JP2001116920A - カラーフィルタの製造方法及び製造装置及び液晶表示装置の製造方法及びカラーフィルタの混色低減方法及びインクジェットヘッドの反りの調整装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】インクの着弾位置のずれを低減させる。 【解決手段】複数のインク吐出ノズルを有するインクジ
ェットヘッドと、ブラックマトリクスにより囲まれた複
数の画素を有する基板とを相対的に走査させながら、複
数のインク吐出ノズルからインクを吐出して複数の画素
を着色することによりカラーフィルタを製造する方法で
あって、走査方向に直交する方向において隣り合うブラ
ックマトリクスの各中心間の距離を１つの画素の幅とし
たときの１つの画素幅をＧＬ、仕切りのないガラスもし
くはインク受容層が塗布されたガラスに着弾したインク
により形成されるインクドットの直径をＣＬ、走査方向
に直交する方向における、画素の中心線からのインクド
ットのずれ量をΔｘとした場合に、Δｘ≦ＧＬ−ＣＬの
式を満たすように複数の画素の着色を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、カラーフィルタの
製造方法及び製造装置及び液晶表示装置の製造方法及び
カラーフィルタの混色低減方法及びインクジェットヘッ
ドの反りの調整装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、パーソナルコンピュータの発達、
特に携帯用パーソナルコンピュータの発達に伴い、液晶
ディスプレイ、とりわけカラー液晶ディスプレイの需要
が増加する傾向にある。しかしながら、さらなる普及の
ためには液晶ディスプレイのコストダウンが必要であ
り、特にコスト的に比重の高いカラーフイルタのコスト
ダウンに対する要求が高まっている。従来から、カラー
フイルタの要求特性を満足しつつ上記の要求に応えるべ
く種々の方法が試みられているが、いまだ全ての要求特
性を満足する方法は確立されていない。以下にそれぞれ
の方法を説明する。第１の方法は顔料分散法である。こ
の方法は、基板上に顔料を分散した感光性樹脂層を形成
し、これをパターニングすることにより単色のパターン
を得る。更にこの工程を３回繰り返すことによりＲ、
Ｇ、Ｂのカラーフイルタ層を形成する。

【０００３】第２の方法は染色法である。染色法は、ガ
ラス基板上に染色用の材料である水溶性高分子材料を塗
布し、これをフオトリソグラフィー工程により所望の形
状にパターニングした後、得られたパターンを染色浴に
浸漬して着色されたパターンを得る。これを３回繰り返
すことによりＲ、Ｇ、Ｂのカラーフイルタ層を形成す
る。

【０００４】第３の方法としては電着法がある。この方
法は、基板上に透明電極をパターニングし、顔料、樹
脂、電解液等の入った電着塗装液に浸漬して第１の色を
電着する。この工程を３回繰り返してＲ、Ｇ、Ｂのカラ
ーフイルタ層を形成し、最後に焼成するものである。

【０００５】第４の方法としては印刷法がある。この方
法は、熱硬化型の樹脂に顔料を分散させ、印刷を３回繰
り返すことによりＲ、Ｇ、Ｂを塗り分けた後、樹脂を熱
硬化させることにより着色層を形成するものである。ま
た、いずれの方法においても着色層上に保護層を形成す
るのが一般的である。

【０００６】これらの方法に共通している点は、Ｒ、
Ｇ、Ｂの３色を着色するために同一の工程を３回繰り返
す必要があり、コスト高になることである。また、工程
が多いほど歩留りが低下するという問題を有している。
更に、電着法においては、形成可能なパターン形状が限
定されるため、現状の技術ではＴＦＴ用には適用が難し
い。また、印刷法は、解像性、平滑性が悪いためファイ
ンピッチのパターンは形成が難しい。

【０００７】これらの欠点を補うべく、特開昭５９−７
５２０５号公報、特開昭６３−２３５９０１号公報ある
いは特開平１−２１７３２０号公報等には、インクジェ
ット方式を用いてカラーフイルタを製造する方法が開示
されている。これらの方法は、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ
（青）の三色の色素を含有するインクをインクジェット
方式で光透過性の基板上に噴射し、各インクを乾燥させ
て着色画像部を形成するものである。こうしたインクジ
ェット方式では、Ｒ、Ｇ、Ｂの各画素の形成を一度に行
うことが可能で大幅な製造工程の簡略化と、大幅なコス
トダウン効果を得ることが出来る。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】このようなインクジェ
ット方式の１つとして、インクを熱エネルギーにより膜
沸騰させて気泡を生じさせ、その気泡の体積膨張により
インクを押し出して吐出する所謂バブルジェット（登録
商標）方式と呼ばれる方法がある。インクジェットヘッ
ドにこのようなバブルジェット方式を用いた場合、発生
する熱エネルギーによりヘッドの温度が上昇する。この
ような温度上昇は、ヘッドを熱膨張させて、インクの吐
出ノズルの位置ズレを引き起こす原因となる。特に最近
では、多数のノズルを並べた長尺状のヘッドを用い、そ
のノズルの並び方向と略直交する方向にヘッドを走査
し、一度に多数の画素列を着色する方法が用いられる様
になってきており、ヘッドの長手方向の伸びによるノズ
ルの位置ズレは重要な問題となってきている。

【０００９】また、上記のような長尺状のヘッドでは、
多数のノズルがμｍオーダーで一直線状に並ぶようにヘ
ッドを製造することは困難であり、特にカラーフィルタ
の製造の様に高度なインクの着弾精度が要求される場合
には、ノズルの位置精度を改善することが重要な課題と
なってきている。

【００１０】従って、本発明は上述した課題に鑑みてな
されたものであり、その目的は、インクの着弾位置のず
れを低減させることである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し、
目的を達成するために、本発明に係わるカラーフィルタ
の製造方法は、複数のインク吐出ノズルを有するインク
ジェットヘッドと、ブラックマトリクスにより囲まれた
複数の画素を有する基板とを相対的に走査させながら、
前記複数のインク吐出ノズルからインクを吐出して前記
複数の画素を着色することによりカラーフィルタを製造
する方法であって、前記走査方向に直交する方向におい
て隣り合うブラックマトリクスの各中心間の距離を１つ
の画素の幅としたときの前記１つの画素幅をＧＬ、仕切
りのないガラスもしくはインク受容層が塗布されたガラ
スに着弾したインクにより形成されるインクドットの直
径をＣＬ、前記走査方向に直交する方向における、前記
画素の中心線からのインクドットのずれ量をΔｘとした
場合に、 Δｘ≦ＧＬ−ＣＬ の式を満たすように前記複数の画素の着色を行うことを
特徴としている。

【００１２】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造方法は、複数のインク吐出ノズルを有するインクジェ
ットヘッドと、ブラックマトリクスにより囲まれた複数
の画素を有する基板とを相対的に走査させながら、前記
複数のインク吐出ノズルからインクを吐出して前記複数
の画素を着色することによりカラーフィルタを製造する
方法であって、前記基板上の隣り合うブラックマトリク
スの各中心間の距離を１つの画素の幅としたときの前記
１つの画素幅をＧＬ、基板に着弾したインクにより形成
されるインクドットの直径をＣＬ、前記画素幅の方向に
おける、前記画素の中心線からのインクドットのずれ量
をΔｘとした場合に、 Δｘ≦ＧＬ−ＣＬ の式を満たすように前記複数の画素の着色を行うことを
特徴としている。

【００１３】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記Δｘ≦ＧＬ−ＣＬの式が満たさ
れるように前記インクジェットヘッドの反りを調整する
工程を備えることを特徴としている。

