JP2001110854A - Punching die for manufacturing film carrier tape and method of manufacturing film carrier tape by use thereof - Google Patents

Punching die for manufacturing film carrier tape and method of manufacturing film carrier tape by use thereof

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JP2001110854A
JP2001110854A JP28547399A JP28547399A JP2001110854A JP 2001110854 A JP2001110854 A JP 2001110854A JP 28547399 A JP28547399 A JP 28547399A JP 28547399 A JP28547399 A JP 28547399A JP 2001110854 A JP2001110854 A JP 2001110854A
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JP
Japan
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tape
die
carrier tape
punching
cutting edge
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Application number
JP28547399A
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Japanese (ja)
Inventor
Toshihito Nishiyama
西山才人
Norio Yotsumoto
四元法生
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Mitsui Mining and Smelting Co Ltd
Original Assignee
Mitsui Mining and Smelting Co Ltd
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Publication date
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Publication of JP2001110854A publication Critical patent/JP2001110854A/en
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  • Perforating, Stamping-Out Or Severing By Means Other Than Cutting (AREA)
  • Blow-Moulding Or Thermoforming Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a punching die where a punching pin is hardly broken and punched film tailings are restrained from being left in an opening even if the punching pin is very thin and a method of manufacturing a film carrier tape by the use of the punching die. SOLUTION: The tip cutting edge of the punching pin of a punching die is 0.1 to 0.5 mmΦ in diameter and 0.5 to 1.0 mm in thickness in its vertical direction.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は微小な開口孔を有す
るフィルムキャリアテープの製造において有用なフィル
ムパンチング金型に関し、特に、パンチピンの破損が防
止されたフィルムキャリアテープ製造用パンチング金
型、およびこれを用いたフィルムキャリアテープの製造
方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a film punching die useful for manufacturing a film carrier tape having minute openings, and more particularly to a punching die for manufacturing a film carrier tape in which breakage of a punch pin is prevented. And a method for manufacturing a film carrier tape using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、半導体デバイスやフラッシュメモ
リ等の電子部品には、ますます小型軽量性、高機能性、
高信頼性、低価格性等の特性が要求されている。このよ
うな特性を実現するための半導体実装方法として、半導
体実装パッケージにマトリックス状に配列した微小な半
田ボールを形成し、これらの半田ボールを外部配線基板
と接続するBGA(Ball Grid Array)方
式が普及しつつあり、このBGA方式によるパッケージ
材料の中でもフィルムキャリアテープを利用したものも
増加しつつある。また、半導体実装パッケージ自体のサ
イズを半導体チップのサイズにまで縮小したCSP(C
hip Size Package)が採用されつつある
が、CSPもBGA方式によるフィルムキャリアテープ
が普及しつつある(テープタイプCSPと呼ばれてい
る)。
2. Description of the Related Art In recent years, electronic components such as semiconductor devices and flash memories have become increasingly smaller, lighter and more functional.
Characteristics such as high reliability and low price are required. As a semiconductor mounting method for realizing such characteristics, a BGA (Ball Grid Array) system in which minute solder balls arranged in a matrix in a semiconductor mounting package are formed and these solder balls are connected to an external wiring board. The BGA type package materials that use a film carrier tape are also increasing in popularity. In addition, a CSP (C) that reduces the size of a semiconductor mounting package itself to the size of a semiconductor chip
Although a chip size package (HP) is being adopted, a film carrier tape based on the BGA system is becoming popular as a CSP (a tape type CSP).

