JP2001127371A - 光半導体素子収納用パッケージ - Google Patents
光半導体素子収納用パッケージInfo
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- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
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- H01L2224/4809—Loop shape
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Abstract
る漏洩を防ぎ、高周波信号の損失が小さく効率の良い通
過特性が得られるようにすること。 【解決手段】絶縁材料から成り、上面の開口に金属蓋体
2が接合されて内部に光半導体素子3を収容する略直方
体の容器を構成する容器本体1と、容器本体1の第1の
側壁に設けた貫通孔に接合された筒状の光ファイバ固定
部材8と、容器本体1の第2の側壁に設けた複数のメタ
ライズ層5a〜5cにそれぞれ壁面に沿って下方に延び
るように接合された信号用リード端子6aおよびその両
側の接地用リード端子6b,6bとを具備し、接地用リ
ード端子6b,6bが接合されたメタライズ層5bは信
号用リード端子6aが接合されたメタライズ層5aを囲
むように形成してある。
Description
ォトダイオード等の光半導体素子を収納するための光半
導体素子収納用パッケージに関する。
(以下、光パッケージと略す)を図4,図5に示す。こ
れらの図において、1は上面の開口に金属蓋体2が接合
されて内部に光半導体素子3を収容する略直方体の容器
を構成する容器本体、2は鉄(Fe)−ニッケル(N
i)−コバルト(Co)合金(コバール)等からなる金
属蓋体、3は半導体レーザ,フォトダイオード等の光半
導体素子、4はシリコン等からなる基板、5は容器本体
の側壁に形成されリード端子を接合するためのメタライ
ズ層、6はコバール等の金属からなる信号用リード端
子,接地用リード端子、7は光半導体素子3の電極と容
器本体1内の側壁に設けられた信号入力用,接地用のメ
タライズ層11とを接続するボンディングワイヤ、8は
容器本体1の一側壁に設けられ光ファイバを固定するた
めの円筒状の光ファイバ固定部材、10はコバール等か
らなり金属蓋体2を容器本体1の上面にシーム溶接する
ための金属枠体(シールリング)である。
器本体1は一般にセラミック等の絶縁材料からなり、容
器本体1の内部底面の略中央部には光半導体素子3が搭
載される搭載部1aが設けられ、搭載部1a周囲にはボ
ンディングワイヤと接続されるメタライズ層11が形成
配置され、このメタライズ層11は容器本体1の側壁外
部に延在してリード端子6に接合される。そして、図4
に示すように、容器本体1の側壁外部に沿って下方に延
びるようにリード端子6が設けられたタイプが、光信号
の短距離伝送用として使用されている。また、図5に示
すように、容器本体1の一側壁には光ファイバ9を挿通
固定させるための貫通孔1bが形成され、円筒状の光フ
ァイバ固定部材8は貫通孔1bの外周縁部の接合部1c
にメタライズ層を介して接合される、または光ファイバ
固定部材8は貫通孔1bを通して容器本体1内部に挿入
接合される。
がメタライズ層を介して接合され、金属枠体10表面に
はNiメッキ膜,Auメッキ膜等の金属メッキ被膜が被
着されることから、金属枠体10部は容器本体1の接地
電極(ケースグランド)と接続される。この金属枠体1
0は光パッケージを気密封止する目的で設置されるもの
であり、金属蓋体2とシーム溶接等により溶接接合され
る。
1aに光半導体素子3を搭載固定するとともに、光半導
体素子3の各電極と容器本体1内のメタライズ層11と
をボンディングワイヤ7を介して接続し、しかる後容器
本体1の上面に金属蓋体2を接合して気密封止し、さら
に光ファイバ固定部材8内に光ファイバ9を挿入し、そ
の光入出射端を光半導体素子3の受発光部に光学的に結
合させた状態で固定することによって、製品としての光
半導体装置となる。
回路,制御回路等から送信された電気信号を光半導体素
子3により光信号に変換し、発振された光信号を光ファ
イバ9で授受して外部に伝送し、光通信用の光電変換装
置として機能する。
示したような上記光パッケージのリード端子6およびメ
タライズ5の構成では、数10GHz程度以上のより高
