JPH11267434A - 真空用フィルタ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】フィルタエレメント２２の濾過部の目詰まりを
低減することができる真空用フィルタ６を得る。 【解決手段】ボディ１１に入口ポート１２と出口ポート
１３とを設けると共に両ポート１２，１３を連通させる
通路途中にフィルタエレメント２２を設け、そのフィル
タエレメント２２の濾過部をメッシュ３０により形成し
た。又、入口ポート１２とフィルタエレメント２２との
間にはルーバ２３を設けた。これにより、出口ポート１
３側に発生する真空引き作用によって入口ポート１２側
から気体が導入されるが、この時、まずルーバ２３によ
り気体から液体等の異物の大半が遠心分離され、その分
離後の気体のみがフィルタエレメント２２を通過する。
又、気体通過の際にメッシュ３０に異物が付着しても、
真空引き作用の停止時等において異物の多くがメッシュ
３０から離脱され、ボウル１４内底部に落下する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、真空源を利用した
真空吸引システムや真空源に加え吸着パッドを使用した
真空吸着システム等に用いるに好適な真空用フィルタに
関する。

【０００２】

【従来の技術】真空ポンプやエジェクタ等の真空源と、
吸着パッド等の吸引部とを接続する配管の途中には真空
用フィルタが介在されている。

【０００３】ここで、吸着パッドを用いてワークを吸着
する吸着システムの簡単な例について図２及び図３に基
づいて説明する。図２及び図３に示すように、吸引部と
しての吸着パッド１には同吸着パッド１を上下方向及び
横方向に移動させる駆動装置２が設けられている。吸着
パッド１は配管３を介して真空ポンプやエジェクタ等の
真空源４と接続され、同真空源４の真空引き作用によっ
て吸着パッド１にワークＷを吸着させる吸引作用を付与
する。配管３には切換手段としてのバルブ５が設けら
れ、バルブ５の切換によって真空源４と吸着パッド１と
を連通状態又は遮断状態に切り換える。

【０００４】バルブ５と吸着パッド１との間の配管３に
は、吸着パッド１から吸い込んだ塵埃や液体等の異物を
除去するための真空用フィルタ６が介在されている。同
真空用フィルタ６とバルブ５との間の配管３には同配管
３内の圧力を検出する検出手段としての真空スイッチ７
が設けられている。制御装置８には真空スイッチ７、駆
動装置２及びバルブ５が接続されている。そして、制御
装置８には真空スイッチ７から出力される検出信号が入
力される一方、制御装置８からは駆動装置２を駆動させ
る駆動信号及びバルブ５を切換えさせる切換信号がそれ
ぞれ出力される。

【０００５】この吸着システムの動作について説明す
る。制御装置８からの駆動信号により駆動装置２が動作
すると、吸着パッド１がワークＷと対向する位置に配置
されるとともにワークＷに接近する。その後、制御装置
８からの切換信号によりバルブ５が切換られると、真空
源４と吸着パッド１とが連通状態となり、図３に示すよ
うに吸着パッド１にワークＷが吸着保持される。

【０００６】この吸着時には吸着パッド１の開口部がワ
ークＷによって閉塞されるため、配管３内の真空度が高
くなるとともに流量が低下する。その配管３内の圧力の
変化は真空スイッチ７により検出され、その検出信号が
制御装置８に出力される。そして、制御装置８はその検
出信号に基づいて吸着パッド１にワークＷが吸着された
ことを確認してワークＷを別の場所に移動させるために
駆動装置２に駆動信号を出力する。

【０００７】ここで、吸着パッド１は本来ワークＷを吸
着するものであるが、ワークＷ自体或いはその周囲の環
境によって、塵埃や液体などの異物を吸い込んでしま
う。上記真空用フィルタ６は、この吸い込んだ異物が上
記真空源４やバルブ５や真空スイッチ７に入り込んで誤
動作したり故障する等の悪影響が及ばないように、その
手前で異物を空気から分離させる目的で設けられてい
る。

【０００８】空気と異物との分離は真空用フィルタ６内
に設けられたフィルタエレメントによる濾過機能によっ
て行われているが、従来、そのフィルタエレメントとし
ては図７に示す繊維などからなる樹脂エレメントＥが用
いられていた。樹脂エレメントＥは異物を捕捉するもの
であり、異物は繊維内に絡み付くように樹脂エレメント
Ｅの表面や内部に次々と溜まっていく。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の樹脂エレメントＥでは異物を捕捉して空気中から除
去するものであることから、吸着パッド１からの異物の
吸い込みが多い環境下で使用すると、樹脂エレメントＥ
がすぐに目詰まりを起こしてしまう。