【0003】テープタイプCSP等のBGA方式による
フィルムキャリアテープの製造方法としては、まず、ポ
リイミドフィルム等の絶縁性樹脂フィルム表面に接着剤
層を形成したベースフィルムテープに、半田ボール接続
用孔の他、テープ搬送用のスプロケット孔、位置決め用
孔等の必要な孔をパンチングにより穿孔する。その後、
銅箔等の金属箔を貼着し、金属箔により所望の回路を形
成した後必要な表面処理を施して製造される。BGA方
式によるフィルムキャリアテープは、半田ボール用孔を
有すること以外は従来のTABテープとほぼ同じ工程、
材料により製造することができる。使用されるテープ幅
は35mm〜96mmが一般的であり、テープ厚みとし
ては、絶縁性樹脂フィルムは20〜75μm、金属箔厚
みは12〜35μmが多く用いられている。
As a method of manufacturing a film carrier tape by the BGA method such as a tape type CSP, first, a base film tape having an adhesive layer formed on the surface of an insulating resin film such as a polyimide film is provided with holes for solder ball connection. Then, necessary holes such as a sprocket hole for positioning the tape and a positioning hole are punched. afterwards,
It is manufactured by sticking a metal foil such as a copper foil, forming a desired circuit with the metal foil, and performing a necessary surface treatment. BGA film carrier tape is almost the same process as conventional TAB tape except that it has holes for solder balls.
It can be manufactured from materials. The tape width used is generally 35 mm to 96 mm, and as the tape thickness, an insulating resin film is often used in a thickness of 20 to 75 μm, and a metal foil is often used in a thickness of 12 to 35 μm.

【0004】半田ボール用孔のサイズは直径0.1〜
0.8mm程度であり、ピッチ0.5〜2.0mmでマ
トリックス状に配置しており、この孔に直径0.1〜
1.0mmの半田ボールが取り付けられる。半導体デバ
イスはボンディング等によりテープCSPに接続された
後、半導体デバイスの保護のためエポキシ系樹脂等でポ
ッティングやトランスファモールドにより樹脂封止され
る。
The size of the hole for the solder ball is 0.1 to 0.1 mm.
It is about 0.8 mm, arranged in a matrix at a pitch of 0.5 to 2.0 mm.
A 1.0 mm solder ball is attached. After the semiconductor device is connected to the tape CSP by bonding or the like, the semiconductor device is sealed with an epoxy resin or the like by potting or transfer molding to protect the semiconductor device.

【0005】半田ボール用孔を穿孔する方法として、単
数または複数のパンチピンの軸方向に加工荷重を負荷す
ることにより、前記パンチピンが下降、上昇することが
できる構造を持つ上型と、前記パンチピン先端の切れ刃
の外径より大きい切れ刃部径を有するダイを備えた下型
との間に、ベースフィルムテープを配置した後、前記加
工荷重の負荷によりパンチピンを下降させ、前記ベース
フィルムテープに孔を形成するためのパンチング金型を
使用して、1回のパンチングによって1個ないし複数の
半導体デバイスに対応する半田ボール孔または半導体デ
バイスに対応する半田ボール用孔の一部の他、テープ搬
送用のスプロケット孔、位置決め用孔等の必要な孔をパ
ンチングし、穿孔していた(特願平11−220525
参照)。
[0005] As a method of drilling a hole for a solder ball, an upper die having a structure capable of lowering and rising the punch pin by applying a processing load in the axial direction of one or more punch pins, After placing the base film tape between the lower die having a die having a cutting edge portion diameter larger than the outer diameter of the cutting edge, the punch pin is lowered by the load of the processing load, and a hole is formed in the base film tape. Using a punching die for forming a solder ball hole corresponding to one or a plurality of semiconductor devices or a part of a solder ball hole corresponding to a semiconductor device by one punching, and a tape transporting die. The necessary holes such as sprocket holes and positioning holes were punched and drilled (Japanese Patent Application No. 11-220525).
reference).

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】ところが、テープタイ
プCSPに対して更なる小型化、高密度化、低価格化が
要求されている状況下にあって、フィルムキャリアテー
プに実装する単位面積当たりの半導体デバイスの数を増
加させる必要が生じてきた。このため、ベースフィルム
テープの単位面積当たりの半田ボール用孔の個数を飛躍
的に増大させる必要が生じたのである。すなわち、半田
ボール用孔のサイズ自体も従来は直径0.3〜1.0m
mΦが多かったが、直径0.3mm以下の半田ボール用
孔を形成することが要請されるようになった。
However, in a situation where the tape type CSP is required to be further reduced in size, increased in density, and reduced in cost, the per-unit area mounted on the film carrier tape is reduced. The need to increase the number of semiconductor devices has arisen. For this reason, the number of solder ball holes per unit area of the base film tape needs to be dramatically increased. That is, the size of the hole for the solder ball itself is conventionally 0.3 to 1.0 m in diameter.
Although mΦ was large, it was required to form a solder ball hole having a diameter of 0.3 mm or less.

