JP2001147255A - 自動テスト装置で、集積回路をテストする方法 - Google Patents
自動テスト装置で、集積回路をテストする方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 自動テスト装置12を使用して、集積回路1
0をテストする方法を提供すること。 【解決手段】 入力ピンおよび対応する出力ピンに用
の、各一連のタイミングまたはタイムプレートは、自動
テスト装置中のタイミング発生器によって制御され、タ
イムプレートの数nが、タイミング発生器の数mよりも
多いときに、テストは、いくつかのステップで実現さ
れ、タイミング発生器は、第2のステップまたはそれよ
り後のステップの間に他のタイムプレートを実施するた
めに再使用される。テスト時間を最小限にするために、
第2のステップで再使用されるタイミング発生器は、第
1のステップの間に実施されるタイムプレートから第2
のステップに対して実施されるタイムプレートへのプロ
グラミング変更を最小限の回数だけ課す。
0をテストする方法を提供すること。 【解決手段】 入力ピンおよび対応する出力ピンに用
の、各一連のタイミングまたはタイムプレートは、自動
テスト装置中のタイミング発生器によって制御され、タ
イムプレートの数nが、タイミング発生器の数mよりも
多いときに、テストは、いくつかのステップで実現さ
れ、タイミング発生器は、第2のステップまたはそれよ
り後のステップの間に他のタイムプレートを実施するた
めに再使用される。テスト時間を最小限にするために、
第2のステップで再使用されるタイミング発生器は、第
1のステップの間に実施されるタイムプレートから第2
のステップに対して実施されるタイムプレートへのプロ
グラミング変更を最小限の回数だけ課す。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、自動テスト装置で
集積回路をテストする方法に関する。
集積回路をテストする方法に関する。
【0002】
【従来の技術】集積回路(IC)は一般に、通常数十万
よりも多い、多数の電子構成要素を含む。このような回
路の設計および製造が非常に複雑な操作であるため、こ
の設計および製造用の自動ツールが利用可能である。例
えば、所望の集積回路の概略図を確立するためにソフト
ウェア設計ツールが利用可能であり、製造前に回路の動
作をチェックするためにシミュレーションソフトウェア
(またはシミュレータ)もまた利用される。
よりも多い、多数の電子構成要素を含む。このような回
路の設計および製造が非常に複雑な操作であるため、こ
の設計および製造用の自動ツールが利用可能である。例
えば、所望の集積回路の概略図を確立するためにソフト
ウェア設計ツールが利用可能であり、製造前に回路の動
作をチェックするためにシミュレーションソフトウェア
(またはシミュレータ)もまた利用される。
【0003】製造後は、集積回路の動作およびあり得る
欠陥をテストするために自動テスト装置(ATE)が利
用可能である。テストは、入力ピンにテスト信号を加え
ること、および出力ピンで得られた対応する信号を測定
して、それらが期待値を有するか否かをチェックするこ
とにある。より正確には、所与の時間に、信号(または
値)の集合が入力ピンに加えられ、いくらかの遅延の
後、例えば30ナノ秒(ns)後に、新しい値の集合が
入力ピンに加えられるなどである。信号および遅延のタ
イミングは、行われるテストに応じて変化する。
欠陥をテストするために自動テスト装置(ATE)が利
用可能である。テストは、入力ピンにテスト信号を加え
ること、および出力ピンで得られた対応する信号を測定
して、それらが期待値を有するか否かをチェックするこ
とにある。より正確には、所与の時間に、信号(または
値)の集合が入力ピンに加えられ、いくらかの遅延の
後、例えば30ナノ秒(ns)後に、新しい値の集合が
入力ピンに加えられるなどである。信号および遅延のタ
イミングは、行われるテストに応じて変化する。
【0004】所与の時間における入力ピン上の値の集合
は、ベクトルとして示され、時間における一連のベクト
ルは、テストパターンと呼ばれる。
は、ベクトルとして示され、時間における一連のベクト
ルは、テストパターンと呼ばれる。
【0005】テストパターンは、回路の設計中に、シミ
ュレータまたは自動テストパターンジェネレータの助け
によって確立される。
ュレータまたは自動テストパターンジェネレータの助け
によって確立される。
【0006】1つの入力に加えられる、あるいは1つの
出力で検出される1つの信号のタイミングを、ここでは
「タイムプレート」と呼ぶ。言い換えれば、タイムプレ
ートは、信号変化が起こる一連の時間である。例えば、
タイムプレートは、100nsの期間に対して0ns、
10ns、50nsである。
出力で検出される1つの信号のタイミングを、ここでは
「タイムプレート」と呼ぶ。言い換えれば、タイムプレ
ートは、信号変化が起こる一連の時間である。例えば、
タイムプレートは、100nsの期間に対して0ns、
10ns、50nsである。
【0007】一般にテストパターンは、通常40〜10
0個の、多数のタイムプレートを含む。各タイムプレー
トは、自動テスト装置内部の物理的な装置であるタイミ
ング発生器(タイムセットと呼ばれることもある)によ
って制御される。各タイミング発生器はまた、信号の値
も制御する。
0個の、多数のタイムプレートを含む。各タイムプレー
トは、自動テスト装置内部の物理的な装置であるタイミ
ング発生器(タイムセットと呼ばれることもある)によ
って制御される。各タイミング発生器はまた、信号の値
も制御する。
【0008】しかし、この自動テスト装置は、限られた
数のタイミング発生器を有する。通常、テストプログラ
ムまたはテストパターンによって使用されるタイムプレ
