JP2001129780A - ディスク移載装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 ロータリソレノイド１８の動力が第１リンク
３６を介して可動プレート３４に付与されると、可動プ
レート３４が第１方向において前進または後退される。
一方、第２ロータリソレノイド５４および５６の動力が
第２リンクを介してグリッパアーム４０および４２に付
与されると、グリッパアーム４０および４２が第２方向
において開放または閉鎖される。 【効果】 塵埃の飛散や稼働部のがたつきを防止でき
る。したがって、たとえばディスク製造装置に用いた場
合には加工精度を向上でき、ディスク検査装置に用いた
場合には検査精度を向上できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明はディスク移載装置に関
し、特にたとえばハードディスク等のようなディスクの
製造装置または検査装置においてディスクを移載するの
に用いられる、ディスク移載装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図５に示すこの種の従来のディスク移載
装置１は、ディスク製造装置等の図示しないフレームま
たはロボットアーム等に固定されるベースプレート２を
含む。ベースプレート２には、第１方向へ移動可能なピ
ストン３ａを有するエアシリンダ装置３が設けられ、ピ
ストン３ａには、可動プレート４が取り付けられる。ま
た、可動プレート４には、第１方向に対して直交する第
２方向へ移動可能なピストン５ａを有するエアシリンダ
装置５が設けられ、ピストン５ａにはグリッパアーム６
が取り付けられる。したがって、グリッパアーム６は、
エアシリンダ装置３によって第１方向へ移動され、エア
シリンダ装置５によって第２方向において開閉される。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来技術では、エアシ
リンダ装置３および５を用いてグリッパアーム６の第１
方向への移動および第２方向での開閉を行っていたた
め、エアシリンダ装置３および５から漏れ出した空気に
よって塵埃が飛散されるという問題があった。また、エ
アシリンダ装置３および５において、シリンダとピスト
ンとの間に介挿されたパッキンが経時的に劣化するた
め、駆動部にがたつきが生じるという問題もあった。

【０００４】それゆえに、この発明の主たる目的は、塵
埃の飛散や駆動部のがたつきを防止できる、ディスク移
載装置を提供することである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】この発明は、ベースプレ
ート、ベースプレートに第１直動ガイドによって第１方
向へ変位可能に設けられる可動プレート、可動プレート
を駆動する第１ロータリソレノイド、第１ロータリソレ
ノイドの回動軸と可動プレートとを連結する第１リン
ク、可動プレートに第２直動ガイドによって第１方向に
対して直交する第２方向へ変位可能に設けられる２つの
グリッパアーム、２つのグリッパアームを駆動する第２
ロータリソレノイド、および第２ロータリソレノイドの
回動軸とグリッパアームとを連結する第２リンクを備え
る、ディスク移載装置である。

【０００６】

【作用】第１ロータリソレノイドの動力が第１リンクを
介して可動プレートに付与されると、可動プレートが第
１方向へ変位される。一方、第２ロータリソレノイドの
動力が第２リンクを介してグリッパアームに付与される
と、グリッパアームが第２方向へ変位され、２つのグリ
ッパアームが互いに逆向きに変位されることによってグ
リッパアームが開閉される。

【０００７】

【発明の効果】この発明によれば、塵埃の飛散や駆動部
のがたつきを防止できる。したがって、たとえばディス
ク製造装置に用いた場合には加工精度を向上でき、ディ
スク検査装置に用いた場合には検査精度を向上できる。

【０００８】この発明の上述の目的，その他の目的，特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。

【０００９】

【実施例】図１に示すこの実施例のディスク移載装置１
０は、ディスク製造装置またはディスク検査装置等にお
いてディスク１２を移載するものであり、平面視略四角
形のベースプレート１４を含む。ベースプレート１４の
上面には、第１直動ガイド１６および双方向ロータリソ
レノイド１８が設けられ、第１直動ガイド１６の先方お
よび後方にはストッパ２０ａおよび２０ｂが設けられ
る。また、ベースプレート１４の後端部には排気孔２２
が設けられ、排気孔２２には図示しない排気ホースを接
続するための継手２４が設けられる。また、ベースプレ
ート１４の後端部上面から立ち上がって、ディスク移載
装置１０をディスク製造装置等のフレーム２６に固定す
るための固定部２８が設けられる。

【００１０】第１直動ガイド１６は第１方向（図１にお
ける左右方向）に延びるレール３０を含み、レール３０
にはスライダ３２が変位可能に取り付けられる。スライ
ダ３２はレール３０の上部に嵌め合わされる略コ字状の
溝（図示せず）を有し、この溝の内側面に装着された図
示しない複数のボールがレール３０の側面に接触されて
転動される。したがって、スライダ３２は、レール３０
によって第１方向へスムーズに案内される。

