JP2001156102A - ワイヤボンダ用ボール形成装置 - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】放電の安定化を更に向上させる。
【解決手段】キャピラリ３に挿通されたワイヤ２の先端
とトーチ電極４間に電気トーチ電源１０より高電圧を印
加することにより放電を起こさせてワイヤ２の先端にボ
ールを形成するワイヤボンダ用ボール形成装置におい
て、トーチ電極４と電気トーチ電源１０間に設けた放電
安定化のための固定抵抗器Ｒ１を、トーチ電極４に近接
して設けた。
とトーチ電極４間に電気トーチ電源１０より高電圧を印
加することにより放電を起こさせてワイヤ２の先端にボ
ールを形成するワイヤボンダ用ボール形成装置におい
て、トーチ電極４と電気トーチ電源１０間に設けた放電
安定化のための固定抵抗器Ｒ１を、トーチ電極４に近接
して設けた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はワイヤボンダ用ボー
ル形成装置に関する。
ル形成装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤボンダ用ボール形成装置は、キャ
ピラリに挿通されたワイヤの先端とトーチ電極間に電気
トーチ電源より高電圧を印加することにより放電を起こ
させてワイヤの先端にボールを形成するものである。
ピラリに挿通されたワイヤの先端とトーチ電極間に電気
トーチ電源より高電圧を印加することにより放電を起こ
させてワイヤの先端にボールを形成するものである。
【０００３】ボール形成装置においては、電気トーチ電
源からトーチ電極までの配線に分布容量が存在するた
め、放電安定化のためにトーチ電極と電気トーチ電源間
に固定抵抗器を設けている。なお、この種のボール形成
装置として、例えば特許番号第２６１１８９９号公報、
特開平９−１８１１１２号公報が挙げられる。
源からトーチ電極までの配線に分布容量が存在するた
め、放電安定化のためにトーチ電極と電気トーチ電源間
に固定抵抗器を設けている。なお、この種のボール形成
装置として、例えば特許番号第２６１１８９９号公報、
特開平９−１８１１１２号公報が挙げられる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、固定
抵抗器の配設位置については何ら考慮されていない。
抵抗器の配設位置については何ら考慮されていない。
【０００５】また固定抵抗器の抵抗値は、電気トーチ電
源の出力電流に影響し、出力電流の大小によりボール径
も変化する。例えば、電気トーチ電源の出力電流が２０
〜７０ｍＡの場合、実験の結果、２０〜４０ｍＡの出力
電流を得るには１０ＫΩの固定抵抗器を必要とし、４０
〜７０ｍＡの出力電流を得るには５ＫΩの固定抵抗器を
必要とする。
源の出力電流に影響し、出力電流の大小によりボール径
も変化する。例えば、電気トーチ電源の出力電流が２０
〜７０ｍＡの場合、実験の結果、２０〜４０ｍＡの出力
電流を得るには１０ＫΩの固定抵抗器を必要とし、４０
〜７０ｍＡの出力電流を得るには５ＫΩの固定抵抗器を
必要とする。
【０００６】従来、品種変更により設定出力電流を得る
には、その設定出力電流に最適な固定抵抗器に交換する
必要があり、作業性が悪いという問題があった。
には、その設定出力電流に最適な固定抵抗器に交換する
必要があり、作業性が悪いという問題があった。
【０００７】本発明の第１の課題は、放電の安定化を更
に向上させることができるワイヤボンダ用ボール形成装
置を提供することにある。
に向上させることができるワイヤボンダ用ボール形成装
置を提供することにある。
【０００８】本発明の第２の課題は、設定出力電流に最
適な固定抵抗器に即座に設定可能で、作業性の向上が図
れるワイヤボンダ用ボール形成装置を提供することにあ
る。
適な固定抵抗器に即座に設定可能で、作業性の向上が図
