JP2001194181A - 磁気センサに用いるピックアップコイル - Google Patents
磁気センサに用いるピックアップコイルInfo
- Publication number
- JP2001194181A JP2001194181A JP2000001873A JP2000001873A JP2001194181A JP 2001194181 A JP2001194181 A JP 2001194181A JP 2000001873 A JP2000001873 A JP 2000001873A JP 2000001873 A JP2000001873 A JP 2000001873A JP 2001194181 A JP2001194181 A JP 2001194181A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coil
- magneto
- pickup coil
- planar spiral
- sensitive element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 96
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims abstract description 32
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 57
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 18
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 7
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 7
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【解決手段】 磁気センサに用いるピックアップコイル
において、感磁素子による磁界変化を検出するコイル部
を備え、コイル部は、平面上に導体を渦巻き状に形成し
た平面渦巻き導体部分を有しており、感磁素子は、コイ
ル部の平面渦巻き導体部分の近傍であって且つその巻回
中心に対して実質的に偏心した位置に配置される。 【効果】 小型化、高性能化を図り且つ製造面での省力
化、コストダウンを図ることができる。
において、感磁素子による磁界変化を検出するコイル部
を備え、コイル部は、平面上に導体を渦巻き状に形成し
た平面渦巻き導体部分を有しており、感磁素子は、コイ
ル部の平面渦巻き導体部分の近傍であって且つその巻回
中心に対して実質的に偏心した位置に配置される。 【効果】 小型化、高性能化を図り且つ製造面での省力
化、コストダウンを図ることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気センサに用い
るピックアップコイルに関するものであり、より詳細に
は、厚膜または薄膜または板状感磁素子に対して用いる
に適した平板型ピックアップコイルに関するものであ
る。
るピックアップコイルに関するものであり、より詳細に
は、厚膜または薄膜または板状感磁素子に対して用いる
に適した平板型ピックアップコイルに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】磁気抵抗素子、ホール素子、大バルクハ
ウゼンジャンプを起こしうる磁性素子、超電導素子等の
感磁素子を利用した種々な磁気センサが開発され使用さ
れてきている。従来、この種の磁気センサとして、薄型
化等の要請から、厚膜または薄膜または平板状感磁素子
に対して平板状コイルを組み合わせるようにしたものが
ある。添付図面の図６は、このような従来の平板状ピッ
クアップコイルの代表例の構造を示すイメージ図であ
る。
ウゼンジャンプを起こしうる磁性素子、超電導素子等の
感磁素子を利用した種々な磁気センサが開発され使用さ
れてきている。従来、この種の磁気センサとして、薄型
化等の要請から、厚膜または薄膜または平板状感磁素子
に対して平板状コイルを組み合わせるようにしたものが
ある。添付図面の図６は、このような従来の平板状ピッ
クアップコイルの代表例の構造を示すイメージ図であ
る。
【０００３】この図６のイメージ図に示すように、この
従来の平板状ピックアップコイル２０は、平板状の感磁
素子１０を取り囲むように導体を巻回してなるものであ
った。そして、このような従来構成にあっては、具体的
構造として、図７に断面図にて示すように、基板３０上
に先ずピックアップコイル２０の下側巻回辺部を構成す
る導体部２１を形成し、その上に絶縁層３１を形成され
に、その上に感磁素子層１０を形成し、さらに、その上
に絶縁層３２を形成し、その絶縁層３２の上にピックア
ップコイル２０の上側巻回辺部を構成する導体部２２を
形成するようにしている。そして、下側の導体部２１と
上側導体部２２とは、ピックアップコイル２０を形成す
るように感磁素子層１０の前後の側において互いにスル
ーホール２３にて接続されている。
従来の平板状ピックアップコイル２０は、平板状の感磁
素子１０を取り囲むように導体を巻回してなるものであ
った。そして、このような従来構成にあっては、具体的
構造として、図７に断面図にて示すように、基板３０上
に先ずピックアップコイル２０の下側巻回辺部を構成す
る導体部２１を形成し、その上に絶縁層３１を形成され
に、その上に感磁素子層１０を形成し、さらに、その上
に絶縁層３２を形成し、その絶縁層３２の上にピックア
ップコイル２０の上側巻回辺部を構成する導体部２２を
形成するようにしている。そして、下側の導体部２１と
上側導体部２２とは、ピックアップコイル２０を形成す
るように感磁素子層１０の前後の側において互いにスル
