JP2001149870A

JP2001149870A - クリーンルーム用掃除機

Info

Publication number: JP2001149870A
Application number: JP34199499A
Authority: JP
Inventors: Hayaaki Fukumoto; 隼明福本; Takako Endo; 孝子遠藤; Miyuki Usukura; 美由紀臼倉; Shigeko Tawara; 誠子田原; Yukio Hayashi; 幸雄林
Original assignee: HIROSE MATAICHI KK; Mitsubishi Materials Silicon Corp
Current assignee: HIROSE MATAICHI KK; Mitsubishi Materials Silicon Corp
Priority date: 1999-12-01
Filing date: 1999-12-01
Publication date: 2001-06-05

Abstract

(57)【要約】【課題】持ち運べて、被清掃物に付着したよごれを拭
き残しを少なく拭き取れるクリーンルーム用掃除機を提
供する。【解決手段】クリーンルームの床などに落ちているご
みの吸引だけでなく、クリーンルームのテーブル２６に
よごれが付着してる場合などには、蛇腹ポンプ２１から
貯液タンク２０内の純水を吸引口１３ａに装着されたワ
イパー材２５に供給して湿らせ、この状態でワイパー材
２５をテーブル２６のよごれた部分に押し当てること
で、よごれがきれに拭き取られる。その結果、テーブル
２６に付いたよごれを、拭き残しが少なく、良好に拭き
取ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明はクリーンルーム用
掃除機、詳しくは、クリーンルームで使用される持ち運
びに便利な携帯用のクリーンルーム用掃除機に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体関連の製造工場には、通常、高度
の防塵機能を備えたクリーンルームがつくられている。
従来、このクリーンルーム用の掃除機として、掃除機本
体内に、空気の流れの順に、集塵バッグと、マイクロフ
ィルタが内蔵されたメインフィルタと、排気フィルタと
を備えたものが知られている。集塵バッグは、粒径が数
十μｍ以上の比較的大きなダストを除去することができ
る袋である。この集塵バッグの一部分には、先端に、ご
みを吸引する吸引口が形成された外部ホースが連結され
ている。メインフィルタは、粒径が数μｍの微小ダスト
を除去することができるフィルタである。また、マイク
ロフィルタは、粒径２μｍ単位の微小ダストを９９．５
％の捕獲効率で除去することができる比較的高性能のフ
ィルタである。このマイクロフィルタの内部には、吸引
用モータを有する吸引装置が内蔵されている。排気フィ
ルタとは、粒径２μｍ未満のきわめて微小なダストを捕
獲することができるフィルタである。吸引装置を作動さ
せると、掃除機本体の内部が負圧化し、吸引口から外部
ホースを通って集塵バッグ内に外気が吸引される。その
後、このバッグに吸引された空気は、メインフィルタを
通って、マイクロフィルタを通過し、吸引装置内に吸引
される。そして、排気フィルタにより最終的な微細ダス
トがフィルタリングされ、それから機外へと排気され
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この従
来のクリーンルーム用掃除機によれば、以下に示すよう
な問題点があった。すなわち、（１）従来のクリーンル
ーム用掃除機は、キャスタが付いた床面を走行するタイ
プの比較的大型の装置であった。このため、例えばクリ
ーンルーム内の狭い場所には、掃除機を持ち込めず、使
用範囲が限られるという問題点があった。（２）また、掃除機を使用中、長尺な外部ホースを床面
に這わせながらごみの吸引が行われるので、外部ホース
に付着したごみやよごれにより床面をよごしたり、その
反対の場合もあった。（３）さらに、一般的な掃除機では、掃除機本体の排気
フィルタより下流部分に形成された排気口が天井方向を
向いているので、フィルタで捕獲しきれなかったきわめ
て微細なダストを、クリーンルームの室内にまき散らし
てしまうおそれがあった。（４）さらにまた、この従来機によれば、クリーンルー
ムに配備された、例えば半導体ウェーハ製造装置（被清
掃物）の表面に付着したよごれなどは、その吸引力をさ
らに高めても、ほとんど取り除くことができなかった。
その結果、掃除機によるごみの吸引作業とは別個に、ク
リーンルーム用のワイパ材により、よごれの拭き取り作
業を行わなければならなかった。この際、例えばこの半
導体ウェーハ製造装置に付着したよごれは、純水に浸し
てからしぼったこのクリーンルーム用のワイパ材などで
拭き取られている。しかしながら、この拭き取り時に発
生する微量の有機物、無機物などの異物が、この半導体
ウェーハ製造装置の表面に付着してしまい、それがあら
たな汚染源になるおそれがあった。

