JP2001183562A - 光学要素用支持要素の支持面整列方法 - Google Patents
光学要素用支持要素の支持面整列方法Info
- Publication number
- JP2001183562A JP2001183562A JP2000349395A JP2000349395A JP2001183562A JP 2001183562 A JP2001183562 A JP 2001183562A JP 2000349395 A JP2000349395 A JP 2000349395A JP 2000349395 A JP2000349395 A JP 2000349395A JP 2001183562 A JP2001183562 A JP 2001183562A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support
- supporting
- laser beam
- optical element
- inner ring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70216—Mask projection systems
- G03F7/70241—Optical aspects of refractive lens systems, i.e. comprising only refractive elements
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
- G02B7/026—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses using retaining rings or springs
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70808—Construction details, e.g. housing, load-lock, seals or windows for passing light in or out of apparatus
- G03F7/70825—Mounting of individual elements, e.g. mounts, holders or supports
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Epidemiology (AREA)
- Public Health (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Lens Barrels (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 光学システムにおける光学要素のための支持
面の姿勢の差異を可能な限り低減させて低変形構造を与
える。 【解決手段】 支持要素（３）の支持面（５）が共通の
面または所定の配列に整列されるように、支持要素
（３）またはそれに連結された支持部（２、６）をレー
ザー光線（７）により変形させる
面の姿勢の差異を可能な限り低減させて低変形構造を与
える。 【解決手段】 支持要素（３）の支持面（５）が共通の
面または所定の配列に整列されるように、支持要素
（３）またはそれに連結された支持部（２、６）をレー
ザー光線（７）により変形させる
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は光学要素用支持要素の
支持面の整列方法に関するものであり、特にマイクロリ
ソグラフィー射影露光装置の半導体レンズ用支持要素の
支持面を整列させる方法に関するものである。
支持面の整列方法に関するものであり、特にマイクロリ
ソグラフィー射影露光装置の半導体レンズ用支持要素の
支持面を整列させる方法に関するものである。
【０００２】
【従来技術】レンズシステムの変形を回避しかつ精度を
上げるべく、特にマイクロリソグラフィー射影露光装置
のレンズシステムの光学要素は弾性リンクにより支持さ
れている。このリンクにより光学要素が変形しないよう
に台に設けている。
上げるべく、特にマイクロリソグラフィー射影露光装置
のレンズシステムの光学要素は弾性リンクにより支持さ
れている。このリンクにより光学要素が変形しないよう
に台に設けている。
【０００３】この場合弾性リンクは支持面における差異
を小さくして、光学要素の変形を低いものにしている。
個々のリンクの支持力の小さな差異は大きなコンプライ
アンスにより達成されるのである。
を小さくして、光学要素の変形を低いものにしている。
個々のリンクの支持力の小さな差異は大きなコンプライ
アンスにより達成されるのである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしこの場合には、
弾性リンクが製造困難である、すなわちリンクの支持面
は異なる高さを有するようにその表面形状がばらつくと
いう欠点がある。従来からある式
弾性リンクが製造困難である、すなわちリンクの支持面
は異なる高さを有するようにその表面形状がばらつくと
いう欠点がある。従来からある式
【０００５】
【式１】 支持力＝バネ剛性×バネ偏位 （ Ｆ ＝ Ｃ × Ｘ ）
【０００６】により支持力は影響を受ける。弾性リンク
のバネ剛性は製造上の理由からあまり低減できないか
ら、支持力の相対差異を小さくしたり光学要素の重量に
よるバネの偏位を均一にする可能性はバネの偏位によっ
てのみ得られる（表面形状のバラツキの補償として）も
のである。
のバネ剛性は製造上の理由からあまり低減できないか
ら、支持力の相対差異を小さくしたり光学要素の重量に
よるバネの偏位を均一にする可能性はバネの偏位によっ
てのみ得られる（表面形状のバラツキの補償として）も
のである。
【０００７】以上のような従来技術の欠点に鑑みてこの
発明の目的は、光学システムにおける光学要素のための
支持面の姿勢の差異を可能な限り低減させて低変形構造
を与える、ことにある。
発明の目的は、光学システムにおける光学要素のための
支持面の姿勢の差異を可能な限り低減させて低変形構造
を与える、ことにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】このためこの発明におい