【0007】この要請に従ってパンチング金型のパンチ
ピンの直径を0.3mmΦ以下に細くして図2に示すパ
ンチング金型を用いてパンチングを行ったところ、孔数
2万回をパンチングする以前にパンチピンが折れるとい
う問題が起った。パンチピンが1本折れてもパンチング
金型全体が使用できなくなり、また、パンチング金型は
製品ごとに設計されるため高価であり、製作期間も長い
ため、パンチピンの破損はフィルムキャリアテープの量
産や試作量産にあたり大きな支障となる。
According to this request, the diameter of the punch pin of the punching die is reduced to 0.3 mmΦ or less, and punching is performed using the punching die shown in FIG. 2. The problem of breaking occurred. Even if one punch pin is broken, the entire punching die cannot be used. In addition, the punching die is expensive because it is designed for each product, and the manufacturing time is long. This is a major obstacle to mass production.

【0008】また、所定回数パンチングを行った後にパ
ンチピンが折れていない場合でもパンチングされた半田
ボール用孔を顕微鏡により観察したところ、開口不良、
即ち、開口孔にフィルムの抜きカスが残留して、半田ボ
ール用孔の開口が不完全な孔が発見された。
Further, even if the punch pin is not broken after performing the punching for a predetermined number of times, the hole for the solder ball punched is observed with a microscope, and it is found that the hole is defective.
That is, a hole in which the opening of the hole for the solder ball was incomplete was found in which the scrap of the film remained in the opening hole.

【0009】そこで本発明者らは、パンチピン折れ及び
開口不良を顕微鏡により仔細に調査したところ、図2に
示すようにこのような不良の発生したパンチピンに対応
する下型の切れ刃部にフィルムの抜きカスが残留してい
る場合が多いことを発見した。フィルムの抜きカスは絶
縁性樹脂フィルム表面にエポキシ系等の接着剤層を形成
したベースフィルムテープの破片であり、パンチングに
より切断された後に僅かに膨張する傾向がある。また、
接着剤層はパンチング後に銅箔等の金属箔と貼着するた
め未硬化の状態にあるため、粘着性を有する状態であ
る。従って、パンチング金型の下型の切れ刃部に付着し
たり、閉塞したりし易いことがわかった。本発明は、か
かる従来の問題点に鑑みてなされたものであって、その
目的とするところは、ベースフィルムテープに多数の微
細な半田ボール用孔を確実に穿孔することができ、抜き
カスの付着によるパンチピン折れや開口孔閉塞がないパ
ンチング金型を提供すること、およびこの金型を用い
た、微小な開口孔を有する半導体実装用フィルムキャリ
アテープの製造方法を提供することにある。
The inventors of the present invention have conducted a detailed examination of the breakage of the punch pin and the defective opening with a microscope. As shown in FIG. 2, the film is attached to the lower cutting edge corresponding to the punch pin having such a defect. It has been discovered that there are many cases where the scrap remains. The film scrap is a fragment of a base film tape having an adhesive layer such as an epoxy resin formed on the surface of an insulating resin film, and tends to expand slightly after being cut by punching. Also,
The adhesive layer is in an uncured state to be adhered to a metal foil such as a copper foil after punching, and thus has an adhesive state. Therefore, it was found that the punching die easily adheres to the lower cutting edge of the punching die or is closed. The present invention has been made in view of such a conventional problem, and an object of the present invention is to enable a large number of fine solder ball holes to be reliably formed in a base film tape, and to form a scrap. An object of the present invention is to provide a punching die that does not break a punch pin or block an opening hole due to adhesion, and to provide a method of manufacturing a film carrier tape for semiconductor mounting having a minute opening hole using the die.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明は、単数または複
数のパンチピンの軸方向に加工荷重を負荷することによ
り、前記パンチピンが下降、上昇することができる構造
を持つ上型と、前記パンチピン先端の切れ刃の外径より
大きい切れ刃部径を有するダイを備えた下型との間に、
ベースフィルムテープを配置した後、前記加工荷重の負
荷によりパンチピンを下降させ、前記ベースフィルムテ
ープに孔を形成するためのパンチング金型において、前
記パンチピンの先端切れ刃部の直径が0.1〜0.5m
mΦであり、かつ、前記ダイの切れ刃部の垂直方向厚み
が0.5〜1.0mmであることを特徴とする。
According to the present invention, there is provided an upper die having a structure capable of lowering and rising the punch pin by applying a processing load in the axial direction of one or more punch pins, and a tip of the punch pin. Between the lower die having a die having a cutting edge diameter larger than the outer diameter of the cutting edge,
After arranging the base film tape, the punch pin is lowered by the load of the processing load, and in a punching die for forming a hole in the base film tape, the diameter of the tip cutting edge portion of the punch pin is 0.1 to 0. .5m
mΦ, and the vertical thickness of the cutting edge portion of the die is 0.5 to 1.0 mm.