れるワイヤボンダ用ボール形成装置を提供することにあ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の第１の手段は、キャピラリに挿通されたワイ
ヤの先端とトーチ電極間に電気トーチ電源より高電圧を
印加することにより放電を起こさせてワイヤの先端にボ
ールを形成するワイヤボンダ用ボール形成装置におい
て、前記トーチ電極と前記電気トーチ電源間に設けた放
電安定化のための固定抵抗器を、前記トーチ電極に近接
して設けたことを特徴とする。
の本発明の第１の手段は、キャピラリに挿通されたワイ
ヤの先端とトーチ電極間に電気トーチ電源より高電圧を
印加することにより放電を起こさせてワイヤの先端にボ
ールを形成するワイヤボンダ用ボール形成装置におい
て、前記トーチ電極と前記電気トーチ電源間に設けた放
電安定化のための固定抵抗器を、前記トーチ電極に近接
して設けたことを特徴とする。
【００１０】上記課題を解決するための本発明の第２の
手段は、キャピラリに挿通されたワイヤの先端とトーチ
電極間に電気トーチ電源より高電圧を印加することによ
り放電を起こさせてワイヤの先端にボールを形成するワ
イヤボンダ用ボール形成装置において、前記トーチ電極
と前記電気トーチ電源間に設けた放電安定化のための固
定抵抗器を複数個直列に設け、これらの固定抵抗器の
内、前記トーチ電極に最も近い第１の固定抵抗器を前記
トーチ電極に近接して設け、また前記第１の固定抵抗器
以外の固定抵抗器には、スイッチを並列に接続したこと
を特徴とする。
手段は、キャピラリに挿通されたワイヤの先端とトーチ
電極間に電気トーチ電源より高電圧を印加することによ
り放電を起こさせてワイヤの先端にボールを形成するワ
イヤボンダ用ボール形成装置において、前記トーチ電極
と前記電気トーチ電源間に設けた放電安定化のための固
定抵抗器を複数個直列に設け、これらの固定抵抗器の
内、前記トーチ電極に最も近い第１の固定抵抗器を前記
トーチ電極に近接して設け、また前記第１の固定抵抗器
以外の固定抵抗器には、スイッチを並列に接続したこと
を特徴とする。
【００１１】上記課題を解決するための本発明の第３の
手段は、上記第２の手段の手段において、前記各スイッ
チに対応してそれぞれ電気的接点切替え器を設け、これ
らの電気的接点切替え器が制御部から選択されて切替え
られるようになっていることを特徴とする。
手段は、上記第２の手段の手段において、前記各スイッ
チに対応してそれぞれ電気的接点切替え器を設け、これ
らの電気的接点切替え器が制御部から選択されて切替え
られるようになっていることを特徴とする。
【００１２】上記課題を解決するための本発明の第４の
手段は、上記第１又は第２の手段の手段において、前記
トーチ電極に最も近い固定抵抗器は、キャピラリをＸＹ
軸方向に駆動するＸＹテーブル上に搭載されたボンディ
ングヘッドに固定されていることを特徴とする。
手段は、上記第１又は第２の手段の手段において、前記
トーチ電極に最も近い固定抵抗器は、キャピラリをＸＹ
軸方向に駆動するＸＹテーブル上に搭載されたボンディ
ングヘッドに固定されていることを特徴とする。
【００１３】上記課題を解決するための本発明の第５の
手段は、上記第２の手段において、前記第１の固定抵抗
器は、キャピラリをＸＹ軸方向に駆動するＸＹテーブル
上に搭載されたボンディングヘッドに固定され、前記第
１の固定抵抗器以外の固定抵抗器は、前記ボンディング
ヘッドを支持する架台部に固定されていることを特徴と
する。
手段は、上記第２の手段において、前記第１の固定抵抗
器は、キャピラリをＸＹ軸方向に駆動するＸＹテーブル
上に搭載されたボンディングヘッドに固定され、前記第
１の固定抵抗器以外の固定抵抗器は、前記ボンディング
ヘッドを支持する架台部に固定されていることを特徴と
する。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態を図１によ
