JP2001160614A - 半導体集積回路 - Google Patents

半導体集積回路

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JP2001160614A
JP2001160614A JP34423599A JP34423599A JP2001160614A JP 2001160614 A JP2001160614 A JP 2001160614A JP 34423599 A JP34423599 A JP 34423599A JP 34423599 A JP34423599 A JP 34423599A JP 2001160614 A JP2001160614 A JP 2001160614A
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transistor
collector
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Masao Yamane
正雄 山根
Atsushi Kurokawa
敦 黒川
Hajime Nojima
元 野島
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Hitachi Ltd
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    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
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    • H03F3/20Power amplifiers, e.g. Class B amplifiers, Class C amplifiers
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    • H03F3/211Power amplifiers, e.g. Class B amplifiers, Class C amplifiers with semiconductor devices only using a combination of several amplifiers
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03FAMPLIFIERS
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    • H03F1/52Circuit arrangements for protecting such amplifiers
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03FAMPLIFIERS
    • H03F2203/00Indexing scheme relating to amplifiers with only discharge tubes or only semiconductor devices as amplifying elements covered by H03F3/00
    • H03F2203/20Indexing scheme relating to power amplifiers, e.g. Class B amplifiers, Class C amplifiers
    • H03F2203/21Indexing scheme relating to power amplifiers, e.g. Class B amplifiers, Class C amplifiers with semiconductor devices only
    • H03F2203/211Indexing scheme relating to power amplifiers, e.g. Class B amplifiers, Class C amplifiers with semiconductor devices only using a combination of several amplifiers
    • H03F2203/21178Power transistors are made by coupling a plurality of single transistors in parallel

