JP2001133689A - 高密度光集束のための対物レンズ及びこれを採用した光ピックアップ装置 - Google Patents
高密度光集束のための対物レンズ及びこれを採用した光ピックアップ装置Info
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Abstract
きる高密度光集束のための対物レンズ及びこれを採用し
て記録密度を高め得るようにされた光ピックアップ装置
を提供することを目的とする。 【解決手段】 光軸に対して相対的に近軸に位置し、入
射光を発散透過させる第1透過部156と、第1透過部
156に対向配置されて入射光を発散反射させる第1反
射部157と、第1透過部156近傍の遠軸に形成され
て第1反射部157から反射された光を集束させる第2
反射部158と、第1反射部157近傍の遠軸に形成さ
れて第2反射部158で集束された光を屈折透過させる
第2透過部159とを含み、第1透過部を透過して入射
され、かつ、第1及び第2反射部から反射された後に第
2透過部を透過する光線のうち最外郭光線と光軸とがな
す角度αが、30°≦α≦65°を満足することを特徴
とする。
Description
密度光集束のための対物レンズ及びこれを採用した光ピ
ックアップ装置に係り、詳細には、製作限界を超えない
範囲で高開口数を具現できるようになった高密度光集束
のための対物レンズ及びこれを採用して記録密度を高め
得るようになった光ピックアップ装置に関する。
れる対物レンズを一枚で具現するとき、製作限界によっ
て開口数0.6以上に製作できず、光学的収差0.07
λms以下の公差を満足し難い。したがって、従来には、
図1及び図2に示されたような構造の対物レンズ及び光
ピックアップ装置が開示されている。
ピックアップ装置は、0.1mmの厚さをもつ光ディス
ク1に20GByteの高密度記録を具現できるように
なったものである。この光ピックアップ装置は、波長4
00nmをもつ光源11と、入射光を回折透過させるた
めの回折格子19と、偏光方向に応じて光の進行経路を
変換するための第1偏光ビームスプリッタ21と、光デ
ィスク1に円偏光の光が入射されるようにする1/4波
長板23と、開口数0.85をもつ対物レンズユニット
50と、前記光ディスク1から反射された後に前記第1
偏光ビームスプリッタ21を経由して入射された光を偏
光方向によって透過または反射させる第2偏光ビームス
プリッタ27と、前記第2偏光ビームスプリッタ27を
透過した光を受光して情報信号を検出する主光検出器3
1と、前記第2偏光ビームスプリッタ27から反射され
た光を受光して誤差信号を検出するサーボ信号用光検出
器37とを含む。
の光経路上には、入射光を集束させるコリメーティング
レンズ13と、入射光を整形するためのビーム整形プリ
ズム15及び、入射光の位相を遅延させる1/2波長板
17が配置される。そして、前記第1偏光ビームスプリ
ッタ21と第2偏光ビームスプリッタ27との間の光経
路上には入射光の位相を遅延させる1/2波長板25が
さらに具備され、前記第2偏光ビームスプリッタ27と
主光検出器31との間には入射した平行光を集束させる
第1集束レンズ29が配置され、前記第2偏光ビームス
プリッタ27とサーボ信号用光検出器37との間には入
射した平行光を集束させる第2集束レンズ33及び非点
収差を引き起こす非点収差レンズ35が配置される。ま
た、前記光源11から照射され、前記第1偏光ビームス
プリッタ21から反射され、かつ、第3集束レンズ39
により集束された光から前記光源11の光出力をモニタ
ーリングするモニター用光検出器41が配置される。
集束させるための対物レンズ51と、この対物レンズ5
1と前記光ディスク1との間に配置されて対物レンズユ
ニット50の開口数を増加させるための半球形レンズ5
5とを含む。
50を採用した構成において、図2を参照すれば、対物
レンズ51で開口数0.6を確保し、前記半球形レンズ
55を通じて開口数を高めることができる。ここで、開
口数は前記半球形レンズ55に入射される光の最大入射
角θと、前記半球形レンズ55の屈折率Nとの積に比例
して決定されるので、開口数を0.85に増加させるこ
とが可能である。
光学的構成で高開口数を確保したまま、光ディスク1に
結ばれる光スポットの寸法を最小化しようとする場合、
光ディスク1と半球形レンズ55との距離である作動距
離d1が0.1mm程度に小さくなければならない。し
