JP2001156347A - 積層型圧電アクチュエータ装置 - Google Patents
積層型圧電アクチュエータ装置Info
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- JP2001156347A JP2001156347A JP33698799A JP33698799A JP2001156347A JP 2001156347 A JP2001156347 A JP 2001156347A JP 33698799 A JP33698799 A JP 33698799A JP 33698799 A JP33698799 A JP 33698799A JP 2001156347 A JP2001156347 A JP 2001156347A
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- laminated
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 外部の湿度の影響を受けない外装構造を有す
ると共に、外形寸法が小さくて安価に製造可能な積層型
圧電アクチュエータ装置を提供すること。 【解決手段】 この積層型圧電アクチュエータ装置６
は、圧電セラミックス層と内部電極層とを積層した積層
体の側面に外部電極４を設けて成る積層型圧電アクチュ
エータ素子１の一端側に位置される外部電極４に一対の
外部リード端子３を接続すると共に、外部リード端子３
の接続箇所を除く積層型圧電アクチュエータ素子１の略
側面全体を外装部としてのガラス管２で覆って構成され
ている。ここで、積層型圧電アクチュエータ素子１及び
ガラス管２の間は密閉された空間を有しており、ガラス
管２の密閉された空間に対応する部分の局部には、積層
型圧電アクチュエータ素子１の変位（伸び）を吸収する
ための変位吸収部として波状変形部２ａが３段形成され
ている。
ると共に、外形寸法が小さくて安価に製造可能な積層型
圧電アクチュエータ装置を提供すること。 【解決手段】 この積層型圧電アクチュエータ装置６
は、圧電セラミックス層と内部電極層とを積層した積層
体の側面に外部電極４を設けて成る積層型圧電アクチュ
エータ素子１の一端側に位置される外部電極４に一対の
外部リード端子３を接続すると共に、外部リード端子３
の接続箇所を除く積層型圧電アクチュエータ素子１の略
側面全体を外装部としてのガラス管２で覆って構成され
ている。ここで、積層型圧電アクチュエータ素子１及び
ガラス管２の間は密閉された空間を有しており、ガラス
管２の密閉された空間に対応する部分の局部には、積層
型圧電アクチュエータ素子１の変位（伸び）を吸収する
ための変位吸収部として波状変形部２ａが３段形成され
ている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、主として圧電体と
内部電極とを交互に積層した積層体から成る積層型圧電
アクチュエータ素子の略表面全体を外装部で外装した構
造の積層型圧電アクチュエータ装置であって、詳しくは
外装部の耐湿性を向上させた積層型圧電アクチュエータ
装置に関する。
内部電極とを交互に積層した積層体から成る積層型圧電
アクチュエータ素子の略表面全体を外装部で外装した構
造の積層型圧電アクチュエータ装置であって、詳しくは
外装部の耐湿性を向上させた積層型圧電アクチュエータ
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の積層型圧電アクチュエー
タ装置としては、例えば図２（ａ）に側面断面図を、図
２（ｂ）に底面図を示すような構成のものが挙げられ
る。この積層型圧電アクチュエータ装置１４は、圧電体
と内部電極とを交互に積層した積層体の側面に外部電極
を設けて成る積層型圧電アクチュエータ素子１１の一端
側に位置される外部電極に一対の外部リード端子１３を
接続すると共に、外部リード端子１３の接続箇所を含む
積層型圧電アクチュエータ素子１１の側面全体を外装部
としてのエポキシ樹脂１２で覆って構成されている。
タ装置としては、例えば図２（ａ）に側面断面図を、図
２（ｂ）に底面図を示すような構成のものが挙げられ
る。この積層型圧電アクチュエータ装置１４は、圧電体
と内部電極とを交互に積層した積層体の側面に外部電極
を設けて成る積層型圧電アクチュエータ素子１１の一端
側に位置される外部電極に一対の外部リード端子１３を
接続すると共に、外部リード端子１３の接続箇所を含む
積層型圧電アクチュエータ素子１１の側面全体を外装部
としてのエポキシ樹脂１２で覆って構成されている。