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 出力用トランジスタとしてヘテロ接合バイポ
ーラ・トランジスタを用いたRFモジュールのような半
導体集積回路において、出力端子に高電圧が印加された
りインピーダンスが急に変化したとしても出力用トラン
ジスタのエミッタ・コレクタ間の接合が破壊されるのを
防止できるようにする。 【解決手段】 エミッタ端子またはコレクタ端子が出力
端子に接続されたヘテロ接合バイポーラ・トランジスタ
(HBT)からなる出力用トランジスタ(Q1〜Qn)
と並列に保護用トランジスタ(Qp)を接続しておくよ
うにした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体集積回路の
保護回路、特にヘテロ接合バイポーラ・トランジスタな
どの化合物半導体トランジスタを用いた高周波集積回路
の保護回路に関し、例えば移動体通信用高周波モジュー
ルにおける出力用トランジスタのコレクタ・エミッタ間
接合を高電圧から保護する回路に利用して有効な技術に
関する。
【0002】
【従来の技術】化合物半導体トランジスタはシリコン・
トランジスタに比べて高周波特性が非常に優れている。
そのため、近年、移動体通信用高周波モジュール(以
下、RFモジュールと称する)を構成するトランジスタ
として、ベース・エミッタ接合にGaAs−AlGaA
sのようなIII-V族化合物半導体のヘテロ接合を用いた
バイポーラ・トランジスタ(以下、HBTと称する)を
利用したものが実用化されつつある。従来、HBTを用
いたRFモジュールでは、熱ばらつきに起因して出力用
トランジスタに大きなベース電流が流れてコレクタ電流
が増大しエミッタ・コレクタ間の接合が破壊するという
不良に対する対策は検討されていたが、出力端子に印加
される高電圧に対する保護対策についてはあまり検討さ
れていなかった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明者は、RFモジ
ュールにおける出力用HBTの保護について検討した結
果、以下のような問題点があることが明らかとなった。
【0004】すなわち、第1に、組立て工程において、
静電気が印加されることでエミッタ・コレクタ間の接合
が破壊するおそれがある。第2に、移動体通信用のRF
モジュールでは、電話器のアンテナが通話者の身体に触
れたときにインピーダンスが急に変化することで、出力
信号がアンテナで反射して逆位相になってRFモジュー
ルに戻って来て、最悪のタイミングでは出力用HBTの
エミッタ・コレクタ間に出力電圧の2倍の電圧が印加さ
れてしまい、それによってエミッタ・コレクタ間にアバ
ランシェブレークダウンによる大電流が流れて接合が破
壊するおそれがあるというものである。
【0005】本発明の目的は、出力用トランジスタとし
てヘテロ接合バイポーラ・トランジスタを用いたRFモ
ジュールのような半導体集積回路において、出力端子に
高電圧が印加されたりインピーダンスが急に変化したと
しても出力用トランジスタのエミッタ・コレクタ間の接
合が破壊されるのを防止できるようにすることにある。
【0006】この発明の前記ならびにそのほかの目的と
新規な特徴については、本明細書の記述および添附図面
から明らかになるであろう。
【0007】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、下記のと
おりである。
【0008】すなわち、エミッタ端子またはコレクタ端
子が出力端子に接続された出力用トランジスタとしてヘ
テロ接合バイポーラ・トランジスタを用いたRFモジュ
ールのような半導体集積回路において、出力用トランジ
スタと並列に保護用トランジスタを接続しておくように
したものである。これにより、出力端子に高電圧が印加
されたり出力端子のインピーダンスが急に変化したとし
ても、保護用トランジスタがダイオードとして作用して
エミッタ・コレクタ間に電流が流れ、出力用トランジス
タのエミッタ・コレクタ間の接合が破壊されるのを防止
できる。
【0009】ここで、上記保護用トランジスタのベース
端子は電位的にフローティング(オープン)の状態にし
ておくようにするのがよい。これにより、ベースにバイ
アス電圧が印加されているトランジスタのエミッタ・コ
レクタ間の耐圧よりも、ベースがフローティングの状態
にされたトランジスタのエミッタ・コレクタ間の耐圧が
低くして、、出力端子に高電圧が印加されたときに保護
用トランジスタに先に電流を流して出力用トランジスタ
を有効に保護することができる。
【0010】本発明は、特に上記ヘテロ接合トランジス
