JP2001135575A - 3−5族化合物半導体 - Google Patents
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-
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Abstract
合物半導体を提供する。 【解決手段】一般式InuGavAlwN(式中、0≦u
≦1、0≦v≦1、0≦w≦1、u+v+w=1)で表
される第1の3−5族化合物半導体からなる層の上に、
前記の第1の3−5族化合物半導体とも異なり、後記の
第2の3−5族化合物半導体とも異なる材料からなるパ
ターンを有し、該第1の3−5族化合物半導体と該パタ
ーンの上に、一般式InxGayAlzN(式中、0≦x
≦1、0≦y≦1、0≦z≦1、x+y+z=1)で表
される第2の3−5族化合物半導体からなる層を有する
3−5族化合物半導体において、該第2の3−5族化合
物半導体のX線ロッキングカーブの(0004)反射の
半値幅が、X線の入射方向によらず、700秒以下であ
る3−5族化合物半導体。
Description
AlzN(ただし、x+y+z=1、0≦x≦1、0≦
y≦1、0≦z≦1)で表される3−5族化合物半導体
に関する。
+y+z=1、0≦x≦1、0≦y≦1、0≦z≦1)
で表される3−5族化合物半導体は、3族元素の組成に
より紫外から赤色に対応する直接型のバンドギャップが
調整可能であるため、紫外から可視領域にわたる高効率
の発光素子用材料として利用可能である。また、これま
で一般に用いられているSiあるいはGaAsなどの半
導体に比べて大きなバンドギャップを持つために、従来
の半導体では動作できないような高温においても半導体
としての特性を有することを利用して、耐環境性に優れ
た電子素子の作製が原理的に可能である。
の蒸気圧が非常に高いため、大きな結晶を成長すること
が非常に難しいので、半導体素子作製のための基板とし
て用いることができるような実用的な大きさの結晶が得
られていない。このため、該化合物半導体の作製には、
サファイア、SiC等、該化合物半導体と類似の結晶構
造をもち、大きな結晶が作製可能な材料を基板として、
この上にエピタキシャル成長させるのが一般的である。
現在、このような方法を用いることによって、比較的良
質な該化合物半導体の結晶が得られるようになってい
る。しかし、この場合でも、基板材料と該化合物半導体
の格子定数、あるいは熱膨張係数の差に由来する結晶欠
陥を低減することが難しく、108cm-2程度、あるい
はそれ以上の欠陥密度を有するのが一般的である。
る該化合物半導体をもとにして、欠陥の密度を低減した
該化合物半導体を得る手法が報告されている(Jpn.
J. Appl. Phys.,36巻、L899ペ
ージ、1997年)。すなわち、欠陥密度が高い該化合
物半導体上(以下、下地結晶と呼ぶことがある)を、微
細な開口部を残してSiO2パターンで覆い、この上に
さらに2回目の結晶成長を行なうというものである(以
下、2回目の結晶成長を再成長と呼ぶことがある)。図
1をもとにこの方法の概略を説明する。
晶成長が起こらず、開口部のみに結晶成長が成長する、
いわゆる選択成長が起きる。この段階からさらに結晶成
長を続けると、開口部に成長した結晶がパターン上にも
広がり、やがてパターンを埋め込んだ構造ができあが
る。パターンの埋め込みが生じた直後は再成長による結
晶表面には凹凸が残るものの、さらに結晶成長を進める
ことで、やがて再成長表面の凹凸が小さくなり、最終的
には平坦な結晶表面を得ることができる。
製による該化合物半導体の結晶欠陥の低減法として有効
性が報告されているものは、以下の2つの方法である。
すなわち、ハイドライド気相成長法(以下、HVPE法
と記すことがある)、および有機金属気相成長法(以
下、MOVPE法と記すことがある)である。しかし、
これらの方法でも、以下に述べるような問題点があっ
た。
した結晶は、下地結晶と結晶方位がそろっているにもか
かわらず、パターン上に成長した該化合物半導体は、下
地結晶とは若干異なる角度をもって配向することが知ら
れている(Appl. Phys. Lett.,73
巻、481ページ、1998年)。このため、パターン