【００１４】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記インクジェットヘッドは、長手
方向に複数のインク吐出ノズルを有する本体部と、前記
本体部の長手方向に沿って取り付けられ、前記本体部の
長手方向の異なる位置に前記本体部の反りを矯正するた
めの複数の反り矯正部が設けられたプレートとを備え、
前記反り矯正部により前記本体部を前記プレートから遠
ざける方向に移動させる場合と、前記反り矯正部により
前記本体部を前記プレートに近づける方向に移動させる
場合とを組み合わせることにより前記インクジェットヘ
ッドの反りの調整を行うことを特徴としている。

【００１５】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記反り矯正部は、少なくともネジ
とプレートに形成されたネジ穴とから構成されることを
特徴としている。

【００１６】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記走査方向に直交する方向におい
て隣り合う画素は、互いに異なる色に着色されることを
特徴としている。

【００１７】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えることを特徴としている。

【００１８】また、本発明に係わる液晶表示装置の製造
方法は、インクジェットヘッドから基板に向けてインク
を吐出することにより製造されるカラーフィルタを有す
る液晶表示装置を製造する方法であって、上記の製造方
法によりカラーフィルタを製造する工程と、カラーフィ
ルタに対向する対向基板と前記製造されたカラーフィル
タとの間に液晶化合物を封入する工程と、を備えること
を特徴としている。

【００１９】また、本発明に係わるカラーフィルタの混
色低減方法は、複数のインク吐出ノズルを有するインク
ジェットヘッドと、ブラックマトリクスにより囲まれた
複数の画素を有する基板とを相対的に走査させながら、
前記複数のインク吐出ノズルからインクを吐出して前記
複数の画素を着色することによりカラーフィルタを製造
するに際し、前記カラーフィルタの画素間での混色を低
減させる方法であって、前記走査方向に直交する方向に
おいて隣り合うブラックマトリクスの各中心間の距離を
１つの画素の幅としたときの前記１つの画素幅をＧＬ、
仕切りのないガラスもしくはインク受容層が塗布された
ガラスに着弾したインクにより形成されるインクドット
の直径をＣＬ、前記走査方向に直交する方向における、
前記画素の中心線からのインクドットのずれ量をΔｘと
した場合に、 Δｘ≦ＧＬ−ＣＬ の式を満たすように前記複数の画素の着色を行うことに
より、前記基板上の隣り合う画素間での混色を低減させ
ることを特徴としている。

【００２０】また、本発明に係わるカラーフィルタの混
色低減方法は、複数のインク吐出ノズルを有するインク
ジェットヘッドと、ブラックマトリクスにより囲まれた
複数の画素を有する基板とを相対的に走査させながら、
前記複数のインク吐出ノズルからインクを吐出して前記
複数の画素を着色することによりカラーフィルタを製造
するに際し、前記カラーフィルタの画素間での混色を低
減させる方法であって、隣り合うブラックマトリクスの
各中心間の距離を１つの画素の幅としたときの前記１つ
の画素幅をＧＬ、基板に着弾したインクにより形成され
るインクドットの直径をＣＬ、前記画素幅の方向におけ
る、前記画素の中心線からのインクドットのずれ量をΔ
ｘとした場合に、 Δｘ≦ＧＬ−ＣＬ の式を満たすように前記複数の画素の着色を行うことに
より、前記基板上の隣り合う画素間での混色を低減させ
ることを特徴としている。

【００２１】また、この発明に係わるカラーフィルタの
混色低減方法において、前記Δｘ≦ＧＬ−ＣＬの式が満
たされるように前記インクジェットヘッドの反りを調整
する工程を備えることを特徴としている。

【００２２】また、この発明に係わるカラーフィルタの
混色低減方法において、前記インクジェットヘッドは、
長手方向に複数のインク吐出ノズルを有する本体部と、
前記本体部の長手方向に沿って取り付けられ、前記本体
部の長手方向の異なる位置に前記本体部の反りを矯正す
るための複数の反り矯正部が設けられたプレートとを備
え、前記反り矯正部により前記本体部を前記プレートか
ら遠ざける方向に移動させる場合と、前記反り矯正部に
より前記本体部を前記プレートに近づける方向に移動さ
せる場合とを組み合わせることにより前記インクジェッ
トヘッドの反りの調整を行うことを特徴としている。

【００２３】また、この発明に係わるカラーフィルタの
混色低減方法において、前記反り矯正部は、少なくとも
ネジとプレートに形成されたネジ穴とから構成されるこ
とを特徴としている。

【００２４】また、この発明に係わるカラーフィルタの
混色低減方法において、前記走査方向に直交する方向に
おいて隣り合う画素は、互いに異なる色に着色されるこ
とを特徴としている。

【００２５】また、この発明に係わるカラーフィルタの
混色低減方法において、前記インクジェットヘッドは、
熱エネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであっ
て、インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エ
ネルギー発生体を備えることを特徴としている。

【００２６】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造装置は、複数のインク吐出ノズルを有するインクジェ
ットヘッドと、ブラックマトリクスにより囲まれた複数
の画素を有する基板とを相対的に走査させながら、前記
複数のインク吐出ノズルからインクを吐出して前記複数
の画素を着色することによりカラーフィルタを製造する
ための装置であって、前記走査方向に直交する方向にお
いて隣り合うブラックマトリクスの各中心間の距離を１
つの画素の幅としたときの前記１つの画素幅をＧＬ、仕
切りのないガラスもしくはインク受容層が塗布されたガ
ラスに着弾したインクにより形成されるインクドットの
直径をＣＬ、前記走査方向に直交する方向における前記
画素の中心線からのインクドットのずれ量をΔｘとした
場合に、 Δｘ≦ＧＬ−ＣＬ の式を満たすように前記複数の画素の着色を行うことを
特徴としている。

【００２７】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造装置は、複数のインク吐出ノズルを有するインクジェ
ットヘッドと、ブラックマトリクスにより囲まれた複数
の画素を有する基板とを相対的に走査させながら、前記
複数のインク吐出ノズルからインクを吐出して前記複数
の画素を着色することによりカラーフィルタを製造する
装置であって、隣り合うブラックマトリクスの各中心間
の距離を１つの画素の幅としたときの前記１つの画素幅
をＧＬ、基板に着弾したインクにより形成されるインク
ドットの直径をＣＬ、前記画素幅の方向における、前記
画素の中心線からのインクドットのずれ量をΔｘとした
場合に、 Δｘ≦ＧＬ−ＣＬ の式を満たすように前記複数の画素の着色を行うことを
特徴としている。

【００２８】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えることを特徴としている。

【００２９】また、本発明に係わるインクジェットヘッ
ドの反りの調整装置は、長手方向に複数のインク吐出ノ
ズルが並んで配置されたインクジェットヘッドと、ブラ
ックマトリクスにより囲まれた複数の画素を有する基板
とを相対的に走査させながら、前記複数のインク吐出ノ
ズルからインクを吐出して前記複数の画素を着色するこ
とによりカラーフィルタを製造する際に用いられる前記
インクジェットヘッドの反りを調整するための装置であ
って、前記走査方向に直交する方向において隣り合うブ
ラックマトリクスの各中心間の距離を１つの画素の幅と
したときの前記１つの画素幅をＧＬ、仕切りのないガラ
スもしくはインク受容層が塗布されたガラスに着弾した
インクにより形成されるインクドットの直径をＣＬ、前
記走査方向に直交する方向における前記画素の中心線か
らのインクドットのずれ量をΔｘとした場合に、 Δｘ≦ＧＬ−ＣＬ の式を満たして前記複数の画素の着色を行うことができ
るように、前記インクジェットヘッドの反りを調整する
ことを特徴としている。

