JP2001129335A - 真空用フィルタ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 塵埃がワークに付着するのを防止する真空用
フィルタを提供する。 【解決手段】 エレメント収容体１２の内部にある空間
１５には、エアを濾過するための第１エレメント部材３
７ａ，第２エレメント部材３７ｂ及び枠付フィルタエレ
メント３１が収容されている。エレメント収容体１２に
は、空間１５に連通する第１ポート１７及び第２ポート
２９がそれぞれ設けられている。空間１５には、エアの
流れを決定するための双方向チェック弁４１が設けられ
ている。真空発生時において、エアは第２ポート２９側
から第１エレメント部材３７ａを経由して第１ポート１
７側へエアが流れるようになっている。真空破壊時にお
いて、エアは第１ポート１７側から第２エレメント部材
３７ｂを経由して第２ポート２９側へ流れるようになっ
ている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、真空用フィルタ
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】通常、真空ポンプやエジェクタ等の真空
源と、吸着パッド等の吸引部とを接続する配管の途中に
は真空用フィルタが配設される。

【０００３】図７（ａ）及び図７（ｂ）に示すように、
真空用フィルタ９１としてのエレメント収容体９２の内
部にある空間９３には、エアを濾過するためのフィルタ
エレメント９４が収容されている。エレメント収容体９
２には、前記空間９３に連通する第１ポート９５及び第
２ポート９６がそれぞれ設けられている。

【０００４】図７（ａ）に示すように、真空発生時に
は、エアが第２ポート９６側からフィルタエレメント９
４の濾過部を経由して第１ポート９５側へ流れるように
なっている。その結果、吸着パッドから吸い込まれた塵
埃９７が除去される。また、図７（ｂ）に示すように、
真空破壊時には、エアが第１ポート９５側からフィルタ
エレメント９４の濾過部を経由して第２ポート９６側へ
流れるようになっている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、真空用フィ
ルタ９１におけるエアの流れは、真空発生時と真空破壊
時とでは逆になっている。即ち、真空発生時において
は、エアが濾過部を外周面側から内周面側に抜けるよう
にして通過する。真空破壊時においては、エアがフィル
タエレメント９４を通過する。よって、真空発生時に吸
い取った塵埃９７が、真空破壊時には図示しないワーク
側へ吹き飛ばされてしまうという問題がある。その結
果、塵埃９７が半導体チップ等のワークに付着するおそ
れがある。

【０００６】本発明は上記の課題に鑑みてなされたもの
であり、その目的は、塵埃がワークに付着するのを防止
する真空用フィルタを提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、請求項１に記載の発明では、気体を濾過するため
のフィルタエレメントをエレメント収容体の内部にある
空間に収容するとともに、前記空間に連通する第１ポー
ト及び第２ポートを前記収容体にそれぞれ設け、真空発
生時に第２ポート側から前記フィルタエレメントを経由
して第１ポート側へ気体が流れ、真空破壊時に第１ポー
ト側から前記フィルタエレメントを経由して第２ポート
側へ気体が流れるように構成された真空用フィルタにお
いて、真空発生時に第１の経路を介した気体の流れを許
容し、真空破壊時に前記第１の経路とは異なる第２の経
路を介した気体の流れを許容するチェック弁を前記空間
に設けたことを要旨とする。

【０００８】請求項２に記載の発明では、請求項１にお
いて、前記エレメント収容体は、筒状のカバーと、前記
カバーの両端開口部に対して着脱可能なエンドキャップ
とからなり、前記フィルタエレメントは、前記第１の経
路の途上に位置する濾過部を備える第１エレメント部材
と、前記第２の経路の途上に位置する濾過部を備える第
２エレメント部材とからなり、両エレメント部材は互い
に分離可能であることを要旨とする。

【０００９】請求項３に記載の発明では、請求項１にお
いて、前記フィルタエレメントは前記両経路の途上に位
置する濾過部を備えるとともに、その濾過部を通過する
際の気体の流れ方向は常に―定であることを要旨とす
る。