【００１０】しかも、シリンダ等の空気圧機器の駆動シ
ステムとして用いられる圧縮空気供給システムでは異物
が配管内に入ってくる要因が少ないとともに、たとえ配
管内に異物が入ったとしてもその異物は非常に小さくか
つ少量であるのに対し、上記したような真空吸着システ
ム又は真空吸引システムでは吸着パッド１等の吸引部か
ら入ってくる異物が大きいものもありしかも大量に入っ
てくる場合がある。そのため、上記したように樹脂エレ
メントＥがすぐに目詰まりしてしまう。

【００１１】又、圧縮空気供給システムでは一般に圧縮
空気供給源からの圧力と使用圧力との差圧がもともと大
きいため、フィルタ部分での圧力損失はそれほど問題に
はならない。これに対し、上記した真空吸着システム又
は真空吸引システムでは、最大差圧幅が１０１ＫＰａ程
度と非常に小さく、もともと差圧が小さいため、樹脂エ
レメントＥでの圧力損失や流量低下は非常に大きな問題
となる。

【００１２】即ち、真空用フィルタ６として上記樹脂エ
レメントＥを用いると、すぐに目詰まりしてしまうこと
から、樹脂エレメントＥの交換周期が非常に短くなるた
め、交換作業が面倒になるという問題が発生する。

【００１３】又、樹脂エレメントＥに異物が溜まってい
くと、樹脂エレメントＥによって流路が絞られてしま
う。流路が絞られていくにつれて樹脂エレメントＥより
も真空源４の配管３の真空度が上昇するので、図２に示
すように吸着パッド２がワークＷを吸着していない状態
でも真空スイッチ７は吸着パッド１にワークＷが吸着さ
れたものとして制御装置８に検出信号を出力することと
なり、制御装置８が吸着パッド１によるワークＷ吸着の
有無に関する判断を誤ることになるという問題も発生す
る。

【００１４】更には、真空スイッチ７及び制御装置８が
誤動作するに至らないまでも、樹脂エレメントＥにおけ
る流路絞り作用によって真空源４の空気吸引動作が吸着
パッド１に充分に反映されず、吸着パッド１によるワー
クＷの吸着完了までの時間が長くなるという問題もあ
る。

【００１５】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であり、その目的は、フィルタエレメントの目詰まりを
低減し、フィルタエレメントを通過する流量の低下を防
止することができるとともに、フィルタエレメントの交
換サイクルも長くすることができる真空用フィルタを提
供することにある。

【００１６】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、請求項１に記載の発明では、ハウジングに入口ポ
ートと出口ポートとを設けるとともに両ポートを連通さ
せる通路を設け、出口ポート側に発生する真空引き作用
によって入口ポート側から気体を前記通路に導入して同
通路を介して出口ポートへ導出するように構成し、前記
通路途中には気体を濾過するフィルタエレメントを設
け、そのフィルタエレメントの濾過部をメッシュにより
形成した。

【００１７】上記手段により、出口ポート側に真空引き
作用が発生すると、入口ポート側から気体が通路に導入
され、その通路途中に設けられたフィルタエレメントに
より気体が濾過された後、その濾過後の気体が出口ポー
トから導出される。ここで、フィルタエレメントの濾過
部がメッシュにより形成されていることから、入口ポー
ト側から気体に混入してハウジング内に入ってきた塵埃
はメッシュに付着される。そして、真空引き作用がなく
なると、メッシュに付着していた塵埃はメッシュから離
脱されるため、メッシュに塵埃が堆積されにくく、メッ
シュの目詰まりの進行は遅いものとなる。

【００１８】請求項２に記載の発明では、請求項１記載
の真空用フィルタにおいて、前記入口ポートとフィルタ
エレメントとの間の前記通路途中には、入口ポートから
導入される気体の流れに基づいて同気体に遠心力を付与
する遠心分離機構を設け、その遠心分離機構により前記
気体から液体や塵埃の大半を分離させるとともに、分離
後の気体を前記フィルタエレメントに至らしめるように
構成した。

【００１９】上記手段により、入口ポートから導入され
る気体の流れにより、遠心分離機構において気体に遠心
力が付与される。液体や比較的大粒の粒子からなる塵埃
はその遠心力により気体と分離される。そのため、メッ
シュを有するフィルタエレメントに到達して濾過される
気体には液体や比較的大粒の粒子は入っておらず、メッ
シュの目詰まりが一層低減されることとなる。