【0011】また本発明によるフィルムキャリアテープ
の製造方法は、上記パンチング金型を用いたことを特徴
とするものである。
A method of manufacturing a film carrier tape according to the present invention is characterized by using the above-mentioned punching die.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下に本発明のフィルムキャリア
テープ用パンチング金型及びこれを用いたフィルムキャ
リアテープの製造方法を添付図を用いて詳しく説明す
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The punching die for a film carrier tape of the present invention and a method for manufacturing a film carrier tape using the same will be described below in detail with reference to the accompanying drawings.

【0013】図1は本発明の1実施例を示すもので、同
図において1はベースフィルムテープであり、下型4と
上型5の間に載置するとともに、テープ両端部に形成さ
れたスプロケット孔等の位置決め用孔と噛合した位置決
めピン(図示せず)によって固定される。制御盤(図示
せず)からの信号で所定のピッチごとに送り方向9へ、
順次送られる。なお、1個のパンチング金型で穿孔され
る半田ボール用孔の数は100〜800個の範囲が適切
であり、パンチング金型は孔数に対応した数のパンチピ
ンを有するが、図1においてはその内の1本のみを示し
た。
FIG. 1 shows an embodiment of the present invention. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a base film tape which is placed between a lower mold 4 and an upper mold 5 and formed at both ends of the tape. It is fixed by a positioning pin (not shown) engaged with a positioning hole such as a sprocket hole. A signal from a control panel (not shown) moves in a feed direction 9 at predetermined intervals.
Sent sequentially. The number of solder ball holes perforated by one punching die is suitably in the range of 100 to 800, and the punching die has a number of punch pins corresponding to the number of holes. Only one of them is shown.

【0014】2は、ベースフィルムテープ1に穿孔する
ための工具であるパンチピンであり、先端切れ刃部2a
は穿孔すべき孔径と同径である。また、パンチピン2
は、上型5に圧入固定したパンチピンガイド7の内径部
で案内され、加圧装置(図示せず)から加えられる加工
荷重6の負荷により下降しベースフィルムテープ1を穿
孔する。パンチピンがダイ3の切れ刃部に挿入される長
さ、即ちストロークは0.3〜0.8mmが好適であ
り、0.8mmより長いとパンチピンが折れやすくな
り、0.3mmより短いと開口不良等の不具合が発生し
易くなる。
Reference numeral 2 denotes a punch pin which is a tool for perforating the base film tape 1 and has a tip cutting edge 2a.
Is the same as the diameter of the hole to be drilled. In addition, punch pin 2
Is guided by an inner diameter portion of a punch pin guide 7 press-fitted and fixed to the upper die 5, and is lowered by a processing load 6 applied from a pressing device (not shown) to pierce the base film tape 1. The length of the punch pin to be inserted into the cutting edge portion of the die 3, that is, the stroke is preferably 0.3 to 0.8 mm. If the length is longer than 0.8 mm, the punch pin is easily broken. And the like tend to occur.