【０００３】又、他の積層型圧電アクチュエータ装置と
しては、図３（ａ）に側面断面図を、図３（ｂ）に底面
図を示すような構成のものが挙げられる。この積層型圧
電アクチュエータ装置２６は、圧電体と内部電極とを交
互に積層した積層体の側面に外部電極を設けて成る積層
型圧電アクチュエータ素子２１の外部電極に一対の電圧
印加端子２３を接続した後、積層型圧電アクチュエータ
素子２１の一端面に一対の電圧印加端子２３を貫通させ
てホルダ２４を接続すると共に、他端面にホルダ２５を
接続し、更にこれらの二つのホルダ２４，２５を外装部
としての金属ケース２２で結合して構成されている。因
みに、この積層型圧電アクチュエータ装置２６の場合、
二つのホルダ２４，２５と金属ケース２２とにより積層
型圧電アクチュエータ素子２１が完全に密封されて構成
され、ホルダ２４の所定箇所には一対の電圧印加端子２
３を貫通させるための貫通孔が設けてられており、ガラ
ス等で封着されている金属ケース２２には積層型圧電ア
クチュエータ素子２１の変位（伸び）を吸収するための
変位吸収部として波状変形部２２ａが９段形成されてい
る。
しては、図３（ａ）に側面断面図を、図３（ｂ）に底面
図を示すような構成のものが挙げられる。この積層型圧
電アクチュエータ装置２６は、圧電体と内部電極とを交
互に積層した積層体の側面に外部電極を設けて成る積層
型圧電アクチュエータ素子２１の外部電極に一対の電圧
印加端子２３を接続した後、積層型圧電アクチュエータ
素子２１の一端面に一対の電圧印加端子２３を貫通させ
てホルダ２４を接続すると共に、他端面にホルダ２５を
接続し、更にこれらの二つのホルダ２４，２５を外装部
としての金属ケース２２で結合して構成されている。因
みに、この積層型圧電アクチュエータ装置２６の場合、
二つのホルダ２４，２５と金属ケース２２とにより積層
型圧電アクチュエータ素子２１が完全に密封されて構成
され、ホルダ２４の所定箇所には一対の電圧印加端子２
３を貫通させるための貫通孔が設けてられており、ガラ
ス等で封着されている金属ケース２２には積層型圧電ア
クチュエータ素子２１の変位（伸び）を吸収するための
変位吸収部として波状変形部２２ａが９段形成されてい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した外装部として
エポキシ樹脂を用いた積層型圧電アクチュエータ装置の
場合、積層型圧電アクチュエータ素子の側面全体を覆っ
たエポキシ樹脂が耐湿性に優れないため、使用時に外部
の湿度の影響を受けて内部電極や外部電極がマイグレー
ションを起こして製品寿命が短くなり易いという欠点が
ある。
エポキシ樹脂を用いた積層型圧電アクチュエータ装置の
場合、積層型圧電アクチュエータ素子の側面全体を覆っ
たエポキシ樹脂が耐湿性に優れないため、使用時に外部
の湿度の影響を受けて内部電極や外部電極がマイグレー
ションを起こして製品寿命が短くなり易いという欠点が
ある。
【０００５】これに対し、外装部として金属ケースを用
いた積層型圧電アクチュエータ装置の場合、積層型圧電
アクチュエータ素子を完全に密封した構造であるために
外部の湿度の影響を受けないが、構造上において二つの
異なるホルダや多数の波状変形部を形成した金属ケース
を要するものであることにより、部品点数や加工及び組
立工数が多くなって製造に手間がかかってコスト高にな
り易いという難点がある他、外形寸法が大きくなってし
まうという欠点がある。
いた積層型圧電アクチュエータ装置の場合、積層型圧電
アクチュエータ素子を完全に密封した構造であるために
外部の湿度の影響を受けないが、構造上において二つの
異なるホルダや多数の波状変形部を形成した金属ケース
を要するものであることにより、部品点数や加工及び組
立工数が多くなって製造に手間がかかってコスト高にな
り易いという難点がある他、外形寸法が大きくなってし
まうという欠点がある。
【０００６】本発明は、このような問題点を解決すべく
なされたもので、その技術的課題は、外部の湿度の影響
を受けない外装構造を有すると共に、外形寸法が小さく
て安価に製造可能な積層型圧電アクチュエータ装置を提
供することにある。
なされたもので、その技術的課題は、外部の湿度の影響
を受けない外装構造を有すると共に、外形寸法が小さく
て安価に製造可能な積層型圧電アクチュエータ装置を提
供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、圧電セ
ラミックス層と内部電極層とを積層した積層体の側面に
外部電極を設けて成る積層型圧電アクチュエータ素子の