【００１０】以下、本発明の「作用」について説明す
る。請求項１に記載の発明によると、真空発生時には、
気体が第１の経路に設けられたフィルタエレメントを通
過する。また、真空破壊時には、気体が第２の経路に設
けられたフィルタエレメントを通過する。よって、真空
発生時に吸い取った塵埃が、真空破壊時にワーク側へ吹
き飛ばされてしまうことはない。従って、塵埃はワーク
に付着しにくくなる。

【００１１】請求項２に記載の発明によると、カバーは
筒状に形成され、エンドキャップは、カバーの両端開口
部に対して着脱可能なので、真空用フィルタを分解して
フィルタエレメントを取り出すことができる。第１エレ
メント部材と第２エレメント部材とは、互いに分離可能
になっている。従って、第１エレメント部材及び第２エ
レメント部材の濾過度をそれぞれ選ぶことができる。ま
た、第１エレメント部材または第２エレメント部材のど
ちらか片方に目詰まりが発生した場合において、片方だ
けを適切な時期に交換することができる。

【００１２】請求項３に記載の発明によると、濾過部
は、第１の経路と第２の経路との両方において、同じ箇
所に配置される。濾過部を通過する気体の流れ方向は常
に一定になっている。よって、フィルタエレメントが２
つの部材によって構成されていなくてもよい。従って、
フィルタエレメントを構成する部品の数が少なくなるた
め、真空用フィルタを小さくすることができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】（第１実施形態）以下、本発明を
具体化した第１実施形態の真空用フィルタを図１〜図５
に基づき詳細に説明する。

【００１４】図１及び図２に示すように、真空用フィル
タ１１の外部をなすエレメント収容体１２は、筒状のカ
バー１３に同カバー１３の両端開口部に対して着脱可能
なエンドキャップ１４ａ，１４ｂを嵌め合せることによ
って構成されている。エンドキャップ１４ａ，１４ｂ
は、図示しない取付部によってカバー１３に嵌合されて
いる。これらカバー１３及びエンドキャップ１４ａ，１
４ｂによって空間１５が形成されている。

【００１５】エンドキャップ１４ａは、カバー１３の上
側開口部に対して着脱可能に取り付けられている。エン
ドキャップ１４ａの中心には、カバー１３の軸線方向に
沿って第１ポート１７が形成されている。第１ポート１
７の上半分には、ネジ部１８が形成されている。ネジ部
１８の下側の内径は、同ネジ部１８の内径よりも小さく
なっている。この第１ポート１７は、前記空間１５に連
通している。

【００１６】第１ポート１７の下方には、円柱状の突出
部１９が設けられ、その先端は空間１５内に突出されて
いる。突出部１９は、円筒状の第１接続部２０によって
前記エンドキャップ１４ａに接続されている。第１接続
部２０の側面には、第１連通孔２１が一定間隔に数箇所
（図示されていない）形成されている。第１接続部２０
の外周付近には、第２接続部２２がエンドキャップ１４
ａの下面から突設されている。第２接続部２２の下端部
は、断面凸状に形成されている。第２接続部２２には、
第２連通孔２３が一定間隔に数箇所（図示されていな
い）形成されている。第２接続部２２の外側には、第３
接続部２４が前記エンドキャップ１４ａの下面から突設
されている。第３接続部２４の下端部は、断面凹状に形
成されている。

【００１７】第３接続部２４の外周面における上端部に
は、Ｏリング挿入溝２５ａが円周方向に沿って形成され
ている。Ｏリング挿入溝２５ａには、ゴム製のＯリング
２８が挿入されている。このＯリング２８によって、カ
バー１３の内壁面とエンドキャップ１４ａとが密着され
る。エンドキャップ１４ａの張り出し２６ａは、基端部
１６ａよりも突出した状態で形成されている。張り出し
２６ａの下面がカバー１３の開口端に接触することによ
り、エンドキャップ１４ａの位置決めがなされるように
なっている。

【００１８】エンドキャップ１４ｂは、カバー１３の下
側開口部に対して着脱可能に取り付けられている。エン
ドキャップ１４ｂの上面には、環状の嵌合突部３９が形
成されている。エンドキャップ１４ｂの中心には、カバ
ー１３の軸線方向に沿って第２ポート２９が形成されて
いる。第２ポート２９の下半分には、ネジ部１８が形成
されている。第２ポート２９の内周面には、連通孔３０
が外周方向に設けられている。連通孔３０は、一定間隔
に数箇所配置されている。つまり、この第２ポート２９
は、連通孔３０を介して前記空間１５に連通している。