ーホール２３にて接続されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前述したよう
な従来構造では、ピックアップコイルの１巻回につき２
つのスルーホールが必要となり、ピックアップコイルの
巻回数が増せば増す程、膨大な数のスルーホールを形成
して表面と裏面の導体部を結線しなければならず、極め
て不経済である。また、ファインピッチ化についても限
界が低い。さらにまた、ピックアップコイルの巻回数を
増すために、二重、三重および多重に導体部を積層する
場合には、さらに形成しなければならないスルーホール
の数が増大し、コスト増が著しいものとなってしまう。
さらにまた、歩留まりにも難があった。
な従来構造では、ピックアップコイルの１巻回につき２
つのスルーホールが必要となり、ピックアップコイルの
巻回数が増せば増す程、膨大な数のスルーホールを形成
して表面と裏面の導体部を結線しなければならず、極め
て不経済である。また、ファインピッチ化についても限
界が低い。さらにまた、ピックアップコイルの巻回数を
増すために、二重、三重および多重に導体部を積層する
場合には、さらに形成しなければならないスルーホール
の数が増大し、コスト増が著しいものとなってしまう。
さらにまた、歩留まりにも難があった。
【０００５】また、実際の製造においては、図８の断面
図に若干誇張して例示するように、基板３０上に形成し
たコイルの導体部２１の凹凸がこの導体部２１を覆う絶
縁層３１に反映してこの絶縁層３１の上面にも同じく凹
凸が生じ、そして、絶縁層３１上に形成する磁性層（感
磁素子）１０にも同じく凹凸が生じてしまい、磁性層
（感磁素子）の磁気特性が安定しないという問題があっ
た。一方、このような問題を避けるために、絶縁層３１
に生じる凹凸を除くための平面化処理を施すと、それだ
けコスト増となってしまうという問題があった。
図に若干誇張して例示するように、基板３０上に形成し
たコイルの導体部２１の凹凸がこの導体部２１を覆う絶
縁層３１に反映してこの絶縁層３１の上面にも同じく凹
凸が生じ、そして、絶縁層３１上に形成する磁性層（感
磁素子）１０にも同じく凹凸が生じてしまい、磁性層
（感磁素子）の磁気特性が安定しないという問題があっ
た。一方、このような問題を避けるために、絶縁層３１
に生じる凹凸を除くための平面化処理を施すと、それだ
けコスト増となってしまうという問題があった。
【０００６】本発明の目的は、前述したような従来技術
の問題点を解消しうるような磁気センサに用いるピック
アップコイルを提供することである。
の問題点を解消しうるような磁気センサに用いるピック
アップコイルを提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の一つの観点によ
れば、磁気センサに用いるピックアップコイルにおい
て、感磁素子による磁界変化を検出するコイル部を備
え、該コイル部は、平面上に導体を渦巻き状に形成した
平面渦巻き導体部分を有しており、前記感磁素子は、前
記コイル部の平面渦巻き導体部分の近傍であって且つそ
の巻回中心に対して実質的に偏心した位置に配置される
ことを特徴とする。
れば、磁気センサに用いるピックアップコイルにおい
て、感磁素子による磁界変化を検出するコイル部を備
え、該コイル部は、平面上に導体を渦巻き状に形成した
平面渦巻き導体部分を有しており、前記感磁素子は、前
記コイル部の平面渦巻き導体部分の近傍であって且つそ
の巻回中心に対して実質的に偏心した位置に配置される
ことを特徴とする。
【０００８】本発明の別の観点によれば、磁気センサに
用いるピックアップコイルにおいて、感磁素子による磁
界変化を検出するコイル部を備え、該コイル部は、平面
上に導体を渦巻き状に形成した平面渦巻き導体部分を有
しており、前記感磁素子は、前記コイル部の平面渦巻き
導体部分の巻回中心に対して対向する２つの巻回辺部の
うちの一方の巻回辺部の近傍に実質的に位置するように
配置されることを特徴とする。
用いるピックアップコイルにおいて、感磁素子による磁
界変化を検出するコイル部を備え、該コイル部は、平面
上に導体を渦巻き状に形成した平面渦巻き導体部分を有
しており、前記感磁素子は、前記コイル部の平面渦巻き
導体部分の巻回中心に対して対向する２つの巻回辺部の
うちの一方の巻回辺部の近傍に実質的に位置するように
配置されることを特徴とする。
【０００９】本発明の一つの実施の形態によれば、前記
コイル部の平面渦巻き導体部分は、互いに異なる巻回方
向に渦巻き状とされた２つの導体部分を並置し且つ直列
に接続したものであり、前記感磁素子は、前記２つの導
体部分のうちの互いに隣接した巻回辺部の近傍に実質的
に位置するように配置される。
コイル部の平面渦巻き導体部分は、互いに異なる巻回方
向に渦巻き状とされた２つの導体部分を並置し且つ直列
に接続したものであり、前記感磁素子は、前記２つの導
体部分のうちの互いに隣接した巻回辺部の近傍に実質的
に位置するように配置される。
【００１０】本発明のさらに別の実施の形態によれば、
前記コイル部は、前記平面渦巻き導体部分の複数個が重
なり合うようにして配置されてなり、前記複数個の平面
渦巻き導体部分は、互いに直列に接続されている。
前記コイル部は、前記平面渦巻き導体部分の複数個が重
なり合うようにして配置されてなり、前記複数個の平面
渦巻き導体部分は、互いに直列に接続されている。
【００１１】本発明のさらに別の実施の形態によれば、
前記コイル部の前記平面渦巻き導体部分および前記感磁
素子は、絶縁層を介して互いに重なり合うようにして層
状に形成されている。
前記コイル部の前記平面渦巻き導体部分および前記感磁
素子は、絶縁層を介して互いに重なり合うようにして層
状に形成されている。
【００１２】本発明のさらに別の実施の形態によれば、
前記コイル部の前記平面渦巻き導体部分は、基板の一方
の面上に形成され、前記感磁素子は、前記基板の反対側
の面に形成されている。