ートの数は、自動テスト装置中で使用可能なタイミング
発生器の数を超える。この矛盾にうまく対処するため
に、ATEは、いくつかのステップで動作するようにプ
ログラムされる。第1のステップで、ATEは、すべて
の使用可能なタイミング発生器を使用し、次のステッ
プ、または次のいくつかのステップで、テスト中の集積
回路のテストプログラムによって必要とされるすべての
タイムプレートを実施するために、タイミング発生器は
再使用される。
数のタイミング発生器を有する。通常、テストプログラ
ムまたはテストパターンによって使用されるタイムプレ
ートの数は、自動テスト装置中で使用可能なタイミング
発生器の数を超える。この矛盾にうまく対処するため
に、ATEは、いくつかのステップで動作するようにプ
ログラムされる。第1のステップで、ATEは、すべて
の使用可能なタイミング発生器を使用し、次のステッ
プ、または次のいくつかのステップで、テスト中の集積
回路のテストプログラムによって必要とされるすべての
タイムプレートを実施するために、タイミング発生器は
再使用される。
【0009】タイミング発生器を再使用することは、タ
イムプレートのタイミングおよび新しい信号の値に対応
するように、それを再プログラムすることを意味する。
イムプレートのタイミングおよび新しい信号の値に対応
するように、それを再プログラムすることを意味する。
【0010】例えば、ATEが16個のタイミング発生
器を有し、テストプログラムが40個の異なるタイムプ
レートを必要とする場合、第1のステップで、16個の
タイムプレートが16個の使用可能なタイミング発生器
上で実施され、中間ステップで、この16個のタイミン
グ発生器が再プログラムされて、テストプログラムの第
2のステップで使用される他の16個のタイムプレート
が実施され、その後、次の中間ステップで、8個のタイ
ミング発生器が再プログラムされて、テストプログラム
またはテストパターンの最終ステップの間に起動するこ
とになる残りの8個のタイムプレートが実施される。
器を有し、テストプログラムが40個の異なるタイムプ
レートを必要とする場合、第1のステップで、16個の
タイムプレートが16個の使用可能なタイミング発生器
上で実施され、中間ステップで、この16個のタイミン
グ発生器が再プログラムされて、テストプログラムの第
2のステップで使用される他の16個のタイムプレート
が実施され、その後、次の中間ステップで、8個のタイ
ミング発生器が再プログラムされて、テストプログラム
またはテストパターンの最終ステップの間に起動するこ
とになる残りの8個のタイムプレートが実施される。
【0011】本発明は、テスト時間が、ATE中でタイ
ミング発生器が再プログラムされる方式によって決まる
という認識から始まる。ATEが16個の使用可能なタ
イミング発生器を有し、テストプログラムのタイムプレ
ートの数が40個である上の例では、タイミング発生器
とタイムプレートの間の可能なマッピングの数は、n=
40タイムプレート間におけるm=16タイミング発生
器の可能な組合せの数であり、すなわちnCmである。
この数40C16は、600億よりも多い。考えられる
組合せのそれぞれは、異なるテスト時間を必要とする。
組合せの選択にいくつかの制約があるため、考えられる
実際の数は、通常、nCmよりも少ない。例えば、いく
つかのテストは、他のテストの前に行わなければならな
い。しかし、これらの制約にもかかわらず、考えられる
組合せの数は非常に大きい。
ミング発生器が再プログラムされる方式によって決まる
という認識から始まる。ATEが16個の使用可能なタ
イミング発生器を有し、テストプログラムのタイムプレ
ートの数が40個である上の例では、タイミング発生器
とタイムプレートの間の可能なマッピングの数は、n=
40タイムプレート間におけるm=16タイミング発生
器の可能な組合せの数であり、すなわちnCmである。
この数40C16は、600億よりも多い。考えられる
組合せのそれぞれは、異なるテスト時間を必要とする。
組合せの選択にいくつかの制約があるため、考えられる
実際の数は、通常、nCmよりも少ない。例えば、いく
つかのテストは、他のテストの前に行わなければならな
い。しかし、これらの制約にもかかわらず、考えられる
組合せの数は非常に大きい。
【0012】知られている技術によれば、組合せの選択
は「手動で」実現される。すなわち、プログラマの理解
に任される。テスト時間は、選択された組合せに応じて
大きな割合で異なる場合があることが発明者によって確
認されている。
は「手動で」実現される。すなわち、プログラマの理解
に任される。テスト時間は、選択された組合せに応じて
大きな割合で異なる場合があることが発明者によって確
認されている。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】したがって本発明は、
テスト時間を最小限にするタイミング発生器の再使用方
法を提供する。従来技術が、この問題に対処しておら
ず、かつ、この理由で、タイミング発生器の数がタイム
プレートの数を下回る場合に、テスト時間を最小限にす
る方法を何も提供していないことに留意されたい。
テスト時間を最小限にするタイミング発生器の再使用方
法を提供する。従来技術が、この問題に対処しておら
ず、かつ、この理由で、タイミング発生器の数がタイム
プレートの数を下回る場合に、テスト時間を最小限にす
る方法を何も提供していないことに留意されたい。
【0014】
【課題を解決するための手段】本発明は、自動テスト装
置を使用して集積回路をテストする方法に関し、テスト
は、所定のタイミングで各入力ピンに信号を加えるこ
と、および所定のタイミングで出力ピンにおける出力信
号を検出することにある。入力ピンおよび対応する出力
ピン用の、各一連のタイミングまたはタイムプレート