【００３０】また、本発明に係わるインクジェットヘッ
ドの反りの調整装置は、長手方向に複数のインク吐出ノ
ズルが並んで配置されたインクジェットヘッドと、ブラ
ックマトリクスにより囲まれた複数の画素を有する基板
とを相対的に走査させながら、前記複数のインク吐出ノ
ズルからインクを吐出して前記複数の画素を着色するこ
とによりカラーフィルタを製造する際に用いられる前記
インクジェットヘッドの反りを調整するための装置であ
って、隣り合うブラックマトリクスの各中心間の距離を
１つの画素の幅としたときの前記１つの画素幅をＧＬ、
基板に着弾したインクにより形成されるインクドットの
直径をＣＬ、前記画素幅の方向における、前記画素の中
心線からのインクドットのずれ量をΔｘとした場合に、 Δｘ≦ＧＬ−ＣＬ の式を満たして前記複数の画素の着色を行うことができ
るように、前記インクジェットヘッドの反りを調整する
ことを特徴としている。

【００３１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な一実施形態
について、添付図面を参照して詳細に説明する。

【００３２】図１はカラーフィルタの製造装置の一実施
形態の構成を示す概略図である。

【００３３】図１において、５１は装置架台、５２は架
台５１上に配置されたＸＹθステージ、５３はＸＹθス
テージ５２上にセットされたカラーフィルタ基板、５４
はカラーフィルタ基板５３上に形成されるカラーフィル
タ、５５はカラーフィルタ５４の着色を行うＲ（赤）,
Ｇ（緑）,Ｂ（青）のインクジェットヘッド、５８はカ
ラーフィルタ製造装置９０の全体動作を制御するコント
ローラ、５９はコントローラの表示部であるところのテ
ィーチングペンダント（パソコン）、６０はティーチン
グペンダント５９の操作部であるところのキーボードを
示している。

【００３４】図２はカラーフィルタ製造装置９０の制御
コントローラの構成図である。５９は制御コントローラ
５８の入出力手段であるティーチングペンダント、６２
は製造の進行状況及びヘッドの異常の有無等の情報を表
示する表示部、６０はカラーフィルタ製造装置９０の動
作等を指示する操作部（キーボード）である。

【００３５】５８はカラーフィルタ製造装置９０の全体
動作を制御するところのコントローラ、６５はティーチ
ングペンダント５９とのデータの受け渡しを行うインタ
フェース、６６はカラーフィルタ製造装置９０の制御を
行うＣＰＵ、６７はＣＰＵ６６を動作させるための制御
プログラムを記憶しているＲＯＭ、６８は生産情報等を
記憶するＲＡＭ、７０はカラーフィルタの各画素内への
インクの吐出を制御する吐出制御部、７１はカラーフィ
ルタ製造装置９０のＸＹθステージ５２の動作を制御す
るステージ制御部、９０はコントローラ５８に接続さ
れ、その指示に従って動作するカラーフィルタ製造装置
を示している。

【００３６】次に、図３は、上記のカラーフィルタ製造
装置９０に使用されるインクジェットヘッド５５の構造
を示す図である。図１においては、インクジェットヘッ
ドはＲ,Ｇ,Ｂの３色に対応して３個設けられているが、
これらの３個のヘッドは夫々同一の構造であるので、図
３にはこれらの３個のヘッドのうちの１つの構造を代表
して示している。

【００３７】図３において、インクジェットヘッド５５
は、インクを加熱するための複数のヒータ１０２が形成
された基板であるヒータボード１０４と、このヒータボ
ード１０４の上にかぶせられる天板１０６とから概略構
成されている。天板１０６には、複数の吐出口１０８が
形成されており、吐出口１０８の後方には、この吐出口
１０８に連通するトンネル状の液路１１０が形成されて
いる。各液路１１０は、隔壁１１２により隣の液路と隔
絶されている。各液路１１０は、その後方において１つ
のインク液室１１４に共通に接続されており、インク液
室１１４には、インク供給口１１６を介してインクが供
給され、このインクはインク液室１１４から夫々の液路
１１０に供給される。

【００３８】ヒータボード１０４と、天板１０６とは、
各液路１１０に対応した位置に各ヒータ１０２が来る様
に位置合わせされて図３の様な状態に組み立てられる。
図３においては、２つのヒータ１０２しか示されていな
いが、ヒータ１０２は、夫々の液路１１０に対応して１
つずつ配置されている。そして、図３の様に組み立てら
れた状態で、ヒータ１０２に所定の駆動パルスを供給す
ると、ヒータ１０２上のインクが沸騰して気泡を形成
し、この気泡の体積膨張によりインクが吐出口１０８か
ら押し出されて吐出される。従って、ヒータ１０２に加
える駆動パルスを制御、例えば電力の大きさを制御する
ことにより気泡の大きさを調整することが可能であり、
吐出口から吐出されるインクの体積を自在にコントロー
ルすることができる。

【００３９】本実施形態においては、基板１として一般
にガラス基板が用いられるが、液晶用カラーフィルタと
しての透明性、機械的強度等の必要特性を有するもので
あればガラス基板に限定されるものではない。

【００４０】次に、図４は、カラーフィルタの製造工程
の例を示した図である。

【００４１】図４（ａ）は、光透過部７と遮光部である
ブラックマトリクス２を備えたガラス基板１を示す。ま
ず、ブラックマトリクス２の形成された基板１上に光照
射又は光照射と加熱により硬化可能であり且つインク受
容性を有する樹脂組成物を塗布し、必要に応じてプリベ
ークを行って樹脂層３’を形成する（図４（ｂ））。樹
脂層３’の形成には、スピンコート、ロールコート、バ
ーコート、スプレーコート、ディップコート等の塗布方
法を用いることができ、特に限定されるものではない。

【００４２】次に、ブラックマトリクス２により遮光さ
れる部分の樹脂層をフォトマスク４’を使用して予めパ
ターン露光を行うことにより樹脂層の一部を硬化させて
インクを吸収しない部位５’（非着色部位）を形成し
（図４（ｃ））、その後インクジェットヘッドを用いて
Ｒ、Ｇ、Ｂの各色を一度に着色し（図４（ｄ））、必要
に応じてインクの乾燥を行う。

【００４３】パターン露光の際に使用されるフォトマス
ク４’としては、ブラックマトリクスによる遮光部分を
硬化させるための開口部を有するものを使用する。この
際、ブラックマトリクスに接する部分での着色剤の色抜
けを防止するために、比較的多くのインクを付与するこ
とが必要である。そのためにブラックマトリクスの（遮
光）幅よりも狭い開口部を有するマスクを用いることが
好ましい。

【００４４】着色に用いるインクとしては、染料系、顔
料系共に用いることが可能であり、また液状インク、ソ
リッドインク共に使用可能である。

【００４５】本発明で使用する硬化可能な樹脂組成物と
しては、インク受容性を有し、且つ光照射と加熱の少な
くとも一方の処理により硬化し得るものであればいずれ
でも使用可能であり、樹脂としては例えばアクリル系樹
脂、エポキシ樹脂、シリコン樹脂、ヒドロキシプロピル
セルロース、ヒドロキシエチルセルロース、メチルセル
ロース、カルボキシメチルセルロースなどのセルロース
誘導体あるいはその変性物等が挙げられる。