【００１９】エンドキャップ１４ｂの外周面に形成され
た張り出し２６ｂには、Ｏリング挿入溝２５ｂが円周方
向に形成されている。Ｏリング挿入溝２５ｂには、前記
Ｏリング２８が挿入されている。このＯリング２８によ
って、カバー１３の内壁面とエンドキャップ１４ｂとが
密着される。張り出し２６ｂの上面が、カバー１３の下
側開口端に接触することによりエンドキャップ１４ｂの
位置決めがなされる。

【００２０】エレメント収容体１２の内部にある空間１
５には、合成樹脂製の枠付フィルタエレメント３１が収
容されている。枠付フィルタエレメント３１の下端部に
は、円板状の基台部３２が形成されている。基台部３２
の中心には、円形状の貫通孔３３が形成されている。基
台部３２の下端には、環状の嵌合溝３４が形成されてい
る。嵌合溝３４には、前記嵌合突部３９が嵌め込まれて
いる。基台部３２の上面には、壁３５ａが突設されてい
る。壁３５ａの先端部は、断面凸状に形成されている。
基台部３２の外周部には、枠体３５ｂが突設されてい
る。枠体３５ｂの側面には、第３連通孔３６が一定間隔
に数箇所形成されている。

【００２１】第３連通孔３６において、枠体３５ｂの内
周側には、エアを濾過するための第１エレメント部材３
７ａが設けられている。第１エレメント部材３７ａは、
枠体３５ｂと一体に形成されている。また、前記基台部
３２の下側には、前記貫通孔３３を覆うように、第２エ
レメント部材３７ｂが設けられている。第２エレメント
部材３７ｂの下端面は、基台部３２の下端面と面一にな
っている。第２エレメント部材３７ｂの外径は、前記壁
３５ａの内径とほぼ同じ大きさになっている。第２エレ
メント部材３７ｂの厚さは、基台部３２の厚さの約半分
の大きさになっている。第２エレメント部材３７ｂは、
前記枠付フィルタエレメント３１から分離可能に形成さ
れている。尚、本実施形態では、第１エレメント部材３
７ａと第２エレメント部材３７ｂとによってフィルタエ
レメントが構成されている。

【００２２】前記第２接続部２２の下端部と前記壁３５
ａの上端部との間には、ゴム製の双方向チェック弁４１
が挟持された状態で固定されている。図２及び図５に示
すように、この双方向チェック弁４１はリング状に形成
されている。双方向チェック弁４１の環状部材４２は、
断面略長方形状に形成されている。環状部材４２の上端
部及び下端部は、断面凹状に形成されている。環状部材
４２の外周部には、第２リップ部４３が斜め上方に向け
て突出されている。また、双方向チェック弁４１の内周
部には、第１リップ部４４が斜め下方に向けて突出され
ている。第２リップ部４３の外径は、前記エンドキャッ
プ１４ａの第３接続部２４における内径よりもやや大き
く形成されている。よって、第２リップ部４３の外周面
における上端部は、第３接続部２４の内周面に圧接され
るようになっている。また、第１リップ部４４の内径
は、前記突出部１９の外径よりもやや小さく形成されて
いる。よって、第１リップ部４４の内周面における下端
部は、突出部１９の外周面に圧接されるようになってい
る。

【００２３】図２に示すように、前記エレメント収容体
１２の前記空間１５は第１領域５１、第２領域５２及び
第３領域５３に分けられている。第１領域５１は、前記
突出部１９、前記基台部３２、前記壁３５ａ、前記第２
エレメント部材３７ｂ及び前記双方向チェック弁４１に
囲まれることによって形成されている。第２領域５２
は、基台部３２、前記枠体３５ｂ、前記第１エレメント
部材３７ａ及び双方向チェック弁４１に囲まれることに
よって形成されている。第３領域５３は、エレメント収
容体１２の内部において、第１領域５１及び第２領域５
２の外側に位置している。