は、自動テスト装置中のタイミング発生器によって制御
され、タイムプレートの数nがタイミング発生器の数m
を上回るときに、テストは、いくつかのステップで実現
され、タイミング発生器は、第2のまたはそれより後の
ステップの間に、他のタイムプレートを実施するために
再使用される。これは、第2のステップの間に再使用さ
れるタイミング発生器が、テスト時間を最小限にするた
めに、第1のステップの間に実施されるタイムプレート
から第2のステップに対して実施されるタイムプレート
へのプログラミング変更を最小限の回数だけ課すタイミ
ング発生器であることを特徴とする。
置を使用して集積回路をテストする方法に関し、テスト
は、所定のタイミングで各入力ピンに信号を加えるこ
と、および所定のタイミングで出力ピンにおける出力信
号を検出することにある。入力ピンおよび対応する出力
ピン用の、各一連のタイミングまたはタイムプレート
は、自動テスト装置中のタイミング発生器によって制御
され、タイムプレートの数nがタイミング発生器の数m
を上回るときに、テストは、いくつかのステップで実現
され、タイミング発生器は、第2のまたはそれより後の
ステップの間に、他のタイムプレートを実施するために
再使用される。これは、第2のステップの間に再使用さ
れるタイミング発生器が、テスト時間を最小限にするた
めに、第1のステップの間に実施されるタイムプレート
から第2のステップに対して実施されるタイムプレート
へのプログラミング変更を最小限の回数だけ課すタイミ
ング発生器であることを特徴とする。
【0015】再プログラミング変更は、タイミングの変
更および/または形式の変更である。例えば、あるタイ
ミング発生器が、例えば0、20、50nsのタイミン
グのタイムプレート用にプログラムされており、テスト
の第1のステップの間に実施されていない同じタイミン
グを有する別のタイムプレートがある場合、このタイミ
ング発生器は、同じタイムプレートで再使用されること
になり、再プログラムのための時間は必要とされないこ
とになる。同じタイミングのタイムプレートは他にない
が、その代わりに、例えば0、20、70nsのタイム
プレートおよび別の0、30、70nsのタイムプレー
トがある場合、1番目のタイムプレートが選択されるこ
とになる。というのは、それは、2番目の場合に2つの
時間パラメータの変更(20から30へ、および50か
ら70へ)が必要なのに対し、1つの時間パラメータの
変更(50から70nsへ)だけしか必要としないから
である。
更および/または形式の変更である。例えば、あるタイ
ミング発生器が、例えば0、20、50nsのタイミン
グのタイムプレート用にプログラムされており、テスト
の第1のステップの間に実施されていない同じタイミン
グを有する別のタイムプレートがある場合、このタイミ
ング発生器は、同じタイムプレートで再使用されること
になり、再プログラムのための時間は必要とされないこ
とになる。同じタイミングのタイムプレートは他にない
が、その代わりに、例えば0、20、70nsのタイム
プレートおよび別の0、30、70nsのタイムプレー
トがある場合、1番目のタイムプレートが選択されるこ
とになる。というのは、それは、2番目の場合に2つの
時間パラメータの変更(20から30へ、および50か
ら70へ)が必要なのに対し、1つの時間パラメータの
変更(50から70nsへ)だけしか必要としないから
である。
【0016】事実、変更される時間パラメータおよび信
号パラメータの数が少なくなるほど、変更のための時間
は短くなり、したがってテスト時間は短くなることが確
認されている。
号パラメータの数が少なくなるほど、変更のための時間
は短くなり、したがってテスト時間は短くなることが確
認されている。
【0017】この方法を使用すれば、テスト時間は、
「手動で」すなわちプログラマの理解に任せて実現され
るタイミング発生器へのタイムプレートのマッピングに
よって得られるテスト時間に対し、約20%削減するこ
とができる。
「手動で」すなわちプログラマの理解に任せて実現され
るタイミング発生器へのタイムプレートのマッピングに
よって得られるテスト時間に対し、約20%削減するこ
とができる。
【0018】再プログラムすべきタイミング発生器を選
択するために数えられる変更の回数は、タイミング変更
と形式変更の加算であることが好ましい。
択するために数えられる変更の回数は、タイミング変更
と形式変更の加算であることが好ましい。
【0019】本発明によるテスト方法は、自動テスト装
置を制御するコンピュータプログラムの形で実現される
ことが好ましい。このコンピュータプログラムは、以下
の方法によって自動的に作成することができる。
置を制御するコンピュータプログラムの形で実現される
ことが好ましい。このコンピュータプログラムは、以下
の方法によって自動的に作成することができる。
【0020】考えられるタイムプレートの対ごとに、一
方のタイムプレートを他方のタイムプレートに変換する
ために実施される変更の回数が決定され、あるステップ
から次のステップに再使用されることになるタイミング
発生器とこれらのタイミング発生器中で実施されること
になるタイムプレートとは、前記あるステップの間に使
用されるタイムプレートを次のステップの間に使用され
るタイムプレートに変換するための変更の回数が最小限
になるようなものである。
方のタイムプレートを他方のタイムプレートに変換する
ために実施される変更の回数が決定され、あるステップ
から次のステップに再使用されることになるタイミング
発生器とこれらのタイミング発生器中で実施されること
になるタイムプレートとは、前記あるステップの間に使
用されるタイムプレートを次のステップの間に使用され
るタイムプレートに変換するための変更の回数が最小限
になるようなものである。
【0021】すべての対に対する前記変更の回数は、連