【００４６】これらの樹脂を光あるいは光と熱により架
橋反応を進行させるために光開始剤（架橋剤）を用いる
ことも可能である。光開始剤としては、重クロム酸塩、
ビスアジド化合物、ラジカル系開始剤、カチオン系開始
剤、アニオン系開始剤等が使用可能である。またこれら
の光開始剤を混合して、あるいは他の増感剤と組み合わ
せて使用することもできる。更にオニウム塩などの光酸
発生剤を架橋剤として併用することも可能である。な
お、架橋反応をより進行させるために光照射の後に熱処
理を施してもよい。

【００４７】これらの組成物を含む樹脂層は、非常に耐
熱性、耐水性等に優れており、後工程における高温ある
いは洗浄工程に十分耐え得るものである。

【００４８】本発明で使用するインクジェット方式とし
ては、エネルギー発生素子として電気熱変換体を用いた
バブルジェットタイプが使用可能であり、着色面積及び
着色パターンは任意に設定することができる。

【００４９】次いで光照射のみ、熱処理のみ、又は光り
照射及び熱処理を行って硬化可能な樹脂組成物を硬化さ
せ（図４（ｅ））、必要に応じて保護層８を形成（図４
（ｆ）する。なお、図中ｈνは光の強度を示し、熱処理
の場合は、ｈνの光の代わりに熱を加える。保護層８と
しては、光硬化タイプ、熱硬化タイプあるいは光熱併用
タイプの第２の樹脂組成物を用いて形成するか、あるい
は無機材料を用いて蒸着またはスパッタによって形成す
ることができ、カラーフィルタとした場合の透明性を有
し、その後のＩＴＯ形成プロセス、配向膜形成プロセス
等に十分耐えうるものであれば使用可能である。

【００５０】また、本例では基板上に樹脂組成物を形成
する例を示しているが、以下のように基板に直接インク
を付与してもよい。

【００５１】すなわち、インクジェット方式を利用し
て、Ｒ、Ｇ、Ｂインクがちょうど遮光部を構成するブラ
ックマトリクスの間の光透過部をうめるようにして付与
される。このＲ、Ｇ、Ｂパターンは、いわゆるキャステ
ィングのような形で形成されてもよい。また、ブラック
マトリクス上で各色インクが重ならない範囲で印字され
るのが好ましい。

【００５２】使用されるインクは、光や熱などのエネル
ギーの付与により硬化可能であれば、染料系、顔料系い
ずれでも用いることができ、また、液状インク、ソリッ
ドインク共に使用可能である。インク中には光硬化可能
な成分あるいは熱硬化可能な成分あるいは光及び熱の双
方により硬化可能な成分を含有することが必須であり、
このような成分としては、様々な市販の樹脂、硬化剤を
用いることができ、インク中に固着等の問題を起こすも
のでなければ特に限られない。具体的には、アクリル系
樹脂、エポキシ系樹脂、メラミン樹脂等が好適に用いら
れる。

【００５３】図５及び図６は上記のカラーフィルタを組
み込んだカラー液晶表示装置３０の基本構成を示す断面
図である。

【００５４】カラー液晶表示装置は、一般的にカラーフ
ィルタ基板１と対向基板２１を合わせこみ、液晶化合物
１８を封入することにより形成される。液晶表示装置の
一方の基板２１の内側に、ＴＦＴ(Thin Film Transisto
r)（不図示）と透明な画素電極２０がマトリックス状に
形成される。また、もう一方の基板１の内側には、画素
電極に対向する位置にＲＧＢの色材が配列するようカラ
ーフィルタ５４が設置され、その上に透明な対向電極
（共通電極）１６が一面に形成される。ブラックマトリ
クス２は、通常カラーフィルター基板１側に形成される
が（図５参照）、ＢＭ（ブラックマトリクス）オンアレ
イタイプの液晶パネルにおいては対向するＴＦＴ基板側
に形成される（図６参照）。さらに、両基板の面内には
配向膜１９が形成されており、これをラビング処理する
ことにより液晶分子を一定方向に配列させることができ
る。また、それぞれのガラス基板の外側には偏光板１
１,２２が接着されており、液晶化合物１８は、これら
のガラス基板の間隙（２〜５μｍ程度）に充填される。
また、バックライトとしては蛍光灯（不図示）と散乱板
（不図示）の組み合わせが一般的に用いられており、液
晶化合物をバックライト光の透過率を変化させる光シャ
ッターとして機能させることにより表示を行う。次に、
本実施形態の製造方法を適用した場合のカラーフィルタ
の着色工程を説明する。

【００５５】まず、カラーフィルタ製造装置９０のＸＹ
θステージ５２上にガラス基板５３をセットする。そし
て、しかるべく位置決めを行った後、ガラス基板５３の
カラーフィルタ形成領域（着色領域）をインクジェット
ヘッド５５の直下に移動させ、インクジェットヘッド５
５とガラス基板５３をＸＹθステージ５２により相対的
に走査させながらインクを吐出し、カラーフィルタの各
画素の着色を実行する。

【００５６】この着色時のインクジェットヘッド５５の
うちの赤色（Ｒ）のインクを吐出するヘッド５５ａとガ
ラス基板５３の関係を示したものが図７である。

【００５７】図７において、ヘッド５５ａは、例えば、
７０.５μｍ間隔でノズル３１３が並んでおり、これを
例えば１００μｍ間隔でＲ、Ｇ、Ｂの各画素３１４が順
番に並んだカラーフィルタを着色するのに使用する場合
は、３００μｍ間隔で並ぶ赤色の画素にノズルの位置を
合わせる必要がある。そのため、ヘッド５５ａのノズル
を５ノズル置きに使用し、ヘッド５５ａを走査方向に対
して３１.７°傾けて使用する。このようにすれば、５
ノズル置きのノズルが赤色の画素の真上にきて、着色を
行うことが出来る。このような関係は赤色のヘッド５５
ａだけでなく、他のヘッド５５ｂ,５５ｃにも同様にあ
てはまるものである。

【００５８】次に、図８は、本実施形態の特徴的な部分
であるインクジェットヘッドの温度上昇を抑制する構成
を示した背面図であり、図９は、図８を左側から見た側
面図である。ここでは、赤色のインクを吐出するインク
ジェットヘッド５５ａについて説明するが、他のヘッド
５５ｂ,５５ｃも同様の構成である。

【００５９】本実施形態のインクジェットヘッド５５ａ
は、熱エネルギーによりインクに気泡を生じさせその気
泡の成長によりインクを押し出して吐出する所謂バブル
ジェット方式を採用している。そのため、インクジェッ
トヘッドは自身の発熱により温度が上昇する。そして、
この温度上昇は、インクジェットヘッドに熱膨張を生じ
させ、各ノズル間の距離を変化させてしまう。例えば、
本実施形態においては、インクジェットヘッド５５ａ
は、単体でインクの吐出を連続して行うと約５°Ｃの温
度上昇がある。インクジェットヘッド５５ａは、本体が
アルミニウム合金からなり、長手方向の全長が約１００
ｍｍ程度あるため、５°Ｃの温度上昇が生ずると、その
長手方向両端部のノズル間の間隔は約１０μｍも伸びて
しまう。このようにノズルの位置が１０μｍ変化する
と、カラーフィルタの着色を行った場合、隣の異なる色
の画素との混色が起こってしまう場合がある。混色の発
生を防止するためには、ノズルの位置ずれを３μｍ程度
以下に抑える必要がある。