周波の信号を入出力させた場合、信号用リード端子6の
両側に接地用リード端子6を配置すれば信号用リード端
子6の両側への信号の漏れを防ぐことはできるが、信号
用リード端子6の上方側および側方側(光パッケージの
側壁の面に略垂直な方向側)への放射を防ぐことはでき
ない。信号が高周波になればこのような放射成分が大き
くなり、損失が増大し効率良く伝送することができなく
なるといった問題があった。
れたものであり、その目的は、リード端子を通じて入出
力される高周波信号の外部への漏洩を防ぎ、高周波信号
の損失が小さく効率の良い透過特性が得られるものとす
ることにある。
納用パッケージは、絶縁材料から成り、上面の開口に金
属蓋体が接合されて内部に光半導体素子を収容する略直
方体の容器を構成する容器本体と、該容器本体の第1の
側壁に設けた貫通孔に接合された筒状の光ファイバ固定
部材と、前記容器本体の第2の側壁に設けた複数のメタ
ライズ層にそれぞれ壁面に沿って下方に延びるように接
合された信号用リード端子およびその両側の接地用リー
ド端子とを具備した光半導体素子収納用パッケージにお
いて、前記接地用リード端子が接合されたメタライズ層
は前記信号用リード端子が接合されたメタライズ層を囲
むように形成してあることを特徴とする。
端子を通じて入出力される高周波信号の外部への漏洩を
防ぎ、高周波信号の損失が小さく効率の良い透過特性が
得られるという作用効果を有する。
号用リード端子の両側の前記接地用リード端子を、前記
第2の側壁の側方側で前記信号用リード端子の接合部を
覆うように一体化したことを特徴とする。これにより、
信号用リード端子の接合部から側方側空間に放射される
信号成分の漏洩を防ぐことができ、さらに高周波信号の
損失が小さくなる。
両側の前記接地用リード端子を、前記第2の側壁の側方
側および上方側で前記信号用リード端子の接合部を覆う
ように一体化したことを特徴とする。このような構成に
より、信号用リード端子の接合部から側方側空間および
上方側空間に放射される信号成分の漏洩を防ぐことがで
き、さらに高周波信号の損失が小さくなる。
下に説明する。図1〜図3は本発明の光パッケージの各
種実施形態を示し、図1において、1はアルミナ(Al
2O3)セラミック等のセラミック,プラスチック等の絶
縁材料からなり、上面の開口に金属蓋体2(図示せず)
が接合されて内部に光半導体素子3を収容する略直方体
の容器を構成する容器本体、3は半導体レーザ,フォト
ダイオード等の光半導体素子、4はシリコン等からなる
基板、5a,5b,5cは容器本体1の第2の側壁に形
成されリード端子6a,6b,6cを接合するためのメ
タライズ層、6a,6b,6cはコバール等の金属から
なる信号用リード端子,接地用リード端子であり、6a
は信号用リード端子、6b,6cは接地用リード端子で
ある。これらの信号用リード端子6aおよび接地用リー
ド端子6b,6cは、容器本体1の第2の側壁に壁面に
沿って下方に延びるようにメタライズ層5a,5b,5
cを介して、それぞれ接合されている。
体1内の側壁に設けられた信号用,接地用のメタライズ
層11とを接続するボンディングワイヤ、8は容器本体
1の第1の側壁に設けた貫通孔に接合され光ファイバを
固定するための円筒状の光ファイバ固定部材であり、他
の部材については図4,図5のものと同様でありその説
明は省略する。
接合されたメタライズ層5bは、信号用リード端子6a
が接合されたメタライズ層5aを囲むように形成する。
即ち、図1に示すように、第2の側壁の壁面におけるメ
タライズ層5aの上方でメタライズ層5bを接続させた
構成とする。図1では、メタライズ層5bはメタライズ
層5aの3方を囲むように形成されているが、メタライ
ズ層5aの4方を囲むように形成しても構わない。
層5bの接続部の上下方向の幅は、0.03〜2.0m
mが良く、0.03mm未満ではメタライズ層5aとメ
タライズ層5bが短絡し易くなり絶縁性を保持するのが
困難となり、2.0mmを超えると、メタライズ層5b
の接続部の接地電位による信号の漏洩抑制の効果が小さ
くなる。
信号用リード端子6a両側の接地用リード端子6b,6
bを、第2の側壁の側方側で信号用リード端子6aの第
2の側壁への接合部を覆うように一体化することによ
り、その接合部を遮蔽することが好ましい。前記接合部
を遮蔽する接地用リード端子6b,6bの結合部の上下
方向での幅は、前記接合部を全て遮蔽するように設ける
