JP2001150321A

JP2001150321A - 研磨工具保持装置及び研磨装置及び滑り部材の支点高さ設定方法

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Publication number: JP2001150321A
Application number: JP2000264257A
Authority: JP
Inventors: Manabu Ando; 学安藤; Toshihiko Yamaura; 敏彦山浦
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1999-09-14
Filing date: 2000-08-31
Publication date: 2001-06-05
Anticipated expiration: 2020-08-31
Also published as: JP3890188B2

Abstract

(57)【要約】【課題】研磨時、工具保持部に保持された研磨工具の
研磨面が被加工物の被加工面に円滑に追随することがで
き、高速度で揺動運動させても常に安定した研磨加工を
可能とする研磨工具保持装置を提供する。【解決手段】小径の研磨工具１を軸受け２ｅを介して
保持する工具保持部２の凸状部２ｂに潤滑性のあるフッ
素樹脂製の輪帯状の滑り部材８を配設し、工具保持部２
の凸状部２ｂと加工力を加えるための荷重軸７に取り付
けられた支持部３の凹球面３ｂとを滑り部材８を挟むよ
うに空間をもって相対向するように配置し、滑り部材８
の外周上部の円弧面の中心軸と支持部３の凹球面３ｂの
中心点を研磨工具１の研磨面１ａの中心点Ｏにそれぞれ
一致させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、レンズやミラー等
の光学素子あるいは金型等を研磨する際に研磨工具を保
持するために使用される研磨工具保持装置に関し、特
に、非球面形状の被加工面の高精度な研磨加工に用いる
ことができる研磨工具保持装置及び研磨装置に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】レンズやミラー等の光学素子あるいは金
型等を研磨する際には、一般に、研磨工具を保持するた
めに研磨工具保持装置が使用されている。

【０００３】従来、この種の研磨工具保持装置として
は、特開平４−２４４３７２号公報、特開平７−７５９
５２号公報に開示する研磨工具保持装置が知られてい
る。これらの研磨工具保持装置は、図２（特開平７−７
５９５２号公報）に示すように、ポリッシャ（研磨工
具）３１cを保持するための工具保持部材３１aに設けら
れた凸球面３１dと加工力を加えるための荷重軸３９の
端部の支持部３３に設けられた案内部３５aとにより、
少なくとも３個の互いに間隔をおいて配列された球３５
ｂ…を挟み、凸球面３１ｄの中心点が工具保持部材３１
aに保持された研磨工具３１ｃの研磨面の中心点Ｏに一
致するように構成する。このように、研磨工具３１ｃの
揺動に伴なうモーメントの発生による姿勢変化（被加工
面の工具のある位置の曲率半径の球面を仮定して、その
球面に研磨工具の研磨面が沿って揺動するときの工具の
ピッチング方向の姿勢変化）を原理上無視できる構成が
提案されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来の研磨工具保持装置では、工具を高速に揺動
運動させた場合に、工具保持部材３１aに設けられた凸
球面３１dと加工力が加えられる支持部３３に設けられ
た案内部３５aとによって挟まれ互いに間隔を置いて配
置された球３５bが慣性力により接触状態が不安定とな
り、研磨工具３１cや工具保持部材３１aに必要な円滑な
傾動追随運動が妨げられ、その結果、偏荷重が発生し、
被加工面の形状創成に支障をきたすことがあった。

【０００５】また、工具保持部材３１aに設けられた凸
球面３１dと支持部３３に設けられた案内部３５aとによ
って挟まれた球３５bの支点を含む面内で、球のない区
間は加工時に発生する工具と被加工面間の摩擦力を最寄
の２個の球（２支点）に分配して支持部３３に設けられ
た案内部に伝えるため、摩擦力を支える２つの球を結ぶ
仮想線を軸に新たなモーメント力が発生し、工具保持部
に必要な円滑な傾動追随運動が妨げられ、その結果偏加
重が発生し、被加工面の形状創成に支障をきたすことが
あった。

【０００６】また、凸球面３１ｄの工具保持部から案内
部３５aの工具支持部までの構成要素が剛性の高い金属
材料で形成されているために、高荷重で研磨工具を揺動
させたときに、わずかな製作誤差によって生じる接触状
態のアンバランスに起因する振動が発生することもあ
り、高能率な研磨加工が難しいことがあった。