【００６０】そこで本実施形態においては、図７及び図
８に示す様にインクジェットヘッド５５ａの背面に、イ
ンクジェットヘッド５５ａの熱容量の２倍〜４倍程度の
熱容量を有するプレート１２０を取り付け、結果として
インクジェットヘッドとプレートとを合わせたものの熱
容量をインクジェットヘッド５５ａ単体の場合の３倍〜
５倍にしている。このようにすれば、インクジェットヘ
ッドの温度上昇は、ヘッド単体の場合の１／３〜１／５
となり、インクジェットヘッドの長手方向両端部のノズ
ル間の間隔変化量は２μｍ〜３μｍ程度となる。これに
より、混色の起こらない着色を可能とするヘッドが実現
される。なお、プレート１２０の材質としては、アルミ
ニウム合金あるいはステンレス鋼などが、加工が容易で
ローコストである点で好ましい。

【００６１】次に、図１０は、図８を下方から見た部分
断面図である。本実施形態で使用されるプレート１２０
は、インクジェットヘッド５５ａの反りを矯正する機能
も備えている。この反りを矯正するための構造について
図８及び図１０を参照して説明する。

【００６２】図８及び図１０において、プレート１２
０、はインクジェットヘッド５５ａの本体５６に対して
３本のボルト１２２により固定されている。本体５６の
３本のボルト１２２が螺合する雌ネジ部５６ｂの周囲に
は、本体５６の他の部分よりも僅かに高い平面部５６ａ
が形成されており、プレート１２０は、この平面部５６
ａの上面に固定される。

【００６３】一方、プレート１２０のボルト１２２が装
着される位置の中間部には、複数のネジ穴１２０ａが形
成されている。このネジ穴１２０ａは、例えばＭ４のネ
ジ穴である。そして、ネジ穴１２０ａには、２種類のボ
ルト１２４と１２６が装着される。ボルト１２４は、例
えばネジ穴１２０ａと丁度螺合するＭ４のネジであり、
このボルト１２４をネジ穴１２０ａにねじ込むことによ
り、ボルト１２４の先端がヘッド本体５６の表面に当接
し、ヘッド本体５６をプレート１２０から離れる方向に
押して、ノズルを図１０に示す矢印Ａ方向にずらすこと
が出来る。また、ボルト１２６は、例えばネジ穴１２０
ａに隙間を持って自由に挿通するＭ３のボルトであり、
このボルト１２６をヘッド本体５６に形成されたＭ３の
ネジ穴５６ｃにねじ込むことにより、ヘッド本体５６は
プレート１２０に近づく方向に引き寄せられ、ノズルを
図１０に示す矢印Ｂ方向にずらすことが出来る。このよ
うに各ネジ穴１２０ａに丁度螺合するボルト１２４かあ
るいは自由に挿通するボルト１２６を選択的に装着する
ことにより、そのネジ穴の位置におけるノズルの位置を
矢印Ａ方向あるいは矢印Ｂ方向に移動させることが出来
る。これによりインクジェットヘッド５５ａが製造され
た時点で有している僅かな反りを任意に修正することが
出来る。

【００６４】図１１は、インクジェットヘッド５５ａの
具体的な調整方法を説明するための図である。

【００６５】インクジェットヘッド５５ａは、図１１
（ａ）に示すように、製造された時点では、僅かな反り
を有している（図１１（ａ）では反りを強調して大きく
示している）。この反りを、図１０に示したボルト１２
４あるいは１２６を適宜差し替えて、プレート１２０に
対してインクジェットヘッドを押し引きすることにより
修正する。このとき、図１１（ａ）に示したように、反
りの大きさに応じて、少し引く、大きく引く、少し押
す、大きく押すといった操作を組み合わせ、ヘッドを図
１１（ｂ）に示すようにまっすぐな状態に矯正する。

【００６６】このような、矯正を行なうことにより、製
造された時点では図１２に実線で示すような±１０μｍ
以上の反りを有するヘッドを、図１２に一点鎖線で示す
ような±２μｍ程度の反りに修正することができる。

【００６７】反りの修正を行なうときには、図１３に示
すように、インクジェットヘッド５５ａのノズル穴を、
顕微鏡２００で拡大し、テレビカメラ２０２で撮像して
画像処理装置２０４を介してモニタ２０６に表示させ、
ノズル穴の位置を観察しながら修正作業を行なう。

【００６８】このようにして、製造時に僅かな反りを有
するインクジェットヘッドを、ノズルが±２μｍ程度以
内といった極めて微小なずれで直線上に並んだ状態に修
正することができる。

【００６９】なお、図１４は、プレートの変形例を示し
た図であり、図示した様にプレート１２０’にフィン１
３０を形成することにより、放熱性がよくなり、ヘッド
の温度上昇をさらに抑制することが出来る。

【００７０】また、プレートを黒色にすることにより、
熱の放射がよくなり、ヘッドの温度上昇を抑制する効果
が更に高まる。

【００７１】次に、ガラス基板に対してインクジェット
ヘッドを相対的に走査させながらガラス基板にインクを
吐出してカラーフィルタを製造する場合におけるインク
ジェットヘッドの反りの調整精度について説明する。

【００７２】本願発明者は、インクジェット方式により
カラーフィルタの製造を行なう場合に、インクジェット
方式特有の、着色した隣りの画素同士の色が混ざりあう
混色の問題に悩まされた。

【００７３】そこで、この混色の要因を明確にするため
に、図１５に示すようにインクの吐出中に画素の長手方
向に対してインクジェットヘッドが斜めに走査されるよ
うに、ガラス基板５３を移動させ、混色が始まる際のイ
ンクドットのずれ量（Δｘ）とインクドットの直径ＣＬ
と画素の幅ＧＬとの関係を調べる実験を行なった。

【００７４】複数のノズルから吐出量、すなわち着弾し
たときの直径の異なるインクを吐出し、画素幅（隣り合
うブラックマトリクス２ａ,２ｂの中心間の距離ＧＬ）
の異なる画素に着色を繰り返すうちに、画素幅をＧＬ、
着弾したインクが形成するドットの直径をＣＬ、着弾位
置の画素幅方向のずれ量をΔｘとした場合、ＧＬ＜ＣＬ
＋Δｘとなったときに、混色の可能性が急激に増加する
ことを見出した。逆にいえば、Δｘ≦ＧＬ−ＣＬを満足
すれば、混色が非常に起こりにくくなることを見出し
た。

【００７５】また、カラーフィルタの製造時に異なるピ
ッチ間隔の画素を着色する場合、図７に示したようにヘ
ッドを斜めに傾けて使用することで、種々のカラーフィ
ルタにフレキシブルに対応することができることは知ら
れている。

【００７６】また、本願発明者は、吐出されたインクが
球状になる前にガラス基板５３にインクを着弾させるこ
とにより、インクのよれ等による着弾ずれが発生しにく
くなり、より高精度な着弾位置精度を実現できることを
特願平７−１９５２３５号で示した。この際、インクの
着弾位置を調べてみると、図１６に示すように、インク
の着弾位置がインクジェットヘッドのインク吐出ノズル
の穴の位置と略一致していることも実験により判明し
た。