続して使用されるためにメモリに保持されることが好ま
しい。
続して使用されるためにメモリに保持されることが好ま
しい。
【0022】タイムプレートの対は、行と列が、同一で
ありタイムプレートに対応する、対称行列の形をとるこ
とができる。
ありタイムプレートに対応する、対称行列の形をとるこ
とができる。
【0023】テストプログラムを自動的に決定するこの
方法が、従来の経験的方法よりもずっと速いことは、理
解されるであろう。
方法が、従来の経験的方法よりもずっと速いことは、理
解されるであろう。
【0024】本発明はまた、本明細書で上に述べたテス
トステップを含む集積回路を製造する方法にも関する。
トステップを含む集積回路を製造する方法にも関する。
【0025】本発明はまた、集積回路用の自動テスト装
置に関し、この自動テスト装置は、所定のタイミングで
回路の各入力ピンに信号を加える手段と、所定のタイミ
ングで出力ピンにおける出力信号を検出する手段と、そ
れぞれの機能が、入力ピンおよび対応する出力ピン用
の、各一連のタイミングまたはタイムプレートを制御す
るタイミング発生器と、タイムプレートの数nが、タイ
ミング発生器の数mを上回るときに、いくつかのステッ
プで、テストを実現する手段であって、第2のステップ
またはそれより後のステップで、他のタイムプレートを
実施するためにタイミング発生器を再使用する手段とを
含む、テストを実現する手段とを含む。この装置は、タ
イミング発生器を再使用する手段が、テスト時間を最小
限にするために、第1のステップの間に実施されるタイ
ムプレートから第2のステップに対して実施されるタイ
ムプレートへのプログラミング変更を最小限の回数だけ
課すタイミング発生器を決定する手段を含むことを特徴
とする。
置に関し、この自動テスト装置は、所定のタイミングで
回路の各入力ピンに信号を加える手段と、所定のタイミ
ングで出力ピンにおける出力信号を検出する手段と、そ
れぞれの機能が、入力ピンおよび対応する出力ピン用
の、各一連のタイミングまたはタイムプレートを制御す
るタイミング発生器と、タイムプレートの数nが、タイ
ミング発生器の数mを上回るときに、いくつかのステッ
プで、テストを実現する手段であって、第2のステップ
またはそれより後のステップで、他のタイムプレートを
実施するためにタイミング発生器を再使用する手段とを
含む、テストを実現する手段とを含む。この装置は、タ
イミング発生器を再使用する手段が、テスト時間を最小
限にするために、第1のステップの間に実施されるタイ
ムプレートから第2のステップに対して実施されるタイ
ムプレートへのプログラミング変更を最小限の回数だけ
課すタイミング発生器を決定する手段を含むことを特徴
とする。
【0026】一実施形態では、最小限のプログラミング
変更を課すタイミング発生器を決定する手段は、タイミ
ング変更の回数と形式変更の回数とを加算する手段を含
む。
変更を課すタイミング発生器を決定する手段は、タイミ
ング変更の回数と形式変更の回数とを加算する手段を含
む。
【0027】本発明の他の特徴および利点を、そのある
実施形態の記述によって記載するが、この記述は、後続
の図面との関連で述べる。
実施形態の記述によって記載するが、この記述は、後続
の図面との関連で述べる。
【0028】テストは、集積回路、特に大規模集積回路
の生産中に、現在一般に実施されるが、製造された回路
の正しい動作を生産中にチェックして欠陥を検出するた
めにテストが必要であることを、ここで想起されたい。
これらのテストは、回路の設計中に準備される。
の生産中に、現在一般に実施されるが、製造された回路
の正しい動作を生産中にチェックして欠陥を検出するた
めにテストが必要であることを、ここで想起されたい。
これらのテストは、回路の設計中に準備される。
【0029】回路の設計ならびに関連するテストに対
し、設計者が作業するのを助けるために市販のツールが
利用可能である。しかし、これらのツールのほとんど
は、ICの設計、特定化、および妥当性検査に適する
が、現在の時点では、テストプログラムを生成するのに
利用可能な少数のツールは、最適なテストを提供しな
い。
し、設計者が作業するのを助けるために市販のツールが
利用可能である。しかし、これらのツールのほとんど
は、ICの設計、特定化、および妥当性検査に適する
が、現在の時点では、テストプログラムを生成するのに
利用可能な少数のツールは、最適なテストを提供しな
い。
【0030】
【発明の実施の形態】図1に表すように、テスト中の集
積回路10は、入力ピンI1...Ipおよび出力ピン
O1...Orを備える。この回路10をテストするた
めに、回路10の入力I1...Ipにテスト信号を与
えるための複数の端子T1...Tp ’と、出力
O1...Orで得られる信号を検出するための複数の
端子D1...Dr’とを有する自動テスト装置12が
使用される。自動テスト装置12が、異なる数のピンを
有する異なる種類の回路と共に使用するように設計され
ているため、装置12の端子Tiの数p’および端子D
jの数r’は、それぞれテスト中の回路10のpおよび
rの数よりも多い。
積回路10は、入力ピンI1...Ipおよび出力ピン
O1...Orを備える。この回路10をテストするた
めに、回路10の入力I1...Ipにテスト信号を与
えるための複数の端子T1...Tp ’と、出力
O1...Orで得られる信号を検出するための複数の
端子D1...Dr’とを有する自動テスト装置12が
使用される。自動テスト装置12が、異なる数のピンを
有する異なる種類の回路と共に使用するように設計され
ているため、装置12の端子Tiの数p’および端子D
jの数r’は、それぞれテスト中の回路10のpおよび
rの数よりも多い。
【0031】装置12は、コンピュータ14に結合さ
れ、このコンピュータ14の役割は、装置12上でテス
