원형 링 형태로 이동된다. 이러한 운동은 θ(쎄타, theta) 운동으로도 명명된다.

또한, 로봇 수단 및/또는 손목 관절형 부재 및/또는 말단 장치는 상기 중심 을 포함하는 상기 표면에 수직인 축을 중심으로 하여 상기 디스크형 부재를 회전 운동시키도록 사용된다.

본 발명의 매우 바람직한 또 다른 태양에 의하면, 본 발명의 장치에는 국제 공개 특허 공보 제WO 02/02281 A1호에 따른 가장자리 파지 기구(edge-gripping mechanism)를 구비한 말단 장치가 사용되며, 상기 문헌은 본 명세서에 참고로 포함된다. 예를 들어, 이 말단 장치는 디스크형 부재를 그의 대칭축을 중심으로 하여 회전시킬 수 있다. 또한, 이에 따라 경사 운동 중에 본 발명의 장치가 디스크형 부재나 웨이퍼 높이에서 로봇의 회전을 보정할 수 있게 됨으로써, 표면의 각도를 조절할 수 있게 되고, 웨이퍼의 방향(웨이퍼의 회전각)을 일정하게 유지시킬 수 있게 된다.

또한, 바람직하게는, 잘 알려져 있으면서 쉽게 구입가능한 적어도 하나의 로봇 암(robot arm)을 구비한 소위 3축(three axis) 로봇이 본 발명의 장치에 적용될 수 있다. 이들 로봇은 3축 운동을 한다. y축을 형성하고 반경 방향 선형 수평 운동에 해당되는 R축 운동과, 수직 선형 운동인 Z축 운동과, Z축을 중심으로 회전하는 운동인 θ방향 운동이 있다. 대개, Z축은 로봇 본체의 대칭축과 일치한다. 이 경우에, R축 운동과 θ축 운동은 각각 말단 장치와 웨이퍼를 수평으로 위치시키는 데 필요하며, 이는 다시 말하면 상기 R축 운동과 θ축 운동에 의해 로봇 수단이 평면에서 각운동을 하게 됨을 의미한다. 또한, 본 발명에 따른 명광 검사를 위하여, 위에서 언급한 제2 축에 해당되는 Z축을 중심으로 회전하는 θ운동이 본 발명에 따른 조합 운동을 위해 사용된다.

본 발명의 또 다른 태양에 의하면, 손목 관절형 부재에 회전 기구 또는 롤링 기구(rolling mechanism)가 포함되고, 상기 기구는 그 기구나 그 기구의 로봇 암에 부착된 말단 장치가 R축에 해당될 수 있긴 하지만 반드시 그렇지 않을 수도 있는 제1 축을 중심으로 하여 회전 운동이나 롤링 운동을 하게 한다. 또한, 본 발명에 따르면, θ축 운동과 롤링축 운동을 조합하면 말단 장치 또는 디스크형 부재나 웨이퍼를 경사 운동하게 할 수 있어, 회전된 웨이퍼 표면과 명광 검사 스테이션의 광원에 대해 임의의 각도를 형성할 수 있게 된다.

이를 위해서, 회전 기구는 바람직하게는 적어도 하나의 구동 휠을 구동시키는 구동 모터를 구비한 구동 기구를 또한 포함한다. 본 발명의 또 다른 태양에 따르면, 구동 휠 이외에도, 구동 기구의 균형을 위해 바람직하게는 구동 휠과 수평으로 정렬되는 지지 휠이 마련되고, 구동 휠과 지지휠은 말단 장치를 유지시킨다.

또한, 본 발명의 장치에는 축을 중심으로 회전하는 운동을 제어하는 제어 수단이 또한 포함된다.

위에서 언급한 조작 장치 이외에도, 디스크형 부재의 표면, 특히 웨이퍼 표면의 광학 검사 장치로서, 위에서 언급한 장치를 포함하는 적어도 제1 검사 영역과 조명 장치를 포함하는 광학 검사 장치가 본 발명에 따라 제공된다.

검사 장치에는 대상물 표면을 검사하는 마이크로 스테이션이나 현미경을 포함하는 제2 검사 영역이 포함된다. 바람직하게는, 제2 검사 영역은 제1 검사 영역과 모듈식으로 결합되거나 결합될 수 있다. 따라서, 개별적인 필요성에 따라서 서로 다른 다양한 형식의 현미경이 본 발명의 검사 장치에 포함될 수 있다.

또한, 로봇 수단의 운동, 특히 각기 다른 모듈형 요소 사이의 운동을 제어하는 제어 수단 또는 제어 유닛은 본 발명에 따른 장치의 일부이다. 또한, 본 발명에 따른 장치에는 각기 다른 모듈이나 매크로 스테이션 및 마이크로 스테이션을 수용하는 구조 프레임이 포함된다.