り説明する。ボール形成時には、クランパ１でワイヤ２
をクランプし、キャピラリ３に挿通されたワイヤ２の先
端と所定のギャップを保つようにワイヤ２の先端下方に
トーチ電極４が移動させられる。そして、ワイヤ２の先
端とトーチ電極４間にボール形成装置により高電圧が印
加され、ワイヤ２の先端にボールが形成される。
り説明する。ボール形成時には、クランパ１でワイヤ２
をクランプし、キャピラリ３に挿通されたワイヤ２の先
端と所定のギャップを保つようにワイヤ２の先端下方に
トーチ電極４が移動させられる。そして、ワイヤ２の先
端とトーチ電極４間にボール形成装置により高電圧が印
加され、ワイヤ２の先端にボールが形成される。
【００１５】ボール形成装置は、電気トーチ電源１０を
有しており、電気トーチ電源１０の構成は周知であり、
また本発明の要旨とは直接関係ないので、簡単に説明す
る。ＡＣ１００Ｖが入力される電源回路１１と、この電
源回路１１の入力により高電圧を発生する高電圧発生回
路１２と、高電圧印加後に定電流を出力する定電流制御
回路１３と、トーチ信号が入力されて電源回路１１及び
定電流制御回路１３を制御する出力制御回路１４と、ワ
イヤ２に流れる定電流を検出する定電流検出抵抗器１５
とを備えている。
有しており、電気トーチ電源１０の構成は周知であり、
また本発明の要旨とは直接関係ないので、簡単に説明す
る。ＡＣ１００Ｖが入力される電源回路１１と、この電
源回路１１の入力により高電圧を発生する高電圧発生回
路１２と、高電圧印加後に定電流を出力する定電流制御
回路１３と、トーチ信号が入力されて電源回路１１及び
定電流制御回路１３を制御する出力制御回路１４と、ワ
イヤ２に流れる定電流を検出する定電流検出抵抗器１５
とを備えている。
【００１６】前記クランパ１は、アースされると共に定
電流検出抵抗器１５に接続されている。前記トーチ電極
４は、直列に接続された第１の固定抵抗器Ｒ１と第２の
固定抵抗器Ｒ２を介して高電圧発生回路１２に接続され
ている。また第２の固定抵抗器Ｒ２には、スイッチＳ２
が並列に接続されている。ここで、第１の固定抵抗器Ｒ
１は、トーチ電極４に近接して設けられている。
電流検出抵抗器１５に接続されている。前記トーチ電極
４は、直列に接続された第１の固定抵抗器Ｒ１と第２の
固定抵抗器Ｒ２を介して高電圧発生回路１２に接続され
ている。また第２の固定抵抗器Ｒ２には、スイッチＳ２
が並列に接続されている。ここで、第１の固定抵抗器Ｒ
１は、トーチ電極４に近接して設けられている。
【００１７】そこで、スイッチＳ２をオフとした状態で
は、第１の固定抵抗器Ｒ１と第２の固定抵抗器Ｒ２の抵
抗値を加えた抵抗値となる。スイッチＳ２をオンとした
状態では、スイッチＳ２の経路は殆ど抵抗がなく、第２
の固定抵抗器Ｒ２の経路の抵抗に比べて著しく小さいの
で、第１の固定抵抗器Ｒ１のみの抵抗値となる。従っ
て、〔発明が解決しようとする課題〕の項で説明した、
例えば、電気トーチ電源の出力電流が２０〜７０ｍＡの
場合で、２０〜４０ｍＡの出力電流を得るには１０ＫΩ
の固定抵抗器を必要とし、４０〜７０ｍＡの出力電流を
得るには５ＫΩの固定抵抗器を必要とする。従って、こ
の場合においては、第１及び第２の固定抵抗器Ｒ１及び
Ｒ２として、それぞれ５ＫΩのものを使用する。
は、第１の固定抵抗器Ｒ１と第２の固定抵抗器Ｒ２の抵
抗値を加えた抵抗値となる。スイッチＳ２をオンとした
状態では、スイッチＳ２の経路は殆ど抵抗がなく、第２
の固定抵抗器Ｒ２の経路の抵抗に比べて著しく小さいの
で、第１の固定抵抗器Ｒ１のみの抵抗値となる。従っ
て、〔発明が解決しようとする課題〕の項で説明した、
例えば、電気トーチ電源の出力電流が２０〜７０ｍＡの
場合で、２０〜４０ｍＡの出力電流を得るには１０ＫΩ
の固定抵抗器を必要とし、４０〜７０ｍＡの出力電流を
得るには５ＫΩの固定抵抗器を必要とする。従って、こ
の場合においては、第１及び第２の固定抵抗器Ｒ１及び