タからなる出力用トランジスタが、複数のトランジスタ
のベース端子、コレクタ端子およびエミッタ端子がそれ
ぞれ互いに結合されて並列形態に接続されたトランジス
タ群からなり、各ベース端子に共通の入力信号が入力さ
れるとともに、共通コレクタ端子が第1の出力端子に接
続され、共通エミッタ端子が第2の出力端子に接続され
ている半導体集積回路に有効である。このような半導体
集積回路として例えばRFモジュールがある。
【0011】また、上記の場合、好ましくは、保護用の
トランジスタは出力用トランジスタと同一構造を有し同
一の大きさとなるように設計し、それらのトランジスタ
のコレクタ領域同士およびエミッタ領域同士が互いに近
接するように並べて配置する。これにより、チップ上に
無駄なスペースを生じさせることがなくしかも接続のた
めの配線パターンが簡素化され、配線設計が容易に行え
るようになる。
【0012】さらに、上記保護用トランジスタのコレク
タとエミッタは出力用トランジスタのコレクタとエミッ
タよりも出力端子に近いところに配置するのが望まし
い。これによって、保護用トランジスタと出力用トラン
ジスタのサイズや特性が同じである場合、出力端子間に
高電圧が印加されたときに出力端子に最も近い保護用ト
ランジスタのコレクタ−エミッタ間に電流が流れ易くな
り、これにより、出力用トランジスタのコレクタとエミ
ッタ間に電流が流れて接合が破壊されるのを防止するこ
とができる。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施例を図
面に基づいて説明する。
【0014】図1は本発明をRFモジュールの出力回路
に適用した場合の第1の実施例を示す。同図において、
Q1,Q2,……Qnはヘテロ接合バイポーラ・トラン
ジスタからなる出力用トランジスタで、これらのトラン
ジスタQ1〜Qnは各々のベース端子同士、コレクタ端
子同士、エミッタ端子同士がそれぞれ互いに結合されて
並列に接続され、ベース端子にはベース抵抗R1,R
2,……Rnを介して共通の入力信号RFinが入力さ
れてあたかもひとつのトランジスタとして動作するよう
に構成されている。また、各トランジスタQ1〜Qnの
コレクタ端子C1,C2,……Cnは第1の出力端子O
UT1に共通に接続され、エミッタ端子E1,E2,…
…Enは第2の出力端子OUT2に共通に接続されてい
る。
【0015】そして、この実施例においては、上記出力
用トランジスタQ1〜Qnの共通コレクタと共通エミッ
タにそれぞれコレクタとエミッタが結合されダイオード
として作用する保護用のトランジスタQpが設けられて
いる。この保護用トランジスタQpも出力用トランジス
タQ1〜Qnと同様にヘテロ接合バイポーラ・トランジ
スタで構成されている。そして、上記保護用トランジス
タQpのベース端子はフローティング(オープン)にさ
れている。GaAs系のHBTはそのベース端子に適当
な電圧が印加された状態ではエミッタ・コレクタ間の耐
圧が26V程度であるものを、ベース端子が電位的にフ
ローティングの状態にされた場合にはエミッタ・コレク
タ間の耐圧は17V程度にすることができる。
【0016】従って、この実施例の出力回路において
は、出力端子OUT1またはOUT2に静電気等による
高電圧が印加されると、まず保護トランジスタQpのコ
レクタ−エミッタ間に電流が流れることにより、出力用
トランジスタQ1〜Qnのコレクタとエミッタ間に大電
流が流れて破壊されるのを防止することができる。
【0017】図2には図1の実施例回路の半導体チップ
上におけるレイアウト構成例が示されている。
【0018】図2において、符号B1,B2,……Bn
が付されている部位が出力用トランジスタQ1,Q2,
……Qnのベース領域、C11,C12;C21,C2
2;……Cn1,Cn2は出力用トランジスタQ1,Q
2,……Qnのコレクタ領域、E1,E2,……Enは
出力用トランジスタQ1,Q2,……Qnのエミッタ領
域であり、同図に示されているように各トランジスタの
ベース領域、コレクタ領域およびエミッタ領域はそれぞ
れ同一の大きさに形成されている。なお、図示しない
が、上記ベース領域とエミッタ領域はエピタキシャル成
長によりIII−V族混晶層がヘテロ接合をなすように形
成されている。
【0019】また、R1,R2,……Rnは出力用トラ
ンジスタQ1,Q2,……Qnのベース抵抗、Bp;C
p1,Cp2;Epはそれぞれ保護用トランジスタQp
のベース領域、コレクタ領域、エミッタ領域であり、そ
れらは出力用トランジスタの対応する領域とそれぞれ同