【００１１】そして、スライダ３２の上面には可動プレ
ート３４が取り付けられ、可動プレート３４とロータリ
ソレノイド１８とが第１リンク３６を介して連結され
る。第１リンク３６は、一端がロータリソレノイド１８
の回動軸１８ａに固定される第１部分３６ａと、一端が
可動プレート３４に回動可能に連結される第２部分３６
ｂとを含み、第１部分３６ａの他端と第２部分３６ｂの
他端とが回動可能に連結される。したがって、ロータリ
ソレノイド１８が駆動されると、その動力が第１リンク
３６を介して可動プレート３４に付与され、可動プレー
ト３４が第１方向において前進または後退される。

【００１２】そして、可動プレート３４の先端部上面に
は、第１方向に対して直交する第２方向へ延びる第２直
動ガイド３８を介して２つのグリッパアーム４０および
４２が変位可能に設けられ、第２直動ガイド３８の長手
方向中央部には、リンク４４を回動自在に支持するため
の支柱４６が設けられる。

【００１３】グリッパアーム４０は、第２方向へ延びる
第１辺４０ａと第１辺４０ａの一端から前方へ突出され
た第２辺４０ｂとを有する平面視略Ｌ字状に形成され、
一方、グリッパアーム４２は、第２方向へ延びる第１辺
４２ａと第１辺４２ａの一端から前方へ突出された第２
辺４２ｂとを含む平面視略Ｌ字状に形成され、第１辺４
０ａおよび４２ａが支柱４６を挟んだ位置で対向され
る。また、第２辺４０ｂおよび４２ｂのそれぞれの前端
から垂直に立ち上がって支持部４０ｃおよび４２ｃが形
成され、支持部４０ｃおよび４２ｃのそれぞれの下部お
よび上部には、ディスク１２を挟持するグリッパローラ
４８が設けられる。さらに、第１辺４０ａおよび第１辺
４２ａには、第１方向へ延びる軸５０が形成される。そ
して、第１辺４０ａおよび４２ａの対向する端部には略
円柱状の係止部５２が形成され、リンク４４の長手方向
両端部に形成された略半円状の切欠が各グリッパアーム
４０および４２の係止部５２に回動自在に嵌合される。

【００１４】また、可動プレート３４の上面には、互い
に逆方向に動作する２つの一方向ロータリソレノイド５
４および５６が、それぞれの回動軸５４ａおよび５６ａ
が第１方向に向くようにして設けられ、各回動軸５４ａ
および５６ａと各グリッパアーム４０および４２とがそ
れぞれ第２リンク５８を介して連結される。つまり、各
第２リンク５８の一端が回動軸５４ａおよび５６ａに固
定され、他端が各グリッパアーム４０および４２の軸５
０に回動可能に連結される。

【００１５】そして、ベースプレート１４には、全体を
覆うようにしてカバー６０が装着される。

【００１６】クランプ装置１０は、たとえばディスク１
２をディスク製造装置のスピンドルハブに取り付けた
り、スピンドルハブから取り外したりするのに用いられ
る。以下には、ディスク１２をスピンドルハブから取り
外す動作を簡単に説明する。まず、クランプ装置１０を
ディスク１２と対向する位置に相対的に位置決めし、ロ
ータリソレノイド５４を駆動してグリッパアーム４０お
よび４２を開方向へ変位させる。そして、双方向ロータ
リソレノイド１８を駆動して可動プレート３４を前方へ
移動させ、第１方向においてグリッパアーム４０および
４２を位置決めする。続いて、ロータリソレノイド５６
を駆動してグリッパアーム４０および４２を閉方向へ変
位させ、グリッパローラ４８でディスク１２を挟持す
る。その後、双方向ロータリソレノイド１８を逆方向に
駆動して、可動プレート３４とともにグリッパアーム４
０および４２を後退させる。

【００１７】この実施例によれば、可動プレート３４お
よびグリッパアーム４０および４２を直動ガイド１６お
よび３８で案内するようにしているので、正確かつスム
ーズに動作させることができる。

【００１８】また、可動プレート３４，グリッパアーム
４０および４２をロータリソレノイド１８，５４および
５６で駆動するようようにしているので、駆動部のがた
つき等は生じない。

【００１９】また、カバー６０内の塵埃を排気孔２２か
ら排出できるので、ロータリソレノイド１８，５４およ
び５６を用いたことと相まって、塵埃の飛散を確実に防
止できる。