前記コイル部の前記平面渦巻き導体部分は、基板の一方
の面上に形成され、前記感磁素子は、前記基板の反対側
の面に形成されている。
【００１３】本発明のさらに別の実施の形態によれば、
前記コイル部の前記平面渦巻き導体部分は、厚膜または
薄膜形成されている。
前記コイル部の前記平面渦巻き導体部分は、厚膜または
薄膜形成されている。
【００１４】本発明のさらに別の実施の形態によれば、
前記感磁素子は、厚膜または薄膜形成され、または板状
に形成されている。
前記感磁素子は、厚膜または薄膜形成され、または板状
に形成されている。
【００１５】本発明のさらに別の実施の形態によれば、
前記コイル部の前記平面渦巻き導体部分の層間接続は、
前記絶縁層を通して形成されたスルーホールにてなされ
ている。
前記コイル部の前記平面渦巻き導体部分の層間接続は、
前記絶縁層を通して形成されたスルーホールにてなされ
ている。
【００１６】
【発明の実施の形態】次に、添付図面の、特に、図１か
ら図５に基づいて、本発明の実施の形態および実施例に
ついてより詳細に説明する。
ら図５に基づいて、本発明の実施の形態および実施例に
ついてより詳細に説明する。
【００１７】図１は、本発明の一実施例としてのピック
アップコイルの概要を示すイメージ斜視図である。この
本発明のピックアップコイルは、平板状の基板１等の単
一平面上に渦巻き状に厚膜または薄膜形成され、または
平板状に形成された平面渦巻き導体部分２を有するコイ
ル部を備える。このコイル部は、平面渦巻き導体部分２
の両端に（外部）接続端子部ＡおよびＢを有している。
そして、平板状の感磁素子１０は、このようなピックア
ップコイルのコイル部の平面渦巻き導体部分２の巻回中
心に対して対向する２つの巻回辺部２Ａおよび２Ｂのう
ち一方の巻回辺部２Ａの近傍に実質的に位置するように
配置される。換言するならば、感磁素子１０は、コイル
部の平面渦巻き導体部分２の近傍であって且つその巻回
中心に対して実質的に偏心した位置に配置される。
アップコイルの概要を示すイメージ斜視図である。この
本発明のピックアップコイルは、平板状の基板１等の単
一平面上に渦巻き状に厚膜または薄膜形成され、または
平板状に形成された平面渦巻き導体部分２を有するコイ
ル部を備える。このコイル部は、平面渦巻き導体部分２
の両端に（外部）接続端子部ＡおよびＢを有している。
そして、平板状の感磁素子１０は、このようなピックア
ップコイルのコイル部の平面渦巻き導体部分２の巻回中
心に対して対向する２つの巻回辺部２Ａおよび２Ｂのう
ち一方の巻回辺部２Ａの近傍に実質的に位置するように
配置される。換言するならば、感磁素子１０は、コイル
部の平面渦巻き導体部分２の近傍であって且つその巻回
中心に対して実質的に偏心した位置に配置される。
【００１８】このような構成のピックアップコイルにお
いては、感磁素子１０による磁界変化があるときには、
巻回辺部２Ａに鎖交する磁束の数は、巻回辺部２Ｂに鎖
交する磁束の数に比べて多くなるので、巻回辺部２Ａに
誘起される起電圧は、巻回辺部２Ｂに誘起される逆方向
の起電圧より大きく、したがって、接続端子Ａと接続端
子２Ｂの間には、それら起電圧の差分の電圧が誘起さ
れ、これにより、感磁素子１０による磁界変化をピック
アップすることができる。
いては、感磁素子１０による磁界変化があるときには、
巻回辺部２Ａに鎖交する磁束の数は、巻回辺部２Ｂに鎖
交する磁束の数に比べて多くなるので、巻回辺部２Ａに
誘起される起電圧は、巻回辺部２Ｂに誘起される逆方向
の起電圧より大きく、したがって、接続端子Ａと接続端
子２Ｂの間には、それら起電圧の差分の電圧が誘起さ
れ、これにより、感磁素子１０による磁界変化をピック
アップすることができる。
【００１９】図１の実施例では、感磁素子１０は、基板
１の平面渦巻き導体部分２を形成した面の側に配置され
るようにしているが、本発明は、これに限らず、感磁素
子１０は、基板１の反対の面側に配置することもでき
る。また、感磁素子１０を基板１の面に対して直接的に
形成するような場合には、基板１の面上に感磁素子１０
を形成した後、その上に絶縁層を介して平面渦巻き導体
部分を形成することもできる。この方が、より容易に凹
凸のない感磁素子として形成することができる。
１の平面渦巻き導体部分２を形成した面の側に配置され
るようにしているが、本発明は、これに限らず、感磁素
子１０は、基板１の反対の面側に配置することもでき
る。また、感磁素子１０を基板１の面に対して直接的に
形成するような場合には、基板１の面上に感磁素子１０
を形成した後、その上に絶縁層を介して平面渦巻き導体
部分を形成することもできる。この方が、より容易に凹
凸のない感磁素子として形成することができる。
【００２０】図１の実施例では、コイル部の形成のため
にスルーホールを形成する必要がないので、コストを低
減することができる。
にスルーホールを形成する必要がないので、コストを低
減することができる。
【００２１】図１の実施例では、コイル部の平面渦巻き
導体部分２は、基板１の面上に１層のみ形成したのであ
るが、コイル部の巻回数を増すために、同様の平面渦巻
き導体部分を絶縁層を介して多層に形成し、それら平面
渦巻き導体部分の端部同志をスルーホールにて層間接続
するようにすることもできる。この場合において必要と
されるスルーホールの数は、層間において一つだけであ
るので、コスト増となることもなく、ファインピッチ化
のためのネックとなることもない。
導体部分２は、基板１の面上に１層のみ形成したのであ
るが、コイル部の巻回数を増すために、同様の平面渦巻
き導体部分を絶縁層を介して多層に形成し、それら平面
渦巻き導体部分の端部同志をスルーホールにて層間接続
するようにすることもできる。この場合において必要と
されるスルーホールの数は、層間において一つだけであ
るので、コスト増となることもなく、ファインピッチ化
のためのネックとなることもない。
【００２２】なお、図１においては、分かり易く説明す