略表面全体を外装部で覆って成る積層型圧電アクチュエ
ータ装置において、外装部としてガラス管を用いた積層
型圧電アクチュエータ装置が得られる。
ラミックス層と内部電極層とを積層した積層体の側面に
外部電極を設けて成る積層型圧電アクチュエータ素子の
略表面全体を外装部で覆って成る積層型圧電アクチュエ
ータ装置において、外装部としてガラス管を用いた積層
型圧電アクチュエータ装置が得られる。
【０００８】又、本発明によれば、上記積層型圧電アク
チュエータ装置において、積層型圧電アクチュエータ素
子及びガラス管の間は密閉された空間を有する積層型圧
電アクチュエータ装置が得られる。
チュエータ装置において、積層型圧電アクチュエータ素
子及びガラス管の間は密閉された空間を有する積層型圧
電アクチュエータ装置が得られる。
【０００９】更に、本発明によれば、上記積層型圧電ア
クチュエータ装置において、ガラス管は、密閉された空
間に対応する部分の局部に積層型圧電アクチュエータ素
子の変位を吸収するための変位吸収部を有する積層型圧
電アクチュエータ装置が得られる。
クチュエータ装置において、ガラス管は、密閉された空
間に対応する部分の局部に積層型圧電アクチュエータ素
子の変位を吸収するための変位吸収部を有する積層型圧
電アクチュエータ装置が得られる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下に実施例を挙げ、本発明の積
層型圧電アクチュエータ装置について、図面を参照して
詳細に説明する。
層型圧電アクチュエータ装置について、図面を参照して
詳細に説明する。
【００１１】図１は、本発明の一実施例に係る積層型圧
電アクチュエータ装置の基本構成を示したもので、同図
（ａ）は側面断面図に関するもの，同図（ｂ）は底面図
に関するものである。この積層型圧電アクチュエータ装
置６は、圧電セラミックス層と内部電極層とを積層した
積層体の側面に外部電極４を設けて成る積層型圧電アク
チュエータ素子１の一端側に位置される外部電極４に一
対の外部リード端子３を接続すると共に、外部リード端
子３の接続箇所を除く積層型圧電アクチュエータ素子１
の略側面全体を外装部としてのガラス管２で覆って構成
されている。
電アクチュエータ装置の基本構成を示したもので、同図
（ａ）は側面断面図に関するもの，同図（ｂ）は底面図
に関するものである。この積層型圧電アクチュエータ装
置６は、圧電セラミックス層と内部電極層とを積層した
積層体の側面に外部電極４を設けて成る積層型圧電アク
チュエータ素子１の一端側に位置される外部電極４に一
対の外部リード端子３を接続すると共に、外部リード端
子３の接続箇所を除く積層型圧電アクチュエータ素子１
の略側面全体を外装部としてのガラス管２で覆って構成
されている。
【００１２】ここで、積層型圧電アクチュエータ素子１
及びガラス管２の間は密閉された空間を有しており、ガ
ラス管２の密閉された空間に対応する部分の局部には、
積層型圧電アクチュエータ素子１の変位（伸び）を吸収
するための変位吸収部として波状変形部２ａが３段形成
されている。
及びガラス管２の間は密閉された空間を有しており、ガ
ラス管２の密閉された空間に対応する部分の局部には、
積層型圧電アクチュエータ素子１の変位（伸び）を吸収
するための変位吸収部として波状変形部２ａが３段形成
されている。
【００１３】即ち、この積層型圧電アクチュエータ装置
６の場合、ガラス管２における一端部が積層型圧電アク
チュエータ素子１の側面の一端側近傍部分に封着され、
他端部が積層型圧電アクチュエータ素子１の側面の他端
側部分に封着されており、ガラス管２の一端部の封着部
分の外側となる箇所の外部電極４に外部リード線３が接
続されている。
６の場合、ガラス管２における一端部が積層型圧電アク
チュエータ素子１の側面の一端側近傍部分に封着され、
他端部が積層型圧電アクチュエータ素子１の側面の他端
側部分に封着されており、ガラス管２の一端部の封着部
分の外側となる箇所の外部電極４に外部リード線３が接
続されている。
【００１４】このような積層型圧電アクチュエータ装置
６を製作する場合、先ず例えば寸法が縦５ｍｍ×横５ｍ
ｍ×長さ６０ｍｍの積層型圧電アクチュエータ素子１に
銀ペーストを用いて外部電極４を焼き付け焼成する。
６を製作する場合、先ず例えば寸法が縦５ｍｍ×横５ｍ
ｍ×長さ６０ｍｍの積層型圧電アクチュエータ素子１に
銀ペーストを用いて外部電極４を焼き付け焼成する。
【００１５】次に、内径７．２ｍｍ，外径８ｍｍ，長さ
５０ｍｍのガラス管２（赤外線封着用着色ガラス管等）
の内径の中央に積層型圧電アクチュエータ素子１を配置