【００７７】すなわち、ヘッドのノズル穴の位置精度が
インクジェットヘッドの混色の起こりやすさに支配的で
あることがこれらの実験からわかってきた。

【００７８】以上のことから、本願発明者は、図１５及
び図１７に示すように、ＧＬを画素幅（隣り合うブラッ
クマトリクスの幅の中心間の距離）、ＣＬを着弾したイ
ンクが形成するドットの直径、ｙ1をヘッドの反りがな
かった場合にノズルが並ぶ理想直線（最小二乗法により
求めた近似直線）からの理想直線に直交する方向へのノ
ズルの正側へのずれ量、ｙ2をヘッドの反りがなかった
場合にノズルが並ぶ理想直線からの理想直線に直交する
方向への負側へのずれ量、θをヘッドの走査方向に直交
する方向に対するヘッドの傾き角、Δｘを走査方向に直
交する方向（画素の幅方向）へのインクドットのずれ量
としたときに、以下の式が成り立つことを見出した。

【００７９】 ｙ＝ｙ1＋y2 Δｘ＝ｙ・ｓｉｎθ Δｘ≦ＧＬ−ＣＬ すなわち、 ｙ・ｓｉｎθ≦ＧＬ−ＣＬ ｙ≦（ＧＬ−ＣＬ）／ｓｉｎθ （ただし０°＜θ＜９０°） （１） なお、ここでいう着弾したインクが形成するドットの直
径ＣＬとは、仕切りのない素ガラスもしくはインク受容
層が塗布されたガラスにインクを着弾させ、乾燥するま
でにインクが広がった直径をいい、着弾径の不揃いな複
数のノズルを有するヘッドにおいては、もっとも大きい
着弾径をＣＬとする。

【００８０】従って、反りのあるヘッドのノズルのずれ
量ｙを上記の式（１）を満足するように、既に説明した
矯正方法で矯正することにより、混色のないカラーフィ
ルタを製造することができる。あるいは、反りを矯正す
るしないにかかわらず、ノズルのずれ量ｙが式（１）を
満足しているようなヘッドを用いてカラーフィルタを着
色すれば、混色のないカラーフィルタを製造することが
できる。

【００８１】もちろん、ノズル列方向にもヘッドの製造
時にノズル位置の多少のズレは生ずるが、少なくともノ
ズル列と直交する方向へのノズル位置のずれ量が式
（１）を満たしている必要がある。

【００８２】なお、式（１）では、０°＜θ＜９０°と
したが、製造効率の点から０°＜θ≦４５°で使用する
のが一般的である。

【００８３】本願発明者による実験においては、画素幅
ＧＬ＝１０２.５μｍ、着弾径ＣＬ＝８５μｍとし、３
６０ｄｐｉの４インチの長尺ヘッド（ノズル数１４０８
で、５ノズルおきに吐出）をθ＝２９.２７°傾けて使
用した。

【００８４】この際、ノズルの理想直線からの正側、負
側のばらつきは略同等であったので、式（１）でｙ1＝
ｙ2として、 ｙ≦±｛（１０２.５−８５）／ｓｉｎ２９.２７°｝／
２ 従って、ｙ≦±１７.９μｍとなる。

【００８５】本願発明者は、これに装置の精度等のマー
ジンを±１０μｍ見込んで、ヘッドの反り量が±８μｍ
以下となるようにヘッドを調整して着色を行なった。そ
の結果、混色のないカラーフィルタを製造することがで
きた。なお、式（１）は、装置の精度等のマージンがゼ
ロであると仮定した場合の式であり、マージンがあると
きは、上記のように式（１）より算出した値からマージ
ン量を差し引いた値以下にヘッドの反り量がなるように
調整する。

【００８６】なお、図１８は、長さの短いヘッドを組み
合わせたヘッドユニットにおける位置ずれの説明図であ
り、この例においても、ノズルのずれ量ｙを式（１）を
満足するように設定すればよい。

【００８７】また、図１９は、カラーフィルタの画素と
インクドットの関係を示した図であり、図２０は、カラ
ーフィルタの着色時の混色の限界を示す図である。

【００８８】以上説明した様に、上記の実施形態によれ
ば、インクジェットヘッドに熱容量の大きいプレートを
取りつけることにより、インクジェットヘッドの温度上
昇を抑制することができ、ノズルの位置ズレが防止され
て混色のないカラーフィルタを製造することが出来る。

【００８９】また、プレートにネジ穴を形成するととも
に、ヘッド本体側にそれよりも一回り小さいネジ穴を形
成し、プレートのネジ穴に、丁度螺合するボルトと一回
り径の小さい自由に挿通するボルトを選択的に装着する
ことにより、各ネジ穴の位置でヘッドをプレートから離
す方向とヘッドに近づける方向の双方に移動させること
ができ、ヘッドの反りを矯正することが出来るので、ノ
ズルが一直線上に正確に並んだインクジェットヘッドが
提供される。

【００９０】さらに、ノズルのずれ量が式（１）を満足
するヘッドを使用することにより混色のないカラーフィ
ルタを製造することができる。

【００９１】なお、本発明は、その趣旨を逸脱しない範
囲で、上記実施形態を修正または変形したものに適用可
能である。

【００９２】本発明は、特にインクジェット記録方式の
中でも、インク吐出を行わせるために利用されるエネル
ギーとして熱エネルギーを発生する手段（例えば電気熱
変換体やレーザ光等）を備え、前記熱エネルギーにより
インクの状態変化を生起させる方式のプリント装置につ
いて説明したが、かかる方式によれば記録の高密度化、
高精細化が達成できる。

【００９３】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されている基本的な原理を用いて
行うものが好ましい。この方式はいわゆるオンデマンド
型、コンティニュアス型のいずれにも適用可能である
が、特に、オンデマンド型の場合には、液体（インク）
が保持されているシートや液路に対応して配置されてい
る電気熱変換体に、記録情報に対応していて膜沸騰を越
える急速な温度上昇を与える少なくとも１つの駆動信号
を印加することによって、電気熱変換体に熱エネルギー
を発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさ
せて、結果的にこの駆動信号に１対１で対応した液体
（インク）内の気泡を形成できるので有効である。この
気泡の成長、収縮により吐出用開口を介して液体（イン
ク）を吐出させて、少なくとも１つの滴を形成する。こ
の駆動信号をパルス形状をすると、即時適切に気泡の成
長収縮が行われるので、特に応答性に優れた液体（イン
ク）の吐出が達成でき、より好ましい。

【００９４】このパルス形状の駆動信号としては、米国
特許第４４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号
明細書に記載されているようなものが適している。な
お、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許
第４３１３１２４号明細書に記載されている条件を採用
すると、さらに優れた記録を行うことができる。

【００９５】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液路、電気熱変換体
の組み合わせ構成（直線状液流路または直角液流路）の
他に熱作用面が屈曲する領域に配置されている構成を開
示する米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許第
４４５９６００号明細書を用いた構成も本発明に含まれ
るものである。加えて、複数の電気熱変換体に対して、
共通するスロットを電気熱変換体の吐出部とする構成を
開示する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギ
ーの圧力波を吸収する開口を吐出部に対応させる構成を
開示する特開昭５９−１３８４６１号公報に基づいた構
成としても良い。

【００９６】さらに、記録装置が記録できる最大記録媒
体の幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドとしては、上述した明細書に開示されているよう
な複数記録ヘッドの組み合わせによってその長さを満た
す構成や、一体的に形成された１個の記録ヘッドとして
の構成のいずれでもよい。

【００９７】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的にインクタンクが設けら
れたカートリッジタイプの記録ヘッドを用いてもよい。

【００９８】また、本発明の記録装置の構成として設け
られる、記録ヘッドに対しての回復手段、予備的な補助
手段等を付加することは本発明の効果を一層安定にでき
るので好ましいものである。これらを具体的に挙げれ
ば、記録ヘッドに対してのキャッピング手段、クリーニ
ング手段、加圧あるいは吸引手段、電気熱変換体あるい
はこれとは別の加熱素子あるいはこれらの組み合わせに
よる予備加熱手段、記録とは別の吐出を行う予備吐出モ
ードを行うことも安定した記録を行うために有効であ
る。