るため導体同志の間隔を極端に粗いピッチで描いている
が、実際には極めて細かいピッチであり導体の全長も更
に長いものである。このことは、他の図においても同じ
である。
るため導体同志の間隔を極端に粗いピッチで描いている
が、実際には極めて細かいピッチであり導体の全長も更
に長いものである。このことは、他の図においても同じ
である。
【００２３】図２は、本発明の別の実施例としてのピッ
クアップコイルの構成を説明するための概略平面図であ
る。この図２の実施例は、図１の実施例のものよりも、
所定のスペース内にて、よりピックアップ領域を広くで
きるようにしたものである。図２の実施例では、基板１
の面上に形成されるコイル部は、互いに異なる巻回方向
に渦巻き状とされた２つの導体部分３および４を並置し
且つ直列に接続してなっている。そして、感磁素子は、
前記２つの導体部分のうちの互いに隣接した巻回辺部３
Ａおよび４Ａの近傍のピックアップ領域Ｘに実質的に位
置するように配置される。
クアップコイルの構成を説明するための概略平面図であ
る。この図２の実施例は、図１の実施例のものよりも、
所定のスペース内にて、よりピックアップ領域を広くで
きるようにしたものである。図２の実施例では、基板１
の面上に形成されるコイル部は、互いに異なる巻回方向
に渦巻き状とされた２つの導体部分３および４を並置し
且つ直列に接続してなっている。そして、感磁素子は、
前記２つの導体部分のうちの互いに隣接した巻回辺部３
Ａおよび４Ａの近傍のピックアップ領域Ｘに実質的に位
置するように配置される。
【００２４】図２のようなコイル部の導体パターンとす
ると、巻き方向の異なる２つのコイル巻回辺部３Ａおよ
び４Ａが隣接した状態となる。このため隣接部の略六角
形のエリアＸ内においては、各導体部の向きが同一方向
となる。これにより、同じ感磁素子面積でも縦横比を変
えて細長くすれば、感磁素子に対するコイルの通過本数
を増大させることができる。更に細長くすれば、更にコ
イルの巻き数を増大させることができるほか、センサ等
に用いる際には、細長くすることによって形状的に有利
となる。
ると、巻き方向の異なる２つのコイル巻回辺部３Ａおよ
び４Ａが隣接した状態となる。このため隣接部の略六角
形のエリアＸ内においては、各導体部の向きが同一方向
となる。これにより、同じ感磁素子面積でも縦横比を変
えて細長くすれば、感磁素子に対するコイルの通過本数
を増大させることができる。更に細長くすれば、更にコ
イルの巻き数を増大させることができるほか、センサ等
に用いる際には、細長くすることによって形状的に有利
となる。
【００２５】図３は、本発明のさらに別の実施例として
のピックアップコイルの構成を説明するための概略平面
図である。この図３の実施例は、図２の実施例のピック
アップコイルの構造をさらに発展させて、積層構造とし
たものである。図３の実施例は、３層構造としたもので
あり、そのＹ−Ｙ断面を図５に略示している。図５の断
面図によく示されるように、この実施例においては、平
板状の基板１の上面に、感磁素子層１０が厚膜または薄
膜形成され、または平板状に形成され、その上に絶縁層
３３が形成され、この絶縁層３３の上に、第１層目のコ
イル部導体パターン３、４が形成され、さらに、絶縁層
３４が形成され、この絶縁層３４の上に第２層目のコイ
ル部導体パターン５、６が形成され、さらに、絶縁層３
５が形成され、この絶縁層３５の上に第３層目のコイル
部導体パターン７、８が形成されている。
のピックアップコイルの構成を説明するための概略平面
図である。この図３の実施例は、図２の実施例のピック
アップコイルの構造をさらに発展させて、積層構造とし
たものである。図３の実施例は、３層構造としたもので
あり、そのＹ−Ｙ断面を図５に略示している。図５の断
面図によく示されるように、この実施例においては、平
板状の基板１の上面に、感磁素子層１０が厚膜または薄
膜形成され、または平板状に形成され、その上に絶縁層
３３が形成され、この絶縁層３３の上に、第１層目のコ
イル部導体パターン３、４が形成され、さらに、絶縁層
３４が形成され、この絶縁層３４の上に第２層目のコイ
ル部導体パターン５、６が形成され、さらに、絶縁層３
５が形成され、この絶縁層３５の上に第３層目のコイル
部導体パターン７、８が形成されている。
【００２６】図４は、第１層目のコイル部導体パター
ン、第２層目のコイル部導体パターン、第３層目のコイ
ル部導体パターンをそれぞれ平面的に示している。第１
層目のコイル部導体パターンは、図２の実施例で説明し
たコイル部導体パターンと同様であり、互いに異なる巻
回方向に渦巻き状とされた２つの導体部分３および４を
並置し且つ直列に接続してなっている。そして、感磁素
子１０は、２つの導体部分のうちの互いに隣接した巻回
辺部３Ａおよび４Ａの近傍のピックアップ領域Ｘに実質
的に位置するように配置されている。
ン、第２層目のコイル部導体パターン、第３層目のコイ
ル部導体パターンをそれぞれ平面的に示している。第１
層目のコイル部導体パターンは、図２の実施例で説明し
たコイル部導体パターンと同様であり、互いに異なる巻
回方向に渦巻き状とされた２つの導体部分３および４を
並置し且つ直列に接続してなっている。そして、感磁素
子１０は、２つの導体部分のうちの互いに隣接した巻回
辺部３Ａおよび４Ａの近傍のピックアップ領域Ｘに実質
的に位置するように配置されている。
【００２７】第２層目のコイル部導体パターンもまた、
互いに異なる巻回方向に渦巻き状とされた２つの導体部
分５および６を並置し且つ直列に接続してなっている
が、導体部分５の巻き方向は、第１層目の導体部分３と
は逆であり、導体部分６の巻き方向は、第１層目の導体
部分４とは逆とされている。この第２層目のコイル部導
体パターンのピックアップ領域は、参照符号Ｙで示して
いる。
互いに異なる巻回方向に渦巻き状とされた２つの導体部
分５および６を並置し且つ直列に接続してなっている