一の大きさに形成されている。上記抵抗R1,R2,…
…Rnは、特に制限されないが、それぞれ厚さが約18
00Åでシート抵抗が約100Ω/□のWSi(タング
ステンシリサイド)層により形成されている。
【0020】さらに、A1,A2,……Anは出力用ト
ランジスタQ1,Q2,……Qnの各ベース領域B1,
B2,……Bnを対応する抵抗R1,R2,……Rnの
一端に接続するためのベース引出し電極、D11,D1
2;D21,D22;……Dn1,Dn2は出力用トラ
ンジスタQ1,Q2,……Qnのコレクタ領域の引出し
電極である。また、Apは保護用トランジスタQpのベ
ース引出し電極、Dp1,Dp2は保護用トランジスタ
Qpのコレクタ引出し電極である。保護用トランジスタ
Qpのベース領域Bpはフローティングにされるため、
抵抗に接続されていない。
【0021】この実施例では、上記複数の出力用トラン
ジスタQ1〜Qnの各ベース引出し電極A1,A2,…
…Anと保護用トランジスタQpのベース引出し電極A
pが横一列に、また出力用トランジスタQ1〜Qnのコ
レクタ引出し電極D11,D12;D21,D22;…
…Dn1,Dn2と保護用トランジスタQpのコレクタ
引出し電極Dp1,Dp2が横一列に、さらに抵抗R
1,R2,……Rnも横一列にそれぞれ並ぶように配置
されている。
【0022】そして、出力用トランジスタQ1,Q2,
……Qnのエミッタ領域E1,E2,……Enおよび保
護用トランジスタQpのエミッタ領域Epの上方にはこ
れらを電気的に接続するエミッタ配線層Leが、また出
力用トランジスタQ1,Q2,……Qnのコレクタ引出
し電極D11,D12;D21,D22;……Dn1,
Dn2と保護用トランジスタQpのコレクタ引出し電極
Dp1,Dp2の上方にはこれらを電気的に接続するコ
レクタ配線層Lcが、さらに抵抗R1,R2,……Rn
の他端(図では上端)の上方にはベース配線層Lbがそ
れぞれ配設されている。そして、上記コレクタ配線層L
cとエミッタ配線層Leの保護トランジスタQpに近い
側の端部には、出力端子OUT1,OUT2としての電
極パッドPD1,PD2が設けられている。
【0023】このように、この実施例では、各出力用ト
ランジスタQ1〜Qnおよび保護用トランジスタQpが
同一大きさでかつ横一列に形成されているため、チップ
上に無駄なスペースを生じさせることがなくしかも接続
のための配線パターンが簡略化され、配線設計が容易に
行えるようになる。また、保護トランジスタQpは、出
力端子OUT1,OUT2としての電極パッドPD1,
PD2に一番近い側に配置されているため、仮に保護ト
ランジスタQpと出力用トランジスタQ1〜Qnのエミ
ッタ・コレクタ間の耐圧が同じであったとしても、まず
パッドに近い保護トランジスタQpのコレクタ−エミッ
タ間に電流が流れることにより、出力用トランジスタQ
1〜Qnのコレクタとエミッタ間が破壊されにくくする
ことができる。
【0024】図3は本発明の第2の実施例を示す。この
実施例は、出力回路として、図1の出力回路における出
力用トランジスタQ1〜Qnのベース抵抗R1〜Rnの
前段すなわち各ベース抵抗と入力端子との間に容量素子
CC1〜CCnを挿入して、入力信号RFinを容量素
子CC1〜CCnを介してトランジスタQ1〜Qnのベ
ースに入力させるとともに、各抵抗R1〜Rnと容量素
子CC1〜CCnとの接続ノードN1〜Nnにそれぞれ
抵抗R21〜R2nを介して直流バイアス電圧DCin
を与えるようにした回路である。
【0025】このような出力回路においても第1の実施
例と同様に、出力用トランジスタQ1〜Qnの共通コレ
クタと共通エミッタにそれぞれコレクタとエミッタが結
合されダイオードとして作用する保護用のトランジスタ
Qpが設けられている。そして、上記保護用トランジス
タQpのベース端子はフローティング(オープン)にさ
れ、出力端子OUT1またはOUT2とに静電気等によ
る高電圧が印加されると、まず保護トランジスタQpの
コレクタ−エミッタ間に電流が流れることにより、出力
用トランジスタQ1〜Qnのコレクタとエミッタ間の接
合が破壊されるのを防止することができるように構成さ
れている。
【0026】また、この実施例では、抵抗R21〜R2
nを介して直流バイアス電圧DCinを与えるようにし
ているため、ベース電位の熱変動による出力トランジス
タの熱暴走(温度変動による誤動作)を防止できるとと
もに、入力信号RFinを容量素子CC1〜CCnを介
してトランジスタQ1〜Qnのベースに入力させること
により抵抗R21〜R2nを大きくしても高周波領域で