【００２４】エレメント収容体１２において、図４
（ａ）及び図４（ｃ）に示す矢印を第１の経路Ａ１とす
る。第１の経路Ａ１とは、真空発生時において、エアが
エレメント収容体１２内を通過する順路である。また、
図４（ｂ）及び図４（ｄ）に示す矢印を第２の経路Ａ２
とする。第２の経路Ａ２とは、真空破壊時において、エ
アがエレメント収容体１２内を通過する順路である。こ
の場合、第１エレメント部材３７ａ，第２エレメント部
材３７ｂには、常に一方向からしかエアが流れないよう
になっている。

【００２５】図３に示すように、圧力供給源６１は、フ
ィルタ６２、減圧弁６３の順に、配管６４を介して接続
されている。減圧弁６３は、配管６４を介してエジェク
タユニット６５に接続されている。エジェクタユニット
６５は、電磁弁６５ａ、合流点６５ｂ、サイレンサ６５
ｃ、圧力スイッチ６５ｄ及び絞り弁６５ｅ等から構成さ
れている。エジェクタユニット６５は、真空用フィルタ
１１に配管６４によって接続されている。真空用フィル
タ１１は、吸着パッド６７に配管６４によって接続され
ている。吸着パッド６７の下端は、ワーク６８に密接す
るようになっている。

【００２６】次に、この第１実施形態における真空用フ
ィルタ１１の作用を以下に示す。図３に示すように、真
空発生時において、エアは圧力供給源６１からフィルタ
６２、減圧弁６３の順に配管６４を介してエジェクタユ
ニット６５に接続されている。エジェクタユニット６５
内において、エアは電磁弁６５ａ、合流点６５ｂの順に
通過して、サイレンサ６５ｃから排出される。この場
合、真空用フィルタ１１及び吸着パッド６７には真空が
発生し、ワーク６８が負圧によって吸着パッド６７に吸
い付けられる。よって、ワーク６８が移動可能になる。
この場合、図４（ｃ）に示すように、エレメント収容体
１２内を通過するエアは、第１の経路Ａ１を通る。詳述
すると、エアは第２ポート２９から第３領域５３内に導
入される。次に、エアが第１エレメント部材３７ａを通
過して第３領域５３から第２領域５２へ流れるようにな
っている。この場合、エア中に含まれる塵埃７１が第１
エレメント部材３７ａの外周面に吸着される。第２領域
５２に導入されたエアは、前記第２リップ部４３を押圧
して第１ポート１７に導かれる。

【００２７】図３に示すように、真空破壊時において、
圧力供給源６１から供給されるエアは電磁弁６５ａ、絞
り弁６５ｅ、真空用フィルタ１１、吸着パッド６７の順
に通過する。その結果、ワーク６８が吸着パッド６７か
ら離れる。この場合、図４（ｄ）に示すように、エレメ
ント収容体１２内を通過するエアは第２の経路Ａ２を通
る。詳述すると、エアは第１ポート１７からエレメント
収容体１２内に導入される。次に、エアは、前記第１リ
ップ部４４を押圧して第１領域５１内に導かれる。さら
に、エアは第２エレメント部材３７ｂを通過して第３領
域５３に導かれる。この場合、エア中に含まれる塵埃７
１が第２エレメント部材３７ｂの上面に吸着される。そ
して、エアは第２ポート２９から配管６４を通過して吸
着パッド６７に導かれる。

【００２８】また、第１エレメント部材３７ａを交換す
る場合には、カバー１３からエンドキャップ１４ａ，１
４ｂを取り外す。次に、第１エレメント部材３７ａと一
体になっている枠付フィルタエレメント３１をカバー１
３から取り出す。第２エレメント部材３７ｂを交換する
場合には、カバー１３からエンドキャップ１４ａ，１４
ｂを取り外す。次に、枠付フィルタエレメント３１をカ
バー１３から取り外す。そして、枠付フィルタエレメン
ト３１から第２エレメント部材３７ｂを取り外す。