上に成長した結晶と開口部上に成長した結晶とは、それ
らの結晶の方位がそろっておらず、その接合面はいわゆ
る小傾角粒界であり、そこに多くの刃状転位が存在す
る。再成長による結晶を厚くするにしたがい、結晶方位
が次第に揃うものの、刃状転位が発生しなくなる膜厚
は、60μm程度かそれ以上必要である。このように厚
い膜を成長することには、多くの時間を費やすという問
題のほかに、基板結晶との熱膨張係数の差による歪みが
大きくなるという問題が発生する。基板内部の歪みは、
基板の変形を引き起こし、この変形がさらに結晶成長上
の問題、通常の半導体プロセスにおける加工上の問題と
なる。
角粒界の発生を抑えた高品質の3−5族化合物半導体を
提供することにある。
本発明者らは鋭意検討を行なった結果、上述のような再
成長をパターンとその上部に成長する結晶の間の構造を
特定のものとし、パターン上と、下地層上に成長する再
成長結晶の結晶方位を従来の技術によるものよりも小さ
な範囲内にそろえることで、従来の問題点を回避できる
ことを見出し、本発明に至った。
GavAlwN(式中、0≦u≦1、0≦v≦1、0≦w
≦1、u+v+w=1)で表される第1の3−5族化合
物半導体からなる層の上に、前記の第1の3−5族化合
物半導体とも異なり、後記の第2の3−5族化合物半導
体とも異なる材料からなるパターンを有し、該第1の3
−5族化合物半導体と該パターンの上に、一般式Inx
GayAlzN(式中、0≦x≦1、0≦y≦1、0≦z
≦1、x+y+z=1)で表される第2の3−5族化合
物半導体からなる層を有する3−5族化合物半導体にお
いて、該第2の3−5族化合物半導体のX線ロッキング
カーブの(0004)反射の半値幅が、X線の入射方向
によらず、700秒以下である3−5族化合物半導体に
係るものである。
AlwN(式中、0≦u≦1、0≦v≦1、0≦w≦
1、u+v+w=1)で表される第1の3−5族化合物
半導体からなる層の上に、前記の第1の3−5族化合物
半導体とも異なり、後記の第2の3−5族化合物半導体
とも異なる材料からなるパターンを有し、該第1の3−
5族化合物半導体と該パターンの上に、一般式InxG
ayAlzN(式中、0≦x≦1、0≦y≦1、0≦z≦
1、x+y+z=1)で表される第2の3−5族化合物
半導体からなる層を有する3−5族化合物半導体におい
て、該パターンの上面と該第2の3−5族化合物半導体
が接していない3−5族化合物半導体に係るものであ
る。さらに、本発明は、(3)パターンがタングステン
(W)より形成されてなる前記(1)または(2)に記
載の3−5族化合物半導体に係るものである。
する。本発明の3−5族化合物半導体においては、該第
2の3−5族化合物半導体のX線ロッキングカーブの
(0004)反射の半値幅が、X線の入射方向によら
ず、700秒以下であることを特徴とする。また、本発
明は、第1の3−5族化合物半導体とも異なり、第2の
3−5族化合物半導体とも異なる材料からなるパターン
上面と、該パターン上に成長する結晶とが接しないこと
を特徴とする。現在のところ理由は明らかではないが、
パターン上に再成長結晶がほとんど接しないことによ
り、小傾角粒界の発生が抑えられるものと考えられる。
これまでの例では、パターン上にボイドが発生し、パタ
ーンと再成長層の間に空間が生じる例は見られたもの
の、このような場合でも再成長膜は、まずパターン上に
いわゆるオーバーグロースと呼ばれる再成長層とパター
ンが接触した成長をした後、ボイドが発生する。これに
対して、本発明の場合には、パターン上に再成長層のオ
ーバーグロースがほとんど見られない。以下、本発明の
内容について具体的に説明する。
る材料としては、該化合物半導体の再成長においてある
程度の耐久性があるものが好ましい。すなわち、パター
ンを作製した試料を、再成長の雰囲気、温度において、
再成長を開始するまでに蒸発などによる消失や、融解な
どによる変形を起こすような材料では、目的とする再成
長を再現性よく行なうことは難しい。ただし、本発明の
パターン上には再成長膜がオーバーグロースすることが
ないため、パターン表面荒れ、下地層からの剥がれなど
は、少なくとも再成長の初期段階で生じることがなく、
本発明の効果を大きく損なわない場合がある。具体的に