必要はなく、前記接合部の上下方向幅の60%以上を覆
うようにすればよく、60%未満では電磁遮蔽効果が小
さくなり、損失が増大する。
部と信号用リード端子6a表面との間隔は0.05〜
0.5mmが良く、0.05mm未満では前記結合部と
信号用リード端子6aとが短絡し易くなり、0.5mm
を超えると高周波信号の遮蔽効果(シールド効果)が小
さくなり損失が増大する。
端子6a両側の接地用リード端子6b,6bを、第2の
側壁の側方側および上方側で信号用リード端子6aの接
合部を覆うように一体化することにより、前記接合部を
遮蔽することが好ましく、この構成は、図2のものにお
いて信号用リード端子6aの接合部の上方側空間をさら
に遮蔽したものであり、他の構成は図2のタイプと同様
である。
いて以下に詳細に説明する。容器本体1は光半導体素子
3を支持し搭載するための支持部材として機能し、その
内部底面の略中央部には光半導体素子3の搭載部1aを
有し、搭載部1aに光半導体素子3がSi等からなる基
板4を介してAu−Sn合金半田等の半田材により接着
固定される。また、容器本体1はアルミナセラミック等
のセラミックからなる場合、グリーンシートを積層させ
た成形体を焼結させる公知のセラミック加工法により作
製することができる。なお、搭載部1aにW,Mo,M
n等のメタライズ層を被着させ、そのメタライズ層上に
耐食性に優れた金属メッキ膜、例えば厚さ2〜6μmの
Ni層と厚さ0.5〜5μmのAu層を順次形成してお
くと、メタライズ層が酸化腐食するのを有効に防止し得
るとともに、搭載部1aに基板4を強固に接着すること
ができる。
には、光半導体素子3の電極にボンディングワイヤ7を
介して接合されるメタライズ層11が形成されており、
このメタライズ層11は、セラミック多層体を成す容器
本体1の内部を貫通して第2の側壁外部に延在し、メタ
ライズ層5a,5b,5cに連続している。これらのメ
タライズ層5a,5b,5c上には、Fe−Ni−Co
合金,Fe−Ni合金等から成るリード端子6a,6
b,6b,6cの一端側がAgロウ材等により接合さ
れ、それらの他端側は外部の駆動回路等に半田等で接続
される。なお、リード端子6a,6b,6b,6cの表
面に、耐食性に優れかつ金属ロウ材および半田材と濡れ
性の良好なNiメッキ層,Auメッキ層等を1.0〜2
0μmの厚さで被着させておくと、リード端子6a,6
b,6b,6cの酸化腐食が有効に防止されるととも
に、メタライズ層5a,5b,5cとの接合を強固なも
のとすることができる。
両側の接地用リード端子6b,6bの結合部は、信号用
リード端子6aの第2の側壁に対する接合部を少なくと
も遮蔽すればよく、前記接合部および信号用リード端子
6a下方の非接合部まで遮蔽しても構わない。また、図
2および図3のものにおいて、接地用リード端子6b,
6bの結合部を、容器本体1上面の金属蓋体2による封
止部にまで延長し接続させることで、接地電位空間を強
固に設定することができ、その結果シールド効果をより
高めることができる。
ド端子6a,6b,6b,6cについて示したが、リー
ド端子6a,6b,6bの3本でもよく、また5本以上
有していてもよい。
波数は、10〜100GHz程度の高周波帯域およびミ
リ波帯域である。
通じて入出力される高周波信号の放射による漏洩を防
ぎ、従って高周波信号の損失が小さく効率の良い通過特
性が得られるという作用効果を有する。
ものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内におい
て種々の変更を行なうことは何等差し支えない。
たメタライズ層は前記信号用リード端子が接合されたメ
タライズ層を囲むように形成してあることにより、信号
用リード端子からの高周波信号の放射による漏洩を防
ぎ、高周波信号の損失が小さく効率の良い通過特性が得
られるという作用効果を有する。
の前記接地用リード端子を、第2の側壁の側方側で信号
用リード端子の接合部を覆うように一体化したことによ
り、信号用リード端子の接合部を遮蔽したことで、信号
用リード端子の接合部から側方側空間に放射される信号
成分の漏洩を防ぐことができ、さらに高周波信号の損失
が小さくなる。
側の前記接地用リード端子を、第2の側壁の側方側およ
び上方側で信号用リード端子の接合部を覆うように一体
化したことにより、信号用リード端子の接合部を遮蔽し
たことで、信号用リード端子の接合部から側方側空間お
よび上方側空間に放射される信号成分の漏洩を防ぐこと