のゲイン低下を少なくすることができるという利点があ
る。図3の回路の場合、ベース抵抗R1〜Rnを省略す
ることも可能であるが、この抵抗があることによって安
定化係数を高めることができる。
【0027】図4および図5は上記実施例を適用したR
Fモジュールの構成とその応用システムの一例としての
携帯電話器の概略構成を示す。
【0028】RFモジュールは、図4に示すように、初
段アンプ110と、ドライバ段120と、出力段130
とから構成されており、入力信号RFinを初段アンプ
110とドライバ段120と出力段130で順次増幅し
て出力する。保護用トランジスタを備えた前記実施例の
回路は、図4における出力段130として用いられる。
具体的には、この出力段130は、互いに並列に接続さ
れた35個の出力用トランジスタと一個の保護用トラン
ジスタを備えている。そして、それらの回路のうち出力
段130は、例えばGaAs単結晶のような半導体チッ
プ上に形成される。そして、この出力段チップ130が
初段アンプ110やドライバ段120を形成した半導体
チップとともに銀ペースト等によりリードフレームに装
着され、ワイヤボンディングによりチップ間およびチッ
プとリード端子との間が接続されてから樹脂等のパッケ
ージに封入されてモジュールとして完成される。
【0029】RFモジュールの応用システムとしての携
帯電話器は、図5に示すように、無線アンテナ11、R
F送信ユニット13やRF受信ユニットなどを含み送受
信信号の処理を行なう信号処理部10、マイクロホン2
1とスピーカ22を含む送受話器20、テンキーなどの
操作部31と液晶ディスプレイ装置などの表示器32が
配置された操作パネル30、汎用のマイクロコンピュー
タを用いたシステム制御部40、電話番号などの識別情
報(ID)を発生する識別信号発生部50などにより構
成されている。
【0030】さらに、上記信号処理部10は、アンテナ
11を介して無線信号の送信を行うRF送信ユニット1
3と、アンテナ11および分波器12を介して無線信号
の受信を行なうRF受信ユニット14と、送信信号の変
復処理および受信信号の復調処理を行う変復調部15
と、送受信信号の多重化制御を行う多重制御部16と、
PLL(位相制御ループ)による送受信周波数の設定お
よび制御を行う周波数制御部17と、基地局の選択制御
などを行うために受信電界強度を検出する電界強度検出
部18などにより構成されている。図4のような構成を
有するRFモジュールは、このシステムを構成するRF
送信ユニット13における出力回路に適用される。
【0031】また、上記送受話器20は、マイクロホン
21およびスピーカ22のほかに、送話信号をデジタル
変換するA/D変換器23および受話信号をアナログ変
換するD/A変換器24を含んでいる。なお、このA/
D変換器23とD/A変換器24は信号処理部10側に
含ませるようにしてもよい。
【0032】操作パネル部30は、テンキーや各種設定
用キースイッチなどからなる操作部31、ドットマトリ
ックス方式による文字および画像の表示を行う液晶表示
部32、通話中あるいは回線接続中などの動作状態をL
ED(発光ダイオード)の点灯により能動的に表示する
LED表示部33などを有する。
【0033】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。例えば、上
記実施例では、複数の出力用トランジスタQ1〜Qnが
横一列に配設されていると説明したが、トランジスタの
数とチップサイズとの関係から一列に並びきらないとき
にはチップ端部で折り返して2列あるいは3列などに配
設するようにしても良い。また、出力用トランジスタに
対して保護用トランジスタを新たに追加するのではな
く、もともとある複数(例えば36個)の出力用トラン
ジスタのうちの一つを保護用トランジスタとして決定
し、そのベース端子をフローティングにしておくように
構成してもよい。さらに、上記実施例では、出力トラン
ジスタのコレクタとエミッタがそれぞれ出力端子に接続
された回路に適用した例を示したが、この発明は出力ト
ランジスタのコレクタまたはエミッタのいずれか一方が
出力端子に接続され他方は電源電圧端子に接続されてい
るような出力回路にも適用することが可能である。
【0034】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野であるHBT
を出力用トランジスタとして有する半導体集積回路にお
ける保護回路に適用した場合について説明したが、本発
明はそれに限定されるものでなく、バイポーラ・トラン