【００２０】請求項３に記載の発明では、請求項２記載
の真空用フィルタにおいて、前記フィルタエレメントを
筒状に形成し、その筒状の外部から内部に向けて気体が
通過するように構成し、前記分離後の液体や塵埃が落下
した際にそれらを溜める収容部を、前記フィルタエレメ
ントの周囲を覆うように設けた。

【００２１】上記手段により、遠心分離された液体や比
較的大粒の塵埃は収容部内に溜められるため、分離後の
液体や比較的大粒の塵埃がフィルタエレメントに到達す
るおそれが一層低減される。又、フィルタエレメントが
筒状に形成され、その外部から内部に向けて気体が通過
するようにしているため、筒状の外部に付着した塵埃も
真空引き作用の停止状態では収容部に溜められることと
なる。その結果、メッシュの目詰まりがより一層低減さ
れることとなる。

【００２２】請求項４に記載の発明では、請求項１乃至
請求項３のいずれかに記載の真空用フィルタにおいて、
フィルタエレメントは、前記メッシュを、線材を網目に
編み込んだ薄板状に形成するとともに、そのメッシュが
所定形状を保持するように支持する樹脂製の枠体を一体
成形することにより構成したものとした。

【００２３】上記手段により、メッシュを線材を網目に
編み込んだ薄板状に形成したことにより、メッシュに塵
埃が付着した後にそれを取り除くことが容易になる。
又、メッシュはそれ自体では所定形状に保持することが
困難であるが、樹脂製の枠体を一体成形していることか
ら、形状保持が確実になされる。特に、上記のようにフ
ィルタエレメントを筒状に形成する場合にはこの発明の
ように樹脂製の枠体を一体成形することが好適である。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下、一実施形態を図１〜図５に
基づいて説明する。なお、図２及び図３の吸着システム
については従来技術で説明したものと同一であるため、
その詳細な説明は省略する。

【００２５】図１に示すように、真空用フィルタ６のボ
ディ１１側部には入口ポート１２が設けられ、ボディ１
１の入口ポート１２に対向する側には出口ポート１３が
設けられている。入口ポート１２は図２及び図３の吸着
システムにおいて配管３の吸着パッド１側に接続され、
出口ポート１３は配管３の真空源４側に接続されてい
る。そして、真空源４の真空引き作用によって、入口ポ
ート１２を介して真空用フィルタ６内に空気が導入され
るとともに、出口ポート１３を介して真空用フィルタ６
から空気が導出される。

【００２６】ボディ１１の下部には、上面が開口されて
いる有底円筒状のボウル１４の上端が嵌入されている。
ボウル１４は収容部としての機能を有する。ボウル１４
は透明又は半透明の材質により形成されており、外部か
らボウル１４内部の状態を視認可能となっている。ボウ
ル１４の上端部外周にはＯリング１５が装着され、同Ｏ
リング１５によりボディ１１とボウル１４との間の気密
が保持されている。そして、ボウル１４を下方に引張る
ことにより同ボウル１４をボディ１１から取外すことが
できる。

【００２７】ボディ１１の下部には、上面が開口されて
いる有底円筒状のボウルガード１６がボウル１４を覆う
ように配設されている。そして、ボディ１１、ボウル１
４及びボウルガード１６により真空フィルタ６のハウジ
ングが構成されている。ボウルガード１６の外周面には
図示しない係合突部が設けられ、ボディ１１の外周面に
はその係合突部に係脱可能となる図示しない係合部材が
設けられている。そして、係合突部と係合部材とを係合
させることによりボウルガード１６がボディ１１の下部
に固定される一方、係合突部と係合部材との係合関係を
解除することによりボウルガード１６をボディ１１から
取外すことができる。

【００２８】ボウルガード１６の側面の複数箇所にはボ
ウルガード１６の内外に連通する図示しない側面窓が形
成されている。その結果、その側面窓を介してボウル１
４内部の状態を確認することができる。

【００２９】ボディ１１には、入口ポート１２からボウ
ル１４の内部に連通する導入通路１７が形成されるとと
もに、出口ポート１３からボウル１４の内部に連通する
導出通路１８が形成されている。

【００３０】ボディ１１下部には、導出通路１８のボウ
ル１４内部側の開口端に対応して支持体２０が取付けら
れている。ボディ１１に対する支持体２０の取付けは、
支持体２０の上端外周面とそれに対応するボディ１１内
周面とにそれぞれ形成されたネジ山同士の螺合により行
われている。そのため、ボディ１１に対し支持体２０を
回転させることにより同支持体２０をボディ１１から取
外すことができる。支持体２０の前記ネジ山より下方位
置には複数の連通孔２０ａが形成され、同連通孔２０ａ
により支持体２０の内外が連通されている。