たがって、作動距離d1が短くて半球形レンズ55がタ
ーンテーブル(図示せず)に対する光ディスク1の着脱
及び光ディスク1の回転に邪魔となる。そして、光ディ
スク1の場合、フォーカス方向への移動量は±0.7m
m水準で前記作動距離d1以上の値をもつので、フォー
カシングサーボの精度が10nm未満に極めて高精度で
ある必要があるため、量産が不可能であるという問題点
がある。
みて成されたものであり、その目的は、高い開口数を維
持しながらも記録媒体との作動距離を確保できるように
なった構造の高密度光集束のための対物レンズ及びこれ
を採用した光ピックアップ装置を提供するところにあ
る。
に、本発明による高密度光集束のための対物レンズは、
光軸に対して相対的に近軸に位置し、入射光を発散透過
させる第1透過部と、前記第1透過部に対向配置されて
入射光を発散反射させる第1反射部と、前記第1透過部
近傍の遠軸に形成されて前記第1反射部から反射された
光を集束させる第2反射部と、前記第1反射部近傍の遠
軸に形成されて前記第2反射部で集束された光を屈折透
過させる第2透過部とを含み、前記第1透過部を透過し
て入射され、かつ、前記第1及び第2反射部から反射さ
れた後に前記第2透過部を透過する光線のうち最外郭光
線と光軸とがなす角度αは、下記式を満足することを特
徴とする。
は、レーザー光を照射する光源と、入射光の進行経路を
変換する光経路変換手段と、入射光を集束させて光ディ
スクに光スポットを形成させる対物レンズユニットと、
前記光ディスクから反射され、かつ、前記対物レンズユ
ニット及び光経路変換手段を経由して入射された光を受
光する光検出器とを含む光ピックアップ装置において、
前記対物レンズユニットは、前記光経路変換手段を経由
して入射された光を集束させる第1対物レンズと、前記
第1対物レンズにより集束された光を再集束させるよう
に前記第1対物レンズと前記光ディスクとの間の光経路
上に配置され、光軸に対して相対的に近軸に位置し、入
射光を発散透過させる第1透過部と、前記第1透過部に
対向配置されて入射光を発散反射させる第1反射部と、
前記第1透過部近傍の遠軸に形成されて前記第1反射部
から反射された光を集束させる第2反射部と、前記第1
反射部近傍の遠軸に形成されて前記第2反射部で集束さ
れた光を屈折透過させる第2透過部とからなる第2対物
レンズとを含むことを特徴とする。
形態による高密度光集束のための対物レンズ155は、
入射光を発散透過させる第1透過部156と、前記第1
透過部156に対向配置されて入射光を発散反射させる
第1反射部157と、前記第1透過部156近傍に形成
されて前記第1反射部157から反射された光を集束さ
せる第2反射部158と、前記第2反射部158で集束
された光を屈折透過させる第2透過部159とを含んで
なる。
2透過部159が前記光ディスク100に対向するよう
に位置され、前記第2透過部159と前記光ディスク1
00との間の間隔である作動距離d2が前述した従来の
半球形レンズの作動距離d1に比べて相対的に大きな値
をもつように前記第1及び第2反射部157及び158
と前記第1及び第2透過部156及び159が設計され
る。
ド収差を取り除くためのものであって、凹んだ曲率をも
つことが好ましく、入射された光の形態によって球面と
非球面との組み合わせで収差を最小化できるように設計
される。前記第1反射部157は、開口数0.6以上の
高開口数を維持するように入射光の反射角を最大限に大
きく維持できるようになった凸状の反射面を具備する。
すなわち、前記第1反射部157の反射面は、前記第1
透過部156に向けて凸状に形成される。前記第2反射
部158は、入射光の球面収差、コマ収差などの光学的
収差を最小化できるようになった凹状の反射面であっ
て、前記第1反射部157から入射された光を反射させ
て前記第2透過部159の方に向かわせ、前記第2透過
部159を透過して入射された光を前記第1反射部15
7の方に反射させる。前記第2透過部159は平面から
形成されて、前述したレンズの製作が容易になるように
なっている。ここで、前記第1透過部156と前記第2
反射部158とがなす面と、前記第1反射部157と第
2透過部159とがなす面との間には、空気の屈折率と
は異なる屈折率nをもつ光学的材質で充填されて、前記
第2反射部156から反射された集束光が前記第2透過
部159を通じて集束できるようになることが好まし
い。