Ｒ２として、それぞれ５ＫΩのものを使用する。
【００１８】そこで、設定出力電流が２０〜４０ｍＡの
場合には、抵抗値は１０ＫΩであるので、スイッチＳ２
をオフとして使用する。この状態でボール形成後にワイ
ヤ２の先端とトーチ電極４間に電気トーチ電源１０より
高電圧を印加すると、電気トーチ電源１０の出力電流は
２０〜４０ｍＡとなり、その出力電流に対応したボール
径が得られる。
場合には、抵抗値は１０ＫΩであるので、スイッチＳ２
をオフとして使用する。この状態でボール形成後にワイ
ヤ２の先端とトーチ電極４間に電気トーチ電源１０より
高電圧を印加すると、電気トーチ電源１０の出力電流は
２０〜４０ｍＡとなり、その出力電流に対応したボール
径が得られる。
【００１９】品種変更により設定出力電流が４０〜７０
ｍＡの場合には、抵抗値は５ＫΩであるので、スイッチ
Ｓ２をオンとして使用する。この状態でボール形成後に
ワイヤ２の先端とトーチ電極４間に電気トーチ電源１０
より高電圧を印加すると、電気トーチ電源１０の出力電
流は４０〜７０ｍＡとなり、その出力電流に対応したボ
ール径が得られる。
ｍＡの場合には、抵抗値は５ＫΩであるので、スイッチ
Ｓ２をオンとして使用する。この状態でボール形成後に
ワイヤ２の先端とトーチ電極４間に電気トーチ電源１０
より高電圧を印加すると、電気トーチ電源１０の出力電
流は４０〜７０ｍＡとなり、その出力電流に対応したボ
ール径が得られる。
【００２０】前記したように、トーチ電極４に最も近い
第１の固定抵抗器Ｒ１をトーチ電極４に近接して設ける
と、放電時に発生するノイズが大幅に低減し、放電の安
定性が更に向上した。また第１の固定抵抗器Ｒ１に第２
の固定抵抗器Ｒ２を直列に設け、第２の固定抵抗器Ｒ２
にスイッチＳ２を並列して設けると、品種変更により設
定出力電流が変わった場合には、スイッチＳ２をオン又
はオフにすることにより切替えられるので、作業性が向
上する。
第１の固定抵抗器Ｒ１をトーチ電極４に近接して設ける
と、放電時に発生するノイズが大幅に低減し、放電の安
定性が更に向上した。また第１の固定抵抗器Ｒ１に第２
の固定抵抗器Ｒ２を直列に設け、第２の固定抵抗器Ｒ２
にスイッチＳ２を並列して設けると、品種変更により設
定出力電流が変わった場合には、スイッチＳ２をオン又
はオフにすることにより切替えられるので、作業性が向
上する。
【００２１】図２は本発明の他の実施の形態を示す。前
記実施の形態は、２個の第１及び第２の固定抵抗器Ｒ１
及びＲ２を設けたが、本実施の形態のように複数個の第
１、第２・・・第ｎ−１、第ｎの固定抵抗器ＲＩ、Ｒ２
・・・Ｒｎ−１、Ｒｎを直列に設けてもよい。そして、
第１の固定抵抗器Ｒ１以外の各固定抵抗器Ｒ２・・・Ｒ
ｎ−１、Ｒｎにそれぞれ対応してスイッチＳ２・・・Ｓ
ｎ−１、Ｓｎが設けられている。また各スイッチＳ２・
・・Ｓｎ−１、Ｓｎに対応してそれぞれ電気的接点切替
え器Ｔ２・・・Ｔｎ−１、Ｔｎが設けられ、これらの電
気的接点切替え器Ｔ２・・・Ｔｎ−１、Ｔｎは、制御部
から選択できるようになっている。
記実施の形態は、２個の第１及び第２の固定抵抗器Ｒ１
及びＲ２を設けたが、本実施の形態のように複数個の第
１、第２・・・第ｎ−１、第ｎの固定抵抗器ＲＩ、Ｒ２
・・・Ｒｎ−１、Ｒｎを直列に設けてもよい。そして、
第１の固定抵抗器Ｒ１以外の各固定抵抗器Ｒ２・・・Ｒ
ｎ−１、Ｒｎにそれぞれ対応してスイッチＳ２・・・Ｓ
ｎ−１、Ｓｎが設けられている。また各スイッチＳ２・
・・Ｓｎ−１、Ｓｎに対応してそれぞれ電気的接点切替
え器Ｔ２・・・Ｔｎ−１、Ｔｎが設けられ、これらの電
気的接点切替え器Ｔ２・・・Ｔｎ−１、Ｔｎは、制御部
から選択できるようになっている。
【００２２】このように、複数個の第１、第２・・・第
ｎ−１、第ｎの固定抵抗器ＲＩ、Ｒ２・・・Ｒｎ−１、
Ｒｎを設け、第１の固定抵抗器Ｒ１以外の固定抵抗器Ｒ
２・・・Ｒｎ−１、Ｒｎにそれぞれ対応してスイッチＳ
２・・・Ｓｎ−１、Ｓｎを設け、スイッチＳ２・・・Ｓ