は、再成長を行なう場合、試料は高温中でアンモニアな
どの雰囲気に晒されるが、このような条件に用いること
ができる材料としては、W(タングステン)、Re(レ
ニウム)、Mo(モリブデン)、Cr(クロム)、Co
(コバルト)、Si(珪素)、金、Zr(ジルコニウ
ム)、Ta(タンタル)、Ti(チタン)、Nb(ニオ
ブ)、ニッケル、白金、V(バナジウム)、Hf(ハフ
ニウム)、Pd(パラジウム)などの単体、BN(窒化
ホウ素)、およびW、Ti、Zr、Hf、V、Nb、T
a、Cr、Mo、Re、Fe等の窒化物などが挙げられ
る。
りなる少なくとも2つの層を積層してなるものでもよ
い。具体的には、パターンがタングステンよりなる層
と、タングステン以外の材料よりなる層との少なくとも
2つの層を積層してなるものが挙げられる。さらに、タ
ングステン以外の材料よりなる層として、SiO2な
ど、本発明の構造を作製しにくいもの、再成長条件で安
定でないものよりなる層が挙げられる。すなわち、本発
明の3−5族化合物半導体として、パターンがタングス
テンよりなる層と、SiO2よりなる層との少なくとも
2つの層を積層してなるものが挙げられる。
としては、従来より公知のものを用いることができる。
具体的には、一般的にライン/スペースと呼ばれる、一
定の幅のストライプ状パターンを一定の幅の開口部を隔
てて平行に並べたもの、あるいは部分的に、円形状、多
角形状に下地を露出させたものなどが挙げられる。これ
らのパターン形状は、再成長条件、パターンの材質など
にあわせて、選んで用いることができる。
ーン部の幅は0.05μm以上20μm以下が好まし
い。パターン部の幅が0.05μmより小さい場合、本
発明の欠陥密度の低減の効果が顕著でない。また、20
μmより大きい場合、パターンの埋め込みに要する時間
が長くなりすぎ、実用的でない。同様な理由で、円形状
あるいは多角形状の開口部を有するパターンにおいて
も、開口部間の距離は0.05μm以上20μm以下が
好ましい。
ース部(開口部:下地の露出した部分)の幅は、0.0
1μm以上20μm以下が好ましい。スペース部の幅が
0.01μmより小さい場合、現状の半導体プロセスで
は、実用的に正確な形状で作製することが難しく、好ま
しくない。また、20μmより大きい場合、本発明の欠
陥の低減の効果が顕著でない。同様な理由で、円形状、
あるいは多角形状の開口部を有するパターンにおいて
も、開口部の大きさは0.01μm以上、20μm以下
が好ましい。
ストライプの方向には特には制限はないものの、ストラ
イプの方向により再成長による欠陥低減の効果が異なる
場合がある。このような場合、パターン形状、パターン
材質、再成長条件等を考慮して適切なものを選択するこ
とができる。
パッタ法、化学気相堆積法(CVD法)、メッキ等、公
知のものを用いることができる。また、単体の材料の薄
膜を形成した後、これを化学反応で所望の化合物材料と
してもよい。具体的には、タングステンの薄膜を形成
後、アンモニアを含む雰囲気で熱処理することで、窒化
タングステンとする方法が挙げられる。パターンの膜厚
としては、実用的な耐久性と生産性を勘案して決めるこ
とができる。タングステンの場合、2nm以上5μm以
下である。
ては、HVPE法またはMOVPE法が挙げられる。H
VPE法は、大きな成長速度が得られるため、短時間で
良好な結晶を得ることができ、本発明に好適に用いるこ
とができる。また、MOVPE法は、多数の基板に均一
性良く結晶成長を行なうことができ、やはり本発明に好
適に用いることができる。
力、キャリアガス、原料などが挙げられる。これらの条
件については、従来より公知のものを用いることができ
る。具体的には、成長温度については、成長する該化合
物半導体の物性にも依存するが、Inを構成元素として
含まない場合、600℃以上1200℃以下が好まし
い。再成長温度が600℃より低い場合、あるいは12
00℃より高い場合には、再成長による良好な結晶が得
られにくい。また、該化合物半導体がInを構成元素と
して含む場合、熱的安定性が低下するため、再成長温度
は、600℃以上900℃以下が好ましい。
る成長圧力としては、100Pa以上が挙げられる。再
成長での圧力が100Pa以下の場合、良好な結晶を得