【０００７】これは、それぞれの構成要素が金属で形成
されているので、比較的大きな質量をもつため、高速で
揺動させたときに特に顕著となる。

【０００８】そこで、本発明は、上述の従来技術の有す
る未解決の問題点に鑑みてなされたものであって、研磨
時、工具保持部に保持された研磨工具の研磨面が被加工
物の被加工面の位置による曲率半径や法線方向の変化に
対して円滑に追随することができ、かつ、高速度で揺動
運動させても常に安定した研磨加工を可能とする研磨工
具保持装置を提供することを目的とするものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の研磨工具保持装置は、研磨工具を保持する
工具保持部に設けられた凸状部と加工力を加えるための
荷重軸に取り付けられた支持部に設けられた凹球面とを
空間をもって相対向するように配置し、前記工具保持部
に研磨工具を前記荷重軸回りに回転自在に保持するよう
に軸受けを配設した研磨工具保持装置において、前記工
具保持部の凸状部に潤滑性のある滑り部材を配設して、
前記工具保持部の凸状部と前記支持部の凹球面は前記滑
り部材を前記空間内に挟むように位置付けられ、前記滑
り部材の外周上部の円弧面の中心軸と前記支持部の凹球
面の中心点は、前記工具保持部に保持される研磨工具の
研磨面の中心点に一致することを特徴とする。

【００１０】本発明の研磨工具保持装置においては、前
記滑り部材が輪帯状のフッ素樹脂で構成されていること
が好ましい。

【００１１】本発明の研磨工具保持装置においては、前
記工具保持部と前記支持部を連結して前記空間を密閉す
る可撓性部材が配設されていることが好ましい。

【００１２】

【作用】本発明の研磨工具保持装置によれば、工具保持
部の凸状部と支持部の凹球面とで形成される空間内に工
具保持部に嵌入した潤滑性のある滑り部材を配設したこ
とにより、滑り部材の全周で加工力を分散して伝えるこ
とができ、凸状部と凹球面に浮き上がりが発生せず、工
具保持部の凸状部に嵌入した滑り部材の外周上部の円弧
面の中心軸と支持部の凹球面の中心点は研磨工具の研磨
面の中心点と常に一致する。その結果、研磨工具を高速
で揺動しても加工力の作用点は常に研磨面の中心点に一
致し、そのため、研磨時に、研磨工具を揺動方向にピッ
チング（回転）させようとする偶力が発生しないので、
被加工面に余分なうねりを発生させることもない。

【００１３】より具体的には、従来例では、工具保持部
に設けられた凸球面と支持部に設けられた凹球面とによ
って挟まれた３個の球の支点を含む面内で、球のない区
間は加工時に発生する工具と被加工面間の摩擦力を最寄
の２個の球（２支点）に分配して支持部に設けられた凹
球面に伝えるため、摩擦力を支える２つの球を結ぶ仮想
線を軸に新たなモーメント力が発生し、工具保持部に必
要な円滑な傾動追随運動が妨げられ、その結果偏加重が
発生し、被加工面の形状創成に支障をきたすことがあっ
た。

【００１４】これに対し、本発明では、凸球面と凹球面
とにより挟まれた空間に、潤滑性のある滑り部材を挟む
構造としたので、この滑り部材の全周で加工力を分散し
て伝えることができ、したがって上記の３個の球を使用
した場合の問題点を解決でき、安定した工具支持が可能
となるので被加工面の形状創成に支障をきたすことがな
い。

【００１５】また、工具保持部の構成が簡単にでき、質
量も小さくすることができ、さらに、潤滑性のある滑り
部材をフッ素樹脂で形成することにより、従来用いられ
ていた鋼球に比べ質量を小さくでき、高速での揺動に対
して有利となる。

【００１６】より具体的には、従来例では、球を３ヶ所
に分けてなおかつ回転自在とするために、工具保持部に
複雑な球受け部の加工が必要となるが、本発明では、工
具保持部には滑り部材をはめるための軸部があればよ
く、球に替えて１個のリング状の滑り部材を作り前記軸
部にはめるだけでよいので複雑な球受け部の加工が不要
となる。これにより工具保持部の構成が単純化される。
また、従来例では球は少なくとも３個必要であり、本発
明の潤滑樹脂製の滑り部材よりも質量が大きくなる。す
なわち本発明では工具保持部の質量を小さくすることが
できる。

【００１７】また、研磨工具を工具保持部に対して回転
自在とする軸受けを介して取り付けることにより、研磨
工具は荷重軸回りに自由な位置を取ることができ、研磨
工具の研磨面の圧力分布を短時間で確実に最も均一な状
態にすることができる。