トプログラムを実施および制御し、テストの結果を制御
することである。
れ、このコンピュータ14の役割は、装置12上でテス
トプログラムを実施および制御し、テストの結果を制御
することである。
【0032】端子TiおよびDj上で生成または検出さ
れた信号は、所与の値および正確なタイミングを有さな
ければならない。これらの値およびタイミングは、標準
形式Wglを有する。値はどんな形式でもよい。この例
では、形式は「return−to−zero(R
Z)」または「non−return−to−zero
(NRZ)」である。
れた信号は、所与の値および正確なタイミングを有さな
ければならない。これらの値およびタイミングは、標準
形式Wglを有する。値はどんな形式でもよい。この例
では、形式は「return−to−zero(R
Z)」または「non−return−to−zero
(NRZ)」である。
【0033】例えば、入力Ii用のテストパターンは、
100nsの期間の0nsで値ゼロを有する信号を伴う
RZ形式を有し、10nsでテスト信号Sが加えられ、
50ns後に信号はゼロに戻る。この例では、対応する
出力ピンOjで、出力信号Qは90nsで検出される。
この出力信号が期待値を有する場合、欠陥はなく(テス
トが欠陥テストの場合)、信号が期待と異なる値を有す
る場合、これは欠陥の指示である。
100nsの期間の0nsで値ゼロを有する信号を伴う
RZ形式を有し、10nsでテスト信号Sが加えられ、
50ns後に信号はゼロに戻る。この例では、対応する
出力ピンOjで、出力信号Qは90nsで検出される。
この出力信号が期待値を有する場合、欠陥はなく(テス
トが欠陥テストの場合)、信号が期待と異なる値を有す
る場合、これは欠陥の指示である。
【0034】これらの入力信号および出力信号のタイミ
ングおよび値を制御するために、自動テスト装置12
に、複数のタイミング発生器(詳しく表してはいない)
が備わり、これらのそれぞれは、入力信号のタイミング
および値と、対応する出力信号のタイミングを制御す
る。前述の例では、1つのタイミング発生器が、時間
0、10、50nsで入力を制御し、時間0および90
nsで出力を制御する。
ングおよび値を制御するために、自動テスト装置12
に、複数のタイミング発生器(詳しく表してはいない)
が備わり、これらのそれぞれは、入力信号のタイミング
および値と、対応する出力信号のタイミングを制御す
る。前述の例では、1つのタイミング発生器が、時間
0、10、50nsで入力を制御し、時間0および90
nsで出力を制御する。
【0035】所与のテストにn個のパターンすなわちn
個のタイムプレートがあり、各タイムプレートに対応す
る形式がある。各タイムプレートは、タイミング発生器
上で実施されなければならない。しかし一般に、特にデ
ィジタル回路の場合、数nは、装置12中で使用可能な
タイミング発生器の数mを超える。これが、テストが連
続して実現される理由である。第1のステップで、テス
トのn個のタイムプレート中のm個のタイムプレート
が、m個の対応するタイミング発生器上で実施される。
その後、次の1つ(または複数の)ステップの間に、残
りの(n−m)個のタイムプレートを実施するために、
他のタイミング発生器が再使用される。
個のタイムプレートがあり、各タイムプレートに対応す
る形式がある。各タイムプレートは、タイミング発生器
上で実施されなければならない。しかし一般に、特にデ
ィジタル回路の場合、数nは、装置12中で使用可能な
タイミング発生器の数mを超える。これが、テストが連
続して実現される理由である。第1のステップで、テス
トのn個のタイムプレート中のm個のタイムプレート
が、m個の対応するタイミング発生器上で実施される。
その後、次の1つ(または複数の)ステップの間に、残
りの(n−m)個のタイムプレートを実施するために、
他のタイミング発生器が再使用される。
【0036】本発明によれば、次のステップの間に実施
されるタイムプレートは、対応するタイミング発生器の
再プログラムを最小限にするものである。より正確に
は、第1のステップの間に、所与のタイムプレートが、
所与のタイミング発生器上で実施される場合、この所与
のタイミング発生器は、第1のステップの間に実施され
た所与のタイムプレートに対して最小限の変化を有する
タイムプレートを実施するように、次のステップの間に
再使用されることになる。
されるタイムプレートは、対応するタイミング発生器の
再プログラムを最小限にするものである。より正確に
は、第1のステップの間に、所与のタイムプレートが、
所与のタイミング発生器上で実施される場合、この所与
のタイミング発生器は、第1のステップの間に実施され
た所与のタイムプレートに対して最小限の変化を有する
タイムプレートを実施するように、次のステップの間に
再使用されることになる。
【0037】この方法が理解されるように、ここで簡単
な例を挙げる。
な例を挙げる。
【0038】テスト中の回路10が、入力ピン1本およ
び出力ピン1本しか有さず、また、自動テスト装置が、
2つのタイミング発生器しか有しないと仮定する。しか
し、テストプログラムは、それぞれが2つのタイムプレ
ートに対応する2つのWglファイル中に構成された、
4つのタイムプレートを有する。ここで、Wglファイ
ルは、タイミングと信号の値の組合せであることを想起
されたい。
び出力ピン1本しか有さず、また、自動テスト装置が、
2つのタイミング発生器しか有しないと仮定する。しか
し、テストプログラムは、それぞれが2つのタイムプレ
ートに対応する2つのWglファイル中に構成された、
4つのタイムプレートを有する。ここで、Wglファイ
ルは、タイミングと信号の値の組合せであることを想起
されたい。
【0039】各タイムプレートは、100nsの期間を
有する。
有する。
【0040】第1のWglファイルaは、2つのタイム