【００３１】支持体２０の下端には遮蔽部材としてのバ
ッフル２１が固定されている。バッフル２１は傘形状を
なし、その先端が斜め下方へ指向されている。バッフル
２１の外周面とボウル１４の内周面との間には僅かな隙
間が形成されている。以上のバッフル２１の形状及び隙
間によって、バッフル２１周囲から下方に落下した異物
が上方へ吹き上げられるのを防止している。バッフル２
１の上面には支持体２０を周囲から覆うように円筒状の
フィルタエレメント２２が載置されている。

【００３２】支持体２０にはその上方から遠心分離機構
を構成するルーバ２３が挿入されており、同ルーバ２３
はフィルタエレメント２２の上面に載置されている。そ
して、ボディ１１に対する支持体２０の取付状態におい
ては、ボディ１１下面とバッフル２１上面との間にルー
バ２３及びフィルタエレメント２２が挟持されている。
ルーバ２３の外周端には多数本の羽根２３ａが設けら
れ、同羽根２３ａにより導入通路１７からボウル１４内
部に導入される空気に旋回動作を付与するようになって
いる。

【００３３】フィルタエレメント２２によってボウル１
４の内部は、フィルタエレメント２２外側の導入室２４
とフィルタエレメント２２内側の導出室２５とに区画さ
れている。前記導入通路１７、導入室２４、導出室２５
及び導出通路１８により通路が形成されている。

【００３４】図４（ａ）に示すように、フィルタエレメ
ント２２は、円環状に形成された上部支持枠２６と、同
じく円環状に形成された下部支持枠２７と、これら上部
支持枠２６及び下部支持枠２７を所定間隔に保持する複
数本、本実施形態では４本の連結枠２８とからなる枠体
２９を備えている。枠体２９は合成樹脂材料により形成
されている。

【００３５】枠体２９の内周側には濾過部としてのメッ
シュ３０が固定されている。メッシュ３０は線材として
の樹脂細線からなり、図４（ｂ）に示すように、上下方
向に直線状に延びる多数本の樹脂細線３０ａと、その樹
脂細線３０ａに交差する方向（本実施形態では水平方
向）に環状に延びる多数本の樹脂細線３０ｂとを網目状
に編み込むことにより構成されている。そして、メッシ
ュ３０の各樹脂細線間の目開きＤは例えば４０μｍ程度
となるように形成されている。目開きＤは用途に応じて
任意に設定されるものである。なお、本実施形態では、
メッシュ３０に樹脂製の枠体２９を一体成形することに
より構成されており、空気の流れによって枠体２９から
メッシュ３０が離脱することはない。

【００３６】次に、以上のように構成された吸着システ
ム及びそれに使用される真空用フィルタ６の作用につい
て説明する。さて、図２において、制御装置８からの駆
動信号により駆動装置２が動作すると、吸着パッド１が
ワークＷと対向する位置に配置されるとともにワークＷ
に接近する。その後、制御装置８からの切換信号により
バルブ５が切換られると、真空源４と吸着パッド１とが
連通状態となり、図３に示すように吸着パッド１にワー
クＷが吸着保持される。

【００３７】この吸着時には吸着パッド１の開口部がワ
ークＷによって閉塞されるため、配管３内の真空度が高
くなるとともに流量が低下する。その配管３内の圧力の
変化は真空スイッチ７により検出され、その検出信号が
制御装置８に出力される。そして、制御装置８はその検
出信号に基づいて吸着パッド１にワークＷが吸着された
ことを確認してワークＷを別の場所に移動させるために
駆動装置２に駆動信号を出力する。

【００３８】上記した真空源４と吸着パッド１との連通
状態では、吸着パッド１から吸入された空気が配管３を
通って入口ポート１２から真空用フィルタ６の内部に流
入する。この空気中には塵埃及び液体といった異物が含
まれており、空気は導入通路１７を通ってボウル１４内
の導入室２４に流入する。空気が導入室２４へ流入する
際、ルーバ２３によって空気に旋回運動が付与される。
この旋回運動によって生じる遠心力により、液体や塵埃
の中でも比較的大きな固体粒子がボウル１４の内壁面に
集められて空気と分離される。その分離された液体と固
体粒子はボウル１４内壁面を伝ってボウル１４内底部に
溜まっていく。このボウル１４内底部に溜まった液体や
固体粒子はバッフル２１によりそれより上方へ舞い上が
ることが防止されている。