【００１８】また、工具保持装置内で工具を安定して保
持するためには工具軸にかかる荷重Pと研磨運動（たと
えば揺動）により発生する工具研磨面と被加工面間の摩
擦力が、支点（滑り部材の稜線）を介して安定でなけれ
ばならない（図３により説明する）。

【００１９】このためには、工具面の中心を原点とし
て、工具にかかる荷重反力の合力Vと摩擦力の合力が工
具軸法線となす角度（α ）と、同様に工具面の中心を
原点として滑り部材の稜線が工具軸法線となす角度（β
）を比較してβ がα よりも大きいことが必要であ
る．言い換えると、α のなす円錐面よりも下部に滑り
部材の稜線がある。

【００２０】このような条件下では工具支持部材の球面
凹部面内に研磨工具、研磨工具保持部を安定して（摩擦
力に抗して）保つ事ができる。

【００２１】この関係が逆で、αの方が大きい（言い換
えると、αのなす円錐面よりも上部に滑り部材の稜線が
ある）と、工具軸の荷重により生ずる工具、工具保持部
への水平方向駆動力よりも摩擦力の方が大きくなってし
まい、工具、工具保持部は工具支持部材の球面凹部面内
から外れる可能性があり、安定した研磨除去が行えない
恐れがある。

【００２２】摩擦力は使用する工具面構成材料と被加工
物間の静的、動的な値として、事前に測定しておく。

【００２３】摩擦力の測定方法としては、ラップ盤に平
面に仕上げた被加工面を取り付け、ラップ盤外から出し
たアームで研磨工具（研磨面に所定の構成材料を設けた
もの）を支える。その支点部にロードセルを摩擦力が測
定可能な方向に設けて置き、ラップ盤を回転させること
で発生する摩擦力を直接測定する。そして、研磨工具に
かかっている鉛直荷重から摩擦係数を求める。このと
き、始動時の水平力を測定することで静摩擦係数を、ラ
ップ盤が安定した回転をしているときの水平力から動摩
擦係数を求めることができる。

【００２４】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。

【００２５】図１は、本発明の研磨工具保持装置を示す
図であって、（ａ）は要部断面図であり、（ｂ）は構成
概略図である。

【００２６】本発明の研磨工具保持装置１０は、研磨工
具１を保持する工具保持部２と加工力を加えるための荷
重軸７の端部に取り付けられた支持部３とを備えてい
る。

【００２７】工具保持部２に保持される研磨工具１は、
被加工物Ｗの被加工面Ｗａに対して十分小さい直径の円
盤状に形成され、例えば、直径φ１００ｍｍの被加工面
Ｗａに対して研磨工具外径は約φ２０ｍｍとする。そし
て、研磨工具１は、被加工物Ｗの被加工面Ｗａに接触し
て被加工面Ｗａを研磨するアスファルトピッチ等の粘弾
性体層１ｂと、被加工面に対して形状追随する弾性体か
らなる形状追随層１ｃと、金属等の磁性体からなる工具
本体１ｄとから構成されており、粘弾性体層１ｂの下面
が被加工面Ｗａを研磨する研磨面１ａとなる。

【００２８】工具保持部２は、その中央部の上下にそれ
ぞれ磁石４ａ、４ｂが埋め込まれて接着あるいはねじ止
め等の手段により固定されている。研磨工具１は、その
工具本体１ｄの上方部のボス部が、工具保持部２の中央
部に形成された穴部２ａにラジアルボールベアリング等
の軸受け２ｅを介して取り付けられる。このとき、軸受
け（ラジアルボールベアリング）２ｅは、その外輪が工
具保持部２の穴部２ａに嵌入され、その内輪に工具本体
１ｄの上方部のボス部が挿入される。そして、研磨工具
１は、磁石４（４ａ、４ｂ）の磁力により工具保持部２
に吸着されることにより保持される。このように、工具
保持部２は、軸受け２ｅの外輪には接触するが内輪には
全く接触しない構成で、研磨工具１は、軸受け２ｅの内
輪には接触するが軸受け２ｅの外輪には全く接触しない
構成となっており、また、研磨工具１を工具保持部２か
ら磁石４（４ａ、４ｂ）の磁力に抗して引き離すことに
より、研磨工具１は容易に工具保持部２から取り外すこ
とができる構成となっている。