【０００４】

【発明の目的】そこで、この発明は、持ち運びが便利
で、しかも被清掃物に付着したよごれを、拭き残しが少
なく拭き取ることができ、さらにワイパ材を作業者の手
で洗浄液に濡らさなくてもよいクリーンルーム用掃除機
を提供することを、その目的としている。また、この発
明は、ワイパー材の交換が容易なクリーンルーム用掃除
機を提供することを、その目的としている。さらに、こ
の発明は、ごみを捕獲しながら被清掃物のよごれを拭き
取ることができるクリーンルーム用掃除機を提供するこ
とを、その目的としている。さらにまた、この発明は、
微細ダストを捕獲することができるクリーンルーム用掃
除機を提供することを、その目的としている。そして、
この発明は、排気された空気を室内にまき散らしにくい
クリーンルーム用掃除機を提供することを、その目的と
している。それから、この発明は、拭き取りによってよ
ごれの成分とは異なる汚染物質を被清掃物に付着させる
おそれがないクリーンルーム用掃除機を提供すること
を、その目的としている。また、この発明は、ごみを発
見しやすいクリーンルーム用掃除機を提供することを、
その目的としている。

【０００５】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、吸引ノズルの吸引口から吸引されたごみをフィルタ
に導く吸引装置が内蔵された持ち運び可能なクリーンル
ーム用掃除機であって、洗浄液を貯液する貯液タンク
と、この貯液タンク内の洗浄液を吸引ノズルの吸引口に
供給する液供給手段とを備え、上記吸引ノズルの吸引口
には、洗浄液の供給によって湿らされた状態で被清掃物
に付着したよごれを拭き取るワイパー材が装着可能なク
リーンルーム用掃除機である。掃除機は持ち運び可能な
大きさ、形状であれば限定されない。吸引ノズルは、可
撓性を有するものでもよいし、掃除機本体と一体的な剛
体でもよい。

【０００６】使用されるフィルタの素材、ごみ捕獲性
能、使用総数などは限定されない。例えば、従来技術の
欄で説明したようなごみ捕獲性能の小さいものから大き
いものへ順に、メインフィルタ、マイクロフィルタ、排
気フィルタなどを採用することができる。なお、これら
のうち、１種または２種のフィルタだけを利用してもよ
い。高性能のフィルタとしては、例えば請求項３のＵＬ
ＰＡフィルタ，０．３μｍ以上の微細ダストを９９．９
７％以上捕獲することができるＨＥＰＡフィルタなどが
挙げられる。吸引装置とは、汎用されている小型掃除機
用の電動モータなどを採用することができる。その大き
さ、吸引力などは限定されない。洗浄液の種類も限定さ
れない。例えば、純水，各種のアルコール溶液，よごれ
に応じた洗浄剤を含む洗浄液などが挙げられる。貯液タ
ンクの洗浄液の貯液容量、その配備位置などは限定され
ない。ただし、通常は５０〜２００ｃｃが、クリーンル
ーム用掃除機に組み付けられる適量である。洗浄液によ
り除去されるよごれは、例えば各種の有機物などが挙げ
られる。