【００３９】一方、ルーバ２３の周囲を通過した空気は
フィルタエレメント２２を通過して導出室２５に流出す
る。空気がフィルタエレメント２２を通過する際、ルー
バ２３によって分離しきれなかった固体粒子がフィルタ
エレメント２２によって遮断される。図４（ｂ）に示す
ように、フィルタエレメント２２によって遮断し得る固
体粒子Ｇは、メッシュ３０の目開きＤを越える大きさの
ものである。導出室２５に流出した空気は導出通路１８
を通って出口ポート１３から真空フィルタ６の外部へ排
出される。

【００４０】又、上記した吸着パッド１によるワークＷ
吸着時や、バルブ５による遮断状態への切換時や、真空
源４の真空引き作用停止時には、真空フィルタ６内の通
路を含む配管３内の空気の流通が遮断される。この時、
先にフィルタエレメント２２で遮断された固体粒子Ｇは
ボウル１４内底部に落ちていく。これは、フィルタエレ
メント２２の濾過部をメッシュ３０により構成したこと
により、付着した固体粒子Ｇが濾過部に入り込んだりす
ることが殆どないためである。

【００４１】そして、上記した吸着パッド１によるワー
クＷ吸着時や、バルブ５による遮断状態への切換時や、
真空源４の吸引動作停止時において、フィルタエレメン
ト２２で遮断された固体粒子Ｇがボウル１４内底部に落
ちていくことにより、フィルタエレメント２２の濾過部
であるメッシュ３０の目詰まりが防止される。その結
果、このフィルタエレメント２２を長時間使用してもフ
ィルタエレメント２２における空気の流れを阻害するこ
とが殆どない。

【００４２】なお、フィルタエレメント２２のメッシュ
３０が目詰まりした場合には、フィルタエレメント２２
を真空用フィルタ６から取出してエアブローなどを行う
ことにより簡単に再生される。

【００４３】次に、本実施形態において得られる効果を
説明する。 （１）フィルタエレメント２２の濾過部がメッシュ３０
により形成されていることから、入口ポート１２側から
空気に混入して入ってきた塵埃等の異物をメッシュ３０
に付着させることができる。しかも、出口ポート１３側
に発生していた真空引き作用がなくなると、メッシュ３
０に付着していた塵埃の大半はメッシュ３０から離脱さ
れるため、メッシュ３０の目詰まりの進行を遅くするこ
とができる。

【００４４】（２）入口ポート１２から導入される空気
の流れとルーバ２３との協動によって、導入室２４に導
入される空気に遠心力が付与される。この時、液体や比
較的大粒の固体粒子からなる塵埃はその遠心力により空
気と分離される。そのため、メッシュ３０を有するフィ
ルタエレメント２２に到達して濾過される空気には液体
や比較的大粒の固体粒子は入っておらず、メッシュ３０
の目詰まりを一層低減することができる。

【００４５】（３）ルーバ２３によって分離された液体
や比較的大粒の塵埃はボウル１４内底部に溜められるた
め、分離後の液体や比較的大粒の塵埃がフィルタエレメ
ント２２に到達するおそれが一層低減される。又、フィ
ルタエレメント２２が筒状に形成され、その外部から内
部に向けて空気が通過するようにしているため、筒状の
外部、即ちメッシュ３０表面に付着した塵埃も真空引き
作用の停止状態ではその大半がメッシュ３０から離脱さ
れてボウル１４内底部に溜められることとなる。その結
果、メッシュ３０の目詰まりがより一層低減されること
となる。

【００４６】（４）ボウル１４内に溜まった液体や比較
的大粒の塵埃は、ボウル１４内に設けられたバッフル２
１によりそれより上方へ吹き上げられることが殆どなく
なるため、それら液体や比較的大粒の塵埃がフィルタエ
レメント２２に付着する可能性が非常に低くなる。

【００４７】（５）フィルタエレメント２２はボディ１
１に対して着脱可能に設けられているため、メッシュ３
０が寿命に達したとしてもフィルタエレメント２２のみ
を交換することができる。

【００４８】（６）メッシュ３０を、樹脂細線３０ａ，
３０ｂを網目に編み込んだ薄板状に形成したことによ
り、メッシュ３０に塵埃が付着した後にそれを取り除く
ことが容易になる。例えば、エアーブローによる再生処
理によってメッシュ３０を簡単に再生することができ
る。

【００４９】（７）メッシュ３０は樹脂細線３０ａ，３
０ｂを網目に編み込んだだけであるため、それ自体では
所定形状に保持することが困難であるが、このメッシュ
３０に樹脂製の枠体２９を一体成形していることから、
フィルタエレメント２２自身によって形状保持が確実に
なされる。又、メッシュ３０に対し枠体２９を一体成形
していることから、メッシュ３０に対する枠体２９の組
付け作業も不要となる利点がある。