ては、支持要素の支持面が共通の面または所定の配列に
整列されるように、支持要素またはそれに連結された支
持部をレーザー光線により変形させることを要旨とする
ものである。
ては、支持要素の支持面が共通の面または所定の配列に
整列されるように、支持要素またはそれに連結された支
持部をレーザー光線により変形させることを要旨とする
ものである。
【０００９】
【作用】レーザー光線により支持要素などを変形したこ
とにより支持要素の支持面が共通の面または所定の配列
に整列される。
とにより支持要素の支持面が共通の面または所定の配列
に整列される。
【００１０】レーザー光線の使用により製造時の公差が
一段と正確なものとなる。これは支持要素またはその支
持部にレーザー光線が施されて屈曲が起きることによる
ものであって、この際にこの発明にあっては、光学要素
のための全ての支持面がほぼ同じ面にまたは非常に密に
画定された範囲内に位置されるように、制御を行うので
ある。これにより非常に正確で低変形の取り付けが行わ
れる。
一段と正確なものとなる。これは支持要素またはその支
持部にレーザー光線が施されて屈曲が起きることによる
ものであって、この際にこの発明にあっては、光学要素
のための全ての支持面がほぼ同じ面にまたは非常に密に
画定された範囲内に位置されるように、制御を行うので
ある。これにより非常に正確で低変形の取り付けが行わ
れる。
【００１１】一実施例においては整列のために所謂温度
勾配機構が用いられ、これにより変形の方向と弾性要素
の変形の量とを特定なものとするのである。温度勾配機
構（ＴＧＭ）の場合には、局部加熱により応力の非対称
状態が作り出される。これにより作り出された応力は局
部的にフローリミットを越えて、塑性変形に至り、レー
ザー光線に向けての屈曲を引き起こす。
勾配機構が用いられ、これにより変形の方向と弾性要素
の変形の量とを特定なものとするのである。温度勾配機
構（ＴＧＭ）の場合には、局部加熱により応力の非対称
状態が作り出される。これにより作り出された応力は局
部的にフローリミットを越えて、塑性変形に至り、レー
ザー光線に向けての屈曲を引き起こす。
【００１２】この発明の利点は必要なら、つまり支持要
素または弾性がすでに屈曲している場合には、この際に
修復も行われる点である。
素または弾性がすでに屈曲している場合には、この際に
修復も行われる点である。
【００１３】この発明の方法によれば、レーザー光線平
衡整列を用いて、バネアームを一面ではなく所定の配列
に指向させることもできる。これにより光学要素の支持
点における三点取り付けなどの場合に重錘に起因する変
形を補償することもできる。
衡整列を用いて、バネアームを一面ではなく所定の配列
に指向させることもできる。これにより光学要素の支持
点における三点取り付けなどの場合に重錘に起因する変
形を補償することもできる。
【００１４】埋込み光学要素の屈曲の干渉計観察により
光学要素の現在の変形を相殺することもできる。
光学要素の現在の変形を相殺することもできる。
【００１５】レーザー光線を用いて部品を整列すること
はすでに知られている。例えばＥＰ０２９９１１１Ｂ１
号にはアクセルジャーナル、クランク軸、カム軸などの
部品をレーザー光線による表面硬化により整列させるこ
とが開示されている。つまり圧縮内部応力を部品中に導
入するのである。
はすでに知られている。例えばＥＰ０２９９１１１Ｂ１
号にはアクセルジャーナル、クランク軸、カム軸などの
部品をレーザー光線による表面硬化により整列させるこ
とが開示されている。つまり圧縮内部応力を部品中に導
入するのである。
【００１６】ＤＥ１９８０５８４９号にはレーザー光線
を用いて例えば互いに連結されるべき光学要素などの部
品を整列または調節することが開示されている。これは
レーザー光線によるハンダ付け、接着または溶接などの
技術を用いている。レーザー光線照射により部品の精密
な整列または位置決めなどの作業が行われている。
を用いて例えば互いに連結されるべき光学要素などの部
品を整列または調節することが開示されている。これは
レーザー光線によるハンダ付け、接着または溶接などの
技術を用いている。レーザー光線照射により部品の精密
な整列または位置決めなどの作業が行われている。
【００１７】
【実施例】一例としてレンズ１を用いた光学システムは
内リング２に取り付けられており、該リングはその周縁
に沿って分配された複数の支持脚３を支持要素として有
している。リング２は台４に取り付けられるかまたは一
体となっている。支持脚３はレンズ１を支持する支持面
５を具えている。支持脚３はそれぞれ支持アーム６の一
端上に配置されている。該支持アーム６は弾性を有して
おり、内リング２の一部、または内リングと一体に、ま
たは内リングとは別体に、光軸に沿って延在している。
内リング２に取り付けられており、該リングはその周縁
に沿って分配された複数の支持脚３を支持要素として有
している。リング２は台４に取り付けられるかまたは一
体となっている。支持脚３はレンズ１を支持する支持面
５を具えている。支持脚３はそれぞれ支持アーム６の一
端上に配置されている。該支持アーム６は弾性を有して
おり、内リング２の一部、または内リングと一体に、ま
たは内リングとは別体に、光軸に沿って延在している。
【００１８】図２に示すように、支持力Ｆ1〜Ｆ5が異な
るが故にレンズの変形が起きる。このような支持力の差
異は、支持脚３がレンズ１に当接するまで異なって曲げ
られるときに、起きるものである。
るが故にレンズの変形が起きる。このような支持力の差
異は、支持脚３がレンズ１に当接するまで異なって曲げ
られるときに、起きるものである。
【００１９】図３に個々の支持脚３の支持面による支持
面５についての投影を示す。図示のように５個の支持面
５が特定の実際の範囲１０μｍに位置している。しかし
できる限り所望の支持面は達成できるものと考えられる
（例えば点線を参照）。
面５についての投影を示す。図示のように５個の支持面
５が特定の実際の範囲１０μｍに位置している。しかし
できる限り所望の支持面は達成できるものと考えられる
（例えば点線を参照）。
【００２０】この目的から弾性要素である支持アーム６
をレーザー７によるボンバードメントに曝す。かくして
生成されたレーザー光は、支持脚３の屈曲に応じて、支
持ビーム６の種々の点を指向する（図４の矢印Ａ〜Ｄを
参照）。