【０００７】液供給手段の種類は限定されない。例え
ば、手押し式のポンプでもよいし、電動式のポンプなど
でもよい。１回の洗浄液の供給量は、ごみを拭き取るた
めに十分にワイパー材を湿らせる量である５〜５０ｃｃ
が好ましい。吸引ノズルには、清掃に適した各種のアダ
プタノズルを接続することができる。アダプタノズルと
しては、例えばノズルの吸引口の周りにブラシが突設さ
れたものなどが挙げられる。ワイパー材はクリーンルー
ム用であれば限定されない。例えば、天然繊維または合
成繊維からなる不織布、織布などの布帛、合成樹脂製の
スポンジなどが挙げられる。ワイパー材の厚さも限定さ
れない。ただし、通常は１００〜５００μｍである。こ
のワイパー材は、例えば吸引口に一体的に固着されてい
てもよい。また、吸引口に取り付け自在に設けられてい
てもよい。このような交換タイプの場合には、請求項２
のように拭き取り用のアダプタノズルを使用してもよ
い。

【０００８】請求項２に記載の発明は、上記吸引ノズル
には、被清掃物への押し当て面に洗浄液を供給する液出
孔が形成された拭き取り用のアダプタノズルが着脱自在
に取り付けられ、上記被清掃物への押し当て面に、上記
ワイパー材が交換自在に装着されている請求項１に記載
のクリーンルーム用掃除機である。液出孔の形成個数、
孔径などは限定されない。ワイパー材をアダプタノズル
に交換自在に取り付けるものとして、例えば、面状ファ
スナ，ワイパー材を掛止するフックなどが挙げられる。

【０００９】請求項３に記載の発明は、上記ワイパー材
が、上記吸引口を開口させた状態で吸引ノズルに装着さ
れている請求項２に記載のクリーンルーム用掃除機であ
る。

【００１０】請求項４に記載の発明は、上記フィルタ
が、微細ダストを捕獲するＵＬＰＡフィルタである請求
項１〜請求項３のうちのいずれか１項に記載のクリーン
ルーム用掃除機である。ここでいうＵＬＰＡフィルタと
は、粒径０．１μｍ単位の微細ダストを９９．９９９〜
９９．９９９９９％捕獲することができるフィルタであ
る。

【００１１】請求項５に記載の発明は、上記フィルタよ
り下流に設けられた排気口に、フィルタリング後の空気
を床近くに排気する排気ホースが連結された請求項１〜
請求項４のうちのいずれか１項に記載のクリーンルーム
用掃除機である。排気ホースの素材は、各種の合成樹脂
製のホースが挙げられる。排気ホースの長さも限定され
ない。

【００１２】請求項６に記載の発明は、上記洗浄液が純
水である請求項１〜請求項５のうちのいずれか１項に記
載のクリーンルーム用掃除機である。

【００１３】請求項７に記載の発明は、照射した紫外線
によりごみを紫色に発光させる紫外線ランプを有する請
求項１〜請求項６のうちのいずれか１項に記載のクリー
ンルーム用掃除機である。この紫外線ランプのクリーン
ルーム用掃除機上の取り付け位置は限定されない。例え
ば、吸引ノズルの任意位置でもよいし、貯液タンクおよ
びその周辺でもよい。

【００１４】

【作用】この発明によれば、ごみの吸引だけでなく、被
清掃物によごれが付着してる場合などには、液供給手段
から貯液タンク内の洗浄液を吸引口に装着されたワイパ
ー材に供給し、このワイパー材を湿らせた状態で、被清
掃物のよごれた部分に押し当てることでよごれを拭き取
る。これにより、被清掃物に付着したよごれを、拭き残
しが少なく、良好に拭き取ることができる。また、持ち
運びができる程度に小型かつ軽量であるので、クリーン
ルームのうち、せまくなったコーナーの部分も比較的容
易に清掃することができる。

【００１５】また、請求項２の発明によれば、よごれを
拭き取る場合に、吸引ノズルに拭き取り用のアダプタノ
ズルを取り付け、その後、洗浄液をこのアダプタノズル
に供給することで、その洗浄液は液出孔を通してワイパ
ー材に吸着される。このように、拭き取り用のアダプタ
ノズルの着脱操作だけで、クリーンルーム用掃除機を、
通常のごみの吸引用と、よごれの拭き取り用とに簡単に
切り換えることができる。また、ワイパー材がよごれた
場合には、これをアダプタノズルから取り外し、新しい
ワイパー材に交換すればよい。