射された平行光を光ディスク100に集束させるための
構成に例えて示すものであって、高開口数をもつ対物レ
ンズ155で発生するコマ収差及び非点収差を克服でき
るように0.4mm以下の厚さ、好ましくは、0.1m
mの厚さをもつことが好ましい。
ディスク100の再生に適した寸法の光スポットを与え
得るように、前記第1反射部157の直径及び前記第2
透過部159の外径は下記式1を満足することが好まし
い。このことは、前記第1反射部157に入射された光
のうち中心光を遮へいするためであって、この中心光を
遮へいすることで球面収差による影響を大幅に減らすこ
とができ、その結果、光スポットの直径を小さくでき
る。
適するように設計された対物レンズ155の光学的配置
を示す図面である。この対物レンズ155は、図3を参
照して説明された対物レンズのように、第1及び第2透
過部156及び159と、第1及び第2反射部157及
び158で構成されるものであって、その設計データに
違いがある。
1透過部156に入射した光は第1透過部156で発散
されて平行光となったまま前記第1反射部157に向か
い、前記第1反射部157で発散反射された後に、前記
第2反射部158により集束されて光ディスク100に
高密度で集束される。
度で第1透過部156に入射した集束光は第1透過部1
56で集束発散されたまま第1反射部157に入射し、
第1反射部157で発散反射された後に、第2反射部1
58により集束反射されて光ディスク100に高密度で
集束される。
レンズ155において、作動距離d 2を大きく確保しな
がら光ディスク100に形成される光スポットの寸法を
最小化するために、前記第1透過部156の方から入射
して前記第1及び第2反射部157及び158を経由し
た後に前記第2透過部159を透過して進行する光の最
外郭光線と光軸との間の角度αは、下記式2を満足する
ことが好ましい。
5の光学的データの第1及び第2実施形態は、下記表1
及び表2に示されている。
場合に適した設計データに関するものであって、表1は
作動距離d2が1.1mmである場合を示し、表2は作
動距離d2が0.2mmである場合を示す。また表3
は、表1及び表2に示された非球面に対する非球面係数
を示す。
5は作動距離d2が0.2mm、1.1mmを維持して
対物レンズ155と光ディスク100との間の干渉を排
除すると共に、開口数0.6以上を確保できる。したが
って、顕微鏡用レンズ、半導体露光器用レンズ及びディ
スク製造用マスタリング装置の集光レンズとして採用す
る時、高開口数を有しながらも光学系を小型化できると
いう利点がある。
る光ピックアップ装置は、レーザー光を照射する光源1
10と、入射光の進行経路を変換するための光経路変換
手段と、入射光を集束させて光ディスク100に光スポ
ットが形成されるようにする対物レンズユニット150
と前記光ディスク100から反射されて前記対物レンズ
ユニット150及び光経路変換手段を経由して入射した
光を受光して情報信号及び誤差信号を検出する光検出器
125を含んでなる。ここで、前記光ディスク100
は、20GByteの情報記録密度を具現できるように
なった0.4mm以下の厚さをもつ光ディスク101
と、0.6mmの厚さのデジタルビデオディスク(DV
D)103及び1.2mm厚さのコンパクトディスク
(CD)(図示せず)を互換採用できる。
光を照射する半導体レーザーなどで構成される。前記光
経路変換手段は、入射光を偏光成分に応じて透過または
反射させる偏光ビームスプリッタ115と、この偏光ビ
ームスプリッタ115と前記光ディスク100との間の
光経路上に配置されて入射光の位相を遅延させる1/4
波長板117とを含んでなる。また、前記光源110と
前記偏光ビームスプリッタ115との間の光経路上に
は、入射光を集束させて平行光にならしめるコリメーテ
ィングレンズ113をさらに具備することが好ましい。
たDVD光ディスク103に適するように開口数0.6
をもつ第1対物レンズ151と、この第1対物レンズ1
51と前記光ディスク100との間の光経路上に選択的
に位置される第2対物レンズ155’及び光経路上に配
置された可変しぼり119を含んでなる。
ディスク100として薄い高密度ディスク101を採用
する時には、光経路上に前記第1及び第2対物レンズ1
51及び155’共に位置されて、前記対物レンズユニ
ット150の、すなわち、前記高密度光ディスク101
に光スポットが結ばれるようにする。また、図8に示さ