【００２０】さらに、支持部４０ｃおよび４２ｃを第２
辺４０ｂおよび４２ｂの前端から垂直に立ち上げて形成
し、そこにグリッパローラ４８を設けているので、ディ
スク１２を比較的高い位置で挟持することができる。し
たがって、クランプ装置１０の背面側からでもディスク
１２の位置を容易に確認することができ、点検・調整等
の作業性を向上できる。

【００２１】図３に示す他の実施例のディスク移載装置
６２は、ロータリソレノイド５４および５６をベースプ
レート１４に固定し、グリッパアーム４０および４２に
可動プレート３４の変位量よりも長い摺動軸６４を形成
し、この摺動軸６４を第２リンク５８の端部にストロー
クベアリング６６を介して連結したものである。

【００２２】したがって、このディスク移載装置６２に
おいて可動プレート３４を変位させると、図４に示すよ
うに、ストロークベアリング６６内を摺動軸６４が第１
方向へ摺動され、グリッパアーム４０および４２が前進
または後退される。

【００２３】この実施例によれば、ロータリソレノイド
５４および５６をベースプレート１４に固定しているの
で、可動プレート３４等を含む可動部を軽量化すること
ができる。したがって、力の弱い小型のロータリソレノ
イド１８を用いることができ、消費エネルギおよび製造
コストを低減できるとともに、装置全体を小型・軽量化
できる。また、可動部の慣性が小さくなるため、可動部
の振動を抑制できるとともに耐久性を向上でき、高速運
転が可能になる。

【００２４】なお、上述した各実施例では、一方向に動
作する２つのロータリソレノイド５４および５６を用い
ているが、ロータリソレノイド５４および５６の一方を
双方向ロータリソレノイドに交換し、他方を除去しても
よい。この場合には、１つの双方向ロータリソレノイド
でグリッパアーム４０および４２を開閉できるので、構
造をより簡素化できる。ただし、双方向ロータリソレノ
イドは一方向ロータリソレノイドよりも長いため、小型
化の観点からは、２つの一方向ロータリソレノイドを用
いた方が有利である。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例を示す図解図である。

【図２】図１実施例の側面図である。

【図３】この発明の他の実施例を示す図解図である。

【図４】図３実施例の要部を示す図解図である。

【図５】従来技術を示す図解図である。

【符号の説明】

１０ …ディスク移載装置 １４ …ベースプレート １６，３８ …直動ガイド １８，５４，５６ …ロータリソレノイド ２０ａ，２０ｂ …ストッパ ３４ …可動プレート ４０，４２ …グリッパアーム ４８ …グリッパローラ

フロントページの続き (72)発明者 寺尾 元宏 兵庫県伊丹市奥畑５丁目10番地 株式会社 クボタ内 (72)発明者 小田和 昌宏 兵庫県伊丹市奥畑５丁目10番地 株式会社 クボタ内 Ｆターム(参考） 3C007 DS01 ES03 ET08 EU07 EV08 HS24 NS09 NS11 NS17 3F061 AA01 BA03 BB08 BC09 BD05 BE13 DB00 DB04 DB06 5D112 AA24 KK02 5D121 JJ03 JJ09

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ベースプレート、 前記ベースプレートに第１直動ガイドによって第１方向
   へ変位可能に設けられる可動プレート、 前記可動プレートを駆動する第１ロータリソレノイド、 前記第１ロータリソレノイドの回動軸と前記可動プレー
   トとを連結する第１リンク、 前記可動プレートに第２直動ガイドによって前記第１方
   向に対して直交する第２方向へ変位可能に設けられる２
   つのグリッパアーム、 前記２つのグリッパアームを駆動する第２ロータリソレ
   ノイド、および前記第２ロータリソレノイドの回動軸と
   前記グリッパアームとを連結する第２リンクを備える、
   ディスク移載装置。
2. 【請求項２】前記２つのグリッパアームを前記第２方向
   において互いに逆向きに変位させる第３リンクをさらに
   備える、請求項１記載のディスク移載装置。
3. 【請求項３】前記第２ロータリソレノイドを前記ベース
   プレートに固定した、請求項１または２記載のディスク
   移載装置。
4. 【請求項４】前記第２ロータリソレノイドの回動軸に前
   記第２リンクの一端を固定し、前記グリッパアームに前
   記第１方向へ延びる摺動軸を形成し、前記摺動軸を前記
   第２リンクの他端に前記第１方向へ摺動可能に連結し
   た、請求項３記載のディスク移載装置。
5. 【請求項５】可動部を覆うようにして設けられるカバー
   と、前記カバー内の空気を排出する排気手段とをさらに
   備える、請求項１ないし４のいずれかに記載のディスク
   移載装置。