【００２９】工具保持部２の上部表面の凸状部２ｂには
段部２ｃが形成されており、その段部２ｃには、フッ素
樹脂等の潤滑性部材でリング状に成形された滑り部材８
が嵌め込まれ、この滑り部材８の外周上部のエッジはＣ
0.1程度の面取りがなされている。このエッジに形成さ
れる外周面は、工具保持部２に保持されている研磨工具
１の研磨面１ａの中心点Ｏを中心とした半径Ｒｔの球面
上に位置するように形成されている。

【００３０】金属等の磁性体からなる支持部３は、荷重
軸７の下端部にねじ等により取り付けられ、工具保持部
２に対向する面には凹球面３ｂが形成されており、この
凹球面３ｂ内には、潤滑性のフッ素樹脂からなる滑り部
材８を嵌め込んだ工具保持部２が位置付けられ、磁石４
（４ａ、４ｂ）の磁力により常に支持部３に吸引される
構成となっている。また、凹球面３ｂは、工具保持部２
に保持される研磨工具１の研磨面１ａの中心点Ｏを中心
とする半径Ｒｔの球面となるように形成されている。し
たがって、滑り部材８（図４に示す）の外周上部のエッ
ジ外周面と凹球面３ｂは中心が一致しており、滑り部材
８は、工具保持部２と支持部３とがどのように相対移動
しても、円滑に滑動することができる。

【００３１】工具保持部２の周縁部２ｄと支持部３の周
縁部３ｃとには、ポリクロロプレン等の材料で形成され
た環状の可撓性部材（ゴムシール）６が固着され、この
可撓性部材（ゴムシール）６は、工具保持部２と支持部
３とを連結し、工具保持部２の凸状部２ｂと支持部３の
凹球面３ｂとにより挟まれる空間を外部から密閉する。

【００３２】次に、本発明の研磨工具保持装置１０の作
動について、図１の（ａ）および（ｂ）を参照して説明
する。

【００３３】荷重軸７を介して支持部３に加えられる加
圧力Ｐと揺動時に荷重軸７および支持部３を介して伝え
られる揺動力Ｎとの合力（加工力）は、支持部３の凹球
面３ｂからフッ素樹脂製の滑り部材８を介して工具保持
部２に伝わり、工具保持部２に保持された研磨工具１の
研磨面１ａに作用する。

【００３４】そして、工具保持部２は、軸受け（ラジア
ルボールベアリング）２ｅの外輪には接触するが軸受け
２ｅの内輪には全く接触せず、また、研磨工具１は軸受
け２ｅの内輪には接触するが軸受け２ｅの外輪には全く
接触しない構成となっているので、研磨工具１は工具保
持部２に対して回転自在であり、荷重軸７回りに円滑に
回転する。

【００３５】フッ素樹脂製の滑り部材８の外周上部のエ
ッジと研磨面１ａ（工具加工面）の中心点Ｏで規定され
る球面は、支持部３の凹球面３ｂと一致するので、工具
保持部２が支持部３に対してどのように傾斜していて
も、前記加工力の作用点は研磨面１ａの中心点Ｏに位置
する。また、研磨時に発生する摩擦力Ｆも研磨面１ａに
作用するので、研磨工具１を揺動方向に回転させようと
するモーメント力（偶力）は発生しないので、研磨面１
ａの圧力分布ωは常に均一に保たれる。

【００３６】なお、参考のために、研磨加工の加工条件
の一例を以下に示す。

【００３７】荷重：１０Ｎ揺動：ストローク±５ｍｍ、周期４Ｈｚこのとき、研磨面１ａと被加工面の動摩擦係数は約０．
５５、静摩擦係数は約０．７５なので、摩擦力の内最大
のものは、１０Ｎ×０．７５＝７．５Ｎ程度となる。こ
れをFmaxとする。

【００３８】従って、工具にかかる荷重反力の合力Vは１
０N、摩擦力の最大値Fmaxは７．５Nであるから、これら
の２力の合力と工具軸法線とのなす角度（α）は、α＝
tan^- ¹(Fmax/V)を求めればよく、α＝tan^-1(0.75)＝３
６．８７度、となる。