【００５０】（７）以上の各種特徴的構成により、吸着
パッド１等の吸引・吸着部位からの異物の吸い込みが多
い環境下で真空用フィルタ６を使用しても、フィルタエ
レメント２２の目詰まりを低減することができるため、
フィルタエレメント２２前後の圧力差の上昇やフィルタ
エレメント２２を通過する空気の流量の低下を防止する
ことができる。

【００５１】（８）フィルタエレメント２２の目詰まり
による配管３内の真空度上昇を防止することができるた
め、真空用フィルタ６よりも真空源４側に接続された真
空スイッチ７が誤動作するおそれがなくなり、制御装置
８により正確な制御を行うことができる。

【００５２】（９）フィルタエレメント２２の目詰まり
による配管３内の流量低下を防止することができるた
め、吸着パッド１によるワークＷの吸着完了までの時間
が長くなることを防止することができる。

【００５３】（１０）フィルタエレメント２２のメッシ
ュ３０を樹脂細線３０ａ，３０ｂにより構成した。樹脂
は金属に比べて切削液等に対する腐食の進行が遅いた
め、特に切削液等が混入しやすい切削機を含む環境下で
の使用に適している。

【００５４】以上説明した実施形態の他、次のような他
の実施形態もある。 ・図６に示すように、メッシュ３０により形成されたフ
ィルタエレメント２２の内周側に、メッシュ３０と所定
間隔をおいて濾過部としての円筒状の樹脂エレメント４
０を配置する。樹脂エレメント４０は樹脂繊維により形
成されたものでも、多孔質材料により形成されたもので
もよい。樹脂エレメント４０の孔径はメッシュ３０より
も小さなものとすることが望ましい。例えば、５μｍ程
度とする。この場合、５μｍの樹脂エレメント４０を単
体で用いた場合に比べて長時間の使用が可能となる。特
に、メッシュ３０の場合、樹脂細線３０ａ，３０ｂを編
み込んだものであることからその目開きを２０μｍ以下
に形成することが困難であるため、それ以下の大きさの
異物を除去したい場合には好適である。

【００５５】・メッシュ３０を樹脂細線３０ａ，３０ｂ
により構成するのに代え、金属細線により構成する。金
属細線は薬品等に対する耐腐食性能が高いため、薬品等
を吸い込みやすい環境下での使用に適している。

【００５６】・真空スイッチ７を真空用フィルタ６に一
体に設ける。この場合、真空スイッチ７の配管３への接
続作業を省略することができて、吸着システム構築を容
易に行い得る。

【００５７】・真空スイッチ７を圧力を検出するものに
代え、流量を検出するものとする。この場合も、流量の
変化によって吸着パッド１によりワークＷが吸着されて
いるか否かを検出することができる。しかも、上記実施
形態の真空用フィルタ６を使用することによりフィルタ
エレメント２２部分での流量低下も防止することができ
るため、流量を検出している際に誤動作することはな
い。

【００５８】・吸着パッド１を用いた真空吸着システム
以外の真空源４を用いたシステムに応用することができ
る。例えば、真空源４の真空引き作用によって吸引部の
開口から流体を吸引する真空吸引システムに具体化した
実施形態がある。

【００５９】・ルーバ２３やバッフル２１を省略した構
成とする実施形態も可能である。但し、ルーバ２３を省
略すると空気と異物との分離が行われないため、上記実
施形態に比べフィルタエレメント２２の寿命が短くな
る。又、バッフル２１を省略するとボウル１４内底部に
溜まった液体等の異物が吹き上げられてフィルタエレメ
ント２２に付着する可能性が高くなるため、この場合
も、上記実施形態に比べフィルタエレメント２２の寿命
が短くなる。

【００６０】・ボウルガード１６を省略した構成とす
る。この場合、透明又は半透明のボウル１４全体が外部
に露出されるため、外部からボウル１４内部の状況を簡
単に視認することができる。

【００６１】・真空源４の真空引き作用によって配管３
内を流通するものとして、空気以外のものとする。即
ち、配管３内を流通するものは吸引部たる吸着パッド１
近傍の雰囲気により決定されるものであり、たとえばガ
ス雰囲気中ではガスが配管３内を流通することとなる。
その他、水等の液体を吸引して同液体から固体粒子を分
離する用途に真空用フィルタを使用する実施形態もあ
る。

【００６２】・ボウル１４の下部にドレン排出機構を設
け、ボウル１４の内底部に溜まった液体等の異物を適宜
外部に排出するように構成する。この場合、ボウル１４
内に溜まった液体等の異物を、定期的にボウル１４を取
外すことなく排出することができる。