또 다른 태양에 따르면, 본 발명의 검사 장치에는 수동 방진 시스템 및/또는 능동 방진 시스템이 포함된다. 바람직하게는, 방진 시스템은 현미경을 포함하는 제2 검사 영역에 적용된다.

또한, 본 발명에 따르면, 디스크형 부재, 특히 웨이퍼를 유지시키는 유지 수단과 가동 손목 관절형 부재를 포함하고 또한 이 가동 손목 관절형 부재에 의해 회전축을 중심으로 이동될 수 있는 말단 장치 수단이 제공된다. 이 말단 장치 수단은 위에서 언급한 롤링 기구를 포함한다. 또한, 본 발명의 말단 장치 수단은 국제 공개 특허 공보 제WO 02/02282 A1호에 따른 가장자리 파지 기구를 포함한다.

본 발명의 추가적인 특징 및 이점을 아래에서 상세히 설명한다.

본 발명에 따른 장치(1)의 일 실시예가 개략적으로 도 2에 도시되어 있다. 이 장치는 4개의 주요 부품, 즉 로봇(2) 본체와, 로봇 암(3)과, 회전축 또는 롤링축을 형성하는 회전 기구 또는 롤링 기구(4)와, 말단 장치(6)를 포함한다. 이들 부품은 모두 프레임(10) 내에 내장되며, 일반적으로 FOUP로 약칭되는 전방 개방 통합 포드(front opening unified pod)(9)가 그 프레임에 부착될 수 있다.

로봇(2) 본체는 로봇 암(3) 및 말단 장치(6)를 구동시키는 모터 구동 장치(미도시)와 로봇 제어 장치(미도시)를 포함한다. 말단 장치(6)는 웨이퍼(8)를 파지하여 유지시키는 데 사용되며, 도면에는 도시되어 있지 않은 각종 모터 및 기계 기구를 포함하는 로봇 암(3)은 말단 장치(6)와 그의 파지부(7) 내에 수용되는 웨이퍼를 이동시킨다.

반도체 제조 분야에서 로봇(2)은 단일 웨이퍼를 조작하기 위해 대개 3개의 위치설정 축을 구비한다. Z축으로 명명되는 한 축을 따라 암을 수직으로 상하로 움직여 웨이퍼(8)를 이동시키게 되고, 대개 θ축과 R축으로 명명되는 적어도 2개의 다른 축을 따라 웨이퍼를 제조 공정의 한 스테이션으로부터 다른 스테이션으로 수평으로 이동시키게 된다. 이러한 형태의 로봇은 본 기술 분야에 잘 알려져 있어 이에 대해서는 더 상세히 설명하지 않는다.

위치설정 축(R, θ, Z)을 구비하고, 웨이퍼 표면(8)과 동일 평면에 있고 Z축에 수직인 축을 중심으로 회전 기구(5)를 회전시킬 수 있는 로봇(2)을 이용함으로써, 말단 장치(6)에 의해 파지된 웨이퍼(8)의 θ축을 따른 조합 운동이 이루어질 수 있다. 이에 따라 웨이퍼(8)의 경사 운동이 달성되어, 광원(미도시)과 같은 외부 지점에 대해 어떠한 각도도 형성할 수 있게 된다. 간단하면서도 편리하게 하기 위해, 웨이퍼가 뒤집어지거나 θ축을 줌심으로 롤링에 의해 회전되는 경우에도 웨이퍼의 중심이 항상 θ축 상에 있도록 이에 맞게 로봇(2)의 R위치를 조정함으로써, 웨이퍼(8)의 대칭축이 로봇(2)의 회전축(Z)과 동일해질 수 있다. 이는 각도가 변하는 동안 웨이퍼(8)의 중심이 변하지 않는다는 것을 의미한다.

말단 장치가 국제 공개 특허 공보 제WO 02/02282 A1호에 개시되어 있는 바와 같이 사용되는 경우에 또 다른 개선점이 달성될 수 있다. 이를 위해서, 본 발명의 장치에는 회전 기능 이외에도 웨이퍼(8)를 그의 수평면에서 회전가능하게 방향설정시킬 수 있는 기능이 구비된다. 이로써 θ축에 의해 형성된 웨이퍼(8)의 회전이 보상되게 된다. 3개의 축, 즉 θ축과, 롤링축과, 웨이퍼 표면에 수직인 웨이퍼 표면의 대칭축을 따른 운동 또는 이들 3개의 축을 중심으로 회전하는 운동을 조합함으로써, 웨이퍼(8)의 방향이 일정하게 유지되는 동안 웨이퍼(8)의 각도를 조정할 수 있게 된다.