【0015】下型4は、ベースフィルムテープを載置す
るとともに、穿孔用ダイ3を、ダイ3の外径とダイ固定
孔4Cが嵌合し固定している。ダイ3の切れ刃部3aの
内径は、前記パンチピン2の先端切れ刃部2a外径より
大きく、パンチピン2が下降するとパンチピン2の先端
切れ刃部2aが、ダイ3の切れ刃部3a内に挿入するこ
とで、ベースフィルムテープ1を剪断加工しフィルム抜
きカス1bを落下させ、半田ボール用孔を形成できる構
造である。切れ刃部3aの内径は、穿孔する孔径よりも
片側0.002〜0.01mm大きくする。
The lower die 4 has a base film tape mounted thereon, and the perforating die 3 is fixed by fitting the outer diameter of the die 3 and the die fixing hole 4C. The inner diameter of the cutting edge 3a of the die 3 is larger than the outer diameter of the tip cutting edge 2a of the punch pin 2, and when the punch pin 2 descends, the tip cutting edge 2a of the punch pin 2 is inserted into the cutting edge 3a of the die 3. By doing so, the base film tape 1 is subjected to a shearing process so that the film scrap 1b is dropped to form a hole for a solder ball. The inner diameter of the cutting edge 3a is larger by 0.002 to 0.01 mm on one side than the diameter of the hole to be drilled.

【0016】ダイ3の切れ刃部3aの垂直方向厚みtは
従来のパンチング金型では1.0mmを超えていたが、
本発明のパンチング金型においては0.5〜1.0mm
であることが特徴である。なお、下型4の表面は、パン
チング金型の継続使用によって生ずる表面凹凸を平滑化
するためまたは表面の酸化層を除去するために必要に応
じて表面研磨されるため、切れ刃部3aの垂直方向厚み
tが0.5mmよりも薄いと、パンチング金型としての
寿命が短くなるため望ましくない。
The vertical thickness t of the cutting edge portion 3a of the die 3 exceeds 1.0 mm in a conventional punching die,
0.5 to 1.0 mm in the punching die of the present invention
Is a characteristic. The surface of the lower mold 4 is polished as necessary to smooth the surface irregularities caused by continuous use of the punching mold or to remove an oxide layer on the surface. If the thickness t in the direction is smaller than 0.5 mm, the life as a punching mold is shortened, which is not desirable.

【0017】また、ダイ3の切れ刃部3aは、図1に示
すように切れ刃部3aの上部から下部にかけて内径を拡
大することが望ましい。即ち、上部の内径に対し、下部
の内径は1〜10%広くする。このようにして、フィル
ム抜きカスは更に落下し易くなる。しかし下部の内径が
10%より広いと、切れ刃部3aの上部が尖り、強度が
低下するので好ましくない。
It is desirable that the inner diameter of the cutting edge 3a of the die 3 is increased from the upper part to the lower part of the cutting edge 3a as shown in FIG. That is, the inner diameter of the lower part is set to be 1 to 10% wider than that of the upper part. In this way, the film scrap is more easily dropped. However, if the inner diameter of the lower portion is wider than 10%, the upper portion of the cutting edge portion 3a is sharpened, and the strength is undesirably reduced.

【0018】[0018]

【実施例】次に該金型を用いたフィルムキャリアテープ
の製造方法について実施例により具体的に説明するが、
本発明はこれらによって限定されるものではない。ま
ず、ポリイミドフィルム等の絶縁性樹脂フィルム表面に
半硬化状態(Bステージ)の接着剤層を形成したベース
フィルムテープを下型4の表面に載置する。接着剤層の
表面はごみや不純物の付着を防止するための保護フィル
ムで覆われている。
EXAMPLES Next, a method for manufacturing a film carrier tape using the mold will be specifically described with reference to Examples.
The present invention is not limited by these. First, a base film tape in which an adhesive layer in a semi-cured state (B stage) is formed on the surface of an insulating resin film such as a polyimide film is placed on the surface of the lower mold 4. The surface of the adhesive layer is covered with a protective film for preventing attachment of dust and impurities.