【００６３】以上説明した各実施形態により把握される
請求項以外の技術的思想を以下に列挙する。 （１）真空源と吸引部とを配管で接続し、真空源の真空
引き作用によって吸引部に形成された開口から外部の流
体を吸引する真空吸引システムにおいて、前記配管には
吸引部の開口から吸引された流体を濾過して塵埃を除去
するフィルタエレメントを設け、そのフィルタエレメン
トの濾過部をメッシュにより形成した真空吸引システ
ム。この手段によれば、フィルタエレメントの濾過部が
メッシュにより形成されていることから、吸引部から流
体に混入して入ってきた塵埃はメッシュに付着される。
そして、真空引き作用がなくなると、メッシュに付着し
ていた塵埃の大半はメッシュから離脱されるため、メッ
シュの目詰まりの進行は遅いものとなる。

【００６４】（２）真空源と吸着パッドとを配管で接続
し、真空源の真空引き作用によって吸着パッドにワーク
を吸着する真空吸着システムにおいて、前記配管には吸
引部の開口から吸引された気体を濾過するフィルタエレ
メントを設け、そのフィルタエレメントの濾過部をメッ
シュにより形成した真空吸引システム。この手段によれ
ば、フィルタエレメントの濾過部がメッシュにより形成
されていることから、吸着パッドから気体に混入して入
ってきた塵埃はメッシュに付着される。そして、真空引
き作用がなくなると、メッシュに付着していた塵埃の大
半はメッシュから離脱されるため、メッシュの目詰まり
の進行は遅いものとなる。従って、フィルタエレメント
による流量低下を低減することができ、吸着パッドによ
るワーク吸着完了までの時間が長くなるのを防止するこ
とができる。

【００６５】（３）真空源と吸着パッドとを配管で接続
するとともに、配管には真空源と吸着パッドとの連通状
態と遮断状態とに切換える切換手段を介在させ、配管の
真空源と切換手段との間には真空用フィルタを介在さ
せ、配管の真空源と真空用フィルタとの間には配管内の
流体の圧力又は流量を検出することにより吸着パッドに
よる吸着動作の完了を間接的に検知する検出手段を設
け、切換手段の連通状態における真空源の真空引き作用
によって吸着パッドにワークを吸着するとともに、その
吸着時の配管内の圧力又は流量の変化に基いて検出手段
により吸着動作の完了を検知するようにした真空吸着シ
ステムにおいて、前記配管には吸引部の開口から吸引さ
れた流体を濾過するフィルタエレメントを設け、そのフ
ィルタエレメントの濾過部をメッシュにより形成した真
空吸引システム。この手段によれば、フィルタエレメン
トの濾過部がメッシュにより形成されていることから、
真空パッドから気体に混入して入ってきた塵埃はメッシ
ュに付着される。そして、真空引き作用がなくなると、
メッシュに付着していた塵埃の大半はメッシュから離脱
されるため、メッシュの目詰まりの進行は遅いものとな
る。従って、フィルタエレメントによる流量低下を低減
することができ、吸着パッドによるワーク吸着完了まで
の時間が長くなるのを防止することができる。又、フィ
ルタエレメントによる圧力又は流量の低下を低減するこ
とができるため、検出手段が誤動作することもない。

【００６６】（４）請求項１乃至請求項４のいずれかに
おいて、ハウジングに対しフィルタエレメントを着脱可
能とした。この手段によれば、メッシュが寿命に達した
場合であってもハウジングを交換することなくフィルタ
エレメントのみを交換し得るため、コスト面で有利であ
る。

【００６７】（５）請求項３において、収容部内には、
液体や塵埃等の異物が溜められる収容部内底部とフィル
タエレメントとの間に、異物が収容部内底部からフィル
タエレメントへ吹き上げられるのを低減する遮蔽部材を
設けた。この手段によれば、一旦収容部の内底部に溜め
られた異物が気体の流れによってフィルタエレメント側
へ吹き上げられた際、その大半を遮蔽部材によって遮る
ことができるため、フィルタエレメントの目詰まりを一
層低減し得る。

【００６８】（６）請求項１乃至請求項４のいずれかに
おいて、フィルタエレメントは、メッシュと、それより
出口ポート側に配置され同メッシュよりも通気孔の小さ
なフィルタとを備えた。この手段によれば、メッシュを
用いずにフィルタエレメントの濾過部を構成した場合に
比べ、長期間での使用が可能となる。特に、メッシュの
場合には一般に細線を編み込んだものであることからそ
の目開きを所定値以下に形成することが困難であるた
め、それ以下の大きさの異物を除去したい場合には別途
フィルタを出口ポート側に設けることが好ましい。