プレートa1およびa2を有し、これらは次の通りであ
る。 1)a1 RZ形式を有する。 入力の場合:0nsで、信号D(「下げる」またはゼロ
用)であり、10nsで、信号Sすなわちテストパター
ンによって課される信号が現れ、50nsで、信号Dに
戻る。 出力の場合:0nsで、信号の測定なし、90nsで、
測定が行われる(信号Q)。 2)a2 NRZ形式を有する。 入力の場合:0nsで、信号S(テスト信号)が現れ
る。 出力の場合:90nsで、測定が行われる(信号Q)。
プレートa1およびa2を有し、これらは次の通りであ
る。 1)a1 RZ形式を有する。 入力の場合:0nsで、信号D(「下げる」またはゼロ
用)であり、10nsで、信号Sすなわちテストパター
ンによって課される信号が現れ、50nsで、信号Dに
戻る。 出力の場合:0nsで、信号の測定なし、90nsで、
測定が行われる(信号Q)。 2)a2 NRZ形式を有する。 入力の場合:0nsで、信号S(テスト信号)が現れ
る。 出力の場合:90nsで、測定が行われる(信号Q)。
【0041】第2のWglファイルbもまた、2つのタ
イムプレートb1およびb2を有し、第1のタイムプレ
ートb1は、RZ形式を有する入力に対応し、第2のタ
イムプレートb2は、NRZ形式を有する出力に対応す
る。 1.タイムプレートb1の場合、タイミングは、 入力:0nsで信号D、20nsで(テストパターン
の)信号S、80nsで信号Dに戻る。出力の場合、9
0nsで測定が行われる。 2.タイムプレートb2の場合(RNZ形式を有す
る)、入力では、0nsで信号Sが確立され、出力で
は、80nsで測定が行われる。
イムプレートb1およびb2を有し、第1のタイムプレ
ートb1は、RZ形式を有する入力に対応し、第2のタ
イムプレートb2は、NRZ形式を有する出力に対応す
る。 1.タイムプレートb1の場合、タイミングは、 入力:0nsで信号D、20nsで(テストパターン
の)信号S、80nsで信号Dに戻る。出力の場合、9
0nsで測定が行われる。 2.タイムプレートb2の場合(RNZ形式を有す
る)、入力では、0nsで信号Sが確立され、出力で
は、80nsで測定が行われる。
【0042】すべてのタイムプレートのタイミングおよ
び形式の特徴から見て、かつ、テストプログラムに関連
する制約(後で説明する)から見て、タイミング発生器
を再使用する様々な可能性は、次の通りである。
び形式の特徴から見て、かつ、テストプログラムに関連
する制約(後で説明する)から見て、タイミング発生器
を再使用する様々な可能性は、次の通りである。
【0043】1.この例では、a2とa1はテストプロ
グラム中で同時に実行する可能性があるため、a1から
a2への、またはa2からa1への変化は不可能であ
る。
グラム中で同時に実行する可能性があるため、a1から
a2への、またはa2からa1への変化は不可能であ
る。
【0044】2.a1からb1への変化、またはその
逆。入力の場合、タイミング10nsは、20nsに変
更されなければならず、タイミング50nsは、80n
sに変更されなければならならない。出力の場合、変更
は何も必要ない。さらに、信号の形式も同じである。こ
の場合、変更すべきパラメータの数は2つである。
逆。入力の場合、タイミング10nsは、20nsに変
更されなければならず、タイミング50nsは、80n
sに変更されなければならならない。出力の場合、変更
は何も必要ない。さらに、信号の形式も同じである。こ
の場合、変更すべきパラメータの数は2つである。
【0045】3.a2からb1へ、またはb1からa2
へ。変更の回数は3つである。1つは形式に対して、2
つはタイミング(入力)に対してである。
へ。変更の回数は3つである。1つは形式に対して、2
つはタイミング(入力)に対してである。
【0046】4.a2からb2へ、またはその逆。形式
は同じであり、出力の場合に1つのタイミング変更があ
るだけである。したがって、変更の回数は1つである。
は同じであり、出力の場合に1つのタイミング変更があ
るだけである。したがって、変更の回数は1つである。
【0047】5.b1からb2への変化、またはその逆
は、1.の場合と同じ理由で不可能である。
は、1.の場合と同じ理由で不可能である。
【0048】選択されることになる再プログラムは、変
更の回数が最小限になるものから選択される。最も少な
いのは、a2からb2への変化であり、2番目に少ない
のは、a1からb1への変化である。したがって、a1
およびb1が第1のタイミング発生器を使用し、a2お
よびb2が第2のタイミング発生器を使用することにな
る。
更の回数が最小限になるものから選択される。最も少な
いのは、a2からb2への変化であり、2番目に少ない
のは、a1からb1への変化である。したがって、a1
およびb1が第1のタイミング発生器を使用し、a2お
よびb2が第2のタイミング発生器を使用することにな
る。
【0049】これらの変更は、すべて、以下の行列また
は2次元配列に要約することができる。
は2次元配列に要約することができる。
【0050】 "a1" "a2" "b1" "b2" "a1" 0 −1 2 4 "a2" −1 0 3 1 "b1" 2 3 0 −1 "b2" 4 1 −1 0 この行列で、「−1」は、本明細書で上に説明した不可
能な転換を意味する。
能な転換を意味する。
【0051】前述の方法を使用すれば、最小限の再プロ
グラムが選択される事実により、テスト時間は最小限に
なる。
グラムが選択される事実により、テスト時間は最小限に
なる。
【0052】特定の集積回路それぞれに対する装置12
のプログラミングは、図2に表す流れ図によって自動的
に作成することができる。この流れ図が、本記述の肝要
な部分であることを指摘しておく。
のプログラミングは、図2に表す流れ図によって自動的