れるように、光ディスク100として厚手のDVD光デ
ィスク103を採用する時には、前記第2対物レンズ1
55’が取り除かれて、前記第1対物レンズ151にの
み入射光を集束させる。ここで、前記第2対物レンズ1
55’の光経路上への挿入及び除去動作は、モータによ
り回転される回転板に第2対物レンズを取り付け、この
回転板を回転制御することにより挿入及び除去する回転
方式、ソレノイド駆動モータなどにより摺動させること
により設置及び除去する摺動方式など、通常の駆動方式
によって具現可能なため、その詳細な説明は省略する。
6をもつ対物レンズであって、厚さ0.6mmのDVD
103に適した光スポットを結ばせるレンズである。
は、本出願人により提案された米国特許第5、665、
957号、米国特許第5、822、135号、米国特許
第5、909、424号、米国特許第5、987、92
4号に開示された環状遮へい方式のレンズ構成をもつ。
このように環状遮へい方式のレンズを具備する場合に
は、第1対物レンズ151の近軸領域と遠軸領域とに分
けて焦点位置を調節でき、その結果、前記光ディスク1
00として厚さが1.2mmであるCD光ディスク(図
示せず)を互換して採用できる。
し図5を参照して説明されたように、入射光を発散透過
させる第1透過部156、前記第1透過部156に対向
配置されて入射光を発散反射させる第1反射部157、
前記第1透過部156近傍に形成されて前記第1反射部
157から反射された光を集束させる第2反射部158
及び前記第2反射部158で集束された光を屈折透過さ
せる第2透過部159を含んでなる。ここで、前記第1
及び第2透過部156及び159と、前記第1及び第2
反射部157及び158により前記光ディスク100に
入射する光線のうち最外郭光線と光軸とがなす角度α
は、上式(2)を満足することが好ましい。
159と、前記第1及び第2反射部157及び158の
各々は、前述と実質的に同様の構成及び機能を有するの
で、その詳細な説明を省略する。
の第1対物レンズ151と共に第2対物レンズ155’
を採用することにより開口数0.85である高開口数の
レンズを具現でき、その結果、前記高密度光ディスク1
01に対して高精度の光スポットを結ぶことができる。
前記高密度光ディスク101は、コマ収差及び非点収差
に鑑みて0.4mm以下の厚さ、好ましくは、0.1m
mの厚さをもつ。
ぼりであって、前記高密度光ディスク101に対する情
報の記録再生時には入射光ビームが可変しぼり119中
央部近傍の一部を通過して前記第1透過部156に入射
光を集束させ、DVD光ディスク103の採用時には可
変しぼり119のほとんどを透過して光ディスク103
に集束させる。
00から反射された後、前記偏光ビームスプリッタ11
5を経由して入射した光を受光できるようになったもの
であって、各々独立的に光電変換できるように複数個に
区分されている。前記光検出器125そのものの構成は
広く知られているため、その詳細な説明を省略する。
前記光検出器125との間の光経路上には、入射光を回
折透過させて誤差信号用光ビームと情報信号用光ビーム
とに区分するホログラム素子121と、前記ホログラム
素子121を回折透過した光を集束させる集束レンズ1
23とをさらに含むことが好ましい。
レンズは、相手物との干渉を排除できるように作動距離
d2が0.2mmまたは1.1mmを維持したまま、開
口数0.6以上の高開口数を有し得るようになった構造
を有するという利点がある。したがって、前述した対物
レンズを顕微鏡用レンズ、半導体露光器用レンズ及びデ
ィスク製造用マスタリング装置の集光レンズとして採用
するとき、高開口数を有しながらも、光学系を小型化で
きるという利点がある。
は、光経路上に挿入及び除去可能に設けられ、作動距離
d2が0.2mmを維持したまま第1対物レンズと共に
開口数0.85程度を具現できる第2対物レンズを具備
することにより、厚さが0.4mm以下の高密度光ディ
スクに対する情報の記録再生時に、光ディスクとの干渉
を排除できるという利点がある。また、第2対物レンズ
を挿入または除去して用いることにより、DVD光ディ
スク、CD光ディスクの光記録媒体を互換して採用でき
るという利点がある。
具備した対物レンズユニット及びこれを採用した光ピッ
クアップ装置の光学的配置を示す図である。
ットの光学的配置を示す図である。
計された本発明の実施形態による高密度光集束のための
対物レンズの光学的配置を示す図である。