【００１６】さらに、請求項３の発明によれば、吸引口
を閉止せずにワイパー材を吸引ノズルに装着させるの
で、ごみを捕獲しながら被清掃物のよごれを拭き取るこ
とができる。

【００１７】さらにまた、請求項４の発明によれば、フ
ィルタにＵＬＰＡフィルタを使用すれば、微細ダストを
捕獲することができ、これによりクリーンルームなどの
清掃などにも使用することができる。

【００１８】そして、請求項５の発明によれば、フィル
タリング後の空気は、排気口に連結された排気ホースを
通して床近くに排気されるので、この排気された空気が
室内にまき散らされない。なお、この排気ホースの先端
部は、単に床近くに垂らしておいてもよいし、例えば集
中配管がある場合には、これに接続するようにしてもよ
い。

【００１９】そして、請求項６の発明によれば、洗浄液
に純水を使用するので、拭き取りによってよごれの成分
とは異なる汚染物質を被清掃物に付着させるおそれがな
い。このため、このような微量の異物をきらうクリーン
ルームの清掃用として適している。

【００２０】また、請求項７の発明によれば、紫外線ラ
ンプから清掃しようとする範囲に紫外線を照射すること
によって、その照射された範囲にあるごみが紫色に発光
する。したがって、作業者は、発光したごみを視認し
て、効率良く清掃することができる。また、清掃後も、
ごみが残っていないかどうかを簡単に確認することがで
きる。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施例に係る
クリーンルーム用掃除機を説明する。図１は、この発明
の一実施例に係るクリーンルーム用掃除機の斜視図であ
る。図２は、この発明の一実施例に係るクリーンルーム
用掃除機に着脱自在な拭き取り用のアダプタノズルの一
部断面図を示す拡大正面図である。図３は、この発明の
一実施例に係るクリーンルーム用掃除機に着脱自在な他
のアダプタノズルの拡大断面図である。

【００２２】図１において、１０はこの発明の一実施例
に係るクリーンルーム清掃用のクリーンルーム用掃除機
であり、このクリーンルーム用掃除機１０は、手持ちで
きるくらいの大きさと重さの掃除機本体１１を有してい
る。この掃除機本体１１の中央部には握り穴１１ａが設
けられている。この握り穴１１ａを設けることで、把手
１２が形成される。また、掃除機本体１１の先端部に
は、徐々に先細り化しながら下方へ湾曲した吸引ノズル
１３が一体形成されている。この吸引ノズル１３の下向
きの吸引口１３ａには、ブラシ付きのアダプタノズル１
４が着脱自在に設けられている。このアダプタノズル１
４は、円筒形状のアダプタ本体１４ａの下縁に、ブラシ
１４ｂが周設されたものである。

【００２３】一方、掃除機本体１１の下部には、空気が
流れる上流から下流に向かって、粒径が数十μｍ以上の
比較的大きなダストを除去する集塵バッグ１５と、粒径
が数μｍの微小ダストを除去するメインフィルタ１６
と、図示しない吸引装置が内蔵され、しかも粒径２μｍ
単位の微小ダストを９９．５％の捕獲効率で除去するこ
とができるマイクロフィルタ１７と、粒径０．１μｍ単
位の微細ダストを９９．９９９〜９９．９９９９９％捕
獲するＵＬＰＡフィルタである排気フィルタ１８とが配
設されている。なお、吸引口１３ａと集塵バッグ１５と
は、ごみ吸引路５０を介して連通されている。さらに、
この排気フィルタ１８より下流の部分には排気口１１ｂ
が形成され、この排気口１１ｂにフィルタリングされた
後の空気を床近くに排気する排気ホース１９が連結され
ている。さらにまた、掃除機本体１１の後部には、洗浄
液の一例である純水が貯液された貯液タンク２０が一体
形成されている。この貯液タンク１９の上部には、手押
し式の蛇腹ポンプ（液供給手段）２１が組み付けられて
いる。この蛇腹ポンプ２１を所定回数手押しすること
で、吸引ノズル１３内に配管された給水チューブ２２を
通して、この貯液タンク１９内の純水が吸引口１３ａに
所定量圧送される。なお、この手押し式の蛇腹ポンプ２
１に代えて、スイッチ操作される小型の電動ポンプ（図
示せず）によって、貯液タンク２０内の純水を所定量
（５〜５０ｃｃ）だけ供給できるものを採用してもよ
い。