언급한 바와 같이, 기구(5)(도 2)의 회전이나 뒤집기에 의해서 로봇(2)의 제4 이동축 및/또는 말단 장치(6)의 제2 이동축이 형성되고, 이는 또한 롤링축으로도 명명된다. 이를 위해서, 플리퍼(flipper)(4)가 휠(12, 13)을 통해 말단 장치의 본체(11)에 부착된다.

도 5에 회전 기구(5)가 더 상세히 도시되어 있다. 휠(12, 13)을 지지하는 U자형의 브라켓(15)이 플리퍼 하우징(4)(도 4) 내부에 구비된다. 휠들에 대하여 설명하면, 지지되는 후방 휠(12)과 구동되는 전방 휠(13)은 서로 다르게 형성될 수 있다. 전방 휠(13)은 구동 모터(14)의 구동 피니언(16)에 의해 구동되는 기어휠이다. 각 휠은 계단형이나 L자형의 단면을 구비한 휠 림(rim)을 구비하며, 즉 각 휠에는 서로 림 직경이 다른 2개의 이웃하는 내부 림(12b, 13b)과 외부 림(12a, 13a)이 구비된다. 림을 지지하기 위해서 휠들에는 별형상 스포크(spoke)(12c, 12d, 13c, 13d)가 구비된다. 하지만, 별형상 스포크는 림 직경이 더 크게 형성되어 있는 휠의 외부 림 부분(12a, 13a)의 내부에만 부착됨으로써, 림 직경이 더 작게 형성되어 있는 내부 림(12b, 13b) 내부의 안내면(12e, 13e)은 그 전체 내부 원주를 따라 서 스포크(12c, 12d, 13c, 13d)에 의해 차단되지 않게 된다. 구동되는 전방 휠(13)의 외부 림(13a)은 기어휠을 형성한다.

서로 정렬되어 있는 후방 휠(12)과 전방 휠(13) 사이에서, 말단 장치(6)의 본체가 각 휠의 스포크(12c, 12d 및 13c, 13d)에 부착된다. 이로써 말단 장치(6)가 휠과 함께 축을 중심으로 하여 선회되거나 회전될 수 있게 된다. 이 축은 웨이퍼 표면과 동일 평면에 놓이고, 후방 휠과 전방 휠(12, 13)의 중간점과 교차된다. 휠(12, 13)은 내부 림(12b, 13b)이 서로 대향되어 위치되도록 배치되거나 서로 정렬된다.

구동 모터(14)의 주본체는 후방 지지부와 전방 지지부(17, 18) 사이, 즉 브라켓(15)의 U자형 직립 측부 사이에서 연장되고, 또한 상기 구동 모터(14)의 주본체는 구동 모터(14)의 일단에 부착된 피니언(16)이 관통구(19)를 관통하여 브라켓 전방 지지부(19)의 외부에 있는 구동 휠(13)과 협동하도록 전방 지지부(18)의 관통구(19) 내에 장착된다. 브라켓 자체는 휠(12, 13)의 하부에 배치된다. 브라켓 후방 지지부(17)와 전방 지지부(18)의 일부는 휠(12, 13) 사이에 놓여지고, 이러한 중첩부로 인해서 구동 피니언(16)과 전방 휠(13)이 기어 쌍을 형성하게 된다.

이 기어 쌍(13, 16)과 구동 모터(14)는 위에서 언급한 바와 같이 말단 장치가 회전축을 중심으로 회전하게 하는 구동 기구의 일부이다. 또한, 구동 기구에는 휠의 회전 운동시 그 휠을 안내하는 안내 롤러(20, 21)가 포함된다. 이들 롤러와 그들의 안내 기능은 각 휠(12, 13)에 대해 동일하기 때문에, 이하에서는 전방 휠(13)을 안내하는 롤러에 대해서만 설명한다. 이를 위해서 2개의 롤러가 도 5에 도 시되어 있다. 이들 롤러는 지지 롤러(20)와 안내 롤러(21)이다. 이들 롤러는 브라켓 전방 지지부(18)의 외부에 장착된다. 롤러(20, 21)는 베어링(미도시)에 의해 해당 지지 핀에 지지되어 자유롭게 회전할 수 있게 된다. 롤러(20, 21)는 서로 정렬되지 않은 상태에서 장착된다. 따라서, 지지 베어링(20)은 전방 휠의 저면을 지지하게 되고, 안내 베어링(21)은 내부 림(13b)의 내부에 있는 안내면(13e) 상에서 그 롤러를 회전시킴으로써 전방 휠을 안내하게 된다.