【００６９】

【発明の効果】以上詳述したように、請求項１に記載の
発明によれば、真空用フィルタを構成するフィルタエレ
メントの濾過部がメッシュにより形成されていることか
ら、入口ポート側から気体に混入してハウジング内に入
ってきた塵埃はメッシュに付着されるものの、真空引き
作用がなくなるとメッシュに付着していた塵埃はメッシ
ュから離脱されるため、メッシュの目詰まりの進行を遅
くすることができる。

【００７０】請求項２に記載の発明によれば、入口ポー
トから導入される気体の流れにより遠心分離機構におい
て気体に遠心力が付与され、液体や比較的大粒の粒子か
らなる塵埃はその遠心力により気体と分離されるため、
フィルタエレメントに到達して濾過される気体には液体
や比較的大粒の粒子は入っておらず、メッシュの目詰ま
りを低減させることができる。

【００７１】請求項３に記載の発明によれば、遠心分離
された液体や比較的大粒の塵埃は収容部内に溜められる
ため、分離後の液体や比較的大粒の塵埃がフィルタエレ
メントに到達するおそれを一層低減させることができ
る。又、フィルタエレメントが筒状に形成され、その外
部から内部に向けて気体が通過するようにしているた
め、筒状の外部に付着した塵埃も真空引き作用の停止状
態では収容部に溜めることができる。

【００７２】請求項４に記載の発明では、メッシュを線
材を網目に編み込んだ薄板状に形成したことにより、メ
ッシュに塵埃が付着した後にそれを取り除くことが容易
になる。又、メッシュはそれ自体では所定形状に保持す
ることが困難であるが、樹脂製の枠体を一体成形してい
ることから、形状保持を確実になすことができる。

【００７３】以上により、各請求項に記載された発明に
よれば、真空用フィルタにおけるフィルタエレメントの
目詰まりを低減し、フィルタエレメントを通過する気体
の圧力や流量の低下を防止することができるとともに、
フィルタエレメントの交換サイクルも長くすることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】一実施形態の真空用フィルタを示す断面図。

【図２】吸着システムの一例を示す概略図。

【図３】吸着システムの一例を示す概略図。

【図４】（ａ）はフィルタエレメントを示す斜視図、
（ｂ）はフィルタエレメントのメッシュの一部断面図。

【図５】フィルタエレメント周囲の構成を示す断面図。

【図６】他の実施形態のフィルタエレメント周囲の構成
を示す断面図。

【図７】従来のフィルタエレメントを示す斜視図。

【符号の説明】

６…真空用フィルタ、１１，１４，１６…ハウジングを
構成するボディ，収容部としてのボウル及びボウルガー
ド、１２…入口ポート、１３…出口ポート、１７，１
８，２４，２５…通路を構成する導入通路，導出通路，
導入室及び導出室、２２…フィルタエレメント、２３…
遠心分離機構を構成するルーバ、２９…枠体、３０…濾
過部としてのメッシュ、３０ａ，３０ｂ…線材としての
樹脂細線。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ハウジングに入口ポートと出口ポートと
   を設けるとともに両ポートを連通させる通路を設け、出
   口ポート側に発生する真空引き作用によって入口ポート
   側から気体を前記通路に導入して同通路を介して出口ポ
   ートへ導出するように構成し、前記通路途中には気体を
   濾過するフィルタエレメントを設け、そのフィルタエレ
   メントの濾過部をメッシュにより形成した真空用フィル
   タ。
2. 【請求項２】 前記入口ポートとフィルタエレメントと
   の間の前記通路途中には、入口ポートから導入される気
   体の流れに基づいて同気体に遠心力を付与する遠心分離
   機構を設け、その遠心分離機構により前記気体から液体
   や塵埃の大半を分離させるとともに、分離後の気体を前
   記フィルタエレメントに至らしめるように構成した請求
   項１記載の真空用フィルタ。
3. 【請求項３】 前記フィルタエレメントを筒状に形成
   し、その筒状の外部から内部に向けて気体が通過するよ
   うに構成し、前記分離後の液体や塵埃が落下した際にそ
   れらを溜める収容部を、前記フィルタエレメントの周囲
   を覆うように設けた請求項２記載の真空用フィルタ。
4. 【請求項４】 フィルタエレメントは、前記メッシュ
   を、線材を網目に編み込んだ薄板状に形成するととも
   に、そのメッシュが所定形状を保持するように支持する
   樹脂製の枠体を一体成形することにより構成したもので
   ある請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の真空用フ
   ィルタ。