【0019】ベースフィルムテープとして、テープ幅4
8mm、厚さ75μmのポリイミドフィルム(商品名:
ユーピレックスS、宇部興産(株)製)にシート状のエポ
キシ系接着剤(商品名:X、巴川製紙(株)製)を熱圧着
により貼り合せたものを用いた。このベースフィルムテ
ープに、図1に示すパンチング金型を用いて、スプロケ
ット孔と、半田ボール用孔を穿孔した。パンチング金型
は半田ボール用パンチピンを294本(7×7×6)有
する。
As the base film tape, tape width 4
8mm, 75μm thick polyimide film (trade name:
A sheet-like epoxy-based adhesive (trade name: X, manufactured by Hamakawa Paper Co., Ltd.) bonded to IUPIREX S (manufactured by Ube Industries, Ltd.) by thermocompression bonding was used. A sprocket hole and a hole for a solder ball were formed in the base film tape by using a punching die shown in FIG. The punching die has 294 (7 × 7 × 6) punch pins for solder balls.

【0020】パンチピン2の切れ刃部2aの直径は0.
24mmΦである。切れ刃部3aの垂直方向厚みtは
0.8mmとした。上記のようにベースフィルムテープ
を載置した後、パンチピン2の軸方向に必要な加工荷重
を負荷し、パンチピン2を下降させ半田ボール用孔29
4個を穿孔した。ストロークは0.5mmとした。パン
チング速度は80ショット/分で行った。パンチング
後、ベースフィルムテープを所定のピッチ移送し、順次
パンチングを実施した。
The diameter of the cutting edge portion 2a of the punch pin 2 is equal to 0.1.
24 mmΦ. The vertical thickness t of the cutting edge 3a was 0.8 mm. After the base film tape is placed as described above, a necessary processing load is applied in the axial direction of the punch pin 2, and the punch pin 2 is moved down to lower the solder ball hole 29.
Four were drilled. The stroke was 0.5 mm. The punching speed was 80 shots / min. After punching, the base film tape was transported at a predetermined pitch, and punching was sequentially performed.

【0021】このようにしてパンチングを続け、2万シ
ョット、10万ショット、20万ショット、30万ショ
ットを超えた後にベースフィルムテープからそれぞれパ
ンチング5回分のサンプルを切り出し、開口孔を顕微鏡
を用いて検査したところ、パンチピン折れによる不開口
やフィルム抜きカス残留等の開口不良は発生していなか
った。また、走査型電子顕微鏡により、パンチングされ
た半田ボール用孔の形状を観察したところ、バリや孔形
状の変形は見られなかった。
The punching is continued in this manner, and after exceeding 20,000 shots, 100,000 shots, 200,000 shots, and 300,000 shots, five punching samples are cut out from the base film tape, and the opening holes are formed using a microscope. As a result of inspection, no opening failure such as non-opening due to punch pin breakage and residual film removal residue did not occur. Further, when the shape of the punched solder ball hole was observed with a scanning electron microscope, no burrs or deformation of the hole shape were found.