された本発明の実施形態による高密度光集束のための対
物レンズの光学的配置を示す図である。
計された本発明の実施形態による高密度光集束のための
対物レンズの光学的配置を示す図である。
高密度光集束のための対物レンズを採用した光ピックア
ップ装置の光学的配置を示す図である。
の要部を抜萃して示す図であって、薄手のディスク採用
時の光学的配置を示す図である。
の要部を抜萃して示す図であって、厚手のディスク採用
時の光学的配置を示す図である。
Claims (9)
- 【請求項1】 光軸に対して相対的に近軸に位置し、入
射光を発散透過させる第1透過部と、前記第1透過部に
対向配置されて入射光を発散反射させる第1反射部と、
前記第1透過部近傍の遠軸に形成されて前記第1反射部
から反射された光を集束させる第2反射部と、前記第1
反射部近傍の遠軸に形成されて前記第2反射部で集束さ
れた光を屈折透過させる第2透過部とを含み、 前記第1透過部を透過して入射され、かつ、前記第1及
び第2反射部から反射された後に前記第2透過部を透過
する光線のうち最外郭光線と光軸とがなす角度αは、下
記式を満足することを特徴とする対物レンズ。 30°≦α≦65° - 【請求項2】 前記第1透過部と前記第2反射部とがな
す面と、前記第1反射部と前記第2透過部とがなす面と
の間には、光学的材質が充填されたことを特徴とする請
求項1に記載の対物レンズ。 - 【請求項3】 前記第1反射部に入射された光のうち中
心光を遮へいして球面収差による影響を低減できるよう
に、前記第1反射部の直径及び前記第2透過部の外径
は、下記式を満足することを特徴とする請求項1または
2に記載の対物レンズ。 0.1< 第1反射部の直径/第2透過部の外径 <0.5 - 【請求項4】 レーザー光を照射する光源と、 入射光の進行経路を変換する光経路変換手段と、 入射光を集束させて光ディスクに光スポットを形成させ
る対物レンズユニットと、 前記光ディスクから反射され、かつ、前記対物レンズユ
ニット及び光経路変換手段を経由して入射された光を受
光する光検出器とを含む光ピックアップ装置において、 前記対物レンズユニットは、 前記光経路変換手段を経由して入射された光を集束させ
る第1対物レンズと、 前記第1対物レンズにより集束された光を再集束させる
ように前記第1対物レンズと前記光ディスクとの間の光
経路上に配置され、光軸に対して相対的に近軸に位置
し、入射光を発散透過させる第1透過部と、前記第1透
過部に対向配置されて入射光を発散反射させる第1反射
部と、前記第1透過部近傍の遠軸に形成されて前記第1
反射部から反射された光を集束させる第2反射部と、前
記第1反射部近傍の遠軸に形成されて前記第2反射部で
集束された光を屈折透過させる第2透過部とからなる第
2対物レンズとを含むことを特徴とする光ピックアップ
装置。 - 【請求項5】 前記第1透過部を透過して入射され、か
つ、前記第1及び第2反射部から反射された後に前記第
2透過部を透過する光線のうち最外郭の光線と光軸とが
なす角度αは、下記式を満足することを特徴とする請求
項4に記載の光ピックアップ装置。 30°≦α≦65° - 【請求項6】 前記第1透過部と前記第2反射部とがな
す面と、前記第1反射部と前記第2透過部とがなす面と
の間には、光学的材質が充填されたことを特徴とする請
求項4に記載の対物レンズ。 - 【請求項7】 前記第1反射部に入射された光のうち中
心光を遮へいして球面収差による影響を低減できるよう
に、前記第1反射部の直径及び前記第2透過部の外径は
下記式を満足することを特徴とする請求項4に記載の対
物レンズ。 0.1< 第1反射部の直径/第2透過部の外径 <0.5 - 【請求項8】 前記第2対物レンズは、 前記第1対物レンズと前記光ディスクとの間の光経路上
に選択的に配置され、薄手の高密度光ディスクの採用時
には前記第1及び第2対物レンズにより光スポットを形
成し、厚手の光ディスクの採用時には前記第1対物レン
ズにより光スポットを形成するようになったことを特徴
とする請求項4ないし7のいずれか一項に記載の光ピッ
クアップ装置。 - 【請求項9】 前記対物レンズユニットは、 入射光の波長に応じて開口の寸法が選択されるように、
波長選択的可変しぼりをさらに含むことを特徴とする請
求項4ないし8のいずれか一項に記載の光ピックアップ
装置。
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