【００２４】ここで、図１中には、ブラシ付きのアダプ
タノズル１４と交換されて、吸引口１３ａに取り付けら
れる拭き取り用のアダプタノズル２３が示されている
（図２も参照）。この拭き取り用のアダプタノズル２３
とは、筒状のアダプタ本体２３ａを有していて、このア
ダプタ本体２３ａの底板に多数の液出孔２３ｂが穿設さ
れている。また、このアダプタ本体２３ａの外周面に
は、所定ピッチで複数の面ファスナ２４が配設されてい
る。これらの面ファスナ２４を介して、ポリエステル系
の不織布からなる厚さ数百μｍのワイパー材２５が、ア
ダプタ本体２３ａを外方からつつむように着脱自在に装
着されている。なお、図１において、Ｓはクリーンルー
ム用掃除機の作動スイッチ、２１ａは蛇腹ポンプ２１に
取り付けられた一方向弁である。また、図２において、
ａは半導体ウェーハ製造装置に付着した有機物のよご
れ、２６はクリーンルーム内のテーブルである。

【００２５】次に、この一実施例に係るクリーンルーム
用掃除機１０の使用方法を説明する。図１に示すよう
に、クリーンルームのごみを除去する場合には、作業者
が把手１２を握り、スイッチＳを入れることで図外の吸
引装置が作動し、掃除機本体１１の内部が負圧化する。
この状態を維持して、ブラシ付きのアダプタノズル１４
を例えばテーブル２６上に溜まったごみに近づけていく
と、ブラシ１４ｂによりごみを掃きながら、その際に、
浮き上がったごみを空気といっしょに吸引口１３ａから
吸いこむ。その後、吸引口１３ａから吸い込んだごみ
は、吸引ノズル１３のごみ吸引路５０を通って集塵バッ
グ１５内に吸引される。そして、このバッグ１５に吸引
された空気は、メインフィルタ１６を通って、小型の電
動モータＭが収納されたマイクロフィルタ１７を通過
し、図示しない吸引装置内に吸引される。これから、排
気フィルタ１８により最終的に微細ダストがフィルタリ
ングされ、排気口１１ｂから排気ホース１９を経て床面
近くへと排気される。なお、この電動モータＭは、図外
の充電式のバッテリに蓄えられた電力、または、図外の
電源コードを介して導入された外部電力を任意に切り換
えて駆動できるようになっている。

【００２６】一方、テーブル２６に有機物のよごれａが
付着してる場合には、吸引口１３ａからブラシ付きのア
ダプタノズル１４を外し、これに代え、拭き取り用のア
ダプタノズル２３を取り付ける。それから、蛇腹ポンプ
２１を所定回数だけ押して、貯液タンク２０内の純水を
少量だけ、給水チューブ２２を通して、拭き取り用のア
ダプタノズル２３の内部に注入する。注入された純水
は、多数の液出孔２３ｂを通して、アダプタ本体２３ａ
に装着されたワイパー材２５に供給される。これによ
り、ワイパー材２５が適度に湿る。よって、従来のよう
に、作業者がクリーンルーム用のワイパー材を純水につ
け、その後、これをしぼるといったわずらわしい作業が
解消される。続いて、この湿ったワイパー材２５を、例
えばテーブル（被清掃物）の表面上に付着した有機物の
よごれａにこすりつけて、よごれａを拭き取る。このよ
うに、よごれａを拭き取る場合には、あらかじめワイパ
ー材２５を湿らせるようにしたので、テーブルに付着し
たよごれａを、拭き残しが少なく、良好に拭き取ること
ができる。ワイパー材２５がよごれた場合には、このワ
イパー材２５を面状ファスナ２４から取り外して、新し
いワイパー材２５に交換すればよい。