し、ガラス管２の両端部を赤外線ランプを用いて約９０
０℃に加熱して積層型圧電アクチュエータ素子１の側面
に封着する。このとき、ガラス管２の内部の湿度を除去
して製品上の信頼性を向上させるため、ガラス管２の内
部を窒素で置換するのが好ましい。
５０ｍｍのガラス管２（赤外線封着用着色ガラス管等）
の内径の中央に積層型圧電アクチュエータ素子１を配置
し、ガラス管２の両端部を赤外線ランプを用いて約９０
０℃に加熱して積層型圧電アクチュエータ素子１の側面
に封着する。このとき、ガラス管２の内部の湿度を除去
して製品上の信頼性を向上させるため、ガラス管２の内
部を窒素で置換するのが好ましい。
【００１６】更に、積層型圧電アクチュエータ素子１の
変位を吸収する変位吸収部を得るために、ガラス管２の
密閉された空間に対応する部分の局部（即ち、略ガラス
管２の中央部）の３箇所を赤外線ランプで約８００℃に
加熱して波状変形部２ａを３段形成する。尚、波状変形
部２ａは３段構造に限定されないが、加工の手間を考慮
すれば３箇所程度の数箇所に形成することが好ましい。
最後に、積層型圧電アクチュエータ素子１側面の一端側
部分にある外部電極４に一対の外部リード線３を接続す
る。
変位を吸収する変位吸収部を得るために、ガラス管２の
密閉された空間に対応する部分の局部（即ち、略ガラス
管２の中央部）の３箇所を赤外線ランプで約８００℃に
加熱して波状変形部２ａを３段形成する。尚、波状変形
部２ａは３段構造に限定されないが、加工の手間を考慮
すれば３箇所程度の数箇所に形成することが好ましい。
最後に、積層型圧電アクチュエータ素子１側面の一端側
部分にある外部電極４に一対の外部リード線３を接続す
る。
【００１７】このようにして作製される外装部としてガ
ラス管２を用いた積層型圧電アクチュエータ装置６と、
図２（ａ）及び（ｂ）で説明した外装部としてエポキシ
樹脂１２を用いた従来の一例に係る積層型圧電アクチュ
エータ装置１４と、図３（ａ）及び（ｂ）で説明した外
装部として金属ケース２２を用いた従来の他例に係る積
層型圧電アクチュエータ装置２６とをそれぞれ試料数１
０個として試作し、これらの試料品をそれぞれ４０℃・
９０％ＲＨの環境下で直流電圧ＤＣ１５０Ｖを連続印加
し、絶縁破壊するまでの時間を計測して各試作品別の平
均故障時間ＭＴＴＦ（Ｈｒ）を算出したところ、一実施
例に係る積層型圧電アクチュエータ装置６の場合は２５
００、従来の一例に係る積層型圧電アクチュエータ装置
１４の場合は７００、従来の他例に係る積層型圧電アク
チュエータ装置２６の場合は２３００となった。
ラス管２を用いた積層型圧電アクチュエータ装置６と、
図２（ａ）及び（ｂ）で説明した外装部としてエポキシ
樹脂１２を用いた従来の一例に係る積層型圧電アクチュ
エータ装置１４と、図３（ａ）及び（ｂ）で説明した外
装部として金属ケース２２を用いた従来の他例に係る積
層型圧電アクチュエータ装置２６とをそれぞれ試料数１
０個として試作し、これらの試料品をそれぞれ４０℃・
９０％ＲＨの環境下で直流電圧ＤＣ１５０Ｖを連続印加
し、絶縁破壊するまでの時間を計測して各試作品別の平
均故障時間ＭＴＴＦ（Ｈｒ）を算出したところ、一実施
例に係る積層型圧電アクチュエータ装置６の場合は２５
００、従来の一例に係る積層型圧電アクチュエータ装置
１４の場合は７００、従来の他例に係る積層型圧電アク
チュエータ装置２６の場合は２３００となった。
【００１８】これにより、一実施例に係る積層型圧電ア
クチュエータ装置６は、従来の一例に係る積層型圧電ア
クチュエータ装置１４よりも格段に絶縁破壊の耐久性が
優れ、従来の他例に係る積層型圧電アクチュエータ装置
２６とほぼ同等の絶縁破壊の耐久性が得られており、優
れた耐湿性を有することが判った。
クチュエータ装置６は、従来の一例に係る積層型圧電ア
クチュエータ装置１４よりも格段に絶縁破壊の耐久性が
優れ、従来の他例に係る積層型圧電アクチュエータ装置
２６とほぼ同等の絶縁破壊の耐久性が得られており、優
れた耐湿性を有することが判った。
【００１９】
【発明の効果】以上に述べた通り、本発明の積層型圧電
アクチュエータ装置によれば、積層型圧電アクチュエー
タ素子の外装部にガラス管を用いて積層型圧電アクチュ
エータ素子の略表面全体を封止して積層型圧電アクチュ
エータ素子及びガラス管の間の密閉された空間において
外部の湿度の影響を完全に遮断できるようにした上、ガ
ラス管の密閉された空間に対応する部分の局部に積層型
圧電アクチュエータ素子の変位を吸収するための構造を
持たせて積層型圧電アクチュエータ素子の変位時のガラ
ス管の破損を防止可能にしているので、結果として外部