ジスタを出力回路とする半導体集積回路における保護回
路に広く利用することができる。
【0035】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば下記
のとおりである。
【0036】すなわち、本発明によれば、出力用トラン
ジスタとしてヘテロ接合バイポーラ・トランジスタを用
いたRFモジュールのような半導体集積回路において、
出力端子に高電圧が印加されたりインピーダンスが急に
変化したとしても出力用トランジスタのエミッタ・コレ
クタ間の接合が破壊されるのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を適用した保護機能付きの出力回路の第
1の実施例を示す回路図。
【図2】図1の実施例の回路のレイアウト構成例を示す
平面図。
【図3】本発明を適用した保護機能付きの出力回路の第
2の実施例を示す回路図。
【図4】本発明を適用した出力回路を有するRFモジュ
ールの概略構成を示す図。
【図5】RFモジュールの応用システムの一例としての
携帯電話ないしは携帯情報端末装置の概略構成を示すブ
ロック図。
【符号の説明】
Q1〜Qn 出力用トランジスタ Qp 保護用トランジスタ R1〜Rn ベース抵抗 B ベース C コレクタ E エミッタ OUT1,OUT2 出力端子 PD1,PD2 出力パッド Lb ベース配線層 Lc コレクタ配線層 Le エミッタ配線層 10 信号処理部 11 アンテナ 12 分波器 13 RF送信ユニット(RFモジュール) 20 送受話器 30 操作パネル 110 初段アンプ 120 ドライバ段 130 出力段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 29/73 H03F 1/52 (72)発明者 野島 元 東京都小平市上水本町五丁目20番1号 株 式会社日立製作所半導体グループ内 Fターム(参考) 5F003 AP01 BB04 BE04 BF06 BJ12 BJ20 BJ90 BJ99 BM02 BP31 5F038 AR08 AZ10 BE09 BH06 BH15 CA02 CA10 DF01 DF03 DF04 DF14 EZ02 EZ20 5F082 AA33 BA35 BC18 CA02 EA22 FA13 FA16 GA04 5J091 AA01 AA21 AA41 CA57 FA11 FP06 GP03 HA06 HA25 HA29 KA20 MA19 QA03 SA14 TA01 UW08

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 コレクタ端子またはエミッタ端子が出力
    端子に接続されたヘテロ接合バイポーラ・トランジスタ
    からなる出力用トランジスタを備えた半導体集積回路に
    おいて、上記出力用トランジスタと並列に保護用トラン
    ジスタが接続されていることを特徴とする半導体集積回
    路。
  2. 【請求項2】 上記保護用トランジスタのベース端子
    は、電位的にフローティング状態にされていることを特
    徴とする請求項1記載の半導体集積回路。
  3. 【請求項3】 上記出力用トランジスタは、複数のトラ
    ンジスタのベース端子、コレクタ端子およびエミッタ端
    子がそれぞれ互いに結合されて並列形態に接続されたト
    ランジスタ群からなり、各ベース端子に共通の入力信号
    が入力されるとともに、共通コレクタ端子が第1の出力
    端子に接続され、共通エミッタ端子が第2の出力端子に
    接続されていることを特徴とする請求項1または2記載
    の半導体集積回路。
  4. 【請求項4】 上記並列形態に接続された複数の出力ト
    ランジスタおよび保護用トランジスタは、同一構造で同
    一大きさとされ少なくともコレクタ引出し電極同士が一
    列に並ぶように配設されていることを特徴とする請求項
    3に記載の半導体集積回路。
  5. 【請求項5】 上記保護用トランジスタは、上記並列形
    態に接続されたトランジスタ群からなる出力トランジス
    タよりも出力端子に近い側に配置されていることを特徴
    とする請求項4に記載の半導体集積回路。
JP34423599A 1999-12-03 1999-12-03 半導体集積回路 Pending JP2001160614A (ja)

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