ｎ−１、Ｓｎを電気的接点切替え器Ｔ２・・・Ｔｎ−
１、Ｔｎにより任意に切替えることにより、その品種に
最適な設定出力電流に対応する最適な抵抗値を用意に得
ることができる。
ｎ−１、第ｎの固定抵抗器ＲＩ、Ｒ２・・・Ｒｎ−１、
Ｒｎを設け、第１の固定抵抗器Ｒ１以外の固定抵抗器Ｒ
２・・・Ｒｎ−１、Ｒｎにそれぞれ対応してスイッチＳ
２・・・Ｓｎ−１、Ｓｎを設け、スイッチＳ２・・・Ｓ
ｎ−１、Ｓｎを電気的接点切替え器Ｔ２・・・Ｔｎ−
１、Ｔｎにより任意に切替えることにより、その品種に
最適な設定出力電流に対応する最適な抵抗値を用意に得
ることができる。
【００２３】ところで、トーチ電極４は、ＸＹ軸方向に
駆動されるＸＹテーブル上に搭載されたボンディングヘ
ッドの先端部に配置され、ＸＹテーブルにより激しく動
作させられる。そこで、第１の固定抵抗器Ｒ１をボンデ
ィングヘッドにしっかり固定し、第２の固定抵抗器Ｒ２
等をボンディングヘッドを支持する架台部にしっかり固
定する。
駆動されるＸＹテーブル上に搭載されたボンディングヘ
ッドの先端部に配置され、ＸＹテーブルにより激しく動
作させられる。そこで、第１の固定抵抗器Ｒ１をボンデ
ィングヘッドにしっかり固定し、第２の固定抵抗器Ｒ２
等をボンディングヘッドを支持する架台部にしっかり固
定する。
【００２４】
【発明の効果】本発明は、トーチ電極と電気トーチ電源
間に設けた放電安定化のための固定抵抗器を、前記トー
チ電極に近接して設けたので、放電の安定化を更に向上
させることができる。
間に設けた放電安定化のための固定抵抗器を、前記トー
チ電極に近接して設けたので、放電の安定化を更に向上
させることができる。
【００２５】また、トーチ電極と前記電気トーチ電源間
に設けた放電安定化のための固定抵抗器を複数個直列に
設け、これらの固定抵抗器の内、前記トーチ電極に最も
近い第１の固定抵抗器を前記トーチ電極に近接して設
け、また前記第１の固定抵抗器以外の固定抵抗器には、
スイッチを並列に接続したので、前記した効果の他に、
設定出力電流に最適な固定抵抗器に即座に設定可能で、
作業性の向上が図れる。
に設けた放電安定化のための固定抵抗器を複数個直列に
設け、これらの固定抵抗器の内、前記トーチ電極に最も
近い第１の固定抵抗器を前記トーチ電極に近接して設
け、また前記第１の固定抵抗器以外の固定抵抗器には、
スイッチを並列に接続したので、前記した効果の他に、
設定出力電流に最適な固定抵抗器に即座に設定可能で、
作業性の向上が図れる。
【図１】本発明のワイヤボンダ用ボール形成装置の一実
施の形態を示すブロック図である。
施の形態を示すブロック図である。
【図２】本発明のワイヤボンダ用ボール形成装置の他の
実施の形態を示す要部ブロック図である。
実施の形態を示す要部ブロック図である。
【符号の説明】 １ クランパ ２ ワイヤ ３ キャピラリ ４ トーチ電極 １０ 電気トーチ電源 １１ 電源回路 １２ 高電圧発生回路 １３ 定電流制御回路 １４ 出力制御回路 １５ 定電流検出抵抗器 ＲＩ、Ｒ２・・・Ｒｎ−１、Ｒｎ 固定抵抗器 Ｓ２・・・Ｓｎ−１、Ｓｎ スイッチ Ｔ２・・・Ｔｎ−１、Ｔｎ 電気的接点切替え器
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１１年１２月２日（１９９９．１２．
２）
２）
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２】
Claims (5)
- 【請求項１】 キャピラリに挿通されたワイヤの先端と
トーチ電極間に電気トーチ電源より高電圧を印加するこ
とにより放電を起こさせてワイヤの先端にボールを形成
するワイヤボンダ用ボール形成装置において、前記トー
チ電極と前記電気トーチ電源間に設けた放電安定化のた
めの固定抵抗器を、前記トーチ電極に近接して設けたこ
とを特徴とするワイヤボンダ用ボール形成装置。 - 【請求項２】 キャピラリに挿通されたワイヤの先端と