をレーザー７によるボンバードメントに曝す。かくして
生成されたレーザー光は、支持脚３の屈曲に応じて、支
持ビーム６の種々の点を指向する（図４の矢印Ａ〜Ｄを
参照）。
【００２１】図４から明らかなように、レーザーエネル
ギーの特定な入力により支持脚３の特定な屈曲が起き、
その結果レンズ１に対して支持面５が変わってくる。こ
の場合、全ての支持面５が図３に示す所望の範囲内（つ
まり上側の点線）に位置するように、レーザーエネルギ
ーが入力される。
ギーの特定な入力により支持脚３の特定な屈曲が起き、
その結果レンズ１に対して支持面５が変わってくる。こ
の場合、全ての支持面５が図３に示す所望の範囲内（つ
まり上側の点線）に位置するように、レーザーエネルギ
ーが入力される。
【００２２】またレーザー７による支持面５の整列は打
込み式レンズでも干渉計上でのレンズ変形のリアルタイ
ム評価でも起きるものである。
込み式レンズでも干渉計上でのレンズ変形のリアルタイ
ム評価でも起きるものである。
【００２３】必要なら支持面５の整列は違った分配でも
できる。例えば３点取り付けの場合には撓みに対抗する
かまたは補償して、例えば乱視などの変形の特定な状態
を生成する。これは光学要素を置く前後にできる。
できる。例えば３点取り付けの場合には撓みに対抗する
かまたは補償して、例えば乱視などの変形の特定な状態
を生成する。これは光学要素を置く前後にできる。
【００２４】
【発明の効果】レーザー光線の照射により起きる変形に
より、光学要素の支持面が一面または所定の配列に整列
される。
より、光学要素の支持面が一面または所定の配列に整列
される。
【図１】レンズシステムの光学要素を示す断面側面図で
ある。
ある。
【図２】光学要素の変形を示す模型図である。
【図３】複数の支持要素の支持面の位置を示す模型図で
ある。
ある。
【図４】レーザー伸直動作中の支持要素の状態を示す模
型図である。
型図である。
１ ：レンズ ２ ：内リング ３ ：支持脚 ４ ：台 ５ ：支持面 ６ ：支持アーム ７ ：レーザー
Claims (5)
- 【請求項１】 マイクロリソグラフィー射影露光装置の
光学要素用支持要素の支持面を整列させる方式であっ
て、支持要素（３）の支持面（５）が共通の面または所
定の配列に整列されるように、支持要素（３）またはそ
れに連結された支持部（２、６）をレーザー光線により
変形させることを特徴とする光学要素用支持要素の支持
面の整列方法。 - 【請求項２】 レーザー光線の導入に温度勾配機構が用
いられることを特徴とする請求項１に記載の方法。 - 【請求項３】 支持要素（３）とその周縁に分配された
支持脚とが支持アームを介して支持部としての内リング
に連結されており、レーザー光線が支持アームに指向さ
れることを特徴とする請求項１に記載の方法。 - 【請求項４】 内リング（２）が支持アーム（６）と一
体に形成されていることを特徴とする請求項３に記載の
方法。 - 【請求項５】 内リング（２）が台（４）と一体に形成
されていることを特徴とする請求項３に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19957398A DE19957398A1 (de) | 1999-11-29 | 1999-11-29 | Verfahren zum Richten der Auflageflächen von Auflagegliedern für optische Elemente |
| DE19957398.0 | 1999-11-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001183562A true JP2001183562A (ja) | 2001-07-06 |
Family
ID=7930721
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000349395A Pending JP2001183562A (ja) | 1999-11-29 | 2000-11-16 | 光学要素用支持要素の支持面整列方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6366413B1 (ja) |
| JP (1) | JP2001183562A (ja) |
| DE (1) | DE19957398A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10042844C1 (de) * | 2000-08-17 | 2002-04-04 | Jenoptik Jena Gmbh | Radial justierbare Linsenfassung |
| DE10100546A1 (de) * | 2001-01-08 | 2002-07-11 | Zeiss Carl | Vorrichtung zur Verstellung eines optischen Elementes in einem Objektiv |
| US20030234916A1 (en) * | 2002-06-21 | 2003-12-25 | Nikon Corporation | Soft supports to reduce deformation of vertically mounted lens or mirror |
| JP2005534998A (ja) * | 2002-08-08 | 2005-11-17 | カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー | イメージングデバイスにおける光学式アセンブリを保持するための装置 |
| EP1899756A2 (de) | 2005-07-01 | 2008-03-19 | Carl Zeiss SMT AG | Anordnung zur lagerung eines optischen bauelements |
| DE102007026753B4 (de) * | 2006-10-16 | 2009-11-26 | Christof Burkart | Fassung für ein optisches Element bei Halbleiterobjektiven |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3789961D1 (de) | 1987-07-13 | 1994-07-07 | Hegenscheidt Gmbh Wilhelm | Verfahren und Einrichtung zum Richten von Schlag aufweisenden Werkstücken. |
