JP2001210087A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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JP2001210087A
JP2001210087A JP2000019755A JP2000019755A JP2001210087A JP 2001210087 A JP2001210087 A JP 2001210087A JP 2000019755 A JP2000019755 A JP 2000019755A JP 2000019755 A JP2000019755 A JP 2000019755A JP 2001210087 A JP2001210087 A JP 2001210087A
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JP
Japan
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trimming
fuse
level
circuit
output
Prior art date
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Application number
JP2000019755A
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English (en)
Inventor
Takakimi Fukushima
崇仁 福島
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JFE Steel Corp
Original Assignee
Kawasaki Steel Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 トリミング素子数を削減して、トリミング回
路の面積を小さくすると共に、トリミング素子の切断が
不完全な場合の論理の誤認識を防止する。 【解決手段】 トリミング回路が、トリミングビット当
たり1つのヒューズ10と、トリミングを行う前の初期
状態では、前記ビット論理の出力を高レベル又は低レベ
ルのいずれか一方に固定し、前記ヒューズ10が切断さ
れた場合は、前記ビット論理の出力を他方のレベルに固
定するためのセンスインバータ22と、該センスインバ
ータ22の入側に、前記ビット論理の出力をフィードバ
ックするレベル補正用トランジスタ24を備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置に係
り、更に詳しくは、電気的に切断可能なトリミング素子
により、ビット論理の出力を高レベル又は低レベルに固
定するようにされたトリミング回路を含む半導体装置に
関する。
【0002】
【従来の技術】電気的に切断可能なトリミング素子によ
り、ビット論理の出力を高レベル又は低レベルに固定す
るようにされたトリミング回路は、電子回路の機能や動
作パラメータの設定、基準電圧発生回路の出力電圧の微
調整等の目的で、広く半導体集積回路(ICチップ)に
組み込まれている。今日、ICチップの集積度は増す一
方であり、これに伴い、論理回路のチップ面積の確保、
チップ入出力端子数の確保はますます困難となってい
る。
【0003】半導体装置に搭載されるトリミング素子と
しては、レーザで配線を焼き切るレーザヒューズ、ツェ
ナーダイオードを焼き切るツェナーザップ、トリミング
素子に電流を流した際に生じるジュール熱によって電気
的に切断する、いわゆるEヒューズ等が知られている。
【0004】このうち、Eヒューズを切断する際に流す
電流の与え方や、いくつかあるトリミングビットの状態
を制御する回路方式も様々である。例えば、特開平8−
204582には、トリミングしたいビット数が多い場
合に、外部からシリアル信号を入力してトリミング状態
をセットし、ヒューズ切断用ドライバをオンさせた上
で、電源電圧を上昇させる技術が提案されている。
【0005】出願人がこれまで用いていたトリミング回
路の一例を図1に示す。図において、10、12は、電
気的に切断される、例えば抵抗値150Ωのヒューズ、
14、16は、それぞれ前記ヒューズ10又は12を切
断する際に、そこに大電流を流すためのヒューズ切断用
ドライバ、18は、例えば1MΩの抵抗、20はビット
論理を出力するセンス回路である。
【0006】前記ヒューズ切断用ドライバ14、16
は、例えば外部のデコーダからヒューズ切断用信号が入
力された時にオンとなる、それぞれNチャネルトランジ