トーチ電極間に電気トーチ電源より高電圧を印加するこ
とにより放電を起こさせてワイヤの先端にボールを形成
するワイヤボンダ用ボール形成装置において、前記トー
チ電極と前記電気トーチ電源間に設けた放電安定化のた
めの固定抵抗器を複数個直列に設け、これらの固定抵抗
器の内、前記トーチ電極に最も近い第１の固定抵抗器を
前記トーチ電極に近接して設け、また前記第１の固定抵
抗器以外の固定抵抗器には、スイッチを並列に接続した
ことを特徴とするワイヤボンダ用ボール形成装置。 - 【請求項３】 前記各スイッチに対応してそれぞれ電気
的接点切替え器を設け、これらの電気的接点切替え器が
制御部から選択されて切替えられるようになっているこ
とを特徴とする請求項２記載のワイヤボンダ用ボール形
成装置。 - 【請求項４】 前記トーチ電極に最も近い固定抵抗器
は、キャピラリをＸＹ軸方向に駆動するＸＹテーブル上
に搭載されたボンディングヘッドに固定されていること
を特徴とする請求項１又は２記載のワイヤボンダ用ボー
ル形成装置。 - 【請求項５】 前記第１の固定抵抗器は、キャピラリを
ＸＹ軸方向に駆動するＸＹテーブル上に搭載されたボン
ディングヘッドに固定され、前記第１の固定抵抗器以外
の固定抵抗器は、前記ボンディングヘッドを支持する架
台部に固定されていることを特徴とする請求項２記載の
ワイヤボンダ用ボール形成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33888599A JP2001156102A (ja) | 1999-11-30 | 1999-11-30 | ワイヤボンダ用ボール形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33888599A JP2001156102A (ja) | 1999-11-30 | 1999-11-30 | ワイヤボンダ用ボール形成装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001156102A true JP2001156102A (ja) | 2001-06-08 |
Family
ID=18322299
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33888599A Pending JP2001156102A (ja) | 1999-11-30 | 1999-11-30 | ワイヤボンダ用ボール形成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001156102A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20170330854A1 (en) * | 2015-05-03 | 2017-11-16 | Kaijo Corporation | Ball forming device for wire bonder |
-
1999
- 1999-11-30 JP JP33888599A patent/JP2001156102A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20170330854A1 (en) * | 2015-05-03 | 2017-11-16 | Kaijo Corporation | Ball forming device for wire bonder |
| US10629563B2 (en) | 2015-05-03 | 2020-04-21 | Kaijo Corporation | Ball forming device for wire bonder |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040414 |