が、導体部分５の巻き方向は、第１層目の導体部分３と
は逆であり、導体部分６の巻き方向は、第１層目の導体
部分４とは逆とされている。この第２層目のコイル部導
体パターンのピックアップ領域は、参照符号Ｙで示して
いる。
【００２８】第３層目のコイル部導体パターンもまた、
互いに異なる巻回方向に渦巻き状とされた２つの導体部
分７および８を並置し且つ直列に接続してなっている
が、導体部分７の巻き方向は、第２層目の導体部分５と
は逆であり、導体部分８の巻き方向は、第２層目の導体
部分６とは逆とされている。この第３層目のコイル部導
体パターンのピックアップ領域は、参照符号Ｚで示して
いる。
互いに異なる巻回方向に渦巻き状とされた２つの導体部
分７および８を並置し且つ直列に接続してなっている
が、導体部分７の巻き方向は、第２層目の導体部分５と
は逆であり、導体部分８の巻き方向は、第２層目の導体
部分６とは逆とされている。この第３層目のコイル部導
体パターンのピックアップ領域は、参照符号Ｚで示して
いる。
【００２９】図５によく示されているように、第１層目
の導体部分４の接続端子部Ａは、絶縁層３４および３５
を通して形成されたスルーホール２４を通して表面外部
接続端子部Ａ′に接続されている。また、第１層目の導
体部分３の接続端子Ｂは、絶縁層３４を通して形成され
たスルーホール（図に表れていない）を通して第２層目
の導体部分５の接続端子部Ｂに接続され、第２層目の導
体部分６の接続端子部Ｃは、絶縁層３５に形成されたス
ルーホール（図に表れていない）を通して、第３層目の
導体部分８の接続端子部Ｃに接続されている。そして、
第３層目の導体部分７の接続端子部Ｄは、表面外部接続
端子部として使用されうる。
の導体部分４の接続端子部Ａは、絶縁層３４および３５
を通して形成されたスルーホール２４を通して表面外部
接続端子部Ａ′に接続されている。また、第１層目の導
体部分３の接続端子Ｂは、絶縁層３４を通して形成され
たスルーホール（図に表れていない）を通して第２層目
の導体部分５の接続端子部Ｂに接続され、第２層目の導
体部分６の接続端子部Ｃは、絶縁層３５に形成されたス
ルーホール（図に表れていない）を通して、第３層目の
導体部分８の接続端子部Ｃに接続されている。そして、
第３層目の導体部分７の接続端子部Ｄは、表面外部接続
端子部として使用されうる。
【００３０】前述したことから明らかなように、各層に
おける導体パターンは、巻き方向の異なる２つのコイル
部分が隣接した状態となっている。このため、隣接部の
略六角形の各エリアＸ、Ｙ、Ｚ内においては各導体の向
きが同一方向となっている。また、各層間においても導
体部分の巻き方向が互いに異なっているので、これによ
り、各層の略六角形のエリアＸ、Ｙ、Ｚ内の導体の向き
が全て同一方向となる。このエリア、即ち、Ｘ、Ｙ、Ｚ
が重複した領域をピックアップ領域とすることができる
のである。
おける導体パターンは、巻き方向の異なる２つのコイル
部分が隣接した状態となっている。このため、隣接部の
略六角形の各エリアＸ、Ｙ、Ｚ内においては各導体の向
きが同一方向となっている。また、各層間においても導
体部分の巻き方向が互いに異なっているので、これによ
り、各層の略六角形のエリアＸ、Ｙ、Ｚ内の導体の向き
が全て同一方向となる。このエリア、即ち、Ｘ、Ｙ、Ｚ
が重複した領域をピックアップ領域とすることができる
のである。
【００３１】なお、図３の実施例では、基板１の上面に
感磁素子１０を形成し、その上に導体パターンを重ねて
形成しているが、本発明は、これに限らず、感磁素子
は、基板１の裏面に形成してもよいし、または、感磁素
子を導体パターンの上に形成するようにしてもよい。し
かし、感磁素子を基板の上面または下面に最初に形成す
る方が、感磁素子の平面精度を向上させる上では好まし
い。感磁素子とコイルを基板の上面、下面に分けて形成
する場合には、感磁素子を後から形成することにより、
コイル作製のプロセスにより影響を受けることなく、感
磁素子の特性を安定にすることができる。
感磁素子１０を形成し、その上に導体パターンを重ねて
形成しているが、本発明は、これに限らず、感磁素子
は、基板１の裏面に形成してもよいし、または、感磁素
子を導体パターンの上に形成するようにしてもよい。し
かし、感磁素子を基板の上面または下面に最初に形成す
る方が、感磁素子の平面精度を向上させる上では好まし
い。感磁素子とコイルを基板の上面、下面に分けて形成
する場合には、感磁素子を後から形成することにより、
コイル作製のプロセスにより影響を受けることなく、感
磁素子の特性を安定にすることができる。
【００３２】
【発明の効果】本発明のピックアップコイルの構成によ
れば、コイルの巻回数を増しても形成すべきスルーホー
ルの数は極めて少数ですむので、感度の高いピックアッ
プコイルのコストダウンを図ることができる。
れば、コイルの巻回数を増しても形成すべきスルーホー
ルの数は極めて少数ですむので、感度の高いピックアッ
プコイルのコストダウンを図ることができる。
【００３３】また、断線やショートの危険もなくなり、
歩留まりも向上する。
歩留まりも向上する。
【００３４】感磁素子に対するコイルの通過本数を増大
させることができる他、細長く形成することができ、セ
ンサに用いる際には形状的に優位となる。
させることができる他、細長く形成することができ、セ
ンサに用いる際には形状的に優位となる。
【００３５】また、任意に多段積層が可能であり、より
コンパクトでより感度の高いものとすることが容易であ
る。
コンパクトでより感度の高いものとすることが容易であ
る。
【００３６】感磁素子をピックアップコイルの巻回中心
に対して偏心させることにより感磁素子による磁界変化
のみをピックアップできるようにしたことにより、ピッ
クアップコイルの全体に偏心的でなく均等にかかるよう
な地磁気等外部磁界の影響をキャンセル(相殺)すること