スタ、Pチャネルトランジスタで構成されている。
【0007】図1のトリミング回路の出力は、トリミン
グを行う前の初期状態(デフォルト状態)で低(L)レ
ベルであるが、ヒューズ10、12がつながったままで
あると、ヒューズ10、抵抗18、ヒューズ12を経由
して定常電流が電源からグランド(GND)に流れてし
まい、消費電流が大きくなるため、デフォルトと論理を
変えたくない場合(図1ではビット出力がLレベルであ
る場合)にも、ヒューズ切断用ドライバ14に大電流を
流してヒューズ10を切断する必要があった。
【0008】従って、ヒューズ、及び、該ヒューズに大
電流を流す必要があるため、面積が大きなヒューズ切断
用ドライバをそれぞれ2つずつ設ける必要があり、面積
的に不利なだけでなく、更に、ヒューズ切断用ドライバ
から十分な電流が流れず、ヒューズの切断が不完全な場
合は、例えば図2(ヒューズ12の切断が不完全な場合
で、kΩ又はMΩレベルでつながっている場合)に示す
如く、センス回路20に中間電位が入力されてしまい、
センス回路20が論理を誤認識するという問題点も有し
ていた。
【0009】ヒューズ切断を完全にして、このような問
題点を防止するためには、ヒューズ切断用ドライバが更
に大きくなってしまう。
【0010】一方、特開平8−204582では、この
ような問題を回避して、ヒューズ回路としての開放状態
を確実なものにするため、ヒューズを直列に2つ設け
て、一方をリカバリヒューズとしていた。
【0011】本発明は、前記従来の問題点を解消するべ
くなされたもので、トリミング回路の面積を小さくする
ことを第1の課題とする。
【0012】本発明は、更に、ヒューズの切断が不完全
であっても、センス回路が論理を誤認識しないようにす
ることを第2の課題とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明は、電気的に切断
可能なトリミング素子により、ビット論理の出力を高レ
ベル又は低レベルに固定するようにされたトリミング回
路を含む半導体装置において、前記トリミング回路が、
トリミングビット当たり1つのトリミング素子と、トリ
ミングを行う前の初期状態では、前記ビット論理の出力
を高レベル又は低レベルのいずれか一方に固定し、前記
トリミング素子が切断された場合は、前記ビット論理の
出力を他方のレベルに固定するためのセンス回路とを備
えるようにして、前記第1の課題を解決したものであ
る。
【0014】更に、前記センス回路の入力に、前記ビッ
ト論理の出力をフィードバックするレベル補正回路を付
加することにより、前記第2の課題も解決したものであ
る。
【0015】本発明においては、トリミング回路に含ま
れるトリミング素子を、トリミングビット当たり1つと
したので、該トリミング素子を切断するためのヒューズ
切断用ドライバも1つで済み、抵抗も不要となるので、
トリミング回路の面積を半減できる。更に、デフォルト
状態で定常電流が流れることも無い。
【0016】特に、前記センス回路の入力に、前記ビッ
ト論理の出力をフィードバックするレベル補正回路を付
加した場合には、トリミング素子の切断が不完全であっ
ても、センス回路が論理を誤認識することがなく、トリ
ミング素子の切断具合に拘らず、センス回路はビット論
理が変わったことを確実に認識できる。
【0017】
【発明の実施の形態】以下図面を参照して、本発明の実
施形態を詳細に説明する。
【0018】デフォルトのビット出力がLレベルである
本発明の第1実施形態は、図3に示す如く、トリミング
ビット当たり1つのトリミング素子であるヒューズ10
と、該ヒューズを切断するための例えばNチャネルトラ
ンジスタからなるヒューズ切断用ドライバ14と、トリ
ミングを行う前の初期状態では、前記ビット出力をLレ
ベルに固定し、前記ヒューズ10が切断された場合は、
ビット出力をHレベルに固定するためのセンス回路を構
成するセンスインバータ22と、前記センスインバータ
22の入力に前記ビット出力をフィードバックするレベ
ル補正回路を構成する、例えばNチャネルトランジスタ
24とを含んで構成されている。
【0019】以下動作を説明する。
【0020】まず、トリミングを行う前のデフォルト状
態では、ヒューズ切断用ドライバを構成するNチャネル
トランジスタ14、レベル補正回路を構成するNチャネ
ルトランジスタ24共にオフであり、センスインバータ
22の入力はヒューズ10により電源レベルであるた
め、センスインバータ22の出力はLレベルになり、ビ
ット出力はLレベルに固定される。この際、ヒューズ1
0を流れる定常電流は存在しないので、消費電流が問題
となることはない。
【0021】ビット出力をHレベルに変えたい場合に