ができ、さらに高周波信号の損失が小さくなる。
視図である。
蓋体を除いたものの斜視図である。
蓋体を除いたものの斜視図である。
Claims (3)
- 【請求項1】絶縁材料から成り、上面の開口に金属蓋体
が接合されて内部に光半導体素子を収容する略直方体の
容器を構成する容器本体と、該容器本体の第1の側壁に
設けた貫通孔に接合された筒状の光ファイバ固定部材
と、前記容器本体の第2の側壁に設けた複数のメタライ
ズ層にそれぞれ壁面に沿って下方に延びるように接合さ
れた信号用リード端子およびその両側の接地用リード端
子とを具備した光半導体素子収納用パッケージにおい
て、前記接地用リード端子が接合されたメタライズ層は
前記信号用リード端子が接合されたメタライズ層を囲む
ように形成してあることを特徴とする光半導体素子収納
用パッケージ。 - 【請求項2】前記信号用リード端子の両側の前記接地用
リード端子を、前記第2の側壁の側方側で前記信号用リ
ード端子の接合部を覆うように一体化したことを特徴と
する請求項1記載の光半導体素子収納用パッケージ。 - 【請求項3】前記信号用リード端子の両側の前記接地用
リード端子を、前記第2の側壁の側方側および上方側で
前記信号用リード端子の接合部を覆うように一体化した
ことを特徴とする請求項1記載の光半導体素子収納用パ
ッケージ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30168499A JP3716140B2 (ja) | 1999-10-22 | 1999-10-22 | 光半導体素子収納用パッケージ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30168499A JP3716140B2 (ja) | 1999-10-22 | 1999-10-22 | 光半導体素子収納用パッケージ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001127371A true JP2001127371A (ja) | 2001-05-11 |
JP3716140B2 JP3716140B2 (ja) | 2005-11-16 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30168499A Expired - Fee Related JP3716140B2 (ja) | 1999-10-22 | 1999-10-22 | 光半導体素子収納用パッケージ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3716140B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6715937B2 (en) * | 2002-03-19 | 2004-04-06 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Optical module |
JP2004311923A (ja) * | 2003-03-27 | 2004-11-04 | Mitsubishi Electric Corp | 光半導体素子用パッケージ |
-
1999
- 1999-10-22 JP JP30168499A patent/JP3716140B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6715937B2 (en) * | 2002-03-19 | 2004-04-06 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Optical module |
JP2004311923A (ja) * | 2003-03-27 | 2004-11-04 | Mitsubishi Electric Corp | 光半導体素子用パッケージ |
JP4550386B2 (ja) * | 2003-03-27 | 2010-09-22 | 三菱電機株式会社 | 光半導体素子用パッケージ |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP3716140B2 (ja) | 2005-11-16 |
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