ができるので、より精度の高い検出が可能なものとする
ことができる。
に対して偏心させることにより感磁素子による磁界変化
のみをピックアップできるようにしたことにより、ピッ
クアップコイルの全体に偏心的でなく均等にかかるよう
な地磁気等外部磁界の影響をキャンセル(相殺)すること
ができるので、より精度の高い検出が可能なものとする
ことができる。
【００３７】このように、本発明のピックアップコイル
は、より小型化、高性能化を図り且つ製造面での省力
化、コストダウンを図ることができる。
は、より小型化、高性能化を図り且つ製造面での省力
化、コストダウンを図ることができる。
【図１】本発明の一実施例としてのピックアップコイル
の概要を示すイメージ斜視図である。
の概要を示すイメージ斜視図である。
【図２】本発明の別の実施例としてのピックアップコイ
ルの構成を説明するための概略平面図である。
ルの構成を説明するための概略平面図である。
【図３】本発明のさらに別の実施例としてのピックアッ
プコイルの構成を説明するための概略平面図である。
プコイルの構成を説明するための概略平面図である。
【図４】図３の実施例における第１層目のコイル部導体
パターン、第２層目のコイル部導体パターン、第３層目
のコイル部導体パターンをそれぞれ平面的に示す図であ
る。
パターン、第２層目のコイル部導体パターン、第３層目
のコイル部導体パターンをそれぞれ平面的に示す図であ
る。
【図５】図３のＹ−Ｙ断面図である。
【図６】従来の平板状ピックアップコイルの代表例の構
造を示すイメージ図である。
造を示すイメージ図である。
【図７】図６の構造を断面にて示す図である。
【図８】図６の構造の実際の製造における断面を若干誇
張して示す図である。
張して示す図である。
１ 基板 ２ 平面渦巻き導体部分 ２Ａ 巻回辺部 ２Ｂ 巻回辺部 Ａ 接続端子部 Ｂ 接続端子部 １０ 感磁素子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 安部 正規 神奈川県横浜市港北区新横浜２丁目６番23 号 株式会社ヒロセチェリープレシジョン 内 (72)発明者 小山 昌二 神奈川県横浜市港北区新横浜２丁目６番23 号 株式会社ヒロセチェリープレシジョン 内 (72)発明者 根岸 靖 神奈川県横須賀市大津町５−１−711 (72)発明者 馬場 康壽 神奈川県横浜市保土ヶ谷区東川島町86−６ −123 (72)発明者 阿部 晋 神奈川県横浜市神奈川区神大寺３−５−９ −204 Ｆターム(参考） 2F063 CA34 EA01 GA27 2F077 AA18 AA49 JJ06 JJ20 PP09 VV10 2G017 AA01 AB07 AD53 AD55 AD65
Claims (9)
- 【請求項１】 磁気センサに用いるピックアップコイル
において、感磁素子による磁界変化を検出するコイル部
を備え、該コイル部は、平面上に導体を渦巻き状に形成
した平面渦巻き導体部分を有しており、前記感磁素子
は、前記コイル部の平面渦巻き導体部分の近傍であって
且つその巻回中心に対して実質的に偏心した位置に配置
されることを特徴とするピックアップコイル。 - 【請求項２】 磁気センサに用いるピックアップコイル
において、感磁素子による磁界変化を検出するコイル部
を備え、該コイル部は、平面上に導体を渦巻き状に形成
した平面渦巻き導体部分を有しており、前記感磁素子
は、前記コイル部の平面渦巻き導体部分の巻回中心に対
して対向する２つの巻回辺部のうちの一方の巻回辺部の
近傍に実質的に位置するように配置されることを特徴と
するピックアップコイル。 - 【請求項３】 前記コイル部の平面渦巻き導体部分は、
互いに異なる巻回方向に渦巻き状とされた２つの導体部
分を並置し且つ直列に接続したものであり、前記感磁素
子は、前記２つの導体部分のうちの互いに隣接した巻回
辺部の近傍に実質的に位置するように配置される請求項
２記載のピックアップコイル。 - 【請求項４】 前記コイル部は、前記平面渦巻き導体部
分の複数個が重なり合うようにして配置されてなり、前
記複数個の平面渦巻き導体部分は、互いに直列に接続さ
れている請求項１または２または３記載のピックアップ
コイル。 - 【請求項５】 前記コイル部の前記平面渦巻き導体部分
および前記感磁素子は、絶縁層を介して互いに重なり合
うようにして層状に形成されている請求項１または２ま
たは３または４記載のピックアップコイル。 - 【請求項６】 前記コイル部の前記平面渦巻き導体部分
は、基板の一方の面上に形成され、前記感磁素子は、前
記基板の反対側の面に形成されている請求項１または２
または３または４または５記載のピックアップコイル。 - 【請求項７】 前記コイル部の前記平面渦巻き導体部分
は、厚膜または薄膜形成されている請求項１から６のう
ちのいずれか１項に記載のピックアップコイル。 - 【請求項８】 前記感磁素子は、厚膜または薄膜形成さ
れ、または板状に形成されている請求項１から６のうち
のいずれか１項に記載のピックアップコイル。 - 【請求項９】 前記コイル部の前記平面渦巻き導体部分
の層間接続は、前記絶縁層を通して形成されたスルーホ
ールにてなされている請求項５または６または７または
８記載のピックアップコイル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000001873A JP4415159B2 (ja) | 2000-01-07 | 2000-01-07 | 磁気センサに用いるピックアップコイル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000001873A JP4415159B2 (ja) | 2000-01-07 | 2000-01-07 | 磁気センサに用いるピックアップコイル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001194181A true JP2001194181A (ja) | 2001-07-19 |