に作成することができる。この流れ図が、本記述の肝要
な部分であることを指摘しておく。
【0053】開始(ステップ20)の後、Wglファイ
ルが解析される、すなわち選択的に読み取られる(ステ
ップ22)。言い換えれば、プログラムは、最初にWg
l第1番を検討し、その後Wgl第2番を検討し、以下
同様となる。
ルが解析される、すなわち選択的に読み取られる(ステ
ップ22)。言い換えれば、プログラムは、最初にWg
l第1番を検討し、その後Wgl第2番を検討し、以下
同様となる。
【0054】その後、各Wgl、例えばプログラムの最
初に読み取られた第1のWglに対して、プログラム
は、次のステップ24を有し、この間に、この第1のW
glからタイムプレートが抽出される。
初に読み取られた第1のWglに対して、プログラム
は、次のステップ24を有し、この間に、この第1のW
glからタイムプレートが抽出される。
【0055】抽出されたタイムプレートは、タイムプレ
ートデータベース28に記憶される(矢印26)。
ートデータベース28に記憶される(矢印26)。
【0056】ステップ24の後、ステップ30の間に、
すべてのWglが検討されたか否かがチェックされる。
すべてのWglが検討されたか否かがチェックされる。
【0057】すべてのWglを読み取った後、タイムプ
レートデータベース28のコンテンツを使用して、2次
元配列(行列)が埋められる(二重の矢印34)(ステ
ップ32)。この行列は、タイムプレートの対のそれぞ
れに対し、一方のタイムプレートを他方のタイムプレー
トに変換するのに必要な時間変更および形式変更の回数
を与える。この数が小さいほど、対応するタイミング発
生器を再プログラムするのに必要な時間は短くなり、し
たがって、この変更による総テスト時間への寄与も低く
なる。
レートデータベース28のコンテンツを使用して、2次
元配列(行列)が埋められる(二重の矢印34)(ステ
ップ32)。この行列は、タイムプレートの対のそれぞ
れに対し、一方のタイムプレートを他方のタイムプレー
トに変換するのに必要な時間変更および形式変更の回数
を与える。この数が小さいほど、対応するタイミング発
生器を再プログラムするのに必要な時間は短くなり、し
たがって、この変更による総テスト時間への寄与も低く
なる。
【0058】行列は、データベース28に記憶される。
【0059】その後、プログラムは、(ステップ36)
行列または二次元配列中の最小の数を選択する。
行列または二次元配列中の最小の数を選択する。
【0060】プログラムが行列の中から最小の数を選択
したステップ36の後、二次元配列は、この選択を考慮
するように修正される。対応するタイミング発生器は、
すでに第2のステップに使用されている。これは、ステ
ップ38(タイムプレートタイミング発生器の表を埋め
る)に対応する。ステップ36および38は、対応する
タイミング発生器が再プログラムされることになるタイ
ミングまたはステップの指示によって、テストプログラ
ムのすべてのタイムプレートが実施されるまで繰り返さ
れる。
したステップ36の後、二次元配列は、この選択を考慮
するように修正される。対応するタイミング発生器は、
すでに第2のステップに使用されている。これは、ステ
ップ38(タイムプレートタイミング発生器の表を埋め
る)に対応する。ステップ36および38は、対応する
タイミング発生器が再プログラムされることになるタイ
ミングまたはステップの指示によって、テストプログラ
ムのすべてのタイムプレートが実施されるまで繰り返さ
れる。
【0061】最終的に、プログラムは、信号の値を考慮
するためにWglを新たにチェックし(ステップ4
0)、値とタイミングの組合せが装置12中で実施され
る(ステップ42)。このチェックは、すべてのWgl
に対して行われる(ステップ44)。
するためにWglを新たにチェックし(ステップ4
0)、値とタイミングの組合せが装置12中で実施され
る(ステップ42)。このチェックは、すべてのWgl
に対して行われる(ステップ44)。
【0062】一実施形態では、最終テストプログラム
は、自動テスト装置中の処理装置中で実施され、図2に
よって述べたプログラムもまた、テスト装置中の同じ処
理装置または別の処理装置中で実施される。本発明によ
るプログラムは、当業者には難なく理解できるであろう
いくつかのソフトウェアモジュールによって実現するこ
とができる。
は、自動テスト装置中の処理装置中で実施され、図2に
よって述べたプログラムもまた、テスト装置中の同じ処
理装置または別の処理装置中で実施される。本発明によ
るプログラムは、当業者には難なく理解できるであろう
いくつかのソフトウェアモジュールによって実現するこ
とができる。
【図1】自動テスト装置およびテスト中の集積回路の概
略図である。
略図である。
【図2】本発明による方法を制御するプログラムのステ
ップを示す流れ図である。
ップを示す流れ図である。
10 集積回路 12 自動テスト装置 14 コンピュータ 28 タイムプレートデータベース I1、Ip、Ii 入力ピン O1、Or、Oj 出力ピン T1、Tp’、D1、Dr’ 端子
Claims (9)
- 【請求項1】 自動テスト装置(12)を使用して集積
回路(10)をテストする方法であり、 テストが、所定のタイミングで各入力ピン(Ii)に信
号を加えること、および所定のタイミングで出力ピン
(Oj)における出力信号を検出することからなり、入
力ピンおよび対応する出力ピン用の、各一連のタイミン
グまたはタイムプレートが、前記自動テスト装置(1
2)内のタイミング発生器によって制御され、タイムプ
レートの数(n)が、タイミング発生器の数(m)を上
回るときに、前記テストが、いくつかのステップで実現
され、タイミング発生器が、第2のステップまたはその
後のステップの間に、他のタイムプレートを実施するた