【００９９】以上説明した本発明実施例においては、イ
ンクを液体として説明しているが、室温やそれ以下で固
化するインクであっても、室温で軟化もしくは液化する
ものを用いても良く、使用記録信号付与時にインクが液
状をなすものであればよい。

【０１００】加えて、積極的に熱エネルギーによる昇温
をインクの固形状態から液体状態への状態変化のエネル
ギーとして使用せしめることで積極的に防止するため、
またはインクの蒸発を防止するため、放置状態で固化し
加熱によって液化するインクを用いても良い。いずれに
しても熱エネルギーの記録信号に応じた付与によってイ
ンクが液化し、液状インクが吐出されるものや、記録媒
体に到達する時点では既に固化し始めるもの等のよう
な、熱エネルギーの付与によって初めて液化する性質の
インクを使用する場合も本発明は適用可能である。この
ような場合インクは、特開昭５４−５６８４７号公報あ
るいは特開昭６０−７１２６０号公報に記載されるよう
な、多孔質シート凹部または貫通孔に液状または固形物
として保持された状態で、電気熱変換体に対して対向す
るような形態としてもよい。本発明においては、上述し
た各インクに対して最も有効なものは、上述した膜沸騰
方式を実行するものである。

【０１０１】

【発明の効果】以上説明した様に、本発明によれば、イ
ンクの着弾位置のずれを低減させることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】カラーフィルタの製造装置の一実施形態の構成
を示す概略図である。