| JP4415159B2 JP4415159B2 (ja) | 2010-02-17 |
Family
ID=18531052
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000001873A Expired - Fee Related JP4415159B2 (ja) | 2000-01-07 | 2000-01-07 | 磁気センサに用いるピックアップコイル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4415159B2 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004097441A1 (ja) * | 2003-04-25 | 2004-11-11 | Hst Co., Ltd. | 制御素子と一体化した感磁素子 |
| JP2009036717A (ja) * | 2007-08-03 | 2009-02-19 | Fujikura Ltd | 磁気センサ |
| JP2011509063A (ja) * | 2007-12-28 | 2011-03-17 | ワールプール，ソシエダッド アノニマ | シリンダ位置認識システムを有する、リニアモータによって駆動されるピストンとシリンダとの組合せ体、リニアモータ圧縮機、および誘導センサ |
| JP2014509389A (ja) * | 2011-02-03 | 2014-04-17 | ゼンジテック ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 磁界感知デバイス |
| WO2016021260A1 (ja) * | 2014-08-07 | 2016-02-11 | アルプス・グリーンデバイス株式会社 | 磁気センサーおよびその磁気センサーを備えた電流センサー |
| JP5955490B1 (ja) * | 2015-04-23 | 2016-07-20 | 三菱電機株式会社 | 回転検出装置および回転検出装置の製造方法 |
| EP3452842A4 (en) * | 2016-06-29 | 2020-05-27 | TAE Technologies, Inc. | Mineral insulated combined flux loop and b-dot wire |
| WO2023171207A1 (ja) * | 2022-03-09 | 2023-09-14 | アルプスアルパイン株式会社 | 磁気センサ |
| WO2024111340A1 (ja) * | 2022-11-24 | 2024-05-30 | 株式会社デンソー | 位置検出装置 |
-
2000
- 2000-01-07 JP JP2000001873A patent/JP4415159B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004097441A1 (ja) * | 2003-04-25 | 2004-11-11 | Hst Co., Ltd. | 制御素子と一体化した感磁素子 |
| JP2009036717A (ja) * | 2007-08-03 | 2009-02-19 | Fujikura Ltd | 磁気センサ |
| JP2011509063A (ja) * | 2007-12-28 | 2011-03-17 | ワールプール，ソシエダッド アノニマ | シリンダ位置認識システムを有する、リニアモータによって駆動されるピストンとシリンダとの組合せ体、リニアモータ圧縮機、および誘導センサ |
| JP2014509389A (ja) * | 2011-02-03 | 2014-04-17 | ゼンジテック ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 磁界感知デバイス |
| JPWO2016021260A1 (ja) * | 2014-08-07 | 2017-04-27 | アルプス電気株式会社 | 磁気センサーおよびその磁気センサーを備えた電流センサー |
| WO2016021260A1 (ja) * | 2014-08-07 | 2016-02-11 | アルプス・グリーンデバイス株式会社 | 磁気センサーおよびその磁気センサーを備えた電流センサー |
| US9869565B2 (en) | 2015-04-23 | 2018-01-16 | Mitsubishi Electric Corporation | Rotation detection device and method of manufacturing rotation detection device |
| WO2016170648A1 (ja) * | 2015-04-23 | 2016-10-27 | 三菱電機株式会社 | 回転検出装置および回転検出装置の製造方法 |
| JP5955490B1 (ja) * | 2015-04-23 | 2016-07-20 | 三菱電機株式会社 | 回転検出装置および回転検出装置の製造方法 |
| EP3452842A4 (en) * | 2016-06-29 | 2020-05-27 | TAE Technologies, Inc. | Mineral insulated combined flux loop and b-dot wire |
| US10886031B2 (en) | 2016-06-29 | 2021-01-05 | Tae Technologies, Inc. | Mineral insulated combined flux loop and B-dot wire |