【００３９】従って、滑り部材８の滑り稜線面のなす角
度βはαよりも大きく、すなわち工具軸法線上部から３
６．８７度以上必要である。

【００４０】本実施形態ではβを約５５度とする。βが
十分にαよりも大きいので安定した工具保持が可能であ
る。

【００４１】また、本実施形態では工具保持部の構成が
簡単にでき、質量も小さくすることができ、さらに、滑
り部材８をフッ素樹脂で形成することにより、従来用い
られている鋼球に比べ質量を小さくできるので、総合し
て軽量化が可能となり高速揺動を加えてもフッ素樹脂製
の滑り部材８が浮き上がることがなく、またフッ素樹脂
製の滑り部材８が支持部３の凹球面３ｂと全周にわたり
円滑に接触しているので研磨工具に不要な外力を加える
こともない。

【００４２】以上のことから、本発明の研磨工具保持装
置１０においては、被加工物Ｗの被加工面Ｗａが非球面
などの複雑な形状であっても、研磨工具１が支持部３に
対して自在に傾斜して研磨面１ａが前記形状に十分に追
随することができ、さらに、研磨工具は荷重軸回りに自
由な位置を取ることができ、研磨工具の研磨面の圧力分
布を短時間で確実に最も均一な状態にすることができ
る。

【００４３】なお、フッ素樹脂製の滑り部材８は、全周
すべてが支持部３の凹球面３ｂと接触する必要はなく、
空気抜きのために一部を切り欠いてもよい。

【００４４】また、滑り部材の材質は樹脂材料に限定す
るわけではなく、グラファイト、ウルツ鉱型のＢＮ（ボ
ロンナイトライド）の焼結体などの摩耗の少ない固形潤
滑材料でもよい。

【００４５】以上説明したように、上記の実施形態によ
れば、凸球面と凹球面とにより挟まれた空間に、潤滑性
のある滑り部材を挟む構造としたので、この滑り部材の
全周で加工力を分散して伝えることができ、したがっ
て、安定した工具支持が可能となる。またその結果、凸
球面に余分なモーメントが発生しないので、工具保持部
の浮き上がりが発生せず、凸球面の中心点及び凹球面の
中心点は研磨工具の研磨面の中心点と常に一致する。ま
た、工具を高速で揺動しても加工力の作用点は常に研磨
面の中心点に一致する。そのため、研磨時に研磨工具を
揺動方向にピッチング（回転）させようとするモーメン
トが発生しないので被加工面に余分なうねりを生じるこ
とがない。

【００４６】また、潤滑性のある滑り部材は鋼球と異な
り、ダンピング特性に優れているので、高荷重で工具を
保持して揺動させても工具支持部内に不要な振動を発生
させることがない。この結果、高荷重研磨を安定して実
現できる。

【００４７】また、工具保持部の構成を簡単にでき、ま
た鋼球を用いる場合に比べ質量を小さくできるので、高
速での揺動に対して有利となる。

【００４８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
次のような作用効果を奏する。

【００４９】支持部に加えられた加圧力の作用点は、研
磨工具が支持部に対してどのように傾斜していても、常
に研磨工具の研磨面の中心点に位置して研磨工具を揺動
方向に回転させようとするモーメント力（偶力）が発生
しないので、研磨工具の研磨面の圧力分布を常に均一に
することができる。

【００５０】その結果、被加工物の被加工面が、回転楕
円面、楕円筒面、あるいは、子線と母線の曲率半径差が
比較的大きくかつ母線の曲率半径も比較的短いトロイダ
ル面、あるいは高次の次数をもつ回転対称非球面等のよ
うな複雑な形状をしていても、その被加工面を高精度に
均一に研磨加工することができる。

【００５１】さらに、曲率半径の小さな被加工面上にお
いても研磨工具の被加工面への追随のために必要となる
揺動方向への傾動運動（ピッチング回転）が自在である
ので、研磨工具の研磨面の形状が崩れることもなく、高
精度な超平滑な研磨加工が可能となり、汎用性が向上す
る。

【００５２】研磨工具は、軸受け部により支えられてい
るので、荷重軸回りに円滑に回転できる。したがって、
研磨工具が荷重軸回りに自由な位置を取ることができる
ので、研磨工具の製作精度等に起因する研磨面の圧力分
布の不均一性を研磨工具自身の回転により短時間で確実
により均一な状態にすることができる。

【００５３】また、工具面の中心を原点として、工具に
かかる荷重反力の合力Vと摩擦力の合力が工具軸法線と
なす角度（α ）と、同様に工具面の中心を原点として
滑り部材の稜線が工具軸法線となす角度（β ）を比較
してβ がα よりも大きいことが必要である。言い換え
ると、α のなす円錐面よりも下部に滑り部材の稜線が
ある。この配置で工具の保持は安定する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の研磨工具保持装置を示す図であって、
（ａ）は要部断面図であり、（ｂ）は構成概略図であ
る。