【００２７】また、ブラシ付きのアダプタノズル１４を
拭き取り用のアダプタノズル２３に交換するだけで、ク
リーンルーム用掃除機１０を、通常のごみの吸引専用
と、よごれａの拭き取り専用とに簡単に切り換えること
ができる。さらに、図３に示すような、ごみの吸引と拭
き取りとを同時に行なえる兼用タイプのアダプタノズル
３０にも切り換えることができる。すなわち、この兼用
タイプのアダプタノズル３０は、図３に示すように、ア
ダプタ本体３０ａの内部に環状の空洞３１を形成し、こ
の空洞３１に吸引口１３ａから純水が注入させるように
なっている。注入された純水は、液出孔２３ｂからワイ
パー材２５に供給されるようになっている。このワイパ
ー材２５は、図外の面ファスナなどにより、吸い込み口
３０ｂを塞がない状態を維持して、アダプタ本体３０ａ
の内，外周面に着脱自在に着脱自在に展張されている。
これにより、ごみを捕獲しながらよごれを拭き取ること
ができる。

【００２８】このように、排気フィルタ１８としてＵＬ
ＰＡフィルタを採用したので、粒径０．１μｍ単位の微
細ダストを９９．９９９〜９９．９９９９９％捕獲する
ことができる。これにより、クリーンルーム用掃除機１
０をクリーンルーム用の掃除機とすることができる。さ
らにまた、排気口１１ｂに排気ホース１９を連結して、
フィルタリングされた後の空気を床近くに排気するよう
にしたので、捕獲できなかったきわめて微細なダスト
を、クリーンルーム内にまき散らすおそれが少ない。ま
た、洗浄液として純水を採用したので、拭き取りによっ
てよごれａの成分とは異なる汚染物質をテーブル２６の
表面に付着させるおそれが少ない。

【００２９】そして、このクリーンルーム用掃除機１０
は、持ち運びができる程度に小型かつ軽量であるので、
クリーンルームのうち、せまい隅の部分でも比較的簡単
に清掃することができる。なお、この掃除機本体１１
（例えば吸引ノズル１３の先端部など）に、図示しない
紫外線ランプを取り付けるようにすれば、クリーンルー
ムの清掃しようとする範囲に紫外線を照射することによ
って、この範囲内にあるごみを紫色に発光させて、作業
者がごみを発見しやすくすることができる。これによ
り、作業者は、発光したごみを視認しながら効率良く清
掃することができる。また清掃後にも、清掃した範囲に
紫外線を再照射することで、クリーンルーム内にごみの
取り残しがないかどうかを簡単に確認することができ
る。

【００３０】

【発明の効果】この発明によれば、ごみの吸引だけでな
く、液供給手段により供給された洗浄液によりワイパー
材を湿らせ、この湿ったワイパー材を押し付けて被清掃
物のよごれを拭き取れるようにしたので、拭き残しが少
なく、よごれを拭き取ることができる。また、作業者の
手作業でワイパ材を洗浄液に濡らさなくてもよい。

【００３１】また、請求項２の発明によれば、拭き取り
用のアダプタノズルの着脱操作により、クリーンルーム
用掃除機を、通常のごみの吸引用と、よごれの拭き取り
用とに簡単に切り換えることができる。ワイパー材を交
換する際には、適時、ワイパー材をアダプタノズルから
取り外して新規なワイパー材に交換することができる。

【００３２】さらに、請求項３の発明によれば、吸引口
を開口させた状態でワイパー材が吸引ノズルに装着され
るようにしたので、ごみを捕獲しながら被清掃物のよご
れを拭き取ることができる。