ることが難しい。好ましくは500Pa以上、さらに好
ましくは1000Pa以上である。なお、成長圧力が高
くなるにつれて、結晶性が改善される場合があるが、一
般的に結晶成長に用いるMOVPE装置あるいはHVP
E装置は、工業的にあまり高い成長圧力で用いないの
で、再成長における成長圧力は10気圧以下が好まし
い。
リアガスは、水素、窒素、ヘリウム、アルゴン等、通常
のMOVPE、HVPEで用いられているものを用いる
ことができる。
の製造には、以下のような原料を用いることができる。
3族原料としては、トリメチルガリウム[(CH3)3G
a、以下TMGと記すことがある]、トリエチルガリウ
ム[(C2H5)3Ga、以下TEGと記すことがある]
等の一般式R1R2R3Ga(ここで、R1、R2、R3は、
低級アルキル基を示す)で表されるトリアルキルガリウ
ム;トリメチルアルミニウム[(CH3)3Al]、トリ
エチルアルミニウム[(C2H5)3Al、以下TEAと
記すことがある]、トリイソブチルアルミニウム[(i
−C4H9)3Al]等の一般式R1R2R3Al(ここで、
R1、R2、R3は、低級アルキル基を示す)で表される
トリアルキルアルミニウム;トリメチルアミンアラン
[(CH3)3N:AlH3];トリメチルインジウム
[(CH3)3In、以下「TMI」と記すことがあ
る]、トリエチルインジウム[(C2H5)3In]等の
一般式R1R2R3In(ここで、R1、R2、R3は、低級
アルキル基を示す)で表されるトリアルキルインジウム
等が挙げられる。これらは、単独でまたは混合して用い
られる。
ドラジン、メチルヒドラジン、1,1−ジメチルヒドラ
ジン、1,2−ジメチルヒドラジン、t−ブチルアミ
ン、エチレンジアミンなどが挙げられる。これらは単独
でまたは混合して用いられる。これらの原料のうち、ア
ンモニアとヒドラジンは、分子中に炭素原子を含まない
ため、半導体中への炭素の汚染が少なく好適であり、取
り扱いやすさの点でアンモニアが好ましい。
して、Si、Ge、Oが用いられる。この中で、低抵抗
のn型をつくりやすく、原料純度の高いものが得られる
Siが好ましい。Siのドーピング用の原料としては、
シラン(SiH4)、ジシラン(Si2H6)、モノメチ
ルシラン(Si(CH3)H3)などが用いられる。
製造には、以下のような原料を用いることができる。3
族原料としては、金属Ga、金属In等に塩化水素ガス
を反応させ、GaCl、InClを発生させて用いるこ
とができる。また、TMG、TEG等の一般式R1R2R
3Ga(ここで、R1、R2、R3は、低級アルキル基を示
す)で表されるトリアルキルガリウム;TMI、トリエ
チルインジウム等の一般式R1R2R3In(ここで、
R1、R2、R3は、低級アルキル基を示す。)で表され
るトリアルキルインジウム等を高温で塩化水素ガスと反
応させ、GaCl、InCl等を発生させて用いること
ができる。また、ジメチルガリウムクロライド(Ga
(CH3)2Cl)、ジエチルガリウムクロライド(Ga
(C2H5)2Cl)、ジメチルインジウムクロライド
(In(CH3)2Cl)、ジエチルインジウムクロライ
ド(In(C2H5)2Cl)等を高温で分解させ、Ga
Cl、あるいはInClを発生させて用いることもでき
る。また、常温で安定な、GaCl3、InCl3などに
キャリアガスをバブリングしてして供給することもでき
る。これらは、単独でまたは混合して用いられる。
ドラジン、メチルヒドラジン、1,1−ジメチルヒドラ
ジン、1,2−ジメチルヒドラジン、t−ブチルアミ
ン、エチレンジアミンなどが挙げられる。これらは単独
でまたは混合して用いられる。これらの原料のうち、ア
ンモニアとヒドラジンは、分子中に炭素原子を含まない
ため、半導体中への炭素の汚染が少なく好適であり、取
り扱いやすさの点でアンモニアが好ましい。
して、Si、Ge、Oが用いられる。この中で、低抵抗
のn型をつくりやすく、原料純度の高いものが得られる
Siが好ましい。Siのドーピング用の原料としては、
モノクロルシラン(SiH3Cl)、ジクロルシラン
(SiH2Cl2)などが用いられる。
成長条件によっては再成長後に第1の3−5族化合物半
導体からなる層の表面に窪みが発生する場合がある。第
1の3−5族化合物半導体からなる層を一般式InuG