【００２９】従って、この第１実施形態によれば以下の
ような効果を得ることができる。 （１）真空発生時には、エアが第１の経路Ａ１に設けら
れた第１エレメント部材３７ａを通過する。また、真空
破壊時には、エアが第２の経路Ａ２に設けられた第２エ
レメント部材３７ｂを通過する。よって、真空発生時に
吸い取った塵埃７１が、真空破壊時にワーク６８側へ吹
き飛ばされてしまうことはない。従って、塵埃７１はワ
ーク６８に付着しにくくなる。

【００３０】（２）カバー１３は筒状に形成され、エン
ドキャップ１４ａ，１４ｂは、カバー１３の両端開口部
に対して着脱可能なので、真空用フィルタ１１を分解し
て第１エレメント部材３７ａ及び第２エレメント部材３
７ｂを取り出すことができる。また、第１エレメント部
材３７ａと第２エレメント部材３７ｂとは、互いに分離
可能になっている。従って、第１エレメント部材３７ａ
及び第２エレメント部材３７ｂの濾過度をそれぞれ選ぶ
ことができる。また、第１エレメント部材３７ａ及び第
２エレメント部材３７ｂのどちらか片方に目詰まりが発
生した場合において、片方だけを適切な時期に交換する
ことができる。

【００３１】（第２実施形態）次に、本発明の真空用フ
ィルタ１１を具体化した第２実施形態を図６（ａ）〜
（ｄ）に基づき詳細に説明する。尚、第１実施形態と同
様の機能を果たす部分については共通の部材番号を付し
た。

【００３２】図６（ｃ），（ｄ）に示すように、上側の
エンドキャップ１４ａにおいて、第１接続部２０の下端
からは第１突出部８１が形成されている。第１突出部８
１の下端は、カバー１３の中央付近まで延びている。第
１突出部８１の下端部には、螺合孔８２が形成されてい
る。

【００３３】また、下側のエンドキャップ１４ａにおい
て、第１接続部２０の上端からは第２突出部８３が形成
されている。第２突出部８３の上端は、カバー１３の中
央付近まで延びている。第２突出部８３の上端部には、
螺合突起８４が形成されている。第２突出部８３は、第
１突出部８１と螺合孔８２と螺合突起８４とを介して下
側のエンドキャップ１４ａに固定されている。

【００３４】それぞれのエンドキャップ１４ａにおい
て、第２接続部２２の端部には、双方向チェック弁４１
が取り付けられている。これら２つの双方向チェック弁
４１の間には、フィルタエレメント８５が挟持された状
態で固定されている。

【００３５】ここで、図６（ａ）及び図６（ｃ）に示す
矢印Ａ１を第１の経路とする。第１の経路Ａ１とは、真
空発生時において、エアがエレメント収容体１２内を通
過する順路である。また、図６（ｂ）及び図６（ｄ）に
示す矢印Ａ２を第２の経路とする。第２の経路Ａ２と
は、真空破壊時において、エアがエレメント収容体１２
内を通過する順路である。第１の経路Ａ１及び第２の経
路Ａ２の途上にはフィルタエレメント８５が配置されて
いる。そのフィルタエレメント８５を通過する際のエア
の流れ方向は常に―定になっている。よって、フィルタ
エレメント８５の内側だけに塵埃７１が堆積している。

【００３６】次に、この第２実施形態の真空用フィルタ
１１の作用を以下に示す。真空発生時において、図６
（ｃ）に示すように、エレメント収容体１２内を通過す
るエアは第１の経路Ａ１を通る。詳述すると、エアは第
２ポート２９からエレメント収容体１２内に導入され
る。次に、エアは下側の双方向チェック弁４１の第１リ
ップ部４４を押圧して第１領域５１に導入される。さら
に、エアがフィルタエレメント８５を通過して第１領域
５１から第２領域５２に流れるようになっている。この
場合、エア中に含まれる塵埃７１がフィルタエレメント
８５の内周面に吸着される。第２領域５２に導入された
エアは、上側の双方向チェック弁４１の第２リップ部４
３を押圧して第１ポート１７に導かれる。