【図２】従来の研磨工具保持装置の一例を示す断面図で
ある。

【図３】滑り部材の稜線の位置を示す図である。

【図４】滑り部材の形状を示す斜視図である。

【符号の説明】

１研磨工具１ａ研磨面１ｂ粘弾性体層１ｃ形状追随層１ｄ工具本体２工具保持部２ａ穴部２ｂ凸状部２ｃ段部２ｅ軸受け（ラジアルボールベアリング）３支持部３ｂ凹球面４（４ａ、４ｂ）磁石６可撓性部材（ゴムシール）６ａベローズ部（変形余裕部分）７荷重軸８滑り部材１０研磨工具保持装置

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】研磨工具を保持する工具保持部に設けら
れた凸状部と加工力を加えるための荷重軸に取り付けら
れた支持部に設けられた凹球面とを空間をもって相対向
するように配置した研磨工具保持装置において、前記工具保持部の凸状部に潤滑性のある滑り部材を配設
して、前記工具保持部の凸状部と前記支持部の凹球面は
前記滑り部材を前記空間内に挟むように位置付けられ、
前記滑り部材の外周上部の円弧面の中心軸と前記支持部
の凹球面の中心点は、前記工具保持部に保持される研磨
工具の研磨面の中心点に一致することを特徴とする研磨
工具保持装置。
【請求項２】前記滑り部材が輪帯状のフッ素樹脂等の
合成樹脂材料で構成されていることを特徴とする請求項
１に記載の研磨工具保持装置。
【請求項３】前記工具保持部に研磨工具を前記荷重軸
周りに回転自在に保持するように軸受けを配設したこと
を特徴とする請求項１に記載の研磨工具保持装置。
【請求項４】被研磨物の被研磨面に研磨工具を圧接し
て研磨加工するための研磨装置であって、凹球面形状を有し加工力を受ける工具支持部材内に、前
記研磨工具を保持する工具保持部材を配置し、該工具保
持部材に前記工具支持部材と接触する滑り部材を装着
し、前記工具保持部材と前記工具支持部材とが前記滑り
部材を介して線状に接触するようにしたことを特徴とす
る研磨装置。
【請求項５】前記滑り部材はリング状に形成されてい
ることを特徴とする請求項４に記載の研磨装置。
【請求項６】被研磨物の被研磨面に研磨工具を圧接し
て研磨加工するための研磨装置であって、凹球面形状を有する工具支持部材の前記凹球面形状内に
前記研磨工具を保持する工具保持部材を配置し、前記工
具保持部材と前記工具支持部材との接触部に滑り部材を
設け、前記工具支持部材と前記工具保持部材との間に磁
性力を作用させて前記滑り部材と前記工具支持部材との
線状の接触状態を保持して、前記工具支持部材からの加
工力を前記工具保持部材に伝えることを特徴とする研磨
装置。
【請求項７】被研磨物の被研磨面に研磨工具を圧接して
研磨加工するための研磨装置であって、凹球面形状を有
する工具支持部材の前記凹球面形状内に前記研磨工具を
保持する工具保持部材を配置し、前記工具保持部材と前
記工具支持部材との接触部に滑り部材を設け、前記滑り
部材と前記工具支持部材の前記凹球面形状との線状の接
触状態を保持して、前記工具支持部材からの加工力を前
記工具保持部材に伝えるように構成された研磨装置にお
ける、滑り部材の支点高さ設定方法であって、前記研磨工具の研磨面と前記被研磨面との静摩擦係数Fs
と動摩擦係数Fdを求める工程と、得られた摩擦係数のうちの大きい方の数値Fmaxと研磨荷
重の反力Vを用いて、角度αを、 α = Tan^-1(Fmax/V) の式から求める工程と、前記研磨面と前記研磨工具の中心軸との交点を頂点とし
て前記研磨工具の中心軸から離れる方向に前記角度αだ
け開いた稜線で形成される円錐面と、前記工具支持部材
内の前記凹球面形状との交線よりも下部に前記滑り部材
の稜線を配置するように前記滑り部材の形状を設定する
工程とを具備することを特徴とする滑り部材の支点高さ
設定方法。