は、デコーダからのヒューズ切断信号(Hレベル)が、
ドライバであるNチャネルトランジスタ14のゲートに
入力され、更に、電源電圧を上昇させ、ヒューズ10に
大電流を流して、図4に示す如くヒューズ10を切断す
る。
【0022】切断後、トリミングのモードから通常モー
ドに戻ると、トランジスタ14はオフとなる。この状態
で、トランジスタ14、24のドレインノードは、トラ
ンジスタ14のゲート電圧(GNDレベル)に引張ら
れ、且つ、センスインバータ22の出力がトランジスタ
24のゲートにフィードバックされるので、接地電位
(GND)に安定する。従って、センスインバータ22
で反転されたビット出力はHレベルとなる。
【0023】この際、例えヒューズ10が完全に切断さ
れなかった場合でも、トランジスタ24のオン抵抗を、
完全に切断されない場合のヒューズ抵抗よりも小さくし
ておけば、センスインバータ22によりフィードバック
されるので、ビット出力はHレベルとなる。
【0024】本実施形態においては、センスインバータ
22の入力に、ビット論理の出力をフィードバックする
ためのレベル補正用のトランジスタ24を設けているの
で、ヒューズ10が完全に切断されなかった場合でも、
ビット出力を確実にHレベルとすることができる。な
お、用途によっては、トランジスタ24を省略すること
も可能である。
【0025】又、前記実施形態においては、デフォルト
のビット出力がLレベルとされていたが、例えば図5に
示す第2実施形態の如く、ヒューズ10の代わりにヒュ
ーズ12を接地側に接続し、ヒューズ切断用ドライバと
してNチャネルトランジスタ14の代わりにPチャネル
トランジスタ16を電源側に接続し、レベル補正用のN
チャネルトランジスタ24の代わりにPチャネルトラン
ジスタ26を電源側に接続することにより、デフォルト
のビット出力をHレベルとすることも可能である。
【0026】
【発明の効果】本発明によれば、トリミング素子及びト
リミング素子切断用のドライバの数を半減することがで
きる。又、デフォルト状態で定常電流が流れることもな
い。
【0027】特に、レベル補正回路を設けた場合には、
トリミング素子が完全に切断されなかった場合でもビッ
ト論理が変わったことをセンス回路が確実に認識でき、
特開平8−204582のようなリカバリヒューズを設
ける必要がない等の優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】ヒューズを2個用いた従来のトリミング回路の
例を示す回路図
【図2】図1のトリミング回路の問題点を説明するため
の回路図
【図3】本発明に係るトリミング回路の第1実施形態の
構成を示す回路図
【図4】同じく切断後の状態を示す回路図
【図5】本発明に係るトリミング回路の第2実施形態を
示す回路図
【符号の説明】
10、12…ヒューズ 14、16…トランジスタ(ヒューズ切断用ドライバ) 22…センスインバータ 24、26…トランジスタ(レベル補正回路)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 21/822 Fターム(参考) 5B015 HH00 JJ03 JJ11 JJ37 KB91 QQ15 5B025 AA07 AD00 AE00 AE06 5F038 AV15 CA02 DF01 DF07 EZ20 5F064 BB23 FF08 FF24 FF27 FF36 5L106 CC08 CC13 CC21 GG07

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】電気的に切断可能なトリミング素子によ
    り、ビット論理の出力を高レベル又は低レベルに固定す
    るようにされたトリミング回路を含む半導体装置におい
    て、 前記トリミング回路が、 トリミングビット当たり1つのトリミング素子と、 トリミングを行う前の初期状態では、前記ビット論理の
    出力を高レベル又は低レベルのいずれか一方に固定し、
    前記トリミング素子が切断された場合は、前記ビット論
    理の出力を他方のレベルに固定するためのセンス回路と
    を備えたことを特徴とする半導体装置。
  2. 【請求項2】請求項1において、前記センス回路の入力
    に、前記ビット論理の出力をフィードバックするレベル
    補正回路が付加されていることを特徴とする半導体装
    置。
JP2000019755A 2000-01-28 2000-01-28 半導体装置 Pending JP2001210087A (ja)

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