の湿度の影響を受けない外装構造を有すると共に、外形
寸法が小さくて安価に製造可能な（即ち、耐湿性に優れ
た小型で低価格の）積層型圧電アクチュエータが得られ
るようになる。
アクチュエータ装置によれば、積層型圧電アクチュエー
タ素子の外装部にガラス管を用いて積層型圧電アクチュ
エータ素子の略表面全体を封止して積層型圧電アクチュ
エータ素子及びガラス管の間の密閉された空間において
外部の湿度の影響を完全に遮断できるようにした上、ガ
ラス管の密閉された空間に対応する部分の局部に積層型
圧電アクチュエータ素子の変位を吸収するための構造を
持たせて積層型圧電アクチュエータ素子の変位時のガラ
ス管の破損を防止可能にしているので、結果として外部
の湿度の影響を受けない外装構造を有すると共に、外形
寸法が小さくて安価に製造可能な（即ち、耐湿性に優れ
た小型で低価格の）積層型圧電アクチュエータが得られ
るようになる。
【図１】本発明の一実施例に係る積層型圧電アクチュエ
ータ装置の基本構成を示したもので、（ａ）は側面断面
図、（ｂ）は底面図に関するものである。
ータ装置の基本構成を示したもので、（ａ）は側面断面
図、（ｂ）は底面図に関するものである。
【図２】従来の一例に係る積層型圧電アクチュエータ装
置の基本構成を示したもので、（ａ）は側面断面図、
（ｂ）は底面図に関するものである。
置の基本構成を示したもので、（ａ）は側面断面図、
（ｂ）は底面図に関するものである。
【図３】従来の他例に係る積層型圧電アクチュエータ装
置の基本構成を示したもので、（ａ）は側面断面図、
（ｂ）は底面図に関するものである。
置の基本構成を示したもので、（ａ）は側面断面図、
（ｂ）は底面図に関するものである。
１，１１，２１ 積層型圧電アクチュエータ素子 ２ ガラス管 ３，１３ 外部リード端子 ４ 外部電極 ２ａ，２２ａ 波状変形部 ６，１４，２６ 積層型圧電アクチュエータ装置 １２ エポキシ樹脂 ２２ 金属ケース ２３ 電圧印加端子 ２４，２５ ホルダ
Claims (3)
- 【請求項１】 圧電セラミックス層と内部電極層とを積
層した積層体の側面に外部電極を設けて成る積層型圧電
アクチュエータ素子の略表面全体を外装部で覆って成る
積層型圧電アクチュエータ装置において、前記外装部と
してガラス管を用いたことを特徴とする積層型圧電アク
チュエータ装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の積層型圧電アクチュエー
タ装置において、前記積層型圧電アクチュエータ素子及
び前記ガラス管の間は密閉された空間を有することを特
徴とする積層型圧電アクチュエータ装置。 - 【請求項３】 請求項２記載の積層型圧電アクチュエー
タ装置において、前記ガラス管は、前記密閉された空間
に対応する部分の局部に前記積層型圧電アクチュエータ
素子の変位を吸収するための変位吸収部を有することを
特徴とする積層型圧電アクチュエータ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33698799A JP2001156347A (ja) | 1999-11-29 | 1999-11-29 | 積層型圧電アクチュエータ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33698799A JP2001156347A (ja) | 1999-11-29 | 1999-11-29 | 積層型圧電アクチュエータ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001156347A true JP2001156347A (ja) | 2001-06-08 |
Family
ID=18304437
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33698799A Withdrawn JP2001156347A (ja) | 1999-11-29 | 1999-11-29 | 積層型圧電アクチュエータ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001156347A (ja) |
-
1999
- 1999-11-29 JP JP33698799A patent/JP2001156347A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
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