【００３７】真空破壊時において、図６（ｄ）に示すよ
うに、エレメント収容体１２内を通過するエアは第２の
経路Ａ２を通る。詳述すると、エアは第１ポート１７か
らエレメント収容体１２内に導入される。次に、エアは
上側の双方向チェック弁４１の第１リップ部４４を押圧
して第１領域５１に導入される。さらに、エアがフィル
タエレメント８５を通過して第１領域５１から第２領域
５２に流れるようになっている。この場合、エア中に含
まれる塵埃７１がフィルタエレメント８５の内周面に吸
着される。第２領域５２に導入されたエアは、下側の双
方向チェック弁４１の第２リップ部４３を押圧して第２
ポート２９に導かれる。

【００３８】従って、この第２実施形態によれば以下の
ような効果を得ることができる。 （１）真空発生時には、エアがフィルタエレメント８５
を通過する。また、真空破壊時には、エアがフィルタエ
レメント８５を真空発生時と同方向から通過する。よっ
て、真空発生時に吸い取った塵埃７１が、真空破壊時に
ワーク６８側へ吹き飛ばされてしまうことはない。従っ
て、塵埃７１はワーク６８に付着しにくくなる。

【００３９】（２）フィルタエレメント８５は、第１の
経路Ａ１と第２の経路Ａ２との両方において、同じ箇所
に配置される。フィルタエレメント８５を通過するエア
の流れ方向は常に一定になっている。よって、フィルタ
エレメント８５が真空発生時用及び真空破壊時用の２箇
所に設けられていなくてもよい。従って、フィルタエレ
メント８５を構成する部品の数が少なくなるため、真空
用フィルタ１１を小さくすることができる。

【００４０】尚、本発明の実施形態は以下のように変更
してもよい。 ・前記第１実施形態及び第２実施形態では、双方向チェ
ック弁４１は、ゴムによって一体成形されていた。それ
に対して、双方向チェック弁４１は、外周側の部材と内
周側の部材との２つの部材によって形成されていてもよ
い。

【００４１】・前記実施形態では、エレメント収容体１
２は、筒状のカバー１３の両端開口部に対して、エンド
キャップ１４ａ，１４ｂを着脱可能に嵌め込むことによ
り構成されていた。それに対して、カバー１３の一端の
みを開口する。その状態において、筒状のカバー１３の
開口部に対して、エンドキャップ１４ａまたはエンドキ
ャップ１４ｂを着脱可能に嵌め込むことによりエレメン
ト収容体１２を構成してもよい。

【００４２】・第１エレメント部材３７ａ、第２エレメ
ント部材３７ｂ、フィルタエレメント８５は、樹脂繊維
により形成されたものでも、多孔質材料により形成され
たものでもよい。

【００４３】・前記第１実施形態では、枠体３５ｂは第
３接続部２４によってエンドキャップ１４ａに接続され
ていた。その代わりに、枠体３５ｂの外周面に接続部を
設け、その接続部をカバー１３の内周面に接続するよう
にしてもよい。

【００４４】次に、特許請求の範囲に記載された技術的
思想のほかに、前述した実施形態によって把握される技
術的思想をその効果とともに以下に列挙する。 （１）請求項１において、前記チェック弁は、弾性体か
らなる環状部材であって、内周面に所定方向に傾斜する
第１リップ部を有し、かつ外周面に前記第１リップ部と
反対方向に傾斜する第２リップ部を有するリップパッキ
ンを構成要素とすることを特徴とする真空用フィルタ。

【００４５】（２）請求項１〜３において、弾性体から
なる環状部材であって、内周面に所定方向に傾斜する第
１リップ部を有し、かつ外周面に前記第１リップ部と反
対方向に傾斜する第２リップ部とを有するリップパッキ
ン。

【００４６】（３）請求項１〜３に記載した真空用フィ
ルタを備えることを特徴とする真空吸着システム。 （４）請求項１において、前記フィルタエレメントは、
前記枠材における側面部から離間して設けられるととも
に、同枠材における下端部に接触して設けられ、前記チ
ェック弁は前記枠材の上端部に接触するように設けられ
ていることを特徴とする真空用フィルタ。