【００３３】さらに、請求項４の発明によれば、フィル
タにＵＬＰＡフィルタを採用するようにしたので、微細
ダストをも捕獲することができる。

【００３４】さらにまた、請求項５の発明によれば、排
気口に排気ホースを連結することで、このフィルタリン
グされた後の空気を、室内にまき散らしにくい。

【００３５】そして、請求項６の発明によれば、洗浄液
に純水を採用することで、拭き取り時によごれの成分と
は異なる汚染物質を被清掃物に新たに付着させるおそれ
が少ない。

【００３６】また、請求項７の発明によれば、ごみを紫
色に発光させる紫外線ランプを設けたので、ごみを視認
しながら効率良く清掃することができる。しかも、清掃
後もごみの取り残しがないかどうか、簡単に確認するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例に係るクリーンルーム用掃
除機の斜視図である。

【図２】この発明の一実施例に係るクリーンルーム用掃
除機に着脱自在な拭き取り用のアダプタノズルの一部断
面図を示す拡大正面図である。

【図３】この発明の一実施例に係るクリーンルーム用掃
除機に着脱自在な他のアダプタノズルの拡大断面図であ
る。

【符号の説明】

１０クリーンルーム用掃除機、１１ｂ排気口、１３吸引ノズル、１３ａ吸引口、１４，２３，３０アダプタノズル、１５集塵バッグ（フィルタ）、１６メインフィルタ、１７マイクロフィルタ、１８排気フィルタ、１９排気ホース、２０貯液タンク、２１蛇腹ポンプ（液供給手段）、２３ｂ液出孔、２５ワイパー材、２６テーブル（被清掃物）、ａよごれ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者遠藤孝子東京都千代田区大手町１丁目５番１号三菱マテリアルシリコン株式会社内 (72)発明者臼倉美由紀東京都千代田区大手町１丁目５番１号三菱マテリアルシリコン株式会社内 (72)発明者田原誠子東京都千代田区大手町１丁目５番１号三菱マテリアルシリコン株式会社内 (72)発明者林幸雄大阪市中央区瓦町２丁目４番10号廣瀬又一株式会社内Ｆターム(参考） 3B116 AA31 AB52 BA02 BA08 BA22 BB72 BB75 BB81 CD22

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】吸引ノズルの吸引口から吸引されたごみ
をフィルタに導く吸引装置が内蔵された持ち運び可能な
クリーンルーム用掃除機であって、洗浄液を貯液する貯液タンクと、この貯液タンク内の洗浄液を吸引ノズルの吸引口に供給
する液供給手段とを備え、上記吸引ノズルの吸引口には、洗浄液の供給によって湿
らされた状態で被清掃物に付着したよごれを拭き取るワ
イパー材が装着可能なクリーンルーム用掃除機。
【請求項２】上記吸引ノズルには、被清掃物への押し
当て面に洗浄液を供給する液出孔が形成された拭き取り
用のアダプタノズルが着脱自在に取り付けられ、上記被
清掃物への押し当て面に、上記ワイパー材が交換自在に
装着されている請求項１に記載のクリーンルーム用掃除
機。
【請求項３】上記ワイパー材が、上記吸引口を開口さ
せた状態で吸引ノズルに装着されている請求項２に記載
のクリーンルーム用掃除機。
【請求項４】上記フィルタが、微細ダストを捕獲する
ＵＬＰＡフィルタである請求項１〜請求項３のうちのい
ずれか１項に記載のクリーンルーム用掃除機。
【請求項５】上記フィルタより下流に設けられた排気
口に、フィルタリング後の空気を床近くに排気する排気
ホースが連結された請求項１〜請求項４のうちのいずれ
か１項に記載のクリーンルーム用掃除機。
【請求項６】上記洗浄液が純水である請求項１〜請求
項５のうちのいずれか１項に記載のクリーンルーム用掃
除機。
【請求項７】照射した紫外線によりごみを紫色に発光
させる紫外線ランプを有する請求項１〜請求項６のうち
のいずれか１項に記載のクリーンルーム用掃除機。