| JPH11211958A (ja) * | 1998-01-29 | 1999-08-06 | Canon Inc | 光学装置、投影露光装置およびデバイス製造方法 |
| DE19805849A1 (de) | 1998-02-13 | 1999-09-02 | Daimler Chrysler Ag | Verfahren zum Aufbauen und Verbinden von optischen Komponenten, insbesondere von optischen Komponenten in einem Laserresonator, und bei diesem Verfahren verwendeter Laserresonator |
| DE19825716A1 (de) * | 1998-06-09 | 1999-12-16 | Zeiss Carl Fa | Baugruppe aus optischem Element und Fassung |
| DE19924849C1 (de) * | 1999-05-29 | 2000-07-20 | Leica Camera Ag | Lösbare und spannungsfreie Halterung für optische Bauelemente |
-
1999
- 1999-11-29 DE DE19957398A patent/DE19957398A1/de not_active Withdrawn
-
2000
- 2000-10-19 US US09/692,256 patent/US6366413B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2000-11-16 JP JP2000349395A patent/JP2001183562A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6366413B1 (en) | 2002-04-02 |
| DE19957398A1 (de) | 2001-05-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101681124B (zh) | 夹持装置和物体加载方法 | |
| US7457059B2 (en) | Adjustment arrangement of an optical element | |
| US6867848B2 (en) | Supporting structure of optical element, exposure apparatus having the same, and manufacturing method of semiconductor device | |
| TWI424186B (zh) | 物鏡，特別是半導體微影術用之投影物鏡 | |
| US8922750B2 (en) | Magnification control for lithographic imaging system | |
| KR20070113114A (ko) | 광학 소자 구동장치 | |
| JP2002519843A (ja) | 光学系、特にマイクロリソグラフィの投影露光装置 | |
| KR101490191B1 (ko) | 기생 부하가 최소화된 광학 소자 모듈 | |
| KR20140124325A (ko) | 미러 유닛 및 노광 장치 | |
| JP4237755B2 (ja) | 半導体リソグラフィにおける光学的半組立品及び投射対物レンズ | |
| JP2001183562A (ja) | 光学要素用支持要素の支持面整列方法 | |
| CN105739248B (zh) | 光学元件支撑结构、单元镜组、曝光光学系统及光刻机 | |
| US6614605B2 (en) | Adjusting apparatus and method for its adjustment | |
| JP5206132B2 (ja) | 光学素子保持装置、光学系、露光装置、デバイスの製造方法 | |
| EP3385792A2 (en) | Stage apparatus for use in a lithographic apparatus | |
| TW200947151A (en) | Apparatus for supporting an optical element, and method of making same | |
| JP2007206643A (ja) | 光学素子駆動装置、露光装置およびデバイス製造方法 | |
| JP5243957B2 (ja) | 液浸リソグラフィー用オブジェクティブ | |
| JP2009223034A (ja) | 光学素子保持装置、光学系、露光装置、光学特性調整方法及びデバイスの製造方法 | |
| US20050280910A1 (en) | Method for the targeted deformation of an optical element | |
| EP2697688B1 (en) | Facet mirror device | |
| JP2021522544A (ja) | ステージ装置、リソグラフィ装置、コントロールユニット及び方法 | |
| JP4582306B2 (ja) | 光学系及び露光装置 | |
| US20060187511A1 (en) | Device for mounting an optical element, particularly a lens in an objective | |
| CN108227401A (zh) | 光学装置、曝光装置以及物品的制造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20040806 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20040806 |