위에서 언급한 기구를 기초로, 말단 장치에 의해 파지된 웨이퍼가 회전 운동하게 하는 손목 관절형 부재가 구비된다. 만약 이 운동이 위에서 언급한 로봇의 이동성과 조합된다면, 웨이퍼를 유지시키고 광원에 대한 웨이퍼의 각도를 변화시키는 별도의 장치가 없어도 명광(bright light) 검사가 가능하게 된다.

본 발명에 따라서, 웨이퍼의 조작 및/또는 검사에 대한 종래 기술의 단점들을 방지할 수 있고 더 간단하게 형성할 수 있으며 더 작은 점유 면적을 구비하고 처리량을 증대시킬 수 있는, 디스크형 부재나 웨이퍼의 조작 장치가 제공된다.

Claims

표면을 구비한 디스크형 부재 또는 웨이퍼를 조작하는 조작 장치에 있어서,

정해진 이동 평면에서 적어도 각운동을 수행하는 로봇 수단과, 디스크형 부재를 유지시키는 말단 장치(end-effector) 수단을 포함하고;

또한 상기 로봇 수단과 상기 말단 장치 수단을 작동가능하게 상호 연결시키는 손목 관절형 부재를 포함하며;

상기 손목 관절형 부재에 의해 적어도 상기 말단 장치 수단이 상기 표면과 동일 평면에 있는 축을 중심으로 회전 운동하게 되어, 상기 각운동과 상기 동일 평면의 축을 중심으로 회전하는 운동이 조합될 때 상기 디스크형 부재의 경사 운동이 달성되고;

상기 손목 관절형 부재는 회전 기구를 포함하고, 상기 회전 기구는 구동 기구를 포함하고, 상기 구동 기구는 적어도 하나의 구동 휠을 포함하는 것을 특징으로 하는 조작 장치.
제1항에 있어서,

상기 디스크형 부재의 상기 표면은 상기 이동 평면과 동일 평면에 있는 것을 특징으로 하는 조작 장치.
제1항에 있어서,

상기 로봇 수단 및/또는 상기 손목 관절형 부재 및/또는 상기 말단 장치 수단은 상기 디스크형 부재가 상기 표면에 수직인 축을 중심으로 하여 회전 운동하게 하는 것을 특징으로 하는 조작 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 로봇 수단은 적어도 하나의 로봇 암을 포함하고, 상기 로봇 아암의 한 단부에는 상기 손목 관절형 부재 및 상기 말단 장치 수단이 부착될 수 있는 것을 특징으로 하는 조작 장치.
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제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 회전 기구는 지지 휠을 포함하는 것을 특징으로 하는 조작 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 구동 기구는 구동 모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 조작 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 말단 장치 수단은 상기 구동 휠에 부착되는 것을 특징으로 하는 조작 장치.
삭제
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 로봇 수단의 운동을 제어하는 제어 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 조작 장치.
디스크형 부재의 표면 또는 웨이퍼 표면을 광학적으로 검사하기 위한 광학 검사 장치에 있어서,

제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 따른 조작 장치를 포함하는 적어도 제1 검사 영역과, 조명 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.
제13항에 있어서,

대상물 표면을 검사하는 마이크로 스테이션 또는 현미경을 포함하는 제2 검사 영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.
제14항에 있어서,

상기 제2 검사 영역은 상기 제1 검사 영역과 모듈식으로 결합되는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.
제13항에 있어서,

상기 로봇 수단의 운동을 제어하는 제어 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.
제13항에 있어서,

상기 로봇 수단과 상기 말단 장치 수단과 상기 손목 관절형 부재를 내장하는(housing) 프레임도 또한 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.
제14항에 있어서,

상기 제2 검사 영역은 수동 방진부 및/또는 능동 방진부를 포함하는 별도의 프레임을 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.
디스크형 부재 또는 웨이퍼를 유지시키며 상기 디스크형 부재를 그의 대칭축을 중심으로 하여 회전시킬 수 있는 유지 수단과, 가동 손목 관절형 부재와, 구동 휠과 지지 휠 중 어느 하나를 구비하는 회전 기구를 포함하되,

상기 가동 손목 관절형 부재에 의해서 회전축을 중심으로 이동될 수 있게 구성된 것이고, 또한

상기 디스크형 부재의 표면 또는 웨이퍼의 표면과 동일면에 있는 축을 중심으로 하여 상기 구동 휠과 지지 휠 중 어느 하나와 함께 회전하도록 구성된 것임을 특징으로 하는 말단 장치.
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제8항에 있어서,

상기 말단 장치 수단은 상기 지지 휠에 부착되는 것을 특징으로 하는 조작 장치.