avAlwN(0≦u<1、0≦v<1、0<w≦1、u
+v+w=1)で表わされる3−5族化合物半導体とす
ることでこのような窪みの発生を抑えられる場合があ
る。具体的な、AlNの混晶比(上記一般式におけるw
の値)としては、1%以上、好ましくは5%以上が挙げ
られる。具体的な第1の3−5族化合物半導体層の層厚
の範囲は、0.3nm以上、好ましくは1nm以上が挙
げられる。ただし、一般的に第1の3−5族化合物半導
体層のAlN混晶比あるいは層厚が大きくなるにつれ
て、再成長における窪みの発生を抑える効果が大きくな
るが、同時に第1の3−5族化合物半導体の結晶性が低
下する傾向があるため、第1の3−5族化合物半導体の
層の膜厚はAlNの混晶比に応じて調整する必要があ
る。
ファイア上に、MOVPE法によりバッファ層としてG
aNを550℃で50nm成長し、さらにGaNを約1
100℃で4μm成長した。この下地結晶に、タングス
テンをスパッタ法により30nm成膜し、通常のフォト
リソグラフィ法を用いて、開口部5μm、パターン部5
μmのストライプ状パターンを作製した。ストライプの
方向は<1−100>方向である。次に、この結晶を用
いてHVPE法により再成長を33μm行なった。ま
た、比較例1として、タングステンのかわりにSiO2
を用いてパターンを作製し、同様の再成長を行なった。
いずれも、再成長により得られた結晶は鏡面状の表面で
あった。
調べるため、X線ロッキングカーブをストライプと平行
方向および垂直方向について測定した。図2にその結果
を示す。タングステンパターン上に再成長した場合、X
線の入射方向によらず、ロッキングカーブの半値幅は2
00秒以下で一定であり、結晶方位のばらつきが見られ
ない。これに対して、SiO2をパターンとするもので
は、パターンストライプと平行方向ではロッキングカー
ブの半値幅は小さいのに対して、ストライプと垂直方向
では、半値幅が750秒以上にまで増大する。このこと
は、パターン上に再成長した結晶が、下地結晶に比べて
結晶方位がばらついていることを示しており、タングス
テンパターンに比べて結晶性が十分でないことがわか
る。実施例1で得られた試料をパターンと垂直方向に劈
開を行ない、断面を透過電子顕微鏡により観察したとこ
ろ、再成長膜はタングステンパターン上にはオーバーグ
ロースしていないことが確認できた。
GaAlN膜を、ストライプ状パターンを有するパター
ン上に再成長により作製する。このGaAlN膜上に、
さらに適切な層を積層し、エッチング、電極形成等の半
導体プロセスを繰り返し、HEMT(高電子移動度トラ
ンジスタ)、FET(電界効果型トランジスタ)等の電
子素子を得る。これらの電子素子は、素子として機能す
る結晶中に含まれる結晶欠陥が低減されているため、電
気的特性、信頼性に優れている。
GaAlN膜を、ストライプ状パターンを有するパター
ン上に再成長により作製する。このGaAlN膜上に、
さらに該化合物半導体により構成される、n型層、これ
よりバンドギャップの小さい層(発光層)、p型層の各
層を順次積層し、エッチング、電極形成等の半導体プロ
セスを行い、発光ダイオード(LED)、半導体レーザ
(LD)等の発光素子を得る。これらの発光素子は、素
子として機能する結晶中に含まれる結晶欠陥が低減され
ているため、発光特性、信頼性、特に寿命の点で優れて
いる。
にGaAlNを成長した。この層のAlN混晶比は、約
15%、厚みは30nmである。この上にタングステン
を電子ビーム蒸着により20nm成膜し、通常のリソグ
ラフィー法を用いてストライプ状パターンを作製した。
ストライプ方向は、<1−100>方向、ストライプ幅
およびストライプ間隔は、いずれも5μmである。次
に、MOVPE法により再成長を行なった。成長圧力
は、40kPa、再成長層の厚みは、3μmである。再
成長により得られた結晶の表面は、鏡面状であった。実
施例1および本実施例で得られた試料をストライプパタ
ーンと垂直方向に劈開を行い、断面を走査電子顕微鏡で
観察したところ、実施例1で得られた試料には下地結晶
に損傷が確認できるものがあったが、本実施例で得られ
た試料では下地結晶に損傷は確認されなかった。
晶にSiO2をスパッタ法により50〜70nm成膜