【図２】カラーフィルタの製造装置の動作を制御する制
御部の構成を示す図である。

【図３】カラーフィルタの製造装置に使用されるインク
ジェットヘッドの構造を示す図である。

【図４】カラーフィルタの製造工程の他の例を示した図
である。

【図５】一実施形態のカラーフィルタを組み込んだカラ
ー液晶表示装置の基本構成を示す断面図である。

【図６】一実施形態のカラーフィルタを組み込んだカラ
ー液晶表示装置の基本構成を示す断面図である。

【図７】カラーフィルタの着色の仕方の例を示した図で
ある。

【図８】インクジェットヘッドにプレートを取り付けた
様子を示す図である。

【図９】図８を左側から見た側面図である。

【図１０】図８を下方から見た部分断面図である。

【図１１】インクジェットヘッドの反りを修正する具体
的な方法を説明するための図である。

【図１２】修正前と修正後のインクジェットヘッドの反
り量を示す図である。

【図１３】インクジェットヘッドの反りを観察する装置
の構成を示す図である。

【図１４】プレートの変形例を示した図である。

【図１５】混色を引き起こすインクドットのずれ量を求
める方法を説明するための図である。

【図１６】インクの着弾位置とノズルの位置の関係を示
した図である。

【図１７】ヘッドの反りによる画素の幅方向へのノズル
のずれを説明するための図である。

【図１８】長さの短いヘッドを組み合わせたヘッドユニ
ットにおける位置ずれの説明図である。

【図１９】カラーフィルタの画素とインクドットの関係
を示した図である。

【図２０】カラーフィルタの着色時の混色の限界を示す
図である。

【符号の説明】

５２ ＸＹθステージ ５３ ガラス基板 ５４ カラーフィルタ ５５ 着色ヘッド ５８ コントローラ ５９ ティーチングペンダント ６０ キーボード

Claims (20)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数のインク吐出ノズルを有するインク
   ジェットヘッドと、ブラックマトリクスにより囲まれた
   複数の画素を有する基板とを相対的に走査させながら、
   前記複数のインク吐出ノズルからインクを吐出して前記
   複数の画素を着色することによりカラーフィルタを製造
   する方法であって、 前記走査方向に直交する方向において隣り合うブラック
   マトリクスの各中心間の距離を１つの画素の幅としたと
   きの前記１つの画素幅をＧＬ、仕切りのないガラスもし
   くはインク受容層が塗布されたガラスに着弾したインク
   により形成されるインクドットの直径をＣＬ、前記走査
   方向に直交する方向における、前記画素の中心線からの
   インクドットのずれ量をΔｘとした場合に、 Δｘ≦ＧＬ−ＣＬ の式を満たすように前記複数の画素の着色を行うことを
   特徴とするカラーフィルタの製造方法。
2. 【請求項２】 複数のインク吐出ノズルを有するインク
   ジェットヘッドと、ブラックマトリクスにより囲まれた
   複数の画素を有する基板とを相対的に走査させながら、
   前記複数のインク吐出ノズルからインクを吐出して前記
   複数の画素を着色することによりカラーフィルタを製造
   する方法であって、 前記基板上の隣り合うブラックマトリクスの各中心間の
   距離を１つの画素の幅としたときの前記１つの画素幅を
   ＧＬ、基板に着弾したインクにより形成されるインクド
   ットの直径をＣＬ、前記画素幅の方向における、前記画
   素の中心線からのインクドットのずれ量をΔｘとした場
   合に、 Δｘ≦ＧＬ−ＣＬ の式を満たすように前記複数の画素の着色を行うことを
   特徴とするカラーフィルタの製造方法。
3. 【請求項３】 前記Δｘ≦ＧＬ−ＣＬの式が満たされる
   ように前記インクジェットヘッドの反りを調整する工程
   を備えることを特徴とする請求項１または２に記載のカ
   ラーフィルタの製造方法。
4. 【請求項４】 前記インクジェットヘッドは、長手方向
   に複数のインク吐出ノズルを有する本体部と、前記本体
   部の長手方向に沿って取り付けられ、前記本体部の長手
   方向の異なる位置に前記本体部の反りを矯正するための
   複数の反り矯正部が設けられたプレートとを備え、 前記反り矯正部により前記本体部を前記プレートから遠
   ざける方向に移動させる場合と、前記反り矯正部により
   前記本体部を前記プレートに近づける方向に移動させる
   場合とを組み合わせることにより前記インクジェットヘ
   ッドの反りの調整を行うことを特徴とする請求項３に記
   載のカラーフィルタの製造方法。
5. 【請求項５】 前記反り矯正部は、少なくともネジとプ
   レートに形成されたネジ穴とから構成されることを特徴
   とする請求項４に記載のカラーフィルタの製造方法。
6. 【請求項６】 前記走査方向に直交する方向において隣
   り合う画素は、互いに異なる色に着色されることを特徴
   とする請求項１乃至６のいずれかに記載のカラーフィル
   タの製造方法。
7. 【請求項７】 前記インクジェットヘッドは、熱エネル
   ギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イン
   クに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギー
   発生体を備えることを特徴とする請求項１乃至６のいず
   れかに記載のカラーフィルタの製造方法。
8. 【請求項８】 インクジェットヘッドから基板に向けて
   インクを吐出することにより製造されるカラーフィルタ
   を有する液晶表示装置を製造する方法であって、 請求項１乃至７のいずれかに記載の製造方法によりカラ
   ーフィルタを製造する工程と、 カラーフィルタに対向する対向基板と前記製造されたカ
   ラーフィルタとの間に液晶化合物を封入する工程と、 を備えることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
9. 【請求項９】 複数のインク吐出ノズルを有するインク
   ジェットヘッドと、ブラックマトリクスにより囲まれた
   複数の画素を有する基板とを相対的に走査させながら、
   前記複数のインク吐出ノズルからインクを吐出して前記
   複数の画素を着色することによりカラーフィルタを製造
   するに際し、前記カラーフィルタの画素間での混色を低
   減させる方法であって、 前記走査方向に直交する方向において隣り合うブラック
   マトリクスの各中心間の距離を１つの画素の幅としたと
   きの前記１つの画素幅をＧＬ、仕切りのないガラスもし
   くはインク受容層が塗布されたガラスに着弾したインク
   により形成されるインクドットの直径をＣＬ、前記走査
   方向に直交する方向における、前記画素の中心線からの
   インクドットのずれ量をΔｘとした場合に、 Δｘ≦ＧＬ−ＣＬ の式を満たすように前記複数の画素の着色を行うことに
   より、前記基板上の隣り合う画素間での混色を低減させ
   ることを特徴とするカラーフィルタの混色低減方法。
10. 【請求項１０】 複数のインク吐出ノズルを有するイン
    クジェットヘッドと、ブラックマトリクスにより囲まれ
    た複数の画素を有する基板とを相対的に走査させなが
    ら、前記複数のインク吐出ノズルからインクを吐出して
    前記複数の画素を着色することによりカラーフィルタを
    製造するに際し、前記カラーフィルタの画素間での混色
    を低減させる方法であって、 隣り合うブラックマトリクスの各中心間の距離を１つの
    画素の幅としたときの前記１つの画素幅をＧＬ、基板に
    着弾したインクにより形成されるインクドットの直径を
    ＣＬ、前記画素幅の方向における、前記画素の中心線か
    らのインクドットのずれ量をΔｘとした場合に、 Δｘ≦ＧＬ−ＣＬ の式を満たすように前記複数の画素の着色を行うことに
    より、前記基板上の隣り合う画素間での混色を低減させ
    ることを特徴とするカラーフィルタの混色低減方法。
11. 【請求項１１】 前記Δｘ≦ＧＬ−ＣＬの式が満たされ
    るように前記インクジェットヘッドの反りを調整する工
    程を備えることを特徴とする請求項９または１０に記載
    のカラーフィルタの混色低減方法。
12. 【請求項１２】 前記インクジェットヘッドは、長手方
    向に複数のインク吐出ノズルを有する本体部と、前記本
    体部の長手方向に沿って取り付けられ、前記本体部の長
    手方向の異なる位置に前記本体部の反りを矯正するため
    の複数の反り矯正部が設けられたプレートとを備え、 前記反り矯正部により前記本体部を前記プレートから遠
    ざける方向に移動させる場合と、前記反り矯正部により
    前記本体部を前記プレートに近づける方向に移動させる
    場合とを組み合わせることにより前記インクジェットヘ
    ッドの反りの調整を行うことを特徴とする請求１１に記
    載のカラーフィルタの混色低減方法。
13. 【請求項１３】 前記反り矯正部は、少なくともネジと
    プレートに形成されたネジ穴とから構成されることを特
    徴とする請求項１２に記載のカラーフィルタの混色低減
    方法。
14. 【請求項１４】 前記走査方向に直交する方向において
    隣り合う画素は、互いに異なる色に着色されることを特
    徴とする請求項９乃至１３のいずれかに記載のカラーフ
    ィルタの混色低減方法。
15. 【請求項１５】 前記インクジェットヘッドは、熱エネ
    ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
    ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
    ー発生体を備えることを特徴とする請求項９乃至１４の
    いずれかに記載のカラーフィルタの混色低減方法。
16. 【請求項１６】 複数のインク吐出ノズルを有するイン
    クジェットヘッドと、ブラックマトリクスにより囲まれ
    た複数の画素を有する基板とを相対的に走査させなが
    ら、前記複数のインク吐出ノズルからインクを吐出して
    前記複数の画素を着色することによりカラーフィルタを
    製造するための装置であって、 前記走査方向に直交する方向において隣り合うブラック
    マトリクスの各中心間の距離を１つの画素の幅としたと
    きの前記１つの画素幅をＧＬ、仕切りのないガラスもし
    くはインク受容層が塗布されたガラスに着弾したインク
    により形成されるインクドットの直径をＣＬ、前記走査
    方向に直交する方向における前記画素の中心線からのイ
    ンクドットのずれ量をΔｘとした場合に、 Δｘ≦ＧＬ−ＣＬ の式を満たすように前記複数の画素の着色を行うことを
    特徴とするカラーフィルタの製造装置。
17. 【請求項１７】 複数のインク吐出ノズルを有するイン
    クジェットヘッドと、ブラックマトリクスにより囲まれ
    た複数の画素を有する基板とを相対的に走査させなが
    ら、前記複数のインク吐出ノズルからインクを吐出して
    前記複数の画素を着色することによりカラーフィルタを
    製造する装置であって、 隣り合うブラックマトリクスの各中心間の距離を１つの
    画素の幅としたときの前記１つの画素幅をＧＬ、基板に
    着弾したインクにより形成されるインクドットの直径を
    ＣＬ、前記画素幅の方向における、前記画素の中心線か
    らのインクドットのずれ量をΔｘとした場合に、 Δｘ≦ＧＬ−ＣＬ の式を満たすように前記複数の画素の着色を行うことを
    特徴とするカラーフィルタの製造装置。
18. 【請求項１８】 前記インクジェットヘッドは、熱エネ
    ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
    ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
    ー発生体を備えることを特徴とする請求項１６または１
    ７に記載のカラーフィルタの製造装置。
19. 【請求項１９】 長手方向に複数のインク吐出ノズルが
    並んで配置されたインクジェットヘッドと、ブラックマ
    トリクスにより囲まれた複数の画素を有する基板とを相
    対的に走査させながら、前記複数のインク吐出ノズルか
    らインクを吐出して前記複数の画素を着色することによ
    りカラーフィルタを製造する際に用いられる前記インク
    ジェットヘッドの反りを調整するための装置であって、 前記走査方向に直交する方向において隣り合うブラック
    マトリクスの各中心間の距離を１つの画素の幅としたと
    きの前記１つの画素幅をＧＬ、仕切りのないガラスもし
    くはインク受容層が塗布されたガラスに着弾したインク
    により形成されるインクドットの直径をＣＬ、前記走査
    方向に直交する方向における前記画素の中心線からのイ
    ンクドットのずれ量をΔｘとした場合に、 Δｘ≦ＧＬ−ＣＬ の式を満たして前記複数の画素の着色を行うことができ
    るように、前記インクジェットヘッドの反りを調整する
    ことを特徴とするインクジェットヘッドの反りの調整装
    置。
20. 【請求項２０】 長手方向に複数のインク吐出ノズルが
    並んで配置されたインクジェットヘッドと、ブラックマ
    トリクスにより囲まれた複数の画素を有する基板とを相
    対的に走査させながら、前記複数のインク吐出ノズルか
    らインクを吐出して前記複数の画素を着色することによ
    りカラーフィルタを製造する際に用いられる前記インク
    ジェットヘッドの反りを調整するための装置であって、 隣り合うブラックマトリクスの各中心間の距離を１つの
    画素の幅としたときの前記１つの画素幅をＧＬ、基板に
    着弾したインクにより形成されるインクドットの直径を
    ＣＬ、前記画素幅の方向における、前記画素の中心線か
    らのインクドットのずれ量をΔｘとした場合に、 Δｘ≦ＧＬ−ＣＬ の式を満たして前記複数の画素の着色を行うことができ
    るように、前記インクジェットヘッドの反りを調整する
    ことを特徴とするインクジェットヘッドの反りの調整装
    置。