【００４７】よって、技術的思想（４）では、真空破壊
用電磁弁で発生する塵埃とパッドから吸い込む塵埃とを
省スペースで捕集することができる。真空発生側と真空
破壊側とで濾過度をそれぞれ選ぶことができる。真空発
生側と真空破壊側のフィルタエレメントが分かれている
ので、どちらか片方の目詰まりがひどくても片方だけを
適切な時期に交換することができる。

【００４８】（５）請求項１において、前記フィルタエ
レメントは、前記枠材における側面部に接触した状態で
一体成形されるとともに、前記チェック弁は、同フィル
タエレメントの上端部及び下端部のそれぞれに接触する
ように設けられていることを特徴とする真空用フィル
タ。

【００４９】

【発明の効果】以上詳述したように、請求項１に記載の
発明によれば、塵埃はワークに付着しにくくなる。

【００５０】請求項２に記載の発明によれば、請求項１
に記載の発明の効果に加えて、第１エレメント部材及び
第２エレメント部材の濾過度をそれぞれ選ぶことができ
る。また、第１エレメント部材または第２エレメント部
材のどちらか片方に目詰まりが発生した場合において、
片方だけを適切な時期に交換することができる。

【００５１】請求項３に記載の発明によれば、請求項１
に記載の発明の効果に加えて、フィルタエレメントを構
成する部品の数が少なくなるため、真空用フィルタを小
さくすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 第１実施形態における真空用フィルタの分解
斜視図。

【図２】 同じく、真空用フィルタの全体断面図。

【図３】 同じく、真空用フィルタの使用態様を示す概
略図。

【図４】 （ａ）及び（ｂ）は、真空用フィルタの真空
発生時及び真空破壊時を示す回路図、（ｃ）及び（ｄ）
は、真空用フィルタの真空発生時及び真空破壊時を示す
全体断面図。

【図５】 リップパッキンの全体斜視図。

【図６】 （ａ）及び（ｂ）は、第２実施形態における
真空用フィルタの真空発生時及び真空破壊時を示す回路
図、（ｃ）及び（ｄ）は、真空用フィルタの真空発生時
及び真空破壊時を示す全体断面図。

【図７】 （ａ）及び（ｂ）は、従来技術における真空
発生時及び真空破壊時の真空用フィルタを示す全体断面
図。

【符号の説明】

１１…真空用フィルタ、１２…エレメント収容体、１３
…カバー、１４ａ、１４ｂ…エンドキャップ、１５…空
間、１７…第１ポート、２９…第２ポート、３１…枠付
フィルタエレメント、３７ａ…フィルタエレメントとし
ての第１エレメント部材、３７ｂ…フィルタエレメント
としての第２エレメント部材、４１…双方向チェック
弁、Ａ１…第１の経路、Ａ２…第２の経路。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】気体を濾過するためのフィルタエレメント
   をエレメント収容体の内部にある空間に収容するととも
   に、前記空間に連通する第１ポート及び第２ポートを前
   記収容体にそれぞれ設け、真空発生時に第２ポート側か
   ら前記フィルタエレメントを経由して第１ポート側へ気
   体が流れ、真空破壊時に第１ポート側から前記フィルタ
   エレメントを経由して第２ポート側へ気体が流れるよう
   に構成された真空用フィルタにおいて、 真空発生時に第１の経路を介した気体の流れを許容し、
   真空破壊時に前記第１の経路とは異なる第２の経路を介
   した気体の流れを許容するチェック弁を前記空間に設け
   たことを特徴とする真空用フィルタ。
2. 【請求項２】前記エレメント収容体は、筒状のカバー
   と、前記カバーの両端開口部に対して着脱可能なエンド
   キャップとからなり、前記フィルタエレメントは、前記
   第１の経路の途上に位置する濾過部を備える第１エレメ
   ント部材と、前記第２の経路の途上に位置する濾過部を
   備える第２エレメント部材とからなり、両エレメント部
   材は互いに分離可能であることを特徴とする請求項１に
   記載の真空用フィルタ。
3. 【請求項３】前記フィルタエレメントは前記両経路の途
   上に位置する濾過部を備えるとともに、その濾過部を通
   過する際の気体の流れ方向は常に―定であることを特徴
   とする請求項１に記載の真空用フィルタ。