し、引き続きタングステン(W)をスパッタ法により5
0nm成膜した。これに通常のリソグラフィー法を用い
てストライプパターンを作製した。ストライプ方向は、
<1−100>および<11−20>方向である。次
に、常圧MOVPE法により再成長を行なった。再成長
膜の厚みは、約8μmである。こうして得られた試料お
よび実施例1で得られた試料をストライプ方向と垂直方
向に劈開し、断面を走査型電子顕微鏡で観察したとこ
ろ、実施例1の試料の場合、マスク下部に窪みの発生し
た部分が見られたが、本実施例の試料では、窪みの発生
は大幅に減少していた。
晶にタングステンを電子ビーム蒸着により20nm成膜
した。この試料を水素中400℃で10分保持し、つぎ
に水素・アンモニア混合ガス中600℃で5分保持した
後、さらに水素・アンモニア混合ガス中で950℃まで
昇温した後、すぐに冷却を行なった。この試料の表面を
XPS(X線光電子分光法)により元素分析したとこ
ろ、タングステン層中に均一に窒化タングステン層が形
成されていることが確認された。こうして得られたマス
ク材料をパターニングし、実施例1と同様にして再成長
を行なったところ、実施例1と同様の良好な埋め込み構
造が形成された。本実施例において、アンモニアを含む
処理する雰囲気としては、水素とアンモニアの混合ガス
以外にも、アンモニアと不活性ガスの混合ガスを用いて
もよい。
角粒界の発生が抑えられた高品質の化合物半導体であ
る。
なるX線ロッキングカーブを示す図。
層) 2...第1の3−5族化合物半導体とも異なり、第2
の化合物半導体とも異なる材料からなるパターン 3...第2の3−5族化合物半導体からなる層(再成
長層)
Claims (7)
- 【請求項1】一般式InuGavAlwN(式中、0≦u
≦1、0≦v≦1、0≦w≦1、u+v+w=1)で表
される第1の3−5族化合物半導体からなる層の上に、
前記の第1の3−5族化合物半導体とも異なり、後記の
第2の3−5族化合物半導体とも異なる材料からなるパ
ターンを有し、該第1の3−5族化合物半導体と該パタ
ーンの上に、一般式InxGayAlzN(式中、0≦x
≦1、0≦y≦1、0≦z≦1、x+y+z=1)で表
される第2の3−5族化合物半導体からなる層を有する
3−5族化合物半導体において、該第2の3−5族化合
物半導体のX線ロッキングカーブの(0004)反射の
半値幅が、X線の入射方向によらず、700秒以下であ
ることを特徴とする3−5族化合物半導体。 - 【請求項2】一般式InuGavAlwN(式中、0≦u
≦1、0≦v≦1、0≦w≦1、u+v+w=1)で表
される第1の3−5族化合物半導体からなる層の上に、
前記の第1の3−5族化合物半導体とも異なり、後記の
第2の3−5族化合物半導体とも異なる材料からなるパ
ターンを有し、該第1の3−5族化合物半導体と該パタ
ーンの上に、一般式InxGayAlzN(式中、0≦x
≦1、0≦y≦1、0≦z≦1、x+y+z=1)で表
される第2の3−5族化合物半導体からなる層を有する
3−5族化合物半導体において、該パターンの上面と該
第2の3−5族化合物半導体が接していないことを特徴
とする3−5族化合物半導体。 - 【請求項3】パターンがタングステンまたは窒化タング
ステンより形成されてなることを特徴とする請求項1ま
たは2記載の3−5族化合物半導体。 - 【請求項4】第1の化合物半導体が一般式InuGavA
lwN(式中、0≦u≦1、0≦v≦1、0.01≦w
≦1、u+v+w=1)で表される半導体であることを
特徴とする請求項1、2または3記載の3−5族化合物
半導体。 - 【請求項5】パターンが異なる材料よりなる少なくとも
2つの層を積層してなることを特徴とする請求項1、2
または4記載の3−5族化合物半導体。 - 【請求項6】パターンがタングステンよりなる層と、タ
ングステン以外の材料よりなる層との少なくとも2つの
層を積層してなることを特徴とする請求項5記載の3−
5族化合物半導体。 - 【請求項7】パターンがタングステンよりなる層と、S
iO2よりなる層との少なくとも2つの層を積層してな
ることを特徴とする請求項5または6記載の3−5族化
合物半導体。
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