めに再使用される方法であって、 第2のステップの間に再使用されるタイミング発生器
が、テスト時間を最小限にするために、第1のステップ
の間に実施されるタイムプレートから第2のステップに
対して実施されるタイムプレートへのプログラミング変
更を最小限の回数だけ課すタイミング発生器であること
を特徴とする方法。 - 【請求項2】 再プログラムすべきタイミング発生器を
選択するために数えられる変更の回数が、タイミング変
更と形式変更との加算であることを特徴とする請求項1
に記載の方法。 - 【請求項3】 連続するステップの間に使用されること
になるタイムプレートが、同じタイミング発生器上で実
施されるままであることを特徴とする請求項1または2
に記載の方法。 - 【請求項4】 前記その後のステップの間に再使用され
ることになるタイミング発生器を選択するために、考え
られるタイムプレートの対ごとに、一方のタイムプレー
トを他方のタイムプレートに変換するために実施される
変更の回数が決定され、 あるステップから次のステップに再使用されることにな
るタイミング発生器と、当該タイミング発生器で実施さ
れることになるタイムプレートとが、前記あるステップ
の間に使用されるタイムプレートを次のステップの間に
使用されるタイムプレートに変換するための変更の回数
が、最小限になるようなものであることを特徴とする請
求項1から3のいずれか一項に記載の方法。 - 【請求項5】 すべての対に対する前記変更の回数が、
連続して使用されるためにメモリ(28)に保持される
ことを特徴とする請求項4に記載の方法。 - 【請求項6】 集積回路(10)をテストする自動テス
ト装置(12)であり、 所定のタイミングで、前記集積回路の各入力ピン
(Ii)に信号を加える手段と、 所定のタイミングで、出力ピン(Oj)における出力信
号を検出する手段と、 それぞれが、入力ピンおよび対応する出力ピン用の、各
一連のタイミングまたはタイムプレートを制御する機能
を有するタイミング発生器と、 タイムプレートの数(n)が、タイミング発生器の数
(m)を上回るときに、いくつかのステップで、テスト
を実現する手段であって、第2のステップまたはその後
のステップで、他のタイムプレートを実施するために、
タイミング発生器を再使用する手段を含む、テストを実
現する手段とを含む自動テスト装置であって、 当該タイミング発生器を再使用する手段が、テスト時間
を最小限にするために、第1のステップの間に実施され
るタイムプレートから第2のステップの間に実施される
タイムプレートへのプログラミング変更を最小限の回数
だけ課すタイミング発生器を決定する手段を含むことを
特徴とする自動テスト装置。 - 【請求項7】 最小限のプログラミング変更を課すタイ
ミング発生器を決定する手段が、タイミング変更の回数
を形式変更の回数に加算する手段を含むことを特徴とす
る請求項6に記載の自動テスト装置。 - 【請求項8】 最小限の回数のプログラミング変更を課
すタイミング発生器を決定する手段が、連続するステッ
プの間に使用されるタイムプレートに対して同じタイミ
ング発生器を使用する手段を含むことを特徴とする請求
項6または7に記載の自動テスト装置。 - 【請求項9】 自動テスト装置(12)を利用するテス
トステップを含む集積回路を製造する方法であり、 テストが、所定のタイミングで各入力ピン(Ii)に信
号を加えること、および所定のタイミングで出力ピン
(Oj)における出力信号を検出することからなり、入
力ピンおよび対応する出力ピン用の、各一連のタイミン
グまたはタイムプレートが、前記自動テスト装置(1
2)内のタイミング発生器によって制御され、タイムプ
レートの数(n)が、タイミング発生器の数(m)を上
回るときに、前記テストが、いくつかのステップで実現
され、タイミング発生器が、第2のまたはその後のステ
ップの間に、他のタイムプレートを実施するために再使
用される方法であって、 第2のステップの間に再使用されるタイミング発生器
が、テスト時間を最小限にするために、第1のステップ
の間に実施されるタイムプレートから第2のステップに
対して実施されるタイムプレートへのプログラミング変
更を最小限の回数だけ課すタイミング発生器であること
を特徴とする方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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EP99402253A EP1085335A1 (en) | 1999-09-14 | 1999-09-14 | Method and apparatus for testing integrated circuits with automatic test equipment |
EP99402253.1 | 1999-09-14 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001147255A true JP2001147255A (ja) | 2001-05-29 |
Family
ID=8242111
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000262267A Withdrawn JP2001147255A (ja) | 1999-09-14 | 2000-08-31 | 自動テスト装置で、集積回路をテストする方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6704893B1 (ja) |
EP (1) | EP1085335A1 (ja) |
JP (1) | JP2001147255A (ja) |
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