【0022】このベースフィルムテープに厚さ15μ
m、幅43mmの電解銅箔(商品名:FQ−VLP、三
井金属鉱業(株)製)を積層し、オーブン中で160℃、
10時間加熱した。加熱後の前記テープを、定法に従っ
て、感光性フォトレジストの塗布、回路パターン露光、
現像及び銅エッチングを行い、銅回路パターンを形成し
た。次に、得られたテープをメッキ層に移行させ、テー
プのソルダーレジストが塗工されていない露出した銅箔
表面部分に厚さ0.1μmの金メッキを施し、半導体実
装用フィルムキャリアテープを得た。
The base film tape has a thickness of 15 μm.
m, an electrolytic copper foil (trade name: FQ-VLP, manufactured by Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd.) having a width of 43 mm was laminated at 160 ° C. in an oven.
Heated for 10 hours. The tape after heating, according to a standard method, application of a photosensitive photoresist, circuit pattern exposure,
Development and copper etching were performed to form a copper circuit pattern. Next, the obtained tape was transferred to a plating layer, and 0.1 μm thick gold plating was applied to the exposed copper foil surface portion where the solder resist of the tape was not applied, to obtain a film carrier tape for semiconductor mounting. .

【0023】[0023]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によればベ
ースフィルムテープに半田ボール用孔をパンチングする
場合にフィルム抜けカスがダイの切れ刃部に付着したり
詰まったりすることがないためパンチピン折れ等の問題
がなく、パンチング金型の寿命がフィルムキャリアテー
プの量産が充分可能な程度まで長くなる。また、この金
型を用いることによりフィルム抜けカス残存による半田
ボールの電気的導通不良等を回避できるため信頼性の高
いフィルムキャリアテープの製造方法を提供できる。
As described above, according to the present invention, when a hole for a solder ball is punched in a base film tape, a chip from the film does not adhere to or clog the cutting edge of the die. There is no problem such as breakage, and the life of the punching mold is extended to the extent that mass production of the film carrier tape is sufficiently possible. Further, by using this mold, it is possible to avoid poor electrical conduction of the solder balls due to the residual film removal residue, so that a highly reliable method of manufacturing a film carrier tape can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明を適用したパンチング金型の正面断面
図。
FIG. 1 is a front sectional view of a punching die to which the present invention is applied.

【図2】従来のパンチング金型の正面断面図。FIG. 2 is a front sectional view of a conventional punching die.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1:ベースフィルムテープ、1a:半田ボール用孔、1
b:フィルム抜きカス、2:パンチピン、2a:パンチ
ピンの切れ刃、3:ダイ、3a:ダイの切れ刃部、4:
下型、4c:ダイ固定孔、5:上型、6:加工荷重、
7:パンチピンガイド、8:送り方向
1: Base film tape, 1a: Solder ball hole, 1
b: film scrap, 2: punch pin, 2a: cutting edge of punch pin, 3: die, 3a: cutting edge of die, 4:
Lower mold, 4c: Die fixing hole, 5: Upper mold, 6: Processing load,
7: Punch pin guide, 8: Feed direction

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】単数または複数のパンチピンの軸方向に加
工荷重を負荷することにより、前記パンチピンが下降、
上昇することができる構造を持つ上型と、前記パンチピ
ン先端の切れ刃の外径より大きい切れ刃部径を有するダ
イを備えた下型との間に、ベースフィルムテープを配置
した後、前記加工荷重の負荷によりパンチピンを下降さ
せ、前記ベースフィルムテープに孔を形成するためのパ
ンチング金型において、前記パンチピンの先端切れ刃部
の直径が0.1〜0.5mmΦであり、かつ、前記ダイ
の切れ刃部の垂直方向厚みが0.5〜1.0mmである
ことを特徴とするフィルムキャリアテープ用パンチング
金型。
1. A punching pin is lowered by applying a processing load in the axial direction of one or more punch pins.
After disposing a base film tape between an upper mold having a structure capable of ascending and a lower mold having a die having a cutting edge portion diameter larger than the outer diameter of the cutting edge at the tip of the punch pin, the processing is performed. In a punching die for forming a hole in the base film tape by lowering the punch pin by applying a load, a diameter of a tip cutting edge portion of the punch pin is 0.1 to 0.5 mmΦ, and A punching die for a film carrier tape, wherein a vertical thickness of a cutting edge portion is 0.5 to 1.0 mm.
【請求項2】請求項1に記載のパンチング金型を用いた
フィルムキャリアテープの製造方法。
2. A method for manufacturing a film carrier tape using the punching die according to claim 1.
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