| AU2017290686B2 (en) * | 2016-06-29 | 2022-12-22 | Tae Technologies, Inc. | Mineral insulated combined flux loop and B-dot wire |
| WO2023171207A1 (ja) * | 2022-03-09 | 2023-09-14 | アルプスアルパイン株式会社 | 磁気センサ |
| JPWO2023171207A1 (ja) * | 2022-03-09 | 2023-09-14 | ||
| WO2024111340A1 (ja) * | 2022-11-24 | 2024-05-30 | 株式会社デンソー | 位置検出装置 |
| JP2024076170A (ja) * | 2022-11-24 | 2024-06-05 | 株式会社デンソー | 位置検出装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4415159B2 (ja) | 2010-02-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7208947B2 (en) | Fluxgate sensor integrated in a semiconductor substrate and method for manufacturing the same | |
| US7372261B2 (en) | Printed circuit board integrated with a two-axis fluxgate sensor and method for manufacturing the same | |
| KR100698413B1 (ko) | 거대 자기저항 소자를 이용한 자기 센서 및 그 제조 방법 | |
| US10418169B2 (en) | Inductance element for magnetic sensor and current sensor including the same | |
| US6411086B1 (en) | Differential solenoidal magnetic field sensing device and method for manufacturing the same | |
| US20110089941A1 (en) | Magnetic sensor and magnetic sensor module | |
| US6556007B1 (en) | Bearing sensor having magneto resistive elements | |
| JPH11513128A (ja) | 磁気抵抗ブリッジを有する磁場センサ | |
| JP2000249725A (ja) | 電流センサーの製造方法 | |
| CN110235003B (zh) | 平衡式电流传感器 | |
| JPH11194161A (ja) | 磁気抵抗式センサ素子により外部磁界の方向を検出するためのセンサ装置 | |
| JP2001194181A (ja) | 磁気センサに用いるピックアップコイル | |
| US12174270B2 (en) | Magnetic sensor | |
| US7589527B2 (en) | Elongated magnetic sensor | |
| JP2003188015A (ja) | 集積回路上に平形に形成された誘導マイクロセンサ | |
| US6366084B1 (en) | Magnetic sensor having soft magnetic metallic element formed in zigzag shape | |
| JP2008197002A (ja) | 磁気センサ | |
| US20120032673A1 (en) | Magnetic sensor | |
| WO2006057379A1 (ja) | 薄膜磁気抵抗素子及びその製造方法並びに薄膜磁気抵抗素子を用いた磁気センサ | |
| US12247852B2 (en) | Magnetic sensor | |
| JP2909790B2 (ja) | 超伝導検出コイル | |
| JP2019211385A (ja) | 磁気検出装置及び磁気バイアス装置 | |
| US10418546B2 (en) | Magnetic sensor | |
| JP2001159668A (ja) | 薄膜電子部品 | |
| JPH04255276A (ja) | 磁気抵抗素子 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061010 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090903 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20091002 |
|
| A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20091007 |
|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20091102 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20091102 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20091102 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121204 Year of fee payment: 3 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |